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UNIVERSIDADE: Universidad de la Republica

NÚCLEO DISCIPLINAR/COMITÊ ACADÊMICO: Ciencia e Ingeniería de Materiales


TÍTULO DO TRABALHO: DISEÑO, FABRICACIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE
TRANSDUTORES PIEZOELÉTRICOS DE ULTRASONIDO PARA SU
APLICACIÓN EN END.
AUTOR (ES): Martín Faguaga, Gabriel Machado, Ariel Moreno-Gobbi
E-MAIL DOS AUTORES: martinfaguaga@hotmail.com, gmachado@fisica.edu.uy
moreno@fisica.edu.uy
PALAVRAS-CHAVE: as mesmas do resumo
PALABRAS CLAVES: Transductores piezoeléctricos, Ensayos no destructivos, propiedades
dieléctricas, piezoeléctricas, electromecánicas y acústicas, campo de ultrasonido.

INTRODUCCIÓN
Un transductor piezoeléctrico es un sistema que convierte energía eléctrica en energía
mecánica a través del efecto piezoeléctrico directo y viceversa por medio del efecto
piezoeléctrico inverso. Esta energía mecánica se propaga en un medio material como
vibraciones mecánicas u ondas acústicas.
El transductor esta constituido, como se muestra en la Fig. 1, por una cerámica
piezoeléctrica a la cual sobre sus caras se le ha depositado sendos electrodos. Estos consisten
en finas capas (del orden de los 25 µm.) de plata, sobre los cuales son soldados conectores
eléctricos. En la cara frontal de la cerámica se encuentra una capa de adaptación de
impedancias o matching layer, cuya función es realizar la adaptación entre las impedancias
acústicas de la cerámica y del medio de propagación, de manera que halla una buena
transferencia de potencia acústica entre ambos. Sobre la cara trasera de la cerámica, hay un
material absorbente llamado contramasa o backing, cuya función es bajar el factor de calidad
del transductor, lo cual implica obtener respuestas temporales de menor duración o, lo que es
lo mismo, obtener un gran ancho de banda en el dominio de frecuencias. Por otra parte, entre
los conectores eléctricos se coloca un circuito de adaptación eléctrica.

Fig.1. Esquema constructivo de un transductor de ultrasonido.

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FABRICACIÓN y DISEÑO DEL TRANSDUCTOR1

Diseñar un transductor de ultrasonido, implica en primer lugar, definir las características


generales del mismo, como por ejemplo la frecuencia de operación, diámetro de la cerámica,
forma de operación (contacto o inmersión), etc., las cuales se obtienen a partir de cual será su
aplicación. Luego se debe proceder a determinar las características de los elementos básicos
que lo componen para alcanzar el funcionamiento deseado.

Características del material piezoeléctrico.

Se preparó una cerámica piezoeléctrica de composición Pb( Zr0.52 , Ti0.48 ) 0.99 Nb0.01O3 ,

PZTN, por el método convencional de reacción en estado sólido2, utilizándose una


temperatura de calcinación de 850 ºC durante 3,5 horas, y sinterizada a 1250 ºC durante 3
horas, siendo la reacción química la siguiente:
PbO + 0.52 ⋅ 0.99 ⋅ ZrO2 + 0.48 ⋅ 0.99 ⋅ TiO2 + Nb2 O5 → Pb( Zr0.52 , Ti0.48 ) 0.99 Nb0.01O3

La muestra fue conformada con forma de disco plano, con un diámetro de 10 mm y una
altura de 1 mm. A través de difracción de rayos X Fig. 2, se determinó que la muestra a
temperatura ambiente presenta únicamente una fase perovskita pseudo-cúbica PZT (JCPDS
33-0784). En el espectro de difracción también se presentan líneas debido a la presencia de
los electrodos (Ag), el cual además causa la disminución de la intensidad de las líneas del
PZTN. La densidad fue determinada por el método de Arquímedes, resultando en 7.0 g/cm3.

