Sistemas de Comunicación Basados en MEMS

SISTEMAS DE COMUNICACIN
BASADOS EN MEMS
Ing. Miguel Angel Sosa Torres
Departamento de MEMS
Instituto Tecnolgico Superior de Irapuato

23 Sep. 2008
Sistemas de comunicacin basados en MEMS

CONTENIDO
INTRODUCCION A MEMS Descripcion de los Sistemas MEMS
desde el concepto hasta su fabricacin.
MEMS EN LAS COMUNICACIONES dar un panorama general

de los dispositivos MEMS empleados en la industria de las
comunicaciones.
ANTENAS RECONFIGURABLES Diseo y aplicaciones.
ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008
MAST2008
Introduccin
MEMS (MICRO ELECTROMECHANICAL
SISTEMS)
MEMS es una tecnologa emergente y de acelerado crecimiento
que explota la infraestructura existente de la microelectrnica

para el desarrollo de mquinas complejas a escala microscpica.
Comprende la integracin de elementos electrnicos y
mecnicos, mediante el empleo de la microelectrnica y de las
tecnologas de micromaquinado sobre un mismo sustrato.
Permite el desarrollo de sistemas inteligentes con capacidades
de sensado, procesamiento, comunicacin y actuacin en un
mismo circuito.
MAST2008
Los MEMS en la Escala Dimensional

0.12
12
nm
2 5
10 2
micras
0.12
12
10 2
Espesor de
Capas en MEMS
Radio
atmi
co
Molculas,
DNA
0.1
2 5
ng
0.1
10
nm
10
12
100
2 5
0.1
2 5
10
micras
1k
10 k
102
0.12
100 k
1M
2 5
10
Seres
Humanos
2 5
2 5
10
mm
AutosAutobuses
0.1
10 M 100 M 1 kM
Dimensiones Aproximadas en tomos de Si
Herramientas
Hogareas
2 5
100
Telfonos
Celulares
Paquetes
de CIs
Dimetro
Cabello
Humano
2 5
MEMS
Bacterias
Lmite Tecnolgico
en Microelectrnica
(1998-2002)
Piezas de
MEMS
Virus
2 5
1002
mm
2 5
10
m
10 kM
ng
MAST2008
Introduccin
Capacidades de los MEMS
Variable de
entrada
Sensado
Fsico
Qumico
Biolgico
Actuacin
Electrosttica
Trmica
Piezoelctrica
Variable de
salida
Comunicacin
Cmputo
Energa
ptica
Procesamiento
Almacenamiento
RF
Almacenamiento Celdas de combustible Microondas
MAST2008
Funcionamiento de los MEMS

Cuando menos algunas de las seales que estn
relacionadas con el MEMS son descritas en trminos de
variables mecnicas (desplazamiento, velocidad,
aceleracin, flujo, etc)
Entrada:
voltaje, corriente
aceleracin, velocidad
luz, calor
Salida:
MEMS
voltaje, corriente
aceleracin, velocidad
luz, calor
Control:
voltaje, corriente
aceleracin,
velocidad
luz, calor
Desplazamiento mecnico de
los espejos para establecer la
trayectoria de la luz
MAST2008
Reduccin de dimensiones
80 mm
Giroscopio
Giroscopio MEMS
Tecnologia
MEMS
(Reduccion de
tamao
80X )
1 mm
Circuitos de acondicionamiento
Computacin con sensado y actuacin para cambiar la forma de percibir y controlar

el mundo fisico
Tecnologa de fabricacin planar utilizando microlitografa
Utilizacin de equipo idntico al de la fabricacin de circuitos integrados
Sin embargo, se requiere agregar tcnicas de micromaquinado
MAST2008
Beneficios de la reduccin de tamao
Beneficios de la reduccin de tamao en los CI en el dominio inio

electrnico
Reduccin de tamao velocidad, baja potencia, complejidad,
economa
MEMS: conlleva a un concepto similar
MEMS extiende los beneficios de la reduccin

de tamao ms all del dominio elctrico
Con la tecnologa MEMS pueden
obtenerse mejoras en los
desempeos
Velocidad
Consumo de potencia
Complejidad
Economia
Frecuencia , Const. tiempo trmica

