BENEMÉRITA UNIVERSIDAD

AUTÓNOMA DE PUEBLA

CENTRO DE INVESTIGACIÓN EN
DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES

GUÍA RÁPIDA DE USO DEL

SPUTTERING

Elaboró: Revisó: Autorizó: Versión y Fecha:

Lic. Jorge Alberto M.C. José Carlos Dr. Román Romano Versión 1
Rodríguez González Zepeda Medina Trujillo Noviembre 2022
CONTENIDO
BIENVENIDA 3

ELEMENTOS DEL LABORATORIO DE EROSIÓN CATÓDICA (SPUTTERING) 4

GUÍA RÁPIDA DE OPERACIÓN BÁSICA DEL SPUTTERING 9

APAGADO DEL SPUTTERING 23

CIDS-BUAP 2
BIENVENIDA
Esta guía muestra los elementos que componen el equipo de Erosión Catódica (Sputtering), también
ilustra los pasos básicos para la operación en modo RF Magnetrón Sputtering. El equipo se
encuentra ubicado en el Laboratorio de Erosión Catódica 112 del edificio IC6 del Centro de
Investigación en Dispositivos Semiconductores perteneciente a la Benemérita Universidad
Autónoma de Puebla.

Imagen 1: Laboratorio de Erosión Catódica IC6-112 BUAP.

CIDS-BUAP 3
 ELEMENTOS DEL LABORATORIO DE EROSIÓN CATÓDICA (SPUTTERING)

Sputtering
Testigos Válvula de
Centro de Control
luminosos compuerta
Precámara
Cámara venteo
Interruptor Válvula de
Principal Precamara
principal venteo
Fuente de
energía DC Precámara
Pantalla de
control
principal

Fuente de Sintonizadores
Visor
energía RF Reflejada Precámara

Llave de
paso de
gases

Bomba
mecánica Bomba
cámara mecánica
principal pre - cámara
|
Imagen 2: Elementos que integran el equipo de Erosión Catódica(Sputtering).

CIDS-BUAP 4
 Tubo de Regulador
Llave del
alimentación
tanque
de gases

Llave de
paso

Imagen 3: Área de Gases.

Cañón 1

Cañón 2

Imagen 4: Interior cámara principal del Sputtering.

CIDS-BUAP 5
 Válvula de
Venteo
Bomba Turbo-molecular

Imagen 5: Lado Izquierdo de la cámara principal.

Compuerta de
Precámara
Válvula de venteo
Precámara

Brazo Precámara

Visor
Precámara

Llave de paso de
gases cámara
principal

Imagen 6: Componentes Precámara.

CIDS-BUAP 6
 Imagen 7: Compresor.

Imagen 8: Aire acondicionado laboratorio de Erosión Catódica.

CIDS-BUAP 7
 Imagen 9: Sistema de enfriamiento de la cámara principal del Sputtering (Chiller).

CIDS-BUAP 8
 GUÍA RÁPIDA DE OPERACIÓN BÁSICA DEL SPUTTERING
1. Posicionar en “ON”, los Breakers del centro de carga en el orden indicado.

Imagen 10: Centro de Carga Sputtering.

Compresora

Control Principal
Sputtering

Aire
Chiller
Acondicionado

Imagen 11: Organización del Centro de Carga.

a. Breaker 3: Compresora (esperar a que la compresora realice el proceso de carga

para su funcionamiento).
b. Breaker 7,9,11: Control principal del Sputtering.
c. Breaker 8,10: Chiller.
d. Breaker 13,15: Aire acondicionado.

CIDS-BUAP 9
 2. Encendido general del Sputtering.
a. Encender el aire acondicionado con el control remoto, verificando que la
temperatura alcance el valor de 17°C.

Imagen 12: Aire acondicionado encendido con el valor de la temperatura de 17°C.

b. Encender el Chiller girando la perilla de encendido a la posición de “ON”, esperar a

que alcance la temperatura aproximada de 52.8°F.

Girar a posición “ON”

Imagen 13: Encendido del Chiller.

c. Posicionar el Interruptor principal del centro de control en “ON”, como se muestra

en la imagen siguiente.

