NANO-MAQUINADO EN PROCESOS NO CONVENCIONALES

Por: Alejandro Nieto Leidy Karina Muoz

NANO MAQUINADO
El mecanizado de precisin y ultra-precisin aparece como una

nueva necesidad hacia aplicaciones de electrnica, perifricos de

ordenadores, miniaturizacin de sensores, precisiones en la industria ptica, telecomunicaciones, etc.

MECANIZADO POR PLASMA

Se utiliza en el grabado de silicio a escala nano para la fabricacin de transistores MOS. Se utiliza para dispositivos MEMS (sistemas micro electromecnicos). Tiene gran aplicacin en ptica. Tratamiento de pelculas. Tratamiento a escala nano de materiales avanzados.

MECANIZADO POR PLASMA

EJEMPLO: Para la preparacin de muestras de obleas de silicio de 3 pulgadas de dimetro de canal P, con resistencias en el rango de 10 a 20 -cm, Recibe una capa de 200nm. Se aplica para el proceso hexafluoruro de azufre (SF6) y tetrafluorurometano (CF4) mezclado con dixido de carbono (CO2).

MECANIZADO POR HAZ DE ELECTRONES

en 2010 fabricaron una nano-fotomscara utilizando el haz de electrones, obteniendo como resultados la fotomscara de las dimensiones requeridas gracias a el manejo de los parmetros de este proceso de mecanizado. En 2011 se utiliz este proceso no convencional para tratamientos de politetrafluoroetileno.

MECANIZADO POR LSER

En 2011 en Cambridge se utiliz este mecanizado para fines litogrficos para estructuras de nanopartculas de plata (Ag).