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ESCUELA POLITCNICA DEL EJRCITO. INGENIERA MECATRNICA.

MISIN ..

VISIN

Diseo Mecatrnico
INTEGRANTES: Dcimo. 04 de Julio del 2012. Edison Herrera. Jenny Mata. Alexander Quispe. Andrs Rivera.

NIVEL FECHA

: :

DISEO MECATRNICO

ESCUELA POLITCNICA DEL EJRCITO.


INGENIERA MECATRNICA. DISEO MECATRNICO.
INFORME DE CONSULTA. INTEGRANTES : NIVEL FECHA PROFESOR : : : Edison Herrera. Jenny Mata. Alexander Quispe. Andrs Rivera.

Dcimo 04 de Julio del 2012. Ing. Marco Singaa.

1. TEMA:

SISTEMAS MICROELECTROMECNICOS (MEMS) Y SISTEMAS NANOELECTROMECNICOS (NEMS).


2. OBJETIVOS: 2.1. OBJETIVO GENERAL: 2.1.1. Conocer las caractersticas generales, ventajas y aplicaciones de la Microingeniera en Sistemas MEMS y NEMS. 2.2. OBJETIVOS ESPECFICOS: 2.2.1. Definir el concepto de Sistemas Microelectromecnicos y Sistemas

Nanoelectromecnicos. 2.2.2. Determinar las caractersticas principales de los Sistemas MEMS y NEMS. 1

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2.2.3. Conocer los beneficios y ventajas de los Sistemas MEMS y NEMS. 2.2.4. Saber de la existencia de los distintos campos de aplicacin de los Sistemas MEMS y NEMS en la actualidad. 3. MARCO TERICO: SISTEMAS MICROELECTROMECNICOS (MEMS) DEFINICIN. Los Sistemas Microelectromecnicos (Micro-Electro-Mechanical-Systems) MEMS son la integracin de elementos mecnicos, sensores, actuadores, y la propia electrnica en un substrato de silicio a travs de tecnologa de la micro fabricacin. (Centro Nacional de Metrologa) ESTRUCTURA BSICA DE LOS MEMS

Figura 1. : Estructura Bsica de los MEMS.

(Centro nacional de metrologa) Los MEMS, tambin conocidos como microsistemas, son definidos tpicamente como dispositivos microscpicos diseados, fabricados, y utilizados para interactuar o producir cambios dentro de un ambiente controlado. (Mrquez y Crdenas, 2006) CARACTERSTICAS. Los MEMS poseen una serie de ventajas frente a los sistemas de mayor tamao, Entre algunas de stas caractersticas destacan: Posibilidad de fabricacin masiva con bajo costo. Componentes ms finos y delicados. Tamao y peso reducido. 2

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Consumo de energa reducido. Alta precisin y biocompatibilidad. Partes mecnicas durables. Micro-materiales con propiedades que les permitan ser ms fuertes y ligeros. Desarrollo de componentes electrnicos ms rpidos, de mayor potencia y funcionalidad. Pequeas dimensiones Alto desempeo Integracin con electrnica Confiables Fcil adaptacin e integracin a sistemas actuales Alargan la vida del producto Sistemas mecnicos y pticos ms rpidos y complejos. Mayor nmero de partes, mayor funcionalidad. Nuevos dispositivos pto-electrnicos sobre la base de principios cunticos. Aprovechamiento de reacciones qumicas resultantes de "nuevas propiedades" como es el reducir las dimensiones de trabajo (Mrquez y Crdenas, 2006). DISPOSITIVOS. Los dispositivos de los microsistemas (MEMS) se pueden categorizar en seis distintos tipos: 1. Microsensores: son dispositivos MEMS diseados para medir cambios e interactuar con el ambiente, y desde el punto de vista de la comercializacin, la aplicacin ms exitosa de los dispositivos MEMS se ha reflejado en los sensores, debido entre otros factores a: un retorno rpido de la inversin, mejoras en el funcionamiento y reduccin de los costes de produccin, lo que ha transformado el mercado, en particular en el caso de los sensores de presin. precisamente diseadas, las cuales sern ms eficientes y

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Tabla 1. : Listado de los sensores y las industrias que los demandan

Microsensor de Presin Medidor de caudal de elemento estrangulador con microsensor de presin incorporado, est basado en la medida de la presin diferencial existente entre la entrada y la salida de un elemento estrangulador de flujo, mediante un microsensor de presin incorporado en el mismo elemento. La ventaja principal que presenta el nuevo medidor consiste en la integracin de diversos elementos en un nico dispositivo, a diferencia de los medidores convencionales que consisten en un elemento primario que crea la diferencia de presin y uno secundario que mide dicha presin. Como consecuencia de la integracin de los distintos elementos, el nuevo dispositivo se monta fcilmente en la tubera haciendo innecesaria la utilizacin de tuberas adicionales y/o vlvulas entre los dispositivos primario y secundario (Digital.CSIC, 2010). 2. Microactuadores: Son un grupo de dispositivos diseados para proporcionar un estmulo a otros componentes o dispositivos MEMS. En los microsistemas los actuadores son operados electrostticamente o trmicamente. Dada la gran cantidad posible de aplicaciones en esta rea. Un ejemplo de esto son las impresoras de inyeccin de tinta, en donde los microsistemas se han aplicado para la produccin en masa de mecanismos de transferencia de tinta altamente precisos. Otros ejemplos de actuadores en el mercado son los siguientes: Micro bombas. Actuadores de presin para chorro de tinta mediante pulsos. Actuadores trmicos para chorro de tinta. Cabezas impresoras trmicas. 4

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Amplificadores de fluidos. Elementos de comunicacin pticos. Espejos exploradores. Micro- bombas y vlvulas implantables, para dosificar medicamentos (Manuel Jos Lpez Fernndez,2005)

