Curso Sistema de Vácuo1

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CURSO: SISTEMA DE VÁCUO ENGENHARIA
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1- INTRODUÇÃO
1.1 – PRESSÃO :
Estamos habituados a idéia de pressão dada pela fórmula P=F/S, ou seja, força distribuída por área , e sempre
utilizamos as unidades: Kgf/cm² ou N/m² (S.I.).
A pressão atmosférica Patm foi obtida através da experiência de Torrecilli que deu origem as unidades Torr ou
mmHg. Daí a pressão atmosférica ao nível do mar ser 760Torr ou 760mmHg.
A pressão atmosférica diminui proporcionalmente com o aumento da altitude em relação a superfície da terra .
Para altitudes de 100Km temos alto vácuo e para altitudes acima de 400Km temos ultra vácuo .
A unidade mbar foi adotada como unidade de medida standard praticada em sistema de vácuo, como um
consenso, portanto não pertence ao S.I. Vale a observação que não existe diferença significativa em se trabalhar
com a unidade Torr ou mbar, a unidade em mbar é muito mais conveniente . Ex. 1mbar = 0,75Torr = 10²Pa.
Para Patm teremos 10³mbar = 1 bar
Apresentamos abaixo a tabela de conversão de unidades de vácuo:
Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

Editado por: Toni Carlos Data: 29/04/04
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1.2 - AR, GASES E VAPORES
Nossa atmosfera terrestre está preenchida por vários tipos de gases, mostramos abaixo sua composição :
As partículas constituintes de um gás ou ar movem-se com muita liberdade e com movimentos retilíneos e
uniforme, mantendo uma grande distância entre si , isto ocorre devido a quase não existir atração elétrica entre
as partículas e por possuírem energia elétrica constante.
Isto significa que os gases e o ar têm a propriedade de expandir-se ou ser comprimido, ou seja em um
recipiente fechado a pressão do ar será igual em qualquer um dos pontos medidos, pois o ar ou gás se distribui
por igual no volume interno do recipiente.
Daí os gases e o ar obedecerem a lei dos gases ideais dada pela fórmula de Clapeyron:
PV=η*R*T
Obs.1: Está lei não se aplica a gases próximos de suas condições de condensação .
Obs.2: As moléculas do ar a temperatura ambiente possuem velocidade de até 3600Km/h.

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A água apresenta diferentes comportamentos quando as sua condições de pressão e temperatura, para isto
observemos o diagrama de fases da água apresentado abaixo:
Pelo diagrama de fases da água apresentado podemos observar que a água estará na forma liquida se estiver
submetida a pressão atmosférica ( 1atm) e com temperatura menor do que 100ºC.
Porém para está mesma pressão e com temperatura maior do que 100ºC, a água estará na região de vaporização.
Ainda para mesma pressão e agora diminuirmos a temperatura para abaixo de 0ºC, a água irá para região de
solidificação , até aqui tudo bem.
Chamamos a atenção para diferentes condições a que é submetida a água em um processo de vácuo, onde a
pressão de trabalho é menor do que 10-³mbar, neste caso as moléculas da água são separadas indo ao estado de
sublimação, que para nós e conhecido com a 4ª fase (gases).
Gases produzidos durante o processo de evaporação de alumínio ou “vapores” de água são bombeados pelas
bombas de vácuo, os “vapores” de água podem ser captados eficientemente utilizando sistemas de serpentinas
tipo polycold ou Nitrogênio, mas vale ressaltar que alguns outros tipos de gases e gases proveniente de
evaporação de alumínio não podem ser liqüefeitos.
1.3 VÁCUO
A finalidade de um sistema de vácuo é reduzir a densidade “d” de moléculas de gás ou ar dentro de um

recipiente, principalmente de “vapores” de água.

