Une-En Iso 14644-9

Norma Española
UNE-EN ISO 14644-9

Noviembre 2022
Salas limpias y locales anexos controlados

Parte 9: Clasificación de la limpieza de superficies según la
concentración de partículas
(ISO 14644-9:2022)
Esta norma ha sido elaborada por el comité técnico

CTN-UNE 100 Climatización, cuya secretaría desempeña
AFEC.
Asociación Española Calle de Génova, 6 915 294 900

de Normalización 28004 Madrid. España info@une.org – www.une.org
02/10/2023; Este documento ha sido adquirido por: UNIVERSIDAD INTERNACIONAL DE LA RIOJA a través de la suscripción
AENORmás. Para uso en red interna se requiere de autorización previa de AENOR.
UNE-EN ISO 14644-9

Parte 9: Clasificación de la limpieza de superficies según la concentración de partículas
(ISO 14644-9:2022)
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle
concentration (ISO 14644-9:2022).
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés. Partie 9: Évaluation de la propreté des surfaces en
fonction de la concentration de particules (ISO 14644-9:2022).
Esta norma es la versión oficial, en español, de la Norma Europea EN ISO 14644-9:2022, que a su
vez adopta la Norma Internacional ISO 14644-9:2022.
Esta norma anula y sustituye a la Norma UNE-EN ISO 14644-9:2014.
Las observaciones a este documento han de dirigirse a:
Asociación Española de Normalización

Génova, 6
28004 MADRID-España
Tel.: 915 294 900
info@une.org
www.une.org
© UNE 2022
Prohibida la reproducción sin el consentimiento de UNE.
Todos los derechos de propiedad intelectual de la presente norma son titularidad de UNE.
NORMA EUROPEA
EUROPEAN STANDARD
EN ISO 14644-9
NORME EUROPÉENNE
EUROPÄISCHE NORM Mayo 2022
ICS 13.040.35 Sustituye a EN ISO 14644-9:2012
Versión en español

Parte 9: Clasificación de la limpieza de superficies según la concentración de partículas
(ISO 14644-9:2022)
Cleanrooms and associated controlled Salles propres et environnements Reinräume und zugehörige
environments. Part 9: Assessment of maîtrisés apparentés. Partie 9: Reinraumbereiche. Teil 9:
surface cleanliness for particle Évaluation de la propreté des surfaces Klassifizierung der partikulären
concentration. en fonction de la concentration de Oberflächenreinheit.
(ISO 14644-9:2022) particules. (ISO 14644-9:2022)
(ISO 14644-9:2022)
Esta norma europea ha sido aprobada por CEN el 2022-04-18.
Los miembros de CEN están sometidos al Reglamento Interior de CEN/CENELEC que define las
condiciones dentro de las cuales debe adoptarse, sin modificación, la norma europea como norma
nacional. Las correspondientes listas actualizadas y las referencias bibliográficas relativas a estas
normas nacionales pueden obtenerse en el Centro de Gestión de CEN/CENELEC, o a través de sus
miembros.
Esta norma europea existe en tres versiones oficiales (alemán, francés e inglés). Una versión en otra
lengua realizada bajo la responsabilidad de un miembro de CEN en su idioma nacional, y notificada al
Centro de Gestión de CEN/CENELEC, tiene el mismo rango que aquéllas.
Los miembros de CEN son los organismos nacionales de normalización de los países siguientes:
Alemania, Austria, Bélgica, Bulgaria, Chipre, Croacia, Dinamarca, Eslovaquia, Eslovenia, España, Estonia,
Finlandia, Francia, Grecia, Hungría, Irlanda, Islandia, Italia, Letonia, Lituania, Luxemburgo, Malta,
Noruega, Países Bajos, Polonia, Portugal, Reino Unido, República Checa, República de Macedonia del
Norte, Rumanía, Serbia, Suecia, Suiza y Turquía.
COMITÉ EUROPEO DE NORMALIZACIÓN

European Committee for Standardization
Comité Européen de Normalisation
Europäisches Komitee für Normung
CENTRO DE GESTIÓN: Rue de la Science, 23, B-1040 Brussels, Belgium
© 2022 CEN. Derechos de reproducción reservados a los Miembros de CEN.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 -4-
Índice
Prólogo europeo .................................................................................................................................5
Declaración ...........................................................................................................................................5
Prólogo ...................................................................................................................................................6
0 Introducción ........................................................................................................................7
1 Objeto y campo de aplicación........................................................................................7
2 Normas para consulta ......................................................................................................7
3 Términos y definiciones..................................................................................................8
4 Términos abreviados .......................................................................................................9
5 Sistema de evaluación de los niveles de limpieza de superficies ....................9

5.1 ISO-SCP ..................................................................................................................................9
5.2 Designación ...................................................................................................................... 12
5.3 Información general de los niveles de limpieza de superficies
concentración de partículas ....................................................................................... 12
6 Demostración de la conformidad ............................................................................. 12

6.1 Principio ............................................................................................................................ 12
6.2 Ensayo................................................................................................................................. 13
6.3 Informe de ensayo.......................................................................................................... 13
Anexo A (Informativo) Características de la superficie................................................ 16
Anexo B (Informativo) Descriptor para rangos de tamaño de partículas

específicos ....................................................................................... 20
Anexo C (Informativo) Parámetros influyentes en las evaluaciones de los

niveles de clasificación SCP ....................................................... 23
Anexo D (Informativo) Métodos de medición para la determinación de la

limpieza de la superficie mediante concentración
de partículas ................................................................................... 25
Bibliografía ........................................................................................................................................ 35
-5- UNE-EN ISO 14644-9:2022
Prólogo europeo
El texto de la Norma EN ISO 14644-9:2022 ha sido elaborado por el Comité Técnico ISO/TC 209 Salas
limpias y ambientes controlados asociados en colaboración con el Comité Técnico CEN/TC 243
Tecnología de salas limpias, cuya Secretaría desempeña BSI.
Esta norma europea debe recibir el rango de norma nacional mediante la publicación de un texto
idéntico a ella o mediante ratificación antes de finales de noviembre de 2022, y todas las normas
nacionales técnicamente divergentes deben anularse antes de finales de noviembre de 2022.
Se llama la atención sobre la posibilidad de que algunos de los elementos de este documento estén
sujetos a derechos de patente. CEN no es responsable de la identificación de dichos derechos de patente.
Esta norma anula y sustituye a la Norma EN ISO 14644-9:2012.
Cualquier comentario o pregunta sobre este documento deberían dirigirse al organismo nacional de
normalización del usuario. En la web de CEN se puede encontrar un listado completo de estos
organismos.
De acuerdo con el Reglamento Interior de CEN/CENELEC, están obligados a adoptar esta norma europea
los organismos de normalización de los siguientes países: Alemania, Austria, Bélgica, Bulgaria, Chipre,
Croacia, Dinamarca, Eslovaquia, Eslovenia, España, Estonia, Finlandia, Francia, Grecia, Hungría, Irlanda,
Islandia, Italia, Letonia, Lituania, Luxemburgo, Malta, Noruega, Países Bajos, Polonia, Portugal, Reino
Unido, República Checa, República de Macedonia del Norte, Rumanía, Serbia, Suecia, Suiza y Turquía.
Declaración
El texto de la Norma ISO 14644-9:2022 ha sido aprobado por CEN como Norma EN ISO 14644-9:2022
sin ninguna modificación.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 -6-
Prólogo
ISO (Organización Internacional de Normalización) es una federación mundial de organismos
nacionales de normalización (organismos miembros de ISO). El trabajo de elaboración de las Normas
Internacionales se lleva a cabo normalmente a través de los comités técnicos de ISO. Cada organismo
miembro interesado en una materia para la cual se haya establecido un comité técnico, tiene el derecho
de estar representado en dicho comité. Las organizaciones internacionales, gubernamentales y no
gubernamentales, vinculadas con ISO, también participan en el trabajo. ISO colabora estrechamente con
la Comisión Electrotécnica Internacional (IEC) en todos los temas de normalización electrotécnica.
En la Parte 1 de las Directivas ISO/IEC se describen los procedimientos utilizados para desarrollar este
documento y aquellos previstos para su mantenimiento posterior. En particular debería tomarse nota
de los diferentes criterios de aprobación necesarios para los distintos tipos de documentos ISO. Este
documento ha sido redactado de acuerdo con las reglas editoriales de la Parte 2 de las Directivas ISO/IEC
(véase www.iso.org/directives).
Se llama la atención sobre la posibilidad de que algunos de los elementos de este documento puedan
estar sujetos a derechos de patente. ISO no asume la responsabilidad por la identificación de alguno o
todos los derechos de patente. Los detalles sobre cualquier derecho de patente identificado durante el
desarrollo de este documento se indicarán en la Introducción y/o en la lista ISO de declaraciones de
patente recibidas (véase www.iso.org/patents).
Cualquier nombre comercial utilizado en este documento es información que se proporciona para
comodidad del usuario y no constituye una recomendación.
Para una explicación de la naturaleza voluntaria de las normas, el significado de los términos específicos
de ISO y las expresiones relacionadas con la evaluación de la conformidad, así como la información
acerca de la adhesión de ISO a los principios de la Organización Mundial del Comercio (OMC) respecto a
los Obstáculos Técnicos al Comercio (OTC), véase www.iso.org/iso/foreword.html.
Este documento ha sido elaborado por el Comité Técnico ISO/TC 209 Salas limpias y ambientes
controlados asociados, en colaboración con el Comité Europeo de Normalización (CEN) Comité Técnico
CEN/TC 243 Tecnología de salas limpias, conforme al acuerdo de cooperación técnica entre ISO y CEN
(Acuerdo de Viena).
Esta segunda edición anula y sustituye a la primera edición (ISO 14644-9:2012) que ha sido revisada
técnicamente. Los cambios son los siguientes:
– se ha cambiado “clase” (clasificación, clasificado) por nivel de clasificación o evaluación según ha sido
apropiado;
– se ha eliminado la Norma ISO 14644-6 del texto de apertura del capítulo 3 y, por consiguiente, del
capítulo 2;
– se ha eliminado la entrada 3.8 del capítulo 3;
– se han sustituido las Normas ISO 4287 e ISO 4288 por las Normas ISO 21920-2 e ISO 21920-3
respectivamente;
– se han sustituido las Normas ISO 16232-2, ISO 16232-3, ISO 16232-4 e ISO 16232-5 por la Norma
ISO 16232;
– se han realizado cambios editoriales menores.
En el sitio web de ISO se puede encontrar un listado de todas las partes de la serie de Normas ISO 14644.
Cualquier comentario o pregunta sobre este documento deberían dirigirse al organismo nacional de
normalización del usuario. En www.iso.org/members.html se puede encontrar un listado completo de
estos organismos.
-7- UNE-EN ISO 14644-9:2022
0 Introducción
Las salas limpias y los locales anexos controlados permiten el control de la contaminación hasta niveles
apropiados para llevar a cabo actividades sensibles a la contaminación. Los productos y procesos que
se benefician del control de la contaminación incluyen industrias tales como la aeroespacial,
microelectrónica, óptica, nuclear y ciencias de la vida (farmacéuticas, dispositivos médicos, alimentaria
y salud).
Las Normas ISO 14644-1 a la ISO 14644-8, y la Norma ISO 14698-1 y ISO 14698-2 tratan exclusivamente
de las partículas en suspensión y de la contaminación química. Además de la evaluación de limpieza de
superficies deberían considerarse otros factores en el diseño, especificación, funcionamiento y control
de las salas limpias y otros locales controlados. Estos factores están cubiertos más detalladamente en
otras partes de las Normas ISO 14644 e ISO 14698.
Este documento proporciona un proceso analítico para la determinación y designación de los niveles de
limpieza de superficies basada en las concentraciones de partículas. Este documento también enumera
algunos métodos de ensayo, así como los procedimientos para determinar la concentración de
partículas en superficies.
Cuando las agencias reguladoras impongan pautas adicionales o restricciones, podrían requerirse
adaptaciones apropiadas de los procedimientos de ensayo.
NOTA Cuando se evalúa la limpieza de una superficie por concentración de partículas (SCP), se utiliza un punto de control
crítico como un atributo de limpieza adicional para la clasificación de la limpieza del aire por concentración de
partículas conforme a la Norma ISO 14644-1, se puede describir el espacio como sala limpia o zona limpia. Si se utiliza
solamente SCP, el espacio se describe como zona controlada.
1 Objeto y campo de aplicación

