ACABADO SUPERFICIAL 3D EN

MICRO Y NANOMETROLOGÍA
La necesidad de medir y cuantificar geometricamente productos fabricados en
escalas micrométrica, nanometríca e incluso del nivel atómico está impulsando
la metrología de superficies a una evolución en la que se está pasando de:

Perfil Conocimiento más realista

de las superficies

Formas
Formas
libres
simples
complejas
 Superficies Superficies
estocásticas estructuradas

ACTUALMENTE
• Está surgiendo una nueva generación de superficies
de alta precisión, que requieren de medidas 3D

• Existe capacidad en la industria de fabricar elementos

de dimensiones cada vez más pequeñas

• Hay sectores en los que se viene usando el 2D con

buenos resultados y se mantendrá su uso
 Magnitud medible PATRONES
(MENSURANDO)

Magnitudes
de influencia ISO 3274
MEDICIÓN principio C.nomin.instrum.contacto
Método de perfil
método
procedimiento
Valor transformado
INSTRUMENTO O
SISTEMA DE MEDIDA

Resultado de medida Incertidumbre

(Valor numérico x unidad de medida

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 2D

ISO 3274 Condiciones nominales de instrumentos de contacto. Método de perfil.
 ISO 5436-1
Magnitud medible PATRONES
Materializados

(MENSURANDO) ISO 5436-2

Software

ISO 12179
Calibración.instr.contacto

Magnitudes
de influencia principio ISO 3274
MEDICIÓN C.nomin.instrum.contacto
método Método de perfil

procedimiento
Valor transformado
INSTRUMENTO O
SISTEMA DE MEDIDA

Resultado de medida Incertidumbre

(Valor numérico x unidad de medida

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 2D

ISO 5436-1 ISO 5436-2 ISO 12179
Materializados Software
Calibración.instr.contacto
TIPO A: de profundidad TIPO F1: ficheros patrón

• Cómo abordar y que

patrones utilizar para la
calibración del
TIPO C: de espaciamiento (PERIÓDICOS)
instrumento de contacto.

C1:Senoidal C3:sinusoidal simulado

• Como usar la información
p p g
de los certificados de los
patrones que proporcionan
TIPO F2: software patrón
C2:triangular isósceles C4:en arco la trazabilidad.
TIPO D: de rugosidad (APERIÓDICOS)
• Recomendaciones y
referencias para evaluar
la incertidumbre de la
calibración.
TIPO B: Edo punta TIPO E: Coord. perfil
•Información que debe
figurar en el certificado.
 ISO 4287 ISO 5436-1
ISO 13565-2/3
Caract. de alturas
Param.Edosuperficial Magnitud medible PATRONES
Materializados

ISO 12085 (MENSURANDO) ISO 5436-2

Param. de detalles Software

ISO 12179
Calibración.instr.contacto

Magnitudes
de influencia principio ISO 3274
MEDICIÓN C.nomin.instrum.contacto
ISO 4288/ ISO 3274 método Método de perfil
Condic. medida param.Edosuperf.
procedimiento
ISO 12085/ISO 3274
Condic. medida param. de detalles Valor transformado
INSTRUMENTO O
ISO 13565-1/ISO 3274 SISTEMA DE MEDIDA
C. medida param. prop segun prof.

Resultado de medida Incertidumbre

(Valor numérico x unidad de medida

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 2D

 Perfil P: primario (ISO 3274)
ISO do4287
Param.E superficial aplicando un filtro de alta frecuencia, λs.
Perfil W: ondulación.
Uso de filtros corregidos en fase ó banda de transmisión con límites λc,
Gauss ISO 11562 con longitudes frecuencias altas y λf frecuencias bajas.
de onda de corte de la serie: Perfil R: rugosidad
…mm; 0,08 mm; 0,25 mm; 0,8 mm; 2,5 mm;.. banda de transmisión con límites λs
frecuencias altas y λc frecuencias bajas.
Parám. de
amplitud
Pt, Rt, Wt ; Pa, Ra, Wa ; Pz, Rz, Wz; Pq, Rq, Wq; Psk, Rsk, Wsk;……..