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Quando da evaporação do alumínio, a pressão do vácuo deve ser tal que o alumínio passe do estado sólido para
o estado de vapor (sublimação) e solidificando se novamente sem sofrer processo de oxidação.
Podemos destacar ainda que um dado recipiente contendo água e outro ar. Se no recipiente n.º 1 iniciarmos o
processo de retirada da água através de um tampão (“ladrão”) e se medirmos esta vazão em 1/min, vamos
verificar que esta relação litros por minuto é linear, ou seja , é uma reta de inclinação constante com ponto de
partida zero.
O mesmo não ocorre no recipiente nº2 contendo ar, Pois ao iniciarmos a retirada do ar de dentro do recipiente,
o ar tenderá e expandir-se para ocupar todo o recipiente e ao medirmos esta vazão vamos constatar que esta
relação litros por minuto não é linear.
Observe a curva do ar e dos gases mostrados na figura a seguir:
Devido a este efeito a indicação de pressão dentro de uma câmara em vácuo certamente irá diferir após a
pressão de vácuo ficar menor do que 10-¹mbar, ou seja a leitura da pressão na câmara de bobinamento será
diferente de pressão da câmara de evaporação , mesmo que haja abertura (buracos) que as interliguem. Já os
sensores e indicadores de pressão de vácuo possuem em sua construção circuitos de correção logarítmica ,
conforme podemos observar em suas respectivas escalas.

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Para efeito de estudo os sistemas de vácuo são divididos em quatro fases, que são:
 Pré-vácuo 1000 à 1mbar (Rough Vacuum) – RV

 Médio-vácuo 1 à 10-³mbar (Medium Vacuum) – MV
 Alto-vácuo 10-³mbar à 10-7 (High Vacuum) –HV
 Ultra alto vácuo 10-7mbar em diante (Ultra-high vacuum) – UHV
Estas divisões são naturalmente arbitrárias . A região de Pré-vácuo é geralmente chamada de região de baixa
pressão (abaixo da pressão atmosférica).
Para sistemas de vácuo há três tipos de fluxo de gás que são : Fluxo viscoso, fluxo molecular e fluxo Knudsen.
 Fluxo viscoso : Apresenta-se quase sempre em sistema de pré-vácuo. O fluxo viscoso é subdividido em
laminar ou turbulento. O fluxo turbulento tem o n.º Reynolds (Re) >2200, este é caracterizado como um
fluxo variável de velocidade não constante no centro do tubo, muito encontrado em fluídos de alta
viscosidade ou baixa pressão.
 Fluxo laminar: É caracterizado por n.º Re<2200 e apresenta uma velocidade constante no centro do turbo,
com um fio liquido e contínuo , possuindo um caminho médio livre menor do que o diâmetro do tubo,
provocando colisão entre as partículas dos gases, é normalmente encontrado em sistema de pré-vácuo.
 Fluxo Knudsen: Região que fica entre fluxo viscoso e fluxo molecular , predomina acima do médio vácuo.
Possui caminho médio menor que o diâmetro da tubulação.
 Fluxo molecular: Grandemente encontrado em sistema de alto e ultra vácuo. O caminho médio livre das
partículas é maior que o diâmetro da tubulação . Nestas regiões as partículas podem se movimentar
livremente , não tendo colisões entre si, mas com deslocamento desordenado , para todas as direções.
Para trabalho em alto e ultra-vácuo um fator importante é o tipo de superfície e tipo de material de que é
construído esta superfície , pois devido as características do fluxo molecular poderemos Ter a formação de uma
mono-camada de gases nas paredes internas da tubulação o que irá aumentar em muito o tempo para se atingir
o vácuo final.
Definições : Caminho médio livre ou taxa de colisão de partículas é a distância entre a partícula anterior e a
posterior quando arrastadas num fluxo dentro de uma tubulação.
Re é um número adimensional que depende da viscosidade do fluído, este nos informa i tipo de escoamento de
um determinado fluído, se laminar ou turbulento.
2- BOMBA ROTATIVA
As bombas rotativas pertencem ao grupo de bombas de vácuo de deslocamento positivo e existem vários tipos,
tais como: Pistão, rotor, palhetas, e de válvulas cuja a finalidade é transportar o ar ou gases proveniente do
processo, comprimindo e expelindo-o , também são denominados de bombas de pré-vácuo, Forepump.

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Existem as bomba cujo o selo é a óleo, p.ex., palhetas e de pistão , cuja a taxa de compressão pode chegar a 10 5
para um único estágio de compressão e as bombas a seco, que não possuem selo a óleo, e tem
consequentemente taxa de compressão muito menor, chegando a 10, p.ex.; bombas roots.
Este tipo de bomba opera a pressão atmosférica até 1 x10-² mbar.

