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MICROSONDA ELECTRÓNICA Y
MICROANÁLISIS WDS
Juan Martínez, Jhonathan Román, María Estéfany
Bedoya, Luis Osorio, Alejandro Palacio

Facultad de Minas –Departamento de Materiales y

Minerales- Química Metalúrgica
 Contenido
MICROSONDA ELECTRÓNICA Y MICROANÁLISIS WDX (WDS)

1.- Generalidades

2.- Fundamentos del análisis por microsonda electrónica

3.- Componentes esenciales de una microsonda electrónica

4.- Tipos de análisis

5.- Aplicaciones

6.- WDS y ejemplo

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Facultad Ancízar Sans Itálica 9 pt

Sede Ancízar Sans Itálica 9 pt
1. Generalidades (1/3)
Raimond Castaing (1948- 1952)
Para la metalurgia y la mineralogía
óptica.
“En el caso concreto de la Geología,
han sido tan numerosos los problemas
que han podido comenzar a
investigarse, que se acepta
normalmente que el impacto causado
por esta técnica sólo puede
compararse con el que produjo hace
150 años el microscopio polarizante.” -
J. López 4
 1. Generalidades (2/3)
Diagrama de instrumento

Imagen tomada de Carleton University: https://serc.carleton.edu/research_education/geochemsheets/techniques/EPMA.html

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2. Fundamentos del análisis por microsonda
electrónica (1/5).

Cuando un haz electrónico incide sobre la superficie de un sólido, se

generan una serie de ondas electro-magnéticas; los rayos X son
paquetes de alta energía sin carga eléctrica que se desplazan en
ondas con una frecuecia específica, a la velocidad de la luz.

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2. Fundamentos del análisis por microsonda
electrónica (2/5).
Radiación de frenado para espectro continuo

Radiación de transición para picos discretos

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2.Fundamentos del análisis por microsonda
electrónica (3/5).

Difracción de Rayos X - Ley de Bragg

Arreglos tridimensionales de los cristales actúan como
rejillas de difracción.
Registros de d, para luego registros de alfa.

Corrección por matriz: C (peso), I (intensidad)

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2.Fundamentos del análisis por microsonda
electrónica (4/5).

La pérdida de energía que implica este salto, se

traduce en la emisión ondas electromágneticas (la
radiación X), cuya firecuencia V está relacionada
con la diferencia de energía E del átomo antes y
después de la transición por la expresión E=hV, en
la que h es la constante de Planck.

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2.Fundamentos del análisis por microsonda
electrónica (5/5).

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 3. Componentes de una microsonda electrónica
(1/1)
Los componentes esenciales de una
microsonda electrónica son:

1. Cuerpo de sonda.

2. Cuerpo de muestra

(microscopio óptico). IMAGEN

3. Espectrómetros de rayos X.

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 3. Componentes de una microsonda electrónica
(2/5)
Cuerpo de la sonda
Consiste de un cañón de
electrones y de lentes
electromagnéticos.

El cañón de electrones consiste de

un triodo con un filamento de
wolframio que actúa como cátodo,
este se calienta a 2700K para
obtener emisión termoiónica

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 3. Componentes de una microsonda electrónica
(3/5)
Cuerpo de la sonda

Los lentes
electromagnéticos son
dos, el condensador y el
objetivo.
Estas producen una
imagen reducida sobre
la muestra lo
suficientemente intensa
de la fuente de
electrones

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 3. Componentes de una microsonda electrónica
(4/5)
Cuerpo de la muestra
Es el compartimiento donde se alberga la
muestra, este puede ser desplazado
lateralmente y en altura, incluso rotando
con el objetivo de focalizar la muestra, y
colocarla al impacto de la sonda.
El centraje del haz electrónico se realiza
con un microscopio óptico, el cual debe
tener un orificio central que permita el
paso de la sonda

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 3. Componentes de una microsonda electrónica
(5/5)
Espectrómetro de rayos X
El análisis de radiación se
realiza mediante
espectrómetros de
dispersión de longitudes de
onda.
consiste de un cristal
analizador y un detector,
ambos están contenidos en
un recinto bajo vacío
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 4.Tipos de Análisis

Cuantitativo Semi Cualitativo

Cuantitativo
Información de Información
concentraciones de elementos
Información de presentes
elementos y
distribución de
concentraciones

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4.Tipos de Análisis
Preparación de una muestra
Se recubre la
Se prepara una Se pule la muestra, superficie de la
muestra rectangular de manera que se muestra con el fin de
de 46 x 27 mm o elimine cualquier minimizar las
circular de 1 pulgada imperfección de la interacciones
de diámetro y 30 superficie de la electrostáticas de la
micrometros de muestra. muestra con el haz de
espesor electrones

se enclava la muestra
al vacio sobre la
cámara de muestras

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 Condiciones de Trabajo y preparación del
equipo
- POTENCIAL DE ACELERACIÓN : Depende de la energía
efectiva de ionización del material. Aumentos progresivos de
voltaje, representa aumento en la intensidad de los rayos x
emitidos

Valores típicos de voltajes para determinación de rayos K de los

elementos entre Na(11) y Zn(30) varian entre 10 y 25 Kv. Para
elementos trazas, se puede llegar hasta 40 kv

- CORRIENTE Y TIEMPO DE CONTAJE: se ajusta de acuerdo

a la concentracion del elemento (1-10nA) y tiempos de 10 s

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 Análisis Cualitativo
El principal objetivo de este análisis es la identificación del
elemento presente en la muestra

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 Análisis Cuantitativo

El principal objetivo de
este análisis es cuantificar
la concentración del
elemento en la muestra

SE DEBE DISPONER DE UN PATRÓN

CUIDADO: Ambas mediciones deben realizarse bajo las mismas

condiciones de trabajo (POTENCIAL DE ACELERACIÓN,
CORRIENTE Y TIEMPO DE CONTAJE)

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21
 CORRECCIONES DE ANÁLISIS CUANTITATIVO

- Absorción

- Retrodispersión

- Frenado Electrónico

- Fluorescencia

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23
ANÁLISIS SEMICUANTITATIVO
ANÁLISIS LINEAL

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5. Aplicaciones
1. Investigaciones metalúrgicas
2. Cerámica, Vidrio, Biología
3. Mineralogía, Petrología:
-Análisis químico de rocas.
-Determinación de la composición de fases coexistentes.
-Estudio del material intergranular de rocas
volcánicas.
-Cristales zonados y exsoluciones.
4. Más de 100 minerales nuevos han sido descubiertos y
caracterizados gracias a esta técnica.