3. MEMS RF: Son una clase de dispositivos usados para transmitir alta frecuencia, es decir seales de radio frecuencia. Los dispositivos tpicos incluyen: Conmutadores, capacitores, antenas, etc. Los conmutadores MEMS RF Los conmutadores MEMS RF, o microconmutadores, son dispositivos microactuadores que bsicamente utilizan un movimiento mecnico para cambiar de estado. El origen del movimiento de estos dispositivos es una fuerza generada por una inyeccin externa de energa. Las fuerzas que requiere el movimiento mecnico pueden ser obtenidas por varios principios de actuacin, siendo los ms comunes: el electroesttico, el electrotrmico y el magntico. El principio de actuacin electroesttico es el ms utilizado y estudiado y es en el que se basar el estudio y diseo de los micro-conmutadores de este trabajo. Se basa en la aplicacin de una tensin entre dos placas paralelas o electrodos siendo una de las placas fija y la otra mvil. En consecuencia, aparece una fuerza de atraccin electroesttica entre ambas placas que provoca que la placa mvil se aproxime a la fija a medida que la tensin se incrementa, llegando a colapsar a una determinada tensin denominada tensin de actuacin o depull -in. La ventaja principal de este tipo de actuacin es la ausencia de consumo de corriente, en contra partida, presenta algunos inconvenientes como por ejemplo los altos voltajes que en determinadas ocasiones se pueden necesitar para conseguir la actuacin del dispositivo. (Grupo de Microondas del Departamento de Teor, 2007)

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Figura 2. : Conmutador paralelo

(Universidad de Michigan - USA) 4. MEMS pticos: Son dispositivos diseados para dirigir, reflejar, filtrar, y/o amplificar la luz. Estos componentes incluyen interruptores pticos y reflectores. Los microsistemas de MEMS ptico (a menudo Denominado "MOEMS"), se utilizan en particular en las telecomunicaciones, los MEMS en el mercado de las telecomunicaciones pticas, pticas variables atenuadores (VOA) se han trasladado desde el entorno de la investigacin esotrica universitaria en su totalidad paquete y productos Telcordia calificados disponibles a travs de los canales de distribucin. Hay dos aplicaciones dominantes de la VOA en las telecomunicaciones: la atenuacin visti para el aumento de aplanamiento de fibra EDFA sistemas, y un solo canal de la VOA es la proteccin y el equilibrio de poder (Pablo McWhorter, 2002).

Figura 3. : MEMS pticos.

(Microoptics Technology)

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5. MEMS para microfluidos: Son dispositivos diseados para interactuar con fluidos. Dispositivos como bombas y vlvulas se han diseado para trabajar con pequeos volmenes de fluido y la multidisciplinaria complejidad de los principios fsicos y los dispositivos empleados. La multidisciplinariedad se demuestra en algunas de las actividades relacionadas: Microfabricacin Qumica, Biologa, Fsica, Ciencia de materiales en la microescala Mecnica, Modelos numricos, Sistemas de control Integracin de sistemas y empaque, Ingeniera de confiabilidad (reliability)

Una ventaja de emplear lquidos en la microescala es el efecto de las fuerzas viscosas en ciertas aplicaciones como los sensores T, que consisten en una geometra simple en la que dos canales se combinan a 90 grados y se pueden realizar mltiples experimentos, mediciones y aplicaciones con relativa sencillez p.ej. mediciones de viscosidad, difusin.[18] Otro dispositivo muy simple (unin de dos sensores T) es el conocido Filtro H, que permite la extraccin continua de analitos moleculares de fluidos que contienen partculas que interfieren entre s (glbulos rojos, microorganismos, polvo, virus), sin necesidad de utilizar una membrana filtro o componentes desechables. (Fernandez Rivas, 2011)

Figura 4. : Esquema de difusin en un sensor T.

(A. Hatch, E. Garcia and P. Yager, 2004)

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6. Bio MEMS: Son dispositivos que, como muchos de los MEMS para microfluidos, son diseados para interactuar especficamente con muestras biolgicas. Dispositivos como stos son diseados para interactuar con protenas, clulas biolgicas, reactivos mdicos, etc. y pueden usarse para suministrar medicamentos u otro anlisis mdico en sitio (Mrquez y Crdenas, 2006). En el diseo de BioMEMS son requerimientos frecuentes la alta precisin de movimiento a escalas de tamao reducidas, la eliminacin de holguras entre componentes, la disminucin del desgaste debido a la friccin y la reduccin de los procesos de manufactura y ensamble.4 Para satisfacer dichos requerimientos los diseadores desarrollaron el concepto de los mecanismos flexibles, lo cuales obtienen su movilidad gracias a la flexibilidad de sus componentes y no de las juntas pinadas o de deslizantes presentes en las cadenas cinemticas de eslabones rgidos. (Bendse MP y Sigmund O, 2001)

Figura 5. : Esquema de un Bio MEMS.

(Proyecto de Biotecnologa) OBJETIVOS: Como describe ( Lpez Fernndez., 2005) , el objetivo del texto es describir las caractersticas principales y enumerar algunas ventajas y aplicaciones de los sistemas Microelectromecnicos (MEMS).

