Mark J. Jackson M.eng, PH.D (Auth.) - Micro and Nanomanufacturing-Springer US (2007) - 264-323 Es

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6. Micromolienda
6.1 Introducción
El micromecanizado es un aspecto de la tecnología de fabricación

avanzada que ha crecido rápidamente y desempeña un papel
importante en la fabricación [1]. Los niveles de precisión en el
mecanizado pueden clasificarse en cuatro categorías [2]:
i. Mecanizado normal
ii. Mecanizado de precisión
iii. Mecanizado de alta precisión
iv. Mecanizado de alta precisión
La figura 6.1 muestra el progreso de la precisión de mecanizado

alcanzable en cada categoría en función del tiempo (años). Los
acontecimientos más destacados que condujeron a un rápido avance
hacia la alta precisión son [3]:
Taylor 1906 - 26 Herramientas de acero rápido

Schroeter 1939 Herramientas de carburo de
tungsteno/titanio Merchant 1945 Mecánica del
mecanizado
Gilbert 1960Economía del mecanizado
Por ejemplo, los términos utilizados para el mecanizado de
precisión hace 30 años se han convertido en el mecanizado normal
hoy en día. A medida que aumenta la precisión del mecanizado, los
procesos energéticos adquieren mayor relevancia en los futuros
procesos de mecanizado para producir componentes de mecanizado
extremadamente precisos. Estos procesos incluyen el mecanizado por
rayo láser (LBM), el mecanizado elec-
256 Micro y nanofabricación
mecanizado por haz de tron (EBM) y haz de iones focalizados

(FIB), que no requieren herramientas afiladas para eliminar los
materiales. La elección de los materiales y los procesos de
mecanizado se ven directamente afectados por la precisión de
mecanizado alcanzada, ya que los diferentes procesos proporcionan
diferentes rangos de bandas de tolerancia. La tabla 6.1 de
Taniguchi [2] clasifica los componentes en mecánicos, electrónicos
y ópticos en función de los niveles de precisión y los límites de
tolerancia.
Por ejemplo, las lentes ópticas y los espejos se fabrican con
niveles de mecanizado precisos y ultraprecisos. La mayoría de
estas aplicaciones requieren una superficie sin grietas [5].
Generalmente, para fabricar estos productos se utilizan materiales
duros y quebradizos como el vidrio, el silicio y el germanio [6].
Tradicionalmente, los vidrios ópticos requieren esmerilado y
acabado mediante un proceso de pulido para eliminar los daños
causados por la operación anterior y obtener una superficie similar
a un espejo [7]. La superficie esmerilada convencional del vidrio
da como resultado un acabado mate debido a la fractura frágil
durante el proceso de eliminación y esta superficie debe pulirse a
menos de 20 nm ", para reducir la absorción y la dispersión de la
luz en la superficie del vidrio [8]. Sin embargo, los avances en el
mecanizado por precisión de materiales frágiles han llevado al
descubrimiento de un "régimen dúctil" de funcionamiento en el que
la eliminación de material se produce por deformación plástica. La
mecánica de la fractura predice que incluso los sólidos quebradizos
pueden mecanizarse por la acción del flujo plástico, como ocurre
en el metal, dejando superficies libres de grietas cuando el proceso
de eliminación se realiza a menos de una profundidad de corte
crítica [9]. Esto significa que, en determinadas condiciones
controladas, es posible mecanizar materiales quebradizos como la
cerámica y el vidrio utilizando herramientas de diamante de punta
única, de forma que el material se elimine por flujo plástico,
dejando una superficie lisa y sin grietas.
Se ha demostrado que es posible mecanizar casi el 100% de los
materiales duros en modo dúctil utilizando una geometría bien
definida de herramientas de diamante monocristalinas de una sola
punta en un torno rígido de ultraprecisión [12]. Los regímenes
dúctiles se realizan en un componente mecanizado que presenta un
acabado tipo espejo con rugosidad nanométrica, con superficies
lisas sin grietas y generación continua de viruta de cinta durante el
torneado [5,13]. Aunque se puede conseguir un modo de corte
dúctil mediante la aplicación de esta tecnología avanzada, el rápido
Micromolienda 257
desgaste de la herramienta sigue presentando problemas [14,15].
Con el fin de superar estos problemas, el corte multipunto se ha
convertido en una tecnología de vanguardia.
Por lo tanto, el rectificado resulta más económico, especialmente

cuando se mecanizan materiales duros y quebradizos [4,14]. El
rectificado de superficies de ultraprecisión con rectificado
electrolítico en proceso (ELID) proporciona un rectificado en
proceso de la muela [8,16,17], logrando un mecanizado en régimen
de duc- tado de casi el 100% con una superficie de acabado sin
necesidad de pulido subsiguiente al rectificar vidrios ópticos y
materiales a base de silicio. Con las rectificadoras convencionales,
se consigue menos del 90% de rectificado en régimen duc- til
debido a la falta de reavivado en proceso, por lo que se requiere un
pulido posterior [12].
Fig. 6.1. Gráfico de Taniguchi modificado [2] de las precisiones de mecanizado

alcanzables en función del tiempo con inserción de eventos de referencia que
provocaron un aumento de las actividades de mecanizado.
Micromolienda 259
Tabla 6.1. Tabla Taniguchi modificada de varias productos clasificados en

bandas de tolerancia ent alcanzables con diferentes acabados [4,10,11]
superficie
Precisión Toler- Mecánica Electrónic Óptico

a
band
a
Normal 200 Flores normales Piezas eléctricas Cámara, tele- Shapingl 'l 10
aparatos de uso general, visores y
eléctricos y p o r ejemplo, escarpines
accesorios para Interrupto para
automóviles, etc. res, motores y prismáticos. Iteaming l'I' 9
con- nectores. 3.2 - 0.8
Cieneral puqaose '['ransistores. cli- Obturad Turning
50 qm piezas odes, cabezas ores de 6.3 - 0.4
mecánicas para magnéticas para la cámara, I3' i1Iing
tpae'vriters, grabadoras. objetivo 6.3 - 0.8
motores etc. soportes para
cámaras y norins IT t
Relés eléctricos, microscopios. 6.3 - 0.4
ing Piezas de resistencias, Láser
fósforos con- denscrs, Lentes, fi.3 - 0. SlT
mecánicos, w'a1éis de 5 ECM
cojinetes silicio, máscaras cal tibre y 3,2 - 0, 2lT 3
de ma- de color para TV. connectoi s MolerlT 5
quinas, Escalas (multimodo) 3.2 - 0.1
cicatrices, magnéticas, ELID
tornillos de CCD, os- Lentes de 0.6 - 0.2
pasillo, cilladores de precisión. Honing
giratorios cuarzo, mag- balanzas IN.S - 0.1
C0 en 51'tSS01' mcmorbies ópticas, IC".
partes. netic', rnagne-
tron, lC anchura máscaras (foto
Rodamientos de de línea, ihin rayos X),
bolas y rodillos, trans- ductores espejos
prcci- sion de presión de poligonales
Gra\sm u.'ire, película, ther láser, espejos
hytlraulic ser vo- ma1 cabezas de .x- raw,
''alves, cojinetes impresora, ihin espejos de
U ltrapre- 0.05 aerodinámicos, discos de cabeza desviación SuperIT 3 -
boquillas de de película. elástica, fibra
chorro de tinta, óptica
cojinetes nionomodo y
giroscópicos conector
aerodinámicos es.
Recuerdos IC, Tlats ópticos,
Gama
bloque
s,
cision pm diamante inden- vídeo eléctrico precisión tinishing IT 4
maquina- radio de la punta del discos, LSI. Ft esnel 0.2 -
toro,
fi radio del borde de lentes, opti- 0.025 IT 1 -
la cuchilla del ca1 ditTrac- Solapado IT 2
micrótomo.
tión, 0.4 - 0.05
lJltraprecisi'in VU I, o|itical discos
partes (pliine, super-liitice de vídeo.
bola, rodillo, delgado L'1irapreci-
películas.
Finl hilo), si'iii ditTrac-
Form tion grai ines.
a (3-D)
Micromolienda 261
Se han propuesto varios modelos para explicar la teoría del modo

dúctil en procesos de mecanizado reales. Scattergood y sus colegas
[18, 19, 20] propusieron una profundidad crítica de corte y un
concepto de avance para el mecanizado de ultraprecisión, como se
muestra en la Fig. 6.2.
Fig. 6.2 Modelo de Scattcrgood de mecanizado por ultraprecisión que

muestra una vista tridimensional de la herramienta de diamante con el
material de corte y una vista transversal de la herramienta y la pieza [l 0].
Se desarrolló un modelo inicial basado en el análisis de la

mecánica de fractura por indentación [9]. Según Scattergood, el
inicio de la fractura desempeña un papel fundamental en el
mecanizado en régimen dúctil. Scattergood y Blake [18] derivaron
una profundidad de penetración crítica, d" para el inicio de la
fractura, que es:
2
K, E
(6.1)
H H
Donde K e s l a tenacidad a la fractura, H es la dureza y E es

el módulo elástico. Q es un factor que dependerá de la geometría y
de las condiciones del proceso, como el ángulo de desprendimiento
de la herramienta y el refrigerante.
Una herramienta de diamante de punta redonda se desplaza a
través de la pieza de trabajo como se muestra en la Fig. 6.2. La
figura 6.2 muestra una proyección de la herramienta perpendicular
a la dirección de corte. Utilizando el concepto de profundidad
crítica, el daño por fractura se iniciará a la profundidad de corte
efectiva d (t - d como se muestra en la Fig. 6.2) y se propagará a una
profundidad media y como se muestra. Si el daño no continúa por
debajo del plano de la superficie de corte, se alcanzan las
condiciones de régimen dúctil. El avance transversal / determina la
posición de d a lo largo de la nariz de la herramienta. Valores
mayores de / acercan d a la línea central de la herramienta. Es
importante señalar que cuando se alcanzan las condiciones de régimen
dúctil, la eliminación de material sigue produciéndose por fractura. El
modelo propuesto se verificó mediante ensayos intemiptados y se
obtuvo la siguiente relación [10]:
' ff 2 2 2
e d d+y (6.2)
2
-2
R
2
R
donde fi es el radio de la nariz de la herramienta y los demás

parámetros se definen como se muestra en la Fig. 6.2. Para un
ejemplo típico utilizando [100] Ge single
t d ángulo de inclinación.
equa n 6.2 fth l
Micromolienda 263
t
t hl ha ing Onose
nadius de 007n m' nd '
6.2 Muelas abrasivas
Las muelas se componen de dos materiales, los granos abrasivos y

el material de aglomerante (Fig. 6.3). Se fabrican mezclando el
tamaño de grano adecuado del abrasivo con el aglomerante
necesario y se prensan para darles forma. Los granos abrasivos son
los que cortan y el aglomerante los mantiene unidos y los sostiene
mientras cortan. La acción de corte de una muela depende de los
materiales de aglomerante, el tipo de abrasivo, el tamaño de grano,
las calidades y la estructura de la muela. La selección de la
combinación adecuada de estas características es esencial para la
solución óptima de las diferentes tareas de rectificado.
6.2.1 Materiales adhesivos