As bombas rotativas instaladas em nossas máquinas metalizadoras 1203 Varovac e 1202 Sogevac, são do tipo
palhetas de simples estágio de compressão e selo a óleo, possuindo respectivamente vazão de 630m³/h e
755m³/h.
2.1 – Bombas rotativas tipo palhetas
Apresentamos abaixo a figura de uma bomba rotativa Varovac, tipo palheta.
Figura n.2 – Corte transversal da bomba Varovac S630F
1- Defletores de óleo
2- Caixa de óleo
3- Defletores de óleo
4- Filtros de óleo
5- Saída de exaustão
6- Válvula de gás ballast
7- Filtro de entrada
8- Câmara de admissão
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9- Válvula anti-suck back

10- Cilindro
11- Palheta
12- Rotor
13- Válvula de exaustão
2.2 – Descrição do funcionamento
Os gases são admitidos através do filtro(7) para a câmara (8), indo para a câmara de compressão, composta pelo
cilindro (10) e o rotor (12), montado no rotor temos as palhetas (11). Com o rotor girando em sentido horário e
devido a força centrípeta as palhetas são forçadas a se deslocarem tocando tangencialmente a superfície interna
do cilindro da bomba. Com a rotação as palhetas arrastam os gases, e devido o rotor esta posicionado
excentricamente em relação ao cilindro, a cada deslocamento angular a área vai senso diminuída , ou seja os
gases vão sendo comprimidos.
As palhetas passam pelo ponto do selo a óleo , onde os gases comprimidos atingem pressão suficiente para
comandar a abertura das válvulas de exaustão(13), estas expulsam a mistura de gases e óleo para o reservatório
de óleo(2). Os gases passam pelos defletores (1 e 3), passando pelos filtros de óleo (4), que retêm o óleo,
permitindo apenas a passagem dos gases, e sendo estes liberados para atmosfera, através da tubulação de
exaustão(5).
2.3 – Óleo
O óleo nas bombas rotativas atua lubrificando as partes internas da bomba que estão em movimento, refrigera a
bomba e serve como selo mecânico, preenchendo a diferença entre o raio do cilindro , das palhetas e do rotor
(gap). O óleo utilizado é Vacum N76, de aspecto brilhante e transparente, a alteração do aspecto visual pode
indicar grande quantidade de vapores de água ou até deterioração do mesmo, neste caso se a cor do óleo for
escura deve proceder a troca do mesmo. O fabricante recomenda substituir o óleo a cada 2.000h.

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Figura 6
1- Válvula de quebra de vácuo
4- Ponto de abastecimento de óleo
6- Válvula de entrada de gas ballast
7- Visor de nível de óleo
8- Ponto de dreno de óleo
2.4 – Refrigeração das Bombas
As bomba rotativas Varovac(1203) e Sogevac(1202) tem seus sistemas de refrigeração efetuado por água
industrial à temperatura de 20ºc. A temperatura de trabalho não deve exceder a 78ºc, esta temperatura de
trabalho das bombas rotativas são de fundamental importância para a eficiência das mesmas.
Figura 8
1-Termostato de óleo
2-Válvula termostática
3-Trocador de calor do óleo
10-entrada de água para refrigeração
9-Saída de retorno de água de refrigeração

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2.5 – Gas Ballast
O dispositivo de gas ballast foi desenvolvido por Gaede em 1935, com o propósito de inibir a condensação de
vapores de água no interior de bombas rotativas.
Quando vapores de água ou solvente estão presentes dentro da câmara de vácuo, estes podem ser comprimidos
na bomba rotativa atingindo uma pressão maior do que a sua água ou solventes, condensam e se emulsificam
com o óleo da bomba e a eficiência do processo de bombeamento será prejudicado , diminuindo a pressão do
vácuo
O processo de gas ballast reduz este problema. Quando a válvula de gas ballast comanda uma pequena parte de
ar, a pressão atmosférica é admitida para dentro da bomba , no momento em que a bomba está no estágio de
compressão, consisti as válvulas de exaustão serão atuadas para abrir antes que se ocorra o processo de
condensação da água ou solvente .