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Se puede definir la Microingeniera como la ciencia y el arte de disear, construir y calibrar dispositivos microscpicos, otra definicin es la que la describe como la parte de la ingeniera relacionada con la aplicacin de las tcnicas desarrolladas en el sector electrnico para la manufactura de componentes en miniatura, con tolerancias en la regin de un micrn (1 * 10 6 m) de forma precisa y a bajo coste. La comisin de la UE para el IV Programa Marco defini el microsistema como,... un sistema inteligente miniaturizado que integra funciones sensoras, de proceso y/o actuacin. Comprender como mnimo dos de las siguientes propiedades: elctricas, mecnicas, pticas, qumicas, biolgicas, magnticas u otras, de forma integrada en un solo chip o en un modulo hbrido multichip..., los microsistemas son tambin denominados MEMS (Micro Electrical Mechanical Systems). Al disminuir el tamao de los dispositivos, las tcnicas convencionales de ingeniera incrementan su complejidad y son ms caras, mientras que en los procesos de fabricacin de microingeniera la reduccin del tamao reduce el coste unitario. Las necesidades de la tcnica actual, portabilidad, economa, rapidez precisin, etc., han ocasionado que sea preciso construir componentes miniaturizados manteniendo las funcionalidades de los de mayor tamao. El avance tecnolgico, ha impulsado la necesidad de aumentar constantemente la capacidad y velocidad de los diferentes dispositivos, consiguiendo otras ventajas como lo son las de mayor precisin y reduccin de costes. Estamos iniciando una nueva era donde se espera que la microingeniera redefina nuestro mundo y ocasione una revolucin tecnolgica similar a la que origin la introduccin de la microelectrnica tres dcadas antes, por lo que la microingeniera llegara a ser esencial para algunas empresas. La microingeniera orienta sus aplicaciones principalmente hacia la funcin de transduccin, necesaria para permitir a la microelectrnica relacionarse con el mundo exterior; pero los mercados para las aplicaciones que no involucren solo sensores han emergido rpidamente, adems el trabajo emprendido estaba inicialmente relacionado con el desarrollo de transductores encapsulados individualmente e integrados en un sistema como un componente separado, posteriormente se desarrollan dispositivos en los que los requisitos funcionales del sistema son considerados como un todo y los

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subsistemas integrados diseados con la microingeniera se fabrican para manejar todos los aspectos. Las industrias aeroespacial y automovilstica utilizan de forma generalizada componentes micromecanizados como sensores de presin y aceleracin, adems los microsistemas se usan extensamente en un amplio rango de bienes manufacturados en amplios sectores de la industria, como: la medicina, el automvil, aeroespacial, industria, servicios, etc. APLICACIONES. Las principales ventajas de los microsistemas Mems son: Producir dispositivos mecnicos ms pequeos, livianos, en versiones ms rpidas, con mayor precisin, consumos de energa reducidos, biocompatibles. Producir sensores, aprovechando las propiedades electro mecnicas del Si, donde las caractersticas elctricas cambian en respuesta a cambios de parmetros particulares externos como: temperatura, presin, aceleracin, humedad y radiacin. El uso de materiales y procesos comunes, que integran la microelectrnica con componentes micromecnicos, para lograr mejoras en el funcionamiento y en los costos. Procesos de fabricacin en lotes para grandes volmenes de componentes a bajo coste. Poder desarrollar procesos tecnolgicos para incluir materiales y tcnicas no utilizadas en microelectrnica, pero que ofrecen ventajas especificas en la elaboracin de dispositivos micromecnicos. Integracin econmica en la elaboracin de sistemas completos que incluyan las funciones de deteccin, clculo y actuacin. La variedad de productos es grande desde sensores de presin en un motor hasta micro pinzas para ciruga, adems el mercado de los microsistemas presenta claras tendencias de expansin, no solo de los productos existentes sino de nuevas aplicaciones como: chips-laboratorio, sistemas de dosificacin de medicamentos, sensores de olor (nariz electrnica), cabezales magneto-pticos, etc. A continuacin se describen algunas aplicaciones en diferentes sectores: 10

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Automocin. En la actualidad los vehculos incorporan microsensores de presin en el sistema de control electrnico del motor y acelermetros en el airbag, algunas estimaciones apuntan a que en un futuro no muy lejano los sensores y la electrnica represente un 30% del valor del automvil. Nuevas aplicaciones potenciales en materia de gestin del motor, control de la calidad del aire y de los gases de escape, cajas de cambio, ABS, control de la dinmica del vehiculo y antideslizante, control de navegacin adaptativo (ACC), airbag, deteccin de obstculos y mejoras en la visibilidad, etc. La inclusin de un computador en los vehculos, los ajustes automticos de la radio, climatizacin, entretenimiento de los ocupantes etc., son otras reas donde estn presentes los MEMS. Industria aeroespacial y militar. Aunque el volumen de microsistemas en este sector es bastante reducido muchos de stos, son posteriormente usados en otros sectores, lo que amplia sus posibilidades de mercado (sismgrafos como acelermetros de precisin utilizados en la industria del automvil, sistemas de anlisis y prediccin meteorolgica en los aeropuertos, etc.). Por ejemplo para la NASA se han desarrollado microsismmetros para su utilizacin y funcionamiento en Marte, as como sismmetros y acelermetros para estudios de microgravedad y planetarios, otras aplicaciones en el sector que han sido desarrolladas son: microinstrumentos y microelectrnica para misiones espaciales, microhigrmetros, micromotores de propulsin, fotodetectores de infrarrojos, microrobots, medidores de presin de aire, aceleracin, sensores de humedad, presin, gas, temperatura, estabilizadores, etc. Medio ambiente y agricultura. En este sector se dispone de: equipos de metrologa, sensores qumicos para medir niveles de contaminacin, as como microsistemas para mediciones meteorolgicas, es previsible un importante crecimiento en el futuro en el rea de control de la polucin medioambiental, donde los dispositivos bsicos son: sensores de deteccin de la contaminacin en aire y agua, microespectrmetros, detectores de infrarrojos, y dispositivos similares.

