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PRCTICA 12: TCNICAS DE VACO

RESUMEN
Se hizo la investigacin previa acerca del vaco, desde su definicin como diferentes tipos de vaco, aplicaciones el vaco, mecanismo de las bombas y diferentes tipos de bombas de vaco. Se le prest atencin a 2 tcnicas de vaco, y se les llev a cabo, el mtodo de McLeod y el mtodo de Torricelli.

INTRODUCCIN
Se escribe la informacin mnima acerca del vaco y diferentes tcnicas y equipos para generar el vaco. Vaco Relativo (Definicin): Determinado espacio lleno con gases a presin total menor que la presin atmosfrica. Se da esta definicin ya que el vaco absoluto es solo un concepto, es decir no existe de manera funcional. El vaco se mide en unidades de presin, en la tabla 12.1 se ven las diferentes unidades de presin, donde las utilizadas en el SI son Pascales (Newton/metro cuadrado) y la unidad ms utilizada es el milibar. 4: Ultra Alto Vaco, en ingls (Ultra HIgh Vacuum) [UHV], cuyos intervalos de presin y densidad molecular son: 3: Alto Vaco, en ingls (HIgh Vacuum) [HV], cuyos intervalos de presin y densidad molecular son:

En ocasiones cuando la presin llega a ser igual a 10 mbar se le llama Extreme High Vacuum [XHV] El vaco y sus tipos tienen aplicaciones varias, las ms comunes son: Aplicaciones Industriales:

-7

1: Empaquetado de Alimento 2: Evacuacin y secado de circuitos frigorficos


Tabla 12.1 Unidades de Presin

3: Secado e impregnacin de transformadores 4: Sistemas de soldaduras por haz de electrones 5: Hornos de fusin y tratamientos trmicos 6: Crecimiento de capas finas (ptica, tratamientos duros) 7: Metalizacin de faros y espejos 8: Industria de semiconductores 9: Sistemas de deteccin de fugas de Helio

El vaco tiene 4 clasificaciones que estn en funcin de los intervalos de presin y son las siguientes: 1: Bajo Vaco o Vaco Grueso, en ingls (Low Vacuum) [LV], cuyos intervalos de presin y densidad molecular son:

2: Medio Vaco, en ingls (Medium Vacuum) [MV], cuyos intervalos de presin y densidad molecular son:

10: Fabricantes de criostatos y tanques criognicos

11: Sistemas de anlisis de gases por espectrometra de masas. En la figura 12.1 se ve una parte del esquema de un espectrmetro de masas y donde ocupa el vaco.

superior a la velocidad de bombeo de la bomba, el concepto de velocidad de bombeo se explicar luego. [2]

Hidrodinmica de Gases:

Recorrido Libre Medio ( ): Es la distancia que una molcula puede recorrer entre dos colisiones sucesivas con otras molculas de gas. Est en funcin de la presin, temperatura del gas y el tamao de las molculas.
Figura 12.1 Vaco en Espectrometra de masas

Aplicaciones de Investigacin:

1: Crecimiento de capas en ptica y electrnica 2: Sistemas de anlisis de superficie 3: Reactores de fusin 4: Aceleradores de partculas. En la figura 12.2 se muestra una parte del mecanismo de un acelerador donde ocupa una bomba de vaco.[1]

Flujo viscoso turbulento: Este flujo es cuando las partculas se mueven en trayectorias irregulares, puede ser consecuencia de la ruptura de un flujo ordenado de vrtices, en las bombas de vaco este flujo es generado por efectos viscosos debido a la existencia de paredes, este flujo se produce cuando se empieza a evacuar una cmara de vaco. En el caso de una bomba de vaco, el recorrido libre medio es mucho menor que el dimetro de la conduccin por el cual las partculas se mueven ( , y se manifiesta tambin la turbulencia ya que las capas de fluido se mueven una encima de la otra a diferentes velocidades. Las lneas de corriente formas curvas que parecen remolinos.

Figura 12.2 Vaco en acelerador de partculas

Flujo Viscoso Laminar: En este caso las lneas de corriente son paralelas y el recorrido libre medio de las molculas es menor que el dimetro de la seccin en la que se mueven . Este tipo de flujo es el que se produce cuando se hace vaco grueso y medio.

Se describen detalles tcnicos de las bombas de vaco: Conductancia: Es la relacin entre el flujo gaseoso a travs de una lnea de conduccin de gases y la diferencia de presin en los extremos, Flujo Molecular: Se produce cuando el recorrido libre medio de cualquier molcula es mayor que el dimetro de la conduccin por lo que se mueve . Este flujo se genera cuando se alcanza en condiciones de alto y ultra alto vaco. [3] En la figura 12.4 se muestran los diferentes tipos de flujo. Las conductancia pueden sumarse en serie o paralelo, como se puede ver en la figura 12.3.
Figura 12.3 Suma de Conductancias

Se hace notar que la conductancia depende de la geometra de la lnea, movimiento de las partculas de gas as como la naturaleza del mismo. La conductancia de una lnea de vaco puede limitar el paso de gas y por tanto la velocidad de bombeo de una bomba. Debido a ello, la conductancia de la lnea de aspiracin de una bomba suele elegirse 10 veces

Figura 12.4 Tipos de flujo

Figura 12.5.b Bomba rotatoria 1 paleta

Otras Partes:

TIPOS DE BOMBAS Y MECANISMOS

Gas ballast valve assembly: Ensamble de la valvula del gas balasto. End Plate:Placa del extremo.