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Vale destacar que quando colocamos uma bomba rotativa em modo gas ballast , estamos admitindo ar a pressão
atmosférica para dentro da câmara de compressão, neste caso a eficiência da bomba irá diminuir, como pode ser
visto pela curva pontilhada do gráfico.
2.6 – Válvula de quebra de vácuo e anti-suckback
Quando a bomba rotativa é desenergizada, a válvula de quebra de vácuo (fig.2 item 1) é energizada admitindo
ar para dentro da câmara de compressão(fig.2) da bomba rotativa.
Neste momento a válvula “anti-suckback” (fig.2item 9) é atuada pela diferença de pressão entre a pressão da
tubulação proveniente da máquina e a pressão da câmara de compressão da bomba rotativa , a válvula
“antisuckback” isola ou veda a câmara de compressão da bomba rotativa da tubulação da máquina, que esta sob
vácuo.
A atração das válvulas de quebra de vácuo e anti-suckback tem dupla finalidade: Evitar que ocorra refluxo de
óleo da bomba rotativa só para dentro da câmara de vácuo, devido a ultimate pressure e evitar quebra das
palhetas quando dá partida na bomba rotativa.

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2.7 – Pressão final
Cada bomba rotativa seja do tipo palheta ou pistão possui, devido as suas características construtivas de projeto,
um determinado valor de pressão final, também como ultimate pressure . Esta é a máxima pressão final que
uma específica bomba pode alcançar .
As bombas rotativas em um processo de vácuo são as que recebem maior solicitação e por conseqüência um
maior desgastes das peças internas , por exemplo: Palhetas, vedações, etc. Após grandes jornadas de trabalho,
com o desgastes das palhetas, desgastes das válvulas, deterioração do óleo lubrificante ou obstrução dos filtros
de ar “vedação” estas bombas tendem a apresentar uma diminuição de sua eficiência ou pressão final. Para
verificar a eficiência de uma bomba rotativa deve ser executado o procedimento: “Teste de eficiência de bomba
rotativa”, anexo n.9.1
2.8 - Recomendações
Deve se manter manutenção preventiva regular para este tipo de bomba , uma revisão cada ano.
Devido a interferência mecânica é importante que o óleo de lubrificação e selo esteja isento de óleo.
O ponto de gap é dado pela diferença de diâmetro do rotor e do cilindro da bomba, pois são excêntricos , nunca
usinar o cilindro da bomba.
Segue abaixo vista explodida de montagem do rotor, da caixa de óleo e das válvulas de exaustão e gas ballast da
bomba rotativa Varovac S630F da máquina 1203.

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1- Caixa de óleo
2- Junta de vedação
3- Anel elástico
4- Válvula de gas ballast
5- Anel o’ring
6- Junta de vedação
7- Tampa com defletores de ar
8- Gicle
9- Válvula de exaustão
10- Defletores de saída
11- Defletores de ar/óleo

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3- BOMBA ROOTS
Pertencem ao grupo de bombas de vácuo de deslocamento positivo, bomba do tipo isente de óleo, o selo é feito
através da interferência mecânica entre lóbulos , que é de aproximadamente 8 centímetros, sendo menor do que
um filme (película) de óleo.

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Os dois lóbulos tem a forma simétrica semelhantes à de um oito de seção sincronizadas por um par de
engrenagens acionadas, os lóbulos ou rotores não se tocam, também não tocam as paredes internas da carcaça
da bomba.
Por causa desta pequena interferência entre os lóbulos e em relação as paredes internas das bombas , deve se
evitar a deformação da carcaça interna, não devendo esta trabalhar a pressão atmosférica, com se acontece
normalmente com uma Forepump, bomba de pré-vácuo. Deve ser evitado o aquecimento da mesma por causa
da dilatação térmica, pois os lóbulos podem tocar-se ou tocar na carcaça interna da bomba danificando-a.
A bomba roots é normalmente utilizada em conjunto com uma bomba rotativa com selo à óleo, possui taxa de
compressão entre 10 e 100, operando na faixa de pressão entre 1 a 1x10-³mbar, trabalha por transparência de
volume de gases e não há compressão dos gases durante o regime de operação.
Para teste de eficiência de uma bomba roots, utilizar o procedimento de manutenção “Teste de Eficiência de
Bombas Roots”. Anexo 9.3.