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Los microsensores pueden ser utilizados en el control de la pureza de los alimentos, empleando equipos que integren espectrmetros de infrarrojo, dispositivos de anlisis del color o microsensores de aleaciones con memoria para registrar las temperaturas de los congelados. En el sector energtico tambin se usan los microsensores como por ejemplo en el control y gestin de los parmetros de extraccin en los pozos de petrleo, donde es necesario recolectar y procesar grandes cantidades de datos de experimentos ssmicos terrestres y marinos en puntos dispersos y alejados entre s, por una parte y monitorizar en los propios pozos de petrleo, por otra. Medicina. La medicina y la bioqumica son sectores en los que la miniaturizacin es esencial, gracias a las micro tecnologas las nuevas tcnicas en este sector tienden a ser menos invasivas, mas baratas y con una mayor rapidez y portabilidad en los diagnsticos. En estas reas se han abierto en los ltimos tiempos lneas de aplicacin novedosas como las que se indican a continuacin: Descubrimiento, desarrollo y produccin de frmacos: microreactores, matrices para muestras con gran nmero de celdas, etc. Sistemas de dosificacin de medicamentos: pldoras inteligentes, jeringuillas sin aguja, bombas implantables, inhaladores, etc. Anlisis de ADN para diagnostico, terapia gentica, caracterizacin e ingeniera gentica y medicina forense. Diagnostico in Vitro, anlisis y monitorizacin. El mercado de microsistemas en medicina ha sido dominado por los audfonos y los marcapasos. Los microsensores de un marcapasos permiten determinar el estado de actividad de la persona a la que se le ha implantado el dispositivo, ajustando en corcondacia la frecuencia de estimulacin cardiaca. Los audfonos, combinan dentro de un dispositivo de pequeo tamao sistemas de microfonia, ampliacin electrnica y estimulacin acstica. Existen adems otros sistemas similares menos frecuentes como son los integrados en rganos artificiales, microsistemas de estimulacin de nervios y msculos, etc. Los microsistemas permiten asimismo obtener informacin del cuerpo humano: microsensores de visin, medidores de glucosa, de presin sangunea, de oxigeno en 12

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sangre, endoscopios, sistemas de diagnosis gentica, etc. Los sistemas modernos de medicin de glucosa en la sangre son capaces de trabajar con muestras de tan solo 3 microlitros, integrando microcapilares y microelectrodos (en el caso de sensores electroqumicos). Otra rea a sealar es la de la ciruga minimamente invasiva. Esto es factible gracias a los nuevos dispositivos e instrumentos miniaturizados que incorporan microestructuras mecnicas, componentes micro pticos y de fibra ptica, microsensores tctiles y de presin, etc. Los motores lineales para microciruga controlan la posicin de los instrumentos quirrgicos a muy pequea escala, del orden de una micra, mejorando los resultados de la mayora de las tcnicas quirrgicas actuales. Los sensores de tejidos activos con microsensores de fuerza incorporados, permiten identificar en tiempo real las propiedades de los tejidos de forma que el cirujano solo manipule los tejidos enfermos. Maquinas herramienta. La fabricacin de microsistemas requiere utillaje y herramientas adecuados a su tamao por lo que son necesarios micro taladros y micro brocas de diamante o metales duros, as mismo para la manipulacin y ensamblado se utilizan herramientas miniaturizadas como micro pinzas, microrobots, etc. Telecomunicaciones. La expansin de los sistemas de telecomunicacin basados en la fibra ptica ha provocado un crecimiento sbito tanto en el nmero como en el tipo de dispositivos y componentes pticos, adems el uso de microcomponentes permite disminuir el coste de las redes. Debido a la precisin requerida para las conexiones pticas y a la gran sensibilidad que presenta esta tecnologa a los desalineamientos de posicin y angulares, los microsistemas son de gran importancia en los sistemas de fibra ptica, ellos posibilitan el posicionamiento de las fibras de entrada y salida mediante canales micro mecanizados, sin necesidad de realizar complejas y costosas operaciones de alineamiento activo. Adems se fabrican numerosas microestructuras como elementos pticos pasivos (interruptores pticos, guas de onda, divisores de haz, etc.). En RF las ventajas ofrecidas por los microsistemas en trminos de reduccin de tamao, consumo energtico, compatibilidad e integrabilidad son investigadas para el desarrollo de microcomponentes de RF, tales como filtros, interruptores y antenas.

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Tecnologas de la informacin. En este sector se encuentra la cuota mayor de mercado de microsistemas, una de las razones de esto se encuentra en la miniaturizacin, integracin y bajo coste de la microelectrnica asociada, es de sealar que un sistema informtico incluye adems de la CPU, el interface con el exterior, por lo que numerosas microestructuras con funciones mecnicas, magnticas, pticas, etc., forman parte de los dispositivos de almacenamiento de datos, (discos duros, CD-ROM, etc.) y de los perifricos de entrada y salida de datos (monitores, escneres, lectores de cdigos de barra, displays de pantalla plana, ). Los cabezales magnticos de discos duros y pticos para CDROMs, junto con los cabezales de inyeccin de tinta de las impresoras y los displays, constituyen las principales aplicaciones de los microsistemas en este sector. El desarrollo de nuevos y mejores microsistemas permitir mejorar factores como la calidad de color y resolucin en impresoras, la nitidez en la imagen en pantalla, aumentar la densidad de datos y velocidad de procesamiento en estos dispositivos as como reducir su tamao y peso, disminuyendo coste. Otro campo en el que los microsistemas ofrecen grandes perspectivas de desarrollo es en el de las tecnologas de conexin e integracin de componentes, debido a las limitaciones de las tcnicas actuales. Electrodomsticos. En este sector reducir el consumo de energa, agua y detergente es primordial, las caractersticas de los sensores y actuadores, utilizados son bastante exigentes: bajos costes, altas caractersticas tcnicas y larga duracin. Hoy muchos de ellos incorporan sensores capaces de detectar el grado de turbidez del agua, a fin de ajustar la cantidad de detergente y agua en funcin de la necesidad real en lavadoras y lavavajillas. Otros sensores y dispositivos tienen como fin detectar y controlar la temperatura del agua, velocidad de rotacin del motor, duracin de los ciclos de lavado y aclarado, etc. ( Lpez Fernndez., 2005)