1) Bomba rotatoria 1 paleta y 2 paletas: Rango de Presin Estndar(10^3-10^-2mbar): En la figura 12.5.a se muestra un esquema de la bomba rotatoria. [4]

Inlet port: Puerto de entrada Exhaust Port: Puerto de Salida Vanes: Veletas Exhaust flap backing plate: Bisagra del escape de la placa de forro. Exhaust flap(neoprene): Bisagra (de neopreno) del escape. Neoprene gasket: Empaque de neopreno. Shaft seal: Sello del eje. End plate and shaft seal bearing: Placa del extremo y el eje del cojinete del sello. Rotor shaft: Eje del rotor.

Figura 12.5.a Bomba rotatoria 1 paleta

En la figura 12.5.b se muestra un esquema completo de la bomba rotatoria.

El estator es un cilindro de acero cuyos extremos tiene unas placas que mantienen firme el eje del rotor. El estator est atravesado por los puertos de salida y entrada que estn de manera vertical. El puerto de entrada con un filtro de polvo est conectado al sistema de vaco y la lumbrera de escape est provista de una vlvula, que puede ser una placa de metal mover verticalmente entre placas de pararrayos, o una hoja de neopreno, que est restringido a la bisagra entre el estator y un metal placa del forro. La lnea de contacto conocido como el sello superior entre el rotor y el estator debe tener una separacin de 2-3 micras. Todas las superficies de contacto se muelen para una alta precisin y el conjunto entero estator del rotor est sumergido en un aceite adecuado, que sirve como un sellador, refrigerante y lubricante.

Una pelcula de aceite se utiliza en todas las piezas mviles. Las bombas rotativas de aceite sellado normalmente operan a velocidades de varios cientos revoluciones por minuto. [5]

1:Impulsor o Paleta 2: Estaca del impulsor 3:Estator 4:Puerto de Succin

Etapas de Bombeo: A: Aspiracin: Las paletas deslizantes se mueven cuando el rotor gira. El volumen entre la entrada y la paleta inferior es incrementado. B: Aislamiento: El gas ha sido aislado del sistema del vaco y comienza a empujarse hacia la vlvula de descarga. C: Compresin y Expulsin: El gas se comprime ligeramente arriba de la presin atmosfrica. La vlvula de descarga se abre y el gas es expulsado fuera de la bomba a travs del aceite del recipiente. Este proceso se muestra en la figura 12.6.

5:Rotor (Anillo Giratorio) 6:Lquido Operacional 7: Puerto Flexible de Descarga

Rango de Presin bomba anillo lquido(1013-33mbar). En una bomba de anillo lquido, las maquina cuyos marcos de estatores tienen forma oval o elptica son bombas de doble efecto o doble cmara, las bombas cuyos marcos estatores tiene forma cilndrica son de un solo efecto o una sola cmara. Otra clasificacin de las bombas de anillo lquido es con respecto a la direccin de la corriente del gas de entrada y salida en relacin al impulsor. Usualmente las bombas pueden tener flujo radial o axial. La fuerza del impulsor se transfiere a travs del lquido. [6] Lquido de Funcionamiento: El lquido de funcionamiento en el proceso se acelerar en el lado de la succin, por lo que ha aumento su energa. El en lado de descarga el lquido entra en el compartimiento del impulsor en donde una porcin de energa cintica es transformada en energa potencial de la compresin.

Figura 12.6 Proceso bomba rotatoria 1 paleta

En la disipacin de la energa se superan las prdidas en los flujos de gas y lquido, ya que el gas es comprimido y expulsado. Asumiendo que la paleta-impulsor est dispuesta excntricamente en la carcaza debidamente ajustadas el movimiento de la paleta da impulso al lquido. Debido a la excentricidad del impulsor una cavidad de media luna es formada entre el centro del impulsor y el lquido a medida que avanza el rotor. Los labes separaron esta cavidad en muchos segmentos de distinto volumen. En el giro del rotor, los segmentos aumentan de tamaos en la regin del puerto de entrada y el gas es succionado. En la regin de descarga los segmentos del lquido de funcionamiento cada vez son ms pequeos, son comprimidos y expulsados. Los puertos de entrada y descarga deben ser encontrados con las placas de control en el lado de las mquinas de entrada axial. El lquido de funcionamiento sirve tanto para transferir energa, para sellar la paleta-impulsor, sella los espacios entre el impulsor, placas de control y estator. Tambin absorbe y remueve cantidades de calor generadas en la bomba.

Un tipo de bomba similar a la bomba rotativa es la bomba de anillo lquido (liquid ring pump), la cual puede verse en la figura 12.7.

Figura 12.6 Bomba de anillo lquido

Partes de una Bomba de Anillo Lquido:

El agua es buen lquido para estar entre ranuras y anillos, pero dependiendo del proceso se usan hidrocarbonos, solventes, y aceites sintticos ligeros. En adicin con el calor de la compresin ms el calor adicional en los lquidos de las bombas generados por condensacin de vapores y absorcin de gases, a travs de reacciones qumicas que ocurren en los procesos de gas y el lquido de la bomba, o a travs del enfriamiento del gas principal por altas temperaturas. [7]

regreso de flujo. El rango de presin usual utilizando agua a 15C es de 1013-150 mbar. Si se utiliza aceite, el rango de presin obtenido es de 10-30mbar. Una bomba de dos paletas, se utiliza para presiones de entrada menores a 150mbar, en vez de utilizar una paleta, se usan puertos de descarga flexibles. Esta construccin hace que el gas sea descargado sin necesidad de vlvulas de apertura. La descarga de la primera etapa se convierte en succin de la segunda paleta. La relacin de compresin parcial por etapa es variable con respecto a la presin de entrada. Tambin se trata de que haya una relacin de compresin de 1:7. [8] [9]

Rangos Operacionales del Lquido de Funcionamiento: Para obtener la ms baja presin posible es necesario prevenir la ebullicin del lquido de funcionamiento. Usando agua a 15C como lquido, la ms baja presin posible de entrada es de aproximadamente 33 mbar. Presiones de entrada ms bajas pueden ser alcanzadas mediante el uso de un lquido cuyo punto de ebullicin sea ms bajo. Tambin se puede lograr una mejor de la presin de entrada usando una bomba de vaco que opere con un principio diferente conectado del lado de la entrada de la bomba rotatoria. Usualmente las bombas rotatorias usualmente se combinan con bombas de gas eyector y aqu es posible utilizando agua a 15C tener un intervalo de presiona de entrada desde 33mbar a 5 mbar. Esto se muestra en la figura 12.8.