Este documento establece un procedimiento para la evaluación de los niveles de limpieza de partículas
de superficies sólidas en salas limpias y aplicaciones de locales anexos controlados. En los anexos A al
D, se indican recomendaciones sobre los ensayos y los métodos de medición, así como información sobre
las características de las superficies.
Este documento se aplica a todas las superficies sólidas en salas limpias y locales anexos controlados,
tales como paredes, techos, suelos, ambientes de trabajos, herramientas, equipos y productos. El
procedimiento para la evaluación de la limpieza de superficies mediante concentración de partículas
(SCP) se limita a las partículas comprendidas entre 0,05 m y 500 m.
Los siguientes aspectos no se consideran en este documento:
– los requisitos para la limpieza y la adecuación de superficies para procesos específicos;
– los procedimientos para la limpieza de superficies;
– las características de los materiales;
– las referencias a las fuerzas de unión interactivas o a procesos de generación que están normalmente
en función del tiempo y que dependen del proceso;
– la selección y el uso de métodos estadísticos para la evaluación y para los ensayos;
– otras características de las partículas, tales como carga electrostática, cargas iónicas y estado
microbiológico.
2 Normas para consulta

No existen normas para consulta en este documento.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 -8-
3 Términos y definiciones
Para los fines de este documento, se aplican los términos y definiciones siguientes.
ISO e IEC mantienen bases de datos terminológicas para su utilización en normalización en las siguientes
direcciones:
– Plataforma de búsqueda en línea de ISO: disponible en http://www.iso.org/obp
– Electropedia de IEC: disponible en http://www.electropedia.org/
3.1 descriptor para rangos específicos de tamaño de partículas:

Descriptor diferencial que expresa el nivel de limpieza de las superficies por concentración de partículas
(SCP, Surface cleanliness by particle concentration) dentro de los rangos específicos de tamaño de las
partículas.
NOTA 1 El descriptor puede aplicarse a rangos de tamaño de partículas de interés especial o a aquellos rangos de tamaño de
partículas que están fuera del rango del sistema de clasificación, y que están especificados independientemente o
como un suplemento de los niveles SCP.
3.2 método de medición directa:

Evaluación de la contaminación sin ningún paso intermedio.
3.3 método de medición indirecta:

Evaluación de la contaminación con pasos intermedios.
3.4 superficie sólida:

Límite entre el sólido y una segunda fase.
3.5 partículas de superficies:

Materia sólida y/o líquida adherida y discretamente distribuida en una superficie de interés, excluyendo
materia en forma de película que cubra toda la superficie.
NOTA 1 Las partículas de superficie están adheridas mediante interacciones químicas y/o físicas.
3.6 limpieza de superficies mediante concentración de partículas, SCP:

Condición de una superficie con respecto a su concentración de partículas
NOTA 1 La limpieza de superficies depende de las características del material y del diseño, de las cargas de esfuerzo
(complejidad de las cargas que actúan sobre una superficie) y las condiciones ambientales prevalentes, a la vez que
otros factores.
3.7 limpieza de superficies según nivel de concentración de partículas; nivel de clasificación

SCP:
Número de la clasificación que indica la concentración máxima permitida sobre una superficie, en
partículas por metro cuadrado, para un tamaño de partículas dado [niveles 1 a 8 de limpieza de
superficies por concentración de partículas (SCP) en los que el nivel 1 representa el nivel más alto de
limpieza].
3.8 concentración de partículas en superficies:

Número de partículas individuales por unidad de área de superficie en consideración.
-9- UNE-EN ISO 14644-9:2022
4 Términos abreviados
Para los propósitos de este documento, se aplican los siguientes términos abreviados.
AFM Microscopía de fuerza atómica

CNC Contador de núcleos de condensación
EDX Espectroscopia de rayos X por dispersión de energía
ESCA Espectroscopia de electrones para análisis químicos
ESD Descarga electrostática
IR Infrarrojo (espectroscopia de absorción)
OPC Contador óptico de partículas
PET Tereftalato de polietileno
SCP Limpieza de superficies por concentración de partículas
SEM Microscopía electrónica de barrido
UV Ultravioleta (espectroscopia)
WDX Espectroscopia de rayos X por longitud de onda dispersiva
5 Sistema de evaluación de los niveles de limpieza de superficies
5.1 Formato de nivel de clasificación ISO-SCP

El nivel de SCP en una sala limpia o en un local anexo controlado debe designarse mediante un número
de clasificación del nivel de limpieza, N, especificando la concentración máxima total de partículas
permitida sobre la superficie para un tamaño de partícula considerado. N debe determinarse a partir de
la fórmula (1) que expresa la concentración máxima total de partículas permitida en la superficie, CSCP;D,
en partículas por metro cuadrado de superficie, para cada tamaño de partícula considerado, D:
10 N
CSCP;D = k (1)
D
donde
CSCP;D es la concentración de superficie total máxima permitida, en partículas por metro cuadrado de
superficie, de partículas con el mismo tamaño o mayor que el tamaño de partícula considerado;
CSCP;D se redondea al número entero más próximo, utilizando como mucho tres cifras
significativas;
N es el número de clasificación del nivel de limpieza SCP, que está limitado desde el nivel de
clasificación SCP 1 a al nivel de clasificación SCP 8; el número del nivel de clasificación SCP N
se cualifica mediante el diámetro de partícula D, medido en micrómetros;
NOTA N hace referencia al exponente de base 10 para la concentración de partículas con el tamaño de partículas
de referencia de 1 m.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 10 -
D es el tamaño de partícula considerado, en micrómetros;
k es una constante 1, en micrómetros.
NOTA 1 El nivel de clasificación SCP basado en la concentración de partículas puede ser un valor dependiente del proceso y
del tiempo debido a las características dinámicas de la generación y transporte de partículas.
NOTA 2 Debido a la complejidad de las evaluaciones estadísticas y a las referencias adicionales de fácil acceso, la selección y
uso de los métodos estadísticos para los ensayos no se describen en este documento.
La concentración CSCP;D según se deriva de la fórmula (1), debe servir como valor definitivo. La tabla 1
presenta los niveles de clasificación SCP seleccionadas y el valor acumulado máximo permitido de las
concentraciones de partículas de superficie para los tamaños de partículas considerados.
La figura 1 proporciona, de forma gráfica, una representación de los niveles de clasificación de partículas
en superficie.
Tabla 1 – Niveles de clasificación SCP seleccionados para salas limpias

