Películas delgadas

Jolalpa Yescas María Jóse

Universidad Nacional Autónoma de México,
Facultad de Ciencias, 2020-1
Laboratorio de Física Contemporánea

Para realizar cuatro películas delgadas de cobre se utilizó la técnica de deposición física de vapor (PVD)
dentro de una cámara de vacío. Dos de estas peliculas se hicieron con un mismo tiempo de exposición al vapor
de cobre y el otro par a un tiempo más prolongado, de tal forma que el primer par alcanzara un espesor de 103
nm y el otro par un espesor de 207 nm. Posteriormente, el espesor de estas películas se midió con el método de
interferencia de frangas de igual espesor, en donde se obtuvieron los siguientes resultados: 92.269 nm y 90.543
nm para el primer par de películas y 189.914 nm y 190.896 nm, todos estos valores con errores menores al 7 %.

1. INTRODUCCIÓN extraen las moléculas dentro de una cámara para reducir su

prsión hasta los 10−10 T orr.
Una película delgada es una capa de algún material con Existen diferentes métodos e instrumentos para medir el es-
que puede tener hasta escalas nanométricas de espesor. Son de pesor de un material. El detector de cuarzo es un instrumento
gran importancia en la investigación ya que permiten estudiar que nos permite medir la cantidad de moleculas del vapor de
las propiedades físicas de sistemas cuasi-bidimensionales. Al- un material que le están llegano así como la velocidad con
guas de sus aplicaciones se encuentran en el revesitimiento de la que estas se depositan. Este instrumento se coloca dentro
materiales para modificar sus propiedades, en el control de la de la cámara de vacío en un lugar donde no interfiera con el
transmisión o de la relfexión de la luz, la extracción de la hu- sustrato, tal y como se muestra en la fugura 2.
medad de los alimentos, químicos y productos farmacéuticos.
Existen diferentes procesos para crear películas delgadas,
sin embargo, este trabajo se enfoca en las técnicas de de-
posición física, concretamente la deposición física de vapor
(PVD). La técnica PVD es un proceso en el que se evapora
un material, generalmente metales, dentro de un ambiente de
vacío, las moléculas evaporadas viajan radialmente hasta que
llegan a un sustrato, que es en donde se depositará la película.

Fig. 2. Detector de cuarzo para medir el espesor de películas del-

gadas. Imágen extraída del MOOC Nanotechnology por Duke Uni-
versity, North Carolina State University The University of North
Carolina at Chapel Hill.

Además, existe un método para medir su espesor a partir

Fig. 1. Proceso de la Deposición física de vapor. Imágen extraída del
MOOC Nanotechnology por Duke University, North Carolina State
University The University of North Carolina at Chapel Hill.
Para generar un ambiente de alto vacío se necesita de una
bomba de difusión que tenga una una bomba de apoyo, co-
mo los son las bombas mecánicas de paletas rotativas. Estas
de la interferencia de franjas. Para ello, la película debajo de
de un cristal y se ilumina con una luz de longitud de onda
monocromática. Entre el cristal y la película debe existir una
cuña que permita que las lineas de interferencia se desvíen
debido a la diferencias de camino óptico que se crean cuando
se incide el rayo de luz. Esto es lo que nos permite encontrar
el grosor de las películas, dado por la siguiente fórmula [2]:
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∆L λ
t= (1)
L 2

Fig. 3. Diagrama de la diferencia de camino óptico de una película

delgada para obtener su espesor.

El objetivo de este trabajo es encontrar el espesor de una

diferentes película delgadas de cobre usando un detector de
cuarzo y un método de interferencia y así verificar que ambos
métodos son congruentes entre sí con los resultados que sean
obtenidos. Fig. 4. Montaje de las películas delgadas sobre la base. Los números
1,2 y 3 indican las posiciones de los sustratos