En la figura 12.9 se muestra el rendimiento de una bomba rotatoria con una paleta y dos paletas.

Figura 12.9 Rendimiento bomba rotaria Figura 12.9 Rendimiento Bomba Rotativa.

2) Bomba Roots: Rango de Presin Estndar(10-103mbar): La bomba Roots, est formada por dos lbulos asimtricos que giran en sentido contrario dentro del estator. Estos rotores son lubricados por aceite y son sincronizados por engranes externos. Existen espacios libres entre rotores y cualquier rotor y la pared del estator, esta distancia tiene un intervalo de 0.05-0.25mm. Como los rotores corren en seco, las filtraciones de regreso ocurren a travs de esas distancias y el ritmo de filtraciones es dependiente de la diferencia de presin a travs de la bomba y el gas bombeado.

Figura 12.8 Bomba de Anillo Lquido con Gas Eyector.

Una bomba rotativa de anillo lquido trata de minimizar 7 veces la presin de entrada. Por lo que la capacidad del puerto de descarga es reducida. Para arreglar esto se ponen los orificios de ventilacin de manera conveniente, y se usan vlvulas de disco. Las placas de control se utilizan para tapar o no tapar estos orificios y evitar que haya compresin y

La mquina puede ser conducida por un solo eje con el rotor segundo sincronizado y conducido a travs de un conjunto de engranajes de sincronizacin. La forma de los rotores junto con tolerancias estrechas funcionamiento hace que el proceso de rotacin sin friccin, evitando as la lubricacin y reflujo sustancial de gas a presiones por debajo de 20Torr. Las velocidades de rotacin tpicas son de 500 a 3000 rpm dependiendo del tamao de bomba. En la primera posicin, el aire entra en el lado de entrada. Parte de este aire est atrapado por el rodete inferior, como se indica en la segunda posicin. Este volumen es descargado en el tercero y cuatro posiciones. Este ltimo tambin muestra otra cantidad de gas atrapado por el impulsor superior que ser dado de alta durante el siguiente cuarto de revolucin. [10] Se muestra en la figura 12.10 la bomba Roots y su funcionamiento.

3) Bomba de difusin de aceite: Rango de Presin Estndar(10^-3,10^-8mbar):

Figura 12.11 Funcionamiento Bomba Difusora.

En la figura 12.11 se muestra el funcionamiento de una bomba de difusin. Para entender por completo el funcionamiento de una bomba difusora, es necesario entender el concepto de presin de vapor. La presin de vapor es la presin de la fase gaseosa o vapor de un slido o un lquido sobre la fase lquida para una temperatura determinada, en la que la fase lquida y el vapor se encuentra en equilibrio dinmico. Las flechas representan las molculas del fluido de bombeo y los puntos negros representan las molculas de gas siendo bombeadas. El lquido de bombeo a baja presin de vapor es hervido en la caldera. El vapor del aceite fluye hacia arriba a travs de las chimeneas a chorro, invierte su direccin a tapas de chorro y emerge hacia fuera (hacia abajo), a velocidad supersnica. Las molculas de aceite se condensan en las paredes de la bomba que son enfriadas por agua y fluyen en forma de una pelcula de aceite, regresando a la caldera donde el aceite es hervido nuevamente y evaporado. Las molculas de gas presentes en la cmara sobre el conjunto de inyeccin se difunden en la corriente de vapor donde se les da un impulso hacia abajo debido a las colisiones con males de aceite ms pesadas. As las molculas de gas son forzadas por el chorro a entrar a una regin de presin ms alta que en la seccin baja de la bomba de difusin. La presin aqu es lo suficientemente alta para que la bomba rotativa de respaldo tenga la velocidad de bombeo necesaria para que las molculas de gas acumuladas se extraigan a travs de la lnea delantera de vaco.

Figura 12.10 Funcionamiento Bomba Roots.

Aunque la bomba Roots puede descargar directamente a la atmsfera sin ninguna bomba de respaldo, no es recomendable en la prctica. De hecho, una bomba rotatoria de apoyo hace posible operar las presiones de entrada inferiores races bomba al. Adems, tambin se reduce la potencia necesaria para conducir la bomba Roots con respaldo. La velocidad de bombeo y el rango de presin de la bomba dependen en cierta medida de las caractersticas de rendimiento de la bomba de respaldo utilizada .Cuanto menor sea la presin mxima del respaldo bomba, cuanto ms baja la presin mxima de la combinacin tambin. Del mismo modo el uso de una bomba de respaldo con resultados mayor velocidad en una velocidad ms alta de la combinacin. La presin ms baja total alcanzable con estas mquinas, cuando se usan en conjuncin con una bomba mecnica de aceite sellado, es del orden de 5X10^-4 Torr. La principal ventaja de las bombas Roots es su capacidad para manejar grandes cargas de en una regin de presin. [11]