Los aglutinantes suelen estar hechos de diferentes tipos de materias
primas y se clasifican de la siguiente manera [21,22]:
Vitrificados
(cerámicacompuesta devidrio,
feldespato y arcilla),
ii. Resinoide materiales (thcrmoset plásticos -
resina de fenolformaldeliyde),
iii. Caucho (tanto natural como sintético),
iv. Sliellac,
v. Metal (metales en polvo sinterizados y galvanoplastia
- bronce, aleaciones de níquel y aluminio, zinc,
etc.)
vi Oxicloruro (acción acción de cloruro de
magnesio y manganeso).
Silicato (silicato sódico NaSi 3 OF WiltG£ /lilSS")
Sin fianza
Las uniones vitrificadas también se denominan uniones

cerámicas [23,24], que al- baja porosidad de hasta el 55%, y la
rigidez de esta unión la hace
Micromolienda 265
posible obtener elevados índices de arranque de material. Algunas

muelas de cBN se fabrican con este tipo de aglomerante para el
rectificado de acero. En comparación con los aglomerantes vitri-
flados y metálicos, los aglomerantes resinoides proporcionan más
flexibilidad durante el rectificado y, por tanto, producen una
superficie más fina que los dos. Tanto los aglomerantes de resina
como los metálicos se utilizan habitualmente en la fabricación de
muelas de diamante y de cBN. Debido a la elasticidad del caucho,
son excelentes materiales de aglomerante para muelas de pulido y
se utilizan cuando las rebabas y quemaduras deben reducirse al
mínimo. El aglomerante de caucho también se utiliza para la
aplicación de discos de corte finos y flexibles [21,23,25] y discos
de regulación en el rectificado sin centros [21]. Las muelas con
aglomerante de goma laca son buenas para producir el alto acabado
necesario en el rectificado de rodillos, árboles de levas y
cuchillería [22]. Los aglomerantes de oxicloruro se consideran los
más débiles entre las muelas abrasivas y se utilizan sobre todo en
rectificadoras de disco. Las muelas son de corte frío y rara vez
producen quemaduras. La muela de aglomerante de silicato puede
utilizarse en operaciones que generan menos calor. No es tan fuerte
como la vitrificada. Entre todas, las de silicato, goma laca y
oxicloruro tienen usos limitados [23].
6.2.2. Tipos de abrasivos

Los granos abrasivos utilizados en las muelas abrasivas son
materiales muy duros, muy re- fracturados y orientados
aleatoriamente. Aunque frágiles, estos materiales pueden soportar
temperaturas muy elevadas. Tienen la capacidad de fracturarse en
trozos más pequeños cuando aumenta la fuerza de corte. Este
fenómeno confiere al abrasivo su efecto de autoafilado. Durante el
amolado, cuando comienza el embotamiento, el abrasivo se
fractura y crea nuevos puntos de corte. Se suelen utilizar los cuatro
tipos de abrasivos siguientes:
i. Óxido de aluminio o alúmina (AJzl')

ii. Carburo de silicio (SiC)
iii. Nitruro de boTón cúbico (cBN)
iv. Diamante
El óxido de aluminio y los carburos de silicio se conocen como

abrasivos convencionales, mientras que el cBN y el diamante se
conocen como superabrasivos. La muela de óxido de aluminio
suele utilizarse para rectificar metales como acero al carbono, acero
aleado, acero rápido, hierro maleable recocido, hierro forjado y
bronces, y metales similares. Por otro lado, la muela de carburo de
silicio es más dura pero más quebradiza que la de alúmina y suele
utilizarse para rectificar materiales de baja resistencia a la tracción
como hierro gris, hierro enfriado, latón, bronce blando y aluminio,
así como piedra/mármol, caucho, cuero y otros metales no férreos
[26,27]. Las muelas de diamante son adecuadas para el mecanizado
de metales no férreos, mientras que el cBN suele ser bueno para el
rectificado de metales férreos. Sin embargo, estas últimas también
se utilizan para rectificar aleaciones de titanio y su rendimiento es
mejor que el de las muelas de SiC y AI2O3. La muela de óxido de
aluminio suele sustituirse por cBN para acero endurecido
(>45H@), superaleaciones (base de níquel, cobalto o hierro con
dureza superior a 35H@), aceros rápidos y fundición. cBN tiene
una resistencia a la abrasión cuatro veces superior a la del óxido de
aluminio. La elevada conductividad térmica del cBN evita la
acumulación de calor y los problemas asociados, como el satinado
de las muelas y el daño metalúrgico de las piezas [27]. Algunas
propiedades de estos abrasivos en comparación con el acero
templado y el vidrio se muestran en la Tabla 6.2
La tabla 6.2 muestra que el diamante tiene propiedades
prometedoras en comparación con los otros tres abrasivos. Una de
las propiedades únicas del diamante que destaca es su extrema
dureza. La dureza de este material le confiere la mayor resistencia
eléctrica y conductividad térmica de todas las sustancias conocidas.
Además, es químicamente inerte. La inercia química normalmente
impide que el diamante se una o reaccione con otras sustancias
[32]. Por estas razones, es el abrasivo más deseable para muchas
aplicaciones, pero su utilidad tiene otras limitaciones aparte del
coste. La química superficial del diamante limita su utilidad en
determinadas condiciones. El diamante es carbono y, a
temperaturas suficientemente elevadas, arderá o reaccionará con
metales que forman carburos. Si se produce cualquiera de estas
reacciones en un grado significativo, el diamante se pierde. Las
condiciones de servicio necesarias para evitar tales pérdidas son
temperaturas bajas y evitar los metales que forman carburos,
excepto a temperaturas próximas a la temperatura ambiente, como
en las operaciones de lapeado y pulido. La elevada conductividad
térmica del diamante contribuye a aliviar el problema al conducir el
Micromolienda 267
calor hacia el exterior [33].
Tabla 6.2. Propiedades de algunos materiales duros y quebradizos [23,28-31].
Material Punto de Conductivi Dureza Densidad

fusión ('C) dad térmica Knoop (kg/m )
Endurecido 1371- 15 -52 700- 1300 6920 -

acero 1532 9130
Vidrio 350 -750 0.6 - 1.7 300-810 2270 -
6260
Aluisainum 2040 29 2000-3000 4000-
óxido 2050 4500
Silicio 2830 63 - 155 2100-3000 3100
carburo 2500
Boro cúbico 3200 1300 4000 - 5000 3480
nitruro
Diaiiiond 3700 2000 7000 - 8000 3500
El diamante es excelente para el mecanizado de metales no

ferrosos (como cobre, zinc, aluminio y sus aleaciones), plásticos,
cerámica, vidrio, cuerpos de fibra de vidrio, grafito y otros
materiales muy abrasivos [34]. Aunque los diamantes son muy
duros, se desgastan al mecanizar acero, aleaciones de titanio y
acero inoxidable porque están compuestos de carbono puro. El
carbono del diamante se disuelve en y-Fe a gran velocidad a
temperaturas superiores a 900°C [3]. El diamante tampoco es
particularmente eficaz para el mecanizado de superaleaciones que
contienen cobalto o níquel, probablemente por la misma razón
anteriormente expuesta [3,35]. Un estudio reciente sobre los
mecanismos de desgaste en el rectificado mostró que la muela de
cBN es superior a las de AI2O3 y SiC debido a la mayor
estabilidad química del cBN a temperaturas más elevadas en el
rectificado de aleaciones de titanio (Ti6Al4V) y de base níquel
(K417) [36].
Micromolienda 269
6.2.3 Tamaño del grano abrasivo

El tamaño de un grano abrasivo se identifica mediante un número,
que normalmente está en función de la anchura de malla del tamiz,
ya sea en micras o en aberturas de malla por pulgada. La tabla 6.3
muestra el tamaño de grano equivalente utilizado por las normas
FEPA (micras), ASTM 11 (pulgadas), ISO y DIN (micras) tanto
para las muelas de diamante como para las de cBN. En el sistema
métrico (tamaño de micrograno), cuanto menor es el número,
menor es el tamaño de grano. Sin embargo, la codificación se
invierte en el sistema imperial, en el que un número menor
representa un tamaño de grano más grueso.
6.2.4 Grado mecánico

El grado de una muela abrasiva se refiere a su resistencia para
mantener los granos abrasivos en la muela. Esto depende en gran
medida de la cantidad de material de aglomerante utilizado. A
medida que aumenta la cantidad de material de aglomerante, la
estructura de enlace entre los granos se hace más grande, lo que
hace que la muela actúe con más dureza. Una rueda dura tiene un
aglomerante más fuerte que una rueda blanda. El tipo y la cantidad
de aglomerante de la muela también influyen en la resistencia
global. En los sistemas de marcado estándar, el grado de la muela
abrasiva se etiqueta de la A a la Z (de blanda a dura).
6.2.5 Estructura abrasiva

La estructura de una muela abrasiva representa la separación entre
los granos y es una medida de la porosidad de una muela abrasiva
aglomerada. La figura 6.3 ilustra la estructura de una muela
abrasiva, mostrando mayores áreas de poros (huecos) en la
estructura abierta que en la estructura media y densa. La porosidad
permite un espacio libre para que las virutas de rectificado se
desprendan para una acción de corte adecuada durante las
operaciones de rectificado. Este espacio libre no debe ser
demasiado pequeño o la viruta permanecerá en la muela,
provocando lo que se denomina carga de la muela. Un disco de
corte cargado se calienta y no es eficiente en su acción de corte.
Cuando esto ocurre, es necesario un reavivado frecuente para
eliminar las partículas cargadas de la pieza de trabajo.
rueda. Por otro lado, un espacio demasiado g r a n d e también es

ineficaz, ya que habrá muy pocos filos de corte. Una estructura densa
tiene mayor capacidad de retención de grano que una estructura
abierta. Cierta porosidad es esencial en las muelas aglomeradas
para proporcionar no sólo espacio libre para las diminutas virutas
que se producen, sino también refrigeración; de lo contrario,
interferirían en el proceso de rectificado. En los sistemas de
marcado estándar, la estructura de la muela se indica mediante
números. Los números más pequeños denotan una estenosis
abierta, mientras que las estenosis densas se representan con
números más altos.
(a) estructura densa (b) estructura media (c) estructura abierta
Fig. 6.3. Estructura de la muela {38]
Se han realizado esfuerzos internacionales para minimizar la

variabilidad del espacio entre granos y la altura de proyección del
grano con el fin de hacer más predecible el proceso de rectificado [39,
40]. Como se ilustra en la Fig. 6.4, las profundidades de corte gmin y
el espacio entre granos son mayores en (a) que en
(b) y son ventajas claras para una molienda eficaz, ya que implican
menos carga y generación de calor.
Lvl icrogrindi ng 2 fi7
Tabla 6.3. Estándar internacional equivalente de tamaños de grano para diamante y

boro líbico utilizado por los estándares FEPA, US, DIN y TSO comparado con un
estándar industrial.
designación del ensayo [37]
Typica! monocapa
Estructura de grano muela abrasiva
ideal
(a) @)
Fig. 6.4. Los diagramas esquemáticos muestran (a) la estructura de grano ideal
con espaciado de grano y altura de proyección controlados, (b) la muela monocapa
típica con espaciado de grano y altura de proyección aleatorios [41].
6.2.6 Concentración del grano abrasivo