100 101 111


-------- JCPDS Ag
-------- JCPDS PZT
80

60
I (a.u.)

40 200

211 220 311


20
111 200
112
002 022
212
0
20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80
2θ°

Fig.2. Espectro de difracción de la muestra de PZTN

Una vez fabricada la cerámica es necesario determinar las características acústicas,


piezoeléctricas y mecánicas más relevantes que permitan, por un lado, evaluar a la cerámica
desde el punto de vista de su utilidad para la fabricación de transductores y, por otra parte,

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usarlas en el modelado del mismo. La mayoría de las propiedades de interés para esta
aplicación se determinan a partir del análisis de la impedancia de la cerámica. En la Fig. 3 se
muestra la curva de admitancia de la cerámica.

Fig.3. Impedancia eléctrica de la cerámica

En la Tabla 1 se detallan las características de la cerámica piezoeléctrica junto con las


ecuaciones para su determinación3.

Tabla 1. Propiedades de la cerámica piezoeléctrica utilizada en la fabricación del transductor


Acústicos Dieléctricos Piezoeléctricos
Parámetro Parámetro Parámetro
S A 14.3 1

V = 2 ⋅ far ⋅ l (m/s)
D ε S
= C (nF/m) ⎛ c D
⎞ 2
4954 33 0
l h = k ⎜ 33
t⎜ S ⎟
⎟ (V/m 1.8 × 10 9
⎝ ε 33 ⎠
33
FD = tan(δ ) 0.02

Electromecánicos
Parámetro
fr (MHz) 2.187
far (MHz) 2.477
1
⎡ π fr ⎛ π fr ⎞⎤ 2
kt = ⎢ ⋅ ⋅ cotg⎜⎜ ⋅ ⎟⎟⎥ 0.51
⎣ 2 far ⎝ 2 far ⎠⎦
D
c33 = (V D ) 2 ⋅ ρ (N/m2) 1.8 × 1011

Capa de adaptación acústica (Matching layer)

Si se considera el caso donde una capa de un material dado, de grosor L, esta en contacto
con dos materiales distintos por ambas caras y una onda plana incide en la frontera del medio
I y el II, partir de la teoría de propagación de ondas, se puede deducir que es posible tener
una transmisión completa de energía del medio I al III, tal como si el material II no existiera.
V2 (2n − 1)
Para esto debe cumplirse que f = y Z 2 = Z1Z 3 , siendo k2 el numero de onda en
L
el medio 2 y Z1, Z2 y Z3 las impedancias acústicas de los medios en consideración. Sin

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embargo, esta acción es selectiva, ya que ocurre únicamente para bandas de frecuencias
centradas en las frecuencias particulares que cumplen la ecuación anterior.
(n − 1 / 2)V2
L= Ec. (1)
2f

Como en la mayoría de los casos el transductor se utiliza en distintos medios, no es


posible, siguiendo esta técnica, obtener una transmisión total de energía para todos los
medios. Entonces, en nuestro caso se optó por utilizar solo el primer resultado. En la Tabla 2,
se muestran los parámetros del matching utilizados en la fabricación del transductor realizada
en este trabajo.
Tabla 2. Propiedades del matching
Resina Araldite GY 103
Composición
20% (P/P) Acelerador HY 951
Velocidad del sonido (m/s) 2671
Impedancia acústica (Mrayls) 2.28
Frecuencia de operación (MHz.) 2.2
3V2 3
L= = V (mm.) 0.9
4f 4

Contramasa (Backing)