Este tipo de bombas trabajan a bajas presiones de entrada, la presin de apoyo requerida generalmente es de 10^-1, a 10^-2 Torr. El ltimo vaco alcanzable depende de la presin de vapor del lquido de la bomba a la temperatura de las superficies de condensacin. Sin embargo, proporcionando una trampa de fro entre la bomba de difusin y de la regin que est siendo evacuada, presiones mucho ms bajas que la presin de vapor del lquido de bombeo pueden ser alcanzadas. Las primeras bombas de fusin utilizaban mercurio como lquido de funcionamiento, sin embargo actualmente varios tipos de aceite han sustituido al mercurio. Algunas ventajas del mercurio sobre el aceite, es que no se descompone y no contribuye a la carga de gas no condensable para el sistema as como no reacciona con la mayora de los gases o con un filamento caliente. Algunas desventajas del mercurio respecto al aceite son: Tiene menor peso molecular y es menos efectivo como fluido de bombeo, tiene mayor presin de vapor por tanto debe ser utilizado con una trampa refrigerada, se fusiona con mucho metales y es txico. La tendencia general en el desarrollo de aceites de la bomba de difusin ha sido hacia la obtencin de aceites de baja presin de vapor y una mayor resistencia a la oxidacin. Los aceites de silicona ofrecen una mayor resistencia a la oxidacin a temperaturas elevadas. Este factor es una clara ventaja en muchas aplicaciones donde el aceite caliente se expone a la atmsfera. Puesto que cada tipo de aceite tiene caractersticas diferentes presin y temperatura, y ya que la temperatura de la caldera afecta la descomposicin del aceite, tanto la potencia del calentador bomba y el flujo de agua de refrigeracin tienen un fuerte efecto sobre el rendimiento de una bomba. El fluido de la bomba de difusin puede estar contaminado continuamente debido a la transferencia de vapor de baja presin de la bomba. Esta transferencia puede eliminarse mediante el uso de una trampa de adsorcin/condensacin adecuado en la lnea delantera. El flujo reverso, o la transferencia de fluido para bomba de difusin ms all de la brida de la bomba, depende principalmente del tipo de aceite usado as como el diseo de la bomba. El flujo reverso puede ser efectivamente detenido por una trampa correctamente diseada, pero slo a expensas de la reducida velocidad de bombeo.

incidente, y lo que sobra es absorbida por la superficie por las llamadas fuerzas de dispersin o fuerzas de Van der Waals. Las fuerzas de dispersin existen entre cualquier par de molculas y en el caso del criobombeo, esas fuerzas son las importantes fuerzas de atraccin que sostienen una molcula bombeada en la superficie, es decir pasa el fenmeno de adsorcin. La cantidad de molculas que puede ser retenida sobre la superficie depende de: La temperatura del gas utilizado y la superficie, naturaleza qumica del gas y de la superficie, aspereza microscpica de la superficie, flujo incidente de las molculas. Por lo general las fuerzas de dispersin existentes entre una superficie y una molculas son mayores que las fuerzas entre molculas. Esto significa que las monocapas de gas son construidas sobre la superficie y el efecto de interaccin por contacto del gas disminuye, el equilibrio entre adsorcin y desadsorcin cambiar. La presin bajo la capa adsorbida incrementar conforme la magnitud de las fuerzas de dispersin decrece. Cuando aproximadamente 5 monocapas se ha construido, el efecto de las fuerzas de dispersin de la superficie se habr convertido en insignificante. Las molculas son limitadas solo por las fuerzas que interactan mutuamente entre ellas y la presin debajo de un condensado no aumentar, eso permanecer constante siempre que no aumente la temperatura de la capa exterior. En la figura 12.12 se muestra un esquema de lo anterior. [12]

4) Bomba Criognica: Rango de Presin Estndar(10^-2,10^-10mbar): Principio de Funcionamiento: El criobombeo significa la creacin de vaco a travs del uso de bajas temperaturas, esto ocurre debido a que cuando las molculas de gas chocan en una superficie perdiendo suficiente de su energa cintica

Figura 12.12 Monocapa de Adsorcin.

Funcionamiento de la bomba: Se habla de criosorcin de bombeo cuando las fuerzas de dispersin son necesarias para contener molculas en la superficie en la medida necesaria para alcanzar el vaco deseado. Solo varias monocapas de gas pueden acumularse sobre la superficie

La crio-condensacin de bombeo es cuando la fuerzas de dispersin existen mutuamente entre molculas sin suficientes para mantenerlas en la superficie en la medida necesaria para mantener los niveles de presin deseados. En este caso tpicamente un nmero muy grande de monocapas puede ser construido para arriba, el resultado es que se puede acumular mucho ms gas que en el caso de criosorcin de bombeo. La mayora de las bombas criognicas que tienen aplicaciones de HV o UHV tienen superficies de bombeo refrescadas por refrigeradores mecnicos de ciclo cerrado utilizando helio como fluido de trabajo. El ciclo de refrigeracin generalmente usado es el Gifford McMchon. La primera etapa de refrigeracin opera normalmente entre 50K y 80K, mientras que la segunda etapa opera entre 12K y 20K. La temperatura de la segunda etapa es suficientemente baja como para que todos los gases excepto nen, hidrgeno y helio se bombean por crio-condensacin. Los tres gases anteriores son bombeados por criosorcin de un adsorbente adjunto a esa capa. En la figura 12.13 se puede ver un esquema del mecanismo de refrigeracin. [13]

Tambin el criobombeo es un mtodo especialmente limpio, no hay fluidos internos en el vaco, estos fluidos son usados para envolver el vaco en las bombas criognicas. Ya que las bombas criognicas son bombas de captura, se requiere la regeneracin o eliminacin peridicas de gases acumulados. En la figura 12.14 se muestra una bomba criognica. [14]

Figura 12.12 Mecanismo Bomba Criognica.

En la figura 12.13 se ve una configuracin de la bomba criognica con su respaldo. [15]

Figura 12.12 Mecanismo de Refrigeracin.