y locales anexos controlados
Unidades en partículas por metro cuadrado
Tamaño de partícula
Nivel SCP
≥ 0,05 µm ≥ 0,1 µm ≥ 0,5 µm ≥ 1 µm ≥ 5 µm ≥ 10 µm ≥ 50 µm ≥ 100 µm ≥ 500 µm
Nivel SCP 1 (200) 100 20 (10)
Nivel SCP 2 (2 000) 1 000 200 100 (20) (10)
Nivel SCP 3 (20 000) 10 000 2 000 1 000 (200) (100)
Nivel SCP 4 (200 000) 100 000 20 000 10 000 2 000 1 000 (200) (100)
Nivel SCP 5 1 000 000 200 000 100 000 20 000 10 000 2 000 1 000 (200)
Nivel SCP 6 (10 000 000) 2 000 000 1 000 000 200 000 100 000 20 000 10 000 2 000
Nivel SCP 7 10 000 000 2 000 000 1 000 000 200 000 100 000 20 000
Nivel SCP 8 10 000 000 2 000 000 1 000 000 200 000
Los valores de la tabla 1 son las concentraciones, para el tamaño de partículas y el nivel SCP considerados y para un área de superficie de un
metro cuadrado (1 m2), en partículas de tamaño igual o mayor que el tamaño de partícula considerado (CSCP;D).
Para las cifras entre paréntesis, los tamaños correspondientes de partículas no deberían utilizarse para los propósitos de determinación del
nivel; se selecciona otro tamaño de partícula para una determinación más precisa.
El área mínima para el ensayo debería ser, desde un punto de vista estadístico, representativa de la superficie bajo consideración.
NOTA La evaluación de los niveles SCP inferiores requiere numerosas mediciones para establecer un valor significativo.
- 11 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
Leyenda
X Tamaño de la partícula considerada, D (m)
Y Concentración de partículas sobre una superficie  D, CSCP;D (partículas/m2)
1 Nivel de clasificación SCP 1
Las líneas continuas mostradas en el gráfico deben utilizarse con propósitos evaluación del nivel. Las líneas discontinuas no
deberían utilizarse para propósitos de evaluación del nivel.
NOTA La distribución de partículas en superficies, típicamente no es una distribución normal, pero se ve afectada por
diferentes factores, tales como la rugosidad, porosidad, carga electroestática y mecanismos de deposición (véase el
anexo A).
EJEMPLO El nivel de clasificación SCP 5 (1 m) significa que 1 m2 de superficie puede transportar un máximo
de 105 partículas con un tamaño de partícula considerado  1 m (D = 1). El nivel de clasificación
SCP5 (10 m) significa que 1 m2 de superficie puede transportar un máximo de 104 partículas por m2
con un tamaño de partículas considerado de  10 m (D = 10). Cualquier otro tamaño de partícula
medido (D = x) que lleve a una concentración que esté por debajo de la línea SCP relevante, está
dentro de la especificación del nivel de clasificación SCP 5 (x m).
Figura 1 – Niveles de clasificación SCP
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 12 -
Para tamaños de partículas fuera de los límites del sistema de numeración de niveles y en casos donde
solo un estrecho rango de partículas o tamaños de partículas individuales son de interés, puede
utilizarse un descriptor (véase el anexo B).
5.2 Designación
El número de nivel de clasificación SCP debe formarse como sigue: nivel de clasificación SCP N (D m).
La designación del nivel SCP para salas limpias y locales anexos controlados debe incluir también lo
siguiente:
a) el tipo de superficie medida;
b) el área de superficie medida;
c) el método de medición aplicado.
Los detalles de los métodos de medición aplicados, incluyendo las técnicas de muestreo y dispositivos
de medición, deberían sacarse de los informes de ensayo.
El tamaño de partícula considerado debería determinarse mediante un acuerdo entre el cliente y el

proveedor.
El nivel de clasificación SCP debe indicarse en relación con el tamaño del diámetro de la partícula
medida.
EJEMPLO 1 Nivel de clasificación SCP 2 (0,1 m): placa o sustrato de vidrio, área de superficie: 310 cm2; contador
de partículas de superficie.
EJEMPLO 2 Nivel de clasificación SCP 5 (0,5 m): pared interior de una botella, área de superficie: 200 cm 2;
dispersión de líquido – contador de partículas de líquido.
5.3 Información general de los niveles de limpieza de superficies concentración de

partículas
La concentración de partículas en suspensión y la concentración de partículas de superficie están
generalmente relacionadas. La relación depende de muchos factores, como la turbulencia del caudal de
aire, tasa de deposición, tiempo de deposición, velocidad de deposición, concentración en el aire, y
características de la superficie tales como carga electrostática (véase A.2.4).
Para determinar la SCP, deberían tenerse en cuenta varios parámetros (véase el anexo C) y
características de la superficie (véase el anexo A) que influyen en el ensayo.
6 Demostración de la conformidad
6.1 Principio
La conformidad con los requisitos del grado de limpieza del nivel SCP, según lo especificado por el
cliente, se verifica mediante la realización de ensayos y proporcionando documentación de los
resultados y condiciones del ensayo.
- 13 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
Los detalles sobre la demostración de la conformidad (véase 6.3) deben acordarse entre el cliente y el
proveedor previamente al ensayo.
6.2 Ensayo
Los ensayos realizados para demostrar la conformidad deben realizarse en un ambiente controlado,
utilizando métodos de ensayo apropiados e instrumentos calibrados, siempre que sea posible.
Métodos de ensayos directos e indirectos pueden utilizarse para demostrar conformidad y se indican en
el anexo D. La lista de los métodos típicos descritos no es exhaustiva. Otros métodos con una exactitud
comparable pueden especificarse mediante acuerdo.
NOTA Las mediciones efectuadas mediante diferentes métodos, incluso cuando se aplican correctamente, pueden producir
diferentes resultados de igual validez.
Se recomienda la repetición de las mediciones.
El método y el ambiente de ensayo deben acordarse entre el cliente y el proveedor.
Deberían tomarse precauciones para reducir la carga electroestática alrededor de la zona de ensayo, ya
que la carga electrostática promueve la deposición de partículas sobre las superficies. Si la superficie no
es conductiva, ni con toma de tierra o de carga neutralizada, pueden aparecer cargas electrostáticas
(véase el anexo A). Por consiguiente, los resultados del ensayo pueden variar.
6.3 Informe de ensayo

Los resultados del ensayo de cada superficie deben registrarse y presentarse como un informe completo,
junto con una declaración de conformidad o de no conformidad con los niveles de clasificación SCP
especificados).
El informe de ensayo debe incluir como mínimo lo siguiente:
a) datos básicos:
– fecha y hora de ensayo;
– nombre y dirección de la organización de ensayo;
– nombre del personal a cargo del ensayo;
b) referencias consultadas:
– normas;
– guías;
– reglamentaciones;
– número y año de publicación de este documento, es decir ISO 14644-9:2022;
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 14 -
c) datos ambientales:
– condiciones ambientales para el muestreo (es decir temperatura, humedad, limpieza);
– condiciones ambientales para las mediciones (es decir temperatura, humedad, limpieza) (no
esencial para el uso de métodos directos);
– localización (sala, etc.) utilizada para las mediciones;
d) muestra:
– clara identificación del objeto sometido a ensayo;
– descripción del objeto sometido a ensayo;
– gráfico y/o boceto de la muestra de ensayo;
e) configuración del ensayo:
– foto y/o boceto de la configuración de ensayo;
– descripción de los parámetros de funcionamiento;
– descripción de los puntos de medición;
– descripción del material informático utilizado en la configuración del ensayo;
f) dispositivos de medición:
– identificación de los instrumentos y de los dispositivos de medición utilizados y de los

certificados de calibración actualizados;
– rango de medición de los dispositivos de medida utilizados;
– referencia de los certificados de calibración;
g) realización del ensayo:
– detalles relevantes del procedimiento de ensayo utilizado, con cualquier información disponible
que describa las desviaciones del procedimiento de ensayo (si se acuerda);
– estado de la superficie antes del muestreo (por ejemplo, después de la limpieza, después del
empaquetado, bajo condiciones atmosféricas o de vacío);
– ensayo especificado y método o procedimiento de medición;
– estados de ocupación durante el muestreo y medición;
– métodos de ensayo especificados;
- 15 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
– toda la documentación acordada (por ejemplo, datos sin procesar, historial de las
concentraciones de partículas, imágenes, gráficos, limpieza y embalaje);
– duración, localización y posición del muestreo (no esencial para el uso de métodos directos);
– duración, localización y posición de la medición (no esencial para el uso de métodos directos);
– observaciones destacables realizadas durante el muestreo o medición, cuando sea aplicable;
– número de mediciones realizadas;
– clara identificación de la posición y del área de la superficie medida y designaciones específicas

de las coordenadas de la superficie, cuando sea de aplicación;
h) resultados y análisis:
– inspección visual de la superficie de ensayo antes y después de las mediciones, cuando sea
aplicable;
– valores medidos y/o sus análisis;
– declaración de la calidad de la información;
– rangos del tamaño de partículas considerados;
– resultados de ensayo, incluyendo información sobre la concentración de partículas para los

tamaños de partículas dados, para todos los ensayos realizados;
– nivel de clasificación SCP con designación expresada como nivel de clasificación de limpieza
SCP N;
– criterios de aceptación de la superficie limpia, si se acuerda entre el cliente y el proveedor.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 16 -
Anexo A (Informativo)
Características de la superficie
A.1 Descripción de la superficie

Una superficie se caracteriza comúnmente por su textura (por ejemplo, la rugosidad, la porosidad), sus
propiedades mecánicas (por ejemplo, la dureza) y sus propiedades fisicoquímicas (como la carga
electrostática de superficie y tensión superficial). Cada una de estas propiedades debería considerarse
antes de seleccionar un método de ensayo para la evaluación de la limpieza de la superficie, o como una
ayuda para la interpretación de los resultados de ensayo.
A.2 Características de la superficie
A.2.1 Rugosidad
A.2.1.1 Descripción
Como la rugosidad de la superficie afecta a muchas de sus propiedades físicas, la misma no puede
describirse sencillamente por medio de un único parámetro, tampoco es una propiedad intrínseca de la
superficie. La rugosidad existe en dos planos principales: en ángulos rectos a la superficie, donde puede
caracterizarse por la altura, y en el plano de la superficie, identificado como “textura” y caracterizada
por su ondulación. La rugosidad de la superficie puede determinarse mediante métodos mecánicos u
ópticos.
A.2.1.2 Ensayo
Un método mecánico utilizado frecuentemente para la determinación de la rugosidad es el estilete (por
ejemplo, véanse las Normas ISO 21920-2 o ISO 21920-3).
Los métodos ópticos frecuentemente utilizados para la determinación de la rugosidad y la porosidad de

la textura son los microscopios (ópticos, confocales, interferométricos, con o sin efecto túnel, cono de
seccionamiento).
A.2.2 Porosidad
A.2.2.1 Definición y descripción

