APLICACINES DE LA TECNOLOGA DE VACO EN INGENIERA

Industria de los semiconductores

Fabricacin de espejos
Equipos de laboratorio
Aceleradores de partculas
Espectrmetros de ultravioleta
Industria ptica
DEFINICIONES
Qu entendemos por vaco en Ingeniera?
Rango de presiones de vaco
- Vaco aproximado: 10-3 torr
- Vaco alto: 10-6 torr
- Vaco muy alto: 10-9 torr
- Vaco ultra alto: 10-12 torr
Camino libre medio: rgimen fluido y rgimen molecular

El flujo de gas en el rgimen de alta presin se caracteriza como flujo viscoso. A altas
presiones, cuando el recorrido libre medio es mucho menor que las dimensiones del
recipiente de vaco, el comportamiento del gas est dominado por interacciones
intermoleculares. Estas interacciones, que resultan en fuerzas viscosas, aseguran una
buena comunicacin entre todas las regiones del gas

En el rgimen de baja presin como flujo molecular. A altas presiones, un gas se

comporta como un fluido homogneo. Cuando la densidad del gas disminuye en la
medida en que la trayectoria libre media es mucho mayor que el contenedor, las
molculas ruedan como las bolas en una mesa de billar (no una mesa de billar, donde la
densidad de la pelota puede ser alta) y el comportamiento del gas es determinado por el
movimiento aleatorio de las molculas a medida que rebotan de pared en pared.

En rgimen fluido la trayectoria libre media es relativamente pequea, el flujo de gas

mejora con la presin creciente debido a que las molculas de gas tienden a hacer cola
ya empujar a sus vecinos frente a ellos. El flujo de gas es impedido por la turbulencia y
por el arrastre viscoso en las paredes del tubo que est conduciendo el gas. En la regin
viscosa los coeficientes de viscosidad y conductividad trmica son independientes de la
presin.
En la regin de flujo molecular, la transferencia de momento se produce entre las
molculas y la pared de un contenedor, pero las molculas rara vez se encuentran. En el
rgimen de flujo molecular, un gas no se caracteriza por una viscosidad. El gas fluye de
una regin de alta presin a una de baja presin simplemente porque el nmero de
molculas que dejan una unidad de volumen es proporcional al nmero de molculas
dentro de ese volumen.
A una presin muy baja, una molcula no permanece en una superficie durante un tiempo
suficiente para alcanzar el equilibrio trmico. As, la conductividad trmica a bajas
presiones es una funcin de la densidad del gas, y el coeficiente de conductividad trmica
depende de la presin y de la condicin de la superficie.
FLUJO DE GAS
Velocidad de bombeo
La velocidad de flujo del flujo a travs de una abertura o a travs de la seccin transversal
de un tubo se define como la velocidad de bombeo en ese punto:
Conductantcia
Capacidad de transmitir un gas por una tubera, con una diferencia de presion
Rendimiento
Q=P.S S-VELOCIDAD DE BOMBEO
Tiempo de bombeo
T=2,3 . (Vd/S) . ln(P0/P)
BOMBAS DE VACO
Bombas mecnicas
Bomba rotativa de paletas

Es la ms utilizada, alcanza presiones de hasta unos pocos militorr.

Un rotor est descentrado dentro de un estator cilndrico. El interior de la bomba est

dividido en dos volmenes por paletas de muelle conectadas al rotor. El gas entra en uno
de estos volmenes y es comprimido y forzado a salir a travs de una vlvula
unidirecciona.

Una fina pelcula de aceite mantiene el sello entre las paletas y el estator. El aceite
utilizado en estas bombas es un aceite de hidrocarburo de buena calidad al que se le ha
eliminado la fraccin de alta presin de vapor.

Las bombas rotatorias estn disponibles con capacidades de 1 a 500 Ls-1.