El criobombeo puede tambin ser usado cuando se requiere la limpieza spera fina de bombeo. En este caso se utiliza nitrgeno lquido para enfriar una lata de material adsorbente, el gas es bombeado por criosorcin y presiones de 103Pa pueden ser alcanzadas. A temperaturas suficientemente bajas casi todas las molculas de gas incidentes sobre la superficie son capturadas y su velocidad se aproximar al lmite terico de la bomba criognica, es decir, lmites impuestos por velocidad moleculares, por lo que las bombas criognicas pueden tener grandes velocidades de bombeo en comparacin con otros mecanismos de bombeo. Esto en especial se ve al utilizar vapor de agua porque el bombeo es fcilmente alcanzable, relativamente a altas temperaturas.

Figura 12.13 Arreglo Bomba Difusora"

5) BombaTurbomolecular: Rango de Presin Estndar(10^-2,10^-10mbar): En la figura 12.14 se muestra un esquema de una bomba turbomolecular.

entre los dos conjuntos de discos. La lumbrera de escape combina la salida de ambos conjuntos de hojas, que luego se elimina mediante una bomba de respaldo. Esto se ve en la figura 12.15.

Figura 12.15 Vista transversal Rotor-Estator"

Figura 12.14 Bomba Turbomolecular"

Principio de Funcionamiento: Esta bombas utilizan el hecho de que las molculas de gas se les puede dar impulso en una direccin deseada, usando repetidas colisiones en una superficie slida en movimiento. En el caso de una bomba turbomolecular se rota una un disco ranurado. Una partcula golpeando una pared mvil tiene un componente de la velocidad en la direccin del movimiento de la pared adems de su propia velocidad trmica. La resultante de stas velocidades hacen que las partculas sean empujadas lejos. Por lo que el movimiento catico trmico de las partculas antes de colisionar con alguna pared se convierte as en un movimiento dirigido de las partculas. Esta direccionalidad ser significativa solamente cuando la pared se mueva a alta velocidad. Cuando el recorrido libre medio de las partculas es mayor que el espacio entre el rotor y el estator (rango de flujo molecular en una bomba turbomolecular, tpicamente < 101 Pa), las partculas chocan principalmente con el rotor, lo que resulta en un proceso eficiente de bombeo, y no hay ninguna influencia de interaccin de los diversos gases. En la gama del flujo laminar (tpicamente en una turbomolecular bomba > 101 Pa) la accin del rotor est restringida por las frecuentes colisiones entre las partculas. Por lo tanto, una bomba turbomolecular no es capaz de bombeo gases contra la presin atmosfrica y debe estar respaldada por una bomba adecuada de desbaste. El rotor es en forma de dos conjuntos de discos paralelos, radialmente ranurados. En accin estos discos ranurados rotacin entre discos fijos radialmente ranurados similares adheridos a la caja de bomba cilndrica. Un puerto de entrada de la bomba se suministra con acceso directo a la regin

Las ranuras radiales en los discos estn en ngulo y dispuestas de modo que las ranuras de los discos del estator son imgenes especulares de los discos de rotor, para que la velocidad relativa entre las palas del rotor ranurado alternativo y los labes del estator ranurado es probable una molcula de gas ser transportada desde la entrada de la bomba para el escape de la bomba. Mientras que el rotor se mueve en la direccin de la flecha con molculas de gas a cierta velocidad para adquirir un impulso dirigido mediante colisiones con la cuchilla mvil. Las palas del rotor estn ranuradas en un ngulo fi para tratar de que la probabilidad de que las molculas de gas se transmitan desde el lado de entrada para el lado de salida sea mayor que la probabilidad de que se transmitan en direccin contraria. Del mismo modo los labes del estator que estn ranurados en el sentido inverso y desde el punto de vista de la molcula que ha recibido un impulso dirigido del rotor, parecen estar movindose a alta velocidad relativa. La molcula entonces recibe ms impulso dirigido, en el mismo sentido desde el estator. Con discos de poco milmetro de grosor, se da un canal corto de flujo entre los discos y por consiguiente solo se alcanzan pequeas diferencias de presin. Sin embargo, con varios discos, cada uno con muchas ranuras todo actuando en serie, una diferencia de presin grande puede establecerse entre la entrada y salida. Con una pequea presin diferencia un par de discos, los espacios pueden ser tanto como 1 mm sin perjudicar el rendimiento de la bomba. Esto a su vez elimina los problemas asociados con diseos anteriores donde rotor incautacin fue moneda corriente. Si se disminuye el ngulo entre la ranura y la superficie del disco, se logra una mayor relacin de compresin, pero a expensas de una velocidad de bombeo ms pequeas. Los discos externos, operando a una presin ms alta, tienen ngulos ms pequeos. [16]

Suspensin del rotor: El desarrollo de la bomba turbomolecular fue espectacular con respecto a la reduccin de tamao. Esto fue posible debido a un aumento de la circunferencial (punta) velocidad de 150 m/s en 1958 a aproximadamente 500 m/s hoy y los cambios de la geometra del rotor. Estas velocidades se refieren a altas velocidades de rotacin de los rotores ejerciendo altas cargas a suspensin del rotor.

Hoy en da la mayora de las bombas turbomoleculares comerciales est equipada con cojinetes lubricados para el rotor, o una combinacin de un imn permanente de cojinetes en el lado de alto vaco y un cojinete lubricado en la salida del vaco lateral. Segn el dimetro de la rueda la velocidad de rotacin del rotor va hasta 90.000 rpm.

