BOMBAS IÓNICAS Y DE

TITANIO
EXPOSITOR: DANIEL LOZADA GARMA (15130095)
BOMBAS DE VACÍO Hay diversos tipos de bombas de vacío

• Bomba mecánica
¿Qué es el vacío? • Bomba Roots
• Bomba de difusión
Según la Sociedad Estadounidense del Vacío, este se
• Bomba Turbomolecular
define como un recipiente donde el gas que
• BOMBAS DE SUBLIMACIÓN DE TITANIO
almacena esta con una presión menor a 1 𝑎𝑡𝑚.
• BOMBA IÓNICA
• Bomba Criogénica
 BOMBAS DE SUBLIMACIÓN DE TITANIO (TSP)
• Esta bomba por si sola utiliza el efecto getter que
tiene en este caso el Titanio.

• Se utiliza un compuesto de Ti-Mo.

• Las partículas de Ti son quimisorbidas formando

compuestos estables con presiones de vapor muy
bajas.
 BOMBAS IÓNICAS
• Conocida también como Sputter Ion Pumps (SIP).

• Para mejores aplicaciones se tiliza junto con el

mecanismo de la TSP,
CARACTERÍSTICAS
• No requiere el uso de aceite,
• No necesita mucho mantenimiento.
• Es mala para evacuar gases nobles.
• Logra alcanzar presiones desde 10−2 hasta 10−11 𝑚𝑏𝑎𝑟 .
• Su tiempo de vida puede alcanzar hasta las 2 00 000 horas en algunas marcas.
• Suele ser muy pesada debido a sus imanes.
 APLICACIONES
• Se usa generalmente para evacuar dispositivos de electrones y en
microscopios electrónicos sensibles

• También en aplicaciones de UHV cuando se bombea una mezcla de gases a

presión constante, lo que lo hace ideal para obtener presiones de UHV en
aceleradores de partículas, anillos de sincrotrón y aplicaciones de análisis
superficial.
 BIBLIOGRAFÍA
• VARIAN SPUTTER ION PUMPS A 50 YEAR HISTORY (https://www.teratorr.com/wp-
content/uploads/catalogos/Ion%20Pump%20History.pdf)
• Técnicas de Vacío (http://materias.df.uba.ar/labo5a2014c1/files/2014/04/L5_Metodos_de_Vacio.pdf)
• Ibérica Vacuum (https://www.ibericavacuum.com/pages/tsp?lang=es)
• Tipos de bombas de vacío más comunes
(https://frrq.cvg.utn.edu.ar/pluginfile.php/11753/mod_resource/content/2/Tipos%20de%20bombas%20de%20vac%C3%ADo%
20m%C3%A1s%20comunes%20_%20TeraTorr%20Technologies.pdf)
• Curso de vacio Tecnovac (http://www.uhv.es/sites/milka/doc/Curso%20de%20vacio%20Tecnovac.pdf)
• Técnicas de vacío (http://materias.df.uba.ar/l4ba2017c2/files/2012/07/vacio_labo4_Acha.pdf)
• Bombas VacIon (https://jevinstruments.com/productos-3/vacio-cientifico/bombas-de-ultra-alto-vacio/ionicas/)