Bomba de lbulos

Es una bomba de desplazamiento. Consisten en un par de rotores de dos lbulos

contrarrotantes en ejes paralelos. Las velocidades de rotacin son aproximadamente
3000 rpm.
Hay una separacin de unas pocas milsimas de pulgada entre los rotores mismos y entre
los rotores y la carcasa. Un volumen de gas se atrapa en la entrada y se comprime
cuando se mueve al escape.
No hay aceite en el cuerpo de la bomba para mantener una junta de alta presin, pero,
debido a la alta velocidad de los rotores, se puede lograr una relacin de compresin de
hasta 40: 1.
Bombas turbomoleculares

Funcionan en el rgimen de flujo molecular.

Una serie de rotores de turbina de paletas en un eje comn giran entre 20 000 y 90 000
rpm. La velocidad del borde de un rotor se aproxima a las velocidades moleculares. Las
palas del rotor estn inclinadas de modo que una molcula que choca contra una cuchilla
recibe un componente significativo de velocidad en la direccin del escape de la bomba
(Figura 3.10). Los stators laminados se entrelazan entre los rotores. Las cuchillas del
estator estn inclinadas en la direccin opuesta a la de los rotores con el fin de
desacelerar las molculas y comprimir el gas que fluye antes de que sea suministrado
hacia abajo al par de rotor-estator siguiente.
Estas bombas proporcionan aproximadamente la misma velocidad de bombeo para todos
los gases; Sin embargo, la relacin de compresin depende de la naturaleza del gas que
se bombea.

Una turbobomba proporciona un vaco esencialmente libre de aceite. La relacin de

compresin es extremadamente sensible a la presin en la salida de la bomba. Una
turbobomba tpica puede tener una relacin de compresin de 108 para el aire si la
presin en el escape se mantiene por debajo de 0,1 torr, pero si la presin de escape
aumenta a 1,0 torr, la relacin de compresin cae a 10.

Una bomba turbomolecular normalmente se ejecuta en serie con una bomba

rotativa como bomba de respaldo. La bomba rotativa se activa para evacuar la cmara,
atrayendo gas directamente a travs del cuerpo de la turbobomba.

Una bomba turbomolecular ofrece muchas ventajas para sistemas de alto o ultra alto
vaco. Por supuesto, stos deben sopesarse contra las desventajas, siendo el principal el
costo inicial relativamente alto y el costo de los servicios mayores;
Bombas turbomoleculares con velocidades de bombeo de 10 a 1000 L / s. Un sistema
turbopump puede alcanzar presiones debajo de 10-10 torr. La mayora de los gases
pueden ser bombeados, aunque, como se observ, los turbos no bombean el hidrgeno y
el helio.
Bombas difusoras

En una bomba de difusin, las molculas de gas se mueven desde la entrada a la salida
por transferencia de momento desde una corriente dirigida de aceite o vapor de mercurio.
El fluido de trabajo se evapora en una caldera calentada elctricamente en la parte inferior
de la bomba. El vapor se conduce hacia arriba a travs de una torre por encima de la
caldera hasta una serie de boquillas desde las cuales el vapor es emitido en un chorro
dirigido hacia abajo y hacia fuera hacia las paredes de la bomba. Las paredes de la
bomba se enfran, de modo que las molculas del vapor de lquido de trabajo se
condensan antes de su movimiento, se aleatoriza por colisiones repetidas.

Las paredes de la bomba de difusin suelen ser enfriadas por agua, aunque en algunas
bombas pequeas son enfriadas por aire. El condensado desciende por la pared de la
bomba para volver a la caldera. El funcionamiento eficiente de una bomba de difusin
requiere un gradiente de temperatura de arriba a abajo. La pared de la bomba debe ser la
ms baja en la parte superior de la bomba - menos de 30C - para condensar el vapor de
aceite de manera efectiva y la ms alta en la parte inferior para expulsar el gas absorbido
del condensado de aceite. Por esta razn, el agua de refrigeracin fluye de arriba hacia
abajo y el caudal est regulado; Un caudal demasiado alto produce una temperatura
demasiado baja en el fondo de la bomba.

