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llamado
el
programa
Funcionamiento
(borrado)
FORMACIN
DE
Auto-Ensamblaje
El proceso de auto-ensamblado se muestra en
las Figs. 3a-c. Una capa de captura de 1-5 nm
se deposita y luego la pelcula se recuece a una
temperatura prxima a su temperatura
eutctica en un gas inerte transformando la
capa de captura en la estructura de un
nanocristal. El dimetro de la nanocristal est
influenciada por el espesor de la capa de
captura, as como la temperatura y la duracin
del tratamiento trmico. Fig. 3d ilustra las
principales fuerzas motrices que contribuyen a
este proceso. Las fuerzas de dispersin y las
capas elctricas dobles afectan el tamao y
ubicacin distribuciones nanocristales. Este
proceso se logra a travs de la relajacin del
estrs de pelcula y es limitado por la
movilidad de superficie. Durante el tratamiento
trmico, estos tomos ganan movilidad
superficial suficiente, lo que permite que la
pelcula se auto-ensamblan en el estado ms
termodinmicamente
estable
y
energticamente. La pelcula rompe en "islas"
a lo largo de la perturbacin inicial para
reducir la energa elstica llevada por el estrs
incorporado en la pelcula durante el proceso
deposicin. Por otra parte, la minimizacin de
la energa superficial y la dispersin de fuerza
entre las interfaces superior e inferior son
propicio para la estabilizacin de la pelcula.
Por lo tanto, la geometra final depende del
equilibrio entre estas fuerzas impulsoras. Las
fuerzas entre esas regiones ayudan a estabilizar
los nanocristales y mantener una distancia
uniforme entre ellos. Sin embargo, no se puede
garantizar que la capa de captura es
completamente discreta.
Precipitacin
Una capa de captura sobresaturada o mixta se
prepara mediante la implantacin de iones en
un sistema de capa de aislante o sistema de codepsito formando nanocristales con varios
recocidos trmicos. La nucleacin de la
formacin de nanocristales durante recocido
trmico rpido (RTA) proceso puede ser
descrito como sigue.
Slidos-solutos sobresaturados se separan
durante el recocido trmico. A medida que la
temperatura y la duracin del recocido trmico
aumentan, estos productos de partida pueden
obtener la energa suficiente para difundirse a
travs de la pelcula mixta con un gran nmero
de colisiones suficientes para formar ncleos
formando una alta distribucin de la densidad
de las estructuras de nanocristales, como se
muestra en Fig. 4. Sin embargo, el empleo de
la implantacin de iones de alta energa
tradicional para aplicaciones de memoria
nanocristal ha revelado algunas deficiencias:
La distribucin de iones (siguiendo una
distribucin gaussiana) es amplia con alta
energa de inyeccin (~ 30 a 150 keV), de tal
manera que el control de los nanocristales
cerca del xido de tnel es difcil. Adems,
incluso cuando el ion implantado llega a la
interfaz entre el xido de silicio y silicio
sustrato, puede causar daos en el xido de
tnel, lo que resulta en la degradacin del
rendimiento.
Reaccin qumica
El mtodo de reaccin qumica se usa para
formar una capa de captura nanocristal y se
ilustrada en Fig. 5. Inicialmente, una capa de
mezcla binaria o terciaria es co-depositada por
diferentes sistemas de materiales y despus la
capa se oxida por las capacidades debido a sus
diferentes energas libres de Gibbs; es ms
fcil para formar un compuesto de xido
estable cuando tiene baja entalpa. Por lo tanto,
durante la Oxidacin RTA, un material que
comprende la capa de mezcla binaria es
tpicamente ms fcilmente oxidado mientras
que el otro material tiende a conjugar con otros
tomos del mismo material para formar el
nanocristal. Un proceso similar tambin se
produce por la capa de mezcla terciaria.
Figura 7.
LA EVOLUCIN DE LA ESTRUCTURA DEL
DISPOSITIVO
Figura 8.
Reproducibilidad
Propiedades de memoria de nanocristales son
influenciadas por el tamao de los nanocristales,
la forma y configuracin. Nanocristales no estn
formados por patrones, por lo tanto, las
fluctuaciones apuestan dispositivos individuales
Ween se convierte en importante. Segn La
Internacional Technol ga Hoja de ruta para
Semiconductores (ITRS 2009), el tamao de
celda de memoria es probable que reduzca a
1.000 nm2 para el ao 2020. Esto significa que
slo unos diez nanocristales pueden ser
contenidos en cada clula de memoria. En una
escala tan pequea, se hace cada vez ms
desafiante sintetizar materiales adecuados con el
tamao y forma uniforme, y ensamblarlos en
una matriz nanocristales bien ordenada.
Fugas de carga
Nanocristales de alta densidad pueden almacenar
ms carga en un dispositivo de memoria y
mitigar la influencia de las fluctuaciones entre
los dispositivos individuales porque hay ms
nanocristales en cada celda de memoria. Sin
embargo,
las
cargas
almacenadas
en
nanocristales de fugas aunque el xido que rodea
ms fcilmente en los sistemas de nanocristales
Figura 9.
REFERENCIAS
Developments in nanocrystal memory
Ting-Chang Chang, Fu-Yen Jian, ShihCheng
Chen
and
Yu-Ting
Tsai[1]
http://www.xataka.com/televisores/nan
ocristales-asi-funciona-la-tecnologia-
que-quiere-cambiar-los-televisores-en2015 [7:17/23/06/15]
... [2]
Nanocrystalline
materials:
recent
advances
in
crystallographic
characterization techniques Emilie
Ringe [3]