Elipsometría

PROPIEDADES DE LOS BIOMATERIALES

Integrantes:
García Guerrero Christian Joshua
Martinez Cruz Rosario Naxhiely
Meraz Galeana Mauricio Jesus
Nava Barrera Luis Fernando
Rodriguez Melendez Gustavo
Ruiz Vergara Maria Fernanda
Farías López Mauricio Arnoldo
 ElipsometrÍa
La elipsometría es una técnica en la que se usa
luz polarizada para conocer las propiedades
dieléctricas de las muestras.

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Cambio en la amplitud y la fase de
la luz reflejada
Se relacionan con propiedades como:

⩥ índice de refracción de la película,

⩥ absortividad,
⩥ anisotropía óptica y
⩥ espesor.

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TIPOS DE Elipsómetros

Los elipsómetros se pueden clasificar

básicamente en dos grupos:
● Elipsómetros de anulación o nulo.
● Elipsómetros fotométricos.

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Elipsómetros de anulación
La señal en el detector es anulada mediante la manipulación
del polarizador y el anulador.

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Elipsómetros fotométricos
Los elipsómetros fotométricos se dividen en dos grupos:
1. Elipsómetros de elementos rotativos.

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2. Elipsómetros de modulación de fase

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3. Componentes de un elipsómetro

Todas las configuraciones de elipsómetros inician con una fuente

de luz y terminan con un detector, es el arreglo de los
componentes ópticos entre la fuente y el detector lo que define el
tipo de configuración usada.

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 Fuente de luz
La fuente de luz ideal para
elipsometría debe ser estable y
tener una salida de intensidad
radiante constante en función de
la longitud de onda en un amplio
espectro
 “
Polarizador y analizador
Un polarizador es un dispositivo óptico cuya función es generar un
estado de polarización en la luz incidente.

El analizador es un elemento del mismo tipo que el polarizador que se

coloca en la parte de detección para determinar el estado de
polarización del haz.

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“

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 “
Retardador y
compensador
Un retardador es un elemento óptico que se utiliza para cambiar el estado
de polarización de un haz incidente.

El compensador es un dispositivo óptico capaz de introducir un retardo

controlable en una onda incidente y por ende un cambio en la polarización
de la misma.

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 “
Detector
a) Fotomultiplicadores de elevado costo y con el problema de ser sensibles
a la polarización y tener una respuesta no lineal a la intensidad.

b) Fotodiodos de silicio o de InGaAs, relativamente baratos, insensibles a la

polarización y lineales sobre un amplio intervalo de intensidades.

c) Arreglos de fotodiodos que permiten monitorear simultáneamente varias

componentes espectrales de la luz incidente para realizar mediciones
espectroscópicas.

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 “
Las mediciones básicas
en epsilometría
Las mediciones básicas en la elipsometría involucran la
medición de los coeficientes de reflexión para la luz
polarizada paralela r_p y perpendicular r_s. La relación entre
estos valores, que es un número complejo, da el ángulo
elíptico ° y el desplazamiento de
fase

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 “
El tipo más antiguo era el de tipo nulo, en
el cual un haz incidente polarizado
circularmente era reflejado por la
superficie de la muestra hacia un
analizador.

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 “
Aplicaciones
Durante Varias décadas el silicio ha sido el semiconductor más utilizado
en microelectrónica, principalmente por por las películas de dióxido de
silicio pueden crecer fácilmente en la superficie del silicio y la interfaz
silicio / dióxido de silicio resultante ha mostrado un estado electrónico
de interfaz baja que permite el funcionamiento del dispositivo. Esto se
llama pasivación electrónica y no se ha en la misma medida con
ninguna otra combinación de semiconductor dieléctrico.

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 “
Aplicaciones

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 “
Luz polarizada
La luz es una onda transversal, es decir, se propaga en forma
perpendicular a la dirección de la oscilación, en diferentes planos
de oscilación.

Polarización generalmente significa “orientación”, describe cómo

la luz u otra radiación electromagnética están restringidas a una
dirección de propagación.

La polarización de la luz ocurre cuando la luz atraviesa ciertos

filtros que permiten que pase sólo la parte de la luz cuyo plano
de oscilación coincide con la dirección del filtro.
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 “
Tipos de luz polarizada

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ElipsometrÍa EspectroscÓpica
Es una técnica óptica no destructiva, sin contacto y no
invasiva que se basa en el cambio en el estado de
polarización de la luz cuando se refleja oblicuamente en
una muestra delgada.

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Gracias!
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