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5. Aplicaciones Investigación de la fractura de materiales
compuestos reforzados con magnesio y
aluminio.
Se realizaron pruebas de tracción a
temperaturas en el rango de 20-400° en
materiales compuestos consistentes en
matrices dúctiles y fibras dúctiles (fibras
de acero Mg o Al + KhI4NI4M2...) y de
matrices dúctiles y fibras frágiles (Mg o
A1 + fibras de boro).

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5. Aplicaciones
Se estableció que durante la extensión de un
material compuesto que consistía en una matriz
dúctil y fibras dúctiles (Mg/acero o Al/acero) en
el rango de temperatura 20-400o la matriz falla de
una manera dura y no se observan cambios
significativos en la morfología de la estructura de
su fractura.
La fractura de las fibras ocurre con la formación
de la cintura.

El aumento de la temperatura de ensayo

intensifica los procesos de flujo plástico en las
fibras, y por lo tanto esto último puede
considerarse que juega un papel dominante en la
fractura del material en su conjunto.

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5. Aplicaciones

En un material compuesto que consiste en una matriz dúctil y

fibras frágiles (por ejemplo, Mg/B o AI/B) la matriz se rompe de
una manera dura mientras que las fibras fallan de manera
quebradiza, por escisión.

A temperaturas de prueba más altas, los procesos de

deformación de la matriz se intensifican, en consecuencia de lo
cual las fibras experimentan múltiples fracturas y la resistencia
de las caídas del material.

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6. WDS y ejemplo

When an electron beam of sufficient energy interacts with a sample target it generates
X-rays, as well as derivative electrons (e.g. secondary, back-scattered, auger). A
wavelength-dispersive spectrometer uses the characteristic X-rays generated by
individual elements to enable quantitative analyses (down to trace element levels) to
be measured at spot sizes as small as a few micrometers

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6. WDS y ejemplo (1/3)

Detection of trace amounts of Si (0.15 wt% Si) in a Ni-Al-Mo alloy in EDS (yellow) vs. WDS (blue). The presence of a trace amount of silicon is questionable in the EDS spectrum, but certain in the WDS spectrum. Image
modified from Oxford Instruments.

Fortalezas Limitaciones
1. Análisis no destructivo 1. Número atómico de 5
2. Variedad de sólidos naturales 2. Overlaps (VK and TiK)
y sintéticos 3. No distingue estado de
3. Alta resolución espacial valencia
4. Haz de electro resterizado 4. Múltiples masas
5. WDS vs EDS

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6. WDS y ejemplo (2/3)
WDS can result in high resolution
wavelength spectra and high quality
element x-ray compositional maps, but
the most common application of WDS is
for quantitative spot analysis.

Typically, individual WDS spot analyses

include information on the ratio of the
WDS detector counts of the sample
relative to the counts on a standard for
each element (k-Ratio), a measure of the
minimum detection limits of an element
(MDL), the weight % of each element (El-
Wt%), the weight % of each element
expressed as an oxide (Ox-Wt%) that
results a er the matrix correction is
made and the atomic proportions (At-
Prop) based on a fixed oxygen
normalization basis.

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6. WDS y ejemplo (3/3)
En la salida de un espectrómetro WDX, donde el cristal de análisis era LiF, (d =
0.2013 nm), paralelos a la superficie, se detectaron picos de rayos X cuando θ (el
ángulo de Bragg para el analizador LiF ) fue 28.8° y 34.8°. Determine qué
elementos estaban presentes en la muestra.

Solución
Si θ = 28.8°y tenemos que λ = 2dsinθ (Ley de bragg), entonces:

λ = 2(0,2013)(sin 28.8°) = 0.194 nm

c = λv θ = 28.8°, λ= 0.194 nm y E = 6.393 keV

v = (2.998E8)(0.194E9) = 1.546E18 s-1 Corresponde a CrKα

E= hv

E = (6.626E-34)( 1.546E18)
= 1.024E-15 J = 6.393 keV

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Referencias

1. Bastin GF, Heijligers HJM (2004) Quantitative electron probe microanalysis of

nonconducting specimens: science or art? 10:733–738

1. Castaing R (1951) Application of electron probes to local chemical and crystallographic

analysis. PhD thesis, University of Paris. [English translation by P Duwez and DB Wittry,
California Institute of Technology, 1955]

1. Donovan JJ, Tingle TN (1996) An improved mean atomic number background correction
for quantitative microanalysis.

1. Goldoff B, Webster JD, Harlov DE (2012) Characterization of fluor-chlorapatites by

electron probe microanalysis with a focus on time-dependent intensity variation of
halogens. Am Mineral97:1103–1115

1. Hovington P, Drouin D, Gauvin R (1997) CASINO: a new era of Monte Carlo code in C
language for the electron beam interaction – Part I: description of the program. Scanning
19:1–14

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Microsonda electrónica y microanálisis WDS
Química Metalúrgica

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