Figura 12.16 Barmetro Torricelli"

Medidor de presin de McLeod: "Rodamientos cermicos"(bolas de cermica) son ampliamente utilizados hoy en da. Las bolas de cermica ejercen fuerzas centrfugas inferiores y disminuir el estrs en las carreras de bolas de metal, son ms duras y ms temperatura estable y, por tanto, tienen una forma esfrica estable y mnimo desgaste en bolas y raza. Su superficie es ms suave, llevando a la menor friccin, y la pareja formada por diversos materiales (bolas de cermica/acero) evita microperforaciones. El siguiente paso significativo en la produccin de un medidor ptimo, fue en 1874, cuando McLeod present un dispositivo basado en la posibilidad de comprimir el volumen de gas a una proporcin conocida. Usando una columna de mercurio, consigui que las altas presiones pudieran ser medidas con facilidad, mientras que las bajas se podan calcular con la ayuda de la ley de Boyle. Tcnicamente, el -6 medidor funciona en un intervalo de 1 a 10 torr se muestra en la figura 12.17.

Tambin existen suspensiones magnticas del rotor, estn disponibles en los que uno, dos, tres o todos los necesarios cinco grados de libertad del rotor son controlados activamente por un anlogo o por un sistema electrnico digital. La posicin del eje del rotor es controlada por sensores y la electrnica corrige la posicin del huso con los datos proporcionados por los sensores. No hay ninguna friccin mecnica y por lo tanto ningn desgaste. [17]

TIPOS DE MEDIDORES Y MECANISMOS Barmetro de Torricelli:


Figura 12.17 Medidor de presin de McLeod"

El evangelista Toricelli fue el primero en idear un barmetro de mercurio; para ello lleno de mercurio un tubo de vidrio de casi un metro de longitud cerrado por un extremo, tapo con su dedo el extremo abierto, invirti el tubo y lo introdujo en la superficie de mercurio contenido en una cubeta. Al retirar el dedo observ que el lquido descenda del tubo hasta alcanzar un equilibrio hasta una altura de 76cm sobre la superficie libre del mercurio. Este barmetro se puede observar en la figura 12.16. [18]

Medidor de Pirani:

Fue diseado en 1906, nos da una medida de la presin a travs de la variacin de la conductividad trmica del gas empleado. El dispositivo de Pirani consta de un filamento metlico suspendido en un tubo en el sistema de vaco y est conectado a una fuente de voltaje o corriente constante. El alambre es de un material cuya resistencia vare lo suficiente con la temperatura. Al aumentar el vaco, se reduce la prdida de calor por conduccin a travs del gas, aumenta la

temperatura y la resistencia del conductor. Se puede ver en la figura 12.18.

Se puede ver en la figura 12.20.

Figura 12.18 Medidor de Pirani" Figura 12.20 Termopar"

Manmetro de Bourdon:

Este medidor consta de una espiral hueca que se una con un recipiente en el cual se quiere medir la presin. Esta espiral es elstica, y se deforma segn el valor de la presin (tiende a abrirse cuando la presin aumenta). Posee una aguja mvil sobre un soporte llamado antagnico. Este aparato permite medir presiones bajas oscilantes entre 1mmHg y 1E-1 mmHg. Se puede observar en la figura 12.19.

La temperatura del filamento es medida con un termopar soldado a su centro. El Termopar es un dispositivo formado por la unin de dos metales distintos que produce un voltaje que es funcin de la diferencia de temperatura entre uno de los extremos denominado junta o unin y el otro denominado punto fro o referencia.

Medidor de ionizacin de ctodo fro:


-2 -9

El rango de presin va desde 1x10 1x10 mbar Se aplica un voltaje en el ctodo que genera una descarga -2 (con Presin en la cmara < 10 mbar). Los electrones producidos se dirigen al nodo siguiendo trayectorias curvas, debido al campo magntico aplicado paralelo al eje del nodo. Los electrones ionizan molculas de gas en su trayectoria, generando a su vez nuevos electrones e iones, mantenindose la descarga. (Figura 12.21)

Figura 12.19 Manmetro de Bourdon"

Medidor Termopar:
Figura 12.21 Medidor de Ionizacin de Ctodo Fro"

Consiste en un filamento metlico en contacto con la presin a medir. El filamento es calentado (temperatura constante) mediante corriente elctrica y es enfriado por el gas que lo rodea. Si se reduce la presin del gas el efecto de enfriamiento disminuye. Una junta de termopar es soldada sobre el filamento para medir la temperatura en todo momento. Conocida la temperatura y debido al efecto en la conductividad trmica del gas es posible medir su presin. En -3 general este tipo de medidores trabajan entre 10 y 10 [Torr].

Medidor de ionizacin de ctodo caliente:

El medidor por ionizacin consta de un filamento (ctodo), una rejilla y un colector de iones. Cuando se hace pasar una corriente por el filamento, este emite electrones que golpean la rejilla; la rejilla a su vez emite rayos x, los cuales provocan la fotoemisin de electrones en

el colector de iones. La ionizacin para casi todos los gases ocurre alrededor de 150volts. Los medidores de ionizacin por ctodo caliente pueden medir valores de presin de aproximadamente 1E-8 torr. (Figura 12.22) [19], [20]

siendo p la razn de compresin. B) El gas que qued en la cmara de compresin del ciclo anterior se encontrar a la presin Pc que puede ser mayor que la presin Pd existente en la parte exterior de la descarga. En efecto esto es posible porque a medida que la presin P de los gases a evacuar disminuye ,la descarga que se produce a travs de la vlvula respectiva ir retardndose porque el excntrico tendr que alcanzar posiciones cada vez ms prximas al final del ciclo para que los gases descarguen. Este retardo depender de Vc y su razn con Vb puesto que cuanto mayor sea p tanto ms tardar en propagarse la cresta de compresin hasta la vlvula de descarga y por tanto Pi deber depender inversamente de p. Tambin la frecuencia del ciclo, nf, tendr importancia haciendo crecer Pc directamente porque a mayor frecuencia ser menor el intervalo disponible en el proceso de descarga, por lo que:

Figura 12.22 Medidor de Ionizacin de Ctodo Caliente"

Intervalos de presin (Figura 12.23): Siendo k1 una constante de proporcionalidad. Se advierte que la expresin da para Pc el mismo valor que Pd cuando la bomba trabaja a la misma presin P que en la descarga porque en tal caso todo el ciclo de compresin es de descarga. Siendo Pc el valor final de la presin residual en la cmara de descarga una vez terminado el ciclo de evacuacin, la variacin total de la presin en la cmara ser:

El caudal de gas descargado se considera en la situacin idnea:

La velocidad de bombeo a la presin P del recinto que se evacua ser igual a Q/P y por tanto indicndola con Si se tendr:
Figura 12.23 Intervalos de Presin en Torr"

con Velocidad de Bombeo: En el proceso de descarga que se produce en cada ciclo de compresin en el que ocurre lo siguiente: A) El gas ingres a la cmara de aspiracin a la presin P que tena en el recinto que se evaca. Si el volumen mnimo de la cmara de descarga es Vc, la presin que alcanzar el gas al ser comprimido ser: Siendo e= ancho del estator, Rr= Radio de rotor, Re=radio estator, a=variacin radio rotor, k=Re/Rr. En general para bomba medianas y grandes todas las bombas mecnicas y para

La expresin obtenida as proporciona solamente la informacin relativa al caudal volumtrico de la bomba

mecnica independientemente de la presin del recinto que evacua, de la descarga y de la mnima presin alcanzable. [21]

DESARROLLO EXPERIMENTAL:
1) Mtodo de Mcleod: Primero se realiz en el experimento del medidor de McLeod, se llen una manguera que en este caso la manguera jug el papel del capilar abierto en el medidor de McLeod con aceite de linaza de manera paulatina, con la manguera en posicin casi horizontal para evitar que se formaran burbujas, para introducir el aceite en la manguera se utiliz un tapn de pluma como embudo. De ah se estuvo llenando de tal manera que el aceite llenaba 5 centmetros de longitud en el capilar abierto hasta llegar a los 2 metros, ese parmetro se llam h2 y la distancia que el aceite recorra en el capilar cerrado se llam d2.Se observa un esquema de lo mencionado en la figura 12.24, donde V es el vaco generado.

Posteriormente se bajaron 5 escalones y por diferencia de presiones eso provoc que un poco de agua se derramara por lo cual se utiliz la otra cubeta para recolectar el agua derramada. Cada 5 escalones se marc un nivel y as se sigui midiendo hasta llegar a la planta baja del edificio. Simultneamente con cada nivel marcado en el extremo abierto, se marcaba un nivel de vaco generado en el extremo prensado. Despus de vaci la manguera y se coloc estirada en el piso para medir las distancias entre marcas, las distancias correspondientes al extremo abierto fueron los parmetros h1 y las distancias correspondientes al extremo prensado fueron los parmetros d1. Esto se ve en la figura 12.25 donde la flecha seala el vaco generado.

Figura 12.25 Medidor de Torricelli con agua" Figura 12.24 Medidor de McLeod con aceite"

Despus se midi la densidad del aceite pesando en una balanza analtica una jeringa de insulina primero vaca, y despus llenando la jeringa con cierto volumen de aceite se pes la jeringa nuevamente y utilizando una expresin, se obtuvo la densidad.

RESULTADOS Y ANLISIS:
Experimento de McLeod: En la tabla 12.1 se muestran los mediciones de volumen y masa del aceite. Y el grfico 12.1 se muestra el ajuste de densidad.

2) Mtodo de Torricelli: En el experimento de Torricelli se utilizaron 2 cubetas, una manguera de aproximadamente 7m, unas pinzas de presin, cinta adhesiva, y como lquido funcional se utiliz agua, ya que el mercurio no es factible. Subimos al piso ms alto del edificio y despus utilizando la diferencia de presiones a nuestro favor se llen toda la manguera con agua tratando de que no hubiera burbujas en el interior. Una vez llena la manguera se coloc en forma de "U" y se marc en la mitad, un extremo de la manguera de mantuvo prensado utilizando las pinzas, ese extremo se prens debajo del agua para evitar que no entraran burbujas. El otro extremo se mantuvo abierto y se marc con cinta adhesiva el nivel del extremo abierto.

(V) [ml] 0 1 2 3 4 5

(m) [g] 5.66 6.36 7.63 8.44 9.34 10.25

Tabla 12.1 Mediciones aceite masa-volumen"

11 10 Masa [g] 9 8 7 6 5 0

Densidad
m = 0.9343v + 5.611

Despejamos H H=

En nuestro caso en particular: H'=h2, L=d1, L'=d2 2 Volumen [ml] 4 6

Grfico 12.1 Masa vs Volumen"

Los datos de la masa y volumen graficados mostraron una tendencia lineal, de la cual se obtuvo la ecuacin que moldea el comportamiento, hallando con ello el valor de la densidad, que corresponde a la pendiente D=0.9343 gr/cm^3 =934.3 kg/ . Anlisis medidor McLeod: Figura 12.26.

Se establece la ecuacin anterior una recta con pendiente igual a y con ordenada al origen igual a las cuales son constantes. En la tabla 12.2 se muestran las mediciones del experimento de McLeod.
(1/d2) [m^-1] 3.952 3.952 3.974 3.984 3.937 3.937 3.952 4 4.016 4.024 4.032 4.048 4.065 4.081 4.098 4.132 4.149 4.175 4.184 4.201 4.237 4.255 4.273 4.310 4.329 4.347 4.366 4.385 4.405 (h2) [m] 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 0.4 0.45 0.5 0.55 0.6 0.65 0.7 0.75 0.8 0.85 0.9 0.95 1 1.05 1.1 1.15 1.2 1.25 1.3 1.35 1.4 1.45 1.5

Figura 12.26 Medidor de McLeod: a) Volumen fijo b)Cambio de volumen"

En la situacin a) la presin inicial es = y el volumen para el tubo sellado es = , en la situacin b) la presin debida al desnivel del fluido es = + , donde = , es la densidad del lquido empleado y g la aceleracin gravitacional en la superficie terrestre. El volumen en el caso b) tambin cambi a = .