La porosidad es una medida de los espacios vacíos de un material, y se expresa como un decimal entre
0 y 1, o como un porcentaje entre 0% y 100%.
– La porosidad efectiva (también denominada porosidad abierta) hace referencia a la fracción del
volumen total en el cual el flujo de fluido se produce realmente (esto excluye los poros sin salida o
las cavidades no conectadas).
– La macroporosidad hace referencia a poros con un diámetro igual o superior a 50 nm. El flujo de
fluido a través de los macroporos se describe mediante difusión a granel.
- 17 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
– La mesoporosidad hace referencia a poros con un diámetro igual o superior a 2 nm, pero menor de
50 nm.
– La microporosidad hace referencia a poros con un diámetro inferior a 2 nm. El movimiento en los
microporos se activa por difusión.
A.2.2.2 Ensayo
Hay varias formas de estimar la porosidad de un material dado o de una mezcla de materiales, lo cual se
llama matriz de los materiales.
El método de la densidad/volumen es rápido y altamente preciso (normalmente dentro del ± 2% de

la porosidad real). Se miden el volumen y el peso del material. El peso del material dividido entre la
densidad del material nos da el volumen que el material ocupa, menos el volumen de los poros. Por
consiguiente, el volumen de los poros es simplemente igual al volumen total menos el volumen del
material, es decir, (volumen de los poros) = (volumen total) – (volumen del material).
El método de la saturación del agua es ligeramente más difícil de realizar, pero es más preciso y
directo. Se utiliza un volumen conocido de material y un volumen conocido de agua. Se arroja lentamente
el material en el agua y se permite que sature mientras se derrama. Se deja reposar durante unas horas
para asegurar que el material esté completamente saturado. Luego se retira el agua insaturada de la
parte superior del vaso y se mide su volumen. El volumen total del agua originalmente en el vaso menos
el volumen del agua no saturada es el volumen de espacio de los poros, es decir, (volumen de los poros)
= (volumen total del agua) – (agua insaturada).
La porosimetría por intrusión de mercurio requiere que la muestra se coloque en un dispositivo de

llenado especial que permita evacuar la muestra, seguida de la introducción del mercurio líquido. El
tamaño de la envolvente de mercurio se mide entonces como una función del incremento de presión
aplicada. Cuanto mayor sea la presión aplicada, menor será el poro penetrado por el mercurio.
Típicamente este método se utiliza para unos poros de un rango desde 300 m hasta 0,0 035 m. Debido
al incremento de las preocupaciones sanitarias sobre el uso del mercurio, se han desarrollados
numerosas técnicas de intrusión sin mercurio y deberían considerarse como alternativas.
El método de absorción de gas nitrógeno se utiliza para determinar la porosidad fina en los
materiales. En poros muy pequeños, el gas nitrógeno se condensa en las paredes de los poros que tienen
un diámetro inferior a 0,090 m. Esta condensación se mide bien en volumen o en peso.
A.2.3 Dureza
Hay muchas normas nacionales e internacionales sobre ensayos de dureza para cada tipo de material.
La dureza se mide frecuentemente mediante la fuerza de penetración de una bola o una punta de
diamante, mediante la hendidura de un cuerpo duro o mediante las propiedades de rebote de un
péndulo.
Los métodos de Rockwell, Brinell, Shora y Vickers para métales están cubiertos por la ASTM E18-07. La
geometría y la presión se eligen al comienzo del ensayo, como función del espesor de la muestra, la
composición del metal y de la dureza supuesta.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 18 -
A.2.4 Electricidad estática
A.2.4.1 Definición y descripción

La electricidad estática se define como la carga eléctrica causada por un desequilibrio de electrones en
la superficie de un material. Este desequilibrio de electrones produce un campo electrostático que puede
influir en la determinación de la limpieza de la superficie de los objetos. La descarga electrostática (ESD,
electrostatic discharge) se define como la transferencia de carga entre cuerpos a diferentes potenciales
eléctricos.
Cualquier desplazamiento relativo y separación física de materiales o flujos de sólidos, líquidos, o gases
cargados de partículas puede generar cargas electrostáticas. Las fuentes comunes de ESD incluyen al
personal, a los elementos hechos de materiales poliméricos comunes, y a los equipos de procesamiento.
La ESD puede dañar partes por contacto directo con una fuente cargada o mediante campos eléctricos
que emanan de objetos cargados.
Las superficies cargadas pueden atraer y contener partículas contaminantes. Si el método de medición
seleccionado para determinar la limpieza de la superficie se basa en una detección indirecta de las
partículas sobre las superficies (véase D.2.3.3.5), estos resultados de las mediciones podrían ser
inexactos, ya que la retirada de partículas se ve disminuida. Por lo tanto, especialmente cuando se
utilicen métodos indirectos de medición, deberían tomarse medidas para reducir los efectos de la ESD.
A.2.4.2 Ensayo
La determinación de las propiedades del ESD de las superficies de la muestra puede ser útil para evaluar
la influencia de la eficacia de retirada de partículas de la superficie (por ejemplo, Normas IEC 61340-5-1,
ISO 10015, IEST RP-CC022.2, SEMI E43-0301, SEMI E78-0706).
A.2.5 Tensión superficial
A.2.5.1 Definición
La tensión superficial es la energía necesaria para incrementar la superficie por unidad de área.
Normalmente se define como γ y se expresa en Julios por metro cuadrado (J/m2) o en Newton por metro
(N/m).
A.2.5.2 Ensayo
El método más conocido es la medición del ángulo de contacto mediante la “gota yacente”, véase la
referencia [19].
Cuando una gota de líquido se pone en contacto con una superficie sólida plana, su forma depende de la
fuerza molecular dentro del líquido por la fuerza de cohesión, o entre el líquido y el sólido por la fuerza
de adhesión. El ángulo de contacto entre el líquido y el sólido se utiliza como índice de tensión superficial
(véase la figura A.1). En general se ha encontrado que los líquidos con baja tensión superficial
humedecen fácilmente la mayoría de las superficies sólidas, dando un ángulo de contacto igual a cero.
La adhesión molecular entre el sólido y el líquido es superior a la cohesión entre las moléculas del
líquido.
La medición del ángulo de contacto se realiza con un método óptico (10 a 50) agrandando el perfil de
la gota yacente sobre la superficie sólida plana.
- 19 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
Leyenda
1 Gas
2 Líquido
3 Sólido
Figura A.1 – Forma de una gota de líquido en contacto con una superficie sólida
cuando el ángulo de contacto es θ < 90°
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 20 -
Anexo B (Informativo)
Descriptor para rangos de tamaño de partículas específicos
B.1 Aplicación
Para partículas fuera del rango del sistema de niveles de clasificación de limpieza, puede utilizarse un
descriptor diferencial. Este descriptor también puede utilizarse para rangos de tamaño de partículas
específicos que sean de especial interés. En estos casos, el descriptor puede utilizarse además de los
niveles de clasificación SCP.
B.2 Descriptor de superficie para rangos de tamaño de partículas específicos

El descriptor Nss (concentración numérica de partículas de un rango de tamaño de partículas específico)
para rangos de tamaños de partículas específicos puede especificarse independientemente o como un
suplemento de las clases SCP. El descriptor puede aplicarse a cualquier rango de tamaño de partículas
de interés especial.
La concentración de partículas de superficie Cs dentro del rango de tamaño de partículas DL y DU es un

valor diferencial.
El Nss para un único rango de tamaño de partículas se expresa según la fórmula (B.1):
Nss (Cs; DL; DU) a; b (B.1)
donde
Cs es la concentración de superficie máxima total permitida, en partículas por metro cuadrado de

superficie, del rango de tamaño de partículas especifico;
DL es el límite inferior del rango de tamaño de partículas especificado, en micrómetros;
DU es el límite superior del rango de tamaño de partículas especificado, en micrómetros;
a es el método de medición utilizado para determinar el tamaño de las partículas en el rango

especificado;
b es la superficie considerada.
EJEMPLO 1 Para la concentración de partículas sobre una superficie metálica en el rango de tamaño de partículas
entre 1 m y 5 m, el valor requerido es 10 000 partículas/m2 (1,0 partículas/cm2). La concentración
de partículas se mide mediante un microscopio óptico. La designación es:
Nss (10 000; 1; 5) microscopio óptico; superficie metálica
- 21 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
Si se utilizan dos o más rangos, se aplica la fórmula (B.2). Nss se expresa de la siguiente forma:
 C s1 ; DL1 ; DU1  a1 ; b 
  
 C s2 ; DL2 ; DU2  a2 ; b 
Nss  ...  ... 
(B.2)
  
 C ; D ; D  a ; b 
 si Li Ui
 i 
 ...  ... 
  
donde
Csi es la concentración de superficie máxima total permitida, en partículas por metro cuadrado de
superficie, del rango de tamaño de partículas i-th;
DLi es el límite inferior del rango de tamaño de partículas i-th, en micrómetros;
DUi es el límite superior del rango de tamaño de partículas i-th, en micrómetros;
ai es el método de medición utilizado para determinar el tamaño de las partículas en el rango i-th;
b es la superficie considerada.
EJEMPLO 2 Para la concentración de partículas sobre una placa de vidrio, basándose en el uso simultáneo de
escáner de luz difusa en el rango de tamaño de partículas entre 0,1 m y 0,5 m, y un microscopio
óptico en el rango de tamaño de partículas entre 5 µm y 20 µm, los valores medidos son
9 000 partículas/m2 (0,9 partículas/cm2) y 500 partículas/m2 (0,05 partículas/cm2),
respectivamente. Los valores están dentro de los límites máximos permitidos de
10 000 partículas/m2 y 500 partículas/m2, respectivamente. La designación es:
(
N ss 10 000; 0,1; 0, 5
500; 5; 20 ) escáner de luz difusa; placa de vidrio
microscopio óptico; placa de vidrio
Cuando no están predefinidos unos métodos de medición y/o unas superficies específicas o no son
esenciales, las designaciones a y b pueden omitirse. En este caso, el descriptor se expresa según la
fórmula (B.3):
Nss (Cs; DL; DU) (B.3)
donde
Cs es la concentración de superficie máxima total permitida, en partículas por metro cuadrado de

superficie, de un rango de tamaño de partículas especifico;
DL es el límite inferior del rango de tamaño de partículas especifico, en micrómetros;
DU es el límite superior del rango de tamaño de partículas especifico, en micrómetros.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 22 -
Cuando solo uno de los tamaños de partículas es de interés, pueden utilizarse los límites superior e
inferior en la fórmula (B.3) para enmarcar el tamaño de partículas de interés, mediante un acuerdo entre
el cliente y el proveedor.
EJEMPLO 3 Para las partículas de tamaño 5 m, el valor requerido es 200 partículas/m2 (0,02 partículas/cm2).
DL puede fijarse en 4,5 m y DU en 5,5 m. La designación es:
Nss (200; 4,5; 5,5)
Cuando no se predefinen métodos de medición y/o superficies específicas o no son esenciales, las
designaciones a y b pueden omitirse. El descriptor para dos o más rangos de tamaño de partículas se
expresa según la fórmula (B.4):
 C s1 ; DL1 ; DU1 
 
 C s2 ; DL2 ; DU2 
 
Nss  ...  (B.4)
 
 C si ; DLi ; DUi 
 
 ... 
 
