INFORME MICRO-PALANCA DE SILICIO
Fabricio Andrés Camacho Mejı́a Jorge Andrés Lozano Jiménez
20142005171
Facultad Ingenierı́a Electrónica
Universidad Distrital FJC
Bogotá, Colombia
facamachom@correo.udistrital.edu.co
Abstract—This paper shows a simulation of a lever nano
motion use FreeCAD to build a piece and Lisa 8.0 to simulate
the lever. It has a comparison between theoretical and simulation
angular frequencies by vertical modes (impair modes). The
difference between theoretical and simulation angular frequencies
in modes one, three, five and seven shows and mistake percent
of 66.18, 6.71, 22.29 and 19.72 respectively.
I. I NTRODUCCI ÓN
Las micro palancas hacen parte de los microsistemas
o sistemas microelecectromecánicos (MEMS, Micro-Electro-
Mechanical-System) que se definen como la integración
conjunta de sistemas o dispositivos que combinan compo-
nentes eléctricos, mecánicos, fluı́dricos,ópticos y en general
de cualquier dominio de la fı́sica, los cuales son fabricados
utilizando técnicas y procesos compatibles con la fabricación
de circuitos integrados, siendo la escala de estos dispositivos
desde las décimas de micra hasta los cientos de micra [1].
A. Micro-Palanca
Es evidente que los dispositivos miniaturizados de micro
metros basados en la tecnologı́a MEMS / NEMS tiene muchas
ventajas sobre la máquina de macro en ciencia a nanoescala
y nanoingenierı́a. Por ejemplo, micro y nano manipulación de
entidades diminutas tales como microbios, células, proteı́nas
y ADN han recibido mucha atención en los últimos años y
han traı́do investigadores de diversos orı́genes que abarcan
MEMS, medicina, quı́mica, biologı́a y otros juntos en un
campo de bioMEMS. Pero la mayor parte de la manipulación
anterior requirió minutos lı́mite de ajuste en un plano bidi-
mensional. Varias nano sondas y algunos otros sensores para
detección nanométrica y procesamiento se han desarrollado [2-
4] para fı́sica y caracterización quı́mica. El nano movimiento
es necesario en todos los micro mencionados anteriormente
y nano manipulaciones para el ajuste minucioso. Pero dos
problemas comunes en MEMS de polı́mero o silicio anteriores
los actuadores utilizados en los ejemplos son que operan en
circuito abierto y con una capacidad de carga pequeña, debido
a dificultades y costo de integrar sensores a pequeña escala [2].
La fuerza de la micropalanca viene dada por el fabricante
y se determina por la ley de Hooke. En este caso, la ley de
Hooke se representa por la ecuación del resorte, donde se
relaciona la fuerza F ejercida por el resorte con la distancia
adicional x producida por alargamiento. La micropalanca
20151005032
Facultad Ingenierı́a Electrónica
Universidad Distrital FJC
Bogotá, Colombia
jalozanoj@correo.udistrital.edu.co
se comporta como un muelle elástico en el que la fuerza
es proporcional a la deflexion. El primermicroscopio de
fuerzas utilizaba una punta de diamante pegada a un fino
papel de oro como micropalanca y una punta de STM que se
colocaba sobre el extremo de esta como sensor de su deflexion.
Hoy en dıa las micropalancas tienen diversas aplicaciones
tales como deteccion de explosivos, en biosensores y sensore-
sen general como elementos transductores [5].
B. FreeCAD
FreeCAD es una aplicación libre de diseño asistido por
computadora en tres dimensiones, ingenierı́a asistida por com-
putadora, para la asistencia en ingenierı́a mecánica y el diseño
de elementos mecánicos. Está basado en Open CASCADE y
programado en los lenguajes C++ y Python [3].
FreeCAD es adecuado para crear figuras 3D desde el 2D y al
revés, ya que permite bosquejar figuras en 2D con geometrı́as
artificiales y usar estas como base para construir otros objetos.
Esto contiene muchos componentes para ajustar dimensiones
o extraer detalles de diseño desde modelos 3D para crear
producciones de muy alta calidad listas para dibujar. [1].
FreeCAD es accesible, flexible e integrado, debido a que
es un programa multiplataforma, (Windows, Mac y Linux)
altamente modificable y extensible. Este lee y escribe en
muchos formatos de archivos como STEP, IGES, STL, SVG,
DXF, OBJ, IFC, DAE y muchos otros, haciendo posible la
perfecta integración de estos en cualquier proyecto. [1].
FreeCAD es adecuado para diseñar lo que sea que se necesite,
porque esta diseñado para modificar un amplio rango de usos,
entre los que se incluye diseños de proyectos, ingenierı́a
mecánica y arquitectura. Ya sea que sea utilizado por un afi-
cionado, un programador, un experimentado usuario de CAD,
un estudiante o un profesor, cualquiera se sentirá cómodo con
FreeCAD.
C. Lisa 8.0
LISA es un paquete de análisis de elementos finitos fácil
de usar para Windows con un modelador integrado, un solu-
cionador de subprocesos múltiples y un postprocesador gráfico
[4]. Ademas, Lisa 8.0 cuenta con las siguientes caracterı́sticas:
• Estatica Linear
• Vibración lineal
 • Respuesta dinámica seleccionar New load constraints: seleccionar New fixed
• Pandeo support → seleccionar Surface2
• Steady and transient heat flow • En el menú de la izquierda: Parar el cursor sobre Meshed
• Acústica Geometry < elements linked> → Assign new material
• Steady fluid flow → Mechanical → seleccionar isotropic → Young’s Mod-
• Circuitos DC ulus [131000000000= 131 GPa - Silicio], Poisson’s ratio
• Electrostática y magnetostatica [0.28] y Density [2330 = 2330 Kg/m3 - silicio] → Close
• Asosiativilidad con CAD • Menú → signo igual en verde se corre el programa
• Formatos STEP, STL, Gmsh. • En el menú de la izquierda: parar el cursor sobre Mode
• Soporte técnico gratuito 1 → menú superior → animation → play
El objetivo de la práctica es con ayuda del FreeCAD y • En el menú de la izquierda: Lleve el cursor a Geometry.