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4 – BOMBA DIFUSORA E BOMBA JET BOOSTER
Bombas difusoras são normalmente utilizadas para a produção de alto vácuo e ultra alto vácuo. São bombas que
trabalham através de “rápida” movimentação através de um fluído vaporizado , que pode ser:
-Óleo
-Vapor de mercúrio
-Vapor
-Água
Em nossas metalizadoras , o fluído utilizado é óleo de silicone . A principal característica do óleo térmico é que
uma temperatura elevada ele possui a propriedade de se fracionar em moléculas que se agrupam com as
moléculas de ar , provocando um arraste dentro da bomba difusora.
O óleo é aquecido por um banco de resistência elétrica dentro de um reservatório localizado no fundo da
bomba. Porém as resistências estão enclausuradas, não entrando em contato com óleo.
Este óleo uma vez vaporizado é despejado em alta velocidade pelos difusores da bomba . Este óleo irá captar as
moléculas de ar que se encontram no interior da câmara de vácuo, arrastando-as, devido a depressão criada
pela alta velocidade.
Estas moléculas são conduzidas pelo óleo em direção a tubulação de saída da bomba em direção a linha das
bombas roots e consequentemente as rotativas.
Um pesquisador chamado Gaede foi o primeiro à verificar que gases quando submetidos a uma baixa pressão,
podem ser bombeados através da movimentação de fluídos em alta pressão, e desta forma o fluído submetido a
baixa pressão, move-se em direção á região de pressão mais alta .
Este conceito foi utilizado por Langmuir em 1915, para construir a primeira bomba difusora moderna. Para
obter uma velocidade mais alta possível do óleo vaporizado, fez-se com que o jato de óleo emanasse em
velocidade supersônica através de um difusor.
Como foi observado este óleo ao ser vaporizado e submetido a uma velocidade supersônica , carrega junto com
suas moléculas, as moléculas de ar proveniente de câmara de vácuo.
Como esta bombas possuem normalmente as paredes refrigeradas, este vapor de óleo ao tocar as paredes
condensa-se para retornar ao reservatório e ser novamente aquecido até a vaporização .
As moléculas a r continuam a ser comprimida pelo estágios subsequentes da bomba. A ordem de compressão é
muito alta neste tipo de bomba. Como exemplo podemos citar que uma câmara de vácuo à pressão de 10- 9
mbar na entrada da bomba difusora no sentido de bombeamento, pode Ter uma pressão na saída da bomba
difusora de 10-²mbar , assim, teremos um fator de compressão da ordem de 10-7 mbar .
A pressão de trabalho para a bomba difusora fica em torno de 10-³ mbar pois dependendo do tipo de fluído,
temperatura e formato dos difusores, a bomba terá uma faixa de trabalho mais alta ou mais baixa. Dependendo
do tipo de fluído(óleo,vapor,etc), da temperatura de fluído e do formato dos difusores, a pressão na bomba
difusora terá valores mais altos ou mais baixos. No Caso de bomba Difusora onde o fluído é o óleo de silicone
esta pressão deverá Se <=1mbar no reservatório, para que o vapor de óleo possa “emanar” pelos difusores a
pressão tem que ser suficientemente baixa .
O efeito da pressão combinado com a temperatura de vaporização do óleo de silicone (acima de 230ºC),
permitem o funcionamento adequado da bomba difusora. Desta maneira, bombas difusoras são sempre
montadas em linhas com outras de deslocamento positivo (roots, rotativas,etc).
As paredes das bombas difusoras devem ser refrigeradas de modo que o fluído retorne para o reservatório
condensado, aumentando a eficiência da bomba . Bombas Difusoras que trabalham com vapor de mercúrio
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devem ter as paredes resfriadas em torno de 15ºC, já com óleo de silicone, a água a uma temperatura de 30ºC é
suficiente para produzir o efeito desejado.
Para evitar o refluxo de óleo da bomba difusora (back streaming) para o conjunto de bomba do pré-vácuo, esta
tem montada na tubulação de saída (foreline) um conjunto de defletores qu funcionam com filtro molecular ,
retendo as partículas de óleo.
A temperatura normal de trabalho é entre 250º à 280ºc.
As resistências elétricas são do tipo cartucho. Quando da substituição destas resistências utilizar spray anti-
gripante de modo a permitir a desmontagem futura , evitando de ficarem emperradas.
Quando a bomba difusora ou bomba Jet Boosters estiverem aquecidas, ou seja temperatura acima de 100ºc,
nunca abrir pontos de medição ou válvulas, para permitir entrada de ar a pressão atmosférica para dentro destas
bombas. A entrada de ar, a pressão atmosférica, ocasionará a oxidação do óleo de silicone, comprometendo a
sua vida útil, até a perda do mesmo. Também a entrada de ar para o interior da bomba pode provocar uma
explosão interna , e consequentemente danificar por completo os defletores dos jatos de óleo, inutilizando a
bomba difusora.

