MICROSCOPIO ELECTRÓNICO DE BARRIDO

Primer microscopio electrónico de barrido, de M. von Ardenne.

Microscopio electrónico de barrido. (1998).

El microscopio electrónico de barrido (MEB o SEM, por scanning electron

microscope) es un tipo de microscopio electrónico capaz de producir imágenes
de alta resolución de la superficie de una muestra utilizando las interacciones
electrón-materia. Aplica un haz de electrones en lugar de un haz de luz para
formar una imagen.1

Apoyándose en los trabajos de Max Knoll de los años 1930 fue Manfred von
Ardenne quien logró inventar el MEB en 1937 que consistía en un haz de
electrones que barría la superficie de la muestra a analizar, que, en respuesta,
reemitía algunas partículas. Estas partículas son analizadas por los diferentes
sensores que hacen que sea posible la reconstrucción de una imagen
tridimensional de la superficie.

Los trabajos realizados en la década de 1960 en el laboratorio de Charles

William Oatley, en la Universidad de Cambridge, contribuyeron en gran medida
al desarrollo del MEB, y dieron lugar en 1965 a la comercialización, por parte
de Cambridge Instrument Co., de los primeros microscopios de barrido.2 Hoy
en día, la microscopía electrónica de barrido se utiliza en campos que van
desde la biología a la ciencia de los materiales, pasando por la arqueología, y
muchos fabricantes ofrecen aparatos de serie equipados con detectores de
electrones secundarios y cuya resolución se sitúa entre 0,4 y 20 nanómetros.3

Los MEB poseen una gran profundidad de campo, que permite enfocar a la vez
gran parte de la muestra. También producen imágenes de alta resolución, de
forma que las características más ínfimas de la muestra pueden ser
examinadas con gran amplificación. La preparación de las muestras es
relativamente fácil, ya que la mayoría de los MEB solo requieren que estas
sean conductoras. La muestra generalmente se recubre con una capa de
carbono o una capa delgada de un metal, como el oro, para darle carácter
conductor.4 Posteriormente, se barre la superficie con electrones acelerados
que viajan a través del cañón. Un detector formado por lentes basadas
en electroimanes, mide la cantidad e intensidad de los electrones que devuelve
la muestra, siendo capaz de mostrar figuras en tres dimensiones mediante

Antecedentes

Los primeros instrumentos desarrollados para este propósito fueron

los microscopios ópticos. Estos instrumentos consistieron, a lo largo de los
años, desde una simple lupa hasta un microscopio compuesto. Sin embargo,
aun en el mejor instrumento óptico, la resolución está limitada a la longitud de
onda de la luz que se utilice, que en este caso es la luz violeta, cuya longitud
de onda es de aproximadamente 400 nanómetros, separación máxima entre
detalles que puede observarse de esta manera. En términos de amplificación,
esto quiere decir que no podemos amplificar más de 1000 veces.

Una salida inmediata a este límite de resolución consistió en utilizar

alguna radiación de longitud de onda más corta que la de la luz violeta. Los
candidatos inmediatos son los rayos X, que se caracterizan por una longitud de
onda del orden de 0,15 nanómetros; desafortunadamente estos tienen la gran
desventaja de ser absorbidos rápidamente por las lentes de vidrio, y de no
poder ser desviados por las lentes magnéticas (además de las precauciones
que debería tener el operador).

Otra posibilidad que se contempló fue la de aprovechar el

comportamiento Onda de materia ondulatorio de los electrones acelerados por
alguna diferencia de potencial. Sea el caso, por ejemplo, de electrones
acelerados en un campo de 100 000 voltios que presentan comportamiento
ondulatorio con una longitud de onda de 0,0037 nm (3,7 picómetros), lo que en
principio permitiría tener un aparato que resolviera detalles del mismo orden.
Esto, en principio, sería suficiente para resolver detalles atómicos, puesto que
los átomos en un sólido están separados en un orden de 0,2 nm. Sin embargo,
en la práctica, los detalles inherentes a la técnica de observación o los defectos
en el maquinado de las piezas polares producen aberración en sistemas
ópticos aberraciones.
Manfred von Ardenne

En 1928, Manfred von Ardenne estableció su laboratorio de investigación

privada Forschungslaboratorium für Elektronenphysik (en español, "Laboratorio
de Investigaciones para Física de los Electrones"),5 en Berlin-Lichterfelde, para
llevar a cabo su propia investigación en tecnología de radio y
televisión y microscopía electrónica. Inventó el microscopio electrónico de
barrido.

Funcionamiento

Diagrama de un MEB equipado con un detector de rayos X "EDS" (de

dispersión de energía).