EJEMPLO 4 Para la concentración de partículas en los rangos de tamaño de partículas entre 0,1 m y 0,5 m y
entre 5 m y 20 m, los valores medidos son 9 000 partículas/m 2 (0,9 partículas/cm2) y
500 partículas/m2 (0,05 partículas/cm2), respectivamente. Los valores están dentro de los límites
máximos permitidos de 10 000 partículas/m2 y 500 partículas/m2, respectivamente. La designación
es:
(
N ss 10 000; 0,1; 0, 5
500; 5; 20 ) escáner de luz difusa; placa de vidrio
microscopio óptico; placa de vidrio
- 23 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
Anexo C (Informativo)
Parámetros influyentes en las evaluaciones

de los niveles de clasificación SCP
C.1 Generalidades
En el capítulo C.2 se presentan los parámetros que pueden influir en el ensayo y medición de las
superficies. La información no es exhaustiva y no hay clasificación. En el anexo D se da información más
detallada sobre los métodos de medición y sobre las características de las superficies.
C.2 Parámetros
C.2.1 Propiedades físico o químicas

– Estados de tensión superficial. La atracción y retirada de partículas podría verse influenciada, por
ejemplo, por las características cohesivas o adhesivas y/o las propiedades hidrofílicas o hidrofóbicas
de la superficie.
– Porosidad de la superficie. En la mayoría de los casos, cuanto más alto sea el grado de porosidad,
más compleja será la distinción entre una imperfección de la superficie y la detección de partículas.
– Facilidad de limpieza de la superficie. Cuando las superficies son difíciles de limpiar, la

discriminación entre las imperfecciones de la superficie y la detección de partículas es compleja.
– Características ópticas de la superficie. Cuando se apliquen métodos directos de ensayo, las

diferentes características ópticas de las superficies sometidas a ensayo llevarán a diferentes
resultados de medición. Esta diferencia no se señala para los métodos indirectos.
– Propiedades electroestáticas de la superficie. Las propiedades electrostáticas de la superficie

influirán en la atracción y retirada de la contaminación de ESD cargadas.
– Características magnéticas de la superficie. Las características magnéticas de la superficie

influirán en la atracción y retirada de materiales con propiedades magnéticas.
C.2.2 Forma de la superficie y de las partículas

– Morfología de la partícula (por ejemplo, redondeada, plana, ovalada, puntiaguda) y la topografía de
la superficie pueden influenciar el resultado de la medición.
– Condiciones de la superficie (por ejemplo, limpiada, extruida, pulida). La fuerza de unión de la

partícula varía dependiendo del estado de la superficie. Esta variación también afecta a la eficacia de
la retirada de partículas y a la habilidad para distinguir entre las partículas, la rugosidad y la
porosidad.
– Rugosidad, porosidad u ondulación de la superficie. La rugosidad, porosidad u ondulación

tendrán un efecto en la eficacia de la retirada de partículas en el caso de métodos indirectos.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 24 -
– Forma o geometría de las partículas. La forma de las partículas también puede tener una influencia
sobre los resultados de la medición. Por ejemplo, las partículas largas y las partículas perfectamente
redondeadas pueden llevar a los mismos valores al contador óptico de partículas después de separar
las partículas de la superficie, pero darán unos valores gravimétricos completamente diferentes. En
general, las fibras se consideran como unas partículas que tienen una relación de aspecto
(longitud/anchura) de 10 o más.
C.2.3 Habilidad para medir o analizar y estadísticas apropiadas para el análisis de

partículas
El número de mediciones debería conducir a resultados significativos desde el punto de vista estadístico.
Por consiguiente, debería utilizarse un método estadístico apropiado con respecto a la distribución de
las frecuencias de las mediciones individuales, para estimar el límite de confianza.
– Habilidad de medición o análisis. Viabilidad para realizar las mediciones, dependiendo de la

accesibilidad de los dispositivos de medición para la muestra.
EJEMPLO Realización de mediciones dentro de agujeros y microtubos.
– Habilidad para detección de partículas (métodos directos o indirectos). La habilidad de distinguir

entre partículas sedimentadas de superficie e imperfecciones de superficie (método directo) o la
separación de las partículas sedimentadas de superficie (método indirecto) influirá en el nivel de
clasificación SCP.
– Tamaño geométrico o área de superficie a medir. Dependiendo de las dimensiones geométricas

del área de la superficie a medir, deberían seleccionarse diferentes métodos. En la mayoría de los
casos deberían desarrollarse individualmente los parámetros estadísticos relativos al número de
muestras a tomar y como analizar los valores de medición.
– Capacidad en línea. Deberían tomarse numerosas mediciones para obtener una significación
estadística. La influencia de la repetitividad de las mediciones se reduce con las opciones en línea.
– Distribución de frecuencias de las mediciones individuales.
– Tamaño(s) de la partícula a medir.
– Distribución de las partículas en el área de superficie.
C.2.4 Origen de las partículas

Las partículas sobre la superficie pueden originar, por ejemplo, a partir de la fricción del material,
deterioro, deposición de partículas en suspensión en el aire o una reacción química de las materias
gaseosas con la superficie, formando productos líquidos o sólidos.
EJEMPLO 2NH 3 + H 2O + SO 3 → NH 4 ( ) 2 SO4 .
- 25 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
Anexo D (Informativo)
Métodos de medición para la determinación de la limpieza de la superficie

mediante concentración de partículas
D.1 Limpieza de la superficie mediante concentración de partículas

Para obtener información cuantitativa sobre la limpieza de la superficie, deberían seleccionarse los
métodos de medición apropiados. En algunos casos, donde la información cuantitativa no puede
comprobarse en la superficie, es posible obtener al menos un resultado cualitativo. Los resultados
cualitativos no pueden utilizarse para los niveles SCP definidos en el capítulo 5.
D.2 Criterios de medición de la limpieza de la superficie mediante concentración

de partículas
D.2.1 Generalidades
La limpieza de las superficies puede evaluarse siempre que la contaminación de partículas sea
detectable.
Como criterio cuantitativo para la evaluación y clasificación de la limpieza de una superficie, debería
determinarse el número de todas las partículas adherentes de material no deseado. Debería ser posible
determinar la dimensión y el número en relación con el área de la superficie contaminada
(contaminación de partículas de superficie).
NOTA La evaluación de la limpieza de textiles y/o superficies porosas también tiene en cuenta partículas que podrían emanar
de la muestra.
D.2.2 Requisitos del método de medición

El método de medición se selecciona esencialmente de acuerdo con los criterios determinados por la
superficie sometida a ensayo y sus características. Algunos de los requisitos más importantes se
resumen de la manera siguiente:
– información en relación con las características de las partículas (por ejemplo, tamaño de la partícula,
concentración, distribución del tamaño, material, forma, posición);
– posiciones de medición viables (dispositivo de medición portátil, por ejemplo, aplicable incluso a
grandes superficies fijas);
– mediciones independientes de las características de la superficie (es decir, rugosidad, ondulación,

forma del componente);
– velocidad de los ensayos y esfuerzos aplicados (es decir, uso de muestreo aleatorio o ensayos en
serie);
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 26 -
– flexibilidad (es decir, si el método puede implementarse rápidamente en varias superficies de

diferentes componentes);
– pequeñas o nulas alteraciones de la superficie causadas por el procedimiento de medición (es decir,
superficies de medición no alteradas como resultado de la humidificación con líquidos de lavado).
Debido a los requisitos mencionados, los métodos de medición descritos en el apartado D.2.3 pueden
enumerarse y limitarse para cada una de las aplicaciones.
D.2.3 Métodos de medición
D.2.3.1 Generalidades
Idealmente, la limpieza de una superficie se evalúa cuando las superficies de ensayo son de baja
rugosidad y se puede acceder a ellas con el dispositivo de medición elegido. En principio, los siguientes
métodos pueden utilizarse para medir la limpieza de partículas de las superficies:
– los métodos directos;
– los métodos indirectos.
En la mayoría de los casos, debería darse prioridad a los métodos directos que no requieren la toma de
muestras. Generalmente, estos métodos incluyen menor actividad de medición y se asocian con menos
errores, por lo tanto, aportan resultados más reproducibles que los métodos indirectos. Sin embargo,
dependiendo del componente y de los requisitos de fabricación (forma compleja del componente,
superficie rugosa), los métodos indirectos a menudo son la única alternativa posible para determinar la
limpieza de partículas de una superficie.
D.2.3.2 Métodos directos

Las partículas son registradas y se miden directamente sobre la superficie de ensayo. Ni la superficie del
componente ni la presencia de partículas en ella deberían alterase o verse afectada por las mediciones.
Si la superficie a ensayo requiere el transporte hasta un dispositivo de medición, el transporte
(manipulación, embalaje) debería realizarse de forma que se evite cualquier contaminación adicional
por alcance de la superficie.
Los métodos se indican en la tabla D.1 y se han caracterizado aquí de acuerdo con los requisitos a
cumplir y las limitaciones de los métodos.
- 27 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
Tabla D.1 – Comparación de los métodos de medición para la detección directa

de partículas sobre las superficies
Independencia de la superficie
Determinación de la posición
Influencia sobre la superficie