Mientras que los porcentajes de grano, aglomerante y su separación en
la muela determinan su estructura, la concentración indica el
volumen de diamante o cBN en la capa de rectificado. Se define
por el peso porcentual del grano abrasivo por unidad cúbica de la
capa de rectificado. Para el diamante, el valor básico de C100
significa que cada cm3 de volumen de capa contiene 4,4 quilates de
diamante (1 ct = 0,2 g, densidad del diamante = 3,53 g/cm3 ), lo
que equivale a un 25% en volumen de contenido de diamante en la
capa de esmerilado. Como regla general para la selección de la
concentración deseada, las concentraciones altas son adecuadas
para áreas de contacto pequeñas y las concentraciones bajas para
áreas de contacto grandes, a fin de minimizar la rotura de la muela
[37].
6.2.7 Diseño y selección de muelas abrasivas

Las muelas utilizadas en las operaciones de rectificado pueden
variar mucho en cuanto a forma, tamaño y configuración. El éxito
de la aplicación de las muelas depende tanto de un conocimiento
profundo del proceso de rectificado como de las configuraciones
de las muelas.
Micromoliend 269
a
La figura 6.5 muestra algunas de las formas disponibles para

ruedas convencionales (lado izquierdo) y superabrasivas (lado
derecho), respectivamente. Se observa claramente que, en esta
figura, toda la forma de las ruedas convencionales está compuesta
de abrasivos, mientras que, por el contrario, sólo pequeñas
secciones de la rueda superabrasiva contienen abrasivos.
Dado que las ruedas superabrasivas son muy caras en
comparación con los granos abrasivos convencionales, no resulta
económico fabricar ruedas enteras con abrasivo, como es habitual
en las ruedas convencionales. De ahí que las ruedas superabrasivas
suelan diseñarse con una sección central que no lleva el abrasivo.
El abrasivo forma una capa de unos pocos milímetros de grosor, y la
sección exterior del núcleo y su forma se consideran en parte una
configuración de rueda estándar. Debe tenerse especial cuidado al
decidir la cara de rectificado durante las operaciones de rectificado
para diferentes configuraciones de muela, ya que puede
dañar/romper la muela si se acopla el lado incorrecto a la pieza de
trabajo y someter así al operario a condiciones inseguras. Además
de la forma y las configuraciones de la muela, los usuarios también
deben tener en cuenta el diámetro exterior, la altura, la anchura del
abrasivo, el tamaño del orificio y otras dimensiones, según sea
necesario.
Los abrasivos aglomerados se marcan con un sistema
normalizado de letras y números que indican el tipo de abrasivo, el
tamaño de grano, el grado, la estructura, la concentración, el tipo
de aglomerante y el espesor de la capa de abrasivo. La tabla 6.4.
muestra un tipo de orden de marcado en un diagrama de bloques
que se utiliza generalmente para el sistema de marcado de ruedas.
Tabla 6.4. Método estándar de orden de marcado de ruedas [42]

X X X X X
Orden Grano/tipo Gran Grado Estructura Tipo Nº del fabricante

de de abrasivo ulom de (opcional)
marcado etría bono
Fig. 6.5. Las imágenes de la izquierda muestran algunos tipos comunes de muelas
abrasivas fabricadas con abrasivos convencionales [23], mientras que las de la
derecha son formas típicas de configuraciones estándar de llantas metálicas para
muelas superabrasivas [37].
Este sistema de codificación simplifica todas las

especificaciones técnicas del abrasivo aglomerado necesarias para
la rueda y normalmente se diseña de forma ligeramente diferente
para las ruedas convencionales y las superabrasivas, como se
indica en las Figs. 6.6 y 6.7. En el sistema de codificación de ruedas
superabrasivas, las concentraciones de diamante/cBN sustituyen a
la estructura y al final se añade el grosor de la capa abrasiva.
Normalmente, los sistemas de codificación de muelas utilizan las
letras A, C, B y D para representar los tipos de abrasivo de
óxido de aluminio, carburo de silicio, nitruro de boro cúbico y
diamante, respectivamente. Sin embargo, los fabricantes también
suelen utilizar sus propios acrónimos para distinguir la variedad de
tipos de abrasivo específicos disponibles dentro del mismo grupo.
En la tabla 6.5 se muestran algunos ejemplos.
Micromoliend ¡27
a !
Tabla 6.5. Algunos ejemplos de tipos de abrasivos específicos y sus siglas utilizados en
el sistema estándar de marcado por rueda [43, 44].
Grupo abrasivo Tipo de Acrónimo

abrasivo
Óxido de A
aluminio Alúmina fundida
WA
marrón Alúmina
fundida blanca
Carburo de Carburo de silicio negro C

silicio
Carburo de silicio verde GC
Nitruro de boro cúbicoNitruro de boro cúbico con
revestimiento metálico CBC
Nitruro de boro cúbico microcristalino CBM
Diamante Diamante natural D
Diamante
sintét
icoSD Diamante sintético recubierto de metal
SDC
Boothroyd [45] sugirió que se utilizaran las siguientes directrices

generales para la selección de una muela abrasiva:
1. Elija óxido de aluminio para aceros y carburo de silicio

para carburos y metales no férreos.
2. Elija un disco duro para materiales blandos y un disco

blando para materiales duros.
3. Elija un grano grande para materiales blandos y dúctiles y

u n grano pequeño para materiales duros y quebradizos.
4. Elija un grano pequeño para un buen acabado y un grano

grande para la máxima velocidad de eliminación de iiietal.
5. Elija un aglomerante resinoide, de caucho o sliellac para

un buen acabado y un aglomerante vitrificado para una
eliminación máxima del metal.
pri en hacer
A NmWzmofl
C Silicio táctil p li0 5tt 1 S Silicato
Fig. 6.6. Sistema de marcado estándar para ruedas abrasivas de aglomerante convencional
[44].
Micromoliend 273
a
M D \tt - I III - I 1/8
18a
6B
Fig. 6.7. Sistema de marcado estándar para muelas de aglomerante superabrasivo [44].
6.2.8 Muelas montadas

Las muelas con mango, a veces conocidas como muelas con mango o
pernos de rectificado, se utilizan habitualmente como herramientas de
rectificado para operaciones de rectificado interno. Aparte de las
aplicaciones anteriores, estas muelas pueden utilizarse como
herramienta de desbarbado para eliminar el material sobrante tras
procesos de mecanizado, alisar bandas de fundición, aletas y
reparar soldaduras. Existen varios tipos y formas para adaptarse a
diferentes aplicaciones (Fig, 6.8(a-c)). Los materiales utilizados para
la herramienta pueden ser en forma de carburo de tungsteno y
abrasivo. Las herramientas montadas hechas de carburo de tungsteno
(Fig. 6.8(b)) se utilizan comúnmente para alisar cavidades de
matrices, chaflanar cantos y formar filetes [44], [46]. Las
herramientas montadas de tipo abrasivo incluyen óxido de aluminio,
carburo de silicio y diamante.
(b)
Fig.6.8. (a) Diferentes tamaños de espigas de diamante que se utilizan

normalmente para operaciones de rectificado interno, disponibles tanto en resina
como en aglomerante metálico [47], (b) Herramientas de desbarbado de carburo
de tungsteno de diversas formas, ideales para un rápido arranque de viruta en
materiales duros (48), (c) Varias formas de puntas montadas de óxido de
aluminio/carburo de silicio utilizadas junto con una amoladora manual portátil
para el rectificado y desbarbado de uso general en la mayoría de los materiales
ferrosos y no ferrosos [49, 50].
La figura 6.8 es interesante, ya que indica el uso del carburo de

wolframio (WC) como abrasivo para el desbarbado. Los abrasivos de
Micromoliend 275
a
WC también
utilizadas para rectificar caucho, como los rodillos de las máquinas

de fax. Esta figura también sugiere el uso de muelas abrasivas en
forma de disco.
6.3 Procesos de rectificado convencionales
Un proceso de mecanizado que se desarrolló como proceso de

precisión (abrasivo fijo) antes que el torneado es el rectificado, al
que siguieron el solapado y el pulido, que pueden considerarse
procesos de rectificado de alta precisión con abrasivo suelto. Hoy
en día existen varios tipos de operaciones de rectificado
convencionales, algunas de las cuales se resumen en la Fig. 6.9 En
general, las operaciones de rectificado se llevan a cabo en las
superficies externas e internas de las piezas de trabajo utilizando
rectificadoras de husillo vertical u horizontal.
El desarrollo del acero templado a finales del siglo XIX creó la
necesidad de una máquina capaz de afinar las piezas de trabajo,
que eran tan duras como las herramientas de corte. Esto condujo al
desarrollo de las rectificadoras, que a lo largo de los años se fueron
mejorando y modificando hasta convertirse en las rectificadoras de
alta precisión de hoy en día [52].
Las operaciones de rectificado de superficies se utilizan
habitualmente para rectificar superficies planas en función del
tamaño y la forma de la pieza de trabajo. Para sujetar la pieza de
trabajo suelen utilizarse mesas alternativas y giratorias que
disponen de una superficie de sujeción electromagnética (Fig.
6.10). Las operaciones de rectificado cilíndrico y sin centros se
utilizan para rectificar los diámetros exteriores de superficies
redondas (Fig. 6.11). Estas superficies pueden ser rectas,
escalonadas o cónicas. En el rectificado cilíndrico, la pieza se
sujeta entre centros que giran a una velocidad mucho menor en
dirección opuesta a la de la muela. Sin embargo, en las operaciones
de rectificado sin centros, la pieza de trabajo se mantiene entre la
muela abrasiva y una muela reguladora y una hoja de apoyo. Al
inclinar el eje de rotación de la muela reguladora con respecto a la
muela abrasiva, la pieza de trabajo recibe una fuerza longitudinal,
creando un movimiento o avance pasante que resulta útil para la
automatización.
Micromoliend 277
a
La rectificadora de superficies de
husillo vertical con mesa oscilante rectifica
en la cara de la muela y es capaz de realizar
cortes pesados. Este es un buen ejemplo de
rectificado por inmersión total en el que l a
muela rectifica 16 superficies de la pieza a
la vez. La principal ventaja del rectificado
por inmersión total es la mejora de la
rugosidad superficial y la precisión
dimensional.
Fig. 6.10. Rectificadora de superficies vertical [52)
La diferencia fundamental entre el rectificado sin centros y

la mayoría de las demás formas de rectificado es el hecho de
que la pieza de trabajo no se sujeta firmemente en un mandril
magnético o entre centros o en un tornillo de banco, sino que se
desplaza por el borde bajo la acción combinada de la muela
abrasiva, la muela reguladora y la cuchilla. La presión de rectificado
se genera dinámicamente por la diferencia de velocidad entre la muela
reguladora y la rectificadora.
Fig. 6.11. Una de las operaciones especiales de rectificado exterior sin centros
que se realizan es el rectificado de bolas de rodamientos. En este proceso, la
muela se alimenta contra la muela de desbaste. Las bolas tienden a apoyarse en la
muela de desbaste [53].
Las superficies internas de la pieza pueden acabarse mediante