En el microscopio electrónico de barrido es necesario acelerar los electrones

en un campo eléctrico, para aprovechar de esta manera su comportamiento
ondulatorio, lo cual se lleva a cabo en la columna del microscopio, donde se
aceleran mediante una diferencia de potencial que puede ir desde 50 hasta
30 000 voltios. Los electrones acelerados por un voltaje pequeño se utilizan
para muestras muy sensibles, como podrían ser las muestras biológicas sin
preparación adicional o muestras muy aislantes. Los voltajes elevados se
utilizan para muestras metálicas, ya que estas en general no sufren daños
como las biológicas y de esta manera se aprovecha la menor longitud de onda
para tener una mejor resolución. Los electrones acelerados salen del cañón, y
se enfocan mediante las lentes condensadora y objetiva, cuya función es
reducir la imagen del filamento, de manera que incida en la muestra un haz de
electrones lo más pequeño posible (para así tener una mejor resolución). Con
las bobinas deflectoras se barre este fino haz de electrones sobre la muestra,
punto por punto y línea por línea.

Cuando el haz incide sobre la muestra, se producen muchas interacciones

entre los electrones del mismo haz y los átomos de la muestra; puede haber,
por ejemplo, electrones que reboten como las bolas de billar. Por otra parte, la
energía que pierden los electrones al "chocar" contra la muestra puede hacer
que otros electrones salgan despedidos (electrones secundarios), y producir
rayos X, electrones Auger, etc. El más común de estos es el que detecta
electrones secundarios, y es con el que se hacen la mayoría de las imágenes
de microscopios de barrido.1

También podemos adquirir la señal de rayos X que se produce cuando se

desprenden estos mismos de la muestra, y posteriormente hacer un
análisis espectrográfico de la composición de la muestra.

Utilización

Cabeza de hormiga, vista con un microscopio electrónico de barrido.

Se utilizan ampliamente en la biología celular. Aunque permite una menor

capacidad de aumento que el microscopio electrónico de transmisión, este
permite apreciar con mayor facilidad texturas y objetos en tres dimensiones que
se hayan pulverizado con un metal antes de su observación. Por esta razón
solamente pueden observarse organismos muertos, y no se puede ir más allá
de la textura externa que se quiera ver. Los microscopios electrónicos solo
pueden ofrecer imágenes en blanco y negro puesto que no utilizan la luz
visible.

Este instrumento permite la observación y caracterización superficial de

materiales inorgánicos y orgánicos, entregando información morfológica del
material analizado. A partir de él se producen distintos tipos de señal que se
generan desde la muestra y se utilizan para examinar muchas de sus
características. Con él se pueden observar los aspectos morfológicos de zonas
microscópicas de diversos materiales, además del procesamiento y análisis de
las imágenes obtenidas.

3D en SEM
 Microfotografía y esquema de SBF-SEM.

Microfotografía de serie de cortes para SBF-SEM.

Los microscopios electrónicos de barrido (SEM), no proporcionan

automáticamente las imágenes en 3D contrarias a microscopio de sonda de
barrido (Scanning Probe Microscopy). Sin embargo los datos 3D se pueden
obtener utilizando un SEM con diferentes métodos, tales como:

 Fotogrametría (2 o 3 imágenes de muestra inclinado)

 Estereofotométrica, también llamada "la forma con sombreado" (con 4
imágenes)
 Reconstrucción inversa utilizando modelos interactivos de electrones de
material
Las aplicaciones posibles son la medición de rugosidad, medida de la
dimensión fractal, medición de la corrosión y la evaluación altura de los
escalones.

La tecnología, introducida a principios de la década del 2000, permite mover el

haz de electrones unos pocos grados a la izquierda del eje perpendicular del
mismo y generar una imagen para inmediatamente después generar un
segundo barrido ahora inclinado a la derecha. Capturando ambas imágenes
producidas y sobreponiéndolas, coloreando una azul y otra roja, producen una
verdadera imagen en tercera dimensión (3D) significa, entre otras cosas, que
es posible medir en los 3 ejes X, Y y Z).
Duration: 9 segundos.0:09Video obtenido de serie de cortes mediante
Microscopía electrónica de barrido de cara de bloque en serie.

 SBF-SEM Serial block-face Scanning Electron Microscopy. Con la

microscopía electrónica de barrido de cara de bloque en serie, es posible
recopilar imágenes seriadas. La recopilación que está automatizada
mediante programas computacionales, escanea mil o más imágenes, que
abarcan una profundidad de 50 a 100 micrómetros (μm), permite
reconstrucciones de la ultraestructura tridimensional (3D) de calidad.8

¿Qué es la microscopía electrónica de barrido o SEM?

La microscopía electrónica se fundamenta en la emisión de un barrido de

haz de electrones sobre la muestra, los cuales interaccionan con la misma
produciendo diferentes tipos de señales que son recogidas por detectores.
Finalmente, la información obtenida en los detectores es transformada para
dar lugar a una imagen de alta definición, con una resolución de 0,4 a 20
nanómetros. Como conclusión, obtenemos una imagen de alta resolución
de la topografía de la superficie de nuestra muestra.

