6.3. Análisis morfológico y de rugosidad de superficie de capas delgadas de NbN.

La rugosidad y el tamaño de grano son dos variables importantes para determinar la

homogeneidad de un recubrimiento. En la figura 22 se presenta una imagen obtenida por
microscopía de fuerza atómica en el modo no contacto de un depósito de bicapa NbN/CrN
para un grosor total de 400 nm (la capa inferior corresponde a CrN) sin embargo, en el
AFM se caracteriza sólo la superficie de la capa exterior de la muestra (NbN). La imagen
en 3D de la figura 22 muestra una superficie poco rugosas, el tamaño de grano promedio
obtenido fue 9.4 nm y la rugosidad promedio encontrada 2.7 nm. Según Srinivas et al, la
rugosidad de la superficie es proporcional al aumento de la presión utilizada durante el
crecimiento de la capa delgada (Srinivas, et al., 2014). La síntesis de los recubrimientos se
realizó con 5 mTorr en la cámara de crecimiento y 50 Watts, condiciones que fueron las
indicadas para lograr la homogeneidad de la capa delgada.

Figura 1. Imagen AFM de la superficie de NbN, 1:1. Área escaneada 2 µm x 2 µm.

La tabla 5 presenta los resultados de rugosidad y tamaño de grano para diferentes áreas en
el mismo material, variando el área superficial desde el barrido más amplio de 15 µm x 15
µm, 10 µm x 10 µm hasta 5 µm x 5 µm. Los valores se mantienen aproximadamente
constantes y el recubrimiento tiende ser homogéneo.
Tabla 1. Resultados de la rugosidad y tamaño de grano de la superficie de una capa delgada de NbN 1:1, flujo de
Ar 3 mL/min, flujo de N2 2 mL/min, presión total de la cámara 5 mttor. Variación del área escaneada de 5x5 µm 2
15x15 µm2.

Tamaño de grano
Área (µm2) Rugosidad (nm)
(nm)

5x5 2.662 9.871

10 x 10 2.582 9.128

15 x 15 2.786 9.251

Promedio 2.676 9.416

La figura 23 muestra imágenes de la superficie del recubrimiento de NbN, obtenidas por

AFM, la imagen (a) presentada en 3D fue escaneada para un área de 250 nm x 250 nm, en
esta escala la acomodación entre moléculas de la superficie se observa cercana por lo que
no es adecuado tomar medidas de rugosidad para pocos puntos, la imagen (b) en 3D
presenta la superficie en un área superficial de 500 nm x 500 nm, a diferencia de las
imágenes tomadas con un área de barrido mayor que y que se detallan en la escala como
una superficie de menor homogeneidad.
Figura 2. Imagen AFM de la superficie de NbN, 1:1. (a) Área escaneada 250 nm x 250 nm. (b) Área
escaneada 500 nm x 500 nm