Energa de actuacin, calentamiento
Densidad de integracin
Batch Fab.
MAST2008
Automotriz:Activacin de
bolsas de aire
Analog Devices
Acelermetro
Tamao
Tamao
reducido
reducido
Redes de datos:
Conmutadores pticos
MM 8x8
Conmutador ptico
Conmutacin
Conmutacin
rpida,
rpida,bajas
bajas
prdidas,
prdidas,grandes
grandes
redes
redes
Aplicaciones exitosas Video: Pantallas y
Impresoras:
Tecnologa de inyeccin de tinta
proyectores
TI Microespejo DLP
Conmutacin
Conmutacinrpida,
rpida,
bajas
prdidas,
bajas prdidas,alto
alto
factor
de
llenado
factor de llenado
MAST2008
CAD para MEMS y herramientas de

Simulacin
Generacin de la idea o concepto

Diseo con base en un proceso
tecnolgico
Mscaras en 2D y modelado slido en
3D
Anlisis (Mecnico, trmico,
elctrico, estructural, ptico,
Creacin del
Anlisis
electromagntico, Simulacin
piezoelctrico)
Modelo en 3D
Desarrollo del
concepto
Construccin
del
diseo
detallado
Fabricacin
MAST2008
Procesos de fabricacin
comerciales de MEMS
PolyMUMPS (http://memsrus.com/svcsmumps.html)
SOIMUMPS (http://memsrus.com/svcssoi.html)
MetalMUMPS (http://memsrus.com/svcsmetal.html)
MEMS Exchange (www.mems-exchange.org)
SUMMiT (
http://www.sandia.gov/mstc/technologies/micromachines/tech-info/technologies
/trilevel.html
)
CMOS
Otros procesos (http://www.memsnet.org/links/fabs.html)
MAST2008
Laboratorio de
caracterizacin de MEMS
Cuartos limpios clase 100 y
1000
Microscopios
Estacin de prueba
Cmaras de vaco
Generadores de funciones,
Osciloscopios, analizadores
de redes, analizadores de
espectro
Analizadores de impedancia
Medidores LCR
MAST2008
Laboratorio de fabricacin
Generador de
patrones
Equipo de
fotolitografa
Alineadora de
mscaras
Spinner
Lmparas UV
Hornos
Sputtering
Electroplateado
MAST2008
Mems en las comunicaciones

Redes pticas
(MOEMS)
Sistemas de
Radiofrecuencia (RFMEMS)
MAST2008
MAST2008
MAST2008

Los dispositivos con tecnologa MOEMS ms conocidos y utilizados hasta
la fecha han sido los conmutadores (switches 2D y 3D basados en microespejos).
Un ejemplo de esta tecnologa es el conmutador basado en 3D MEMS
llamado Reflexion, desarrollado por Glimmerglass que cabe en la palma
de una mano. Este conmutador de 80x80 puertos puede conmutar seales
dentro de los 10 ms. con una atenuacin de 2 dB 1dB y opera con fibras
de 1260 nm a 1630 nm
MAST2008

Los dispositivos con tecnologa MOEMS ms conocidos y utilizados hasta
la fecha han sido los conmutadores (switches 2D y 3D basados en microespejos).
Dispositivo 2D MEMS visto desde arriba con los espejos

MEMS colocados en una disposicin cruzada para obtener la
funcionalidad de cross-connect
MAST2008
Dispositivo 3D MEMS
Conmutador basado en 3D ME MS
llamado Reflexion, desarrollado por
Glimmerglass
MAST2008
Micro-espejos ubicados en el corazn del

ruteador ptico WaveStar de Lucent
Technologies
MAST2008
MAST2008

Diversas empresas como Intellisense (Wilmington, Mass.) y OMM (San
Diego, Calif.) estn desarrollando diseos de switches as como
amplificadores, multiplexores y filtros para ser aplicados en redes
pticas.
MAST2008

Otro ejemplo de tecnologa MOEMS usado en redes pticas es el
de los dispositivos pticos basados en D-MEMS (Diffractive
MEMS)
La tecnologa D-MEMS est basada en la naturaleza de las ondas de luz
(interferencia de y difraccin). Un arreglo de cintas reflectoras est
suspendido a una longitud de onda (?) sobre un substrato de silicio reflector.
Cuando la altura de las cintas con respecto al sustrato de silicio es de una
longitud de onda (?), la luz reflejada desde estas dos superficies estn en
fase, y el dispositivo funciona como un espejo reflejando totalmente el haz
de luz.
MAST2008