operaciones de rectificado interno. Ejemplos típicos de rectificado
interno son la ampliación de un orificio o agujero de tamaño
similar al de las operaciones de mandrinado (Fig. 6 . 9 (e y h)) y el
rectificado de forma de diámetros interiores (Fig.
6.9 (g)). Para mecanizar un taladro, la llanta de rectificado fijada a
la periferia de un núcleo de soporte de dimensiones adecuadas debe
estar a la ex- tremidad de un eje, y ser lo suficientemente fina para
permitir una entrada fácil en el taladro y lo suficientemente larga
para permitir el mecanizado del taladro en toda su profundidad. El
saliente, que es la causa subyacente de una serie de problemas
característicos del rectificado interior, conlleva una falta inherente
de estabilidad y rigidez.
Las operaciones de ranurado, corte en rodajas, recorte y corte
en dados, que se pueden denominar operaciones de corte ilustradas
en la Fig. 6.9 (1, o, q ,r), respectivamente, también se reconocen
como operaciones de rectificado convencionales. En estas
operaciones de rectificado, se disponen verticalmente discos
individuales o múltiples en un husillo horizontal para realizar
operaciones de corte simultáneas en la pieza de trabajo que se
sujeta en una mesa alternativa (Fig. 6.9ni). El uso de discos de corte
superabrasivos ha aumentado considerablemente en los últimos 10
años, a medida que han ido apareciendo en el mercado materiales
más duros y caros. Estos requieren, en un primer paso de
mecanizado, ser cortados de forma rápida y barata a dimensiones
acordes con el producto final. Un área de gran crecimiento ha sido,
por ejemplo, el corte a medida de lingotes de cuarzo sintético, que
constituyen la materia prima necesaria para los relojes electrónicos.
Un disco de desbaste es esencialmente un disco de desbaste
muy fino, cuya anchura suele estar en torno a 1 mm (0,04 pulg.) o
menos. El borde está montado en la periferia de un disco metálico,
normalmente de acero. El principal requisito de un disco de corte
de este tipo es que tenga suficiente libertad de corte. La pieza de
trabajo debe cortarse sin que se acumule una presión sustancial en
la interfaz de rectificado [54].
El rectificado con avance lento (Fig. 6.9 (c)) es una nueva
forma de rectificado que difiere de otros procesos de rectificado
convencionales. En el rectificado de avance lento, toda la
profundidad de corte (entrada) se completa en una pasada
utilizando una velocidad de avance muy pequeña. Es una técnica
utilizada para rectificar una forma en una pieza de trabajo en una
sola pasada de la muela abrasiva. La pieza se introduce en la muela
abrasiva giratoria, en sentido opuesto a la rotación de la muela, a
Micromoliend 279
una velocidad de avance de la mesa lenta y constante.
a La altura de
la muela se ajusta al tamaño final y la forma deseada se completa
generalmente a
tamaño, tolerancia y acabado superficial en una sola pasada. Es

posible rectificar perfiles con profundidades de corte de 1,0 a 30
mm en una sola pasada utilizando velocidades de trabajo de 1,0 a
0,025 m/min [38].
El rectificado de avance lento puede competir con el rectificado
de superficies, el fresado, el tallado de engranajes, el brochado y
otros procesos que requieren un gran arranque de material. Es muy
eficaz cuando se requiere una forma precisa y exacta, y la precisión
del perfil es crítica. Las principales ventajas del rectificado con avance
lento son el aumento de la productividad, una mayor precisión
dimensional de la pieza y un menor daño metalúrgico a la pieza de
trabajo [52].
Rectificado con doble disco (Fig. 6.9 (i)), operaciones de
canteado en la periferia de obleas de silicio (Fig. 6.10 (n)) y
aplanado de lingotes de silicio (Fig. 6.10 (n)).
6.9 (p)) también se consideran operaciones de rectificado
superficial, pero en este caso implican diferentes tipos de piezas de
trabajo, tamaño y orientación. Las operaciones de rectificado
también se utilizan a menudo para la eliminación de rebabas y el
acabado fino de roscas mecanizadas, y las operaciones de rectificado
de forma de ranuras en husillos de bolas, como se muestra en (Fig.
6.9 (j) y Fig. 6.9 (k)), respectivamente.
Las muelas de nitruro de boro cúbico se probaron por primera
vez en 1957 en herramientas de corte de acero templado para
herramientas y matrices difíciles de rectificar (DTG). Estos aceros
son tan duros y resistentes a la abrasión que provocan un rápido
embotamiento del abrasivo convencional de óxido de aluminio.
Debido a la excepcional dureza de las muelas de cBN, en el
rectificado de herramientas, las dimensiones de las herramientas se
mantienen con precisión con un tiempo de inactividad mínimo para
el mantenimiento de la muela. El rectificado con muelas de cBN
mejora la resistencia a la fatiga y prolonga la vida útil de la
herramienta de corte al eliminar el calor de la superficie de la
pieza.
6.4 Procesos de rectificado de precisión
6.4.1 Modernización de un centro de mecanizado para

el rectificado de plantillas para la fabricación de
chips de CI
Micromoliend 281
a
El rectificado con plantilla es básicamente un proceso de
rectificado superficial vertical, que puede considerarse uno de los
procesos de rectificado de precisión de élite (Fig. 6.12). La
necesidad de ubicar los orificios con precisión en el trabajo
endurecido dio lugar a
280 Micro y nanotecnología
el desarrollo de la rectificadora de plantilla El nombre de

rectificadora de plantilla se debe al proceso utilizado para rectificar
orificios de plantilla. La precisión final del orificio taladrado
depende en gran medida de la precisión de la plantilla utilizada.
Esta máquina se diseñó especialmente para acabar los orificios con
un alto grado de precisión en placas de plantilla de perforación.
Esta rectificadora de precisión está equipada con una
instalación de rectificado de agujeros de precisión utilizada para
rectificar metales duros o piezas de cerámica. Utiliza muelas de
óxido de aluminio, diamante o nitruro de boro cúbico para
rectificar orificios en aceros endurecidos con una ubicación y
tolerancias precisas. Complementa a otra maquinaria de
producción de agujeros. Un producto típico se muestra en la Fig.
6.9 (h)
A menudo, la sujeción, el mecanizado o la operación de
endurecimiento distorsionaban la pieza de trabajo y alteraban la
ubicación de los orificios, de modo que dejaban de ser precisos.
Aunque la rectificadora de coordenadas se diseñó principalmente
para ubicar con precisión orificios en piezas templadas, se ha
utilizado ampliamente para rectificar formas de contorno como
radios, ángulos y planos. El funcionamiento de la máquina se
centra en una turbina de aire de alta velocidad con cabezal giratorio
eléctrico auxiliar con caña rectificadora. [52]
El rendimiento de cualquier muela depende de la capacidad y
las condiciones de trabajo de la rectificadora de coordenadas. Las
muelas de plantilla están disponibles en varios tipos de
aglomerante y una amplia variedad de estilos para adaptarse a las
distintas operaciones de rectificado con plantilla. Es importante
seleccionar la muela adecuada al material de la pieza de trabajo
para que el rectificado sea lo más eficaz posible. Los factores más
importantes a considerar cuando se seleccionan muelas de CBN
para operaciones de rectificado con plantilla son el tipo de
abrasivo, el aglomerante y el tamaño de grano [45,52].
El rectificado de plantillas con control numérico (NC) de
trayectoria continua requiere abrasivos de rectificado que duren
mucho tiempo, conserven su forma, produzcan buenos acabados
superficiales y mantengan el tamaño y la forma sin dañar
térmicamente la pieza. Un factor imposible de programar es el
desgaste de la muela. Si la muela pierde su forma, tamaño o
capacidad de arranque de material mientras realiza una pasada, se
producirá una forma imprecisa.
Micromoliend 2g T
a
Fig. 6.12. Mandrinadora de coordenadas Moore: (a) diagrama de líneas

[55] (b) imagen de la misma máquina [56]
FiR- * t3. Un macT'inc miI1ing conv¢ftcd en un jigindcr con una turbina de

aire at- tachment [21]. Esta idea se utilizó para el rectificado de un CI [S7].
Fig. 6.14. Centro de mecanizado CNC MAHO uygradcd para alta velocidad
mediante e l uso de una turbina de aire ['§7].
Radio fondo Formado ánguloRadio fondoRadio con
arista dos
ángulos
tangente
s
Fig. 6.15. Distintos tipos de pasadores disponibles para operaciones de rectificado con
plantilla
Micromoliend 283
a
Fig. 6.16. Descripción de varias operaciones de rectificado con plantilla [45]: (a) el
rectificado de agujeros o de inmersión es el método más común de rectificado de
agujeros en el que el pasador rectificador rectifica el fondo o la superficie lateral del
agujero. El movimiento del pasador se controla mediante una máquina CNC; (b) el
modo de rectificado de barrido se utiliza generalmente para el rectificado de formas.
La pieza pasa por la muela giratoria, que se encuentra en posición estacionaria.
Venkatesh et al. desarrollaron técnicas novedosas [58-61] para

estudiar la formación de estrías dúctiles durante el rectificado Jig
(Plano) de superficies de vidrio y Si utilizando un husillo de
turbina de aire de alta velocidad (Figuras 6.13 y 6.14). Se
comprobó que las muelas de diamante resinoide daban vetas más
dúctiles que las muelas con liga metálica, pero con estas últimas se
obtenía una mayor precisión de forma (Figs. 6.15 y 6.16). Las vetas
dúctiles se obtuvieron más fácilmente con Pyrex que con vidrio
BK 7, por lo que se necesitó muy poco tiempo para el pulido. La
tabla 6.6 muestra el tiempo necesario para pulir el vidrio Pyrex
utilizando diversos reactivos de pulido.
Los resultados indican que la rugosidad de la superficie de la
muestra de Si rectificada con precisión mejora con un menor
avance, excepto en la profundidad de corte más fina de 5 pm, donde
mayores velocidades de avance mejoran el acabado. También
aparecen estrías dúctiles a mayores velocidades de avance (Fig.
6.17).
Fig. 6.17. Imágenes SIM de Si rectificado la superficie consiste en (a)

microfracturas y (b) estrías de rectificado [62)
6.4.2 Profundidad crítica de corte
Como puede verse en la Fig. 6.18, también e x i s t e n diversas formas