2. DESARROLLO EXPERIMENTAL

Para realizar las películas delgadas se comenzó por escoger

el material del cual se harían y el sustrato. El material a depo-
sitar fue cobre, ya que el color que presenta es más intenso, lo
que favorecía la observación del proceso deposición. Se con-
sideró que los portaobjetos eran un buen sustrato ya que, al
ser vidrios transparentes, también facilitaban la observación
del proceso de deposición.
Los portaobjetos son vidrios con forma rectangular alarga-
da, por lo que se cortaron tres portaobjetos en tres para que se
tuvieran varias películas, hecho el corte se procedió a lijar las
imperfecciones. Los sustratos se lavaron con jabón líquido de
cocina durante 10 minutos, después cada pieza se introdujo en
un vaso de precipitado que contenía detergente neutro concen- Fig. 5. Montaje dentro de la cámara de vacío. El número 1 indica la
trado, posteriormente el vaso se colocó dentro de un limpiador lamina en donde se colocaron las películas, el númeoro 2 indica el
ultrasónico durante cinco minutos, habiendo pasado ese lap- shooter, el número 3 indica la cámara de vacío, el número 4 indica
so, se les aplicó alcohol propílico. Finalmente, para secar los la base del soporte donde se colocó el testigo y el número 5 es el
sustratos se utilizó papel especial que no dejara pelusas sobre sistema de calentado.
el material.
Con cinta adhesiva mágica doblec cara se colocaron tres
sustratos en un soporte con una placa metálica, tal y como se Una vez montado el sistema, se encendió la cámara de vacío
muestra en la figura 5]. hasta llegar a un vacío del orden 10−6 . El proceso de deposi-
El soporte se introdujo en la cámara de vacío, de tal forma ción duró entre treita y cuarenta minutos. La primera tanda de
que la rendija de la placa metálica estuviese alineada con el tres películas alcanzaron 103 nm de espesor, mientras que la
detector de cuarzo. En la parte inferior de la cámara se en- segunda alcanzaron los 207 nm. Después se retiró el soporte y
cuentra un sistema que, al aplicarle una diferencia de poten- las películas se retiraron con pinzas. Finalmente, las películas
cial, calienta un alambre de Tungsteno, en donde se colocó se dejaron reposar una semana.
el cobre para ser evaporado. Arriba de este sistema existe un Para medir el espesor por el método de interferencia se qui-
shooter que se interpone entre la emisión de vapor de cobre, tó una franja de la película delgada y sobre esta se colocó un
este que se abre en al momento de querer empezar la deposi- cristal (figura 6), de tal forma que existiera una capa delgada
ción sobre el sustrato y se cierra una vez que la película alcan- de aire entre ellas.
zó el espesor deseado. En la base del soporte se colocó otro El montaje anterior se colocó sobre la paleta de una banca
sustrato (testigo), que nos permitió observar el momento en el escolar, debido a que el ángulo de ésta permitía visualizar me-
que inició la deposición y así abrir el shooter. jor las franjas. Con un soporte y unas pinzas detres dedos se

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Fig. 6. Montaje para visualizar las franjas de interferencia.
montó un microscópio digital para visualizar mejor las franjas
y tomar imágenes para analizarlas digitalmente. Para poder
observar la interferencia sobre el cistal se colocó una lámpara
de sodio con longitud de onda de 589 nm, debajo de la lámpa-
ra se puso una pantalla para que los rayos cayeran verticales
sobre el cristal.
Fig. 7. Montaje experimental para medir el espesor de las películas
delgadas.
3. RESULTADOS
Se obtuvieron tres películas delgadas de cobre con 103 nm
de espesor a una presión de 7.51x10−6 y tres películas con
espesor de 207 nm a una presión de 7.42x10−6 . Los espesores
fueron dados por el detector de cuarzo.
De las tres películas de 103 nm se escogieron dos para cap-
turar sus franjas de interferencia y de cada película se tomaron
tres imágenes diferentes para obtener su espesor. Del mismo
[1] Talavera, L., Farías M., (1995), El vacío y sus aplicaciones (1ra.
ed.), México DF, Fondo De Cultura Económica.
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modo, solo se escogieron dos películas de 207 nm para analí-
zar
El análisis de las imágenes obtenidas con el método de in-
terferencia se realizó con el programa del microscópio digi-
tal, Cooling Tech y para corroborar estos resultados se utilizó
otro programa llamado IC Measure. Los resultados obtenidos
se muestran en la siguiente tabla 9.
Fig. 8. Resultados obtenidos para los espesores de las películas usan-
do dos programas diferentes, con sus respectivos errores
Los errores fueron obtenidos al promediar los resultados de
las tres mediciones para cada película y compararlo con el
valor dado por el detector.
Podemos observar que las medidas obtenidas con el mé-
todo de interferencias difieren de la medida otorgada por el
detector de cuarzo en menos del 7 % en todos los casos. Es
decir, el método de interferencias nos da valores muy aproxi-
mados a los que se midieron con el detector de cuarzo, lo que
nos garantiza que el espesor de nuestras películas se encuentra
dentro del rango de 103 nm y 207 nm respectivamente.
4. CONCLUSIONES
La creación de películas delgadas es un proceso que abarca
muchas ramas de la física, tales como la tecnología de vacío y
los procesos que ocurren en estas condiciones, pero también
nos enfrentamos a los procesos de limpieza de sustratos, que
pueden ser mejorados tanto como sea requerido. En nuestro
caso, al enfocarnos en una propiedad física de las películas
delgadas, el espesor, no fue necesario profundizar demasiado
en limpieza del sustrato, sin embargo es algo que sin duda
se tendrá que tomar más en cuenta cuando se decida estudiar
otras propiedades de las películas delgadas.
Comparar los espesores obtenidos con el detector con otro
método que aplica otro fenómeno físico como la interferencia
nos permitió comprobar que ambos procedimientos son con-
gruentes entre sí, por lo cual el espesor de las películas delga-
das que realizamos se encuentran dentro de un rando de 103 a
207 nm con un error menor al 7 % .
Lo anterior nos permite considerar que medir el espesor de
películas delgadas con el método de interferencia es eficiente,
ya que nos da un error menor a 7 %. Sin embargo, para usar
este método fue necesario retirar un trozo de película, es de-
cir, es un método destructivo, por lo que no es recomendable
usarlo cuando se tenga que mantener la película sin ningún
daño.
[2] Ludmila, E., (1986), Physics of Thin Films (2nd. ed.), Prague,
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cal Literature, Prague.

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5. VALORES OBTENIDOS EN LOS ANÁLISIS DE LAS

INTERFERENCIAS

[]

Fig. 9.

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