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El uso del gas especial y del equipo óptimo con su ICP aumentará
enormemente la precisión de los resultados.
El argón necesita que los niveles de oxígeno y de agua sean bajos, ya que
tienen un efecto de apantallamiento sobre la señal de algunos metales que da
lugar a falsas lecturas bajas. También necesita que sean bajos los niveles de
hidrocarburo, puesto que pueden dar lugar a depósitos de carbono sobre el
espejo, lo cual reduciría la potencia de la señal. A veces, en el ICP se emplea el
nitrógeno como gas de refrigeración.