Nanolitografia óptica y de

rayos X
David Marín Morales (mi bb)
Luis Ramos Pintor
Litografía
Según el diccionario de la gran academia española:

Litografía:
( De lito- y grafía- )
1. f. Arte de dibujar o grabar en piedra preparada,
al efecto, para producir, mediante impresión, lo
dibujado o grabado.
2. f. Cada uno de los ejemplares así obtenidos.
3. f. Taller en que se ejerce este arte.
Litografiar:
1. tr. Dibujar o escribir en piedra, para producir lo dibujado o grabado.
¿Qué es Nanolitografía?
Conjunto de técnicas que permiten transferir patrones predeterminados sobre una muestra donde el
tamaño típico de los tamaños que forman los patrones es nanométrico.
Los patrones pueden:

‾ Estar previamente dibujados sobre una mascara:

Litografía óptica, litografía de rayos X.

‾ Generarse mediante un barrido de electrones o iones:

Litografía de electrones, de iones y de sonda local.

‾ Estar previamente dibujados sobre un molde:

Nanoimprinting.
Fotolitografía-Litografía Óptica (UV)
Técnica de manufactura topdown, a nanoescala, utilizada ampliamente en la industria de los semiconductores.
La fotolitografía utiliza una fotomáscara (generalmente hecha por litografía de haz de electrones), una fuente de
luz de longitudes de onda en un rango estrecho, y una capa resistente sobre la superficie donde se va a transferir
el patrón.
 Una herramienta para llevar a cabo Litografía óptica
consiste de :

• Una fuente de luz ultravioleta

• Una fotomáscara
• Un sistema óptico
• Una oblea cubierta con una capa fotosensible,
llamada resistente, por su habilidad de resistir los
procesos químicos subsecuentes en el proceso.

La máscara es expuesta a la luz UV y la mascara patrón es grabada sobre la resistente por el sistema óptico.
Fuentes de Luz
Las fuentes de luz UV mas comúnmente utilizadas en litografía óptica son las lámparas de arco de alta presión y
las fuentes laser excímeros.
Hay 3 regiones del espectro de luz UV que se pueden distinguir y son usadas:

• El ultravioleta profundo, en el rango de 100-300 nm.

• El ultravioleta medio, en el rango de 300-360 nm.
• El ultravioleta cercano, en el rango de 360-450 nm.
https://glosarios.servidor-
alicante.com/nanotecnologia/litografia-optica

http://electronica.ugr.es/~amroldan/deyte/cap12.htm

https://es.wikipedia.org/wiki/Nanolitograf%C3%ADa

https://www.solociencia.com/ingenieria/08120201.htm