“Una máquina puede hacer el

trabajo de cincuenta hombres

ordinarios. Ninguna máquina
puede hacer el trabajo de un
hombre extraordinario.”

ELBERT HUBBARD
INVESTIGACIÓN
SISTEMAS
MICROELECTROMECÁNICOS
(MEMS)

VARGAS TORREZ LEONARDO

ALEJANDRO
INTRODUCCIÓN

Las siglas MEMS son en conjunto, un acrónimo para denotar a lo que actualmente se conoce como
Sistemas Micro Electro Mecánicos.
OBJETIVOS
Investigar sobre los sistemas microelectromecánicos.
Conocer sobre los mismos, sus características y
funcionamiento.
Aprender sobre los alcances y uso en la industria y vida
cotidiana.
DEFINICIÓN
Un microsistema puede ser considerado como cualquier dispositivo o unidad hecha de un número finito
de componentes micro-maquinados. El término MEMS surgió en Estados Unidos en la década de 1990.

Los microsistemas se pueden clasificar en seis distintos tipos:

1. Sensores

2. Actuadores

3. MEMS RF

4. MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems)

5. Dispositivos MEMS para microfluidos

6. Bio MEMS
COMPONENTES
VENTAJAS
UN POCO DE HISTORIA

1959 1962 1964 1970

UN POCO DE HISTORIA

1979 1980 1982 1986

UN POCO DE HISTORIA

1988 1993 1999 AHOR

A
MEMS
MATERIALES DE FABRICACION
Silicio
Polímeros
Rieles
Cerámica
TECNOLOGÍAS DE
FABRICACIÓN DE MEMS
Micromecanizado a granel

El micromecanizado a granel es el
paradigma más antiguo de MEMS
basados ​en silicio. Todo el espesor de una
oblea de silicio se utiliza para construir
las estructuras micro-mecánicas.

El micromecanizado a granel ha sido

esencial para habilitar sensores de presión
y acelerómetros de alto rendimiento que
cambiaron la industria de los sensores en
las décadas de 1980 y 1990.
TECNOLOGÍAS DE
FABRICACIÓN DE MEMS
Micromecanizado de superficie
El micromecanizado de superficies utiliza
capas depositadas sobre la superficie de
un sustrato como materiales estructurales,
en lugar de utilizar el sustrato en sí. El
micromecanizado de superficie se creó a
finales de la década de 1980 para hacer
que el micromaquinado de silicio fuera
más compatible con la tecnología de
circuitos integrados planos, con el
objetivo de combinar MEMS y circuitos
integrados en la misma oblea de silicio.
TECNOLOGÍAS DE
FABRICACIÓN DE MEMS
Oxidación térmica

Los procesos de oxidación térmica se

utilizan para producir diversas
estructuras de silicio con un control
dimensional de alta precisión. Se han
producido dispositivos que incluyen
peines de frecuencia óptica y sensores
de presión MEMS de silicio mediante el
uso de procesos de oxidación térmica
para ajustar las estructuras de silicio en
una o dos dimensiones.
TECNOLOGÍAS DE
FABRICACIÓN DE MEMS
Micromecanizado de silicio de alta relación de
aspecto (HAR)

Una nueva tecnología de grabado, el grabado

profundo de iones reactivos , ha hecho posible
combinar un buen rendimiento típico del
micromaquinado a granel con estructuras de peine
y operación en plano típica del micromaquinado
de superficie.

Los circuitos integrados normalmente no se

combinan con el micromecanizado de silicio
HAR.
APLICACIONES
APLICACIONES
SISTEMAS MICROELECTROMECÁNICOS
“MÁS INTELIGENTES”

Un resonador micromecanizado de
superficie fabricado por el MNX. Este
dispositivo se puede utilizar tanto como
microsensor como como microaccionador.
CONCLUSIONES
1.Se obtuvo mucha información sobre los sistemas microelectromecánicos llegando a
profundizar en sus tipos y características.
2.La historia y desarrollo de los MEMS va a la par casi de la electrónica moderna y nos
permite a su vez, de igual forma, optimizar y mejorar los aparatos electrónicos del siglo
XXI.
3.Podemos concluir que los MEMS forman parte indispensable de innumerables
sistemas, maquinarias e instrumentos que utilizamos en el mundo moderno los cuales
mejoran nuestra calidad de vida, nos permiten realizar mejoras y más grandes proyectos
y nos encaminan a un futuro desarrollo aún mayor de la tecnología y la civilización.
¡¡MUCHAS GRACIAS!!