Parám. de espaciamiento Parám. hibridos Curvas y param. asociados

PSm, RSm, WSm Pdq, Rdq, Wdq Pmr(c), Rmr(c), ; Pdc, Rdc, Wdc
Wmr(c)
L. muestreo
ISO 4288/ ISO 3274 Condic. medida param.Edosuperf.

Longitud evaluación perfil R y W

• Nº de longitudes de muestreo por defecto. Longitud evaluación perfil P
• Tablas con el valor λc según ISO para un perfil dado, distinguiendo entre periódicos y aperiódicos.
(ISO 3274)
L.evaluación
PERFILES APERIÓDICOS Según valor Ra ó Rz L. muestreo
λc

PERFILES PERIÓDICOS Ó L.evaluación

Según valor RSm L. muestreo λc
APERIÓDICOS ……….
ISO 12085 Parámetros ligados a los detalles ISO 12085/ISO 3274 Condiciones de medida de parámetros ligados a detalles

Perfil primario según ISO 3274 →λs

Análisis combinación de detalles de rugosidad dos a dos según condiciones normalizadas. Parámetros
ligados a
detalles:
• Rugosidad
AR
R
Proceso de corrección de picos y valles aislados. Rx
Análisis combinación de detalles de rugosidad dos a dos según condiciones normalizadas. • Ondulación

AW
W
Wx
Wte
 ISO 13565-1/ISO 3274 ISO 13565-2/3 Caracterización de alturas según la curva
C. medida param. prop segun prof. Caract. de alturas
porcentaje de material

ISO 13565-2/3 Caracterización de alturas según la curva de

Caract. de alturas
probabilidad de material
 ISO 4287 ISO 5436-1
ISO 13565-2/3
Prp.≠ según prof.
Param.Edosuperficial Magnitud medible PATRONES
Materializados

ISO 12085 (MENSURANDO) ISO 5436-2

Param. de detalles Software

ISO 12179
Calibración.instr.contacto

Magnitudes
de influencia principio ISO 3274
MEDICIÓN C.nomin.instrum.contacto
ISO 4288/ ISO 3274 método Método de perfil
Condic. medida param.Edosuperf.
procedimiento
ISO 12085/ISO 3274
Condic. medida param. de detalles Valor transformado
INSTRUMENTO O
ISO 13565-1/ISO 3274 SISTEMA DE MEDIDA
C. medida param. prop segun prof.

Resultado de medida Incertidumbre

(Valor numérico x unidad de medida
ISO 14253-2
Calc.incertidumbres

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 2D

 PATRONES
Magnitud medible
(MENSURANDO)

ISO 25178-6
principio CLASIFICACIÓN
Magnitudes MEDICIÓN
DE METODOS

de influencia
método
procedimiento

Valor transformado INSTRUMENTO O

SISTEMA DE MEDIDA

Resultado de medida Incertidumbre

(Valor numérico x unidad de medida)

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 3D

 ISO 25178-6 Clasificación en función del tipo de datos que produce cada técnica
CLASIFICACIÓN DE METODOS
 PATRONES
Magnitud medible
(MENSURANDO)

ISO 25178-600
CARAC.NOMIN. INSTRUMENTOS

ISO 25178-601
CARAC.NOM.INSTR.CONTACTO

ISO 25178-6
principio CLASIFICACIÓN ISO 25178-602
Magnitudes MEDICIÓN
DE METODOS

de influencia
método C.NOM.M.CONFOCAL CROMÁTICO

procedimiento ISO 25178-603

C.N.M. INTERF. DESPLAZ. FASE

INSTRUMENTO O ISO 25178-604

Valor transformado C.N. INTERF. DE LUZ BLANCA
SISTEMA DE MEDIDA
ISO 25178-605
C.NOM. AUTOFOCUS SENSOR

Resultado de medida ISO 25178-606

Incertidumbre C.NOM. INSTR. VARIACÓN DE FOCO
(Valor numérico x unidad de medida)
ISO 25178-607
C.NOM. MICROSCOPIO CONFOCAL

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 3D

 ISO 25178-601
CARAC.NOM.INSTR.CONTACTO
 ISO 25178-605
C.NOM. AUTOFOCUS SENSOR

ANCHURA LIMITE PARA TRANSMISIÓN

TOTAL DE ALTURA
 ISO 25178-70
PATRONES MATERIALIZADOS
Magnitud medible
ISO 25178-71
(MENSURANDO) ISO 25178-701 SOFTWARE
CALIBRAC.INSTRUM.CONTACTO