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SISTEMAS NANOELECTROMECNICOS (NEMS). DEFINICIN. Los sistemas nanoelectromecnicos (NEMS) son dispositivos que pueden contener elementos mecnicos, electromagnticos, pticos, trmicos y de fluidos con al menos una dimensin del orden de nanmetros. (Rivas MJ, 2007). Un dispositivo o sistema nanoelectromecnico (NEMS, Nanoelectromechanical Systems) es aquel que mediante la conversin del movimiento de una estructura nano mecnica en una seal elctrica aprovecha las propiedades nanomecnicas de la estructura para el desarrollo de una determinada funcionalidad como, por ejemplo, la medida de magnitudes fsicas, la deteccin de partculas o el procesamiento de seales. La fabricacin de NEMS a escala cada vez menor es un campo de gran inters en nanotecnologa, pues ello puede permitir el desarrollo de dispositivos con nuevas funcionalidades que se aproximen a los lmites de la mecnica clsica. (San Paulo & Prez Murano) OBJETIVOS. Como describe (Hughes, Ventra, & Evoy., 2004) a la escala en que puede funcionar NEMS se espera que impacten de manera significativa muchas reas de la ciencia y la tecnologa y, eventualmente, remplazar a MEMS el cual se propone como el principal objetivo a cumplir a mediano plazo es decir a un futuro no lejano a 10 aos. Como ha sealado Richard Feynman en su famosa conferencia en 1959, hay una gran cantidad de posibles aplicaciones de las mquinas en tamaos ms pequeos y ms pequeos, mediante la construccin y el control de dispositivos en escalas ms pequeas que incluyan todos los beneficios de la tecnologa. Entre los beneficios esperados incluyen una mayor eficiencia y reduccin del tamao, un consumo menor de energa y el poder reducir los costos de produccin en los sistemas electromecnicos, los cuales se proponen como el segundo objetivo a cumplir por la tecnologa NEMS. Es as que para cumplir con los objetivos del desarrollo de esta tecnologa se tienen algunos antecedentes de su evolucin continuacin: en los ltimos aos que son descritos a

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En el ao 2000, la primera integracin a gran escala (VLSI) del dispositivo NEMS fue demostrada por los investigadores de IBM (Despont, 2000). Su premisa era la construccin de una matriz de gran variedad de puntas de AFM que pueda por calentamiento detectar un sustrato deformable con el fin de funcionar como un dispositivo de memoria. En 2007, la Hoja de Ruta Tcnica Internacional de Semiconductores (ITRS) indica a la memoria NEMS como una nueva fuente de Investigacin en la seccin de Dispositivos. Pero a pesar de las grandes ventajas que se obtendra con el desarrollo de esta tecnologa existen serios inconvenientes con respecto a las propiedades tiles de los materiales utilizados que son nanotubos de carbono y grafeno. Para la tecnologa NEMS ambos productos presentan varios obstculos para su aplicacin. Uno de los principales problemas es la respuesta del carbono a los ambientes reales. Los nanotubos de carbono presentan un gran cambio en las propiedades electrnicas cuando se expone al oxgeno. Del mismo modo, otros cambios en los atributos electrnicos y mecnicos de las propiedades del carbono tienen que ser explorados antes de su aplicacin. Tambin se encontr que tienen diferentes conductividades, siendo ya sea metlico o semiconductor. Debido a esto, un tratamiento muy especial debe darse a los nanotubos durante el procesamiento, con el fin de asegurar que todos los nanotubos tienen conductividades adecuadas. Esto significa que en las construcciones tradicionales de los dispositivos electrnicos es probable que no funcionen estos materiales y se deba crear nuevas arquitecturas para estos dispositivos electrnicos convirtindose en un inconveniente en el desarrollo de la tecnologa basada en NEMS. CARACTERSTICAS. Los NEMS presentan caractersticas fascinantes que difieren de su antecesor, los sistemas micro electromecnicos (MEMS). Entre algunas de stas caractersticas destacan: Su reducido tamao. 16

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Medir fuerzas con una resolucin de ato-newtons (110-18N). Detectar partculas con masas en la escala de zeptogramos (110-21g). Consumir potencias muy pequeas del orden de ato-watts. Operar a frecuencias muy altas hasta de gigahertz (1109Hz). Disponer de arreglos de nanocanales para obtener agua potable a partir de agua salada. Su potencial capacidad para crear memorias no voltiles ms rpidas y con mayor capacidad de almacenamiento de datos. Precisin a escala monoatmica tanto como la estabilidad trmica. Aumento de la frecuencia natural de vibracin angular directamente proporcional a la disminucin de longitud, lo que proporciona una alta frecuencia de respuesta, es decir, respuestas rpidas a las variaciones. Disipan muy poca energa por lo que son muy sensibles a los mecanismos externos de damping (amortiguamiento), muy importante en los sensores. Disminucin del ruido termomecnico y de las fluctuaciones mecnicas aleatorias, lo que incrementa la sensibilidad de estos dispositivos a las fuerzas externas que se quieren medir. La pequea masa efectiva del elemento mecnico extremadamente sensible a masas adicionales, con lo que aumenta su sensibilidad. Kamil Ekinci integrante de Caltech ha propuesto como sensor ms sensible aquel que estara compuesto slo por unos cuantos tomos adsorbidos sobre la superficie de un soporte. Son adems dispositivos de una gran selectividad, debido a su pequeo tamao. La potencia consumida es del orden de micro watios, unos tres o cuatro rdenes de magnitud inferior a los dispositivos electrnicos convencionales. Pueden fabricarse de silicio, arseniuro de galio y arseniuro de indio o de otros materiales compatibles, esto implica que el resto de dispositivos auxiliares pueden integrarse en el mismo chip, creando circuitos complejos, lo que disminuye la problemtica de coordinar distintos elementos no compatibles en escalas nanomtricas. (Madueo, 2008).