Entonces aplicando la ley de Boyle se obtiene la siguiente igualdad: = Por lo explicado en el prrafo anterior, la ec. anterior se puede reescribir en trminos de L, L, H y : ( L* ( )*( +

4.424 4.444 4.464 4.504 4.524 4.545 4.566 4.587 4.597 4.629

1.55 1.6 1.65 1.7 1.75 1.8 1.85 1.9 1.95 2

Ya que se calcul , se prosigui a calcular la presin ejercida sobre el aire atrapado en el tubo sellado, para dos valores de H2, para el primer valor H2=0.1m result que P1= 78156.82 Pa+ (934.3*9.81*0.1) Pa, P1=79073.36Pa. Y para H2=2m la presin aument a P1=78156.82 Pa+ (934.3*9.81*2) Pa, P1=96487.78Pa. Es decir, en promedio se comprimi el aire dentro del tubo sellado con una presin absoluta de 17.75KPa~133Torr.

Tabla 12.2 Mediciones McLeod"

Experimento de Torricelli: Anlisis medidor Torricelli: Figura 12.27.

El grfico 12.2 se muestra el ajuste de parmetros. 2.2 2 (h2) [m] 1.8 1.6 1.4 1.2 1 4.15 h2 = 2.2742(1/d2) - 8.5273
h2 d2

(1/d2) vs h2

4.35

4.55

4.75

(1/d2) [m^-1]
Figura 12.27 Cambio de Volumen Medidor Torricelli"

Grfico 12.2 Presin Atmosfrica"

Se hace la observacin de que no se tomaron en el ajuste todas las mediciones, ya que las primeras la presin no era suficiente como para observar el fenmeno. De la ordenada al origen se tiene que:

En la situacin de la izquierda la presin que acta sobre el fluido empleado es la suma de las presiones que contribuyen:

Donde la presin hidrosttica se puede escribir como y es la presin inicial, y en la situacin b) la presin total actuante es: ( ) 934.3 kg/ La presin hidrosttica ha cambiado a Teniendo en cuenta que la presin en el Distrito Federal es de 585mmHg=77974.34Pa por lo que el error porcentual es: e%=0.23%. Una vez obtenido el valor de la presin atmosfrica, se procede a calcular la presin en el capilar cerrado en la primera y ltima medicin para determinar el intervalo de presiones manejadas en el medidor de McLeod. La presin ejercida sobre el tubo sellado despus de verter el aceite es = + , donde = , De la Ley de Boyle se sigue que: = .

= Despejemos 1/d2

Reescribimos la ecuacin anterior

CONCLUSIONES:
Se comprob que un gas fue puede ser comprimido usando el mtodo de McLeod, en este caso se comprimi aire a aproximadamente 17.75KPa. Aqu influy la viscosidad, temperatura y pureza del aceite. Se esperaba que el aire comprimido en el medidor de Torricelli fuera anloga a la de McLeod, sin embargo por las complicaciones no fue un experimento muy bueno.

La ec. anterior representa la ecuacin de una recta, con pendiente y ordenada al origen , pues d es constante. En la tabla 12.3 se muestran las mediciones del experimento de Torricelli.
(1/d2) [m^-1] 4 3.7 3.44 3.12 2.77 2.52 2.32 2.12 (h2) [m] 2.44 2.63 2.94 3.23 3.67 4.04 4.43 4.8

BIBLIOGRAFA:
Archivo PDF Tecnovac (http://www.uhv.es/sites/milka/doc/Curso%20de%20vacio% 20Tecnovac.pdf)
[1],[3],[10],[20]: [2], Archivo PPT Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid. [4],[18],[19]:

http://bibliotecadigital.ilce.edu.mx/sites/ciencia/volumen3/ci encia3/131/htm/sec_8.htm
[5],[9],[15],[17]: "Vacuum Science and Technology" V. Rao (http://books.google.com.mx/books?id=ys7yQ1lpVdUC&pg=P A28&dq=rotating+vane+pump&hl=es&sa=X&ei=SSQeU7KyCe 6E2gWkkYG4Cg&ved=0CD0Q6AEwAA#v=onepage&q=rotatin g%20vane%20pump&f=false) [6], [7], [8], [11], [12], [13], [14], [16]: Foundations of Vacuum

Tabla 12.2 Mediciones Torricelli"

El grfico 12.3 se muestra el ajuste de parmetros. 5 4.5 h2 [m] 4 3.5 3 2.5 2 2 h2 = -2.2499(1/d2) + 7.2706 2.5 3 3.5 4 4.5

(h2 vs (1/d2)

Science and Technology, Lafferty J.M.


[21]:ArchivoPDF:

http://sedici.unlp.edu.ar/bitstream/handle/10915/26196/Do cumento_completo.pdf?sequence=1

(1/d2) [m^-1]

Despejando la presin total de la ordenada al origen, tenemos que la 72678Pa por lo que e%= 6.7%

En este experimento tuvimos ciertas dificultades, la primera manguera que nos dieron fue demasiado delgada por lo que al memento de generarse vaco en lugar de notarse ese vaco, la manguera se empez a contraer y torcer.

Tambin tuvo que ver el calor del da y la luz del sol que incida sobre la distancia inicial en el extremo prensado que el agua se evaporara y en vez de quedar vaco quedaba un espacio con gases.