Distribución de tamaño
Análisis del material

Límites de detección
Velocidad de ensayo
Determinación de la
Análisis de la forma
Transportabilidad
Métodoa
concentración
Accesibilidad
Flexibilidad
Inspección visual > 25 µm + + + + + ++ + + ++ ++ ++
Microscopio óptico
> 1,0 µm ++ ++ + ++ ++ + + + ++ ++ ++
(con procesamiento de imagen)
Sistemas de luz lateral, oblicua,
reflejada > 0,5 µm ++ ++ + + ++ ++ + + ++ ++ ++
(con procesamiento de imagen)
Escáner de luz difusa > 0,07 µm ++ ++ — ++ ++ — — — ++ — ++
SEM > 0,01 µm + + ++ ++ ++ — — — — + +
AFM > 0,01 µm + + ++ + ++ + + + — + +
Leyenda
++ muy adecuado
+ parcialmente adecuado
— inadecuado o inútil.
a Las partículas que no son perfectamente redondas deberían medirse por su eje mayor.
La eficiencia de los métodos ópticos para detectar partículas sobre las superficies puede mejorarse
mediante el uso adicional de fuentes de luz apropiadas que se basan en efectos específicos de los
materiales (por ejemplo, actividad UV – IR). Si, por ejemplo, se utiliza una lámpara ultravioleta las
partículas físicamente activas a los rayos UVA se detectarán con un contraste mucho mayor.
Dentro del espectro de luz visible, el grado de reflexión/color puede utilizarse para una mayor
diferenciación de la contaminación de partículas.
D.2.3.3 Métodos indirectos
D.2.3.3.1 Generalidades
Ya que el contaje directo a menudo no es posible en la superficie de interés, debido a razones
relacionadas con el objeto o relacionadas con las mediciones, las muestras deberían prepararse antes
de la inspección. Las partículas que se van a registrar se desprenden de la superficie de ensayo
(muestreo) y se colocan sobre o en sustrato o medio de sustitución. Entonces las partículas se miden
utilizando una técnica adaptada para el sustrato o medio de sustitución considerado (véase
IEST-STD-CC1246D).
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 28 -
La eficacia de las medidas se reduce si no todas las partículas que se disponen en las superficies pueden
desprenderse de la superficie de ensayo por métodos indirectos.
Debido a efectos físicos o químicos, tales como la adhesión o cohesión, o fuerzas electroestáticas., la
fuerza de desprendimiento puede ser insuficiente, reduciendo la eficacia de medición de la
contaminación de partículas de superficie. Por consiguiente, es preferible la medición directa.
Sin embargo, debería tenerse cuidado si se utilizan métodos más agresivos para retirar las partículas de
la superficie, ya que tales métodos pueden erosionar una superficie y formar partículas adicionales. El
método de ensayo debería evaluarse en relación con este efecto potencial.
Cuando se utilicen métodos indirectos, debería conocer la contaminación de partículas de fondo de los
medios intermedios (por ejemplo, medio de lavado).
D.2.3.3.2 Técnicas de separación

En el caso de superficies de difícil acceso debido a la forma compleja de un componente, a menudo,
tomar muestras con partículas desprendidas es la única forma de evaluar la SCP. Cuanto más pequeñas
sean las partículas, más difícil será desprenderlas de las superficies, ya que se incrementan numerosas
fuerzas (por ejemplo, electroestáticas, cohesión, adhesión, capilaridad). Para la separación de las
partículas de la superficie a ensayo, pueden utilizarse técnicas como las siguientes:
– Cinta adhesiva. Las partículas que se van a registrar se separan utilizando un sustrato de
transferencia adhesivo limpio (cinta adhesiva o sello) (véase ASTM E1216-06) y se llevan
directamente a un proceso de medición (véase ASTM F312-08).
– Lavado. Las partículas que se van a registrar se aclaran utilizando un medio de lavado limpio, tal
como gas o líquido (véase ASTM F24-09). Las partículas contenidas en el medio de medición son
examinadas utilizando los dispositivos de medición apropiados (por ejemplo, contadores ópticos de
partículas para gases) o las partículas contenidas en el medio se depositan en un sustrato de
transferencia (filtración, impacto) y luego se miden.
En todos los casos de muestro, debería tenerse cuidado a la hora de asegurar que las muestras no se
contaminen más por los dispositivos o medios utilizados o por el personal, ya que esta contaminación
afectaría a los resultados de la medición. La contaminación introducida por el ambiente, procesos y
materiales utilizados para el procedimiento de inspección debería ser inferior al 10% del número de
partículas supuesto o especificado, para todos los tamaños relevantes, con cada uno de los números
calculados redondeado a la baja (véanse la Norma ISO 16232). Por lo tanto, el método de muestreo
elegido debería ser capaz de desprender de la superficie a ensayo las partículas requeridas de forma
fiable y completa. El lavado de los equipos de muestreo debería ser capaz de asegurar la transferencia
completa de las partículas presentes del medio de medición o de la superficie de sustitución. Para
optimizar el método de muestreo, pueden utilizarse muestras en blanco (es decir, muestreo en una
superficie limpia) o muestras de superficies contaminadas de una forma definida.
- 29 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
D.2.3.3.3 Medición del medio utilizado para desprender las partículas sedimentadas sobre la
superficie
Las partículas presentes en el medio de lavado gaseoso o líquido que se utilizó para desprender las
partículas sedimentadas en la superficie pueden medirse utilizando directamente contadores ópticos de
partículas apropiados (véase D.2.7.4). El bajo caudal de ensayo de los contadores de partículas ópticos
no permite medir completamente grandes volúmenes del medio de lavado. Por consiguiente, debería
tomarse una muestra representativa del volumen de lavado. Especialmente en el caso de partículas
grandes (> 3 m), debería tenerse cuidado de evitar cualquier separación o sedimentación de las
partículas, ya que esto crearía un resultado de medición inexacto. Al igual que con las técnicas de
muestreo, los equipos de muestro y las conducciones asociadas deberían mantenerse limpios cuando se
mida el líquido de lavado.
D.2.3.3.4 Método de recogida

Las partículas separadas de la superficie de ensayo están presentes tanto en medios de lavado gaseosos
como líquidos. Para medir el número de partículas, se depositan primero en una superficie. La superficie
sustituta se pasa entonces a los correspondientes sistemas de medición para su examen. Para la
recolección de partículas, pueden utilizarse métodos y dispositivos tales como los siguientes:
– Sistemas de filtración (el líquido pasa a través de una membrana filtrante mediante un filtro
(colador) de absorción o por líquido vertido sobre un medio filtrante). El medio de lavado se conduce
a través de unas membranas filtrantes que poseen un tamaño de poro apropiado para el tamaño de
partícula a determinar. Los filtros que contengan partículas son entonces secados y analizados o bien
gravimétricamente (véase D.2.7.7) o microscópicamente (véanse D.2.6.2 y D.2.7.2).
– Impactadores: las partículas se depositan desde el medio de lavado gaseoso sobre una placa de
impacto. Las placas de impacto se analizan entonces microscópicamente.
Todos los dispositivos y etapas de manipulación asociados con el proceso de recolección están sujetos
a altos requisitos de limpieza correspondientes. Su nivel de limpieza debería declararse utilizando
muestras en blanco.
D.2.3.3.5 Métodos indirectos utilizados más frecuentemente (véase la tabla D.2)

Para la eficacia o tamaño de las partículas desprendidas por los métodos de medición indirectos, se
requiere un mayor esfuerzo para separar las partículas más pequeñas (más pequeñas que 1 m) de la
superficie mediante mediciones indirectas. La eficiencia de un método dado respecto a la separación de
las partículas de las superficies no depende solo del tamaño de la partícula, sino que también está
relacionado con los siguientes parámetros:
– forma y material de las partículas;
– existencia de fuerzas de superficie (por ejemplo, electroestática, cohesión, adhesión, capilaridad);
– método de separación (por ejemplo, ultrasónico, megasónico, lavado, purgado, soplado, atracción).
Debido a los diferentes métodos utilizados para superar las fuerzas entre las partículas y las superficies,
así como la interacción entre estos factores, la eficiencia para separar partículas varía
significativamente. Entonces, no pueden darse valores discretos de la eficiencia de métodos indirectos.
Para obtener información adicional a partir de métodos indirectos, pueden utilizarse métodos analíticos
como ESCA, EDX, Raman, UV o espectroscopia IR para la caracterización de las partículas.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 30 -
Tabla D.2 – Comparación de los métodos de medición para la detección indirecta

de partículas sobre las superficies
Independencia de la superficie
Límites del procedimiento de
Determinación de la posición
Influencia sobre la superficie

Estimación de los límites del
Distribución de tamaño
Velocidad del ensayo

Análisis del material
método de medición
Determinación de la
Transportabilidad
Análisis de forma
Métodoa
concentración
Accesibilidad
Flexibilidad
separación
Inspección del medio de

lavado (líquido/gaseoso)
utilizando contadores de 0,2 m  1 m ++ ++ — — — ++ ++ ++ + ++ —
partículas de extinción
(> 1 m)
Filtración o impacto del
medio de lavado y análisis
0,2 m  1 m ++ ++ + ++ — + ++ ++ — ++ —
microscópico
(> 0,5 m)
Examen del líquido de
lavado utilizando un OPC
(comenzar con las
partículas de lavado fuera
0,2 m  0,2 m ++ ++ — — — ++ ++ ++ + ++ —
de la superficie, luego
atraerlas a través de un
OPC)
(> 0,05 m)
Examen del medio
gaseoso utilizando un OPC
(comenzar soplando las
partículas fuera de la 0,3 µm  0,3 µm ++ ++ — — — ++ ++ ++ + ++ —
superficie, luego atraerlas a
través de un OPC)
(> 0,05 m)
Filtración del medio de
lavado y análisis
++ — — — — ++ ++ ++ — ++ —
gravimétrico
(> 0,1 mg)
Leyenda: ++ muy adecuado, + parcialmente adecuado, ─ inadecuado/inútil
NOTA Uso de análisis microscópico o gravimétrico: si los filtros pueden examinarse con análisis microscópico o gravimétrico
depende del número total de partículas encontradas en los filtros. El tamaño de las partículas no es un factor decisivo.
Valor de referencia determinado empíricamente: no es posible el análisis microscópico para contaminaciones
superiores a 3 mg sobre la superficie de un filtro (tamaño estándar del filtro de 47 mm) (véanse la Norma ISO 16232).
El análisis gravimétrico no es adecuado para la evaluación de los niveles SCP, ya que no permite medir partículas
discretas. El análisis gravimétrico se utiliza para determinar la masa total de toda la contaminación desprendida de la
superficie de ensayo.
a Las cifras entre paréntesis son los límites de detección de los dispositivos de medición.
- 31 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
D.2.4 Determinación del número de muestras