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DISPOSITIVOS. Sensores de masa. Generalmente los NEMS utilizados como sensores de masa consisten de un resonador formado por una viga empotrada en un extremo o una viga doblemente empotrada. Un cambio en la masa del resonador produce una alteracin en su frecuencia de resonancia que puede ser detectado pticamente o capacitivamente, como se muestra en la Figura 6. Los resonadores pueden ser accionados de forma trmica, magntica, piezoelctrica o electrosttica y tienen las ventajas de simplicidad y alta sensibilidad.

Figura 6. a: esquema del monitoreo de masa por medio de un resonador de silicio con vibracin lateral, y b: SEM de un resonador de silicio con vibracin lateral y con espesor en la escala nanomtrica, el cual fue desarrollado por investigadores del Centro Nacional de Microelectrnica, de la Universidad Autnoma de Barcelona y de la Universidad Tcnica de Dinamarca.

El principio de la deteccin de masa est basado en el monitoreo del cambio de la frecuencia de resonancia de la viga en funcin de la masa absorbida. (Yang YT, 2006) Desarrollaron un nanosensor de masa que alcanz una resolucin de 7 zeptogramos, lo cual es aproximadamente equivalente a 30 tomos de xenn. Nanoguitarra. En 1997, investigadores de la Universidad de Cornell fabricaron la guitarra ms pequea del mundo con un diseo similar al modelo Fender Stratocaster, como se muestra en la

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Figura 7a. El tamao de esta nanoguitarra tiene el mismo orden de magnitud que un glbulo rojo sanguneo.

Figura 7. a: nanoguitarra Fender Stratocaster ms pequea del mundo, con un tamao similar al glbulo rojo sanguneo, y b: nanoguitarra Gibson Flying V con un tamao ~5 veces superior a la anterior.

Seis aos despus, estos investigadores fabricaron y probaron un nuevo modelo de nanoguitarra (Figura 7b) con la forma de una Gibson Flying V y con un tamao ~5 veces superior a la primera nanoguitarra. La segunda nanoguitarra fue fabricada mediante litografa de haz de electrones de alto voltaje y con grabado hmedo. Las cuerdas de esta nanoguitarra tienen barras de Si con secciones transversales de 150200hm cada una y longitudes de 6 a 12m. Las cuerdas de la nanoguitarra fueron excitadas mediante un lser HeNe, el cual provoc oscilaciones resonantes en las cuerdas. Para escuchar la nanoguitarra, los investigadores usaron un fotodetector que detect los patrones de interferencia en la luz reflejada de las cuerdas y el sustrato. Este patrn de interferencias fue convertido electrnicamente en tonos audibles. El diseo de las nanoguitarras permite entender mejor el funcionamiento de los NEMS. Dispositivos con operacin similar a las nanoguitarras pueden ser utilizados en aplicaciones tales como osciladores de radio frecuencia de telfonos celulares, en la deteccin qumica o biolgica, en la modulacin de la luz, en la deteccin de vibraciones que ayuden a localizar objetos o identificar sonidos dbiles para predecir fallas de maquinaria o estructuras.

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Memoria de acceso aleatorio no voltil Roukes reporto una memoria de acceso aleatorio no voltil basado en dispositivos electromecnicos formados con un arreglo de barras suspendidas de SWCNTs, como se muestra en la Figura 8. En la parte inferior de cada SWCNT existe un CNT con una separacin del orden de 10hm. Al aplicar una diferencia de potencial entre ellos se origina una fuerza electrosttica mayor a la fuerza elstica del SWCNT que la flexiona hasta hacer contacto con el CNT inferior, lo cual simula el estado ON o el 1 lgico. Aunque se retire la fuerza electrosttica, el SWCNT permanece unido al CNT inferior debido a la fuerza de van der Waals que permite a stas memorias ser no voltiles. Para poder retirar esta unin es necesario aplicar una fuerza electrosttica repulsiva entre el SWCNT y el CNT inferior, en donde la separacin representa el estado OFF o el 0 lgico. Los dos estados OFF/ON pueden ser detectados fcilmente midiendo la resistencia de la unin. Estos dispositivos podran ser usados para construir memorias RAM no voltiles con un nivel de integracin de ~1012 elementos/cm2 y una frecuencia de operacin del orden de GHz. Sin embargo, el gran desafo de este dispositivo estriba en su proceso de fabricacin para mantener arreglos paralelos de los SWCNTs con una distancia de separacin a los CNTs de ~10hm.

Figura 8. Esquema de la memoria RAM no voltil basado en CNTs propuesto por Roukes (2000) .

Otro tipo de memoria RAM no voltil basado en CNTs fue propuesto por Kang y Jiang 2007. El diseo de esta nanomemoria consiste de MWCNTs que le permite tener tres estados lgicos (Figura 9). En la nanomemoria, los MWCNTs son depositados sobre un electrodo metlico y su principio de funcionamiento est basado en el movimiento telescpico de los MWCNTs. En ellos, un MWCNT es estacionario y en su interior se encuentra un MWCNT mvil con dos electrodos ubicados alrededor de los MWCNTs.

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Cuando el electrodo derecho es cargado positivamente y el MWCNT mvil es cargado negativamente, se genera una fuerza electrosttica que atrae al MWCNT mvil hacia el electrodo derecho (Figura 9b). Si la energa de adhesin entre el electrodo y el MWCNT es mayor que la fuerza de van der Waals existente entre el MWCNT mvil y el estacionario, entonces el MWCNT permanecer unido al electrodo derecho, aun cuando se retire el voltaje aplicado al electrodo, lo cual representa el estado 1. De forma similar, cuando el electrodo izquierdo es cargado negativamente y el MWCNT mvil es cargado positivamente, se genera una fuerza electrosttica de atraccin que atrae al MWCNT mvil hacia el electrodo izquierdo (Figura 9c). Si la energa de adhesin entre el MWCNT mvil y el electrodo izquierdo es superior a la fuerza de van der Waals, entonces permanecern unidos an si se retira la fuerza electrosttica. Si la fuerza de amortiguamiento es alta o no existe fuerza electrosttica, entonces el MWCNT mvil permanecer en reposo, condicin que representa el 0 lgico.