Imagen 14: Encendido del Interruptor principal.

CIDS-BUAP 10
 d. Verificar que el testigo de AGUA está encendido en color VERDE.

Imagen 15: Testigo de AGUA correcto.

e. Verificar la presión de vacío de la cámara principal en la bitácora o en la pantalla de

control del Sputtering, en el apartado de presión, para poder abrir la cámara
principal la presión debe estar en aproximadamente 6.4 x 102 Torr.

Valor de presión de
vacío de la cámara
principal

Imagen 16: Pantalla de control Sputtering.

f. En caso de que la presión de vacío sea menor a 6.4 x 102 Torr abrir muy lentamente
y con mucho cuidado la válvula de venteo de la cámara principal (debido a que el
sensor es muy sensible y se puede dañar con un cambio abrupto de presión) hasta
que se elimine la presión de vacío y en ese momento se libere la tapa. Se puede
realizar la “prueba del guante”, que consiste en posicionar un guante de látex en la
entrada de aire de la válvula de venteo verificando que ya no haya succión.

CIDS-BUAP 11
 ABRIR
CERRAR
Entrada de aire

Imagen 17: Válvula de venteo cámara principal.

Imagen 18: Prueba del guante.

g. Colocar el blanco en el cañón 1 de la cámara principal del Sputtering (ver Imagen 4).
a) Para colocar el blanco primero se tienen que quitar los 2 capuchones y el
seguro del cañón 1.

Imagen 19: Capuchones del cañón del Sputtering.

CIDS-BUAP 12
 b) El capuchón superior se retira quitando los 3 tornillos superiores con una
llave allen.

Imagen 20: Quitar tornillos de capuchón superior.

c) El segundo capuchón se retira quitando los 2 tornillos de los costados con

la misma llave allen.

Imagen 21: Quitar tornillos del segundo capuchón.

d) El tercer capuchón es el seguro que sujeta el blanco, se retira quitando los

4 tornillos superiores con un desarmador plano.

CIDS-BUAP 13
 Imagen 22: Quitar el sujetar del blanco del cañón 1.

e) Una vez que están libre el cañón se posiciona el blanco en la superficie y

nuevamente se pone, el seguro, el capuchón dos y por último el capuchón
superior (de acuerdo con las indicaciones anteriores).

Imagen 23: Cañón 1 con el blanco colocado correctamente.

h. Colocar el sustrato en el porta sustrato y posteriormente colocar el porta sustrato

en su base en la tapa del Sputtering, el sustrato debe quedar posicionado en la parte
inferior de la base, lo más cercana al cañón 1.

CIDS-BUAP 14
 Posición correcta del
sustrato

Imagen 24: Porta sustrato.

Base del porta sustrato

Imagen 25: Base donde se coloca el porta sustrato en el Sputtering.

Imagen 26: Posición correcta del porta sustrato en la base.

CIDS-BUAP 15
3. Verificar que la válvula de venteo esté totalmente cerrada.

CERRAR
Imagen 27: Válvula de venteo cerrada, de la cámara principal.

4. Verificar que la Precámara este cerrada correctamente.

Indicador de
posición ABIERTO

Indicador de
posición CERRADO

Imagen 28: Aislador de cámaras del Sputtering.

5. Cerrar correctamente la tapa de la cámara principal.

CIDS-BUAP 16
 Imagen 29: Tapa del Sputtering cerrada.

6. Encender la bomba mecánica en el control principal (Posicionar el interruptor en “ON”, como

se muestra en la imagen) para iniciar el vacío en la cámara principal hasta que el INDICADOR
DE VACÍO se encienda.

Indicador de vacío

Interruptor de la
bomba mecánica de
vacío

Imagen 30: Encendido de la bomba mecánica de la cámara principal.

7. Previo a encender la bomba turbo molecular se deben verificar dos condiciones; para no
dañarla, la primera es que la luz indicadora de VACÍO debe estar encendida y la segunda es
que la presión en el control principal debe estar en aproximadamente 30 mili torr (3.0 x 10
-2
torr) o menos.

