MICROPALANCA DE SILICIO
Laura Camila Molina Borray
Diego Felipe Muñoz Porras
lcmolinab@, dfmunozp@{correo.udistrital.edu.co}
Nanotecnologı́a I
Universidad Distrital Francisco José de Caldas
Resumen-En el presente informe de laboratorio se realiza
la caracterización de una barra de silicio utilizando el método
de elementos finitos y dos herramientas de software, las
cuales son FREECAD y LISA, mediante los cuales es posible
calcular la frecuencia angular. Para esto inicialmente se
definen las dimensiones fı́sicas de la barra,luego son llevadas
al software, donde se analiza su comportamiento y se obtiene
que al aumentar los modos, el porcentaje de error entre
el valor de frecuencia angular teórico y el obtenido en la
simulación varia notablemente.
Palabras clave-Barra de silicio, MEF, frecuencia angular.
Resumen—In this laboratory report, the characterization of
a silicon bar is carried out using the finite element method and
two software tools, which are FREECAD and LISA, by means of
which it is possible to calculate the angular frequency. For this,
the physical dimensions of the bar are first defined, then they
are taken to the software, where their behavior is analyzed and
it is obtained that when increasing the modes, the percentage of
error between the theoretical angular frequency value and that
obtained in the simulation varies notably.
Index Terms—Silicon rod, MEF, angular frequency.
I. I NTRODUCCI ÓN
Los sensores basados en micro palancas tienen su origen y
principal impulso en los microscopios de campo próximo spm
y microscopios de fuerzas atómicas afm estos microscopios
basan su funcionamiento en detectar la interacción entre
una superficie y la punta del microscopio suspendida de un
cantilever [1].
En la actualidad, las micropalancas se producen empleando
métodos de microfabricación heredados inicialmente de la
industria microelectrónica como la litografı́a de superficie
(RIE, Reactive Ion Etching) y grabados reactivos de plasma
de iones (DRIE, Deep Reactive Ion Etching). Las puntas
suelen fabricarse a partir de deposiciones de vapor de algún
material idóneo sobre la palanca ya fabricada, en cuyo caso
el resultado suele ser una punta cónica o más comúnmente,
cuando el silicio es el material de elección, recurriendo a
técnicas de grabado anisótropo, el cual involucra el uso
de una solución de grabado que excava el material sólo o
preferentemente en ciertas direcciones cristalográficas. De
esta manera, es posible producir puntas piramidales limitadas
por planos cristalográficos del material [2].
La fuerza de la micropalanca viene dada por el fabricante y
se determina por la ley de Hooke. En este caso, la ley de Hooke
se representa por la ecuación del resorte, donde se relaciona
la fuerza F ejercida por el resorte con la distancia adicional x
producida por alargamiento, del siguiente modo:
F = −k∆x
donde:
AE
k=
L
Las micropalancas de silicio han sido seleccionados
para desarrollar un sensor de explosivos debido a su alta
sensibilidad de detección y a su facilidad de fabricación e
integración utilizando las tecnológicas de microfabricación en
silicio [3].
Las micropalancas de silicio encuentran una gran aplicación
en la detección de explosivos, en los cuales aparte de la
sensibilidad, la selectividad del sensor es el otro parámetro
fundamental para la selección del dispositivo. Es decir, el
sensor debe ser capaz de discriminar entre los explosivos
y la gran variedad y cantidad de sustancias volátiles que
acompañan a la mayorı́a de los viajeros de hoy en dı́a
(cosméticos, perfumes, telas sintéticas...) Para aportar la
selectividad necesaria en la detección de explosivos se
requieren recubrimientos o funcionalizaciones especı́ficas.
Estos receptores deben proporcionar al sensor la especifidad
deseada [3].
Además en la presente práctica se utilizarán dos
herramientas de software, uno de ellos es el software
libre LISA en su versión 8.0, LISA es una potente aplicación
diseñada para analizar elementos lineales y crear diseños
lineales finitos. El programa puede realizar análisis estáticos y
térmicos para proporcionar información de retroalimentación
en diferentes escenarios. El análisis de vibración del modelo
encuentra las frecuencias naturales de una estructura y sus
formas de modo vibratorio. El programa también puede
estudiar el comportamiento de estructuras sujetas a cargas
variables en el tiempo. Esto puede ser extremadamente difı́cil
de estimar sin simulación por computadora [4].
 El otro, es el software Free CAD en su versión 0.19.1
el cual es un modelador 3D paramétrico de código abierto
creado principalmente para diseñar objetos de la vida real
de cualquier tamaño. El modelado paramétrico le permite
modificar fácilmente su diseño volviendo al historial de
su modelo y cambiando sus parámetros. Además es una
aplicación libre de diseño asistido por computadora en tres
dimensiones, ingenierı́a asistida por computadora, para la
asistencia en ingenierı́a mecánica y el diseño de elementos
mecánicos y está basado en Open CASCADE y programado
en los lenguajes C++ y Python [5].

Figura 1. Modelo micropalanca.