Figura 9. Diseo de una memoria no voltil basado en MWCNTs. a: posicin de equilibrio inicial, b: el MWCNT mvil est en contacto con el electrodo derecho con un potencial elctrico V1, y c: el MWCNT mvil est en contacto con el electrodo izquierdo con un potencial elctrico V2.

Las memorias fabricadas con CNTs pueden ser una alternativa viable para fabricar memorias RAM no voltiles ms rpidas, de menor costo, con gran capacidad de almacenamiento, mnimo consumo de potencia, resistentes a la radiacin, y con vida casi ilimitada. Estas memorias no voltiles podran ser utilizadas para remplazar las memorias de los 21

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telfonos celulares, de dispositivos MP3, de cmaras digitales y de PDAs (asistentes digitales personales). Actualmente la empresa Nantero est construyendo un chip de memoria RAM no voltil basado en CNTs que ha llamado NRAM. Con este nuevo chip, la empresa espera remplazar a las memorias DRAM, SRAM, memorias flash y discos duros de almacenamiento. Filtros. Dispositivos NEMS basados en CNTs pueden utilizarse como filtros para eliminar partculas suspendidas en fluidos. El tamao nanomtrico del dimetro de los CNTs permite el paso de fluidos por su interior y la retencin de partculas suspendidas en el fluido. Esto abre el panorama a un conjunto de nuevas aplicaciones tales como celdas electroqumicas, biosensores y laboratorios en un chip. Wang report un arreglo de membranas de CNTs que podra utilizarse para obtener agua potable a partir de agua salada. Aunque los CNTs son hidrofbicos, estos autores consiguieron que los CNTs dejaran de repeler gotas de agua mediante el ajuste e inversin de voltaje (Figura 10). El sistema consiste en aplicar un potencial positivo pequeo (1,7V) a las membranas de CNTs mientras a las gotas de agua se les aplica un potencial negativo. De esta forma, los CNTs no repelen el agua y le permiten fluir por sus interiores. Adems, Wang descubri que podran controlar el ndice de flujo del agua a travs de los CNTs. Este descubrimiento es un avance muy importante para en un futuro obtener agua potable a partir de agua salada mediante el control del flujo de agua a travs de las membranas de CNTs.

Figura 10. Efecto de la polarizacin positiva sobre la respuesta de una gota de agua.

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Adems, estos dispositivos permitirn el desarrollo de capas de medicamentos que se liberaran en un tiempo determinado. Nanorobtica. La nanorobtica es el estudio de la robtica en la escala nanomtrica e incluye robots que tienen algunos componentes con tamao menor a una micrmetro o presentan capacidad de manipulacin de objetos con resolucin nanomtrica. Los NEMS y la nanoelectrnica sern la base fundamental para que en un futuro se desarrollen nanomquinas integradas conocidas como nanorobots. Esto ser posible gracias a los avances recientes de los NEMS, biosensores y nanoelectrnica en la construccin de dispositivos tales como nanotransductores, computacin biomolecular y motores biomoleculares. El desarrollo de los nanorobots es un campo emergente que se encuentra en un proceso exhaustivo de investigacin. La simulacin computacional de los nanorobots es una herramienta clave para la exploracin de alternativas en la organizacin, configuracin, planeacin de movimiento y control de los nanorobots en el cuerpo humano. (Herrera May & Aguilera Corts, 2010)

Figura 11. Nanorobots virtuales de seis grados de libertad con rotores moleculares, aletas, propelas y sensores para aplicaciones mdicas

APLICACIONES. Nanoelectromechanical systems (NEMS) est evolucionando, con nuevos estudios cientficos y tcnicos emergentes en diversas aplicaciones. Mechanical devices are shrinking in thickness and width to reduce mass, increase resonant frequency, and lower the force constants of these systems. Los dispositivos mecnicos estn disminuyendo en 23

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espesor y anchura para reducir la masa, aumentar la frecuencia resonante, y disminuir la fuerza de las constantes de estos sistemas. Advances in the field include improvements in fabrication processes and new methods for actuating and detecting motion at the nanoscale. Los avances en el campo incluyen la mejora de los procesos de fabricacin y nuevos mtodos para la deteccin de movimiento y actuacin a nano escala. Lithographic approaches are capable of creating freestanding objects in silicon and other materials, with thickness and lateral dimensions down to about 20 nanometers. Con los avances actuales la ciencia es capaz de crear objetos independientes en el silicio y otros materiales, con un espesor de laterales y dimensiones de unos 20 nanmetros. Similar processes can make channels or pores of comparable dimensions, approaching the molecular scale. Con procesos similares se puede hacer canales o poros de dimensiones comparables, acercndose a la escala molecular. This allows access to a new experimental regime and suggests new applications in sensing and molecular interactions. Esto permite el acceso a un nuevo rgimen experimental, y se sugieren nuevas aplicaciones en la deteccin y las interacciones moleculares. En ltima instancia, sin lugar a dudas NEMS puede ser empleada en una amplia gama de aplicaciones. Incluso en esta etapa temprana de desarrollo e investigacin parece claro que uno de los principales campos de aplicacin ser el procesado de la seal en las bandas de VHF, UHF y microondas bandas. El uso de la tecnologa NEMS ampla el campo de sus aplicaciones para la Metrologa y partes fundamentales de la ciencia: es decir, en el rea mecnica y de deteccin, y para el transporte trmico a nivel de nano escala. Las aplicaciones NEMS nos hacen una promesa de enormes avances tecnolgicos (Querataro, 2007), los cuales se describen a continuacin: Energas alternativas, energa del hidrgeno, pilas (clulas) de combustible, dispositivos de ahorro energtico. Administracin de medicamentos, especialmente para combatir el cncer y otras enfermedades.