El número de puntos de medición utilizados y la superficie total a investigación determinan la certeza
estadística de los resultados de la medición. Ya que los resultados de medición en general dependen de
diferentes parámetros de influencia (por ejemplo, las características específicas de la superficie, los
métodos de medición seleccionados, limpieza del ambiente), el número de puntos de medida y de
repeticiones de las mediciones deberían acordarse entre el cliente y el proveedor que realiza las
mediciones.
Para la determinación del número de muestras a tomar con el objetivo de conseguir resultados de
mediciones verificados estadísticamente, pueden ser de ayuda las normas o directrices pertinentes (por
ejemplo, las Normas ISO 5725-2, ISO 21748 o ISO 10576-1).
D.2.5 Embalaje de las muestras de ensayo
D.2.5.1 Embalaje de las muestras para el análisis de partículas

Las muestras que sean evaluadas en relación con partículas fuera del área de origen deberían embalarse
de la forma siguiente.
a) La preparación debería producirse dentro de la zona de origen por personal vestido con ropa
adecuada para salas limpias.
b) Las muestras deberían ser manejadas por personal ataviado con un par nuevo de guantes para salas
limpias de látex o caucho nitrílico lavado
c) Cuando se ha utilizado un proceso de limpieza, es esencial dejar enfriar y secar las muestras antes
de su colocación en el embalaje o en la bolsa.
d) Las bolsas poliméricas metalizadas producidas en salas limpias que se utilicen deberían ser de al
menos un nivel superior de limpieza que el requisito previsto para la muestra. El espesor mínimo
debería ser de 80 µm para evitar el desgarro.
e) Cada muestra debería embolsarse por separado utilizando una bolsa interna y una externa del tipo
descrito en el apartado d).
f) Las cajas a medida selladas tales como los portadores de obleas o los contenedores al vacío PET
pueden también utilizarse, cuando estos sean también de un nivel de limpieza superior a la muestra
a ensayo.
g) Cada muestra debería embolsarse individualmente dentro de un embalaje a medida utilizando el
tipo de bolsa indicada en el apartado d), para evitar la liberación de partículas por abrasión o
contacto.
h) La bolsa interna debería doblarse y sellarse con cinta adhesiva para evitar la liberación de
partículas durante el subsecuente cortado y debería pegarse en su exterior una etiqueta de
identificación.
i) La bolsa externa debería sellarse y soldarse para evitar la manipulación y debería colocarse una
etiqueta adecuada para prevenir su apertura fuera de un ambiente controlado.
j) Cuando se utilicen cajas de embalaje a medida como las descritas en el apartado f), también son
necesarias dos bolsas de película de polietileno exteriores del nivel de limpieza del indicado en
apartado d). La bolsa de película interior puede estar cerrada con cinta o soldada, mientras que la
bolsa exterior debería estar soldada.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 32 -
D.2.5.2 Retirada de embalaje

La bolsa exterior debería retirarse inmediatamente antes de entrar en el local de ensayo controlado.
La bolsa interior no debería retirarse antes de la llegada al local de ensayo controlado.
Cuando se manipule el paquete interior deberían vestirse prendas completas para salas limpias,
incluyendo una capucha y máscara facial.
Debería utilizarse un par nuevo de guantes para salas limpias de látex o de caucho nitrílico lavados,
cuando se examinen las muestras.
D.2.6 Técnicas de medición
D.2.6.1 Inspección visual

En algunas aplicaciones, especialmente cuando la limpieza de la superficie es baja, podría ser suficiente
una inspección visual del nivel de limpieza de la superficie. Es posible detectar partículas de tamaño
superior > 25 m si el ojo humano está ayudado de medios auxiliares simples, tales como una lupa
provista de retícula o iluminación de alto contraste. Los componentes complejos pueden examinarse
rápida y cualitativamente. La información cuantitativa con respecto al tamaño de las partículas y la
distribución no puede obtenerse de este modo.
D.2.6.2 Microscopio de luz

Los microscopios de luz son económicos y tienen una amplia gama de aplicaciones. La contaminación se
caracteriza en función de su morfología; de sus características ópticas, tales como la absorción, la
refracción de luz, o la doble refracción; o mediante la determinación de unas características térmicas
(por ejemplo, comportamiento al ablandamiento o a la fusión) utilizando un microscopio de
calentamiento. Las partículas con tamaños de 1,0 m y superiores pueden detectarse en muestras
sólidas y líquidas (por ejemplo, se recoge la muestra de acuerdo con ASTM F303-08 y se analiza por
métodos ASTM F312-08). Cuando las partículas no contrasten suficientemente respecto a la superficie,
la visualización puede mejorarse utilizando iluminación de campo oscuro. Este método da resultados
cualitativos. Mediante el uso de etapas de muestreo automáticas y el análisis de imagen automatizado,
pueden examinarse zonas de la superficie de las muestras o de los componentes.
D.2.7 Sistemas de medición adicionales
D.2.7.1 Sistemas de medición de luz oblicua, rasante y lateral

Al igual que con el microscopio de luz, la imagen de una superficie se representa en una cámara digital
utilizando la amplificación necesaria. Mediante el uso de iluminación oblicua con luz paralela a la
superficie, las estructuras de la superficie existentes están solo mínimamente iluminadas. De esta forma,
solo una pequeña cantidad de luz se dispersa por la superficie y entra en la cámara. La superficie limpia
aparece oscura. Sin embargo, si hay partículas presentes en la superficie, estas están completamente
iluminadas por la luz oblicua y la correspondiente cantidad de luz difusa es generada por las partículas.
En la imagen de la cámara, se ven puntos brillantes sobre un fondo oscuro y su morfología puede
analizarse utilizando algoritmos simples de análisis de imagen.
- 33 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
D.2.7.2 Microscopio electrónico de barrido (MEB)

Cuando la capacidad de resolución de los sistemas de microscopía de luz se agota y cuando las
superficies son especialmente rugosas, pueden utilizarse sistemas de MEB. Debido a su pequeña
profundidad de campo a altos grados de amplificación, el examen de las superficies rugosas excede los
límites de los sistemas de microscopia de luz. Sin embargo, es difícil examinar las superficies no
conductoras utilizando sistemas de MEB porque la superficie se carga al ser bombardeada por el haz de
electrones, resultando una distorsión de la imagen. Para evitar esto, las superficies no conductoras
primero deberían pulverizarse con una capa fina (mayormente metálica) para hacerlas conductoras.
Aquí, hay un riesgo de alteración de las condiciones de la superficie. Adicionalmente, las partículas
pueden cargarse por el haz de electrones y despegarse de la superficie. Como la superficie o el
componente a ensayo necesitan someterse a un vacío elevado para un ensayo de MEB, debería tenerse
cuidado de asegurar que el componente no está dañado o alterado en el vacío. Cuando el MEB se
combina con dispositivos de análisis de imagen, las superficies pueden examinarse automáticamente.
D.2.7.3 Métodos de medición de dispersión de energía

La composición elemental del material de las partículas puede determinarse utilizando métodos de
medición EDX o WDX. Cuando se utiliza EDX conjuntamente con compuestos calibrados, puede
obtenerse no solo información cuantitativa sino también cualitativa.
D.2.7.4 Conteo óptico de partículas

Los medios (aire, gases y líquidos) son guiados a través de un rayo láser. Si hay partículas presentes en
el medio, al pasar a través del láser generan luz difusa que es registrada por los fotodetectores y es
analizada. La intensidad de la luz difusa permite sacar conclusiones respecto al tamaño de la partícula
que provocó el impulso de luz. Estas conclusiones sobre el tamaño pueden realizarse basándose en la
curva de calibración obtenida utilizando partículas redondas de látex. Sin embargo, el diámetro
obtenido es igual al impulso de la luz difusa y no al diámetro real de la partícula. El resultado de la
medición indica una distribución del tamaño de las partículas dentro de un volumen de medición
definido. Para mediciones realizadas en aire y gases, existen diferentes sensores que pueden medir
partículas tan pequeñas como 0,05 m y tan grandes como 2 500 m (2,5 mm). El rango de medición de
un sensor depende de su diseño óptico. Las partículas más pequeñas pueden registrarse utilizando
contadores CNC. Mediante la condensación de un líquido, las partículas se amplían antes de la medición.
Las partículas tan pequeñas como 0,005 m pueden registrarse utilizando contadores CNC. Sin embargo,
dado que el líquido se ha condensado, no puede determinarse la distribución de partículas. Cuando se
utilizan contadores CNC para medir partículas en líquidos, se aplica un límite de detección de > 0,05 m.
En general, se utilizan los contadores OPC para medir partículas discretas.
D.2.7.5 Conteo de partículas por extinción de la luz

En ambos métodos de detección de partículas (extinción y dispersión de luz) un cambio en la intensidad
de la luz medida se convierte en una señal eléctrica. La extinción de luz es útil para partículas de 1 µm y
de mayor tamaño. En este método, el detector mira directamente a la fuente de luz y mide el tamaño de
la sombra de la partícula según pasa a través del haz.
UNE-EN ISO 14644-9:2022 - 34 -
D.2.7.6 Dispositivo de exploración de superficies por luz difusa