de caras finales de muela, como puntiagudas, redondas, planas,
ligeramente cónicas, etc. La ventaja en este caso es que utilizando una
muela montada cuya cara extrema tenga una f o r m a l i g e r a m e n t e
cónica, se puede determinar la profundidad crítica de corte en el
rectificado. La figura 6.15 muestra una muela de diamante de 5 mm de
diámetro que se utilizó para esmerilar vidrio Pyrex. La punta de
diamante cónica dio lugar a zonas circulares con superficies
fracturadas y parcialmente dúctiles (Fig. 6.18(b)). A partir de la
geometría del pasador de diamante y del esmerilado, puede observarse
que la profundidad de corte de la muela es máxima en el centro de la
pista y disminuye gradualmente hacia el hombro. Como resultado, una
pasada de rectificado constituye al menos dos pistas, una con fractura
y otra con ductilidad parcial. De hecho, la Fig. 6.18 indica la
observación experimental en el esmerilado de vidrio Pyrex con un
perno de diamante de grano 64 pm. El ángulo real del cono de la
superficie del extremo se aproximó a 179,4 . Las condiciones de
rectificado fueron 39 m/s de velocidad de corte, 2,5 mm/min de
velocidad de avance y 10 pm de profundidad máxima de corte. En la
Fig. 6.18(a), y' representa la profundidad d e corte a la que se produce
la transición de rectificado frágil a dúctil y, por tanto, la profundidad
de corte correspondiente será el valor crítico. Con la ayuda de un
microscopio óptico y un software integrado de análisis de imágenes,
se puede medir la anchura de las pistas Fig. 6.18(c) mientras que y'
r e s u l t ó ser de 7 pm.
W icrogri nding 265
(a)
(b)
2nwi
C 1.35mm - -B'
Fig. 6. i g. (a) Exaygeratcd conicidad de grindi\Jg \vhe¢l (cono real a\Jg1e será
aproximadamente T79.4°). (b) Vista en planta de la superficie del suelo cuyo
diámetro es menor que el diámetro del corte, porque la profundidad del corte es
menor que y. La parte central del corte que se está fracturando es transparente y
la parte exterior es transparente debido a la aparición de vetas dúctiles parciales.
(c) Ampliación ''f área triangular O' B'A en (a) cn3hlcs esti- mación od crítico
Jcpll uf cui ( '") [52J
6.4.3 Rectificado de precisión con reavivado

electrolítico en proceso (ELID)
El rectificado con muelas superabrasivas es una forma excelente de
conseguir un acabado superficial preciso en materiales duros y
quebradizos. Para conseguirlo, l a s m u e l a s d e diamante
superabrasivas necesitan una fuerza de adherencia superior a la que
ofrecen las muelas con aglomerante metálico y resinoide. Sin
embargo, la rectificación y el reavivado de las muelas son un
problema importante, ya que tienden a satinarse debido a la carga
de la muela. Estos problemas pueden evitarse reavivándolas
periódicamente, pero esta acción interrumpida hace que el proceso de
rectificado sea muy tedioso y lleve mucho tiempo. Una investigación
japonesa
ha introducido una técnica eficaz para superar las deficientes propiedades
de autorevestimiento de las uniones metálicas, especialmente las
uniones de fundición, en presencia de lubricantes acuosos. Ohmori y
Nakagawa [63] denominaron a este método electrolytic in-process
dressing (ELID). El concepto básico del rectificado con ELID se
ilustra en la Fig. 6.19. Utiliza un método electroquímico para eliminar
los enlaces metálicos y exponer adecuadamente las partículas de
diamante, manteniendo así la alta eficien- cia de la operación de
rectificado. El sistema ELID básico consta de una muela abrasiva de
diamante con aglomerante metálico o de hierro fundido, un electrodo (de
cobre o grafito), una fuente de alimentación y un electrolito, como se
muestra en la Fig. 6.19.
Rueda ClB-D/cBN |Power Cepill

Cepill -1P!r1 o
o Iso
m
Trabajar
r°
Boquilla para soluciones

químicas
fluido de
molienda
B. Electrodo delail
A. Construcción del
sistema
Fig. 6.19. El sistema básico EU D muestra el requisito esencial de un aglomerante

W icrogri nding 265
de hierro fundido para que la muela abrasiva funcione utilizando el líquido
abrasivo como electrolito [63].
Micromoliend 287
a
La fuente de alimentación para ELID se utiliza para controlar la

corriente de rectificado, el voltaje y la anchura de impulso del proceso
de rectificado. La muela de aglomerante metálico se convierte en el
p o l o p o s i t i v o mediante l a aplicación de un cepillo que entra
suavemente en contacto con el eje de la muela y el electrodo se
convierte en el polo negativo. En el pequeño espacio entre el polo
positivo y el negativo (0,1 a 0,3 mm), se produce la electrólisis
mediante el suministro del líquido de rectificado y una corriente
eléctrica.
Una característica importante del rectificado ELID es que crea una
capa de hidróxido de óxido (aislante) en la superficie de la muela
ELID por electrólisis. La capa de hidróxido de óxido tiene una
conductividad electrolítica más baja.
Fig. 6.20. Ilustración esquemática del principio de rectificado ELID [64].
La figura 6.20 describe el mecanismo de rectificado ELID de una

muela de diamante con aglomerante metálico. Tras el rectificado (a),
los granos y el material de aglomerante de la superficie de la muela se
aplanan. La m u e l a rectificada debe
predesbaste eléctrico para que sobresalgan los granos en la

superficie de la muela. Cuando se inicia el tratamiento previo (b), el
material de aglomerante se desprende de la muela y se forma una
capa aislante compuesta por el material de aglomerante oxidado en
la superficie de la muela (c). Esta capa aislante reduce la
conductividad eléctrica de la superficie de la muela y evita que el
material de aglomerante se desprenda excesivamente de la muela.
A medida que comienza el rectificado, (d), los granos de diamante
se desgastan y la capa también se desgasta, (e). Como resultado, la
conductividad eléctrica de la superficie de la muela aumenta y el
reavivado electrolítico se reinicia con la descomposición del
material de unión de la muela. Este ciclo se repite durante el
proceso de rectificado para conseguir un rectificado estable
[63,65,66]. El ELID se ha convertido en el método más eficaz para
el rectificado continuo de muelas con aglomerante metálico,
eliminando los problemas de carga y satinado de la muela durante
el proceso de rectificado [67]. Se ha informado de que la rugosidad
superficial (Ra) con el proceso ELID puede alcanzarse hasta 0,33
nm en vidrio BK7 y silicio cuando se utiliza una muela de
aglomerante metálico de grano ultrafino #3000000 [63].
Las aplicaciones del ELID son numerosas. Se ha utilizado con
éxito en procesos como el rectificado de superficies, el rectificado
cilíndrico, el rectificado interior y el rectificado sin centros.
Algunas otras son el corte abrasivo de cerámica [68], el rectificado
de superficies de espejo de obleas de silicio [63], el mecanizado de
agujeros pequeños de materiales cerámicos [69], el aserrado de
acero, polímero, zafiro y vidrio [70], el mecanizado de precisión de
espejos de reflexión CVC-SiC [69] y el rectificado cilíndrico
interno de espejo en aceros y componentes de alúmina [67].
6.4.4 Rectificado parcial en modo dúctil

Para transformar una pieza de vidrio en bruto en un componente
óptico cristalino, los ópticos esmerilan y pulen la pieza.
Tradicionalmente, los ópticos utilizan pequeñas partículas
abrasivas, como el óxido de aluminio, mezcladas en una lechada a
base de agua, para eliminar gradualmente las imperfecciones y dar
a un trozo de vidrio en bruto la forma óptica necesaria para dirigir
con precisión los rayos de luz desde un punto distante. El proceso
de esmerilado deja grietas diminutas justo debajo de la superficie,
así como pequeñas imperfecciones en forma de cráter que hacen
que la pieza de vidrio sea opaca y propensa a fracturarse. Para
Micromoliend 289
a
eliminar la capa dañada y obtener una óptica limpia, la pieza se
somete a un proceso de pulido.
a b
Fig.. 6.21. (a) y (b) Rayas de esmerilado en Si y G e . (c) Rectificado dúctil de casi el
90% en Ge [75].
Venkatesh y Zhong [75] llevaron a cabo el esmerilado y pulido

de lentes asféricas industriales en un generador de perfiles
asféricos. Los resultados indican que el esmerilado semidúctil
funciona bien para las industrias oftálmicas. El tiempo de pulido se
redujo en casi un 50%. (Fig. 6.23), que dan vetas dúctiles máximas
tanto para lentes esféricas como asféricas.
290 MiGro y nanofabricación
1.6
Tamaño de
;.2- grano: 3 ym
0.8 -
0.4
O.O
0 2 3
Tiempo de votación min
Fig. 6.22 Valores de rugosidad de moldes de vidrio asférico pulidos frente a la cal
de pulido [75]
Inspirándose en el modelo de Konig y Sinhoffs mencionado en

la referencia [12], se expone la siguiente explicación:
La muela de resinoide en virtud de su diseño es ligeramente

elástica y con un aglomerante complaciente hace que los granos de
diamante nacientes sobresalgan ligeramente y ctrl con una fina
profundidad de corte que da lugar a una gran cantidad de vetas de
esmerilado. Estas vetas son mucho más abundantes en el Ge que en el
Hi y el vidrio. Aunque todos son materiales frágiles, su fragilidad
varía. El Si y el Ge se vuelven cada vez más dúctiles por encima del
60% de la temperatura absoluta de fusión, e s decir, unos 450°C
para el Ge y 750°C para el Si. Una explicación de la formación de
bandas dúctiles, junto con bandas fracturadas, se muestra en una
forma modificada del modelo de Konig y Sinhoffis en la Fig. 6.23.
Micromoliend 2fiT
a
Unión del granoSaliente Bono

del grano de diamante Unión granular
protuberante
" o Desplazados
O material
mo o
>;p0" "oO
espaci
o
O'o
Grieta profundaConchoidal Máximo

WOrkpiece
crackprofundidad de corte
Fig. 6.23 El modelo de Konig muestra que las protuberancias desiguales fuera de
la unión representan la profundidad de corte del grano. El grano abrasivo del lado
derecho que sobresale ligeramente dentro de la región de profundidad crítica de corte
produce vetas dúctiles mientras que en el lado izquierdo e l grano sobresale más que la
región de profundidad crítica d e c o r t e produce fractura y grieta profunda [75].
6.4.5 Generación de superficies asféricas

En los últimos años se h a n producido avances espectaculares en el
campo de la óptica, la astronomía y las aplicaciones infrarrojas. Esto
ha dado lugar a una demanda cada vez mayor de superficies
asféricas simples y complejas que produzcan una mejor calidad de
imagen en comparación con la producida por las lentes esféricas. Una
s u p e r f i c i e asférica se define generalmente como una superficie
con una sección cónica básica. A esta sección cónica básica también
se le puede superponer una desviación simétrica que viene dada por
una expresión polinómica simétrica c o m o l a siguiente [12]:
shapefacior X
z-- A, X + A2 X +etc. (6.3)
R+ R + )+
Donde X es la distancia horizontal desde el eje asférico, Z es la

distancia vertical correspondiente o la flecha vertical, forma = -1
para convexo; y = +1 para cóncavo, donde
R - radio de ciirvatiire, aud

k - conte' e-onstaut as giveil helc'w:
k < -1 Hipcrboloide
k - -1 P'iraholoide
-1< k < 0 Elipsoide
k - 0 Esfera
k0 elipsoide oblato.
Los términos restantes en la ecuación anterior son las

desviaciones simétricas de la forma cónica básica. La flecha
vertical de una superficie esférica y una superficie asférica con sus
ecuaciones básicas y desviación simétrica se muestra en la Fig.
6.24.
La fabricación de este tipo de asféricos siempre ha sido un reto,
especialmente en materiales de ventanas infrarrojas y metales. Por
ello, los fabricantes e investigadores se han esforzado mucho por
aplicar sistemáticamente la ciencia de la medición al diseño, la
fabricación y la producción de asféricos.
fabricación de dispositivos de alta precisión para conseguir
tolerancias bajas, un mejor acabado superficial y pocos daños en la
subsuperficie a un coste reducido.
Actualmente, con el desarrollo de máquinas-herramienta de
ultraprecisión, se ha informado de la consecución de los tres
aspectos deseados de la pre- cisión asférica. El torneado
monopunto con diamante es el principal método de mecanizado
utilizado para materiales extremadamente frágiles como el silicio y
el germanio. Sin embargo, se están realizando esfuerzos para
obtener los aspectos deseados de la precisión asférica mediante el
rectificado con diamante. El presente trabajo también explora la
viabilidad de obtener una superficie asférica sin daños
subsuperficiales en superficies de silicio monocristalino [76].
Micromolienda 293
Fig. 6.24. Los efectos de la flecha crean una diferencia entre las superficies
asféricas y esféricas, como demuestra el uso de un reloj comparador [76].
El principal uso de los diseños de lentes asféricas es la

reducción o eliminación de las aberraciones ópticas producidas
al mirar oblicuamente a través de una lente oftálmica.
Comenzaremos nuestro debate sobre las lentes asféricas
analizando algunas de estas aberraciones ópticas y sus efectos. En
el caso de las lentes oftálmicas, se produce una aberración óptica
cuando los rayos de luz no llegan a un punto de enfoque en la
posición ideal de la imagen del ojo (denominado punto lejano) al
girar alrededor de su centro.
294 Micro y nanoinanufactura
Fig. 6.2S. Los rayos de luz procedentes de un punto objeto inciden oblicuamente
sobre la lente y se fo- cunden en dos líneas focales separadas, en lugar de en un
único punto de enfoque, lo que provoca asligmatismo oblicuo [76].
El error de enfoque astigmático, que se ilustra en la Fig.

