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Dispositivos Electrnicos
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Editorial:
Lugar publicacin:
Resumen:
Nuevas tecnologas en los dispositivos electrnicos es un libro de texto cuyo
principal objetivo es proporcionar los fundamentos bsicos de los dispositivos
electrnicos ms comunes: uniones, el transistor bipolar y los transistores de
efecto campo metal-xido-semiconductor (MOSFET), metal-semiconductor
(MESFET) y de unin (JFET). Antes de abordar estos dispositivos hay un primer
captulo donde se asientan las bases de los semiconductores. Despus del estudio
de estos dispositivos clsicos hay un captulo dedicado a dispositivos
optoelectrnicos. La tecnologa de fabricacin de circuitos integrados tambin se
aborda en este libro con captulos dedicados al crecimiento de semiconductores,
su impurificacin, el crecimiento controlado de otros materiales, la litografa y el
grabado. A continuacin se trata de forma especfica la tecnologa de fabricacin
de circuitos integrados y finalmente se tratan aspectos industriales de la
fabricacin de componentes. El libro termina con captulos dedicados al
modelado de dispositivos electrnicos y los procesos de fabricacin. El libro
forma parte de los resultados de un proyecto de innovacin docente denominado
Aplicaciones de las nuevas tecnologas a
la enseanza de los dispositivos electrnicos. Los contenidos de este libro
tambin estn disponibles en formato web en la pgina del departamento de
Electrnica y tecnologa de computadores:
http://electronica.ugr.es/~amroldan/deyte/
Summary:
New Technologies in electronic devices is a textbook intended for
undergraduate courses. Our aim is to provide the basic principles of common
semiconductor devices: junctions, the bipolar transistor, and field-effecttransistors (FET), such as the metal-oxide-semiconductor FET (MOSFET), the
junction FET (JFET) and the metal-semiconductor FET (MESFET). In a first
chapter, the fundamentals of semiconductors are given. After these classical
devices are studied there is a chapter where optoelectronic devices are treated.
There is a group of chapters devoted to silicon processing techniques such as
oxidation, ion implantation, lithography, etching. The fabrication processes of
integrated circuits are also described. The book finishes with two chapters
devoted to modelling of electronic devices and processes. This textwook is one of
the results of an educational project carried on at the University of Granada,
called Applications of the new technologies in teaching electronic devices. The
contents of this book can also be browsed in the webpage
http://electronica.ugr.es/~amroldan/deyte/
Contenidos:
Fundamentos de semiconductores.
Uniones semiconductoras.
El transistor de unin bipolar.
La estructura metal aislante semiconductor.
El transistor de efecto de campo MOS.
El transistor de efecto de campo de unin.
El transistor de efecto campo metal-semiconductor.
Dispositivos optoelectrnicos.
Crecimiento de semiconductores.
Impurificacin controlada de semiconductores.
Crecimiento y deposicin de pelculas.
Litografa y grabado.
Tecnologa de fabricacin de circuitos integrados.
Aspectos industriales de la fabricacin de componentes.
Modelos para simulacin de dispositivos electrnicos.
Modelos para simulacin de procesos.
Captu 1.
El
Transde
Efecto)
Captulo
Diagrama de bandas de un
semiconductor tipo N
FUNDAMENTOS DE
SEMICONDUCTORES
ndice
1-1
1-2
tores
1-3
1-4
Introduccin
1-5 Transporte de carga. Corriente en
Metales, aislantes y semiconduc- semiconductores
1-6 Corriente
y
generacinEstadstica de semiconductores
recombinacin. Ecuacin de continuidad
Portadores en desequilibrio
Objetivos
Mostrar
el
modelo
de
diagramas
de
bandas
para
el
estudio
de
los
semiconductores.
Palabras Clave
Semiconductor.
Electrn.
Hueco.
Enlace covalente.
Diagrama de bandas.
Impurezas
donadoras
aceptadoras.
Nivel de Fermi.
Funcin de distribucin.
Densidad de estados.
Densidad de portadores.
Generacin.
Recombinacin.
Equilibrio trmico.
Pseudoniveles de Fermi.
Corriente de arrastre.
Corriente de difusin.
Ecuacin de continuidad.
Ecuacin de difusin.
Relacin de Einstein.
Movilidad.
Coeficiente de difusin.
Distribucin de Fermi-Dirac.
Distribucin de MaxwellBoltzmann.
Semiconductor degenerado.
Captulo 1
1.1
Introduccin
Captulo 1
1.2
1.2.1
Descripcin fenomenolgica
1.2.2
Captulo 1
Na+
Cl-
Enlace metlico
En los slidos formados con este tipo de enlace, los electrones
exteriores estn desligados de los tomos, formando una nube electrnica
distribuida en todo el slido y que sirve de unin entre los ncleos
atmicos. Por tanto, los electrones exteriores no estn ligados a ningn
tomo en concreto, y pueden moverse libremente bajo la accin de un
campo elctrico. Estos slidos son, por consiguiente, buenos conductores
de la electricidad.
Enlace covalente:
En este tipo de slidos, los electrones de la capa ms externa de
cada tomo se comparten con los de otros tomos, formando el enlace
entre ellos, de forma que cada par de electrones constituye un enlace entre
tomos.
Por ejemplo, el silicio tiene cuatro electrones en su capa ms
externa y forma cuatro enlaces covalentes con otros tantos tomos de
silicio (ver Figura 1.2.2).
Captulo 1
4+
4+
4+
4+
4+
4+
4+
4+
4+
Electrones
de valencia
Enlace
covalente
T = 0K
1.2.3
Concepto de hueco
En un semiconductor, la conduccin se puede llevar a cabo de
dos formas:
Por los electrones libres
Por los electrones ligados, que van ocupando sucesivamente
diferentes enlaces
Captulo 1
4+
4+
4+
4+
4+
4+
Hueco
4+
Electrn
libre
4+
4+
T > 0K
4+
4+
4+
4+
Hueco
Electrn
libre
4+
4+
4+
4+
= q n n + q p p ,
donde:
n: concentracin de electrones
p: concentracin de huecos
n: movilidad de los electrones
p: movilidad de los huecos
q: valor absoluto de la carga del electrn
(1.1)
Captulo 1
Dopado tipo N
Se obtiene por substitucin de un tomo de silicio por algn
tomo de la columna V de la tabla peridica (impurezas donadoras). En
este caso, se aportan electrones libres para la conduccin gracias a que se
requiere poca energa para liberar uno de los electrones de la capa de
valencia de cada tomo de impureza. El resto de los electrones del tomo
forman enlaces covalentes con cuatro tomos de silicio vecinos. En
conclusin, se obtiene un electrn disponible para conducir la electricidad
y se queda un tomo fijo con carga positiva y con una configuracin
electrnica igual a la de un gas noble.
A temperatura ambiente y con una concentracin de impurezas
(ND) suficientemente alta, la concentracin de electrones ser
prcticamente igual a la concentracin de impurezas donadoras (n ~ ND),
puesto que casi todas las impurezas habrn perdido su quinto electrn.
Adems, debido a que resulta ms fcil romper el quinto enlace de la
impureza que cualquiera de los formados entre tomos de silicio (que
poseen la configuracin de gas noble), la mayora de los electrones
disponibles para la conduccin procedern de la ruptura de un enlace con
una impureza y no de la ruptura de un enlace entre tomos de silicio (que,
adems, genera un hueco). Por tanto, se cumple que:
n N D >> p q n n q n N D .
(1.2)
Captulo 1
4+
4+
4+
4+
5+
4+
In positivo (+q)
Electrn
libre
4+
4+
4+
Dopado tipo P
Estos materiales se obtienen por la substitucin de un tomo de
silicio por algn tomo de la columna III de la tabla peridica (impurezas
aceptadoras). Como estos tomos slo tienen tres electrones en su capa
ms externa, formarn nada ms que tres enlaces con tomos vecinos,
quedando un enlace covalente no realizado. Se ha generado, por tanto, un
hueco que puede moverse bajo la accin de un campo elctrico, quedando
entonces un tomo fijo con carga negativa.
Con una concentracin de impurezas (NA) suficientemente alta se
cumple que p ~ NA >> n. Por tanto, la conductividad depende
principalmente por el movimiento de los huecos, cuyo nmero est
determinado por la concentracin de impurezas aceptadoras.
10
Captulo 1
4+
4+
4+
Hueco
4+
3+
4+
4+
4+
4+
In negativo (-q)
1.2.4
Introduccin
El modelo de bandas de energa resulta muy til para el estudio
del movimiento de electrones y huecos en semiconductores. Como hemos
dicho, en este curso veremos slo un modelo simplificado, en el que se
representan la energa de los electrones y de los huecos en funcin de la
posicin.
En este modelo, los electrones ligados (en un enlace covalente)
se representan en una banda de energa llamada banda de valencia. Por
otro lado, los electrones libres estn situados en la banda de conduccin.
Ambas bandas estn separadas por un rango de energas prohibidas,
denominado banda prohibida.
A 0 K, la banda de valencia de un semiconductor est completa
(no hay huecos) y no puede haber conduccin porque tampoco hay
electrones en la banda de conduccin. Para que sea posible la conduccin,
deben generarse electrones (en la banda de conduccin) y huecos en la
banda de valencia. Para ello, un electrn de la banda de valencia debe
11
Captulo 1
Eg
a)
b)
Eg
c)
12
Captulo 1
1.3
Estadstica de semiconductores
En este apartado daremos respuesta a las siguientes preguntas:
Cuntos electrones hay en la banda de conduccin?
Cuntos huecos hay en la banda de valencia?
Cuntas impurezas estn ionizadas?
Para ello:
1.3.1
E 0
n estados
.
E
(1.3)
gv (E) =
8 2
h3
8 2
h3
(me ) 3 / 2 E E c , si E > E c ,
(1.4)
(mh ) 3 / 2 E v E , si E < E v ,
(1.5)
donde:
gc(E): densidad de estados en la banda de conduccin por unidad de
energa
gv(E): densidad de estados en la banda de valencia por unidad de energa
Ec: mnimo de la banda de conduccin
Ev: energa mxima de la banda de valencia
me: masa efectiva de los electrones para la densidad de estados
mh: masa efectiva de los huecos para la densidad de estados
13
Captulo 1
1.3.2
en
las
bandas
de
1
1+ e
EE f
(1.6)
kT
donde:
f(E,T): funcin de distribucin de Fermi-Dirac. Es la probabilidad de
que un estado de energa E est ocupado por un electrn. Toma
valores entre 0 y 1
Ef: nivel de Fermi o potencial electroqumico
K: constante de Boltzmann
Como puede observarse, la funcin de distribucin depende de la
temperatura. En la Figura 1.3.1 se ha representado la funcin de FermiDirac para tres valores de la temperatura. Con T = 0 K, la funcin de
distribucin es abrupta y se verifica:
si E < E F ,
si E > E F ,
f (E, 0 K) = 1
f ( E, 0 K) = 0
14
Captulo 1
f(E)
T= 0 K
T1
0.5
T2 > T1
T2
0
EF
Hueco s
Probabilidad
1
Electrones
EF
E F Ei
Ec + Ev
2
15
Captulo 1
H.
E
BC
BC
EF
EF
El.
Prob.
BV
BV
0.5
0.5
a)
b)
E
BC
EF
BV
0.5
c)
1.3.3
n0 = E g c ( E ) f ( E )dE ,
(1.7)
(1.8)
16
Captulo 1
EE f
kT
(1.9)
Ec E F
kT
Ev E F
kT
(1.10)
3/ 2
2mh kT
N v (T ) = 2
h2
3/ 2
2m n kT
N c (T ) = 2
h2
(1.11)
(1.12)
Ev Ec
kT
= N c N ve
Eg
kT
(1.13)
ni = pi = N c N v e 2 .
kT
(1.14)
17
Captulo 1
(1.15)
EF Ei
kT
p0 = ni e
Ei E f
(1.16)
kT
1.3.4
Ec + Ev kT N v
+
ln
.
2
2
Nc
(1.17)
18
Captulo 1
n0 = p0 + N D+ .
(1.18)
EF ED
kT
(1.19)
ni2
ND
E c E F = kT ln
(1.20)
Nc
ND
Tipo P
(1.21)
con:
N A
1
=
NA 1+ e
E A EF
kT
(1.22)
19
Captulo 1
p0 N A
n0
ni2
NA
E F E v = kT ln
(1.23)
Nv
NA
Semiconductores compensados
Los semiconductores compensados poseen tanto impurezas
donadoras como aceptadoras.
EF
ED
Ei
EA
(1.24)
en un semiconductor tipo N,
p0 N A N D
en un tipo P).
20
1.4.1
Captulo 1
1.4
Equilibrio trmico
(1.25)
donde:
g0: nmero de pares electrn-hueco generados por unidad de tiempo
r0: nmero de pares electrn-hueco recombinados por unidad de
tiempo
Si aumenta g0 (p.e., al aumentar la temperatura), tambin
aumenta la tasa de recombinacin para alcanzar una nueva situacin de
equilibrio (ec. (1.25)).
Generacin y recombinacin
(1.26)
(1.27)
21
Captulo 1
1.4.2
Desequilibrio
Portadores en desequilibrio
(1.28)
(1.29)
dn dp
=
= g r = g 0 r np = r ni2 r np = r ni2 np .
dt dt
(1.30)
22
(1.31)
Captulo 1
p = n
y por tanto:
d (n)
= r (n0 + p0 )n .
dt
(1.32)
n(t ) = ne t / .
(1.33)
donde:
n: exceso de portadores tras el cese de la iluminacin (en t = 0)
es el tiempo medio de vida de los portadores de carga en
desequilibrio o constante de tiempo de recombinacin y viene dado
por:
= 1 / r (n0 + p 0 ) .
El caso particular de un semiconductor extrnseco (por ejemplo,
tipo N) resulta de inters porque se verifica que:
n n,
p0 n0
y, por tanto, se cumple que:
n(t ) = n 0 + n n 0
dp (t )
p (t )
=
dt
p
con p = ( r n 0 )1
p(t ) = p 0 + p = p 0 + pe
(1.34)
t / p
Pseudoniveles de Fermi
(1.35)
23
Captulo 1
Ejemplo
- un aumento de p E F
/E F que describa la concentrac iones n y p simultnea mente.
Ec E Fn
kT
(1.36)
Ev E Fp
kT
E Fn E Fp
kT
kT
np = N c N v e e
np = ni2 e
eVnp
kT
(1.37)
1.5
24
Captulo 1
Corriente de arrastre
1.5.1
vn x = 0
Ex
Ex
vn x = vnx1 > 0
vn x > 0
(1.38)
v px = p E x .
J x = q n n + p p E x
J x = E x (Ley de Ohm)
donde:
= q (n n + p p )
es la conductividad.
25
Captulo 1
(1.39)
1.5.2
Corriente de difusin
J nx = qD n
J px
Donde:
Dn: coeficiente de difusin de los electrones
26
(1.40)
Captulo 1
t1 < t 2 < t3
n(x)
t=0
t1
t2
t3
x
1.5.3
n( x)
,
x
p ( x )
J px ( x) = q p p( x) E x ( x) qD p
.
x
(1.41)
(1.42)
Relacin de Einstein
n( x)
.
x
(1.43)
27
Captulo 1
Dn
kT
q
(1.44)
kT
q
(1.45)
1.6
n( x)
n( x) 1 J n ( x)
=
+G
n
t
q x
p ( x)
1 J p ( x)
p( x)
+G
=
p
q x
t
(1.46)
28
Captulo 1
REFERENCIAS
[1] B.G. Streetman, S. Banerjee, Solid State Electronic Devices,
Prentice Hall, 2000.
[2] S. Dimitrijev, Understanding Semiconductor Devices, Oxford
University Press, 2000.
REFERENCIAS
29
2.
Uniones
Captulo
Smbolo de un LED
UNIONES
ndice
2-1 Introduccin
2-2 Unin PN en equilibrio trmico
2-3 Unin PN polarizada en condiciones
estacionarias. Curva I-V
2-4 Dependencia con la temperatura
2-5 Modelos I-V de gran seal. Anlisis
de circuitos con diodos
2-6 Distribucin de carga y campo en la
unin. Clculo del ancho de la zona de
carga espacial.
Objetivos
Palabras Clave
Diodo.
Unin PN.
Unin metal-semiconductor.
Heterounin.
Rectificacin.
Zner.
LED.
Varactor.
Fotodiodo.
Modelo de gran seal.
Modelo de pequea seal.
Capacidades de las uniones.
Resistencias parsitas.
Respuesta en frecuencia.
Polarizacin.
Circuitos con diodos.
Captulo 2
2.1
Introduccin
Ctodo
+ v0 -
Polarizacin directa
vD
vD < 0 V
vD = 0 V
iD = 0 A
iD > 0 A
32
CAPTULO 2 UNIONES
2.2
2.2.1
Tipo P
Tipo N
Ec
EF
EF
Ev
33
N
N
P
P
Captulo 2
Ei nt
Jd ifus in
Ja rras tre
EC
qR o
EF
EV
(2.1)
2.2.2
q FP = (E FP E iP )
(zona N),
(zona P).
(2.2)
34
CAPTULO 2 UNIONES
Captulo 2
(2.3)
Tipo P
Tipo N
Ei
qV0
EF
EF
Ei
q N
kT
q P
kT
(2.4)
Luego:
V0=
kT n N 0 p P 0
ln
q n i2
kT N D N A
ln
q n2
i
(2.5)
(2.6)
Ejercicio
35
Captulo 2
2.3
2.3.1
P
P
Ei nt
Jd ifusin
Ja rrastre
EC
qR o
EF
EV
36
CAPTULO 2 UNIONES
Captulo 2
VD
EF P
q(V0+V D )
qVD
EF N
(2.7)
37
+ -
Captulo 2
VD
q(V0+V D )
EF N
qVD
EF P
log n,p
nn(x)
z.c.e
pp(x)
np(0)
np(x)
pn(x)
pn(0)
W
38
CAPTULO 2 UNIONES
D
I D = I S e VT 1,
Captulo 2
(2.8)
con:
Dp
D
I S = qA
p n 0 + n n p 0 ,
Lp
Ln
kT
,
VT =
q
A = rea de la unin.