ISO 25178-70X ISO 25178-600

CARAC.NOMIN. INSTRUMENTOS
Calibración.instr.XXXX

ISO 25178-601
CARAC.NOM.INSTR.CONTACTO

ISO 25178-6
principio CLASIFICACIÓN ISO 25178-602
Magnitudes MEDICIÓN
DE METODOS

de influencia
método C.NOM.M.CONFOCAL CROMÁTICO

procedimiento ISO 25178-603

C.N.M. INTERF. DESPLAZ. FASE

INSTRUMENTO O ISO 25178-604

Valor transformado C.N. INTERF. DE LUZ BLANCA
SISTEMA DE MEDIDA
ISO 25178-605
C.NOM. AUTOFOCUS SENSOR

Resultado de medida ISO 25178-606

Incertidumbre C.NOM. INSTR. VARIACÓN DE FOCO
(Valor numérico x unidad de medida)
ISO 25178-607
C.NOM. MICROSCOPIO CONFOCAL

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 3D

ISO 25178-70 PERFIL; Además de los de ISO 5436-1……
MATERIALIZADOS

ISO 25178-70
MATERIALIZADOS SUPERFICIE;
ISO 25178-70
MATERIALIZADOS AREAL;
ISO 25178-71 Tipo S1:
SOFTWARE
FICHEROS DE DATOS PATRÓN MUY IMPORTANTE LA
VALIDACIÓN DEL SOFTWARE
Los software de medida realizan muchos
cálculos en las operaciones de filtrado y de
cálculo de parámetros. Los programadores
pueden elegir distintas formas de hacerlos,
deben comprobarse frente a patrones.

Tipo S2: SOFTWARE PATRÓN

Institutos Metrologicos Nacionales que los están
desarrollando: NPL (operativo), NIST y PTB.
 ISO 25178-701
CALIBRAC.INSTRUM.CONTACTO
 ISO 25178-701
CALIBRAC.INSTRUM.CONTACTO
 ISO 25178-70
PATRONES MATERIALIZADOS
Magnitud medible
ISO 25178-71
(MENSURANDO) ISO 25178-701 SOFTWARE
CALIBRAC.INSTRUM.CONTACTO

ISO 25178-70X ISO 25178-600

CARAC.NOMIN. INSTRUMENTOS
Calibración.instr.XXXX
ISO 25178-3 ISO 25178-601
OPERADORES CARAC.NOM.INSTR.CONTACTO

ISO 25178-6
principio CLASIFICACIÓN ISO 25178-602
Magnitudes MEDICIÓN
DE METODOS

de influencia
método C.NOM.M.CONFOCAL CROMÁTICO

procedimiento ISO 25178-603

C.N.M. INTERF. DESPLAZ. FASE

INSTRUMENTO O ISO 25178-604

Valor transformado C.N. INTERF. DE LUZ BLANCA
SISTEMA DE MEDIDA
ISO 25178-605
C.NOM. AUTOFOCUS SENSOR

Resultado de medida ISO 25178-606

Incertidumbre C.NOM. INSTR. VARIACÓN DE FOCO
(Valor numérico x unidad de medida)
ISO 25178-607
C.NOM. MICROSCOPIO CONFOCAL

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 3D

NUEVOS CONCEPTOS PARA MEDIDA DE SUPERFICIES

• El significado del valor de un parámetro dado, depende

del tratamiento previo que hayamos dado a los datos en
cada una de las escalas, con filtros y operadores.
• Acabado superficial y forma se • Atributos típicos a considerar para la
hacen sobre el mismo sistema de caracterización de superficies
coordenadas

• Este nuevo modo de cuantificar superficies busca inferir funcionalidades y

características fundamentales de las superficies, siendo mucho más que una
extensión de los parámetros de perfil.
ISO 25178-3
OPERADORES
ISO 25178-3
OPERADORES
 ISO 25178-70
PATRONES MATERIALIZADOS
ISO 25178-2 Magnitud medible
PARÁMETROS DE ISO 25178-71
ACABADO SUPERFICIAL (MENSURANDO) ISO 25178-701 SOFTWARE
CALIBRAC.INSTRUM.CONTACTO