El backing atenúa la oscilación de la cerámica tomando energía de la misma. Una


conclusión importante con respecto a esto último, es que al aumentar el ancho de banda del
transductor mediante el uso de un backing con mayor impedancia acústica, también se están
transmitiendo ondas acústicas de menor energía al medio que se desea estudiar. Esto trae
como consecuencia, que la señal recibida proveniente de alguna discontinuidad sea de baja
energía. Por lo tanto, en el diseño del transductor se debe llegar a una solución de
compromiso entre el ancho de banda y la potencia transmitida al medio. En el presente trabajo
a partir de la simulación de la respuesta del transductor a una función delta de Dirac, para el
transductor irradiando en agua y sin matching, se determinó que una contramasa de
impedancia acústica de 11 Mrayls sería adecuada para esta aplicación. Con esta impedancia se
puede estimar que la potencia acústica disipada en el medio corresponde aproximadamente al
13% de la total
Sin embargo, no alcanza solo con que parte de energía se transfiera al backing para
atenuar la oscilación, si no que además, esta se debe disipar en el mismo a través de los
mecanismos de atenuación.

4
Determinación de la atenuación del backing4

Cuando una onda de ultrasonido se propaga por un medio dado, experimenta una
disipación de energía acústica. Las fuentes de esta disipación pueden dividirse
fenomenológicamente en dos categorías generales: (1) las debidas a la absorción por el propio
medio y en general se deben a perdidas del tipo viscosa, las cuales existen siempre que halla
movimiento relativo entre dos porciones del medio adyacentes y (2) aquellas asociadas con el
efecto de dispersión (scattering) producido por la existencia de fronteras entre materiales con
distintas impedancias acústicas. El efecto de estos dos mecanismos puede ser combinado por
el concepto de atenuación.

Método de medida5

Una forma de determinar la atenuación de un material, es mediante el uso de la técnica


pulso-eco5 por contacto directo. Mediante esta técnica se relaciona la amplitud de los picos
(voltaje pico a pico) de la respuesta ecográfica con la presión de la onda de ultrasonido. La
señal ecográfica es digitalizada a través de un osciloscopio, en el cual se determina la
amplitud de los ecos (altura H del eco) y el coeficiente de atenuación se calcula mediante la
siguiente ecuación:

1 ⎛ H ⎞
α= 20 log10 ⎜⎜ n ⎟⎟ (dB/cm) Ec. (2)
2d ⎝ H n +1 ⎠

Determinación de la impedancia acústica específica del material

Se define la impedancia acústica específica, Z, para la propagación de ondas planas


longitudinales en sólidos según la siguiente relación:
Z = ρ ⋅ cL Ec. (3)
con ρ la densidad del material y c L la velocidad de la onda longitudinal en el material. En
este trabajo se determinó la densidad a partir de las relaciones geométricas y del peso de la
muestra; mientras que la velocidad del sonido se determinó utilizando el sistema de la Fig. 4,
a partir del cual se puede determinar el tiempo de viaje del pulso de ultrasonido y conocida la
distancia se determina la velocidad.

Selección de las propiedades de la contramasa

En este trabajo se estudiaron dos sistemas carga/resina; uno consiste en una resina
polimérica tipo Araldite GY 103 cargada con óxido de plomo (Minio) y otro cargada con

5
óxido de aluminio (Alúmina). En ambos casos se determinaron la impedancia acústica y el
coeficiente de atenuación para distintas composiciones a una frecuencia de 2.25 MHz. Los
resultados se muestran en la Fig. 5.

Fig. 5. (a) Fig.5. (b)


Fig.5. Impedancia acústica y coeficiente de atenuación en función de la composición; a) minio, b)
alúmina.

De los dos sistemas estudiados, la resina cargada con minio a una composición de 45 %
(m/m) resultó ser la mejor alternativa disponible para fabricar el backing del transductor.

Adaptación eléctrica

Para que la potencia transferida al transductor desde la fuente de excitación sea máxima,
las impedancias de la fuente y la del transductor deben ser complejos conjugados. Lo que se
busca es que la impedancia del transductor ‘vista’ entre los bornes de la fuente sea real y con
un valor de 50Ω (impedancia típica de equipos electrónicos). En nuestro caso, el circuito de
adaptación eléctrica consta únicamente de un inductor de valor 6.7 µHy. Con este inductor se
logra que la fase de la impedancia sea cero a la frecuencia de resonancia. Sin embargo, la
resistencia a la misma frecuencia esta un poco por debajo del valor deseado.