(2.9)
En la Figura 2.3.5 se muestra la representacin grfica de esta curva IV (ecuacin (2.8)). Como puede verse, cuando la tensin es negativa, la
corriente es muy pequea e independiente de la tensin. Sin embargo,
para valores positivos la corriente aumenta notablemente con pequeos
incrementos de tensin.
ID
VD
2.3.2
39
j p = qD p
p n ( x)
.
x
(2.10)
Captulo 2
p n ( x) = p n e
(2.11),
( xn xn 0 )
Lp
(2.11)
j p = qD p
Lp
(2.10)
(2.12)
-xn0 0
xp 0
np0+ )np
pn0+ )pn
np0
pn0
xn
xp
= eV0 / VT ,
(2.13)
p p ( x p 0 )
p n ( xn0 )
= e (V V
0
) / VT
(2.14)
Desarrollando:
p p ( x p 0 )
pn ( xn0 )
p p0
pn0
e VD / VT .
(2.15)
40
CAPTULO 2 UNIONES
p n ( x n0 )
e VD / VT .
p n0
(2.16)
p n = p n ( x n0 ) p n0 = p n 0 (eV
/ VT
1) .
Captulo 2
Dp
Lp
p n 0 (e V
/ VT
1) .
(2.18)
jn = q
Dn
n p 0 (e V
Ln
/ VT
1) .
(2.19)
Observaciones
41
N
N
Captulo 2
P
P
xp
-xn 0
I
ID
In
huecos
Ip
electrones
0
xn
xp
p n ( x) = p n e
(2.11)
(2.17)
siguen siendo
( xn xn 0 )
p n = p n 0 (e
Lp
VD / VT
(2.20)
1) p n 0 .
pn0
Si asumimos que todos los huecos generados en el volumen ALP son inyectados
hacia el otro lado de la unin tenemos una corriente igual a:
I p = qAL p
pn0
que coincide con la expresin de IS. Vemos de este modo cul es la interpretacin
de la corriente inversa de saturacin y cmo est limitada por la generacin trmica
2
de portadores (recordar que L p = D p p ).
42
CAPTULO 2 UNIONES
N
N
-xn
Captulo 2
PP
xp
np0
pn0
)np = -np0
)pn = -pn0
xn
xp
2.4
E g / kT
(2.21)
2.5
I = I S eV / V 1 .
T
(2.22)
43
-2mV/oC
T1
Captulo 2
ID
T2
T3
T1>T2 > T3
VD
Ejercicio
+
ID
VD
-
44
CAPTULO 2 UNIONES
ID
ID
RD
V( V D
VD
V(
V(
V(
Captulo 2
ID
-1
VD
RD
V D >V (
V D <V (
2.6
(2.23)
(2.24)
45
W
Captulo 2
N +
N
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
-xn0
PP
xp 0
Densidad de carga
qND +
xp 0
-xn0
-qNACampo elctrico
Em ax
xp 0
-xn0
2.6.1
d x
( x)
(2.25)
dE ( x)
q
=
N A (si 0 > x > x p 0 )
dx
.
dE ( x)
q
= N D (si xn 0 < x < 0)
dx
(2.26)
46
CAPTULO 2 UNIONES
E ( x = 0) = Emax =
2.6.2
qN D xn 0
qN A x p 0
(2.27)
Captulo 2
2.6.1c)
Ancho de la z.c.e:
(2.28)
p0
dV ( x)
x
dx = x E ( x)dx
dx
n0
p0
xn 0
V ( xn 0 ) V ( x p 0 ) = x E ( x)dx .
(2.29)
p0
xn 0
V0 = x E ( x)dx
p0
1
( xn 0 + x p 0 ) E max .
2
(2.30)
Si definimos W = x n 0 + x p 0 , entonces:
1
1 qN D xn 0
V0 = WEmax =
W.
2
2
(2.31)
1 q N AND
W 2.
2 N A + ND
(2.32)
Por tanto:
W =
2V0 1
1
(
)
+
q N A ND
x p0 =
WN D
.
N A + ND
xn 0 =
WN A
N A + ND
(2.33)
47
Observaciones
Captulo 2
2 (V0 VD ) 1
1
(
).
+
q
N A ND
48
CAPTULO 2 UNIONES
(2.34)
WN A
W.
N A + ND
2.7
Fenmenos de ruptura
Captulo 2
Hasta ahora hemos visto que los diodos en inversa slo conducen
con una corriente muy pequea (-IS), denominada corriente inversa de
saturacin, que es independiente de la tensin aplicada. Sin embargo,
realmente no se puede aplicar cualquier voltaje en inversa mantenindose
esta situacin, sino que a partir de cierto valor crtico o tensin de ruptura,
la corriente inversa del diodo se incrementa abruptamente, obtenindose
un rango muy elevado de corriente con una pequea variacin de la
tensin (de forma anloga a como sucede en la regin de conduccin
directa). La Figura 2.8.1 muestra las dos regiones de conduccin de una
unin PN.
ID (A)
15
10
5
-VZ
-30
-20
-10
0
0.5
Codo Zener
VD (V)
-0.5
-1.0
-1.5
-2.0
-2.5
49
Captulo 2
50
CAPTULO 2 UNIONES
Captulo 2
51
Captulo 2
2.8
2.8.1
2.8.2
Q p (t )
dQ p (t )
dt
(2.35)
donde:
i p (t ) es la corriente debida a los huecos
52
CAPTULO 2 UNIONES
2.8.3
R
+
VDD
VDD
VD
VD
ya que
dQ p (t )
dt
Q p ( 0)
(2.36)
(2.37)
Q p (t )
dQ p (t )
dt
dQ p (t )
dt
Q p (t )
(2.38)
t / p
(2.39)
Q(t)
IJp
IJpe
-t /J p
)pn
dpn
tiempo creciente
xn
53
Captulo 2
(t ) / VT
1).
(2.40)
0.1 us
tp
1 us
tp
10 us
v d( t , 0 )
v d( t , 1 )
0.5
v d( t , 2 )
1 10
1 10
6
t
1 10
1 10
Como puede verse, para mejorar la rapidez del diodo hay que
disminuir p. Esto puede lograrse introduciendo impurezas que favorecen
la recombinacin (como el oro) al crear niveles energticos
aproximadamente en la mitad de la banda prohibida. Otra opcin es usar
diodos cortos, que acumulan poca carga en las regiones neutras.
2.8.4
R
VDD (t)
+
vd
-E
54
CAPTULO 2 UNIONES
.
R
R
(2.41)
Captulo 2
I D (t ) =
Introduccin
55
y ( x) = Ax,
(2.42)
Captulo 2
(2.43)
(2.44)
( )
y
x
x x = x0
(2.45)
donde: y = y ( x0 + xi ) y ( x0 ).
Se entiende por anlisis de pequea seal el estudio de la
respuesta del circuito ante las variaciones de tensin (o corriente)
pequeas (x) en torno a un punto de polarizacin DC (dado por (x0,y0)).
Se impone que sean pequeas para que se cumpla la relacin de
linealidad para que en el desarrollo en serie de Taylor (2.44) podamos
quedarnos slo con los dos primeros trminos y, de este modo, poder
aplicar el principio de superposicin y obtener la relacin lineal (2.45)
entre las variaciones de la seal de salida y de salida.
Por tanto, con un modelo de pequea seal en primer lugar se
resuelve el circuito en continua, para obtener el punto de polarizacin.
Posteriormente, se anulan las fuentes que polarizan al circuito y se
56
CAPTULO 2 UNIONES
Captulo 2
(2.46)
+
vd(t)
+
vD(t)
VD
(t ) / VT
= I S e (V
+ vd (t ) ) / VT
= I D ev
(t ) / VT
(2.47)
donde
I D = I S e VD / VT
(2.48)
57
Captulo 2
i
iD (t ) = I D + D
v D
i
id (t ) = D
v D
vd = I D + id (t ).
(2.49)
1
vd
rd
(2.50)
=VD
Es decir:
vd
D
=VD
Ejercicio:
58
CAPTULO 2 UNIONES
Suponga que el diodo tiene una cada de 0.7 V con una corriente de 1 mA.
Captulo 2
V+
10K
2.8.6
Introduccin
Q
.
V
(2.51)
dQ
,
dV
(2.52)
(2.53)
59
Q = qAx p 0 N A = qAx n 0 N D = qA
N AND
W
NA + ND
(2.54)
Captulo 2
Sustituyendo el valor de W:
N AND
Q = A2q (V0 v D )
N A + ND
1/ 2
(2.55)
N AND
dQ
A 2 q
=
dv D 2 (V0 v D ) N A + N D
1/ 2
Cj
A
W
(2.56)
2 (V0 v D ) N A + N D
1/ 3
(2.57)
N AND
A 2 q
,
2 (V0 v D ) N A + N D
(2.58)
Cj =
Cj =
A 2 q N A N D
1
CJO
Cj
v
2 V0 N A + N D (1 v ) m
(1 V ) m
V
D
(2.59)
Supongamos un diodo P
N. Entonces:
m
Cj =
A 2 q
ND .
2 (V0 v D )
(2.60)
60
CAPTULO 2 UNIONES
Captulo 2
/ VT
(2.61)
Cs =
dQ p
dv D
= p
1
I S ev
VT
/ VT
I p
CS =
(2.62)
VT
I p p
VT
I n n
I
Cs =
T
VT
VT
(2.63)
rd
Cs
Cj
61
Captulo 2
2.9
2.9.1
Rectificadores
Diodos de conmutacin
Vo
rz
2.9.4
62
CAPTULO 2 UNIONES
Cj
2.9.5
CJO
(1
VD m
)
V0
Captulo 2
Su smbolo es:
63
(2.65)
q s = E 0 E Fs
(2.66)
64
CAPTULO 2 UNIONES
(2.67)
Metal
Semiconductor
E0
eP
Captulo 2
eMm
eMs
EC
Efs
Efm
EV
(2.68)
65
B = m
Captulo 2
(2.69)
E0
Ps
EC
EF
EV
66
CAPTULO 2 UNIONES
Captulo 2
EC
EF
EV
Figura 2.10.3 Diagrama de bandas de una unin metalsemiconductor no rectificadora en equilibrio trmico.
2.11 Heterouniones
67
Captulo 2
68
CAPTULO 2 UNIONES
E0
EC2
Captulo 2
qV0
Ps 2
E0
Ps1
)E c
EC1
EF
EV 2
)E v
REFERENCIAS
[1] B.G. Streetman, S. Banerjee, Solid State Electronic Devices, Prentice
Hall, 2000.
[2] S. Dimitrijev, Understanding Semiconductor Devices, Oxford
University Press, 2000.
69
Captulo
EL TRANSISTOR
BIPOLAR DE UNIN
(BJT)
Transistor Bipolar
ndice
3-1
3-2
3-3
3-4
Introduccin
3-5
Fundamentos bsicos. Descripcin 3-6
cualitativa
Clculo de la corriente en rgimen
DC. Ecuaciones de Ebers-Moll
Caractersticas de transferencia.
Polarizacin
Comportamiento dinmico
Efectos de segundo orden
Objetivos
Palabras Clave
Transistor bipolar de unin.
Transistor npn y pnp.
Emisor.
Base.
Colector.
Ganancia de corriente en
base comn y en emisor
comn.
Activa.
Saturacin.
Activa inversa.
Corte.
Modulacin de la anchura de
la base.
Tensin Early.
Ruptura.
Deriva en la base.
Ecuaciones de Ebers-Moll.
Efecto Kirk.
Modelo de gran seal.
Modelo de pequea seal.
Transconductancia.
Resistencia de salida.
Capacidades de las uniones.
Resistencias parsitas.
Respuesta en frecuencia.
3.1
Introduccin
Captulo 3
B
N
P
C
C
B
B
E
3.2
3.2.1
72
ello, podramos aadir una unin ms al sistema, puesto que en una unin
P+N se inyectan huecos desde la zona P+ en la zona N y el nmero de
huecos inyectados depende de la tensin aplicada en esta unin. Por tanto,
se tiene entonces una fuente de corriente controlada por tensin (que
determina el nmero de huecos inyectados en el semiconductor N), como
se observa en la Figura 3.2.3.
N
P
Captulo 3
VD
EF P
q(V0+V D )
EF N
(a)
(b)
(c)
I
N
Inyector de
portadores
73
3.2.2
Captulo 3
Base
p+
Colector
IC
IC
IE
IB
VB C
VE B
VB C
Flujo de electrones
2
IE
IC
1
4
5
IB
VE B
VB C
74
B T
IC
.
I Ep
I Ep
(3.1)
Captulo 3
I Ep
IE
I Ep
I Ep + I En
(3.2)
I Cp
I Cp
I Ep
IC
=
= B .
I E I Ep + I En I Ep I Ep + I En
(3.3)
IC
IC
=
=
I B I E IC
1
IE
IC
F1
F
1F
(3.4)
F +1
(3.5)
3.2.3
75
Activa
Es el modo anteriormente analizado:
unin BE en directo: |VBE| 0.7 V
unin BC en inverso
En esta regin de operacin se cumple que:
Captulo 3
IC = F I E ,
IC = F I B .
(3.6)
Corte
Saturacin
(3.7)
(3.8)
Activa inversa
76
3.3.1
3.3
Introduccin
dpn ( xn = 0)
dxn
I Cp = qAD p
dpn ( xn = Wb )
dxn
(3.9)
3.3.2
p n ( xn )
(3.10)
L2p
EB
/ VT
1) p n eV
EB
/ VT
(3.11)
(3.12)
77
dpn
sera el
dxn
Captulo 3
)pE
-pn
WB
Con recombinacin
0
WB
(a)
*p
(b)
*p
(c)
)pE
)pE
)pC
WB
WB
)pC
78
WB
(Wb xn ) / L p
Wb / L p
Wb / L p
e
xn / L p
xn / L p
Wb / L p
Wb / L p
+ pC
(Wb xn ) / L p
(3.13)
.
Captulo 3
p( x n ) = p E
3.3.3
(
= B (e
I E = A eV
IC
EB
/ VT
VEB / VT
) (
1) A(e
1 B eV
CB
/ VT
VCB / VT
)
1),
1 ,
(3.14)
I B = I E IC ,
con:
A=
B=
3.3.4
qAD p
Lp
qAD p
Lp
W
coth b pn 0
Lp
W
cosh b pn 0
Lp
(3.15)
Introduccin
79
Captulo 3
IC
IB I (eq VCB/kT-1)
CS
Vemos pues que este modelo est descrito por la corriente de dos
diodos independientes y de dos fuentes de corriente que dan cuenta del
acoplamiento entre las dos uniones de la estructura.
Las ecuaciones de Ebers-Moll son las expresiones que relacionan
las corrientes y tensiones en el BJT de acuerdo con este modelo de diodos
acoplados.
Ecuaciones de Ebers-Moll
I E = I ES eV
EB
/ VT
I C = F I ES eV
EB
(
(e
1 R I CS eV
/ VT
1 I CS
CB
/ VT
VCB / VT
)
1)
(3.16)
I B = I E IC
80
Observaciones:
I E = I ES eVEB / VT 1
I C = F I ES eVEB / VT 1
I B = (1 F ) I ES e
VEB / VT
Captulo 3
(3.17)
(3.18)
IC
F
=
F
IB 1 F
= R
activa inversa
(3.19)
F I ES = R I CS .
(3.20)
Otros modelos DC
Versin de transporte de las ecuaciones de Ebers-Moll
Basndonos en la relacin
ecuaciones de Ebers-Moll como:
(3.20)
81
IE =
IS
(e
VEB / VT
I C = I S eV
EB
/ VT
) (
1 I S eV
I CS
(e
/ VT
VCB / VT
CB
(3.21)
I B = I E IC
Captulo 3
(
(e
I EC = I S eV
I CC = I S
CB
/ VT
VEB / VT
)
1)
1
(3.22)
ICC
IE
IC
IEC
IB
IEC /"R
82
IB =
I CC
I EC
I EC I CC =
1
I
I
= I EC
1 + I CC
1 = EC + CC
F
R
F
R
(3.23)
IE =
= I CC
+1
I CC I EC =
I EC = F
F
I
I EC + CC
Captulo 3
(3.24)
Anlogamente:
I C = I CC I EC +
I EC
(3.25)
IEC /$R
IB
ICC - IEC
B
ICC /$F
IE
83
Captulo 3
CB
IC
IE
E
IB
B
IE
84
C
IC
(1- "R )ICS
IB
B
IE
Captulo 3
(1- "F)IES
Ejercicio
3.4
3.4.1
85
3.4.2
Captulo 3
RC
IC
VCE
RB
VB B
IB V
BE
IE
IS
(3.26)
(eVBE / VT 1)
IB
- 1/RB
VB E
VB B
vB E
86
3.4.3
VBB VBE
RB
(3.27)
Captulo 3
IB =
IB 5
IB 4
IB 3
IB 2
IC
IB 1
- 1/RB
VCE
VCC
vCE
IS
(e
VEB / VT
VEB / VT
IC = I S e
) (
1 I S eVCB / VT 1
IS
(e
VCB / VT
(3.28)
En la regin activa:
87
IE =
IS
eV
I C = I S eV
IB =
IS
EB
EB
/ VT
/ VT
eV
EB
(3.29)
/ VT
Captulo 3
EB
3.5
3.5.1
/ VT
Comportamiento dinmico
Introduccin
3.5.2
BJT en conmutacin
Introduccin
88
Captulo 3
BJT en corte
(3.30)
p n ( xn ) = pn 0
(3.31)
*p
0
)pE
WB
*p(xn) = -pn
xn
)pC
Conmutacin
89
iE
RB
t
iB
RL
(c)
-IB
iC
QB
Lmite regin
de saturacin
-VCC
(a)
iC
IC
t
IC = V CC /RL
t
*p
t4
t3
t2
(b)
t1
t0
xn
-pn
3.5.3
rb
B
C:
+
vb 'e
rC
rB
CB
gm vb'e
r0
90
CE
(3.32)
I
I
i B
= B = C
v BE VT F VT
(3.33)
IC
CJE
+
VT V
1 BE
Vi
C = Ccj =
= cte
IC
VT
Captulo 3
Donde:
rbb y rcc dan cuenta de la cada de tensin desde los terminales del
dispositivo hasta la regin en donde est el BJT
ree es despreciable porque el terminal de emisor est ms prximo a
la conexin correspondiente y porque el dopado de emisor es ms
alto (la resistencia es menor)
Las variaciones en la corriente de emisor (ie) debidas a un cambio en
la tensin en la unin BE (vbe) las descomponemos en las variaciones
en la corriente de colector (ic) ms las variaciones en la corriente de
base (ib):
ie = ic + ib
F g m + 2CJE
CJC
(1 )
(3.34)
(3.35)
V BC m
Vi
BE
=
=cte
IC
VA
(3.36)
91
3.6
Captulo 3
Deriva en la base
3.6.2
Estrechamiento de la base
BE
/ VT
VCE
1 +
VA
(3.37)
3.6.3
92
-VA
Captulo 3
iC
vCE
IC
IE
(a)
IB
BV CB0
-VCB
(b)
BV CE0
-VCE
3.6.4
93
ionizadas en la z.c.e. del colector. Por tanto, para tener la misma densidad
de carga que (con baja inyeccin) se corresponde con la caida de tensin
VCB, el ancho de la z.c.e en la base tiene que ser menor y en el colector
mayor.