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Computacin cuntica, semiconductores, nuevos chips. Seguridad. Microsensores de altas prestaciones. Aplicaciones planas... Contaminacin medioambiental. Prestaciones aeroespaciales: nuevos materiales, etc. Fabricacin molecular. industriales muy diversas: tejidos, deportes, materiales, automviles, cosmticos, pinturas, construccin, envasados alimentos, pantallas

La militarizacin de la nanotecnologa es una aplicacin potencial. Mientras los nano materiales avanzados obviamente tienen aplicaciones para la mejora de armas existentes y el hardware militar a travs de nuevas propiedades tales como la relacin fuerza-peso o modificar la reflexin de la radiacin EM para aplicaciones sigilosas, y la electrnica molecular podra ser usada para construir sistemas informticos muy tiles para misiles, no hay ninguna manera obvia de que alguna de las formas que se tienen en la actualidad o en un futuro prximo puedan ser militarizadas ms all de lo que lo hacen otras tecnologas como la ingeniera gentica. Mientras conceptualmente podramos disear que atacasen sistemas biolgicos o los componentes de un vehculo es decir, un nanomquina que consumiera la goma de los neumticos para dejar incapaz a un vehculo rpidamente, tales diseos est un poco lejos de la realidad. En trminos de eficacia, podran ser comparados con conceptos de arma tales como los pertenecientes a la ingeniera gentica, como virus o bacterias, que son similares en concepto y funcin prctica y generalmente armas tcticamente poco atractivas, aunque las aplicaciones para el terrorismo son claras. La nanotecnologa puede ser usada para crear dispositivos no detectables micrfonos o cmaras de tamao de una molcula, y son posibilidades que entran en el terreno de lo factible. El impacto social de tales dispositivos dependera de muchos factores, incluyendo quin ha tenido acceso a l, cmo de bien funcionan y cmo son usados.

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4. CONCLUSIONES: 4.1. La miniaturizacin de mquinas electromecnicas o MEMS ya es una realidad de nuestros das. Efectivamente, estos micro dispositivos ya se emplean para la realizacin de nuevos dispositivos a nivel nano. Para que la nanotecnologa se haga realidad, tenemos que encontrar la manera de producir en masa productos de tamao nano como transistores y nanocables para que podamos crear nuevas tecnologas. 4.2. La tecnologa de hoy con respecto a los MEMS son solo el inicio de una revolucin tecnolgica que se vera reflejada en un futuro, facilitando la calidad de vida de las prximas generaciones. 4.3. Con la aparicin de los sistemas Microelectromecnicos, se ha visto que los dispositivos que utilizamos a diario poseen caractersticas cada vez ms avanzadas y siendo cada vez ms pequeos y fciles de transportar. 4.4. Los MEMS contribuyen al desarrollo de dispositivos mecnicos ms pequeos, livianos, en versiones ms rpidas, con mayor precisin, consumos de energa reducidos y biocompatibles. 4.5. Los microsistemas (MEMS) aprovechan las propiedades electromecnicas del Si, donde las caractersticas elctricas cambian en respuesta a cambios de parmetros particulares externos como: temperatura, presin, aceleracin, humedad y radiacin. 4.6. 4.7. 4.8. En la fabricacin de lotes para grandes volmenes de dispositivos MEMS dan como resultado un bajo coste de los componentes. MEMS es un sistema conformado por microestructuras, microsensores, microelectrnica y microactuadores. Los MEMS poseen, microestructuras que constituyen el armazn del sistema, microsensores que detectan seales, microelectrnica que procesa la seal y da las rdenes al microactuador para reaccionar. 4.9. El objetivo de la tecnologa NEMS es en un futuro muy cercano remplazar a la actual tecnologa MEMS. 4.10. Uno de los principales beneficios esperados del uso de los NEMS es el incremento de la eficiencia y reduccin del tamao, un consumo menor de energa y el poder reducir los costos de produccin en los sistemas electromecnicos.

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4.11. Los campos de aplicacin del desarrollo de tecnologa NEMS es muy amplio, pero as mismo su investigacin con fines militares y terroristas debe preocupar al mundo. 4.12. Los nanotubos de carbono y grafeno, principales materiales utilizados para el desarrollo de esta tecnologa aun requieren de mucha investigacin para poder aprovechar sus propiedades al mximo. 4.13. Los NEMS contribuirn en el desarrollo de nuevos y fascinantes dispositivos que influirn en el estilo y calidad de vida de las personas en un futuro. Sin embargo, antes deben superarse importantes desafos, tales como lograr tcnicas de nanofabricacin reproducibles y de alta resolucin, la integracin eficiente de elementos mecnicos con componentes electrnicos en un sistema completo, el desarrollo de mecanismos eficientes para la actuacin y deteccin de desplazamientos en la escala de nanmetros, la reduccin de los costos de fabricacin y la disminucin de su amortiguamiento. 4.14. El estado actual de la tecnologa trae la necesidad de abordar el desarrollo de los dispositivos NEMS. La nanotecnologa es un campo de las ciencias aplicadas dedicado al control y manipulacin de la materia a una escala menor que un micrmetro, es decir, a nivel de tomos y molculas (nanomateriales). 4.15. Los NEMS y la nanoelectrnica sern la base fundamental para que en un futuro se desarrollen nanomquinas integradas conocidas como nanorobots. 5. RECOMENDACIONES: 5.1. 5.2. Renovar los conocimientos cada cierto periodo de tiempo acerca del tema de la microingeniera, ya que su incremento y evolucin cada vez es ms rpido. Promover el enriquecimiento del conocimiento tecnolgico para las distintas aplicaciones de los sistemas MEMS y NEMS, pero con el uso responsable de materiales que no vayan en contra del medio ambiente.

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6. REFERENCIAS BIBLIOGRFICAS

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