Cuando un voltaje es aplicado entre el arreglo de cintas y el sustrato, se
genera una fuerza electromagntica, que a su vez, flexiona al arreglo de
cintas reflectoras jalndolas hacia abajo. Cuando el arreglo se desplaza
hacia abajo por de ?, sucede una total difraccin de la luz, lo que significa
que nada de luz es reflejada.
MAST2008

Otras posibles aplicaciones de los MEMS pticos
Los MEMS pticos aplicados a las telecomunicaciones tienen otras posibles
aplicaciones en otros campos. Los micro-espejos utilizados en la fabricacin
de los crossconnects y switches, pueden ser utilizados tambin en:
Escneres
Proyectores de alta resolucin
Pantallas de muy alta resolucin
Copiadoras
Impresoras lser
Computadoras pticas
Etc.
Los rayos lser controlados por MEMS pueden ser utilizados en:
Sensores de presin de gas
Sensores de proximidad (Industria automotriz)
Espectrmetros
Sistemas de almacenamiento de datos
MAST2008

APLICACIONES DE RADIO FRECUENCIA
MEMS RF
Estos pequeos sistemas han revolucionado las comunicaciones inalmbricas,
ya que dan la posibilidad de trabajar con aplicaciones de radiofrecuencia y de
onda milimtrica, adems de que ofrecen a los fabricantes, tecnologas para
satisfacer las nuevas demandas, agregando a los sistemas capacidades de
ancho de banda y menor consumo de energa, mejorando los estndares
actuales.
MAST2008
MAST2008

VENTAJAS de RF-MEMS como microsistema, en comparacin con las
tecnologas convencionales son:
Activacin/operacin electrosttica: consumo de energa no esttica
Cercana al interruptor elctrico ideal: baja perdida por insercin (0.1dB) y
alta impedancia de aislamiento en el estado apagado
Velocidad de conmutacin (<10 s)
Dimensiones pequeas de dispositivos (10m=) utilizando la tcnica de
micromaquinado de superficie.
Integracin monoltica
MAST2008
Los desarrollos RF-MEMS ms sobresalientes son:

Microconmutadores
Capacitores sintonizables
Microinductores
Resonadores FBAR (Film Bulk Acoustic Resonador)
Lneas de transmisin
Resonadores -mecnicos
Microantenas
Microtransmisores
Resonadores de cavidad
Las ventajas que estos ofrecen sobre las comunicaciones convencionales
son:
Factores Q ms altos
Bajo consumo de energa
Menos prdidas
Mayor linealidad
Algunos MEMS RF han demostrado operar alrededor de 1- 100 GHz.
MAST2008
MAST2008

Tecnologas MEMS RF
Interruptores (switches)
Interruptor de corriente capacitivo en paralelo
Interruptor bi-estable activado trmicamente
Interruptor de torsin de poli-silicio
Interruptor de activacin elctrica
MAST2008
MAST2008
Productos comerciales
MAST2008
MEMS RF Derivador de corriente

elctrica - METU Microsystems
Switch MEMS RF, Superficie

micromaquinada - OnStream
MAST2008

Capacitores Sintonizables (Tunable Capacitors)
Estos muestran los mismos retos que los interruptores RF en trminos de
confiabilidad, voltaje de encendido y precio. Al mismo tiempo, el rango de
sintonizacin de 50% no ha sido alcanzado, frente a los mejores dispositivos
actuales mostrando de 30 a 40%.
Estos son dbiles (weak) respecto al factor Q, rango de sintonizacin y
linealidad.
La tecnologa en desarrollo que podra resolver estos problemas, al basarse
en varactores ferroelctricos que pueden ser una alternativa a futuro.
MAST2008

Las especificaciones deseables para esta tecnologa de MEMS son en
aplicaciones de telfonos mviles como se muestra a continuacin:
Actualmente sus oportunidades en la telefona celular son bajas ya que

existe tecnologa que satisface las necesidades en el diseo de los
sistemas, pero para sistemas WLAN es una tecnologa muy
prometedora, ya que ofrece frecuencia sintonizable entre diferentes
bandas.
MAST2008
MEMS RF Capacitor Sintonizable circular de dos comisuras de aire