6.25, se produce cuando los rayos de luz procedentes de un objeto
situado en la periferia inciden oblicuamente sobre la lente. Se
producen dos líneas focales a partir de cada punto del objeto. La
diferencia dióptrica entre estas dos líneas focales se conoce
como error astigmático de la lente.
Los rayos de luz que inciden en el plano tangencial o radial de la
lente se enfocan en el foco tangencial. La línea focal resultante es
perpendicular al plano tangencial real. Los rayos que inciden en el
plano sagital o ecuatorial de la lente se enfocan linealmente en el
foco sagital. Esta línea focal es perpendicular al plano sagital.
Ambos planos se muestran en la Fig. 6.26.
El coma es una distorsión de la imagen en la que el enfoque y
la magnificación son diferentes para los rayos que atraviesan varias
zonas del sistema óptico. Suele producirse cuando los rayos
incidentes no son paralelos al eje óptico y se forma una imagen
borrosa en forma de anillo.
En óptica refractiva, la aberración cromática (lateral y
longitudinal) altera la calidad de la imagen cuando el sistema
óptico debe funcionar en una amplia gama de longitudes de onda.
Se debe al fenómeno de dispersión (cambio del índice de
refracción con la longitud de onda), que produce una variación de
la distancia focal con la longitud de onda. La aberración cromática
aumenta la borrosidad de la imagen en proporción directa al rango
espectral.
Micromolienda 295
Fig. 6.26. Planos sagital (ecuatorial) y tangencial (radial) de una lente [76)
Los tres tipos de aberraciones no pueden eliminarse

simultáneamente. Por lo tanto, cualquier sistema óptico necesita
una combinación de varias lentes para obtener una imagen de
mejor calidad. Por otro lado, las limitaciones de peso del sistema y
los costes de fabricación globales exigen un menor número de
lentes. Así pues, una superficie parabólica de silicio resulta ser la
mejor opción para la aplicación de infrarrojos.
Los métodos tradicionales para generar superficies asféricas en
vidrio han llevado mucho tiempo [77]. Kapoor y Venkatesh
desarrollaron una técnica novedosa que permitía una gran
recuperación de material sin afectar al acabado ni al perfil de la
superficie [72]. Esta técnica se extendió al germanio y al silicio
utilizando muelas con aglomerante metálico y con aglomerante
resinoide.
Para eliminar material rápidamente y acabar con la superficie
deseada, el área de contacto entre la herramienta de rectificado y la
pieza debe ser lo mayor posible. Dado que sólo las esferas y los
toroides permiten la condición de contacto de área completa, el
contacto de área parcial o el contacto de línea serán la mejor
alternativa. El uso de una máquina con una herramienta giratoria
sugiere que la superficie de contacto debe ser simétricamente
giratoria. En general, la forma de la pieza no es predecible. Por lo
tanto, la condición de la gran superficie de contacto se pone en
peligro. Así pues, se optó por un método basado en un contacto
de línea larga entre la herramienta y la pieza durante el primer
paso del desbaste. Durante los siguientes pasos del pulido, el uso
de una herramienta flexible permite la con- formidad entre la
pieza de trabajo y la herramienta, acercándose a la condición
original de un área de contacto.
Dos muelas de diamante en forma de copa de idéntico tamaño con
Se utilizaron aglomerantes metálicos (D20/30 MICL50M-1/4) y
resinoides (SD240-RIOO B69-6 mm). En este caso, el perfil del
borde de rectificado es circular, pero no se limita a esta forma, sino
que forma un toroide.
La característica importante es que la forma de la superficie de

rectificado es axialmente simétrica. Ahora es posible programar la
trayectoria de esta herramienta en la máquina CNC de forma que
esté en contacto lineal (o en arco) con la pieza de trabajo mientras
corta la forma deseada en el vidrio [78].
Para ilustrarlo, se muestra el rectificado de un paraboloide. Se
puede pensar que la herramienta de copa consiste en una colección
de círculos cuyos planos son perpendiculares al eje de rotación de
la herramienta. Cuando el paraboloide es intersecado por un plano,
como se muestra en la Fig. 6.27, la línea común se denomina
elipse. Cuando la tarea es cortar un paraboloide cóncavo, la
herramienta debe encajar dentro del paraboloide. Por lo tanto, la
herramienta debe tener un diámetro menor que el radio más corto
encontrado en la elipse de intersección de cualquier plano que
intersecte el paraboloide. En el caso de un paraboloide, el radio de
curvatura más corto en la elipse de intersección se encuentra
cuando el plano contiene el eje de simetría del paraboloide.
Cualquier círculo en el lado exterior de la herramienta puede
estar contenido en uno de los planos que intersecan el paraboloide.
El ángulo que este plano forma con el eje del paraboloide puede
ajustarse de forma que el arco del círculo y el de la elipse (Fig.
6.27) en d, no difieran en altura de flecha más que una tolerancia
preestablecida. Esta condición establece una determinada longitud
de arco común en la que la diferencia de flecha no supera un
determinado valor, digamos 0,5 pm. A continuación, se puede
programar el eje de la herramienta para que adopte una posición
ligeramente diferente con respecto al eje de rotación de la pieza, así
como con respecto al vértice P del paraboloide. A continuación, se
repite la secuencia para formar una zona vecina de la indicada en la
Fig. 6.27.
Dos centros de mecanizado CNC verticales de 5 ejes (Fadal y
Deckel) están programados para realizar estas secuencias de forma
continua, hasta completar el paraboloide. De este modo, se rectifica
una zona durante una revolución. Mientras que en el corte con una
herramienta de punta, en principio se corta una línea del
paraboloide, está claro que este método de rectificado con el arco
de contacto más cercano puede completar la misma superficie más
rápidamente que en el caso del corte con una herramienta de punta.
Micromolienda 297
rone
Fig. 6.27.Principio básico del rectificado por zonas [72)
Los materiales utilizados para las imágenes térmicas fueron

germanio monociristalino y silicio. Ambas piezas en bruto se
pulieron después del esmerilado. Se desarrolló una herramienta
especial de aluminio. Se pegó un paño de fieltro a la superficie
esférica de esta herramienta y se le aplicó una pasta de pulido de
alúmina de una micra durante el pulido. Se utilizó la misma
configuración para el pulido en la máquina CNC.
Fig 6.28. Proceso de generación de superficies asféricas y diagrama esquemático

que muestra la velocidad de la pieza y la herramienta [79].
Tan [73] recomendó la muela con aglomerante resinoide para el

rectificado de Ge y Si (figura 6.28). Con ambas muelas se
obtuvieron mejores valores de rugosidad superficial para el Si. Sin
embargo, el Si era más difícil de pulir y había que aplicar una
presión más ligera para evitar que se desprendiera el fieltro. Así
pues, para el mismo tiempo interno, Ge tenía un acabado
superficial mucho mejor. El pulido mejoró la precisión de forma
con el Ge, pero no con el Si. Se observaron modos de eliminación
de material tanto dúctiles como por fractura tanto con Si como con
Ge[72].
La figura 6.29 muestra una cierta cantidad de estrías dúctiles en
el silicio y la figura 6.30 una cantidad masiva de estrías dúctiles
en el Ge. Se puede obtener una mejor rugosidad superficial,
precisión de forma y suavidad con una rectificadora de plantilla
CNC de 5 ejes, y también rectificando la muela para el modo
dúctil como sugiere Rusell [74]. El mismo tipo de trabajo ha
sido realizado por Kapoor [72] quien sugirió que las muelas con
aglomerante resinoide dan vetas más dúctiles que las muelas con
aglomerante metálico.
Fig. 6.29. Vetas dúctiles Fig. 6.30. Formación de estrías

obtenidas en dúctiles sobre Ge durante la
generación asférica 5i generación asférica con una rueda de
dxring [50]. diamante ligada con resinoide. [60]
Micromolienda 299
6.5 Rectificado de ultraprecisión
6.5.1 Máquinas de ultraprecisión y desarrollo

Los avances tecnológicos permiten mecanizar materiales duros y
frágiles con tolerancias muy estrechas. Se ha desarrollado el
mecanizado de ultraprecisión y se ha introducido un nuevo
concepto de mecanizado denominado mecanizado en modo dúctil.
Utilizando esta máquina junto con la teoría del modo dúctil, se
pueden conseguir acabados de espejo en la pieza sin la
intervención del pulido [80,81]. En el mecanizado en modo dúctil,
los avances y la profundidad de corte tienen que ser muy pequeños,
del orden de 10 nm y 1 Jim, respectivamente [82]. Con la
configuración de máquina de ultraprecisión, se puede conseguir un
mecanizado completo en modo dúctil, y el acabado superficial es
similar al de un espejo sin procesos posteriores como el pulido
[80,81].
La mayoría de las máquinas de ultraprecisión disponibles en el
mercado están equipadas con sistemas de mecanizado que adoptan
o bien herramientas monopunto de diamante o bien muelas
abrasivas multipunto. Sin embargo, en algunos casos pueden
incorporarse ambos sistemas de mecanizado en una máquina a
petición del cliente para permitir operaciones de mecanizado
abrasivo tanto de una punta como de varias. La figura 6.31 muestra
una construcción típica de ambas máquinas de ultraprecisión.
Según Schulz y Moriwaki [84], una máquina de ultraprecisión se
define como una máquina que dispone de sistemas de mecanizado
con las siguientes ac- curacias de movimiento:
precisión geométrica de deslizamiento inferior a 1 pm

ii. movimientos de error del husillo inferiores a 50 nm
iii. resoluciones de control y retroalimentación inferiores a 10
nm
Eje de trabajo \husillo
cojinete aerostático) Cojinete aerostático,
V-V R.. B.
Guía8y
Cama
Fig. 6.31. Construcción típica de (a) una máquina de torneado de diamante