Captulo 3
REFERENCIAS
[1] B.G. Streetman, S. Banerjee, Solid State Electronic Devices,
Prentice Hall, 2000.
[2] S. Dimitrijev, Understanding Semiconductor Devices, Oxford
University Press, 2000.
94
Captulo
Estructura
metal
aislante
semiconductor
Captulo
LA ESTRUCTURA
METAL AISLANTE
SEMICONDUCTOR
Diagrama de
bandas
de una
estructura MIS
en equilibrio
ndice
4-1
4-2
4-3
4-4
4-5
Determinacin de la carga
en el semiconductor.
Capacidad de la estructura MIS.
Objetivos
Palabras Clave
Transistor de efecto campo.
Resistencia controlada por
tensin.
Corriente controlada por
tensin.
Dispositivos unipolares.
Terminales de puerta, fuente
y drenador.
Estructura
metal-aislantesemiconductor.
Funcin trabajo de un
material.
MIS en acumulacin.
Regin
de
vaciamiento
depletion.
MIS en inversin.
4.1
Captulo 4
98
xido
+
+ P
+
+ + + + +
+
+
+
+
N
Semiconductor
MOSFET
S
+++++
+++
canal
sustrato
MESFET
Captulo 4
canal
canal
JFET
D
n+
n+
canal GE2D
sustrato GaAs (i)
HFET
Estructura MIS
99
Captulo 4
s
EC
E Fi
E Fs
EV
E Fm
Metal
M
Aislante
I
Semiconductor
S
Regin de acumulacin en un
MIS:
Los portadores mayoritarios del
semiconductor se acercan a la
superficie prxima al aislante,
aumentando su concentracin en
esa regin.
100
qV FB
m
s
EF
P
I
Captulo 4
4.3
Puerta
M
VG
101
Captulo 4
qVG=qVFB
qVFB=m- s EF
Regin de deplexin:
Los portadores mayoritarios del
semiconductor se alejan de la
superficie prxima al aislante
dejando en esa regin una carga
fija formada por impurezas
ionizadas.
Potencial de superficie,s:
Referido a la curvatura mxima
de las bandas en el
semiconductor corresponde al
valor del potencial en la
superficie del semiconductor con
el aislante.
EC
qs
E Fi
EF
EV
qVG
EF
Zona de
vaciamiento
Regin de inversin
102
Regin de inversin:
Los portadores minoritarios del
semiconductor se acercan a la
superficie prxima al aislante. Se
produce un cambio en el tipo de
portadores existentes en esa
regin.
Captulo 4
EV
qV G
Lmina de inversin
Zona de vaciamiento
103
qV i
s
Es
Qs
E=0
EC
E
F E Fi
EV
Ei
Qox
Qss
qVG
Es
Vi Qs
di
(4.1)
(4.2)
Q s + Q ss + Qox
C ox
(4.3)
104
Qss + Qox
(4.4)
C ox
4.4
Qs
(4.5)
C ox
(x)
q(p - n - N A )
dV
==2
dx
s
s
2
qV
(4.6)
qV
p = p po e - KT , n = n po e KT ,
N A = p po - n po ,
dx
dV
s
dx
(4.7)
105
2
E =2
=2
(n
V
qV
qV
( e KT - 1) - p po( e - KT - 1) d V
po
(4.8)
qV
KT
qV
qV
- qV
- 1)+ n po( e KT - 1)
p po( e KT +
KT
KT
SiO 2
0
Si
EC
qV
E
qF E Fi
F
EV
Captulo 4
sKT ,
2
q NA
qV qV
2
n po qV qV
f = ( e - KT +
- 1)+
( e KT - 1) ,
KT
KT
p po
(4.9)
KT
f .
q L Dp
(4.10)
Es = 2
KT q s
f
.
q L Dp KT
(4.11)
(4.12)
106
| Q s | e 2KT .
(4.13)
2 KT
qL Dp
q s
2 KT
1 s
KT
qL Dp
q s
= 2 s q N A s .
KT
(4.14)
| QS |= qN AW = 2 s q N A s ,
Captulo 4
(4.15)
4.5
2 s s
.
qNA
(4.16)
dQ s
,
d s
| (1 - e
-q s
KT
)+
n po q
( e KT - 1)|
p po
s
sq N A
C s = A
1
2KT -q q
2
n po q q s
s
- 1)+
( e KT - 1)
( e KT +
KT
KT
p po
(4.17)
107
C OX
CS
Captulo 4
C
Acumulacin
Inversin
COX
C OX
VG
Acumulacin
Inversin
LF
HF
VG
108
RESUMEN
Captulo 4
CUESTIONES Y PROBLEMAS
1.
b)
CUESTIONES Y PROBLEMAS
109
c)
d)
e)
f)
Captulo 4
h)
2.
EF
EV
SiO 2
Si
Figura P.1.
110
REFERENCIAS
Captulo 4
CUESTIONES Y PROBLEMAS
111
Captulo
Captulo
EL TRANSISTOR DE
EFECTO CAMPO MOS
(MOSFET).
Transistor
MOSFET. Estados
On y Off.
ndice
5-1
5-2
5-3
5-4
5-5
5-6
5-7
Respuesta
en
frecuencia
del
MOSFET.
5-8 Efectos de canal corto.
5-9 Conduccin subumbral en MOSFETs.
5-10 Corriente en el sustrato de
MOSFETs.
Objetivos
Encontrar las relaciones entre las corrientes que circulan por los tres terminales
con las diferencias de potencial existentes entre ellos. Para ello se har uso de un
modelo de canal gradual y se considerarn campos elctricos bajos.
Palabras Clave
MOSFET de enriquecimiento
(normally off).
MOSFET de deplexin
(normally on).
Canal de inversin de carga.
Tensin umbral.
Efecto body.
Caracterstica I-V.
Regin triodo.
Regin de saturacin.
Modulacin de la longitud del
canal.
Modelo de gran seal.
Modelo de pequea seal.
5.1
Una vez que se han asentado las bases de parte de este transistor,
como es la estructura metal-aislante-semiconductor, ya se est en
condiciones de abordar el estudio de la estructura completa. El dispositivo
se muestra en la Figura 5.1.1.
G
Captulo 5
MOSFET:
Transistor de efecto campo
basado en la estructura MIS. La
tensin aplicada a la puerta
controla el espesor del canal, que
une fuente y drenador, y en
consecuencia controla la
corriente que por l circula.
SiO2
SiO2
SiO2
n
Contacto metlico
o de polisilicio
Sustrato p
114
D
B G
Canal n G
Canal p G
D
B
D
G
B G
S
S
Enriquecimiento
normally off
Captulo 5
S
S
Deplexin
normally on
5.2.1
115
Tensin umbral:
Tensin aplicada a la puerta
necesaria para que aparezca la
lmina de inversin de carga y,
por tanto, posibilite la conduccin
entre drenador y fuente.
Canal n
Zona de
carga espacial
Sustrato p
L
B
Captulo 5
Efecto body
Q bo = - 2q N A s 2 f .
(5.1)
(5.2)
116
bajo de todas las tensiones que existan en el resto del mismo (con el fin de
que la unin pn que se forma entre canal y sustrato no quede nunca
polarizada en directo y no fluyan corrientes parsitas hacia el sustrato). En
este caso, si se usan dos fuentes de alimentacin para que funcione
correctamente el dispositivo, una entre puerta y fuente, VGS, para controlar
la existencia de canal, y otra entre drenador y fuente, VDS, para hacer
circular una corriente entre el dispositivo, el sustrato debera conectarse a
tierra, al igual que la fuente (Figura 5.2.2).
+
- VGS
G
Canal n
+
- V DS
Zona de
carga espacial
Sustrato p
Captulo 5
L
B
117
ms
Q b Q ss + Q ox
=
q
C ox
C ox
Q Q + Q ox Q b - Q bo
= ms + 2 f - bo - ss
,
q
C ox
C ox
C ox
Vt=
+ 2 f -
Captulo 5
(5.3)
V t = V t0 + ( 2 f + V SB - 2 f ),
1
C ox
2q s N A , C ox =
ox ,
t ox
Qi
C ox
(5.4)
118
5.3
5.3.1
0
Sustrato p 0
B
V(y)
V DS
y y+dy
VSB
+
Captulo 5
+
- V DS
119
V DS bajo
(a)
Captulo 5
V DS mayor
(b)
(c)
VGS-VDS=Vt
VDSsatVGS-Vt
V DS>V DSsat
n
(d)
VDS
120
(c)
(a)
(b)
(d)
Captulo 5
VDSsat
V DS
121
5.3.2
(5.5)
Captulo 5
dy
,
W n Q I (y)
(5.6)
ID
dy ,
W n Q I (y)
(5.7)
V DS
I D dy
V DS
= W Q (y)dV = W C
n
ID=
k'W
2( V GS - V t )V DS - V 2DS ,
2 L
k = nC ox = n
VDS
ox
(5.8)
ox .
t ox
partir de ese valor no tiene sentido usar la expresin parablica pues eso
implicara una disminucin de la corriente. Hemos visto que a partir del
122
k'W
2( V GS - V t )V DS - V 2DS
2 L
k W
2
( V GS - V t )
ID=
2 L
ID=
(5.9)
VDS VGS Vt .
5.3.3
Regin triodo:
El canal no se ha agotado en
ningn punto del trayecto entre
drenador y fuente.
Regin lineal:
Caso particular de la regin
triodo donde el espesor del canal
se puede considerar uniforme a
lo largo del mismo (en algunas
ocasiones se utilizan como
sinnimas esta regin y la triodo).
Regin de saturacin:
El canal de inversin desaparece
en las proximidades del contacto
de drenador.
Captulo 5
k W
2
( V GS - V t )
2 L eff
VDS VGS Vt .
G
(5.10)
n+
n+
Leff
xd
L
(5.11)
123
dxd
ID =
Leff
ID
dV DS
V DS
(5.12)
dV DS
-1
1
VA
(0.05-0.005 V -1 ),
(5.13)
k W
2
( V GS - V t ) (1+ V DS ) .
2 L
(5.14)
Captulo 5
ID
S
/ V D
I D
VA
V DS
124
Vt=
ms Q ss + Q ox
-
C ox
+ 2 f V FB =
Qb
C ox
= V FB + 2 F + 2 F +V(y),
ms Q ss + Q ox
q
C ox
(5.15)
.
Captulo 5
(5.16)
dR =
dy
nW C ox [ V GS - V FB - 2 F -V(y) - 2 F +V(y) ]
V DS
I dy = C W[ V
D
I D = nC ox
ox
GS
(5.17)
W
L
3
3
2
V DS
2
2
[( V GS - V FB - 2 F ) - 2 ]V DS - 3 [(2 F - V DS ) - (2 F ) ] .
(5.18)
125
ID=
K W
2( V GS - V t )V DS - (1+ )V 2DS V DS < V DSsat ,
2 L
2
K W ( V GS - V t )
.
ID=
V DS > V DSsat ,
2 L (1+ )
5.4
2 2 F
V DSsat =
(5.19)
( V GS - V t )
.
(1+ )
Captulo 5
Regin
hmica
o triodo
Regin de
saturacin
o pinch-off
300
250
VGS aumenta
VGSVt
VSB=0
200
V DS=V GS-V t
Real
150
Ideal
100
VDS
50
0
VSB>0
0 1
6 VGS (V)
Figura 5.4.1 Curvas ID-VDS para VGS constante y curvas IDVGS en la regin de saturacin de un MOSFET canal N de
enriquecimiento.
126
Deplexin
Acumulacin
ID
Acumulacin
(V GS>0)
VGS=0
Deplexin
(VGS<0)
VDS=cte
Vt
V DS
V GS
Captulo 5
ID= k W (VGS-Vt)2
2 L
VGS
S
127
k W
2
( V GS - V t ) (1 + V DS )
2 L
(5.20)
Captulo 5
(5.21)
I D
I
I
VGS + D VDS + D VSB + ... ,
VGS
VDS
VSB
(5.22)
donde solo se han escrito los trminos de primer orden. Si las variaciones
de tensin que ah aparece son pequeas nos podramos quedar
exclusivamente con estos trminos del desarrollo. Tendramos una
relacin puramente lineal entre las variaciones de las distintas variables,
donde las derivadas parciales seran parmetros. Identificando las
variaciones de las variables con su notacin en minscula tendramos:
id = g m v gs + g D vds + g mb vsb ,
(5.23)
128
gm
I D
,
VGS
g mb
I D
,
VSB
gD
I D
.
VDS
(5.24)
g mvgs
rO=1/g D vds
g mbvsb
Captulo 5
V GS
)V GS
+
-
+
V SB
)V SB
V DS
)V DS
129
Captulo 5
W
ID
= k ( V GS - V t )(1 + V DS ) .
L
V GS
En el caso que
(5.25)
transconductacia por
gm k
g mb =
W
W
( V GS - V T ) = 2k I D .
L
L
(5.26)
(5.27)
- .
= V BS
2 2 f + V SB
130
(5.28)
k
g mb =
W
( V GS - V t )(1 + V DS )
L
2 2 f + V SB
W
ID
L
.
2(2 f + V SB )
(5.29)
= .
=
g m 2 2 f + V SB
(5.30)
C js
C ox
; C js =
q s N A
.
2(2 f + V SB )
(5.31)
-1
ID
Leff dx d
1
V
=
=
= A.
r o =
ID ID
I D dV DS
V DS
Captulo 5
(5.32)
C sb 0
1+
C db =
C db 0
1+
V SB
(5.33)
V DB
131
Captulo 5
Q T
,
V GS
(5.34)
QT = W C ox ( V GS - V(y) - V t )dy
0
W C n
2
( V GS - V - V t ) dV =
ID
0
2
= WL C ox ( V GS - V t ).
3
2
2
ox
V GS -V t
(5.35)
(5.36)
132
Cgs
g mvgs
g mbvbs
rO
C db
C sb
B
C gb
vi
R G1
RD
R G2
RS
RL
133
V DD
RD
RG1
R G1
RD
D
ID
S
Captulo 5
RG2
RS
R G2
(a)
RS
(b)
vi
R G1
RG2
RS
RD
RL
RS
RD
RL
(a)
D
G
S
vi
R G1
RG2
(b)
134
5.7
id
ig
vgs
C gs
Cgb
g mvgs
rO
Captulo 5
+
Cdb
(5.37)
I d = g mV gs .
(5.38)
gm
.
j( C gs + C gb + C gd )
(5.39)
135
(5.40)
Captulo 5
1 gm
n
= 1.5
( V GS - V t ) ,
2 C gs
2 L2
(5.41)
g mvgs+g mbvbs
rO
136
5.8
v = n E .
Para altos
empricamente por:
campos
1+
(5.42)
esta
n E
E
Captulo 5
relacin
se
puede
aproximar
(5.43)
Ec
137
I = qn n EWt = EWt = V / R .
(5.44)
v
(m/s)
10
510
210
Medida
10
Aproximacin
510
10
10
10
E(V/cm)
dV
.
dy
(5.45)
1 dV
dV
.
I D 1+
= W Q I (y) n
dy
dy
Ec
(5.46)
1 dV
I D 1+
dy
E c dy
0
V DS
= W Q (y) dV .
I
(5.47)
nC ox
W
( 2( V GS - V t )V DS - V 2DS ) .
1 V DS L
2 1+
Ec L
(5.48)
138
ID=
k
W
(V GS - V t )2 ,
2 ( 1+ (V GS - V t ) ) L
(5.49)
G
S
R SX
S
C ox W
2
(V
G S
-V t )
(5.50)
(5.51)
se obtiene:
ID=
C ox W
2
(V
- I D R SX - V t ) ,
2
GS
(5.52)
C ox
W
2
(V GS - V t ) .
W
L
2 1+ C ox R SX (V GS - V t )
L
(5.53)
139
C ox
W
R SX .
L
(5.54)
1 1 1
.
E c C ox W
(5.55)
Captulo 5
5.9
ID
10
-4
10
-7
10 -10
10
Vt
V GS
(a)
-13
0.5
1.5
2 V GS (V)
(b)
140
+
V
- DS
+
V
- GS
G
S
D
n
z.c.e.