Los escáneres de luz difusa se aplican especialmente para examinar superficies con una rugosidad muy
baja (por ejemplo, obleas de silicio, cristal). Un láser focalizado escanea la superficie del componente
utilizando un ángulo de haz definido. La luz reflejada directamente desde la superficie es guiada a una
trampa de luz y por lo tanto eliminada. Las partículas presentes en la superficie provocan que la luz del
láser se disperse difusamente. La luz difusa es registrada por un fotomultiplicador y amplificada.
Utilizando subsecuentes análisis electrónicos, pueden extraerse conclusiones sobre el tamaño y forma
de las partículas basadas en la intensidad de la luz difusa detectada y en el tamaño del evento de luz
difusa. Mediante la sincronización de la posición real del láser con la ocurrencia de los eventos de luz
difusa, puede determinarse la distribución de partículas de superficie. El límite de detección de los
escáneres de luz difusa se encuentra en un tamaño de partículas de > 0,05 m.
D.2.7.7 Gravimetría
La carga de partículas sobre una superficie o un objeto a ensayo se determina por el incremento de la
masa de un filtro de análisis (diferencial de peso). Para realizar esto, el filtro de análisis se pesa antes y
después de la filtración del líquido de lavado utilizando balanzas de precisión. La gravimetría
proporciona la masa total de la carga de partículas, pero no indica la distribución de tamaño de las
partículas en el filtro de análisis. Para realizar estos pesajes tan precisos, los filtros de análisis deberían
prepararse y secarse muy cuidadosamente. Para prevenir la alteración de los resultados por influencias
medioambientales; la temperatura ambiente, la humedad, la limpieza del aire y las diferentes etapas de
manipulación deberían permanecer constantes y las etapas de manipulación deberían realizarse de
forma definida. Como las partículas individuales no pueden registrarse utilizando la gravimetría, se
utiliza este método principalmente para determinar la carga de partículas en componentes de gran
tamaño o de formas complejas. El límite de medición se encuentra en aproximadamente 0,1 mg por filtro
de análisis.
D.2.7.8 Análisis por microscopio de fuerza atómica (AFM)

El microscopio de fuerza atómico es un tipo de microscopio de sonda de barrido de muy alta resolución,
con una resolución demostrada de fracciones de nanómetro, más de 1 000 veces superior que el límite
de difracción óptica. El AFM consiste en un voladizo de la microescala con una punta afilada (sonda) en
su final que se utiliza para escanear la superficie de la muestra. Cuando la punta se acerca a las
proximidades de la superficie de una muestra, las fuerzas entre la punta y la superficie provocan la
desviación del voladizo. Típicamente, la desviación se mide utilizando un punto láser reflejado desde la
parte superior del voladizo hacia una matriz de fotodiodos. El mapa del área resultante representa la
topografía de la muestra
D.2.7.9 Análisis de los resultados de las mediciones

Cuando las tareas (campo de aplicación de las mediciones) o los resultados han sido acordadas
mutuamente, los métodos de muestreo y medición a implementarse deberían planificarse, aceptarse,
analizarse y documentarse por el cliente y el proveedor. Para los propósitos de evaluación deberían
utilizarse los niveles SCP, especialmente si se deben cubrir aspectos adicionales cuando se comparan
localizaciones y sistemas separados o cuando se comparan los resultados de la medición con métodos
de medición similares (aerosoles, hidrosoles).
D.3 Documentación de la limpieza de superficies por concentración de partículas

La documentación debería incluir toda la información necesaria según se indica en el apartado 6.3, tales
como las condiciones de limpieza y la compatibilidad de salas limpias, para permitir la reproducción de
las mediciones de partículas.
- 35 - UNE-EN ISO 14644-9:2022
Bibliografía
[1] ISO 21920-2, Geometrical product specifications (GPS). Surface texture: Profile. Part 2: Terms,
definitions and surface texture parameters.
[2] ISO 21920-3, Geometrical product specifications (GPS). Surface texture: Profile. Part 3: Specification
operators.
[3] ISO 5725-2, Accuracy (trueness and precision) of measurement methods and results. Part 2: Basic
method for the determination of repeatability and reproducibility of a standard measurement
method.
[4] ISO 10015, Quality management. Guidelines for competence management and people development.
[5] ISO 10576-1, Statistical methods. Guidelines for the evaluation of conformity with specified
requirements. Part 1: General principles.
[6] ISO 16232, Road vehicles. Cleanliness of components and systems.
[7] ISO 21748, Guidance for the use of repeatability, reproducibility and trueness estimates in
measurement uncertainty evaluation.
[8] IEC 61340-5-1, Electrostatics. Part 5-1: Protection of electronic devices from electrostatic
phenomena. General requirements.
[9] ASTM E18-07, Standard Test Methods for Rockwell Hardness of Metallic Materials.
[10] ASTM E1216-06, Standard Practice for Sampling for Particulate Contamination by Tape Lift.
[11] ASTM F312-08, Standard Test Methods for Microscopical Sizing and Counting Particles from
Aerospace Fluids on Membrane Filters.
[12] ASTM F24-09, Standard Method for Measuring and Counting Particulate Contamination on
Surfaces.
[13] ASTM F303-08, Standard Practice for Sampling for Particles in Aerospace Fluids and Components.
[14] CLC/TR 61340-5-2:2018, Electrostatics. Part 5-2: Protection of electronic devices from electrostatic
phenomena; User guide.
[15] IEST-RP-CC022.2-2004, Electrostatic charge in cleanrooms and other controlled environments.
[16] IEST-STD-CC1246D, Product Cleanliness Levels and Contamination Control Program.
[17] SEMI E43-0301, Guide for Measuring Static Charge on Objects and Surfaces.
[18] SEMI E78-0706, Guide to Assess and Control Electrostatic Discharge (ESD) and Electrostatic
Attraction (ESA) for Equipment.
[19] Adamson, A.W. Physical Chemistry of Surfaces. New York: John Wiley & Sons, 1976.
Para información relacionada con el desarrollo de las normas contacte con:
Asociación Española de Normalización
Génova, 6
28004 MADRID-España
Tel.: 915 294 900
info@une.org
www.une.org
Para información relacionada con la venta y distribución de las normas contacte con:
AENOR INTERNACIONAL S.A.U.
Tel.: 914 326 000
normas@aenor.com
www.aenor.com
organismo de normalización español en:

Une-En Iso 14644-9

Cargado por

Información del documento

Título original

Derechos de autor

Formatos disponibles

Compartir este documento

Compartir o incrustar documentos

Opciones para compartir

¿Le pareció útil este documento?

¿Este contenido es inapropiado?

Copyright:

Formatos disponibles

Une-En Iso 14644-9

Cargado por

Copyright:

Formatos disponibles

Norma Española

UNE-EN ISO 14644-9

Salas limpias y locales anexos controlados

Esta norma ha sido elaborada por el comité técnico

Asociación Española Calle de Génova, 6 915 294 900

Salas limpias y locales anexos controlados

Esta norma anula y sustituye a la Norma UNE-EN ISO 14644-9:2014.

Las observaciones a este documento han de dirigirse a:

Asociación Española de Normalización

ICS 13.040.35 Sustituye a EN ISO 14644-9:2012

Salas limpias y locales anexos controlados

Esta norma europea ha sido aprobada por CEN el 2022-04-18.

COMITÉ EUROPEO DE NORMALIZACIÓN

© 2022 CEN. Derechos de reproducción reservados a los Miembros de CEN.

Prólogo europeo .................................................................................................................................5

1 Objeto y campo de aplicación........................................................................................7

2 Normas para consulta ......................................................................................................7

4 Términos abreviados .......................................................................................................9

5 Sistema de evaluación de los niveles de limpieza de superficies ....................9

6 Demostración de la conformidad ............................................................................. 12

Anexo A (Informativo) Características de la superficie................................................ 16

Anexo B (Informativo) Descriptor para rangos de tamaño de partículas

Anexo C (Informativo) Parámetros influyentes en las evaluaciones de los

Anexo D (Informativo) Métodos de medición para la determinación de la

Esta norma anula y sustituye a la Norma EN ISO 14644-9:2012.

1 Objeto y campo de aplicación

2 Normas para consulta

3.1 descriptor para rangos específicos de tamaño de partículas:

3.2 método de medición directa:

3.3 método de medición indirecta:

3.4 superficie sólida:

3.5 partículas de superficies:

3.6 limpieza de superficies mediante concentración de partículas, SCP:

3.7 limpieza de superficies según nivel de concentración de partículas; nivel de clasificación

3.8 concentración de partículas en superficies:

AFM Microscopía de fuerza atómica

5 Sistema de evaluación de los niveles de limpieza de superficies

5.1 Formato de nivel de clasificación ISO-SCP

D es el tamaño de partícula considerado, en micrómetros;

k es una constante 1, en micrómetros.

Tabla 1 – Niveles de clasificación SCP seleccionados para salas limpias

Unidades en partículas por metro cuadrado

Nivel SCP 1 (200) 100 20 (10)

Nivel SCP 2 (2 000) 1 000 200 100 (20) (10)

Nivel SCP 3 (20 000) 10 000 2 000 1 000 (200) (100)

Figura 1 – Niveles de clasificación SCP

a) el tipo de superficie medida;

b) el área de superficie medida;

c) el método de medición aplicado.

El tamaño de partícula considerado debería determinarse mediante un acuerdo entre el cliente y el

5.3 Información general de los niveles de limpieza de superficies concentración de

Se recomienda la repetición de las mediciones.

El método y el ambiente de ensayo deben acordarse entre el cliente y el proveedor.

6.3 Informe de ensayo

El informe de ensayo debe incluir como mínimo lo siguiente:

– fecha y hora de ensayo;

– nombre y dirección de la organización de ensayo;

– nombre del personal a cargo del ensayo;

– número y año de publicación de este documento, es decir ISO 14644-9:2022;

– condiciones ambientales para el muestreo (es decir temperatura, humedad, limpieza);

– localización (sala, etc.) utilizada para las mediciones;

– clara identificación del objeto sometido a ensayo;

– descripción del objeto sometido a ensayo;