Espectroscopia de

Fotoelectrones de
Rayos X (XPS)
 Espectroscopias Electronicas
XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy
(Espectroscopía Fotoelectrónica de Rayos X)

ESCA: Electron Spectroscopy for Chemical Analysis

Espectroscopías electrónicas

Proporcionan información sobre la distribución y población

de niveles de energía electrónicos del material.

Emitidos
Energía cinética de electrones
Incidentes / Dispersados
 Relaxation Processes

Incident Electron beam Auger e-

80-300 keV emitted
Free Electron
Level
Conduction band Conduction band
Fermi Level

Valence band Valence band

2p L2, L3 X-ray
emitted
2s L1

1s K

Energy Loss Electron

The Atom and the X-Ray
X-Ray
Free electron

Valence electrons

proton

neutron

Core electrons electron

electron vacancy

The core electrons

respond very well to the
X-Ray energy
 Rayos X sobre la superficie

e- s de la capa superior e-s de la capa inferior Superficie exterior

sin colisiones
e-s de la capa inferior
Royos X Superficie Interior
con colisiones

Capas de atomos
Ecuación

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 XPS
Para cada elemento se tiene una energía de enlace
característica asociada con los orbítales atómicos
internos, es decir, cada elemento va a producir un
espectro con un conjunto de picos característico.

Esta técnica permite, a parte de una identificación

elemental, hacer un análisis cuantitativo de alguna
región de la muestra.

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Espectro XPS
 Espectro XPS
XPS Spectrum

O 1s

O Auger

O debido a la
Fuente de Mg

C O 2s
Al
Al
 Picos en un espectro XPS

Picos de Fotoemisión
Picos Auger
Picos debido a Satélites de Rayos-X
Picos Fantasmas de Rayos-X
Picos debido al “shake-up”
Picos por división de multiplete
Picos debido a perdidas de energía por
plasmones
Picos y bandas de Valencia

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 Identificación de Picos
Identificar los picos C1s, O1s, C(KLL), O(KLL) ya que son los más
sobresalientes en un espectro XPS si las muestras no han sido
preparadas en forma in-situ.
Identifique las otras líneas intensa en el espectro (Utilice el manual de
XPS), realice una tabla con las posiciones en energía de los picos
menos intenso.
Tenga presente que puede haber interferencia de los picos más
intensos con algunos otros elementos, por ejemplo: para el C1s el
Ru3d; para el O1s el V2p y el Sb3d; para el O(KLL) el I(MNN) y
Cr(LMM); para el C(KLL) el Ru(MNN).
Identifique los picos de menor intensidad que asumiendo que estos
picos son los más intensos de elementos desconocidos. Los pequeños
picos que no se puedan identificar pueden ser picos satélites.
Observe que la separación debida a los doblete de spin sean las
correctas (para los picos p, d y f) y, que el cociente entre los dobletes
del pico p es sea de 1:2; de los d sea de 2:3; y de los f sea de 3:4.

11
Identificación de picos XPS y Auger

12
 Corrimiento químico

El valor exacto de la energía de enlace de un fotoelectrón no

depende solamente de los niveles a los que ocurre la
fotoemisión sino de:

1) El estado formal de oxidación del átomo

2) El ambiente físico y químico local

Un cambio en 1) ó en 2) dará un pequeño corrimiento en la

posición del pico

13
Corrimiento químico

14
 Deconvolución del pico principal

8000

8000
7000 GO C -O
C=C

C uentas por segundo

7000 C 1s 286.7eV
6000 284.5eV
6000
5000
Cuentas por segundo

5000 C=O
4000
4000 287.7eV
3000
3000
2000
2000
O -C=O
1000 289eV
1000
0
0
292 290 288 286 284 282 280
-1000
292 290 288 286 284 282 280 Energia de Enlace (eV)
Energia de Enlace (eV)

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Información química

16
Factor de Sensibilidad

17
 Equipo XPS

Fuente de rayos X

Fuente de Iones

Analizador SIMS

Camara de introducción
de la muestra
Cámara para introducción de muestras

 La muestra se introduce a través de

una cámara que está en contacto
con el ambiente exterior

 La cámara se cierra y se bombea a

bajo vacío.

 Después de la primera cámara se

introduce la muestra en la segunda
cámara en la que existe un entorno
UHV.

Cámara de introducción
Cámara de UHV
 Como trabaja un equipo de XPS?
 Un haz de rayos X monoenergético
emite fotoelectrones de la
superficie de la muestra.
 Energía de rayos-X que se utiliza en
un XPS:
 Al Ka (1486.6eV)
 Mg Ka (1253.6 eV)
 Los fotones penetran un
micrómetro de la superficie de
muestra
 El espectro XPS contiene
información sólo de 10 - 100 Å de la
parte superior de la muestra.
 Se utiliza el entorno de ultra alto
vacío para eliminar la contaminación
excesiva del ambiente.
 El analizador CMA mide la KE de los
electrones emitidos.
 El espectro generado por el equipo
proviene de la señal del analizador.
 Las energías de enlace determinan
las posiciones de los picos y se
identifican los elementos presentes
en la muestra.
 Limitaciones

XPS no detecta Hidrógeno

Requieren ultra alto vacío.
Las muestras generalmente son sólidos.
Para muestras aislantes debe neutralizarse la
carga acumulada.

21
¡¡¡GRACIAS !!!