Lisa8.0, simular una micro palanca con 8 modos y comparar la En el menú superior seleccione Mesh tools → Scale. Para
Frecuencia angular de los modos verticales (modos impares) pasar a milı́metros escriba: Scale Factor X = 0.001, Scale
obtenidos teóricamente con los modos obtenidos mediante la Factor Y = 0.001 y Scale Factor Z = 0.001.
simulación. • Menú → signo igual en verde se corre el programa.
• En el menú de la izquierda: parar el cursor sobre Mode
II. M ETODOLOG ÍA 1 <> → menú superior → animation → play.
A continuación se muestran los pasos que se llevaron a • Comparar los resultados con los valores teóricos (Tener
cabo para el desarrollo de la practica, empezando desde la en cuenta solamente los modos verticales).
creación de la pieza en FreeCAD, hasta la simulación en 1) ECUACIONES: Para el primer modo: Se tiene el mo-
Lisa8.0, incluyendo las formulas usadas para el calculo teórico. mento de inercia vertical en la ecuación 1.
A. Generar la micropalanca w · d3
Iv = (1)
12
• Abrir FreeCAD
• Comenzar un nuevo proyecto → Diseño de pieza. Y el momento de inercia horizontal con las ecuaciones 2 y 3
• En Tareas seleccionar caja → seleccionar Proyecto → w 2 · d3
Seleccionar box. Iv = (2)
12
• En el menú de la parte inferior izquierda seleccionar s
Datos. Cambiar las dimensiones de la caja para que sea 3.52 E · iv
ω1v = 2 · , n=0 (3)
una barra Height [0.3 a 0.6 mm], Lenght [5 a 10 mm] y ι ρ·S
Width [0.1 a 0.2 mm]. Se sugiere: Longitud = 10 mm, Para los modos superiores se usa la ecuación 4.
Ancho = 0.2 mm y Grosor = 0.6 mm s
• Archivo → Exportar → nombre.step π E · iv
Salir de FreeCAD ωnv = (2n + 1)2 · , con n > 0 (4)
• 4 · ι2 ρ·S
B. Abrir el modelo en LISA 8.0 y generar la malla del objeto Y el porcentaje de error se calcula con la ecuación 5.
Nota: A pesar que en FreeCAD se incluyó la barra en
dimensiones de milı́metro, LISA toma por defecto las unidades V alorsimulado − V alorteorico
Error(%) = ∗ 100 (5)
en metros. V alorteorico
• En el menú de la izquierda: parar el cursor sobre Analysis Donde:
<Static 2D> → botón derecho del mouse, seleccionar • Length (I) = 10 mm
Edit → General → Modal vibration 3D Solid and Truss • Height (d) =0.6 mm
→ en number of modes poner 8 → OK • Width (w)= 0.2 mm
• File → Open → nombre.step (El sólido todavı́a no es • Young’s Modulus (E) = 131 GPa
visible) • Poisson’s ratio = 0.28
• En el menú de la izquierda: Geometry → parar el cursor • Density (ρ)=2330 = 2330 Kg/m
3
– silicio Sección
sobre nombre.step, botón derecho del mouse, seleccionar transversal (S)= w · d
Meshing parameters: aparece una barra deslizante. Pon-
erla en el nivel 2 de abajo hacia arriba. III. R ESULTADOS Y DISCUSI ÓN
• En el menú de la izquierda: Geometry → parar el cursor Lo primero para el desarrollo de la práctica fue la creación
sobre nombre.step, botón derecho del mouse, seleccionar de la pieza en FreeCAD con las medidas ya mencionadas. En
Generate mesh la guı́a se presenta la pieza obtenida previo a la exportación
• En el menú de la izquierda: Named selections: seleccionar y trabajo en LISA.
la cara adecuada; ejemplo: Surface2 <Linked>. Parar el Antes de hacer el desarrollo de la simulación en el sofware
cursor sobre Surface2 <Linked> y con el botón derecho Lisa se realizaron los cálculos teóricos necesarios. Para los
oprimir. Del menú que se despliega un nuevo menú, cálculos teóricos se obtuvo que:
 w · d3
Iv = = 3.6x ∗ 10−15 (6)
12
Además la sección transversal es:

S = w ∗ d = 1.2 ∗ 10−7 (7)

Con estos valores y usando la ecuación 4 se realiza el

calculo teórico de las frecuencias angulares, para ellos se
realiza un pequeño scrip en MatLab, como se observa en la
Fig. 2. Simulación modo 1
figura 1 donde se ingresaran las ecuaciones ya mencionadas
junto a los parámetros seleccionados.

