05/09/2018 Villanueva Diaz, Gabriel Gonzalo Microelectrónica en RF

1. Resonador de cristal
1.1. Introducción

Un oscilador de cristal es un oscilador electrónico que utiliza

la resonancia mecánica de un cristal vibratorio de material
piezoeléctrico para crear una señal eléctrica con una frecuencia precisa.
Esta frecuencia se utiliza comúnmente para controlar el tiempo, como en
los relojes de cuarzo, para proporcionar una señal de reloj estable
para circuitos integrados digitales y para estabilizar las frecuencias de
los transmisores y receptores de radio. El tipo más común de resonador
piezoeléctrico utilizado es el cristal de cuarzo, por lo que los circuitos
osciladores que los incorporan se conocieron como osciladores de cristal.

1.2. Descripción

Una de las características más interesantes del cuarzo, al igual que otras
materias cristalinas es el efecto piezoeléctrico.
Cuando se ejerce presión mecánica en caras opuestas de uno de estos
cristales, debidamente tallados, se producen cargas eléctricas de
polaridad opuesta en esas caras. Si se invierte el sentido del par de
fuerzas ejercido sobre el cristal, observamos que también se invierten las
polaridades de las cargas generadas y, si hacemos variar
alternativamente el sentido de la presión ejercida sobre el cristal, en las
caras de este, se genera mecánicamente un voltaje de corriente alterna.
Recíprocamente, un cristal sometido a un voltaje de corriente alterna
genera vibraciones mecánicas, debido a la inercia del material. Estas
vibraciones se amortiguaran gradualmente hasta la completa extinción,
si la corriente cesa. Pero si la energía eléctrica suministrada es suficiente
para compensar las pérdidas, el cristal continuara vibrando y, al hacerlo,
generara una tensión de corriente alterna, tal como lo hace un circuito
LC.
La amplitud de la vibración de un cristal de cuarzo depende de la
frecuencia natural de vibración mecánica del cristal y de la frecuencia
eléctrica de excitación. Si se excita un cristal con un voltaje de c.a. de la
misma frecuencia que la suya natural, se produce el fenómeno de
resonancia, estableciéndose vibraciones de gran amplitud y el cristal
genera un voltaje de c.a. relativamente grande. Pero si la frecuencia de
excitación es diferente (aunque sea perceptible, debido a la poca
vibración mecánica. Gracias a esta propiedad los cristales se utilizan
mucho en osciladores en los se requiere una gran estabilidad en u
frecuencia de oscilación.
La frecuencia de resonancia depende de las dimensiones del cristal, de
la orientación de las superficies respecto de los ejes y de cómo este
montado el cristal sobre los electrodos de contacto. El margen de
frecuencia va desde unos pocos kHz a varios MHz, siendo bastante
comunes y disponibles en el mercado.
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En la figura 1.1.a se representa la estructura física de un cristal de cuarzo

y en la figura 1.1.b se indica el circuito eléctrico equivalente del mismo.

Figura 1.1. Cristal de cuarzo (a) Estructura. (b) Circuito equivalente.

La inductancia L, la capacidad C y la resistencia R son análogas a la

masa, la deformación (inversa de la constante elástica) y al factor de
amortiguamiento viscoso de un sistema mecánico. El condensador C’
representa la capacidad electroestática entre los electrodos, con el
cristal como dieléctrico, y su valor e siempre mucho mayor que C.
Para determinar la calidad de un circuito resonante se define el factor
<<Q>>
𝑋𝐿
𝑄=
𝑅

Los valores altos de Q y el hecho de que el cuarzo sea

extremadamente estable respecto al tiempo y a la temperatura.,
justifican la excepcional estabilidad de frecuencia en este tipo de
osciladores.

