DISEÑO DE PAR DE FINGERS

Gonzalez Sanchez Alan David 201739387

4 DE SEPTIEMBRE DE 2022
BENEMÉRITA UNIVERSIDAD AUTÓNOMA DE PUEBLA - FACULTAD DE CIENCIAS DE LA ELECTRÓNICA
Tópicos Selectos MEMS/NEMS 1 - Otoño 2022
1. Introducción
En este reporte se mostrará como se realizó el diseño de un par de fingers que son parte de
un acelerómetro el cual es utilizado actualmente en vehículos.
Se nos pide diseñar un par de fingers de manera que cumpla con las consideraciones
mostradas a continuación. Además, nos apoyaremos en el siguiente esbozo de SolidWorks
para darnos una idea mas clara de lo que se necesita para el diseño de esta:
5*w
Consideraciones
d de diseño:

2*w Capacitancia:
w
20nF
Rango de
t mediciones: 1
µm-1000 µm
l Grosores de
Donde: estructuras
l: Longitud del finger posibles(w):
10µm o 20µm
t: Grosor del finger
Material: Silicio
2*w w: Ancho del finger isotrópico
d: distancia entre fingers
3*w

Figura 1 Esbozo de fingers en SolidWorks

Con el esbozo anterior podemos ver exactamente como es la estructura que diseñaremos, a
continuación, se mostrara el modelo a usar.

1.1. Modelo matemático para el diseño

El modelo que se utilizará será el de un capacitor de placas paralelas el cual se muestra a
continuación:
𝐴
𝐶 = 𝜀𝑟 𝜀0 (1)
𝑑
Donde:
C: Capacitancia (F)
𝜀0: Permitividad del espacio en el vacío (8.85 ∙ 10−12 𝐹/𝑚)
𝜀r: Permitividad relativa de la sustancia entre las placas (sin unidades)
A: Área de las placas (m2)
Ahora con lo anterior, ya se tiene idea de que es lo que podemos modificar que sería el área
de las placas, así como la distancia que hay entre ellas.
2. Metodología
Como se mencionó en el apartado anterior lo que se modificará será el área y distancia de
las placas de los fingers, esto para obtener los 20nf de capacitancia que se nos solicita con
las restricciones que tenemos. Después de eso se pasará a simular en Comsol para verificar
que nuestro diseño haya sido correcto para así, de ser necesario, modificar los valores
mencionados. Nos guiaremos del siguiente diagrama de flujo:

Se necesita diseñar una

capacitancia para un par de
fingers

Se ingresan los
No
parámetros
calculados: d, t, w, l

Si
Se simula en Comsol ¿El error es Fin
aceptable?

2.1. Cálculo de parámetros

Ahora procederemos a manipular la ecuación (1) del siguiente modo:
𝑑∗𝐶
𝐴= (2)
𝜀𝑟 𝜀0
Proponemos d = 2µm, tomaremos la permitividad del aire para 𝜀𝑟 = 1.0005 y calculamos.
(2 ∗ 10−6 ) ∗ (20 ∗ 10−12 )
𝐴= = 4.517 ∗ 10−9
(8.85 ∗ 10−12 ) ∗ 1.0005
Tomando en cuenta que el área de la placa esta dada por el producto entre la longitud y el
grosor se procede a proponer el grosor debido a que solo puede ser de 10 o 20 µm, en este
caso, se tomara el valor de 20µm y se calcula:
4.517∗10−9
𝑙 ∗ (20 ∗ 10−6 ) = 4.517 ∗ 10−9 ⇒ 𝑙 = (20∗10−6)
= 225.87 ∗ 10−6 (3)

Por último, tomaremos a w=20µm por mera comodidad.

Variable Parámetro Valor
l Longitud de la placa 225.87 µm
d Distancia entre placas 2 µm
t Grosor de la placa 20 µm
w Ancho de la placa 20 µm
2.2. Simulación
Se procede a realizar el modelo antes visto en Comsol obteniendo lo siguiente:
Aire
ire

Figura 2 Construcción de los fingers en Comsol

Con los fingers construidos y la placa de aire colocada entre las placas se procede a
agregar el material de silicio a las placas, así como se asigna el aire a la parte que esta
entre estas.

Figura 3 Asignación del material Silicio

Figura 4 Asignación del material Aire

Ahora se procede a agregarle la tierra y la terminal al modelo de la siguiente manera:

Selección de la cara

Figura 5 Asignación de la tierra

Selección de la cara

Figura 6 Asignación de la terminal

Hay que recordar que se debe agregar que se está utilizando 1v para esta terminal. Se
procede a agregar la malla. Por último, se simula y veremos los resultados en el siguiente
apartado.

Figura 7 Construcción de la malla

3. Resultados
Con la simulación anterior obtenemos las siguientes 2 graficas, la primera donde se muestra
la diferencia de potencial que hay entre las placas y la segunda que muestra la capacitancia
del sistema.

Figura 8 Potencial entre las placas

Se puede observar como la placa de la izquierda es de color azul la cual representa un valor
de 0V o se puede interpretar como la tierra (GND), la placa de la derecha presenta el valor
máximo de 1V debido a que es la terminal y en medio de estas se puede ver la distribución
del voltaje en el aire que esta entre las placas.

Figura 9 Capacitancia de las placas

Por último, podemos ver que la capacitancia obtenida por medio de este diseño es de
18.24fF por lo que esta cerca de lo que se necesita, sin embargo, se procederá a hacer una
nueva propuesta para acercarse aún más a los 20fF que se solicitaron utilizando los
siguiente valores los cuales se calcularon de la misma forma que los anteriores.
 Variable Parámetro Valor anterior Valor nuevo
l Longitud de la placa 225.87µm 790.56µm
d Distancia entre placas 2µm 7µm
t Grosor de la placa 20µm 20µm
w Ancho de la placa 20µm 20µm
Se vuelve a construir modificando los parámetros:

Se simula nuevamente, en esta ocasión no se agregará el grafico de potencial eléctrico

debido a que es similar al de los anteriores valores. A continuación, se muestra la nueva
capacitancia obtenida

Se puede observar que la capacitancia se acerca ahora lo suficiente como para que podamos
dar por terminado el trabajo satisfactoriamente debido a que el error ahora es mucho menos
al anterior.
4. Conclusión
Con todo lo antes realizado podemos darnos cuenta que a pesar de que en la teoría el
calculo pueda ser correcto, cuando se lleva a la practica el resultado esperado puede variar,
en este caso logramos ver que variando la longitud y la distancia de las placas se mejoraba
el resultado esperado, aun podía hacerse mas acercamiento sin embargo quizá ya no valga
la pena aumentar mas las longitudes ya que se aproximo lo suficiente como para ya no
necesitar seguir modificando.