Con ella podemos estudiar distintos tipos de materiales (más abajo podréis
ver que su preparación no es igual en todos los casos):
  Metales: acero, aluminio, titanio, cobre, metales preciosos,
aleaciones, …
 Cerámicas: vidrio, hormigón, alumina, zirconia, carburo, piedra,
porcelana…
 Polímeros: termoplásticos como PP, PE, Nylon; termoestables como
melamina, polimidas; elastómeros como goma, silicona; …
 Composites: fibra de carbono, fibra de vidrio, grafito, composites
cerámicos, resinas,…
 Orgánicas: algodón, madera, bacterias, células, …

¿Cómo funciona la microscopía electrónica de barrido (SEM)?

Los microscopios electrónicos de barrido (SEM) cuentan con un filamento

que genera un haz de electrones que impactan con la muestra. Estos
electrones interaccionan con la muestra que se está estudiando y
devuelven distintas señales que son interpretadas por distintos detectores.
Con esta información somos capaces de obtener información superficial de:

 Forma y topografía
 Textura
 Composición
La interacción del haz de electrones con la superficie de la muestra se
realiza en forma de ‘pera’ como podéis ver en la imagen inferior. La
penetración dependerá de los kV a los que trabajemos, un estándar es una
penetración de 1-5 micras.

Interacción haz electrones con la muestra, modelo ‘pera’

Detectores en un microscopio electrónico de barrido (SEM)

Los detectores más habituales son los siguientes:

Detector de electrones secundarios (SE)

Capta la energía proveniente de los electrones secundarios generados en el

material por la interacción del haz de electrones. Aportan la información de
la textura/topografía más superficial al provenir de la capa más externa (la
‘pera’ más cercana a la superficie en la imagen inferior).

Detector de electrones retrodispersados (BSE)

Capta la energía proveniente de los electrones retrodispersados (segunda

capa de la ‘pera’). Posee menos resolución de la superficie pero es sensible
a las variaciones en el número atómico de los elementos de la superficie, y
por tanto en la composición. Observaremos distinto tono de gris según el
peso atómico (más claro si el elemento es más pesado ya que emite más
energía y ‘brilla’ más).

Detector de Rayos X (EDX, EDS o EDAX)

Este detector capta la energía proveniente de los rayos X generados en la

superficie (tercera capa de la ‘pera’) y son característicos de cada elemento
de la muestra por lo que nos aportan información sobre la composición
elemental. A diferencia de los BSE, nos aportan información de más
volumen de la muestra. nos permite conocer de forma semicuantitativa la
composición de la superficie de nuestra muestra. Los EDX pueden aplicarse
en un punto en concreto de la superficie de la muestra o en un área.
Cuando el análisis se aplica en un área, cabe la posibilidad de obtener un
mapa con los diferentes elementos que posee el área seleccionada de la
muestra, siendo representado cada elemento con un color diferente. Lo
podéis ver en la imagen de uno de nuestros Proyectos más abajo.

Detector de Rayos X (WDS)

Similar al EDX, pero en lugar de recibir la energía de todos los rayos X a la

vez, únicamente mide la señal que genera un solo elemento. Se trata de
una técnica más lenta pero más sensible y precisa.

Detector de electrones retrodispersados difractados (BSED)

Este detector recibe la energía de los electrones difractados por la

superficie que cumplen la ley de Bragg y aportan información de
la estructura cristalina de la muestra.
Izq. Detector SE; Dcha. Detector BSE

EDX con microscopio FEI

Tipos de microscopía electrónica de barrido según fuente

SEM

Son los SEM convencionales que ya hemos explicado y tienen una fuente
térmica de electrones.

FE-SEM (field emission SEMs o SEM de emisión de campo)

Son la evolución y poseen como fuente de electrones un cañón de emisión

de campo para proporcionar los haces de electrones de alta y baja energía.
Al ser estos haces muy focalizados, permiten una mejor resolución.

Dual Beam o FIB-SEM (microscopio de doble haz o focused ion beam

SEMs o SEM de iones focalizados)

Posee dos columnas, una de iones y otra a 52º de electrones. La columna

de iones utiliza un haz de iones de Galio (Ga+). Los iones de Ga+ son
130.000 más pesados que los electrones por lo que la interacción con la
muestra es más fuerte aunque su penetración es menor. Además, es
posible realizar cortes mediante los iones para visualizar las capas internas.
Imagen con Dual Beam en la que se realizó un corte por iones

Tipos de microscopía electrónica de barrido según vacío

Según el tipo de vacío existen varios tipos de SEM:

 Alto vacío SEM: se necesita que la muestra esté seca y sea

conductora. Para las muestras no conductoras, estas se pueden
recubrir con una capa de sputtering de carbono o metales.
 No vacío o environmental SEM (ESEM): no se necesita preparación
de muestra. SE pueden analizar muestras biológicas y no
conductoras sin necesidad de recubrir.