L1
Sustrato p
EC
E FS
EV
VDS
EFD
141
EC
E FS
V DS
EV
E FD
I sub = -q S eff D n
dn
,
dy
(5.56)
y
L1
(5.57)
n sd = n p 0e KT
(5.58)
q (V(z)-V D )
KT
(5.59)
142
SiO 2
Si
EC
V(z)
s
EF
EV
Captulo 5
| Qdep |
2q s N A
(5.60)
(5.61)
dn
KT
KT n dd - n sd
= -q(W
)( n
)
=
dy
q
L
qF y
qV(z)
exp - V D - 1
exp
KT
KT
KT
KT n i2
s
,
= -q(W
)
n
q
2q s N A
q NA
L
(5.62)
s KT
2
q NA
(5.63)
143
q s
qV D
W KT n i2 KT 2 e KT (1 - e - KT )
.
I sub = s n
L q N 2A q s
2 L Dp
2
(5.64)
Qs
C ox
(5.65)
Captulo 5
s = V GS - V FB s = V GS - V FB -
d i s
E s,
d i s 2q s N A
(5.66)
.
d 2q s N A
+( V FB - V GS ) + 2 s( V FB - V GS ) = i s
a 2s 2 s ,
s
i
2
(5.67)
donde se ha definido:
a s q N A s
di .
(5.68)
s 2 + 2 s( V FB - V GS - a 2s )+( V FB - V GS )2 = 0,
s = -( V FB - V GS - a 2s ) ( V FB - V GS - a 2s )2 - ( V FB - V GS )2 ,
(5.69)
s = ( V GS - V FB + a 2s ) - a s a 2s + 2( V GS - V FB ).
Teniendo en cuenta la dependencia del potencial de superficie
con la tensin de puerta se pueden agrupar constantes y modelar la
corriente subumbral por la siguiente expresin:
ID= kx
qV DS
W
qV GS
exp
, n 1.5 .
1- exp
L
nKT
KT
(5.70)
144
Captulo 5
IDB
G
B
S
sat
k2
,
V DS - V DSsat
) I D exp -
(5.71)
145
I DB
I DB
.
= k2
2
( V DS - V DSsat )
V DS
(5.72)
5.3109
Captulo 5
4
815103
Resulta evidente que para una tensin de drenador de 2V la
conductancia asociada al sustrato es despreciable frente a la conductancia
de salida 1/ro. Sin embargo, al aumentar la tensin esta conductancia
puede resultar comparable a la conductancia de salida. La configuracin
paralelo equivalente proporciona una conductancia mayor. Este efecto es
perjudicial si se pretenden disear fuentes de corriente de alta impedancia.
RESUMEN
En este captulo se ha descrito el transistor de efecto campo
metal-aislante-semiconductor. La corriente que circula a travs de dichos
terminales se ha expresado en funcin de las tensiones aplicadas al
dispositivo.
La caracterstica I-V resultante se ha linealizado para obtener
modelos de circuito en gran seal y pequea seal, mostrando ejemplos
de aplicacin de dichos modelos. Se han introducido modificaciones a la
corriente de drenador debido a efectos de segundo orden como la
existencia de altos campos en el canal de conduccin, la existencia de una
corriente por debajo de la tensin umbral y la corriente que deriva hacia el
sustrato.
CUESTIONES Y PROBLEMAS
1.
146
a)
b)
2.
3.
4.
a)
b)
c)
d)
e)
Captulo 5
b)
c)
d)
CUESTIONES Y PROBLEMAS
147
5.
6.
del
Captulo 5
impurezas/cm
xido
400
11
tomos donadores/cm ,
dopado
del
sustrato
10
16
a)
b)
c)
8.
9.
148
b)
c)
d)
e)
-6
10
-7
10
-8
(B)
V G (V)
|QS| (C/cm )
10
Captulo 5
5
0
10 -9
10
-5
0
0.5
s (V)
-10
0.5
s (V)
Figura P.1.
REFERENCIAS
[1] Y. P. Tsividis, Operation and modelling of the MOS Transistor,
McGraw Hill, 1987.
[2] P.R.Gray and R.G. Meyer, Analysis and Design of Analog Integrated
Circuits, 3a Ed., John Wiley & Sons, 1993.
CUESTIONES Y PROBLEMAS
149
Captulo
EL TRANSISTOR DE
EFECTO CAMPO DE
UNIN (JFET).
Captulo
G
D
S
Transistor Jfet
ndice
6-1
6-2
6-3
Estructura y funcionamiento.
Clculo cualitativo de la
caracterstica corriente tensin.
Modelo de uniones abruptas
para el clculo de la
6-4
Objetivos
Palabras Clave
Transistor de efecto campo
de unin.
Dispositivo unipolar.
Espesor de la zona de carga
espacial.
Espesor
del
canal
de
conduccin.
Tensin de agotamiento.
Corriente de drenador.
Tensin de puerta.
Tensin de drenador.
Regin triodo.
Regin de saturacin.
Tensin de saturacin.
Modulacin de la longitud del
canal.
Tensin Early.
Regin de ruptura.
Modelo analtico de uniones
abruptas.
6.1
Estructura y funcionamiento
D
G
N+
N+
P
Canal p
S
Canal
N
G
ID
Canal n
N+
P
ID
Captulo 6
Modo de operacin
152
V GS
N
V GS
Captulo 6
a=
q N A (1 +
NA
)
ND
(6.1)
2s
NA
)
ND -
0 .
(6.2)
153
6.2
G
x(y)
2a
S - V(y) +
b(y)
+
VDS
-
L
+
V GS
-
V(L)=VDS
(a)
+
V GS
-
ID
Captulo 6
+
VGS
-
+
V DS
-
VDS=-Vp+VGS
Pinch-off
(b)
+
VGS
-
V(y)=-V p+VGS
S
+
VGS
-
G
(c)
ID
+
V DS
-
V DS>-V p+V GS
Saturacin
154
-6
-5
-4
-3
-2
Captulo 6
ID (mA)
-8
-1
V DS (V)
BVDG0
V GS=1.0 V
-1
V GS=0.5 V
-2
V GS=0 V
Triodo
Acumulacin
Ruptura
155
+
VGS
-
G
x(y)
S - V(y) +
2a
b(y)
ID
L
G
+
V GS
-
+
V DS
-
V(L)=VDS
x(y) = k 1 0 + V R(y),
(6.3)
Captulo 6
x(y) = k 1 0 +V GS -V(y),
donde se ha definido
k1 =
2 s
N
q N A (1 + A )
ND
(6.4)
(6.5)
dV(y)
ID
.
=
Wb(y)
dy
(6.6)
V (L)
I D dy = W
Definiendo
bdV .
V D ' S V ( L)
156
(6.7)
teniendo
en
cuenta
que
3
3
2 k1
2 k1
( 0 + V GS - V DS )2 ( 0 + V GS )2 ,
I D = G0 V DS +
3
a
3
a
(6.8)
a = k1 0 +V p
(6.9)
se puede escribir:
3
3
( 0 + V GS - V DS ) 2 - ( 0 + V GS ) 2
2
.
I D = G 0 V DS +
1
3
2
(
+
)
V
p
0
(6.10)
-Vp /2
-V p /4
V GS=3Vp /4
V DS
Captulo 6
-Vp
VGS=Vp /2
V GS=V p/4
V GS=0
(6.11)
157
3
3
2 ( 0 + V p ) 2 - ( 0 + V GS ) 2
.
I D = G 0 - V p + V GS +
1
3
2
(
+
)
V
p
0
(6.12)
3
3
( 0 + V p )2 - ( 0 )2
2
.
= 0) = G 0 - V p +
1
3
2
(
+
)
V
p
0
(6.13)
V GS
.
I D I DSS 1
Vp
(6.14)
Captulo 6
V GS
(1 + V DS ) .
I D = I DSS 1
Vp
(6.15)
Ejemplo 6.1
Considerar un JFET de canal N con los siguientes
parmetros: ND =1016 cm-3, W/L=10, NA =1018 cm-3, L=10 m, a=1
m. Representar la relacin ID-VGS en saturacin obtenida con el
modelo de control de carga (ecuacin (6.12)). Compararla con la
relacin cuadrtica (6.14) en la misma grfica.
Solucin.
Para evaluar la expresin de la corriente de drenador
es necesario calcular en primer lugar el potencial barrera de
la unin y la tensin de agotamiento (6.2):
0 = 0.855 V
V p = 6.111 V
A partir de esos valores se puede calcular el parmetro
IDSS:
I DSS = 0.08 mA
El signo positivo de la corriente significa que el sentido
real de la corriente es de drenador a fuente, al revs que en
un transistor canal P. La tensin puerta fuente tambin
cambia de signo para que las uniones sigan en inversa, por
ello la tensin umbral es negativa. Con estos valores se
158
80
60
Vp
-8
-6
-4
V GS (V)
Modelo
de
unin
abrupta
-2
ID (A)
40
Funcin
cuadrtica
20
Captulo 6
+
vgs
ID=IDSS(1-
V GS 2
) (1+ 8V DS)
Vp
2
dI D
V
V
= - I DSS (1 - GS ) = g m 0 (1 - GS ) .
dV GS
Vp
Vp
Vp
(6.16)
159
ro
ID
2
V
= I DSS (1 - GS ) I D .
V DS
Vp
(6.17)
(6.18)
Capacidad puerta-drenador:
C gd =
C gd 0
.
1
V
(1 + GD )3
(6.19)
Capacidad puerta-sustrato.
C gss =
C gss 0
.
V GSS 12
(1 +
)
(6.20)
Captulo 6
rd
+
C gss
Cgs
vgs
g mvgs
r0
160
gm
1
2 C gs + C dg + C gss
G
(6.21)
D
+
vgs
gmvgs
S
Captulo 6
( 0 + V GS - V D S ) 2 - ( 0 + V GS ) 2
V
D S
,
+2
I D = I p 3
Va
V a3 / 2
donde se ha definido V a 0 + V p
(6.22)
I p V a G o / 3 . La
( 0 + V GS )2
VD 'S
V DS
+2
ID = Ip 3
1
.
3/ 2
Va
Va
0 + V GS
(6.23)
VD 'S
V DS ( 0 +V GS )2
3
+
ID Ip 3
3/ 2
Va
0 + V GS
Va
(6.24)
161
1/ 2
3I p 0 +V GS
VD 'S .
1+
ID =
Va Va
(6.25)
.
1+
=
gD =
VD 'S
Va Va
(6.26)
RESUMEN
Captulo 6
CUESTIONES Y PROBLEMAS
1.
3
3
2 ( 0 V GS + V DS ) 2 - ( 0 V GS ) 2
.
I D = G 0 V DS
1
3
( 0 + V p ) 2
(6.27)
162
1 g D
( EG + 3KT ) / q 0
3
1
= +
.
1/
2
g D T
2 2Va1/ 2 (V GS + 0 )1/ 2 1 ( (V GS + 0 ) / Va ) T
3.
(6.28)
R1 = 83 K, R2 = 100 K, R3 = 8 K, R4 = 282 K.
15 V
R1
R3
C
V o(t)
Captulo 6
+
vi(t)
R2
R4
Figura P.1.
4.
2 m
P
N
10 m
Figura P.2.
CUESTIONES Y PROBLEMAS
163
REFERENCIAS
Captulo 6
[1] P.R.Gray and R.G. Meyer, Analysis and Design of Analog Integrated
Circuits, 3a Ed., John Wiley & Sons, 1993.
[2] S. M. Sze, Physics of semiconductor devices, John Wiley & Sons,
1981.
164
Captulo
EL TRANSISTOR DE
EFECTO CAMPO METAL
SEMICONDUCTOR
Captulo
Transistor
MESFET
ndice
7-1
7-2
7-3
El arseniuro de galio.
Estructura del MESFET.
Principio de operacin.
7-4
Circuito equivalente
de pequea seal.
Objetivos
Presentar
otros
materiales
semiconductores
empleados
en
aplicaciones
electrnicas particulares.
Presentar distintos modelos que tienen como fin el llegar a una expresin
analtica para la corriente de drenador.
Presentar un modelo de pequea seal vlido para muy altas frecuencias, rango
donde es especialmente til este dispositivo.
Palabras Clave
GaAs.
Contacto Schottky de puerta.
Zona de carga espacial.
Tensin de agotamiento.
Conductividad del canal.
Corriente de puerta.
Extraccin de parmetros.
Modelo de pequea seal.
7.1
Captulo 7
168
G
D
z.c.e.
n+
n+
Canal n
Sustrato semiaislante
2 s ( 0 V GS )
,
q ND
(7.1)
Vt VGS (h = a) = 0
qa 2 N D
,
2 s
Captulo 7
qa 2 N D
.
2 s
(7.3)
( 0 V GS )
.
Vp
(7.4)
169
G
S
D
h
Canal n
Sustrato semiaislante
Principio de operacin
qN D nWa
,
L
(7.5)
Captulo 7
qN D nW (a h)
.
L
(7.6)
2 s ( 0 V GS + V ( x) )
,
q ND
(7.7)
170
G
S
D
h(x)
h(x)
Canal n
dx
Sustrato semiaislante
dx
,
qN DW n (a h( x))
(7.8)
(7.9)
Captulo 7
dV = I D
(V DS + 0 V GS )2 - ( 0 V GS ) 2
2
.
I D = G0 V DS
1
3
2
(
)
V
p
(7.10)
2 ( 0 V GS ) 2
p
.
+
V
I D = G0
GS
0
3 3 ( ) 21
Vp
(7.11)
171
EC
7.3.1
Ec.
El campo elctrico lateral se puede obtener de la siguiente
relacin:
J ( x) = E ( x),
ID
= qN D n E ( x),
W (a h( x))
ID
E ( x) =
.
qN D nW (a h( x))
(7.12)
E ( L) =
qN D nW (a
=
172
2 s( 0 V GS + VDS )
)
qN D
(7.13)
I D (VDS )
0 V GS + VDS
qN D nWa 1
Vp
u sat
VGS
E L
V DSsat
, ug 0
, c ,
Vp
Vp
Vp
(7.14)
u sat
2
(u g + u sat ) 3 / 2 u g3 / 2
3
,
1 (u g + u sat ) 1 / 2
(7.15)
(1 u g )
.
+ 1 ug
(7.16)
0 VGS + VDSsat
= Go LEc (1 (
Vp
)1/ 2 )
Captulo 7
I D = qvsatWN D (a h( L))
(7.17)
(7.18)
(1 u )
I D = G oV p
1 + 3
(7.19)
173
I D = (VGS Vt ) 2 ,
(7.20)
donde
2 s n v sat W
, Vt = 0 V p .
a( nV p + 3v sat L)
(7.21)
Ejemplo 7.1
Considerar un MESFET de GaAs con los siguientes
parmetros: 0 = 0.6 V, ND = 31017 cm-3, W = 20 m, L = 1 m, VGS
= 0 V. Considerar que la movilidad de los electrones en este
material es 4000 cm2/(Vs) y la velocidad de saturacin 107 cm/s.
Calcular la curva IDS VDS empleando el modelo de canal gradual y
el modelo de dos tramos para la velocidad. Evaluar en este segundo
caso la anchura del canal en la regin de saturacin.
Solucin.
Con estos datos se puede calcular la tensin de
agotamiento Vp, que toma el valor de 2.069 V, y el campo
crtico 2.5103 V/cm. Con el modelo de canal gradual la
regin de saturacin comenzara para
Captulo 7
Si
la
relacin
velocidad-campo
elctrico
la
aproximamos por dos tramos lineales como se observa en la
Figura 7.3.2 e igualamos el campo E(L) de la expresin
(7.13) a 2.5103 V/cm se puede obtener el valor de la
tensin VDS que cumple estas condiciones: VDSsat = 0.223 V.
Si evaluamos Ec L se obtiene 0.25V. Se puede comprobar
que para Ec L >>Vp se cumple VDSsat =Vt y en el caso Ec L
<<Vp se cumple que VDSsat Ec L. En la Figura 7.3.3 se
representa la curva IDVDS para este transistor admitiendo
(a) que la velocidad de los electrones crece de manera
indefinida y (b) que la velocidad de los electrones se satura a
partir del campo crtico (modelo de dos tramos para la
velocidad).
Cuando comienza la saturacin del transistor el canal
se agota en el extremo de drenador. Sin embargo, para
evitar hablar de espesores de canales nulos y de campos y
velocidades infinitas lo ms adecuado es hablar de un
espesor del canal finito. Este espesor, bsat, se puede estimar
introduciendo la velocidad de saturacin de los electrones:
174
(a)
12
ID (mA)
10
8
6
(b)
4
2
0.22 V
1.469 V
0
0
3
VDS (V)
VDS>VDSsat
G
S
D
h(x)
n
46 nm
37 nm
Captulo 7
7.3.2
I
= D
V DS
V + V
GS
DS
= G0 1 0
p
VGS = cte
1/ 2
(7.22)
175
I D = I DSs (1 + V DS ) tanh(V DS ) ,
(7.23)
I DSs = (VGS Vt ) 2 ,
(7.24)
donde
0 VGS
Vp
),
(7.25)
g chi
I DSs
(7.26)
Efectos parsitos
G
RG
G
RD
RS
S
(7.27)
176
(7.28)
g chi
.
1 + g ch ( R S + R D )
(7.29)
(7.30)
(7.31)
g ch
.
I DSs
(7.32)
Captulo 7
VG ' D ' I G RG ( I D + I gd ) RD
I gd = I g 0 exp q
.
KT
(7.33)
177
7.3.4
Captulo 7
(7.34)
L
L
.
=
q n N DW (a h) qa n N DW (1 (( 0 VGS ) / V p )1 / 2 )
178
(7.35)
7.4
LS
LG
LD
RG
C gs
RS
+
v
- gsr
C gd
RD
ds
Ri
g mvgse
jt
Cds
Cgd
FET intrnseco
RD
LD
Captulo 7
LG
+
vgs
C gs
g mvgse
jt
rds
C ds
Ri
RS
LS
179
Captulo 7
1
1
(VDS + 0 V GS ) 2 - ( 0 V GS ) 2
I D
= G0
.
gm =
(7.36)
de la tensin de drenador
corriente de drenador y la
180
1/ 2
0 V GS
ID G0 1
V ,
V p DS
G0VDS
gm
.