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As bombas difusoras dispõem de visor de nível de óleo, o reabastecimento de óleo deve ser feito quando a
temperaturas das bombas estiverem abaixo de 100ºC, para isto despressurizar a bomba.
Já as bombas Jet Boosters não tem visor de nível de óleo, o nível de óleo e verificado a través do sistema :
medição por vareta de nível de óleo.
Para visualização ou reabastecimento do nível do óleo é necessário que a temperatura da bomba Jet Boosters
esteja abaixo de 100ºC.
6 – SISTEMA DE MEDIÇÃO E CONTROLE DE VÁCUO

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6.1-Pressostato de Bourdn
Faixa de trabalho à partir da pressão atmosférica até 10-³mbar, possui contato elétrico acionado pelo curso de
indicação de pressão.
6.2 – Sensor Pirani ou Thermovac
A condutividade térmica de um gás muda com o decréscimo da pressão. Esta propriedade é utilizada para medir
a pressão.
O elemento de medição (eletrodo) consiste de um filamento de metal tungstênio, com alto coeficiente de
temperatura e forma um dos braços de uma ponte resistiva tipo Wheatstone. Devido a condutividade térmica
do gás presente na tubulação ou câmara de vácuo, ocasionando uma variação de temperatura deste filamento,
originando uma variação da corrente elétrica na ponte Wheatstone.
A faixa de trabalho deste tipo de sensor é de 1 x10+³mbar, mas tanto no início como no fim da faixa não há
precisão de leitura ou controle , e para corrigir isto a escala é do tipo logarítmica .
Calibração: Com o sensor fora do ponto de medição exposto a pressão atmosférica, ajustar o trimpot atm
localizado no sensor Pirani para se ter a indicação de controle de vácuo o valor de 10+³mbar .
Para a calibração do sensor para pressão de 10-³mbar, coloca-lo em um ponto de medição onde a pressão esteja
abaixo de 10-³mbar, por exemplo, na entrada da bomba difusora ou na câmara de vácuo, ajustar para a unidade
de controle de vácuo se ter a leitura da pressão em 10-³mbar.
6.3 – Sensor Penning

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Consiste de um eletrodo central, ânodo, e da carcaça metálica, cátodo, um par imãs são montados ao redor para
orientar ao redor o sentido de ionização.
Quando menor a pressão da câmara, menor será a quantidade de moléculas de gás e por conseqüência menor
será a ionização, ou menor a descarga elétrica, a tensão de alimentação é de aproximadamente 2500 Volts.
Devido este princípio de funcionamento este sensor não deve ser ligado a pressão atmosférica. Sua faixa de
trabalho vai de 10-²mbar até 10-7 mbar . Ainda, devido ao princípio ativo de funcionamento, tende a se formar
sobre o eletrodo uma película de carbono, originando um resistor de alta impedância que diminui a ionização,
provocando erro de leitura e até o não funcionamento do sistema de medição.
A energização do sensor Penning para pressões próximas a de 10-²mbar acelera a formação da película de
carbono sobre o eletrodo, sendo recomendável a limpeza deste eletrodo a cada 15hrs.
6.4 – Unidades de controle de vácuo
7 – CÂMARA DE VÁCUO
8 – FLUXOGRAMAS
Fluxograma metalizadora 1201