CARACTERIZACIÓN DEL TRANSDUCTOR

Una vez fabricado el transductor debe procederse a su caracterización. Con este


procedimiento se busca determinar el ancho de banda o factor de calidad, la frecuencia central
de operación y la estructura del campo acústico.

Respuesta acustoeléctrica6

Para determinar la respuesta acustoeléctrica del transductor (RAE), se utilizó el método


Pulso-eco. El mismo se basa en emitir y recibir ondas de ultrasonido con el transductor

6
colocado frente a un plano reflector paralelo e infinito situado a una distancia mayor a la del
campo cercano. El sistema de medida se muestra en la Fig. 6.

Fig.6. Sistema para la determinación de la respuesta acustoeléctrica.

Si el sistema es lineal y recíproco la RAE se puede calcular en el dominio de frecuencias


mediante la siguiente ecuación:
E (ω )
RAE (ω ) = Ec. (4)
P(ω )

siendo RAE (ω), E(ω) y P(ω) la transformada de Fourier de la respuesta acustoeléctrica, la


señal que se obtiene a la salida del sistema (transformada de la respuesta ecográfica) y de la
excitación respectivamente.
En este trabajo se determinó la RAE en los distintos pasos de fabricación, utilizando una
frecuencia de 2 MHz y una amplificación de 20 dB. En los espectros en decibeles (dB) de
todas las señales temporales, se observan claramente los picos correspondientes a las
frecuencias de vibración excitadas: modo radial, espesor y laterales así como algunos
armónicos.

Fig.7 (a) Fig.7 (b)

Fig.7. Determinación de la RAE para el Transductor terminado: (a) Señal temporal de la respuesta
ecográfica en el modo pulso-eco. (b) Espectro en frecuencias de la RAE.

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A partir de los espectros puede determinarse el factor de calidad del transductor como:
f0
Q= Ec. (5)
∆f 6dB

siendo f 0 la frecuencia central del modo espesor y ∆f 6dB el ancho de banda en el espectro de
frecuencias a -6 dB. El factor de calidad para el transductor finalizado, es de 13.1, siendo la
frecuencia central, f0, igual a 2.33 MHz, y el ∆f 6dB de 0.18 MHz.

Estudio del campo de radiación

La técnica experimental utilizada en el presente trabajo para caracterizar el campo de


ultrasonido en agua se basan en la interacción entre ondas de luz monocromática (láser) y de
ultrasonido, denominada interacción acusto-óptica y es llamada técnica de ‘Schlieren’7.

Sistema óptico

El sistema óptico se muestra en la Fig. 8. Esta compuesto por un láser, un colimador cuya
función es generar una fuente luminosa puntual. A continuación se agrega una lente
convergente de modo tal que el campo óptico a la salida de la misma sea colimado. Luego, a
la salida del lente, existe un recipiente con agua (medio de propagación) donde es sumergido
el transductor, sujetado mediante un sistema de posicionamiento unido a un soporte corredizo,
el cual permite relevar el campo acústico a distintas distancias axiales. A continuación se
encuentra una lente convergente y la cuchilla cuya función es observar las variaciones de fase
luminosa provocadas por el ultrasonido en el agua. Luego hay una cámara CCD y antes de
esta última, se coloca un filtro de luz.

Fig. 8. Sistema óptico

Estudio con excitación continua.