2(V p )1/ 2 ( 0 VGS )1/ 2
(7.37)
V GS 1 / 2
.
G0 1 0
V p
(7.38)
C g0
1 V GS
C g0
(7.39)
,
1 V GD
Captulo 7
C GD =
donde
Cg0 =
rds =
WL qN D s
.
2
2 0
(7.40)
L
L
=
.
q n N DW (a h) qa N W 1 ( V ) / V 1/ 2
n D
p
0 GS
(7.41)
181
Ri =
s ( L / 2)
Wa
L/2
( L / 2)
.
q n N DWa
(7.42)
Ri
sA
X
s aW
3L
(7.43)
Captulo 7
X 3L
D
+
vgs
C gs
gmvgs
rds
C ds
182
Ri
+
io
+
ii
vi
vgs
Cgs
g mvgs
rds
C ds
Z o vo
j
C gs
(7.44)
1
.
1/ rds j C ds
Pi = 1/ 2 Re( I i*Vi ),
Captulo 7
Po = 1/ 2 Re( I o*Vo ).
1 g m2 rds
1
.
4 (2 ) 2 Ri (C gs f ) 2
(7.46)
183
RESUMEN
En este captulo se ha introducido al transistor de efecto campo
metal semiconductor (MESFET). Se ha hablado de la importancia del
material sobre el que normalmente se construye este dispositivo (GaAs ) y
de las razones por las que se utiliza. Se ha descrito la estructura y el
funcionamiento bsico. Se han estudiado diferentes modelos que tienen
como objeto el llegar a una expresin para la corriente de drenador en
funcin de las tensiones aplicadas a los terminales. Se ha aadido
complejidad a estas expresiones al introducir otros efectos como las
resistencias parsitas o la corriente de puerta. Se ha propuesto un mtodo
para extraer los parmetros caractersticos del dispositivo. Finalmente se
ha presentado el modelo de pequea seal y se ha estimado el valor de los
parmetros que en l aparecen.
CUESTIONES Y PROBLEMAS
Captulo 7
1.
2.
a = 2 m, L = 20 m, W = 10 m, ND = 1016 cm-3
Para este dispositivo, conocido como MESFET, son aplicables las
expresiones obtenidas en el anlisis de JFET con unin abrupta.
Las difusiones N+ realizadas debajo de la fuente y el drenador se
realizan exclusivamente para conseguir contactos hmicos,
mientras que el contacto metlico de puerta es rectificador. Si la
barrera de este contacto vista desde el metal es de 0.6 eV, y
184
b)
c)
d)
e)
N
a
VG<0
V D>0
L
GaAs tipo N
Sustrato semiaislante
Figura P.1.
REFERENCIAS
CUESTIONES Y PROBLEMAS
Captulo 7
[1] W. Shockley. "A unipolar field effect transistor", PROC. IRE, vol.
40, pp. 1365-1376, November 1952.
[2] M.S. Shur. Low field mobility, effective saturation velocity and
performance of submicron GaAs MESFETs Electron., Lett., Vol.
18 (21), pp. 909-911, Oct. 1982.
[3] M.S. Shur. Analitical model of GaAs MESFETs, IEEE Trans.
Electron Devices, vol. ED-25, pp. 612-618, June 1978.
[4] W.R. Curtice. A MESFET model for use in the design of GaAs
integrated circuits, IEEE Trans. MTT, vol. MTT-29, pp. 448-456,
May 1980.
185
Captulo
DISPOSITIVOS
OPTOELECTRNICOS.
Diodo Lser
G
D
ndice
8-1
8-2
8-3
8-4
8-5
8-6
8-7
Introduccin
Clasificacin de los dispositivos
optoelectrnicos
Interaccin luz-materia
Transiciones entre estados. Ecuacin de Einstein
Coeficiente de ganancia de intensidad de la radiacin luminosa
Revisin de la teora elemental
de semiconductores
Materiales semiconductores utilizados en dispositivos optoelectrnicos
8-8
8-9
8-10
8-11
8-12
8-13
Descripciones cualitativas de la
absorcin y de la ganancia de luz
en un semiconductor
Amplificadores pticos y lseres
semiconductores
Coeficiente de ganancia en un
semiconductor
Perfil de emisin espontnea
Ejemplo: Obtencin de una
condicin umbral para obtener
ganancia en un semiconductor
Diodos lser de homounin
Objetivos
Palabras Clave
Dispositivos
optoelectrnicos.
Transiciones entre estados.
Ecuacin de Einstein
Absorcin de fotones.
Emisin
espontnea
y
estimulada de fotones.
Coeficiente de absorcin y
de ganancia de la intensidad
de radiacin
Conservacin de la energa y
del momento cristalino.
Transiciones entre bandas de
energa.
Amplificadores pticos.
Lseres semiconductores.
Condicin de mantenimiento
de la oscilacin.
Condicin
umbral
de
oscilacin.
Densidad
conjunta
de
estados.
Perfil de emisin espontnea
en un semiconductor.
Espectro
de
emisin
estimulada
Diodos lser de homounin
8.1
Captulo 8
Dispositivos optoelectrnicos
semiconductores
Son aquellos dispositivos
semiconductores cuyo objetivo
es obtener radiacin luminosa a
partir de corriente elctrica o bien
generar corrientes elctricas a
partir de radiacin luminosa.
Aunque hay dispositivos
optoelectrnicos que no son
semiconductores, para nosotros
dispositivos optoelectrnicos
equivaldr a dispositivos
optoelectrnicos
semiconductores
188
Introduccin.
RECEPTORES DE LUZ
LASER
LED
FOTODIODOS
FOTOTRANSISTORES
CLULAS
SOLARES
Captulo 8
EMISORES DE LUZ
Interaccin luz-materia
SECCIN 8.3
189
con
(8.1)
v = c/n ,
dn
.
d
(8.2)
en el vaco,
(8.3)
en el vaco, k = 2
(8.4)
190
Energa
Potencia
.
=
Area Tiempo
Area
(8.5)
(8.6)
(8.7)
8.4
Captulo 8
SECCIN 8.3
191
E2
h
h
electrn
h =E 2-E 1
electrn
E1
(8.8)
siendo A21 una constante que depende de los niveles particulares que
estemos considerando. (Obsrvese que esta expresin presupone que
cualquier electrn que pase del nivel 2 al 1 encuentra un estado vaco en
el nivel 1, es decir, no tiene en cuenta el principio de exclusin de Pauli.
Tngase en cuenta que en 1916 no se conoca dicho principio).
E2
h
electrn
h =E 2-E 1
E1
Captulo 8
192
dN 1
dN 2
= B12 ( ) N 1 =
.
dt abs
dt abs
(8.9)
dt em est
electrn
h
h
h
Emisin estimulada de un
fotn
Es un proceso por el cual un
fotn origina una transicin de un
electrn de un nivel de mayor
energa a otro de menor. El
resultado es que el fotn saliente
tiene todas sus propiedades
idnticas al que induce la
emisin, con lo que el proceso
termina con dos fotones. De esta
forma se puede obtener mayor
nmero de fotones idnticos a la
salida que a la entrada: Se puede
"amplificar" la intensidad de la
radiacin.
Captulo 8
(8.10)
E2
h =E 2-E 1
E1
SECCIN 8.3
193
(8.11)
E 2 E1
k BT
( ) =
8 n 2ng 2
c3
h
k BT
(8.12)
B 21 = A21
c3
8 n 2 n g h 3
(8.13)
Captulo 8
si definimos esp =
1
.
A21
(8.14)
Integrando, obtenemos:
N 2 (t ) = N 20 e
esp
(8.15)
194
(8.16)
N
dN 2
W = h
= h 20 e esp .
dt
esp
N
dN 2
W
I=
=
h
=
h 20 e esp .
dt
4 A 4 A
4 A
esp
(8.17)
( ) =
1 dI
I dz
(8.18)
Captulo 8
SECCIN 8.3
195
I0
I1
dz1
I2
dz2
I4
I3
dz3
dz4
El coefiente de absorcin es la
disminucin relativa de
intensidad por unidad de
longitud.
La relacin entre ellos es = -
1 dI
.
I dz
(8.19)
(8.20)
(8.21)
Captulo 8
(8.22)
(8.23)
196
8.6
(8.24)
Captulo 8
SECCIN 8.3
197
h2 2
(r ) + V0 (r ) (r ) = E (r ) ,
2m
(8.25)
k (r ) = e ik r u k (r ); con
E=E(k);
u k (r + R ) = u k (r) ,
(8.26)
E(k) = E(-k).
h2
2uk (r ) + [2ik uk (r )] k 2uk (r ) + V0 (r ) uk (r ) = E (k ) uk (r )
2m
(8.27)
E
Ed
Bandas de Energa
Los materiales que tienen una
estructura cristalina tambin tiene
una estructura de bandas.
Esto no es privativo de
materiales cristralinos. Los que
no lo son tambin pueden tener
estructura de bandas
E n+1
Ec
k
Eb
Ea
En
198
ki =
2
mi
N i ai
(i = x, y, z ); mi es un nmero entero
(8.28)
Captulo 8
(8.29)
SECCIN 8.3
199
2
2
=
N i ai
Li
(i = x, y, z )
(8.30)
Captulo 8
2 2 2 (2 )3
=
,
Lx L y L z
VC
(8.31)
(8.32)
(8.33)
200
Captulo 8
E n+1
Ec
km = 2
Eb
kf = ki - kph
En
SECCIN 8.3
201
EC
EC
EV
a)
EV
b)
Captulo 8
202
EC = EC 0 +
h 2k 2
2 m c*
(8.34)
(8.35)
h2k 2
2 m v*
8.7
Materiales
semiconductores
dispositivos optoelectrnicos
utilizados
Captulo 8
SECCIN 8.3
203
Captulo 8
204
Material
GaAs
AlAs (i)
GaP (i)
InP
Ancho de
banda
prohibida
(eV)
1.43
2.16
2.26
1.35
Constante de
red (nm)
Constante
dielctrica
relativa - r
0.5653
0.5660
0.5451
0.5969
13.2
10.9
11.1
12.4
Captulo 8
SECCIN 8.3
205
Ganancia
Eg
I0
Estados
ocupados
a)
Perdidas
Ii
b)
c)
Captulo 8
206
h1
I0
2h
Perdidas
h
Ii
h1
T=0 K
a)
Ganancia
b)
Eg
E Fn-E Fp
c)
Captulo 8
SECCIN 8.3
207
De acuerdo con lo dicho, si conseguimos tener un nmero alto ms correctamente, una densidad elevada- de electrones en la banda de
conduccin y huecos en la de valencia podemos generar fotones mediante
emisin estimulada y amplificar la luz. Podemos, pues, conseguir un
amplificador ptico. Como veremos ms adelante, esta amplificacin
puede tener lugar para todas las frecuencias que se den en el intervalo
GE < h < CFN-FEPP . En realidad, no todas las transiciones de electrones
de una banda hacia la otra emiten fotones. Muchas de esas transiciones
ceden su energa a la red, calentando el semiconductor. La eficiencia de la
transicin ptica no es la misma a todas las frecuencias.
Espejos
Electrones
EC
Ii
EV
I0
d
Huecos
a)
b)
2
Captulo 8
m = d m
= (m es un nmero entero). (8.40)
2
2d n
Cmo habr ms densidad de energa a estas frecuencias, se
inducirn ms transiciones estimuladas, lo que a su vez incrementar ms
208
I01
()lg
I02
Captulo 8
G=e
A
R1
lg
R2
SECCIN 8.3
209
(8.41)
Captulo 8
( ) =
1 dI
.
I dz
(8.42)
210
2l g
G=e
2l g
(8.43)
().
Finalmente, conviene recalcar un ltimo aspecto de los
amplificadores y lseres. Hemos dicho que para que se produzca la
amplificacin deber haber una elevada densidad de electrones y huecos.
Por lo tanto, tendremos de alguna manera que generarlos. El proceso por
el cual se generan estos electrones y huecos recibe el nombre de
bombeo("pumping"). En los primeros lseres de estado slido -por
ejemplo, los de rub-, en los que los electrones realizaban transiciones
entre varios estados (aunque la parte estimulada era tan slo entre dos de
ellos), este bombeo se realizaba mediante un destello de luz. En los
lseres semiconductores, que se construyen con estructuras tipo uniones
p-n del mismo material (homouniones) o de distintos materiales
(heterouniones), el bombeo se realiza por inyeccin de corriente elctrica,
lo que es mucho ms eficiente en cuanto a la relacin entre energa
suministrada - energa obtenida (esto es, rendimiento energtico) y
adems, resulta fcil de variar, por lo que se puede, de forma
relativamente sencilla, modular la salida del lser y transmitir as
informacin. Estas son algunas de las ventajas de los lseres
semiconductores sobre los de otro tipo. En cambio, entre sus desventajas
podemos sealar la poca potencia que en general se obtiene as como el
hecho de que el haz de luz tenga un ngulo de apertura bastante notable.
Con todo, desde un punto de vista de aplicaciones electrnicas y
especialmente en comunicaciones, las ventajas superan claramente a las
desventajas .
8.10
EC = EC 0 +
h2k 2
2 m c*
E V = EV 0
h2k 2
2 m v*
Captulo 8
SECCIN 8.3
211
E
EC
E 2+dE 2
E2
E C0
EV0
E1
h +d(h)
k
E 1+dE 1
EV
h 2 k 22
= m c* ( E 2 E C 0 )
*
*
m c ( E 2 E C 0 ) = m v ( E v 0 E1 )
2
.
h 2 k 22
m c* dE 2 = m v* dE1
= m v* ( E v 0 E1 )
(8.45)
(8.46)
m v*
m v* + m c*
m c*
m v*
( E 2 E C 0 ) o, lo que es lo mismo
(h E g ).
(8.47)
Analogamente ,
EV 0 E1 =
m c*
m v* + m c*
(h E g ).
Captulo 8
212
EC
bx/2
E 2+dE 2
E2
ky
bx
E1
E 1+dE 1
b x=2 /(L xa x)
b y=2 /(L ya y)
EV
E 2 EC 0
2 m c*
k
=
=
h2
2 m c*
h2k 2
*
4 2m
V2 = 2 c
3 h
Captulo 8
2
(E 2 E C 0 )1 / 2 ;
(8.48)
2
(E 2 E C 0 )3 / 2 .
2
(E 2 E C 0 )1 / 2 dE 2 .
(8.49)
SECCIN 8.3
213
*
V 2 m c
=
4 2 h 2
dV 2
(2 ) 3
V
2
(E 2 E C 0 )1 / 2 dE 2 ,
(8.50)
2 m v*
m* + m*
v
c
2
h E g
d (h ) ,
*
*
m
m
+
c
v
)1 / 2
m v*
(8.51)
2
h E g
)1 / 2 ;
m r* =
m c* m v*
m c* + m v*
(8.52)
j ( ) d = h j (h ) d (h ) .
(8.53)
Captulo 8
214
R12 = B12 ( ) j ( ) d f v ( E1 ) [1 f c ( E 2 )] .
(8.54)
(8.55)
(8.56)
(8.57)
(8.58)
reemplazando tenemos:
( ) =
ng
h (R 21 R12 )
= B 21 h
j ( ) [ f c ( E 2 ) f v ( E1 )] .
I ( ) d
c
(8.59)
(8.60)
Captulo 8
B 21 = A21
podemos poner
( ) = A21
c2
8 n 2 2
j ( ) [ f c ( E 2 ) f v ( E1 )] .
(8.61)
( ) = A21 f c ( E 2 ) [1 f v ( E1 )]
f ( E ) [1 f c ( E 2 )]
j ( ) 1 v 1
f
8 n
c ( E 2 ) [1 f v ( E1 )]
(8.62)
c2
SECCIN 8.3
215
h ( E Fn E Fp )
c2
k BT
.
j ( ) 1 e
( ) = A21 f c ( E2 ) [1 f v ( E1 )]
8 n 2 2
(8.63)
(8.64)
( ) = K (h E g )1 / 2 [ f c ( E 2 ) f v ( E1 )] .
(8.65)
Captulo 8
( ) d =
8 2n 2ng
c
216
h d
.
exp(h / k B T ) 1
(8.66)
(8.67)
[ ( )]eq = R( )
k BT
1
e
.
2 2
8 n
c2
(8.68)
[ ( )]eq = [ ( )]E
Fn = E Fp
= A21 f ( E 2 ) [1 f ( E1 )]
k BT
)
e
1
2 2
8 n
c2
(8.69)
R ( ) = A21 f ( E 2 ) [1 f ( E1 )] j ( ) ,
Captulo 8
f c ( E2 ) [1 f v ( E1 )]
c2
k BT
1 e
( ) = R( )
f ( E2 ) [1 f ( E1 )] 8 n 2 2
(8.71)
f c ( E2 ) [1 f v ( E1 )] n
= g ( ) ,
f ( E2 ) [1 f ( E1 )] r
(8.72)
SECCIN 8.3
217
( ) =
8.12
h ( E Fn E Fp )
c2
k BT
1 e
.
g
(
8 n 2 2
(8.73)
n=
f ( E ) g ( E )dE
c
(8.74)
Captulo 8
EC 0
p=
[1 f ( E )] g ( E )dE .
v
(8.75)
218
n=
1 2 mc*
2 2 h 2
3/ 2
(E2 EC 0 )1 / 2 dE
EC 0
1+ e
E 2 E Fn
k BT
(8.76)
3 / 2 EV 0
(EV 0 E1 )1/ 2 dE
1+ e
E1 E Fp
(8.77)
k BT
EV 0 E1
=y
k BT
EV 0 E Fp
=
k BT
(8.78)
1 2 mc*k BT
n=
2 2 h 2
1 2 mv*k BT
p=
2 2 h 2
x1 / 2
dx
1 + e x
0
3/ 2
1/ 2
(8.79)
y
dy
1
+
e y
0
Captulo 8
n ( ) =
2
zn / 2
dz .
z
1
+
e
0
(8.80)
SECCIN 8.3
219
3 / 2 EV 0 E Fp
k BT
3/ 2
1 2 mc*k BT
n=
2 2 h 2
1 2 mv*k BT
p=
2 2 h 2
x1 / 2
dx
e + e x
0
(8.81)
y1 / 2
dy
e + e y
0
x1 / 2
x1 / 2
,
dx
dx =
x
x
2
e
+
e
e
0
0
(8.82)
2 mc*k BT
2
2 h 2
2 mv*k BT
p=
2
2 h 2
n=
3/ 2
EC 0 E Fn
k BT
EV 0 E Fp
k BT
dx
0
.