El bombeo de difusin de una cmara de vaco puede iniciarse a 50 a 100 mtorr, pero la
presin del sistema debe caer rpidamente por debajo de 1 mtorr o la cmara se
contaminar significativamente con el vapor del fluido de trabajo. Las bombas de difusin
de aceite pueden funcionar contra una presin de salida de 300 a 500 mtorr, y las bombas
de mercurio pueden tolerar una presin de salida de unos pocos torr. Se requiere una
bomba de respaldo, usualmente una bomba rotativa sellada con aceite

Las bombas de difusin con velocidades de 50 a 50 000 L / s y con dimetros nominales

de entrada de 2 a 100 cm estn disponibles.

Un sistema de bombeo por difusin es la va ms econmica para el vaco alto e incluso

ultra alto en cmaras de tamao moderado. Sin piezas mviles y sin dimensiones crticas,
las bombas de difusin son robustas y duraderas.
Otras bombas de vaco
Bombas de absorcin

El material absorbente es carbn activado o uno de los materiales zeolticos sintticos

conocidos como tamices moleculares. Estos materiales son absorbentes eficaces en
parte debido a su enorme superficie - del orden de miles de metros cuadrados por gramo.
Los tamices moleculares ms comunes son la zeolita 5A o 13X. El nmero en el cdigo de
tamiz especifica el tamao de poro: 5A es preferido para el bombeo de aire, mientras que
13X se utiliza para atrapar hidrocarburos. Todos estos materiales bombearn el agua y los
vapores de hidrocarburos a temperatura ambiente, pero deben ser enfriados a la
temperatura del nitrgeno lquido para absorber el aire. Los materiales absorbentes no
atrapan el hidrgeno o el helio a la temperatura del nitrgeno lquido. Sin algunos medios
auxiliares para eliminar el hidrgeno y el helio, las presiones parciales de estos gases en
un sistema establecern la presin ms baja posible. Las bombas de absorcin deben
estar provistas de una vlvula de choque debido a que el material absorbente libera todo
su aire absorbido a medida que se calienta a temperatura ambiente.
El absorbente se activa inicialmente por coccin a 250C. Despus de varios ciclos de
bombeo, los poros del material absorbente se obstruirn con agua y la eficiencia de la
bomba se deteriorar.

Bombas criognicas
Cualquier superficie actuar como una bomba para un gas que se condensa a la
temperatura de la superficie. Una bomba que se basa principalmente en la condensacin
en una superficie fra se llama una bomba criognica.. Estas bombas usualmente emplean
dos etapas. En la primera etapa se mantiene una superficie metlica de 30 a 50 K para
atrapar vapor de agua, dixido de carbono y los componentes principales del aire. La
segunda etapa, mantenida a 10 a 20 K, est recubierta con un material crioabsorbente tal
como carbn activado para proporcionar el bombeo de nen, hidrgeno y helio. Las
criopuntas proporcionan una alta velocidad de bombeo para los gases fcilmente
condensados. Su desempeo con helio depende crticamente de la calidad y la historia
reciente de la superficie criosorbente. El gas capturado por una criobomba no est
permanentemente ligado. La bomba debe calentarse peridicamente para regenerar las
superficies de bombeo. Debido a la capacidad limitada de la bomba, es necesaria una
bomba de desbaste, al igual que una vlvula entre la criopomba y la cmara de vaco para
que el sistema de vaco pueda ser bombeado spero a una presin inferior a
aproximadamente 10 torr antes de que se inicie el criopreso.
Bombas inicas

Una bomba de iones se combinan bombeo getter con la accin de bombeo exhibida por
un medidor de ionizacin. Dentro de estas bombas se mantiene una descarga
magnticamente confinada entre un nodo de acero inoxidable y un ctodo de titanio. La
descarga se inicia por emisin de campo cuando se coloca un potencial de
aproximadamente 7 kV a travs de los electrodos. Despus de que se golpea la descarga,
una fuente de alimentacin limitadora de corriente mantiene la velocidad de descarga de
0,2 a 1,5 A, dependiendo del tamao de la bomba. Las molculas de gas inerte y otras
molculas tambin se ionizan en la descarga y se aceleran en el ctodo con suficiente
energa cintica para que sean permanentemente enterradas. Los gases activos son
quimisorbidos por el titanio que ha sido bombardeado del ctodo por bombardeo de
iones y depositado en el nodo.