ISO 25178-70X ISO 25178-600

CARAC.NOMIN. INSTRUMENTOS
Calibración.instr.XXXX
ISO 25178-3 ISO 25178-601
OPERADORES CARAC.NOM.INSTR.CONTACTO

ISO 25178-6
principio CLASIFICACIÓN ISO 25178-602
Magnitudes MEDICIÓN
DE METODOS

de influencia
método C.NOM.M.CONFOCAL CROMÁTICO

procedimiento ISO 25178-603

C.N.M. INTERF. DESPLAZ. FASE

INSTRUMENTO O ISO 25178-604

Valor transformado C.N. INTERF. DE LUZ BLANCA
SISTEMA DE MEDIDA
ISO 25178-605
C.NOM. AUTOFOCUS SENSOR

Resultado de medida ISO 25178-606

Incertidumbre C.NOM. INSTR. VARIACÓN DE FOCO
(Valor numérico x unidad de medida)
ISO 25178-607
C.NOM. MICROSCOPIO CONFOCAL

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 3D

 ISO 25178-2
PARÁMETROS DE
ACABADO SUPERFICIAL
FIELD PARAMETERS: NOMENCLATURA Y DEFINICIÓN

SÍMBOLOS: S ó V en mayúsculas, seguido de subíndices en minúsculas,

independientemente de las condiciones de filtrado aplicadas*. Ej: Sq, Sdr, Vmp, Vvc
* Las condiciones de filtrado deben acompañar siempre al valor numérico del parámetro.

CENTRADO DE ALTURAS: En las ecuaciones de los parámetros de acabado superficial

la función de alturas de la superficie z(x,y) debe estar centrada**, es decir, la altura
media del área en que se va a medir (z) está ya restada de cada punto. Esto simplifica las
ecuaciones de los parámetros.
** genera errores por redondeo frente a

DEFINICIÓN CONTINUA: las operaciones están expresadas con integrales en vez de con
sumatorios para que la definición conceptualmente no contenga aproximaciones***.

frente a

*** Debido a la naturaleza discreta de los datos de medida, siempre se hará necesario realizar aproximaciones numéricas.
 ISO 25178-2
PARÁMETROS DE
ACABADO SUPERFICIAL
Respecto a la media
+ ↑>0; +↓<0; =↕=0
Dan idea de la
distribución de alturas

Detecta elementos abruptos

superficie “afilada” >3;
superficie redondeada <3
ISO 25178-2 FIELD PARAMETERS: ISOTROPÍA, ANISOTROPÍA Y DIRECCIÓN
PARÁMETROS DE
ACABADO SUPERFICIAL PRIVILEGIADA DE LAS ESTRUCTURAS DE LA SUPERFICIE

En la medida de superficies se estudian

usando la función autocorrelación y
analisis de Fourier
 ISO 25178-2
PARÁMETROS DE
ACABADO SUPERFICIAL

Cuantifica gradientes en x e y
Permiten distinguir entre
superficies con similar Sa

Cuantifica el área interfacial

Informan de propiedades:
- de sellado, de contacto y desgaste
-eléctricas y térmicas
-reflectancia óptica

Cálculo area interfacial

ISO 25178-2 FIELD
PARÁMETROS DE
ACABADO SUPERFICIAL PARAMETERS

Los parámetros V calculan volúmenes distinguiendo

tres zonas:
Z. PICOS- soporta el inicio del desgaste de la pieza

NÚCLEO- zona de desgaste en la vida útil del elemento

Z DE VALLES- retiene lubricantes prolongando la vida útil

frente a la fricción.
ISO 25178-2 CARACTERIZACIÓN MEDIANTE MOTIVOS (features)
PARÁMETROS DE
ACABADO SUPERFICIAL

Para este tipo de caracterización no hay un grupo de parámetros definidos ex-profeso, sino un
librería de técnicas de reconocimiento de motivos en la superficie a evaluar.
Dada una superficie Se elije el tipo de motivo de
a evaluar interés para la aplicación

Se realiza la segmentación acorde

con unos parámetros de tamaño
que controlan el proceso.