1/ 2
y
2
dy
0 e +e
x1 / 2
e + e
(8.83)
Captulo 8
n = NC e
EC 0 E Fn
k BT
EV 0 E Fp
p = NV e
k BT
dx
E
E Fn
C0
0
k BT
+ ex .
e
2
y1 / 2
dy
EV 0 E Fp
0
k BT
e
+ ey
x1 / 2
(8.84)
220
exp[(EC0-EFn)/kBT]
o
exp[(EFp-EV0)/kBT]
(EC0-EFn)/kBT
o
(EFp-EV0)/kBT
n
(cm-3)
p
(cm-3)
103
6.91
1.000
4.361014
1.021016
102
4.61
0.996
4.341015
1.021017
50
3.91
0.993
8.661015
2.041017
20
3.00
0.983
2.141016
5.041017
10
2.30
0.967
4.221016
9.921017
7.75
2.05
0.957
5.401016
1.271018
1.61
0.936
8.161016
1.921018
0.69
0.860
1.871017
4.411018
0.00
0.765
3.341017
7.841018
0.5
-0.69
0.641
5.591017
1.311019
0.2
-1.61
0.457
9.961017
2.341019
0.129
-2.05
0.373
1.271018
2.991019
0.1
-2.30
0.329
1.431018
3.371019
Captulo 8
SECCIN 8.3
221
(8.85)
dn
= 0 G = R n p = 2 1010 1.27 1018
dt
= 3.23 1026 cm 3s 1 .
(8.86)
pares e h
.
cm3 s
(8.87)
Captulo 8
1
kA
= 5.17 2 .
3
cm s
cm
(8.88)
222
T T0
T0
(8.89)
Contactos
Metlicos
~1 m
200
Captulo 8
Zona de
Carga
Espacial
10 m
V
m
Zona activa
SECCIN 8.3
223
Ln = Dn n 20 D p p = 4.47 L p ,
(8.90)
p
pp
nn
Ln
Captulo 8
np
pn
Lp
d Ln ,
224
(8.91)
Unin
Metalrgica
p
EC
n
E Fn
EFn
E Fp
EV
EFp
E Fp
np
= p p np .
(8.92)
n =
1
s = 0.56 ns Ln = 15.51 0.56 109 = 0.93m .
1.8 109
(8.93)
J=
qnd
= 18.49
kA
cm 2
Captulo 8
SECCIN 8.3
225
Captulo 8
226
RESUMEN
En este captulo se ha iniciado el estudio de los dispositivos
optoelectrnicos, empezando con los conceptos bsicos de la interaccin
luz-materia. Partiendo de las ecuaciones de Einstein se han definido los
coeficientes de absorcin y de ganancia de la intensidad luminosa en un
material cualquiera, se ha revisado sucintamente la teora de
semiconductores para establecer las reglas que rigen las transiciones entre
los estados de diferentes bandas, obteniendo la relacin bsica de
conservacin del momento cristalino, que distingue las transiciones
permitidas de las que no lo estn. De esta forma podemos explicar cmo
se produce la amplificacin de la luz en un semiconductor, es decir, como
funciona un amplificador ptico. Si ahora esta luz amplificada la hacemos
ir y volver entre dos espejos situados al inicio y final de la zona de
amplificacin de forma que se constituyan ondas estacionarias y podamos
por lo tanto seleccionar su frecuencia tenemos un oscilador con luz: un
lser. Como en todos los osciladores, se puede establecer una condicin
umbral para el arranque de la oscilacin, y otra de mantenimiento de la
misma. Hemos establecido tales condiciones, las hemos calculado en el
caso de semiconductores de bandas esfricas (tipo GaAs), definiendo a la
vez conceptos de uso ms general como la densidad conjunta de estados,
y se han determinado, la forma de la dependencia de la ganancia con la
frecuencia de la radiacin, as como el perfil de emisin espontnea.
Finalmente, se ha aplicado todo este conocimiento para la determinacin
de la condicin umbral de diodo lser de homounin de GaAs.
1.
Captulo 8
CUESTIONES Y PROBLEMAS
Un modelo algo ms realista del GaAs puede obtenerse
admitiendo que la banda de valencia est compuesta por dos
bandas, denominadas banda de huecos ligeros y banda de huecos
pesados, y se describen por la expresin (8.44), reemplazando mv*
por mlh* y mhh* respectivamente (lh = light holes, hh = heavy holes).
Estas bandas tienen la misma energa en k=0 y se pueden tratar
como bandas independientes. Pues bien, considrese una muestra
de GaAs intrnseco con me* = 0.067 m0, mlh* = 0.067m0,
mhh* = 0.55m0 siendo m0 la masa en reposo del electrn
(m0 = 9.110-31 Kg), y Eg = 1.43 eV. Mediante bombeo ptico se
generan 51018 cm-3 electrones en la banda de conduccin (e igual
densidad de huecos en total en las de valencia). Considerando
T=0K
SECCIN 8.3
227
3.
Captulo 8
228
dn
n
,
= G n2
D
dt
siendo D la vida media de difusin, que para este problema
tomaremos de 2.6 ns, y el coefienciente de recombinacin de
huecos y electrones, cuyo valor ser de 210-10 cm3/s.
a) Cul debe ser la concentracin mnima de portadores para que
la velocidad de recombinacin exceda a la de difusin? (Rta:
18
-3
1.910 cm )
b) Si se desea mantener una densidad de portadores de 31018 cmbombeando con un lser de argn que emite con =514,5 nm, y
cada fotn crea un par electrn hueco, obtener la potencia
absorbida por unidad de volumen de la radiacin de bombeo.
(Rta: 1.14109 W/cm3)
3
23
5.
68
1 m
12 meV
1.476 eV
Captulo 8
43 meV
CUESTIONES Y PROBLEMAS
229
6.
200
-1
(cm )
300
100
Eg=1.43 eV
Captulo 8
25 meV
230
REFERENCIAS
Captulo 8
CUESTIONES Y PROBLEMAS
231
Captulo
Fabricacin de una
oblea de Silicio
CRECIMIENTO DE
SEMICONDUCTORES.
ndice
9-1 Introduccin
9-2 Crecimiento
en
volumen.
Obtencin de Si cristalino.
9-3 Crecimiento
de
materiales
compuestos. Tcnica LEC. Mtodo de
Bridgman.
Objetivos
Palabras clave
Mtodo de Czochralski.
Mtodo de Zona Flotante.
Policristalin
Monocristalino.
Coeficiente de segregacin.
Tcnica LEC.
Mtodo de Bridgman.
Homoepitaxia.
Heteroepitaxia.
Epitaxia en fase liquida o LPE
Epitaxia en fase gaseosa o VPE
Epitaxia
por
haces
moleculares (M.B.E.).
Posicin intersticial
Posicin substitucional
Defecto Frenkel.
Gettering.
9.1
Introduccin
Captulo 9
Obtencin de Si puro.
234
Crecimiento en volumen.
Captulo 9
SECCIN 9.2
235
Captulo 9
236
Captulo 9
SECCIN 9.2
237
Cs
Cl
donde Cs y Cl son las concentraciones en equilibrio en el slido y en
el lquido respectivamente.
La Figura 9.2.3 muestra algunos lingotes crecidos por el mtodo
de Czochralski.
k0
Captulo 9
Dopante
As
Bi
C
Li
O
P
Sb
Te
Al
Ga
B
Si
k0
0.3
7x10-4
0.07
10-2
0.5
0.35
0.023
2x10-4
2.8x10-3
8x10-3
0.8
Au
2.5x10-5
Tipo
n
n
n
n
n
n
n
n
p
p
p
Dopante
S
Se
Sn
Te
C
Ge
Si
Be
Mg
Zn
Cr
GaAs
k0
0.5
0.1
0.08
0.064
1
0.018
2
3
0.1
0.42
5.7x10-4
Deep
lying
Fe
3x10-3
Tipo
n
n
n
n
n/p
n/p
n/p
p
p
p
Semiaislante
Semiaislante
238
(9.1)
S
M0 - M
(9.2)
de donde,
- dS = Cl k0 dM = k0
S dM
M0 - M
(9.3)
(9.4)
C0 M 0
- dM
dS
= k0
S
-M
0 M0
(9.5)
k0
(9.6)
(9.7)
Cl (M0 - M ) M
= 1
C0 M 0
M0
Captulo 9
Cl =
k0
(9.8)
Cs = C0 k0 1 M0
k0 - 1
(9.9)
SECCIN 9.2
239
2
dC
d C
+D
2
dx
dx
(9.10)
Captulo 9
C = A1 e- D x + A2
(9.11)
dC
D
+ ( Cl (0) - Cs ) v = 0
dx x=0
240
(9.12)
v
D
Cl - Cs
Cl (0) - Cs
(9.13)
Cs
k0
=
v
Cl k0 + (1 - k0 ) e- D
(9.14)
Cs = C0 ke 1 M0
ke - 1
(9.15)
Captulo 9
SECCIN 9.2
241
Captulo 9
242
(9.16)
(9.17)
k S
dS = C0 d A - e
L
dx
(9.18)
Integrando
x
dx =
S0
dS
C0 d A -
(9.19)
ke S
L
S=
k x
C0 A d L
1 - (1 - ke ) e- L
ke
e
Captulo 9
S
A d L
(9.21)
SECCIN 9.2
243
Cs = C0 1 - (1 - ke ) e
ke x
L
(9.22)
Puesto que Cs es menor que C0, este mtodo, al igual que el mtodo
de Czochralski puede emplearse para purificar cristales.
Para ciertos dispositivos conmutadores (tiristores) se utilizan
grandes reas del chip (una oblea entera para un slo dispositivo). Esto
implica la necesidad de un dopado homogneo en toda la oblea. Para obtener
esto, se utiliza una lmina de silicio monocristalino crecida mediante la
tcnica de "float-zone" con un dopado mucho ms pequeo que el
finalmente requerido. A continuacin, la lmina se irradia con neutrones
trmicos. Este proceso denominado irradiacin de neutrones da lugar a una
transmutacin del silicio en fsforo obtenindose silicio monocristalino tipon:
30
31
31
Si14 + neutrones Si14 + radiaci n P15 + radiaci n
La profundidad de penetracin de neutrones en silicio es de 100cm,
por lo que el dopado es muy uniforme en toda la lmina.
9.3
Captulo 9
244
9.3.2
Captulo 9
SECCIN 9.4
245
Captulo 9
A esta tcnica se le denomina tcnica LEC (Liquid-EncapsulatedCzochralski), y permite, de la misma forma que el mtodo de Czochralski
para el silicio, obtener GaAs monocristalino.
9.3.3
Tcnica de Bridgman
246
Cs = C0 k e 1 M0
ke
ke -1
Cs
k0
=
v
Cl k 0 + (1 - k 0 ) e- D
(9.23)
(9.24)
Captulo 9
SECCIN 9.4
247
Produccin de obleas.
Captulo 9
9.4
248
Captulo 9
SECCIN 9.4
249
9.5
Crecimiento epitaxial.
Captulo 9
250
9.5.2
Captulo 9
SECCIN 9.6
251
Captulo 9
252
(9.25)
3
Dg
2
d v
L
(9.26)
(9.27)
F F1 = F2
Captulo 9
SECCIN 9.6
253
Cs =
Cg
1 + ks
hg
(9.29)
Ca
k s h g Cg
k s + h g Ca
(9.30)
F
Ca
k s h g Cg
k s + h g Ca
(9.31)
(9.32)
(9.33)
Captulo 9
254
Captulo 9
SECCIN 9.6
255
9.6
Calidad
de
las
capas
dislocaciones,
impurezas
imperfecciones.
cristalinas.
residuales
Defectos,
y
otras
Un cristal real, tal como una oblea semiconductora como las que
acabamos de estudiar, difiere en varios aspectos de un cristal ideal:
1.- El cristal real es finito, por lo que los tomos de la superficie
estn incompletamente ligados, rompindose de esta forma la periodicidad
de la red.
2.Presenta defectos que influyen fuertemente sobre las
propiedades elctricas, mecnicas y pticas de los semiconductores.
Hay cuatro tipos de defectos diferentes en un semiconductor: (a)
puntuales ; (b) dislocaciones; (c) de rea, (d) de volumen.
Captulo 9
256
SECCIN 9.6
257
Captulo 9
258
tomos de impurezas son atrados hacia estos zonas, dejando el resto de las
zonas, donde se fabricarn los dispositivos libres de impurezas.
9
Figura 9.6.3: Gettering
Captulo 9
SECCIN 9.6
259
REFERENCIAS
[1]
[2]
[3]
[4]
Captulo 9
[5]
260
10
IMPURIFICACIN
Captulo
SEMICONDUCTORES.
CONTROLADA DE
Implantador
ndice
10-1 Introduccin. Difusin e
Implantacin Inica.
10-2 Difusin.
Ecuacin de Fick.
10-3 Perfiles de difusin.
10-4 Difusin extrnseca.
10-5 Efectos relacionados
con la difusin.
Objetivos
Conocer las razones por las que es necesario contaminar determinadas zonas de
una muestra semiconductora.
de
semiconductores.
Establecer
las
principales
ventajas,
Difusin lateral.
Palabras Clave
Difusin.
Implantacin Inica.
Impurezas.
Substitucional.
Vacantes.
Intersticios.
Ecuacin de Fick.
Perfil Impurezas.
Coeficiente de difusin.
Difusin Intrnseca.
Difusin extrnseca.
Difusin con concentracin
de dopante constante en la
superficie.
Difusin con cantidad de
dopante constante.
Mscaras.
Difusin lateral.
Rango.
Rango proyectado.
Parada nuclear.
Parada electrnica.
Acanalamiento.
Implantacin lateral.
Captulo 10
Dopantes
Defectos puntuales, que
consisten en tomos de
impurezas que sustituyen a un
tomo de la red cristalina,
ocupando su misma posicin, y
que suelen tener un electrn ms
(donadores) o un electrn menos
(aceptores), modificando de esta
forma la conductividad intrnseca
del cristal al aadir portadores de
carga: electrones en el caso de
impurezas donadoras, y huecos
en el caso de impurezas
aceptadoras.
264
Captulo 10
265
Captulo 10
266
Captulo 10
267
Captulo 10
268
1.2.1
Ecuacin de Fick.
(a)
(b)
Captulo 10
Figura 2.7 Mecanismos de difusin: (a) por vacantes; (b) por intersticios.
En general ambos mecanismos de difusin pueden estar
presentes en el movimiento de las impurezas a travs de un substrato
cristalino, aunque dependiendo del tipo de impureza o substrato puede
dominar uno u otro mecanismo. En general, la facilidad de una impureza
269
F (x ) = D
C ( x )
x
(10.1)
Superficie
semiconductor
F(x)
F(x+dx)
dx
Captulo 10
270
C ( x, t )
dx = F ( x ) F ( x + dx )
t
(10.2)
C (x, t )
F ( x ) C ( x, t )
=
=
D
t
x
x
x
(10.3)
C ( x, t )
2 C ( x, t )
=D
t
x 2
(10.4)
D = D0 e
Ea
kT
(10.5)
Captulo 10
271
Captulo 10
272
1.3.1
C ( x, t = 0) = 0
(10.6)
C ( x = 0, t ) = cte = C S
(10.7)
C ( x = , t ) = 0
(10.8)
x
C ( x, t ) = C S erfc
2 Dt
(10.9)
Captulo 10
273
Q (t ) = C ( x, t )dx
(10.10)
Q (t ) =
C S Dt 1.13 Dt
(10.11)
Captulo 10
dC
dx
1.3.2
x2
x ,t
C
= S e 4 Dt
Dt
(10.12)
274
C ( x, t = 0 ) = 0
(10.13)
C (x, t )dx = S
(10.14)
C ( x = , t ) = 0
(10.15)
S
e 4 Dt
C ( x, t ) =
Dt
(10.16)
C ( x = 0, t ) C S (t ) =
S
Dt
(10.17)
x ,t
xS
=
e 4 Dt
32
2 (Dt )
(10.18)
Captulo 10
dC
dx
275
Captulo 10
276
Captulo 10
277
C ( x, t ) C ( x, t )
= D
t
x
x
(10.19)
C
D = DS
CS
(10.20)
Captulo 10
278
Captulo 10
279
(Dt )eff
(10.22)
(Dt )eff
D
= D1t1 + D1t 2 2 = D1t1 + D2 t 2
D1
(10.22)
(Dt )eff
= D1t1 + D2 t 2 + K = Di ti
Captulo 10
280
(10.23)
1.5.2
Captulo 10
281
Captulo 10
282
1.5.3
(10.23)
Captulo 10
283
Captulo 10
284
Captulo 10
285
Difusin lateral
Captulo 10
a 10
16
286
Captulo 10
287
Figura 10.6.2.
Figura 10.6.3.
