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Este equipo se utiliza para la realización de análisis químicos cualitativos y cuantitativos, a escala
micrométrica, de muestras sólidas previamente pulidas. Su principio de funcionamiento consiste en
la excitación de la superficie de la muestra (previamente pulida) mediante un haz de electrones,
acelerados entre 15 y 35 kv y focalizados en un diámetro que oscila entre 1 y 2 micras. Los rayos X
(RX) característicos generados en la muestra son detectados por espectrómetros dispersores de
longitud de onda (WDS).
El Ion Microprobe
Los científicos usan este haz de partículas cargadas para determinar la composición elemental de los
materiales sólidos ( minerales , vidrios , metales ). [4] La composición química del objetivo se puede
encontrar a partir de los datos elementales extraídos a través de rayos X emitidos (en el caso en que el
haz primario consiste en electrones cargados) o la medición de un haz secundario emitido de material
pulverizado desde el objetivo (en el caso donde el haz primario consiste en iones cargados).