monopunto de ultraprecisión de 2 ejes [46], (b) una máquina de rectificado de
diamante de ultraprecisión de 4 ejes (Cortesía de Toshiba Machine Co, Old.)
Con las precisiones de movimiento anteriores, se espera que la

máquina de ultraprecisión sea capaz de generar las siguientes
precisiones de pieza de trabajo:
i. dimensiones precisión en el gama de a pocos

tnicrómetros
ii. precisión de forma de la superficie en el rango de 100 nm
o
mejor
iii. textura superficial en el rango de 5nm, o mejor
Para satisfacer estos requisitos, la máquina debe tener un alto

grado de estabilidad térmica, rigidez, amortiguación y suavidad de
movimiento, y también debe estar integrada con un sistema de
metrología de ultraprecisión en la máquina herramienta, pero
aislada de la respuesta de la máquina herramienta durante el
mecanizado [85]. Existen
Micromolienda 301
En el mercado mundial hay al menos cinco empresas principales

que desarrollan este tipo de máquinas, a saber, Moore
Nanotechnology Systems, Precitech, Toyoda, Nachi Fujikoshi y
Toshiba [83]. Estas máquinas están disponibles en configuraciones
de 2 a 5 ejes, como se muestra en la Fig. 6.32. Normalmente, la
muela abrasiva se fija en un husillo vertical, eje y, para realizar la
operación de rectificado en la pieza de trabajo donde se sujeta al
vacío en el husillo horizontal principal. Dependiendo del número
de ejes, este tipo de máquina puede producir varios tipos de
superficies, como planas, cilíndricas, esféricas, asféricas y
secciones cónicas, Fresnel y difractivas, de forma libre y
microestructuras (figura 6.33). Las aplicaciones de estas
superficies incluyen discos duros, tambores de fotocopiadoras,
dispositivos de visión nocturna (Figura 6.34), lentes (para cámaras,
dispositivos de carga acoplada (CCD), lectores de CD y DVD,
óptica de forma libre (para impresoras láser, escáneres y sistemas
de radar de óptica militar conformada (Figura 6.35) y pantallas
para ordenadores portátiles/teléfonos móviles, reflectores de
señales de tráfico [83].
ULA-100A(H) (X. Z)
D F G
Fig. 6.32. Amplia gama de modelos Toshiba de tornos y rectificadoras de

ultraprecisión de 2 a 5 ejes [86].
3(J2 Micro y nanofabricación
a b
Fig. 6.33. Diversos productos ópticos fabricados en la máquina Toshiba (a)

lentes esféricas y asféricas (plástico y vidrio) (b) torneado y rectificado de
moldes para lentes esféricas y asféricas (c) máquina para lentes tóricas y de
forma libre [86].
Fig. 6.34. Rectificado de un cristal asférico de gran diámetro en una máquina de

torneado y rectificado de precisión de 2 ejes Toshiba U LG l00A.
Micromoliend 303
a
Fig. 6.35. Funcionamiento típico del U VG

100 de Toshiba [86)
(a) molienda de carburo de tungsteno mol

d para lentes de vidrio
(b) Precisión de forma de una lente asférica

en Taylor Hobson
OPTIMUM 2800 de Precitechs (Fig. 6.36) es una máquina de

contorneado de alto rendimiento, de 2 ejes, controlada por ordenador
y de ultraprecisión, diseñada específicamente para el torneado y
rectificado con diamante de un solo punto de componentes ópticos de
ultraprecisión. La máquina está construida sobre una base de granito
natural y utiliza un sistema neumático de aislamiento de vibraciones.
Las guías de deslizamiento hidrostáticas con cojinetes de aceite están
construidas en una configuración en "T" desplazada, en la que la guía
del eje x (husillo) representa el brazo transversal d e la "T" y la guía
del eje z (portaherramientas) representa el vástago de la "T". Tanto el
eje x como el z tienen 200 mm de recorrido. El husillo
portaherramientas es un diseño de cojinete neumático neumostático.
El husillo se acciona mediante el uso de un motor de corriente continua
sin escobillas y funcionará hasta una velocidad máxima de 3.000 rpm.
El sistema de rectificado asférico de alta velocidad está diseñado y
fabricado para su uso en los sistemas de mecanizado OPTIMUM de
Precitech. Este sistema compacto de rectificado asférico utiliza un
h u s i l l o neumático de alta velocidad accionado por turbina. El
husillo de cojinete de aire está montado en un
conjunto de carro mecánico de posicionamiento manual. La

corredera está montada en una columna de acero fabricada de tal
manera que el husillo de rectificado se coloca en la dirección
vertical.
El husillo de rectificado funciona en una gama de
velocidades de 10.000 a 70.000 rpm. El accionamiento por turbina
proporciona una rotación del husillo extremadamente suave y sin
fricción. El sistema de rectificado admite muelas de 3 a 15 mm de
diámetro. El sistema se ha diseñado principalmente para
componentes asféricos pequeños, en particular lentes y moldes de
lentes de hasta 30 mm de diámetro [87).
Fig. 6.36. (a) Máquina de torneado y rectificado de ultraprecisión OPTIMUM

2800 de Precitech (b) Vista de cerca de la rectificadora utilizada para estudiar la
formación de estrías dúctiles [88].
El esmerilado semidúctil seguido de un pulido mecánico

sencillo es un proceso económico para producir una superficie
similar a un espejo en vidrio de aluminoborosilicato duro y
quebradizo. Ong y Venkatesh [88] utilizaron una muela de
grano fino con aglomerante resinoide para generar grandes
cantidades de estrías dúctiles con el fin de mejorar el acabado
superficial y reducir el tiempo de pulido. Las muestras esmeriladas
se pulieron con diferentes lechadas en la OPTIMUM 2800 de
Precitech.
Micromoliend 305
a
Tabla 6.6. Parámetros de pulido para el pulido de vidrio de aluminoborosilicato [88].
(l @ @) |dtAij§jl7(jtzi) |raitig IQR) d/ [rim) J/,dl(ti \-') eXtfritfiL I '
Fig. 6.37. Máquina de ultraprecisión Moore's Nanotech 500FG

Fig. 6.38. Detalle del rectificado y torneado de vidrio asférico tens en la máquina de
torneado y rectificado de ultraprecisión nanotech 500FG de Moore [g9].
La Nanotech 500FG (Fig. 6.37), desarrollada por Moore

Nanotech- nogy Systems, adopta la técnica del micromolido. La
máquina es capaz de generar formas confocales arbitrarias en
materiales que van desde vidrio óptico y materiales infrarrojos
hasta metales no ferrosos, cristales, polímeros y cerámicas. La
superficie microrectificada suele requerir poco o ningún pulido
posterior. La temperatura de la máquina se mantiene estable a
menos de +0,5° C. El esmerilado se realiza en un entorno
refrigerado por inundación.
Namba et al. [8] desarrollaron una rectificadora de superficies
de ultraprecisión y consiguieron estabilizar su proceso de
rectificado utilizando un rotor de husillo fabricado con un material
de baja expansión térmica. Esta máquina tiene dos husillos
verticales con cojinete hidrostático de alta precisión y rigidez.
Puede mecanizar con una profundidad de corte extremadamente
fina (0,1 pm) y producir con una planitud de siibmicras y una
superficie nanométrica.
Micromoliend 307
a
rugosidad (5 nm fip") en vidrio óptico (NbF), ferrita Mn-Zn y
materiales electrónicos utilizando muelas abrasivas de diamante.
McKeown et a1. [90] de la Unidad de Ingeniería de
Precisión de Cranfield (CUPE) también desarrollaron una máquina
rectificadora de ultraprecisión de 3 ejes (Nanocenter) que puede
realizar operaciones de torneado, rectificado y pulido con
diamante, y es capaz de medir perfiles mecanizados complejos
mediante interferometría con una resolución de 1,25 nm. También
sugirieron que, como regla general, la máquina debe tener una
"rigidez de bucle" estática entre la herramienta y la pieza de trabajo
de al menos 300 N/pm con el fin de establecer condiciones seguras
para el rectificado dúctil.
Otro ejemplo de rectificadora de ultraprecisión fue desarrollado
por Suzuki y Murakami de Toyoda Machine Works (1995) para el
mecanizado de espejos asféricos no axisimétricos. Se trata de una
máquina de 5 ejes con una resolución de retroalimentación de 10
nm, y el posicionamiento rotacional se controla mediante un
codificador rotativo láser con una resolución de 0,00002°. Se
observa claramente que la rigidez de la máquina, la alta rigidez
dinámica, la alta estabilidad térmica, el control preciso y suave de
la resolución de retroalimentación, la capacidad de lograr una
profundidad de corte fina y el uso de herramientas especiales
desempeñan un papel vital en la producción de superficies muy
lisas por debajo del nivel subnanométrico en el mecanizado de
ultraprecisión.
6.5.2 Máquina herramienta de sobremesa tetraédrica

Las características dinámicas de una revolucionaria estructura de
máquina herramienta utilizada para el mecanizado de componentes
de ingeniería a micro y nanoescala son de vital importancia.
Minimizar los efectos de las vibraciones a micro y nanoescala es
vital, ya que si una pieza mecanizada oscila durante el proceso de
mecanizado, se producirá un aumento de la profundidad de corte
que reducirá la calidad del acabado superficial y la precisión
dimensional del componente mecanizado. El apilamiento de
átomos inspiró el diseño de una nueva estructura de plataforma
para mejorar la tecnología existente, ya que el objetivo de la
máquina es permitir la manipulación de moléculas a escala
nanométrica. La idea de la estructura procede de la estabilidad
estructural que ofrece el tetraedro. La estructura tetraédrica es
extremadamente estable y se cree que su forma podría minimizar
las vibraciones mejor que las estructuras convencionales de las
máquinas herramienta. Las vibraciones viajan a través de una
estructura tetraédrica; se disimulan o
Micromoliend 309
a
La capacidad de minimizar las vibraciones es necesaria porque si el
husillo oscila durante el mecanizado, se producirá un aumento de la
profundidad de corte, lo que reducirá la calidad del acabado
superficial o la precisión dimensional del mecanizado. La capacidad
de minimizar las vibraciones es necesaria porque si el husillo oscila
durante el mecanizado, se producirá un aumento de la profundidad de
corte, reduciendo así la calidad del acabado superficial, o la precisión
dimensional de la pieza mecanizada se reducirá significativamente. La
figura 5.39 muestra la estructura tetraédrica de la máquina
herramienta [91].
Fig. 6.39. Bastidor tetraédrico de máquina herramienta [91, 92].