Diferencias entre un microscopios ópticos (OM) y un microscopio

electrónico de barrido (SEM)

Os contamos las principales diferencias entre un microscopio óptico y un

microscopio electrónico de barrido:

 Aumentos: los microscopios ópticos pueden tener desde 4 aumentos

hasta unos 1000 aumentos, mientras que los SEM pueden ir desde
los 10 aumentos hasta los más de 3.000.000 de aumentos.
 Profundidad de campo: o lo que es lo mismo, cuanta muestra está
enfocada al mismo tiempo. En el caso de los microscopios ópticos
 van de las 0.19 micras hasta las 15 micras. En los SEM este rango es
más amplio, pudiendo tener desde 0.4 micras hasta los 4 mm.
 Resolución: los microscopios ópticos pueden llegar a una resolución
espacial de unas 0.2 micras, mientras que los SEM se pueden
alcanzar hasta 0.4 nm con algunos modelos y lentes.

Izq. Imagen con microscopio óptico; Dcha. Imagen con SEM con
Nanoimages microscopio.

Ventajas de la microscopía electrónica frente a otras técnicas de

caracterización

La microscopía electrónica es una técnica muy útil en la caracterización de

materiales ya que se necesita muy poca cantidad de muestra y se trata de
una técnica no destructiva (mientras no haya que cortar la muestra para que
quepa en el portaobjetos o recubrir), es decir, la muestra no se ve
perjudicada y se puede recuperar.

El único requisito que implica la utilización de esta tecnología es que la

muestra debe ser conductora, ya que la obtención de la imagen es producto
de la interacción de los electrones emitidos por el equipo y la muestra. Si
nuestra muestra no es conductora, no hay ningún problema como ya hemos
visto, ya que pueden utilizar equipos metalizadores de muestras que
depositan por medio de deposición física de vapor una capa de pocos
nanómetros de un elemento conductor, permitiendo de esta forma la
obtención de imágenes por microscopía electrónica de barrido y
composición a través de EDX. Las imágenes que se obtienen tienen
una gran resolución.

Tanto la parte más puramente de imagen como su detector EDX son

técnicas no destructivas y de respuesta rápida, por lo que son consideradas
potentes herramientas en la caracterización de todo tipo de materiales, ya
que nos permiten conocer qué tipo de topología superficial tiene nuestra
muestra, sus defectos y su composición con la obtención de una sola
imagen.

Microperforaciones fabricadas por láser y observadas por FESEM

Aplicaciones de la microscopía electrónica de barrido SEM

En ATRIA, la microscopía electrónica es una herramienta ampliamente

utilizada y conocida al detalle. Este tipo de técnicas se utilizan en
distintos sectores como automoción, construcción, bienes de consumo,
retail, defensa, odontología o packaging entre otros.

La microscopía electrónica puede ser utilizada para aplicaciones tan

variadas como:

Estudio de contaminantes
Gracias al detector de EDX es posible encontrar contaminantes no
deseados en las muestras, que causan problemas de adherencia, pintado o
fallos estructurales. Podéis ver un ejemplo de Proyecto que hemos
realizado sobre el estudio de contaminantes en pinturas con el que vimos
diferencias clave mediante EDX.

Estudio morfológico y estructural

Se trata de la identificación y análisis de las fases cristalinas y transiciones

en distintos materiales como metales, polímeros, cerámicas, minerales o
composites. Gracias al SEM es posible estudiar el tipo de degradación
como fatiga, corrosión, fisuras…

Análisis de competidores

La técnica del SEM también es utilizada para estudiar los productos de la

competencia y realizar benchmarking.

Análisis de fallo de diseño de productos

Para conocer porqué se ha producido un fallo, por ejemplo en

este Proyecto se caracterizaron la morfología y la composición de defectos
que aparecían en las pruebas de calidad de un producto. Otro tipo de fallos
que se pueden estudiar son: delaminaciones, adhesión,…

Caracterización de texturizado superficial

Cuando se quiere conocer la topografía y estructura que se ha generado,

por ejemplo, con muestras a través de tecnología láser, el SEM es una
herramienta muy útil, en este Proyecto además permitió la optimización de
los parámetros laser de marcado.

Análisis de defectos superficiales y control de calidad

Mediante el SEM es posible visualizar los defectos, conocer la tipología, por

ejemplo en este Proyecto estudiamos los defectos que aparecen bajo el
comportamiento normal de uso de los productos.

Imagen SEM en la que podemos apreciar la contaminación superficial como

puntos más brillantes que no deberían aparecer por lo que se tiene una
mala adherencia de la pintura