CIDS-BUAP 17
 Settings: Opción para
ajustar la velocidad de la
bomba turbo molecular
Interruptor de la
bomba turbo molecular

Imagen 31: Control principal.

a. Una vez que se cumplan las 2 condiciones anteriores, ENCENDER la bomba turbo
molecular oprimiendo el interruptor en el control principal, en ese momento se
encenderá un led naranja junto al indicador de SPEED, indicando que la bomba
inicio su funcionamiento.
b. Primero: la bomba turbo molecular alcanzará la velocidad a 18,000 rpm,
manteniendo esa velocidad durante 5 minutos (hasta alcanzar una presión
aproximada de 5.0 x 10-5 torr o menor)
c. Segundo: En la bomba turbo molecular se ajusta velocidad a 27,000 rpm,
manteniéndola durante 5 minutos (hasta alcanzar una presión aproximada de 2.1 x
10-5 torr o menor)
a) Para ajustar la velocidad de la bomba turbo molecular, se oprime
SETTINGS
b) Se selecciona TURBO
c) Se coloca el valor de 27000 y se oprime VALID
d) Se oprime HOME, para regresar a la pantalla principal
d. Tercero: la bomba turbo molecular se ajusta la velocidad nuevamente a 18,000 rpm
para poder iniciar la operación del Sputtering (presión aproximada de 5.0 x 10-5 torr
o menor)
a) Para ajustar la velocidad de la bomba turbo molecular, se oprime
SETTINGS
b) Se selecciona TURBO
c) Se coloca el valor de 18000 y se oprime VALID
d) Se oprime HOME, para regresar a la pantalla principal
e. Para saber que la bomba turbo molecular se encuentra estable, el indicador led de
SPEED debe estar en VERDE y debe aparecer el mensaje de PUMP AT SPEED, como
se muestra en la Imagen 32.

CIDS-BUAP 18
Indicador de estabilidad Presión de VACÍO
de velocidad de bomba
turbo molecular
Velocidad bomba
turbo molecular

Imagen 32: Indicadores del Control principal.

8. Se abre la llave del tanque de gas a utilizar (Argón o Nitrógeno), después se abre la llave de
paso de los gases.

Llave de
tanque
Llave de
paso

Imagen 33: Área de gases en laboratorio de Erosión Catódica.

9. En el Sputtering se abre la llave de paso de gases de la cámara principal para regular la

presión y poder iniciar el plasma en la cámara principal necesario para el depósito. Procurar
abrir de manera muy lenta para evitar un cambio brusco de presión que pueda dañar la
bomba Turbo molecular y/o el sensor de presión de la cámara principal.

CIDS-BUAP 19
 CERRAR

ABRIR

Imagen 34: Llave de paso de gases de la cámara principal del Sputtering.

a. Ajustar la presión a aproximadamente 3.0 x 10-2 torr o más dependiendo del

material a depositar, para poder generar él Plasma para el depósito de la película.

Imagen 35: Presión de vacío para poder iniciar el plasma en el Sputtering.

10. Ajustar a la potencia deseada en la fuente de poder RF

Aumentar
Potencia

Potencia Botón
configurada Encendido /
Apagado

Disminuir
Potencia
Imagen 36: Fuente de poder RF del Sputtering.

CIDS-BUAP 20
11. Encender la fuente de energía RF
a. Verificar que se inicie el plasma en la cámara principal, en caso contrario verificar la
condición de presión de vacío de depósito del material utilizado.

Imagen 37: Plasma iniciado en cámara principal.

b. Verificar que el valor de reflejada este en el valor de 0. En caso contrario debemos

sintonizar con la perilla de TUNE o LOAD hasta lograr un valor igual a 0.

NOTA: En caso de que al momento de encender la fuente RF el valor de reflejada sea

demasiado alto y la potencia configurada baje drásticamente su valor, verificar que los
capuchones del blanco estén colocados correctamente (Ver Paso 2 inciso g).

Imagen 38: Fuente de energía RF y perillas TUNE y LOAD para ajustar el parámetro de REFLEJADA.

12. Ajustar la llave de paso de los gases (Imagen 39 a) hasta alcanzar la presión de vacío deseada
(Imagen 39 b) para el depósito, de acuerdo con los parámetros de depósito establecidos.