9 – DETECÇÃO DE INFILTRAÇÃO
E da tabela periódica destacamos o número de massa atômica de alguns elementos.
He = 4ma O = 16ma H = 1ma
Concluímos que uma molécula de água e quatro vezes maior que a molécula do gás Hélio.
10 - PROCEDIMENTOS
Procedimento 1 – Teste de bomba rotativa com a máquina em funcionamento;

Procedimento 2 – Teste de bomba rotativa após serviços de revisão;
Procedimento 3 – Teste de taxa de infiltração de ar na câmara de vácuo (Leak Rate)
Procedimento 4 – Teste de bomba roots com a máquina em funcionamento.

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11- SIMBOLOGIA DE VÁCUO
Anexo A – Figura pg18

Anexo B – Figura pg 88
12 – BIBLIOGRAFIA
Mecânica de fluídos – Wiliam Shames

Product and vacuum technology – Leybold
Course of vacuum – AVS (USA)
Vaccum technology – Nigel Harris – Edwards

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Metalizadora Leybold A 1350 – Metalizadora III – 1203

VENT.
SENSORES: PIRANI
PIRANI-THERMOVAC TN 210 S P P 950 mbar
VA14-V1 1/DE11
PENNING-PENNINGVAC PM411S2 VM12-P1
(6x10-1 mbar)
CAMARA DE BOBINAMENTO
VENT. VA14-V2
FLAP P PIRANI VM22-P1 (3X10-2 mbar)
CAMARA DE EVAPORACAO
VC71-V3
(3x10-3 mbar) P PENNING VM23-P1
VC32-V1 VC33-V1 VC34-V1 VC31-V1 VC30-V3 VD31-V1 VD32-V1 (3x10-2 mbar)
JET BOOSTERS DIFUSORAS
VD31-K1 VD32-K1 VD30-V3
VC32-K1 VC33-K1 VC34-K1 VC31-K1
VD31-V2 VD32-V2
VC31-V2
P PIRANI VM11-P1 (8x10-1mbar) P PIRANI VM21-P1 (3x10-1mbar)
P VC21-F2 (60 mbar) P VD21-F1 (60 mbar)
ROOTS (VC21) ROOTS (VD21)
ROTATIVA (VC11) ROTATIVA (VD11)


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CURSO: SISTEMA DE VÁCUO ENGENHARIA

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VÁCUO ENGENHARIA

1.2 - AR, GASES E VAPORES

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VÁCUO ENGENHARIA

A finalidade de um sistema de vácuo é reduzir a densidade “d” de moléculas de gás ou ar dentro de um

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

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Observe a curva do ar e dos gases mostrados na figura a seguir:

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

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 Pré-vácuo 1000 à 1mbar (Rough Vacuum) – RV

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

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Este tipo de bomba opera a pressão atmosférica até 1 x10-² mbar.

2.1 – Bombas rotativas tipo palhetas

Apresentamos abaixo a figura de uma bomba rotativa Varovac, tipo palheta.

Figura n.2 – Corte transversal da bomba Varovac S630F

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9- Válvula anti-suck back

2.2 – Descrição do funcionamento

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

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2.4 – Refrigeração das Bombas

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

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2.5 – Gas Ballast

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

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2.6 – Válvula de quebra de vácuo e anti-suckback

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

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2.7 – Pressão final

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

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Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VÁCUO ENGENHARIA

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VÁCUO ENGENHARIA

4 – BOMBA DIFUSORA E BOMBA JET BOOSTER

CURSO: SISTEMA DE VÁCUO ENGENHARIA

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VÁCUO ENGENHARIA

6 – SISTEMA DE MEDIÇÃO E CONTROLE DE VÁCUO

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VÁCUO ENGENHARIA

6.2 – Sensor Pirani ou Thermovac

6.3 – Sensor Penning

CURSO: SISTEMA DE VÁCUO ENGENHARIA

6.4 – Unidades de controle de vácuo

Fluxograma metalizadora 1201

E da tabela periódica destacamos o número de massa atômica de alguns elementos.

He = 4ma O = 16ma H = 1ma