Fig. 3. Simulación modo 3

• Los resultados para el modo 5 se observan en la figura

Fig. 1. Código calculo de modos verticales en MatLab. 4, igualmente se observa que la frecuencia angular es :
623711 rad/s

TABLE I
R ESULTADOS O BTENIDOS

n M.vertical Frec. simulada(rad/s) Frec. Teórica(rad/s) error(%)

0 1 30924 91430.40 66.18
1 3 195932 183603.30 6.71
2 5 623711 510009.00 22.29
3 7 1196789 999618.40 19.72

Como se muestra en la tabla I, los porcentajes de error

son relativamente bajos, en la mayorı́a de modos, excepto en
el fundamental, el cual, parece no corresponder a la formula Fig. 4. Simulación modo 5
utilizada para su cálculo.
En cuanto a la frecuencia angular, esta aumenta a medida • Los resultados para el modo 7 se observan en la figura
que el número de modos aumenta. Esto se cumple tanto en 5, igualmente se observa que la frecuencia angular es :
lo teórico como en lo simulado. Los datos de la frecuencia 1196789 rad/s
angular simulado son extraı́dos del sofware Lisa después
de realizar los pasos presentados en la metodologı́a y son
añadidos a la tabla. Posteriormente se calcula el error presente
entre la frecuencia angular simulada y la frecuencia angular
teórica.

A continuación se presentan las imágenes obtenidas para

los modos verticales trabajados durante el laboratorio:
• Los resultados para el modo 1 se observan en la figura
2, igualmente se observa que la frecuencia angular es :
30924 rad/s Fig. 5. Simulación modo 7
• Los resultados para el modo 3 se observan en la figura
3, igualmente se observa que la frecuencia angular es : Respecto a el trabajo realizado, quedan dudas con el cálculo
195932 rad/s del modo 1, pero de igual forma se observa que el modo que
presenta menos error respecto a los datos teóricos es el modo
vertical 3. Adicionalmente debido a los datos obtenidos se
observa que a medida que los modos van aumentando, la
frecuencia angular crece.

El software permite una buena comparación respecto de lo

teórico y lo práctico, lo que permite verificar los procesos
teóricos se realizan de manera correcta. Por ultimo el software
parece dejar extraer más caracterı́sticas a las micropalancas
pero aun no se tiene el conocimiento para interpretarlas
IV. C ONCLUSIONES .
En la simulación de la micropalanca fue posible observar
su comportamiento y algunas caracterı́sticas, haciendo
evidente que los modos impares corresponden a un
movimiento vertical y los modos pares a un movimiento
horizontal.
Gracias a los valores simulados, se pudo hacer una
comparación directa con los valores teóricos calculados.
En cuanto al procentaje de error se vió que al aumentar
el n en cada modo, el error tendı́a a incrementarse, a
diferencia del modo 1 el cual el error es el mas alto, pero
como se puede ver entre el modo 5 y el modo 7, el error
vuelve a disminuir, por lo cual no se puede hacer una
predicción exacta del error con estos modos utilizados.
Al aumentar el modo vertical se aumentan los puntos de
magnitud de desplazamiento con valor 0.
Dado que es posible realizar diseños y prácticas a una
escala nanométrica con ayuda de software, es posibles
conocer el comportamiento que tendrı́an en un entorno
real, haciendo predicción de sus errores comportamientos.
R EFERENCES
[1] M. Villarroya, ”Diseño y fabricación de sistemas micro/nano
electromecánicos integrados monolı́ticamente para aplicaciones
de sensores de masa y sensores biológicos con palancas
como elementos transductores”, Universidad Autonoma de
Barcelona, Bellaterra, Junio 2005. [Online], Disponible en:
https://www.tdx.cat/bitstream/handle/10803/5347/mvg1de3.pdf
?sequence=1isAllowed=y
[2] X. Shen, Y. Zhang and X. Chen, ”Feasibility Study of Micro Electro-
thermal Actuator for Lever Nano Motion,” 2006 1st IEEE International
Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, Zhuhai,
2006, pp. 1025-1028, doi: 10.1109/NEMS.2006.334604
[3] FreeCAD [Online], Avaiable: https://es.wikipedia.org/wiki/FreeCAD
[4] Lisa 8.0 [Online], Disponible en: https://lisafea.com/
[5] Gómez Castro Carlos. Modelo teórico cuantitativo para el es-
tudio del microscopio de fuerzas: análisis de los procesos de
disipación de energı́a y recuperación de la interacción. UNI-
VERSIDAD COMPLUTENSE DE MADRID. 2012. Dispnible en:
https://eprints.ucm.es/15299/1/T33771.pdf