A lo largo del eje de incidencia, el perfil de las impurezas
implantadas puede aproximarse por una funcin gaussiana (Ecuacin
10.25) tal como muestra la figura 10.6.4.
n( x ) =
S
e
2 R p
xRp
)2
2 R 2p
Captulo 10
288
(10.25)
C p n( R p ) =
S
2 R p
(10.26)
Captulo 10
289
Captulo 10
Figura 10.6.5. Rango proyectado, Rp, y desviacin tpica, Rp, para los
dopantes ms usuales en silicio, en funcin de la energa de implantacin.
290
Ejemplo 10.1
Considere un proceso de implantacin inica de boro con una
dosis S de 5x1014cm-2 y una energa de 80keV. Calcule la
concentracin de boro en el mximo del perfil.
Solucin
dn
S
=
dx
2 R p
(x R ) e
p
xRp
2 R 2p
2
p
)2
=0
(10.27)
C p n( R p ) =
S
2 R p
(10.28)
S n (E ) =
dE
dx
Captulo 10
291
Captulo 10
292
S e (E ) =
dE
dx
(10.29)
e
dE dE
dE
=
+
= S n (E ) + S e (E )
dx dx n dx e
(10.30)
E0
R = dx =
dE
S n ( E ) + S e (E )
(10.31)
S e (E ) = k e E
(10.32)
Captulo 10
293
Rp
R p
R
M
1+ 2
3M 1
2 M 1 M 2
Rp
3 M 1 + M 2
(10.33)
(10.34)
Captulo 10
294
Captulo 10
295
Captulo 10
296
Figura 10.8.1. rboles de desorden para iones ligeros (boro), y para iones
pesados (arsnico).
Captulo 10
297
(x R p )2
n( x ) =
S
2 (R 2p + 2 Dt )
e
2 R p
(10.35)
Captulo 10
298
Captulo 10
299
1.9.1
C ( xm ) = C e
*
*
p
(x
)
( )
* 2
m Rp
* 2
2 R p
C substrato
(10.36)
C*
xm = R *p + R *p 2 ln p = R *p + mR *p
CB
(10.37)
Sp =
S
2 R *p
xm
(x
)
)
* 2
m Rp
2
2 R*p
x m R *p
S
dx = erfc
2 R *
2
p
(10.38)
Implantacin lateral
Captulo 10
300
Acanalamiento
Captulo 10
301
Captulo 10
302
RESUMEN
Para controlar la conductividad localmente en una muestra
semiconductora es necesario impurificar el semiconductor con impurezas
en posicin susbstitucional. Se han estudiado las diferentes tcnicas de
contaminacin controlada (difusin e implantacin inica) resaltando las
ventajas e inconvenientes de cada proceso. Se han obtenido expresiones
analticas para ambos procesos, que proporcionan el perfil de impurezas
en funcin de los parmetros tecnolgicos de cada proceso.
1.
2.
Captulo 10
CUESTIONES Y PROBLEMAS
RESUMEN
303
REFERENCIAS
Captulo 10
304
11
11
Captulo
CRECIMIENTO Y
DEPOSICIN DE
PELCULAS DELGADAS
Horno de Oxidacin
ndice
11-1 Introduccin
11-2 Oxidacin trmica
11-3 Deposicin de dielctricos
Objetivos
Palabras Clave
xidos nativos
Oxidacin
Oxidacin seca
Oxidacin hmeda
Cintica de oxidacin
xidos delgados
Silano
CVD
LPCVD
PCVD
TEOS
Nitruro de silicio
LOCOS
Polisilico
PVD
Metalizacin
Sputtering
Metales refractarios
Siliciuros
Electromigracin
11.1 Introduccin
Para la fabricacin tanto de dispositivos discretos cmo de
circuitos integrados es necesario construir diferentes lminas delgadas.
Estas lminas delgadas pueden ser clasificadas en cuatro tipos: xidos
trmicos (xidos crecidos trmicamente), capas de aislantes, silicio
policristalino y pelculas metlicas. La figura 11.1.1 muestra un grfico
esquemtico de un MOSFET canal-n en el que se observan los cuatro
tipos de lminas delgadas anteriores
Captulo 11
308
309
Captulo 11
Captulo 11
310
Si ( s ) + O2 (g ) SiO2 (s )
(11.1)
Si ( s ) + 2 H 2O (g ) SiO2 (s ) + 2 H 2
(11.2)
311
Captulo 11
Captulo 11
312
F1 = D
C Cs
dC
D 0
dx
x
(11.3)
F2 = kC s
(11.4)
F=
DC0
D
x+
k
(11.5)
reaccin de las especies oxidantes con silicio forma dixido de silicio. Sea
C1 el nmero de molculas de especies oxidantes en una unidad de
volumen del xido. Por cada cm3 de xido hay 2.2x1022 molculas de
dixido de silicio. Por cada molcula de SiO2 se necesita una molcula de
oxgeno (O2) y dos molculas de (H2O). Por lo tanto, C1=2.2x1022 cm-3
para la oxidacin en oxgeno seco, mientras que C1=4.4x1022 cm-3 en
oxidacin con vapor de agua. La velocidad de crecimiento de la capa de
xido viene dada por el cociente entre la velocidad de molculas que
llegan a la interface Si-SiO2 y las que se incorporan a la capa de xido:
C0
C1
dx F
=
=
dt C1
D
x+
k
D
(11.6)
313
Captulo 11
x2 + 2
2 DC0
D
(t + )
x=
k
C1
(11.7)
2 2 Dd 0
d0 +
C1
k
2 DC0
(11.8)
x=
2C k 2 (t + )
D
1+ 0
1
k
DC1
(11.9)
1+ x 1+
x
, con lo que el espesor de xido
2
queda:
x=
kC0
(t + )
C1
(11.10)
2C0 D (t + )
x =
C
1
(11.11)
Captulo 11
314
2D
k
(11.12)
2 DC0
C1
(11.13)
x 2 + Ax = B (t + )
(11.14)
Regin lineal:
B
(t + )
A
(11.15)
x 2 = B (t + )
(11.16)
x=
Regin parablica:
315
Captulo 11
Captulo 11
316
317
Captulo 11
Captulo 11
318
d 0 (d 0 + A)
= 0.028 hr
B
(11.17)
x 2 + Ax = B (t + )
(11.18)
319
Captulo 11
Captulo 11
320
SiH 4 + O2 SiO2 + 2 H 2
4 PH 3 + 5O2 2 P2O5 + 6 H 2
(450 C )
(450 C )
(11.19)
(11.20)
321
Captulo 11
(11.21)
Captulo 11
322
3 = arctg
W
l
(11.22)
323
Captulo 11
3SiCl2 H 2 + 4 NH 3
Si3 N 4 + 6 HCl + 6 H
(11.23)
Captulo 11
324
SiH 4
Si + 2H 2
(11.24)
325
Captulo 11
11.5 Metalizacin
El proceso de metalizacin se refiere a la formacin de pelculas
metlicas usadas para interconectar los diferentes dispositivos de un
mismo circuito integrado, y crear contactos hmicos o contactos
rectificadores metal-semiconductor. Las pelculas metlicas puede crearse
mediante diferentes tcnicas, de entre las que destacan PVD (Physical
Vapor Deposition) y CVD (Chemical Vapor Deposition).
Physical Vapor Deposition (PVD)
Captulo 11
326
327
Captulo 11
Captulo 11
328
329
Captulo 11
parecidas a las del polisicilio pero con una menor resistividad (50
/cm).
Electromigracin
Un fenmeno relacionado con la interconexin de los circuitos
integrados y que supone un serio problema de fiabilidad de los circuitos
integrados es la electromigracin que puede provocar el malfuncionamiento de un circuito integrado tras cientos de horas de buen
funcionamiento, debido a la ruptura de alguna de sus conexiones internas.
El fenmeno de la electromigracin se debe al movimiento de los
tomos del material conductor que forma la conexin debida a la
transferencia de momento entre los portadores mviles y los tomos del
metal. En aluminio, los electrones al moverse colisionan con los tomos
que empujan hacia el electrodo positivo. Este trasiego de material hacia el
terminal positivo debilita la capa metlica que acaba rompindose: En el
caso del aluminio la electromigracin empieza a ser importante para
densidades de corriente del orden de 105 A cm-2. Este fenmeno puede
reducirse aadiendo pequeas cantidades de otro metal como cobre.
Pueden emplearse tambin metales refractarios como el tungsteno.
Captulo 11
330
RESUMEN
En este capitulo se han analizado las tcnicas principales para la
obtencin de diferentes pelculas delgadas necesarias para la fabricacin
de dispositivos electrnicos. Estas pelculas pueden formar parte de los
propios dispositivos electrnicos, o son necesarias en el proceso de
fabricacin de las mismas. Empezamos estudiando la obtencin de
dielctricos y principalmente el dixido de silicio, un buen aislante
fcilmente obtenible. Se distingue entre xidos nativos (aquellos
obtenidos directamente del propio silicio del substrato por oxidacin) y de
los xidos depositados (aquellos en los que el xido se obtiene a partir de
una fuente de silicio externa). Se estudian las diferentes propiedades y
usos del dioxido de silicio dependiendo de la tcnica utilizada para su
obtencin. A continuacin se estudia la deposicin de otros dielctricos,
como el nitruro de silicio. Finalmente se estudia la deposicin de pelculas
de polisilicio y pelculas metlicas.
1.
2.
RESUMEN
331
Captulo 11
CUESTIONES Y PROBLEMAS
REFERENCIAS
Captulo 11
332
12
12
Captulo
LITOGRAFA Y
GRABADO
ndice
12-1 Litografa
12-2 Grabado
Objetivos
Explicar como son las instalaciones donde se realizan estos procesos, las llamadas
Salas Blancas y que condiciones deben cumplir.
Palabras clave
Litografa UV
Litografia rayos X
Haces de electrones
Fotorresina positiva
Fotorresina negativa
Mascara
Grabado seco
Grabado humedo
Ataque isotrpico
Ataque anisotrpico
Selectividad en el grabado
Sala Blanca
Escalonador
Reactive Ion Etching (RIE)
Captulo 12
12.1
Litografa
Una vez creada la capa de aislante SiO2 sobre la oblea, parte de ella
debe ser eliminada selectivamente en aquellos sitios en los que den
introducirse los tomos de dopante. El grabado selectivo se realiza
generalmente mediante el uso de un material sensible a la luz denominado
fotorresina. Para ello, la oblea oxidada se cubre en primer lugar por una
capa de fotorresistencia. A continuacin se recubre la fotorresistencia con
un negativo fotogrfico parcialmente transparente denominado mscara o
fotomscara.
336
CAPTULO 12
LITOGRAFA Y GRABADO
Captulo 12
SECCIN 12.1
337
Captulo 12
338
CAPTULO 12
LITOGRAFA Y GRABADO
Captulo 12
12.2
Grabado
Una vez que los patrones se han grabado sobre la fotorresistencia por
alguna de las tcnicas de litografa estudiadas, y se ha disuelto la parte no
polimerizada de sta mediante el uso de tricloroetileno, es necesario
eliminar la parte de SiO2 no protegida para abrir las ventanas deseadas en
el xido, que dejen a la vista el substrato de silicio. Para eliminar la parte
de xido no protegido puede usarse un bao de cido fluorhdrico que
ataca al dixido de silicio no protegido, pero no ataca al silicio. Existen un
gran nmero de diferentes reactivos qumicos que atacan a los materiales
selectivamente de manera que eliminan la capa de xido pero producen un
ataque muy pequeo sobre los materiales subyacentes. Esta tcnica se
denomina grabado qumico o grabado hmedo.
Generalmente el ataque qumico de la capa de xido suele ser isotrpico,
es decir, por igual en todas las direcciones (aunque existen algunas
excepciones). Esto significa que el xido no slo se ataca hacia abajo sin
que tambin se ataca lateralmente por debajo del protector:
SECCIN 12.2
339
Captulo 12
se inicia por electrones libres que tras ser proporcionados por un electrodo
polarizado negativamente adquieren energa cintica gracias al campo
elctrico. En el transcurso de su viaje a travs del gas los electrones
chocan con las molculas del gas y pierden su energa. La energa
transferida durante las colisiones hace que las molculas del gas se
ionicen. Las concentracin de electrones en un plasma empleado para
grabado en seco suele ser baja, del orden de 109 a 1012 cm-3. Las
molculas ionizadas del plasma son aceleradas perpendicularmente a la
oblea, donde chocan con los tomos del semiconductor, que adquieren
energa para liberarse de los enlaces que los mantienen unidos al mismo.
(en otros casos los molculas ionizadas reaccionan qumicamente con el
material que debe ser atacado, con lo que se consigue una mayor
selectividad (RIE.reactive-ion-etching). De esta forma se eliminan los
tomos de la superficie, llevndose a cabo el grabado. Como no se
produce bombardeo sobre las paredes laterales el grabado lateral es
mucho ms pequeo que el grabado perpendicular, con lo que se consigue
un alto grado de anisotropa. Existe sin embargo un inconveniente
importante, que es la prdida de selectividad en el grabado, de tal forma
que tambin el substrato se ve afectado por el ataque.
El proceso de accin de grabado por plasma queda esquematizado en la
Figura 12.2.2
340
CAPTULO 12
LITOGRAFA Y GRABADO
Captulo 12
SiO2
SiO2
SUBSTRATO Si
SUBSTRATO Si
una
resina
LUZ UV
Tricloroetileno
Fotorresina +
Fotorresina +
SiO2
SiO2
SUBSTRATO Si
SUBSTRATO Si
R.I.E
Fotorresina +
Fotorresina +
SiO2
SiO2
SUBSTRATO Si
SUBSTRATO Si
Fotorresina +
SiO2
SiO2
SUBSTRATO Si
SUBSTRATO Si
SECCIN 12.2
341
Captulo 12
REFERENCIAS
[1] S. Sze. VLSI Technology, Ed. Mcgraw-Hill
[2] J.D.Plummer, M.D.Deal, P.B.Griffin, Silicon VLSI Technology,
Ed.Prentice Hall
342
CAPTULO 12
LITOGRAFA Y GRABADO
13
TECNOLOGA DE
FABRICACIN DE
Captulo
CIRCUITOS
SOI MOSFET
ndice
13-5 Tecnologa CMOS
13-1 Introduccin
13-2 Componentes pasivos en un circuito 13-6 Tecnologa SOI
13-7 Tecnologa BiCMOS
integrado
13-3 Tecnologa bipolar
13-8 Tecnologa MESFET
13-4 Tecnologa NMOS
Objetivos
Palabras Clave
Resistencia laminar
Capacidades integradas
NMOS, CMOS, SOI
BiCMOS, MESFET
Difusin
Implantacin
Oxidacin
Si3N4
Mscara
Fotorresistencia
Litografa
Grabado
Eltran, Smart Cut
Silicio Poroso
xido enterrado
Aislamiento en trinchera y
meseta
Latchup
13.1
Introduccin
Captulo 13
346
13.2
13.2.1
Captulo 13
(13.1)
W
dx ,
L
(13.2)
347
xj
G = dG = q
Captulo 13
W
L
xj
p p ( x ) dx .
(13.3)
1
xj
q pp ( x ) dx
(13.4)
L
R .
W
(13.5)
Capacidades integradas
348
Captulo 13
349
13.3
Tecnologa Bipolar
Captulo 13
n+
Silicio p
350
SiO2
n
+
Silicio p
n
+
Silicio p
351
Captulo 13
n+
Silicio p
Emisor de
polisilicio
n
+
Contacto
de colector
Silicio p
352
Captulo 13
Proceso de fabricacin
353
Captulo 13
Tecnologa CMOS
354
Captulo 13
355
Captulo 13
SiO2
SiO2
Regin Activa
Pozo n
Silicio p
356
SiO2
SiO2
Captulo 13
Pozo n
Silicio p
Pozo n
Silicio p
357
Captulo 13
como barrera para este implante para proteger la regin del canal. Se
puede usar una capa de material fotorresistente para impedir que las
impurezas de As alcancen el transistor de canal p. El xido de campo de
elevado grosor detiene el implante e impide que se formen regiones n+
fuera de las regiones activas.
Implante de arsnico
Fotoresistencia
Pozo n
Silicio p
Fotoresistencia
Pozo n
Silicio p
358
Captulo 13
SiO2
n+
n+
p+
Pozo n
Silicio p
SiO2
n
p+
p+
Pozo n
Silicio p
Tecnologa SOI
359
Captulo 13
360
Captulo 13
Smart Cut
361
Captulo 13
Tecnologa BiCMOS
362
Captulo 13
Tecnologa MESFET
363
Captulo 13
364
qV
qV
I = A*T 2 S exp b exp GS ,
kT
nkT
Captulo 13
365
Captulo 13
366
Captulo 13
RESUMEN
En este captulo se ha estudiado la tecnologa de fabricacin de
circuitos integrados. Se ha tratado de explicar brevemente la secuencia de
procesos necesarios para fabricar un dispositivo en cada una de las
tecnologas seleccionadas basndonos en las explicaciones de captulos
previos dedicados al estudio de la oxidacin, difusin, implantacin
inica, litografa, etc.
Se ha hecho un recorrido por las diferentes tecnologas que
histricamente han jugado un papel importante. Algunas como la bipolar
y NMOS se encuentran en un claro declive ya que sus aos de apogeo
pasaron y han sido sustituidas por la CMOS que actualmente domina el
mercado con claridad. Para algunas aplicaciones especficas podemos
encontrar la BiCMOS. Muy importante en nuestros das es el silicio sobre
aislante (SOI) que est conquistando rpidamente una importante cuota de
mercado debido a las ventajas que le confiere el aislante enterrado. Existe
la posibilidad de fabricar dispositivos con materiales diferentes al silicio
como por ejemplo el GaAs, AlGaAs, InP, etc. Sin embargo todos ellos
ocupan nichos de mercado muy restringidos a aplicaciones especficas
(comunicaciones aerospaciales o militares fundamentalmente). Nunca han
tenido xito debido a sus elevados costes y a la constante mejora de la
tecnologa de silicio que sigue inexorable la Ley de Moore.
