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VICENTE MUOZ SANJ OS

Tecnologa de Materiales
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Tecnologa de materiales y dispositivos
Programa
1. Fabricacin de materiales masivos
1.1. Tcnicas de sntesis.
1.2. Mtodos de crecimiento cristalino. Los diagramas de fases
1.3. Mtodo Bridgman.
1.4. Mtodo Czochralski.
1.5. Mtodo THM.
1.6. Mtodo de transporte en fase gaseosa.
1.7 Otros mtodos.
1.8 Algunos ejemplos
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Tecnologa de materiales y dispositivos
Programa
2. Fabricacin de capas delgadas
2.1. Evaporacin en vaco.
2.2. Pulverizacin catdica.
2.3. Ablacin lser.
2.4. Epitaxia en fase lquida.
2.5. Epitaxia por haz molecular.
2.6. Deposicin qumica en fase gaseosa mediante organometlicos.
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Tecnologa de materiales y dispositivos
Programa
3. Tcnicas de caracterizacin
3.1. Difraccin de rayos X.
3.2. Microscopa electrnica.
3.3. Microanlisis.
3.4. Microscopa ptica.
3.5 Otras microscopias
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Crecimiento cristalino
(Crystal Growth)
Viene del griego: congelado por el fro
Implica una transformacin de fase
Transformacin de fase ordenada y controlada
Vamos a mejorarla naturaleza
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Single crystal: lattice extends the edges of the material, e.g.
a diamond
Single crystals are possible
Single Crystals
Above their melting points, metals are liquids. The atoms
are randomly arranged and relatively free to move
On cooling to below the melting point, the atoms rearrange
forming the ordered, crystalline solid structure
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In most cases, solidification begins from multiple sites,
each of which can produce a different orientation
The result is a polycrystalline
material consisting of many small
crystals of grains
Each grain has the same crystal lattice, but the lattices
are misoriented from grain to grain
Polycrystalline
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Mtodos de Crecimiento
A partir de la fase lquida
Transicin lquido slido
A partir de la fase gaseosa
Transicin gas slido
A partir de la fase slida
Transicin slido slido
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Dos opciones bsicas
Crecimiento en Volumen
Crecimiento de capas delgadas
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Estimated share of world production of bulk
crystals (1999)
60%
12%
10%
10%
5% 3%
Semiconductors
Scintillation crystals
Optical crystals
Acoustic optics crystals
Laser &nonlinear crystals
Jewelry & watch industry
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Mtodos a partir de la fase
liquida
Con crisol
Bridgman vertical y horizontal
Czochralski
Sin crisol
Zona flotante
Verneuil
Skull
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Mtodos a partir de la fase
liquida
Mtodos a partir de disolucin
Disolucin acuosa
Otros disolventes (THM y CTHM)
Mtodos de flujo
Mtodo hidrotermal
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Mtodos a partir de la fase
gaseosa
Transporte fsico PVT
Transporte qumico CVT
Mtodos a partir de la fase slida
Recristalizacin
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Mtodos a partir de la fase
Gaseosa
Lquida
Slida
PVT
CVT
Con crisol Sin crisol Recristalizacin
Bridgman
Czocralski
En disolucin
THM
Zona flotante
En disolucin
Flujo
Hidrotermal
Otros
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Diagramas de Fase
Permiten un prediseo de la experiencia
Permiten una explicacin inicial de los resultados y/o
indican los caminos para modificarlos
Los diagramas de fases pueden ser :
Temperatura - Composicin ( en general a p.atm.)
Temperatura - Presin
Presin - Composicin
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Disponibilidad e infraestructura disponible
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Diagramas de Fase
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Diagramas de Fase
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Diagramas de Fase
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Laboratorio de crecimiento
de materiales semiconductores
Cristales en volumen
Preparacin de muestras
Cristales en capas delgadas
Crecimiento cristalino y caracterizacin
de materiales semiconductores
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Datos de inters general
Sobre los crisoles
Reactividad
Resistencia mecanica
Resistencia trmica
Limpieza-contaminacin
Otros
PROPIEDADES
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Datos de inters general
Sobre los materiales
PROPIEDADES
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Hornos
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Controladores y alimentacin
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Sistema de evacuacin de ampollas
y/o
control de presin
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Grafitado
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Sistema de desplazamiento
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Isotermas y flujos de calor
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Mtodo de Bridgman
Configuracin vertical
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Mtodo de Bridgman
Configuracin Horizontal
Desplazamiento del horno
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Mtodo de Bridgman
Configuracin Horizontal
Desplazamiento del gradiente de temperaturas
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Mtodo de Bridgman
Configuracin Horizontal
Desplazamiento del gradiente de temperaturas
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Control de la presin
en las
experiencias de crecimiento
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Seed sublimation
(schematic)
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Mtodo Czochralski
(basic steps)
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Mtodo Czochralski
(schematic)
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Mtodo Czochralski
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Zona flotante
(esquema)
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Zona flotante
(esquema)
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Mtodo Verneuil
(esquema)
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Metodo Verneuil
(esquema)
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Modificaciones del principio de
Verneuil
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Tcnica de disminucin de la
temperatura
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Tcnica de gradiente de la
temperatura
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Tcnica de evaporacin a
temperatura constante
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Crecimiento con gel
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Mtodo PVT
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VICENTE MUOZ SANJ OS
Mtodo CVT
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Control de la presin
en las
experiencias de crecimiento
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Control de la presin
en las
experiencias de crecimiento
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Mtodo Skull
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Mtodo de flujo
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Mtodo hidrotermal
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Mtodo hidrotermal