Analizando la el circuito de la figura 1.1.b y despreciando R, obtenemos

la frecuencia de resonancia de la rama en serie (1), mientras que la
frecuencia de resonancia paralelo (2)

1
𝑓𝑠 = 2𝜋√𝐿𝐶
(1) 𝑓𝑝 = 2𝜋
1 1 1
∙ √𝐶 + 𝐶′ (2)
√𝐿

Por otra parte C’>>C, entonces (3)

1 1 1
√ + ≅ √ (3)
𝐶 𝐶′ 𝐶

Con lo que 𝑓𝑠 ≅ 𝑓𝑠

https://electronicavm.files.wordpress.com/2011/03/oscilador-a-cristal.pdf
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2. Resonador MEMS

MEMS son las siglas en inglés de Sistema Micro-Electromecánico, es decir,

componentes cuyas partes de tamaño inferior al milímetro deben moverse para
que el componente tenga funcionalidad electrónica. Dispositivos MEMS pasivos
para radiofrecuencia se emplean para implementar capacidades, inductancias,
resonadores, conmutadores, filtros, varactores y desplazadores de fase de alta
calidad, ofreciendo bajas pérdidas, altos factores de calidad Q (por tanto altas
selectividades), alta linealidad y altas potencias aceptables.

Combinando estas estructuras mecánicas con dispositivos microelectrónicos

pueden implementarse partes centrales de sistemas de radiofrecuencia: como
ejemplos, varios tipos de osciladores, osciladores controlados por voltaje (VCO),
mezcladores y filtros estrechos. Los filtros y resonadores MEMS obtenidos hasta
la fecha están basados en sus vibraciones mecánicas en dirección vertical u
horizontal en obleas de silicio. Repasemos algunos de estos nuevos
componentes.

El principio de operación de los filtros MEMS se basa en el movimiento de una

viga a través de la aplicación de una combinación de voltajes a través de un
electrodo, a igual que el interruptor utiliza la fuerza electroestática para lograr un
movimiento mecánico.

Figura2.1. Diferentes tipos de resonadores MEMS

Los resonadores micromecanicos de viga flexible construidos en una variedad

de materiales, desde silicio policristalino hasta níquel plateado, han emergido
recientemente son candidatos para diferentes transmisores, han sido
beneficiados con la tecnología MEMS que ofrece un bajo consumo de potencia
(virtualmente cero), un pequeño tamaño y una alta integración con otros
dispositivos.
Para aplicaciones en altas frecuencias, los procesos de micromaquinado han
sido utilizados para realizar resonadores micromecanicos de viga flexible en una
variedad de materiales estructurales y en un rango de frecuencia dese baja
frecuencia (LF) a muy alta frecuencia (HF). Los factores de calidad exceden los
80,000 en vacío y han sido medidos calidad en el orden de los 20,000 han sido
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alcanzados en los 70 [MHZ] (VHF) con el proceso SCREAM de un solo cristal

del material silicio. Puesto que el uso de esta tecnológica para aplicaciones de
alta frecuencia es totalmente reciente, el límite de estas frecuencias es aún
desconocido.
En adición a sus enormes valores de Q y altos intervalos de frecuencia
aplicables, los resonadores micromecanicos son extremadamente flexibles,
desde el punto de diseño.

Entre las características más atractivas están:

 Frecuencia sintonizable por un voltaje controlado.

 Gran flexibilidad en geometrías.
 Flexibilidad en la elección de materiales estructurales.
 Flexibilidad en el transductor utilizado (han sido usados los electroestáticos
piezoeléctricos y magnetoestaticos).

Los MEMS controlan el factor de calidad Q y la frecuencia de resonancia de

una forma precisa por medio de las propiedades del material que están hechos,
así como de sus dimensiones geométricas del mismo, a diferencia de los
pasivos que dependen de los parámetros como son las tolerancias en sus
procesos de manufactura y a la variación debido a la temperatura.

Tipos de resonadores MEMS:

 Resonador doblemente anclado.

 Resonador doblemente libre.
 Resonador tipo disco modo contorno
 Resonador tipo disco modo copa
 Resonador tipo disco hueco.

Figura 2.2. Ventajas de los resonadores de MEMS frente a los osciladores de cristal
convencionales

https://www.qsl.net/ea3du/2008/08/mems.html
http://www.ptolomeo.unam.mx:8080/xmlui/bitstream/handle/132.248.52.100/14270/Tes
is_Completa.pdf?sequence=1