Se selecciona de Se decide la
los motivos característica que se
encontrados va a analizar sobre
cuales son los ellos, normalmente
interesantes para mediante métodos
el estudio que se estadísticos.
lleva a cabo.
 ISO 25178-70
PATRONES MATERIALIZADOS
ISO 25178-2 Magnitud medible
PARÁMETROS DE ISO 25178-71
ACABADO SUPERFICIAL (MENSURANDO) ISO 25178-701 SOFTWARE
CALIBRAC.INSTRUM.CONTACTO

ISO 25178-70X ISO 25178-600

CARAC.NOMIN. INSTRUMENTOS
Calibración.instr.XXXX
ISO 25178-3 ISO 25178-601
OPERADORES CARAC.NOM.INSTR.CONTACTO

ISO 25178-6
principio CLASIFICACIÓN ISO 25178-602
Magnitudes MEDICIÓN
DE METODOS

de influencia
método C.NOM.M.CONFOCAL CROMÁTICO

procedimiento ISO 25178-603

C.N.M. INTERF. DESPLAZ. FASE

ISO 16610-XX ISO 25178-604

FILTROS Valor transformado INSTRUMENTO O C.N. INTERF. DE LUZ BLANCA
SISTEMA DE MEDIDA
MET. INTERPOLACIÓN ISO 25178-605
C.NOM. AUTOFOCUS SENSOR

Resultado de medida ISO 25178-606

Incertidumbre C.NOM. INSTR. VARIACÓN DE FOCO
(Valor numérico x unidad de medida)
ISO 25178-607
C.NOM. MICROSCOPIO CONFOCAL

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 3D

 ……EN EL GRUPO DE TRABAJO WG15 DE ISO ESTÁN DESARROLLANDO
DISTINTOS FILTROS PARA APLICAR A MEDIDA DE SUPERFICIES
En el momento actual según ISO 25178-3 el filtro a utilizar es el Gausiano por defecto

Gausianos Splines
•FILTROS LINEALES

•FILTROS MORFOLÓGICOS

CLOSING OPENING
•FILTROS ROBUSTOS

Splines Splines
Robusto

•FILTROS DE MOTIVOS

“Teselan” la superficie
reconociendo patrones y
marcando características
importantes en ellos
como picos y hoyos.
 ISO 25178-1
INDICAC. DE ACAB. SUPERFICIAL

En el caso de caracterización mediante motivos se especifica el proceso con la secuencia,

Parámetros usados
habitualmente en
la caracterización
por motivos
 ISO 25178-70
PATRONES MATERIALIZADOS
ISO 25178-2 Magnitud medible
PARÁMETROS DE ISO 25178-71
ACABADO SUPERFICIAL (MENSURANDO) ISO 25178-701 SOFTWARE
CALIBRAC.INSTRUM.CONTACTO

ISO 25178-70X ISO 25178-600

CARAC.NOMIN. INSTRUMENTOS
Calibración.instr.XXXX
ISO 25178-3 ISO 25178-601
OPERADORES CARAC.NOM.INSTR.CONTACTO

ISO 25178-6
principio CLASIFICACIÓN ISO 25178-602
Magnitudes MEDICIÓN
DE METODOS

de influencia
método C.NOM.M.CONFOCAL CROMÁTICO

procedimiento ISO 25178-603

C.N.M. INTERF. DESPLAZ. FASE

ISO 16610-XX ISO 25178-604

FILTROS Valor transformado INSTRUMENTO O C.N. INTERF. DE LUZ BLANCA
SISTEMA DE MEDIDA
MET. INTERPOLACIÓN ISO 25178-605
C.NOM. AUTOFOCUS SENSOR

Resultado de medida ISO 25178-606

Incertidumbre C.NOM. INSTR. VARIACÓN DE FOCO
(Valor numérico x unidad de medida)
ISO 25178-607
ISO 25178-1 ISO 14253-2 C.NOM. MICROSCOPIO CONFOCAL
Calc.incertidumbres
INDICAC. DE ACAB. SUPERFICIAL

ESTRUCTURA DE LA NORMATIVA DE MEDIDA DE SUPERFICIES EN 3D

PRINCIPALES REFERENCIAS ADEMÁS DE LAS NORMAS CITADAS:

Filters in surface texture explained- Paul Scout. Taylor Hobson

http://www.michmet.com