CIDS-BUAP 21
Imagen 39: Sputtering con parámetros establecidos; a) Flujo de gas Argón; b) Presión 5 mili torr; c) Potencia 40 Watts con
Reflejada igual a 0.

13. Una vez establecidos correctamente los parámetros iniciales de depósito (Plasma en cámara
principal, Flujo de Gases, Presión de depósito, Potencia sin Reflejada) se inicia el conteo del
tiempo de depósito de la película delgada.

CIDS-BUAP 22
APAGADO DEL SPUTTERING
1. Una vez cumplido el tiempo de depósito, lo primero que se tiene que apagar es la fuente de
RF, en ese momento el plasma dentro de la cámara principal se detendrá.

Botón
Encendido /
Apagado

Imagen 40: Fuente de energía RF Sputtering.

2. Se cierra la llave de paso de los gases a la cámara del Sputtering (girando la válvula con la
dirección en sentido de las manecillas del reloj imagen 39, hasta el tope, sin forzar), como
consecuencia la presión de vació disminuirá en el orden aproximado de 10-5 torr.

CERRAR

Imagen 41: Llave de paso de Gases.

3. Se cierra la llave de paso y la llave del (de los) tanque (s) utilizados para el proceso de
depósito.

CIDS-BUAP 23
 Llave de
tanque

Llave de
paso

Imagen 42: Gases utilizados en el Sputtering.

4. Se apaga la bomba turbo molecular oprimiendo el interruptor de START / STOP, se debe

esperar hasta que se detenga totalmente (aproximadamente 10 minutos, el indicador de
velocidad debe estar en 0).

Imagen 43: Pantalla del Control indicando que la bomba Turbo molecular está totalmente apagada.

5. Se apaga la bomba mecánica de la cámara principal del Sputtering.

Imagen 44: Interruptores Apagados de la Bomba Mecánica de la Cámara Principal y Precámara.

CIDS-BUAP 24
6. Se inicia el venteado abriendo muy lentamente la llave de Venteo de la cámara principal
(evitando al máximo elevar la presión abruptamente en varios ordenes de magnitud), hasta
llegar a aproximadamente 6. 4 x 102 torr (presión atmosférica), se debe verificar la succión
mediante la “prueba del guante” (Verificar Paso 2 Encendido general del Sputtering inciso
d).

CERRAR
ABRIR

Imagen 45: Válvula de venteo de cámara principal.

7. En el momento que ya no haya succión por la válvula de venteo de la cámara principal, se

libera la tapa del Sputtering y se puede abrir la cámara principal.
8. Se retira el porta sustrato de su base en la tapa de la cámara principal.

Imagen 46: Tapa de cámara principal abierta y retiro del porta sustrato.

CIDS-BUAP 25
9. Se confirma que se haya realizado el depósito en el sustrato.

Imagen 47: Sustratos con depósito de película delgada de material.

10. Se recupera el blanco o los blancos de los cañones (Verificar Paso 2 Encendido general del
Sputtering inciso d).
11. Se limpia la cámara principal, sopleteando la cámara y con un poco de ACETONA.
12. Se cierra la tapa de la cámara principal.

Imagen 48: Cámara Principal cerrada.

13. En caso de que se necesite dejar en Vacío el equipo verificar el paso 6 y/o 7 de la GUÍA
RÁPIDA DE UTILIZACIÓN DEL SPUTTERING.

CIDS-BUAP 26
 14. Se apaga el Chiller girando la perilla de encendido a la posición de OFF.

Girar a perilla a
posición de “OFF”

Imagen 49: Apagado del Chiller.

15. Se apaga el interruptor principal del centro de control del Sputtering, colocándolo en la
posición de OFF.

Imagen 50: Apagado del Control Principal de Sputtering.

16. Se apaga el aire acondicionado

Imagen 51: Aire acondicionado apagado.

CIDS-BUAP 27
 17. Se posicionan en OFF los Breakers del centro de carga marcados en la imagen 51.

Compresora

Control Principal
Sputtering

Aire Acondicionado
Chiller

Imagen 52: Breakers a apagar en el centro de carga.

18. Fin del proceso

CIDS-BUAP 28