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XPS
Capacitor semiesférico
E-∆E
E+∆E
Transductor
multicanal
Analizador
Lente
multicanal
Pantalla de
Circulo de Rowland
salida
Cristal dispersante
Muestra
Fuente de rayos X
Fuentes: las fuentes de rayos X más sencillas para los espectrómetros de XPS
son tubos equipados con blancos de magnesio o aluminio que actúan como
filtros adecuados. Las líneas Ka de estos dos elementos tienen unas anchuras
de banda considerablemente más estrechas (de 0.8 a 0.9 eV) que las que se
obtienen con blancos de número atómico superior. Hay que señalar que las
bandas estrechas son deseables porque proporcionan una mejor resolución.
Las fuentes monocromáticas iluminan por lo regular un punto de pocos
centímetros de diámetro.