6.5.3 Rueda sin encuadernación

La figura 6.40a indica la forma de la rueda y su tamaño
nominal. Cuando la rueda está en uso, se acopla a un vástago
como se muestra en la Fig. 6.40b [57].
(a) )
Fig. 6.40. Muela de diamante sin aglomerante mostrada en (a) forma de muela
sin vástago y (b) muela con vástago.
La muela se fabrica depositando diamante sobre un sustrato metálico,

principalmente carburo. Existen tres tipos de muelas en función del
método de deposición aplicado. La figura (6.41) muestra la estructura
de grano de diamante de cada tipo de rueda. A diferencia de las
muelas con aglomerante, la capa de diamante sólo se encuentra en la
parte superior de la superficie del sustrato y puede t e n e r u n
tamaño de grano muy fino, mientras que el grano más pequeño de las
muelas con aglomerante debe ser mayor que el del aglomerante. El
tamaño máximo del g r a n o puede llegar a 10 pm. Sin embargo,
tiene una mayor densidad de granos de diamante.
La muela de diamante sin aglutinante se probó para mecanizar Pyrex
vidrio, el troquel d e s i l i c i o y las virutas de embalaje. E l v i d r i o
Pyrex y el troquel de silicio se mecanizaron cambiando el avance y
la profundidad de corte para investigar el modo de mecanizado y el
acabado superficial. Se observaron estrías dúctiles en ambas
superficies (Fig. 6.42). El acabado superficial alcanzable fue de 0,1
pm. La viruta de empaquetado se mecanizó para examinar las seis
capas de trazas de Cu. El embalaje de la viruta se mecanizó con
bastante facilidad con una rueda sin aglutinante revelando las capas de
Cu.
Micromoliend 305
a
(a) (b) (c)
Fig. 6.41. Micrografías SEM de la superficie de la rueda de diamante: (a)

rueda tratada térmicamente, (b) rueda tratada químicamente, (c) rueda tratada
químicamente con superficie de diamante {92].
La planitud de la muela sin aglutinante ayuda al retardo planar

del empaquetado del chip, como se ve en la Fig. 6.43, sin
necesidad de pulido. En estas micrografías se aprecian defectos
menores en las tmces horizontales de cobre y mayores en los
viaductos verticales que unen las trazas de Cu.
La invención de la muela de diamante sin aglomerante ha
hecho mucho más fácil y económico el mecanizado de la matriz de
silicio y el empaquetado de la viruta (Fig. 6.44). Tiene el potencial
de rectificar vidrio y materiales ópticos infrarrojos como el Si y el Ge.
Fig. 6.42. (a) La imagen SIM muestra vetas dúctiles parciales elevadas en vidrio
Pyrex óptico [62], (b) la micrografía óptica muestra abundantes vetas dúctiles en un
troquel de silicio (93).
Cerdo. 6.43. El rectificado con diamante sin aglutinante de envases de virutas revela
defectos como
(a) desgarro de almohadillas de Cu y (b) conductos excéntricos [94).
(a) (b)
Fig. 6.4. El rectificado con diamante sin aglutinante de envases de virutas muestra (a) un
rectificado casi perfecto.
5* con (b) un circuito abierto en un extremo [94].
6.5.4 Óptica de forma libre

Las superficies de forma libre no son nuevas para la humanidad, y los
ídolos y monumentos esculpidos son testimonio de las habilidades
humanas. Su rendimiento y propiedades excepcionales las han hecho
muy útiles en la industria manufacturera. Para la cámara instantánea
X-70 de Polaroid se desarrolló un novedoso sistema óptico con
superficies ópticas de forma libre. Han encontrado aplicaciones en
gafas, electro-óptica de defensa y automoción. Espejos para
vigilancia, lentes LTV para litografía, espejos de rayos K para
litografía de rayos X, barras de láser y ventanas son algunas de las
aplicaciones de estos productos.
Micromoliend 31 l
a
las importantes aplicaciones comerciales y de defensa de la óptica
de forma libre. Las ventajas que ofrecen las superficies de forma
libre son numerosas. Otros beneficios que ofrecen las superficies
de forma libre a los sistemas ópticos son: la mejora de los diseños
aeroespaciales, como las mejoras en el campo de visión, la
aerodinámica, la detectabilidad y el coste. También podrían
mejorar los semiconductores, la litografía y la formación de
imágenes.
Las ópticas de forma libre son asimétricas respecto a cualquier
eje de revolución. A veces se clasifican como un tipo de asfera con
simetría no rotacional. También se denominan ópticas
conformadas: combinación de formas asféricas, esféricas,
cilíndricas, cónicas, difractivas, planas u ojivales (puntiagudas). A
pesar de la particularidad en la definición y el diseño de estas
superficies, los sistemas de fabricación las tratan como superficies
de forma libre. En la Fig. 6.45 se muestran algunos ejemplos de
superficies ópticas de forma libre.
La fabricación de superficies ópticas de forma libre requiere
centros de mecanizado multieje y sistemas de metrología. La
precisión de mecanizado necesaria para cumplir los requisitos de
rendimiento de los sistemas ópticos de forma libre, por ejemplo,
los sistemas ópticos militares no tradicionales, supera en dos o tres
órdenes de magnitud las capacidades de las máquinas herramienta y
los procesos disponibles en el mercado. Estas ópticas de forma
libre, máquinas y dispositivos de metrología representan la
próxima frontera en la tecnología de mecanizado de ultraprecisión.
En la tabla 6.7 se compara la precisión obtenida con los dos
métodos de fabricación.
Tabla 6.7. Comparación del acabado superficial de forma libre mediante distintos procesos.
Proceso Acabado superficial Precisión del

formulario (pm)
RMS (nm) 0.204
Torneado de diamantes 3 0.057
Rectificado con diamante 4.4 0.214
Fig. 6.d5 Diversas formas de la óptica de formas frcc y su aplicación [h9]
6.5.5 Tasas de eliminación de material
El mecanizado en modo dúctil se utiliza generalmente cuando se

requieren acabados de espejo en materiales duros y quebradizos.
Para evitar el agrietamiento, las profundidades de corte se sitúan
entre el l% y el 10% de las que se alcanzan al producir un
acabado de espejo en un metal.
Torneado de diamantes
El torneado con diamante se ha utilizado para tornear germanio

con valores de rugosidad del orden de 5-6 km al mecanizar
muestras de 50 mm de diámetro. Ópticas de germanio, sulfuro de
zinc y silicio
Micromoliend 313
a
En la tabla 6.8 se muestran los parámetros típicos de torneado con
diamante.
Tabla 6.8 Parámetros típicos de torneado con diamante
Trabajo Eje Cool- Rough- Desbaste Acabado Acabado

- velocida ant profund avance profundid avance
pieza d (rpm) idad de (mm/min) ad de corte (mm/min)
Mate- (mm)
rial corte
(mm)
Alumi- 800 Aceite 0.05 12 - 25 0.0025 2.5
num
Cobre 800 Aceite 0.05 12 - 25 0.0025 2.5
Elec- 400 Aceite 0.007 5 0.0012 2.5
troless
níquel
PMMA 1000 Aire/aceit 0.25 15 0.012 3.5
e
Esmerilado Oiamoncf
En el rectificado con diamante, cabe esperar que las puntas de corte

de diamante eliminen material en el modo de mecanizado dúctil. Los
parámetros típicos de rectificado son:
Velocidad de la muela: 30 - 60 m/s;

Velocidad de la pieza: 0,1 - 1,0
m/min; Profundidad de corte:
0,001 - 0,01 mm;
Velocidad específica de eliminación: 0,05 -
0,2 mm3 /mm.s; Potencia total: <1 kW.
Los índices de pulido son aún más críticos y se muestran en las

secciones anteriores de este capítulo.
6.6 COFlClMSiOriS
Entre los procesos de mecanizado como el torneado, el fresado, el

taladrado y el rectificado, este último comenzó siendo un proceso
de precisión, alcanzó la categoría de alta precisión con los
superabrasivos y se convirtió en una técnica de ultraprecisión con
el desarrollo de las máquinas herramienta rígidas. Compite con

Mark J. Jackson M.eng, PH.D (Auth.) - Micro and Nanomanufacturing-Springer US (2007) - 264-323 Es

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El micromecanizado es un aspecto de la tecnología de fabricación

La figura 6.1 muestra el progreso de la precisión de mecanizado

Taylor 1906 - 26 Herramientas de acero rápido

mecanizado por haz de tron (EBM) y haz de iones focalizados

Por lo tanto, el rectificado resulta más económico, especialmente

Fig. 6.1. Gráfico de Taniguchi modificado [2] de las precisiones de mecanizado

Tabla 6.1. Tabla Taniguchi modificada de varias productos clasificados en

Precisión Toler- Mecánica Electrónic Óptico

Se han propuesto varios modelos para explicar la teoría del modo

Fig. 6.2 Modelo de Scattcrgood de mecanizado por ultraprecisión que

Se desarrolló un modelo inicial basado en el análisis de la

Donde K e s l a tenacidad a la fractura, H es la dureza y E es

donde fi es el radio de la nariz de la herramienta y los demás

6.2 Muelas abrasivas

Las muelas se componen de dos materiales, los granos abrasivos y

6.2.1 Materiales adhesivos

Las uniones vitrificadas también se denominan uniones

posible obtener elevados índices de arranque de material. Algunas

6.2.2. Tipos de abrasivos

i. Óxido de aluminio o alúmina (AJzl')

El óxido de aluminio y los carburos de silicio se conocen como

Tabla 6.2. Propiedades de algunos materiales duros y quebradizos [23,28-31].

Material Punto de Conductivi Dureza Densidad

Endurecido 1371- 15 -52 700- 1300 6920 -

El diamante es excelente para el mecanizado de metales no

6.2.3 Tamaño del grano abrasivo

6.2.4 Grado mecánico

6.2.5 Estructura abrasiva

rueda. Por otro lado, un espacio demasiado g r a n d e también es

(a) estructura densa (b) estructura media (c) estructura abierta

Fig. 6.3. Estructura de la muela {38]

Se han realizado esfuerzos internacionales para minimizar la

Tabla 6.3. Estándar internacional equivalente de tamaños de grano para diamante y

6.2.6 Concentración del grano abrasivo

6.2.7 Diseño y selección de muelas abrasivas

La figura 6.5 muestra algunas de las formas disponibles para

Tabla 6.4. Método estándar de orden de marcado de ruedas [42]

Orden Grano/tipo Gran Grado Estructura Tipo Nº del fabricante

Este sistema de codificación simplifica todas las

Grupo abrasivo Tipo de Acrónimo

Carburo de Carburo de silicio negro C

Boothroyd [45] sugirió que se utilizaran las siguientes directrices

1. Elija óxido de aluminio para aceros y carburo de silicio

2. Elija un disco duro para materiales blandos y un disco

3. Elija un grano grande para materiales blandos y dúctiles y

4. Elija un grano pequeño para un buen acabado y un grano

5. Elija un aglomerante resinoide, de caucho o sliellac para

M D \tt - I III - I 1/8

6.2.8 Muelas montadas

Fig.6.8. (a) Diferentes tamaños de espigas de diamante que se utilizan

La figura 6.8 es interesante, ya que indica el uso del carburo de

utilizadas para rectificar caucho, como los rodillos de las máquinas

6.3 Procesos de rectificado convencionales

Un proceso de mecanizado que se desarrolló como proceso de

Fig. 6.10. Rectificadora de superficies vertical [52)

La diferencia fundamental entre el rectificado sin centros y

Las superficies internas de la pieza pueden acabarse mediante

tamaño, tolerancia y acabado superficial en una sola pasada. Es

6.4 Procesos de rectificado de precisión

6.4.1 Modernización de un centro de mecanizado para

el desarrollo de la rectificadora de plantilla El nombre de