CMI-EPFL
MAST2008

Inductores
En la actualidad los valores Q tpicos en un proceso estndar, muestran un
mximo de 10, pero factores mayores a 20 son requeridos en el diseo RF,
especialmente para algunas de las aplicaciones en demanda como PA y
VCO.
Las empresas que trabajan en el desarrollo de inductores MEMS ms
sobresalientes son IBM (USA) y UMC (Taiwan), IMEC, MEMSCAP,
PHSMEMS.
MAST2008

Debido al alto factor Q que se logra con inductores, los cuales son necesarios
en diferentes mdulos (osciladores controlados por voltaje, amplificadores de
bajo ruido y amplificadores de potencia por instancia), stos pueden ser
integrados en mdulos RF y permitir la miniaturizacin de los mismos.
Inductor High-Q
MEMSCAP
MAST2008

Esta estructura result en un
mejoramiento en la frecuencia de
resonancia de 800 MHz a 3GHz, al ser
removido del substrato, y un factor Q de
22 a 270MHz en un inductor de 115nH,
obteniendo un ndice de retorno por
inductancia de 5nH.
Fuente; On the Ultimate Limits of IC
Inductors
An RF MEMS Perspective
Hctor J. De Los Santos
COVENTOR, Inc.
MAST2008
MAST2008

Empresas como L-3 Communications ha desarrollado sistemas de
navegacin para milicia basados en la fusin de tecnologas MEMS y
GPS.
Micro Sciras" Sistema de navegacin

basado en fusin de MEMS con GPS,
fabricado por L-3 Communications.
MAST2008
Antenas Reconfigurables
Son un conjunto de estructuras radiadoras electromagneticas,
usualmente compuestas por capas planares que son conmutadas
utilizando una red de interruptores MEMS.
MAST2008
Diagrama de un sistema de
Antenas reconfigurables
MAST2008
Esquema de un arreglo de antenas dipolo reconfigurables

MAST2008
Antena reconfigurable de apertura acoplada

MAST2008
MAST2008
MAST2008
MAST2008
Los interruptores, son los elementos que se encargan de activar o desactivar
los elementos radiadores de las antenas.
Cuando se colocan cerca de los elementos radiadores, el modelo del
interruptor en conjunto con el elemento radiador cambia drsticamente
debido a que los elementos radiadores son comparables en tamao con la
longitud de onda y entonces se debe de usar un modelo dinmico para su
simulacin
Interruptor MEMS RF fabricado en

el AFRL
MAST2008
MAST2008
MAST2008
Distribucin del campo magntico para diferentes posiciones de los

interruptores
MAST2008
Arreglo de 3x3 de antenas reconfigurables y su patrn de radiacin

MAST2008
Gracias por su atencion

misosa@itesi.edu.mx
MAST2008

Sistemas de Comunicación Basados en MEMS

Cargado por

Información del documento

Descripción original:

Derechos de autor

Formatos disponibles

Compartir este documento

Compartir o incrustar documentos

Opciones para compartir

¿Le pareció útil este documento?

¿Este contenido es inapropiado?

Copyright:

Formatos disponibles

Sistemas de Comunicación Basados en MEMS

Cargado por

Copyright:

Formatos disponibles

SISTEMAS DE COMUNICACIN

Instituto Tecnolgico Superior de Irapuato

Sistemas de comunicacin basados en MEMS

MEMS EN LAS COMUNICACIONES dar un panorama general

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

que explota la infraestructura existente de la microelectrnica

Los MEMS en la Escala Dimensional

Dimensiones Aproximadas en tomos de Si

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Capacidades de los MEMS

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Funcionamiento de los MEMS

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Computacin con sensado y actuacin para cambiar la forma de percibir y controlar

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Beneficios de la reduccin de tamao

Beneficios de la reduccin de tamao en los CI en el dominio inio

MEMS extiende los beneficios de la reduccin

Frecuencia , Const. tiempo trmica

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Aplicaciones exitosas Video: Pantallas y

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

CAD para MEMS y herramientas de

Generacin de la idea o concepto

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

Dispositivo 2D MEMS visto desde arriba con los espejos

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

Micro-espejos ubicados en el corazn del

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Los desarrollos RF-MEMS ms sobresalientes son:

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

ITESI PRIMER SEMANA TECNOLOGICA 2008

Mems en las comunicaciones

MEMS RF Derivador de corriente