Por supuesto existen variantes a los procedimientos aqu
mostrados ya que por ejemplo no sera lo mismo fabricar un dispositivo
de potencia que otro diseado para actuar a frecuencias elevadas. No
obstante, conocidos los procesos bsicos la alteracin de la secuencia no
implica una mayor dificultad conceptual.
RESUMEN
367
Captulo 13
REFERENCIAS
[1] S. Wolf. Silicon Processing for the VLSI Era, Volume 4.
Lattice Press, 2002.
[2] Gray, Hurst, Lewis and Meyer. Analysis and Design of
Analog Integrated Circuits. John Wiley and Sons, 4th Edition, 2001.
[3] A.S. Sedra and K.C. Smith. Microelectronic Circuits. Oxford
University Press, New York, 1998, p. 139.
[4] G. K. Celler, S. Cristoloveanu, Frontiers of silicon-on
insulator; J. Appl. Phys., vol. 93, no.9, pp. 4955-4978, 2003.
[5] http://www.soitec.com
[6] http://www.sigen.com (Technology; Technical References)
[7] http://www.canon.com/technology/detail/device/soi
368
14
14
Captulo
ASPECTOS
INDUSTRIALES DE LA
FABRICACIN DE
ndice
14-1 Tcnicas de diagnstico
14-2 Tcnicas
de
ensamblaje
empaquetamiento
Objetivos
Palabras clave
Nomarski
SEM
TEM
Auger
NAA
RBS
SIMS
XRF
XPS
Reflactancia laser
Channeling
X ray diffraction
TED
EBIC
Empaquetado cermico
Empaquetado plstico
Back grinding
Dicing
Chip bonding
Pegado eutectico
Wire bonding
Empaquetamiento TCP
Empaquetamiento Flip-Chip
Rendimiento
Fiabilidad
Captulo 14
Acrnimo
Auger electron
Spectroscopy
AES
EBIC
Laser reflectance
LR
Neutron activation
Analysis
NAA
Normarski interference
contrast optical
microscopy
Determina
cin de la
morfologa
Anlisis
Qumico
Estructura
cristalogrfica Mapeo
y propiedades Elctri
mecnicas
co
X
X
X
X
Rutherford
backscattering
spectroscopy
RBS
Scanning electron
microscopy
SEM
SIMS
Transmission electron
diffraction
TED
Transmission electron
microscopy
TEM
Voltage contrast
microscopy
VC
X-ray diffraction
XRD
X-ray emission
microscopy
XES
X-ray fluorescence
XRF
X-ray photoelectron
spectroscopy
XPS,
ESCA
(X)
(X)
(X)
X
X
X
(X)
(X)
X
372
Rayo incidente
Radiacin secundaria
Electrn
Radiacin
X-ray
Energa
E0 (keV)
Tipo
Energa
(eV)
Procedi
miento
analtico
2-10
Auger
20-200
AES
2-40
Secunda
ria
<10
SEM(VC)
2-40
Backscattared
<E0
SEM(BS)
Electrn
20-200
X-ray
<2
<50
Captulo 14
Primary
ionized
20-200
Energa
Procedi
miento
analtico
<E0
XES
<E0
XFR
XPS
SECCIN 14.1
373
Captulo 14
0.61
NA
(14.1)
374
Captulo 14
detectarse por encima de los 400 aumentos y el limite superior para una
ampliacin til esta comprendido entre los 1000 y 2000 aumentos. Para
muchos de los problemas que requieren el anlisis de la morfologa de la
superficie una resolucin lateral de 0.25 o incluso 1m es bastante
aceptable. Un nivel de resolucin vertical as es tambin til , permite la
clara identificacin de zonas con grosores hasta de 200.
El sistema de microscopia por contraste de interferencia de
Nomarski se muestra en la Figura 14.1.3:
SECCIN 14.1
375
Captulo 14
376
Captulo 14
SECCIN 14.1
377
Captulo 14
378
Captulo 14
SECCIN 14.1
379
Captulo 14
380
Captulo 14
SECCIN 14.1
381
Captulo 14
382
Captulo 14
SECCIN 14.1
383
Captulo 14
i Ii
j I j
(14.2)
384
Captulo 14
SECCIN 14.1
385
Captulo 14
(14.3)
386
= KE0 E1 = [] N Z
SECCIN 14.1
387
Captulo 14
31
5x1015
P
11 +
Boro
O2+, OB
1x1013
16 Oxigeno
Cs+
O
1x1017
1 Hidrogeno
Cs+
H
5x1018
Tabla 14.1.4: Parmetros SIMS para la deteccin de algunos
elementos relacionados con problemas de la tecnologa
Fsforo
388
Captulo 14
SECCIN 14.1
389
Captulo 14
390
Captulo 14
Propiedades
mecnicas
SECCIN 14.1
391
Captulo 14
Tipos de problemas
XRD
Camera
XRD
Diffractometer
TED
RBS
(channe
lling)
LR
TEM
Identificacin de fase
Bueno
Bueno
Bueno
No
No
No
Orientacin preferente
Bueno
Pobre
Bueno
No
No
No
Aceptable
Bueno
Aceptab
No
No
No
Presencia de regiones
amorfas
Bueno
Bueno
Bueno
Bueno
No
Bueno
Localizacin en la red
de tomos de impurezas
No
No
No
Bueno
No
No
Bueno
Aceptable
No
No
No
Pobre
Anlisis de defectos
cristalograficos
No
No
No
No
No
Bueno
Stres
Pobre
Bueno
Pobre
No
Bueno
Pobre
392
Captulo 14
SECCIN 14.1
393
Captulo 14
(14.5)
394
Captulo 14
SECCIN 14.1
395
Captulo 14
396
Captulo 14
SECCIN 14.1
397
Captulo 14
Figura 14.1.27: Esquema de la medida EBIC (a) de una unin PN, (b) de
una unin de barrera Schottkly, (c) de una capacidad. La energa del haz
incidente es k0.
La tcnica EBIC se suele utilizar para estudiar las barreras
Schottky y las uniones PN detectndose los defectos en el silicio como las
fault stacking, dislocaciones e inhomogeneidades segregadas durante el
proceso de crecimiento del cristal. La microscopia EBIC puede utilizarse
tambin para detectar defectos en los xidos delgados de las capacidades
debido al aumento local de la corriente tnel con un alto campo que
aparece en esos sitios. En todos los casos los defectos crean una
perturbacin local de la corriente la cual crea un contraste de imagen. Por
398
Captulo 14
SECCIN 14.1
399
Captulo 14
400
Captulo 14
SECCIN 14.2
401
Captulo 14
402
Captulo 14
SECCIN 14.2
403
Captulo 14
404
Captulo 14
SECCIN 14.2
405
Captulo 14
406
14.2.3.1.2
Captulo 14
SECCIN 14.2
407
Captulo 14
wedge bonded). Cuando se usa el aluminio como material las dos uniones
son de cua y se realizan por vibracin ultrasnica, unin cua-cua,
(wedge-wedge bonded).
Figura 14.2.9: Fotografia del proceso de wire bonding del tipo una unin
bola-cua http://www.netmotion.com/
http://www.smallprecisiontools.com/caps_bond_cycle.htm
408
Captulo 14
SECCIN 14.2
409
Captulo 14
410
Captulo 14
SECCIN 14.2
411
Captulo 14
412
Captulo 14
Figura 14.2.13: Esquema de la unin de los contactos del chip con los
terminales del encapsulado mediante la tcnica flip chip
www.mm.fh-heilbronn.de/wehl/ projekte/lotdruck.htm
http://education.netpack-europe.org/
http://extra.ivf.se/ngl/
.
SECCIN 14.2
413
Captulo 14
414
Captulo 14
SECCIN 14.3
415
Captulo 14
416
Captulo 14
SECCIN 14.3
417
REFERENCIAS
[1] VLSI Technology, Sze, Ed. Mcgraw-Hill
[2] ULSI Technology, Chang and Sze, Ed. Mcgraw-Hill
Captulo 14
418
15
Captulo
Concentracin de electrones
en un DGSOI
MODELOS PARA
SIMULACIN DE
DISPOSITIVOS
ELECTRNICOS
ndice
15-1 Modelado de Dispositivos
15-4 Discretizacin del Espacio Continuo
15-2 Clasificacin de los Simuladores
15-5 Condiciones de Contorno
15-3 Modelos de Movilidad y Generacin- 15-6 Simuladores Comerciales
Recombinacin
Objetivos
Palabras Clave
Ecuacin de Poisson
Ecuacin de Continuidad
Ecuacin de Transporte
de Boltzmann
Modelo de Difusin-Deriva
Relacin de Einstein
Modelo Hidrodinmico
Modelo Shockley-Reed-Hall
Recombinacin Auger
Mtodo de Diferencias Finitas
Condicin
de
contorno
Dirichlet
Condicin
de
contorno
Neumann
Captulo 15
Modelado de Dispositivos
Toda serie de modelos y
mtodos que describen el
transporte de portadores,
distribuciones de potencial y de
campos en una estructura a
estudio.
422
( V ) = .
Captulo 15
(15.2)
k'
S ( k , k' ) f ( r , k , t ) 1 f ( r , k ', t )
k'
423
Captulo 15
(15.3)
p
1
= J p +U p
t
q
(15.4)
(15.5)
J n = qp p E qD p p
(15.6)
(15.7)
El Modelo Hidrodinmico
424
n = f ( r , k , t ) d 3k
(15.8)
nv = v ( k ) f ( r , k , t ) d 3 k
(15.9)
W=
m* 2
3
v ( k ) f (r, k, t ) d k
2
(15.10)
15.2.3
Captulo 15
425
(15.11)
Captulo 15
426
(15.12)
(15.13)
(15.14)
tr = 0 ln ( r )
(15.15)
n n ( k )
(15.16)
427
N 1
( k ) < r < ( k ).
j =1
j =1
(15.17)
Captulo 15
(15.18)
Modelos de Movilidad
428
E
1+ eff
E crit
(15.19)
1
1
1
eff =
+ +
ac b sr
Captulo 15
(15.20)
eff
E
1 + effsat
v
(15.21)
sat
Modelos de Generacin-Recombinacin
429
U SRH =
donde
np - ni2
q( Et Ei )
q( Ei Et )
kT
kT
+
+
p n + ni e
p
p
e
n
i
(15.22)
Captulo 15
(15.23)
E crit
exp n
J n + a p
E crit
p
exp
Jp
(15.24)
430
15.4.1
u x 2 2 u
+
+ O x 3
2 x 2
x
( )
(15.25)
u ( x x ) = u ( x ) x
u x 2 2 u
+
+ O x 3 .
2 x 2
x
(15.26)
( )
Estabilidad:
Se dice que un esquema es
estable si la solucin permanece
acotada durante el proceso de
resolucin.
Convergencia:
Un esquema es convergente
cuando la solucin numrica se
acerca a la solucin real cuando
el tamao del mallado y el paso
temporal tienden a cero.
Consistencia:
Un esquema es consistente si el
error de truncamiento tiende a
cero cuando el tamao del
mallado y el paso temporal
tienden a cero.
(15.27)
(15.28)
( )
(15.29)
u ( x + x ) 2u ( x ) + u ( x x )
x 2
( )
+ O x 2 .
( )
Los trminos en O ( x ) y O x 2
(15.30)
indican el error de
431
Captulo 15
Captulo 15
( t ) b D ( t ) = 0
(15.31)
( J n + J p ) dA - I D ( t ) = 0
Do
(15.32)
(15.33)
n p C = 0
(15.34)
C = N D+ N A .
(15.35)
p=
432
C 2 + 4ni2 + C
2
C 2 + 4ni2 C
2
(15.36)
(15.37)
Interfases:
sem
ins
sem
= Qint
(15.38)
ins
J n n = qR SURF
(15.39)
J p n = qR SURF
(15.40)
Captulo 15
Fronteras artificiales:
En este caso las fronteras son impuestas bien porque el
dispositivo es demasiado grande y en esa zona las
variaciones de las magnitudes son muy pequeas (por
ejemplo en las zonas lejanas a la regin de deplexin de un
MOSFET) o por consideraciones de autocontencin para el
espacio a simular (zonas de drenador y fuente en las que no
se aplica directamente el potencial externo y no estn
cubiertas por xido).
Es posible aplicar condiciones de tipo Dirichlet o tambin de
tipo Neumann
=0
n
(15.41)
n
=0
n
(15.42)
p
=0
n
(15.43)
433
Captulo 15
434
Captulo 15
(15.44)
(15.45)
( x ) = f ( x, nt ) .
EJEMPLO 15.1
435
f n +1 ( x ) f n ( x )
t
=a
f n ( x + x ) 2 f n ( x ) + f n ( x x )
(15.46)
x 2
f n ( x + x ) 2 f n ( x ) + f n ( x x )
x 2
(15.47)
Captulo 15
( x ) 2
2a
(15.48)
y a = 1,
436
Captulo 15
% Incremento de tiempo
% Incremento espacial
% Coeficiente de difusion
sol(51,1)= 1e7;
% Resolucion de la ecuacion
for i=2:300
for j=2:100
sol(j,i)=(dif*dt/(dx*dx))*(sol(j+1,i-1)
-2*sol(j,i-1)+sol(j-1,i-1))+sol(j,i-1);
end
end
EJEMPLO 15.1
437
RESUMEN
Captulo 15
438
REFERENCIAS
[1] http://silvaco.com/products/TCAD.html
[2] www.research.ibm.com/DAMOCLES/home.html
[3] www.ise.ch
Captulo 15
REFERENCIAS
439
16
MODELOS PARA
SIMULACIN DE
Captulo
PROCESOS
Simulacin
ndice
16-1
16-2
16-3
16-4
16-5
16-6
Objetivos
Palabras Clave
Difusin
Silicidacin
Oxidacin
Implantacin Inica
Grabado (Etching)
Deposicin
SiGe
Epitaxia
Materiales amorfos y
cristalinos
Athena, SSuprem4
Simulacin Monte Carlo
Ley de Fick
RTA
ETD, OED
Distribuciones
Gaussiana,
Pearson y doble Pearson
Modelo CNET de difusin
Stress
Clusters
Captulo 16
Simulacin de Procesos
Permite fijar una secuencia de
procesos del tipo oxidacin,
implantacin inica, difusin,
grabado, crecimiento epitaxial,
as como establecer la duracin
temporal y la temperatura a la
que se produce cada uno de
ellos para poder predecir la
estructura resultante.
442
16.2.1
Captulo 16
443
16.2.2
(16.1)
Captulo 16
(16.2)
16.2.3
Modelo de Fermi
444
16.2.4
Modelo bidimensional
l = Dx t
Captulo 16
445
Captulo 16
446
(16.4)
Captulo 16
CC C Aeq
(16.5)
eq
es la
A = A0 exp
TRACT .E
kT
(16.6)
447
16.2.10
Modelo
CNET
concentraciones
de
difusin
para
elevadas
Captulo 16
448
16.2.11
Captulo 16
449
modelos bidimensionales de oxidacin se basan en la teora linealparablica de Deal y Grove [Deal 1965] en la que la oxidacin del silicio
se modela considerando tres procesos:
(1) El oxidante (H2O, O2) se transporta desde el gas ambiente al
interior del SiO2 a travs de la interfase gas/SiO2.
(2) El oxidante se transporta a travs de la capa de SiO2 hasta
alcanzar la interfase Si/SiO2.
(3) El oxidante, al alcanzar la interfase Si/SiO2, reacciona con
silicio para formar una nueva capa de SiO2.
El transporte del oxidante a travs de la interfase gas/SiO2 se
representa mediante:
F1 = h C * CO no
(16.7)
Captulo 16
(16.8)
(16.9)
(16.10)
450
2V = P
(16.11)
Relacin lineal
x0 ( B A ) t
Captulo 16
(16.13)
451
(16.14)
Relacin parablica
x02 Bt
(16.15)
(16.16)
(16.17)
452
Captulo 16
453
Captulo 16
454
(16.18)
(16.19)
V =
( xVM
+ yVSi ) VM
xVM + yVSi
Si y
100
Captulo 16
Gaussiano
455
( x Rp )
exp
C ( x) =
2 R p
2R 2p
(16.21)
Pearson
dx
( x a) f ( x)
b0 + b1 x + b2 x 2
(16.22)
Dual Pearson
(16.23)
Convolution Method
456
f 2 D ( x, y ) = f1 ( x ) f t ( y ) .
(16.24)
y2 ( x ) = co + c1 ( x R p ) + c2 ( x R p )
(16.25)
16.5.5
Captulo 16
457
Captulo 16
458
16.5.7
Captulo 16
459
Modelos de grabado
Captulo 16
Simulacin en SiGe
kT
(16.26)
(16.27)
460
RESUMEN
Captulo 16
RESUMEN
461
REFERENCIAS
Captulo 16
462
17
Captulo
SIMULACIN DE
DISPOSITIVOS CON PISCES
MOSFET (POSTMINI)
ndice
17-1
17-2
17-3
17-4
Desarrollo de PISCES
Descripcin del simulador
Tipos de simulacin
El Archivo de entrada
Objetivos
Palabras Clave
Simulador PISCES
Modelos de movilidad
Modelo de Difusin-Deriva
Modelo DUET
Variables de estado para el
modelo DUET
Modelos de movilidad para
bajos campos
Modelos
de
movilidad
dependientes del campo
transversal
Modelos
de
movilidad
dependientes del campo
longitudinal
Modelos
de
GeneracinRecombinacin
Simulacin estacionaria
Simulacin AC
Simulacin transitoria
Archivo de entrada
Herramienta POSTMINI
Representacin 1D, 2D, 3D
Captulo 17
466
Captulo 17
467
Modelos de Movilidad
( N , TL , E , E / Tc ) = f ( 0 ( N , TL , E ) , E / Tc )
(17.1)
468
E
rperp = 1 +
E
crit
1
1
1
1
=
+
+
( N , TL , E ) ac ( N , TL , E ) srf ( E ) 0 ( N , TL )
(17.2)
Captulo 17
(17.3)
469
L