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PECVD
Reacciones primarias
Formacion de especies excitadas
Transporte a la superficie
Reacción en la superficie
Interacción de los radicales con la superficie
PECVD
PECVD
Reacciones primarias
PECVD
Transporte a la superficie
PECVD
Reacción en la superficie
PECVD
Un reactor RF PECVD
esta formado por dos
electrodos, el de menor
área, el cátado, esta
conectado a un fuente
RF, sobre este se ubica
el sustrato, el ánodo
(paredes de la cámara)
está conectado a tierra.
PECVD