Las ecuaciones utilizadas para hallar los valores de forma

II. M ETODOLOG ÍA
teórica son las siguientes:

II-A. Generar la micropalanca Primer modo:

Momento de inercia vertical:

La primera parte del laboratorio consiste en crear la
micropalanca, construyendo una figura de caja en CAD. (w ∗ d3 )
Mediante la herramienta de software FreeCAD se dará inicio Iv = (1)
12
a un nuevo proyecto, donde se realizará el diseño de la pieza
con los siguientes datos: Momento de inercia horizontal:

Cambiar las dimensiones de la caja para que sea una barra w2 ∗ d3

Ih = (2)
(Height [0.3 a 0.6 mm], Lenght [5 a 10 mm], Width [0.1 a 12
0.2 mm]), las dimensiones sugeridas son:
s
3,52 E ∗ Iv
wiv = 2 ∗ (3)
Longitud = 10 mm. l ρ∗S
Ancho = 0.2 mm.
Grosor = 0.6 mm. Modos superiores:
s
2 4 E ∗ Iv
wnv = (2n + 1) ∗ ( ) (4)
π ∗ l2 ρ∗S
II-B. Generar la malla del objeto

|V alorLISA − V alorteórico|
A continuación se debe abrir el modelo en LISA 8.0, %error = ∗ 100 (5)
teniendo en cuenta que LISA toma por defecto las unidades en V alorteórico
metros, en este software será posible realizar las mediciones
necesarias para determinar la frecuencia ángular.

III. R ESULTADOS
Inicialmente se diseña la micropalanca en el software Free
CAD con las siguientes medidas:
II-C. Ecuaciones

Longitud = 10 mm.
Para la presente práctica se espera obtener los valores de fre-
Ancho = 0.2 mm.
cuencia angular de una estructura sólida conocida como micro
Grosor = 0.6 mm.
palanca de silicio, estos valores se hallarán de manera teórica
y de mediante simulación utilizando diferentes herramientas
de software, a continuación se puede observar en la figura 1 Se obtiene la figura 2, al definir todos los parámetros y se
el modelo de micro palanca a analizar. tiene la base para migrar al software LISA 8.0
 desplazamiento en 0, presentados en color azul, estos dos
puntos hacen que se vea el efecto de un único arco en
la micropalanca, su frecuencia angular es de 97671.33 Hz,
mientras que el valor teórico calculado es de 91801.696 Hz.

Figura 2. Modelo micropalanca en Free CAD.

Ahora utilizando la herramienta de software LISA 8.0 se

simula la micropalanca en sus modos impares, es decir, 1, 3 Figura 5. Modelo micropalanca - Modo 5.
y 5 y se halla el valor del modo.

En la figura 5, correspondiente al modo 5, se observan ahora

tres puntos de magnitud de desplazamiento en 0, denotados
con color azul, que producen dos arcos en la micropalanca,
para este modo obtenemos una frecuencia angular de 311855.9
Hz, y un valor teórico calculado de 255004.711 Hz.

Figura 3. Modelo micropalanca - Modo 1.

En la figura 3, correspondiente al modo 1, se puede observar

que tan solo hay un punto de magnitud de desplazamiento en
0, el cual posee un color azul, el cual cunado se simula a un
ciclo de tiempo, pareciera que intenta hacer un arco muy leve
sobre los laterales, para este modo se obtiene una frecuencia Figura 6. Modelo micropalanca - Modo 7.
angular de 15462.28 Hz.

En la figura 6, correspondiente al modo 7, se presentan

cuatro puntos de magnitud de desplazamiento en 0, de color
azul y que generan tres arcos a la micropalanca, con este
modo se tiene una frecuencia angular de 598394.7 Hz y un
valor teórico calculado de 499809.234 Hz.

Modo Frecuencia angular Frecuencia

n % de error
vertical simulada teórica
1 3 97671,33 91801,696 6,393
2 5 311855,9 255004,711 22,294
3 7 598394,7 499809,234 19,724
Tabla I
R ESULTADOS O BTENIDOS .
Figura 4. Modelo micropalanca - Modo 3.

En la figura 4, correspondiente al modo 3, se hace más

evidente el arco, además posee dos puntos de magnitud de
 IV. C ONCLUSIONES
Se logró simular mediante las herramientas de software
un modelo de micropalanca de silicio que permitió obtener
los valores de frecuencia angular para diferentes modos y
observar las variaciones entre los mismos, además al tener
la ecuaciones necesarias para calcular el valor teórico de la
frecuencia angular fue posible contrastar los resultados de la
simulación con los resultados teóricos y obtener un porcentaje
de error.

Se evidenció que a medida que se aumenta el n en cada

modo el porcentaje de error aumenta y se nota una diferencia
mayor entre el valor teórico y el simulado, como se observa
en la tabla I, además, se observó que al aumentar el modo
vertical los puntos de magnitud de desplazamiento en 0
también aumentaban.

Por otro lado, se logró reconocer la importancia de las

micropalancas en el ambito de la nanotecnologı́a, para apli-
caciones como la detección de elementos explosivos, diseño
de biosensores, entre otras. Sumado a esto, el desarrollo
de diferentes tipos de software que permitan trabajar con
materiales a nano escala permiten a las personas observar
el comportamiento de los materiales y las posibilidades que
existen para trabajar con os mismos, los posibles errores que
se podrı́an presentar y las predicciones futuras de como se
comportaran en el entorno real.
R EFERENCIAS
[1] Villarrolla Marı́a, Diseño y fabricación de sistemas microelectromecáni-
cos integrados monolı́ticamente para aplicaciones de sensores de masa
y sensores biológicos con palancas como elementos transductores, junio
2005.

[2] Various Authors, WikiBooks, Opensource Handbook of Nanoscience

and Nanotechnology

[3] Pellejero I, Miana M, Pina M, Detección de explosivos mediante micro-

palancas de silicio funcionalizadas con materiales nanoporosos, 2013.
[4] LISA. [En lı́nea] Disponible en: https://www.softpedia.com/get/Science-
CAD/Sonnenhof-LISA.shtml

[5] Free CAD. [En lı́nea] Disponible en: https://freecadweb.org/