UNIVERSIDAD NACIONAL MAYOR DE SAN MARCOS

(Universidad del Perú, Decana de América)

FACULTAD DE INGENIERIA ELECTRÓNICA Y ELÉCTRICA

AVANCE DE PROYECTO
“SENSOR DE PRESIÓN CAPACITIVO”

CURSO: LABORATORIO DE MICROELECTRÓNICA

ALUMNO: TESÉN ROMERO, MIGUEL JESÚS

CÓDIGO: 14190027

DOCENTE: RUBÉN ALARCÓN MATUTTI

HORARIO: LUNES 14-16

2018
INTRODUCCIÓN

Los sensores de presión capacitiva están ganando participación de mercado sobre sus
contrapartes piezorresistivas ya que consumen menos energía, generalmente son
menos sensibles a la temperatura y tienen un menor piso de ruido fundamental. Este
modelo realiza un análisis de un diseño de sensor hipotético discutido en Ref. 1, usando
la interfaz de electromecánica. El efecto de una elección bastante pobre de la solución
de embalaje en el rendimiento del sensor también se considera. Los resultados enfatizar
la importancia de considerar el empaque en el proceso de diseño de MEMS.

DEFINICIÓN DEL MODELO

La geometría del modelo se muestra en la Figura 1. El sensor de presión es parte de una
matriz de silicio que ha sido unido a una placa de metal a 70 ° C. Como la geometría es
simétrica, solo un solo cuadrante de la geometría necesita ser incluido en el modelo, y
es posible usar condición de frontera de simetría.

Figura 1: La geometría del modelo. Izquierda: geometría simétrica del dispositivo, con un cuadrante
resaltado en azul, mostrando los planos de simetría. Derecha: En COMSOL solo el resaltado el cuadrante
se modela, y la condición de frontera de simetría se usa en las paredes de la sección transversal.

En la Figura 2 se muestra una sección 2D detallada a través de la parte funcional del

dispositivo. A la membrana delgada se mantiene a un potencial fijo de 1 V. La membrana
está separada de una cámara del plano de tierra sellada bajo alto vacío. Los lados de la
cámara son aislantes para evitar una conexión entre la membrana y el plano de tierra
(para simplificar el capa aislante no se modela explícitamente en el modelo COMSOL,
esta aproximación tiene poco efecto sobre los resultados del estudio).
Figura 2: Sección transversal a través del dispositivo que muestra el condensador. El eje vertical ha sido
ampliado para enfatizar la brecha.

Cuando la presión fuera de la cámara sellada cambia, la diferencia de presión causa la

membrana para desviarse. El espesor del espacio de aire ahora varía a través de la
membrana y su capacitancia a tierra por lo tanto cambia. Esta capacitancia es luego
monitoreada por un circuito de interfaz, tal como el circuito amplificador del
condensador conmutado discutido en la Ref. 1.
Las tensiones térmicas se introducen en la estructura como resultado de la
conductividad térmica desajuste entre la matriz de silicio y la placa de metal, y la
temperatura elevada utilizada para el proceso de vinculación. Estas tensiones cambian
la deformación del diafragma en respuesta a las presiones aplicadas y alterar la
respuesta del sensor. Además, porque las tensiones dependen de la temperatura,
introducen una dependencia de temperatura no deseada a la salida del dispositivo.
Inicialmente, el sensor se analiza en el caso de que no haya tensiones de embalaje.
Entonces el efecto de la tensión de embalaje se considera. Primero, la respuesta del
dispositivo a temperatura fija se evalúa con el estrés de empaquetamiento adicional.
Finalmente la dependencia de la temperatura de se evalúa la respuesta del dispositivo
a una presión aplicada fija.

RESULTADOS Y DISCUSIÓN

La figura 3 muestra la deformación de la membrana cuando se aplica una presión de 25

kPa a esto, en ausencia de tensiones de embalaje. La Figura 4 muestra el potencial en
un avión ubicado entre los platos. La deformación de la membrana es de la forma
esperada, y los resultados en un potencial no uniforme entre las placas.
Figura 3: Desviación del cuadrante cuando la diferencia de presión a través de la membrana es de 25 kPa.
Como se espera que la desviación sea mayor en el centro de la membrana

Figura 4: Potencial eléctrico en la cámara de aire, trazada en un corte entre las dos placas del condensador.
El potencial se ha vuelto no uniforme como resultado de la presión inducida deformación del diafragma.