En la Fig. 9 (a), se muestra el sistema de medida para determinar el campo de ultrasonido


cuando el transductor es excitado de forma continua.
En este caso, al transductor montado en el sistema óptico, se lo conecta a un generador de
excitaciones el cual permite variar la forma de la excitación, la frecuencia y el voltaje

8
aplicado. La salida del generador de funciones es previamente amplificada. En este caso, se
utilizó una función sinusoidal de amplitud VPP = 50 mV. y se relevó el campo de ultrasonido
a distintas frecuencias.

Fig. 9. (a) Fig. 9. (b)


Fig. 9. (a) Sistema de medida para caracterizar el campo acústico con excitación continua, y (b)
campo acústico a una frecuencia de 2.3 MHz.

En la Fig. 9 (b) se muestra el campo acústico a la frecuencia de resonancia obtenido


mediante el método de Schlieren.

Determinación de las características del campo transitorio

El sistema de medida utilizado en este caso se muestra en la Fig. 10. Al transductor, una
vez montado en el sistema óptico, se lo conecta a un generador de impulsos. Este último, es
conectado a un sincronizador de disparo o trigger, el cual a su vez, está conectado al láser. El
trigger actúa sobre una ‘ventana’ del láser, permitiendo que pase luz a un intervalo de tiempo
posterior al que el generador de pulsos excita al transductor. Esto permite, regulando el
tiempo de disparo, observar el pulso de ultrasonido a distintas distancias de la superficie del
transductor.

Fig. 10. Sistema de medida para caracterizar el campo acústico con excitación pulsada.

Los resultados se muestran en las Fig. 11, donde pueden observarse claramente las ondas
planas en la región geométrica así como las ondas de borde. Por otra parte, también se

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observó que las características del campo varían cuando se cambia la excitación impulsiva,
evidenciándose que la excitación en banda ancha produce pulsos de mayor duración temporal.

a) 0.15 cm. b) 1.05 cm. c) 1.8 cm. d) 4.8 cm j) 9.0 cm. l) 15.0 cm.

Fig. 11. Imágenes de la onda de ultrasonido a distintas distancias del transductor con una excitación
de banda ancha. (Referencia )

CONCLUSIONES
• La constante que mejor describe el efecto piezoeléctrico es el factor de acoplamiento
electromecánico, kt, (energía eléctrica convertida a energía mecánica o viceversa). El kt
de la cerámica fabricada en el presente trabajo presenta los valores usuales, entre 0.45 y
0.55, de este parámetro y por lo tanto es adecuada para su uso en transductores.
• Las cargas utilizadas para fabricar la contramasa mostraron no ser adecuadas para esta
aplicación, dada por el bajo valor de su impedancia acústica y alto factor de calidad. Sin
embargo, el transductor fabricado puede ser útil en aplicaciones donde se requiera un
transductor de buena potencia. A partir de bibliografía se sabe que el tungsteno es la
carga más adecuada para esta aplicación.
• El procedimiento de fabricación y caracterización realizados mostraron ser adecuados.

REFERENCIAS

1
‘Piezoelectric transducers and applications’. A. Arnau (Ed.), J. L. San Emeterio and A. Ramos.
Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York.
2
‘ Piezoelectric ceramics’, B. Jaffe, W. R. Cook Jr., H. Jaffe, Academic Press Inc., London.
3
‘Cerámicas piezocomposites 1-3 (PZT-Polímero) para emisión-recepción de ultrasonidos’. Alina
Aulet. Informe Interno – Instituto de Física – Facultad de Ciencias - UDELAR.
4
‘Ultrasonic Measurments Methods’ D. A. Hutchins and G. Hayward.
5
‘ Ultrasonic Measurement Methods’ R. N. Thurston, A. D. Pierce, Academic Press, Inc, San Diego
(1990)
6
‘Acoustics Waves, Devices, Imaging and Analog Signal Processing’ Gordon S. Kino. Prentice Hall.
7
‘Método de Schlieren para la visualización del ultrasonido’ Ismael Nuñez, Informe Interno – Instituto
de Física - Faculta de Ciencias – UDELAR.

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