Las bombas de iones funcionan entre 10-2 y 10-11 torr. Se necesita una esptula para
alcanzar la presin inicial. Puesto que las bombas de iones estn completamente libres de
hidrocarburos, se requiere una bomba rugosa sin aceite. Se puede utilizar una bomba
rotativa sellada con aceite bien atrapada, pero el desbaste con bombas de sorcin
garantiza que la cmara de vaco permanezca limpia. Una bomba de iones tiene una vida
til limitada debido en gran parte a la velocidad a la que el ctodo se erosiona durante el
funcionamiento. La vida operativa es una funcin inversa de la presin. Bajo un
funcionamiento continuo a 10 3 torr, la vida til de una bomba tpica es de slo 20 a 50
horas, mientras que la operacin a 10 6 torr puede continuar durante 20 000 a 50 000
horas (6 aos). En ultra alto vaco la vida es esencialmente infinito. Idealmente, una bomba
de iones slo se opera por debajo de 10 5 torr, pero debido a que esta presin es difcil
de alcanzar con la mayora de los sistemas de desbaste, el bombeo puede iniciarse a 10
torr, siempre que la carga de gas sea tal que la presin caiga rpidamente dentro del
intervalo deseable . Las bombas de iones se utilizan frecuentemente en combinacin con
bombas de sublimacin de titanio. De hecho, algunos diseos de bomba de iones
incluyen una bomba de sublimacin integral. La bomba de sublimacin puede servir para
bajar la presin de 10 torr a 10 torr antes de que se aplique potencia a la bomba de iones.
A presiones ms bajas, la bomba de sublimacin de titanio aumenta significativamente la
velocidad de bombeo de los gases extrables. Para alcanzar las presiones ms bajas
posibles, una bomba de iones se puede hornear a por lo menos 300 oC. La mayora de
las bombas estn equipadas con calentadores integrales para este propsito. La coccin
debe iniciarse slo mientras la bomba est en funcionamiento.

La corriente de iones positivos al ctodo de una bomba de iones es una funcin de la

presin; La bomba sirve como su propio manmetro. La fuente de alimentacin y la
unidad de control para la mayora de las bombas de iones incluye una lectura de presin.
Esta es una consideracin importante en el diseo de un sistema de vaco muy ultra
pequeo; El costo de una bomba de iones de 1 a 5 l / s con su unidad de control es poco
ms que el costo de un medidor de iones y controlador.

Las bombas de iones no requieren agua de refrigeracin ni bomba de respaldo. Continan

bombeando por la accin del getter incluso si la energa falla. Las bombas de iones no
introducen vapores de hidrocarburos o mercurio en el vaco. Bombas con velocidades de
uno a muchos miles de litros por segundo estn disponibles. La capacidad limitada en el
rango de 10 3 torr a 10 5 torr puede ser una desventaja. Los campos magnticos y
elctricos dispersos tambin pueden presentar un problema; Las bombas de iones
pueden producir un campo magntico de unos pocos gauss a una distancia de un
dimetro de entrada. Tambin puede haber un problema con los iones que escapan de la
bomba; La emisin de iones se puede suprimir colocando una pantalla polarizada
adecuadamente por encima de la entrada de la bomba. Una bomba de iones con
controlador puede costar dos o tres veces ms que una bomba de difusin comparable
con un deflector refrigerado con nitrgeno lquido apropiado.