CAD.

Diseo asistido por ordenador

Carmen Aracil Fernndez

Antonio Luque Estepa
Dpto. Ingeniera Electrnica
 ndice
Diseo y simulacin
Software profesional
Caractersticas
CoventorWare
ACES
 Diseo y simulacin
Fase de diseo fundamental para crear un
microsistema.
Diseo con simulaciones:
ahorra lentos y costosos experimentos en el
laboratorio
reduce el nmero de pruebas para un prototipo.
 Conocimientos previos
Background del diseo asistido por
ordenador de Microelectrnica
Reutilizacin de los mdulos fabricados en
Microelectrnica.
Entorno familiar para los usuarios de
Microelectrnica.
Simulaciones de leyes fsicas. Normalmente
con efectos acoplados.
 CAD para MEMS
Dibujo de mscaras (layout)
MEMSCAP
Coventorware.
Cadence.
Simulacin de efectos fsicos
ANSYS Multiphysics. Mtodo de elementos
finitos.
Coventorware. MEF y otros mtodos numricos
Simulaciones de procesos concretos
 INDICE
Diseo y simulacin
Software profesional
Caractersticas
CoventorWare
ACES
 Caractersticas
Bases de datos con propiedades de materiales.
Simulacin de efectos fsicos relevantes (anlisis
trmico, mecnico y estructural, electrosttico,
electromagntico, fluidico, ...).
Simulacin o base de datos con parmetros
(limitaciones/tolerancias) de los procesos de
fabricacin.
Creacin de mscaras.
Optimizacin y verificacin del diseo.
 ndice
Diseo y simulacin
Software profesional
Caractersticas
CoventorWare
Flujo iterativo
Architect
Designer
Analyzer
System Builder
ACES
CoventorWare
Diseo MEMS
Flujo iterativo
 Mdulos comunes
Editor de procesos
Permite crear o editar una descripcin del proceso de
fabricacin.
Provee de la informacin necesaria para crear modelos
3-D.
Base de datos de propiedades de materiales
El software incorpora un fichero por defecto que
incluye materiales comnmente utilizados para la
fabricacin de MEMS.
Se pueden aadir nuevos materiales
 Architect (I)
Simulador a nivel de sistema: basndose en
el comportamiento de un dispositivo
expresado en un nmero reducido de
ecuaciones.
Se trabaja con libreras de componentes
individuales que se conectan y configuran
para resolver la mayora de problemas de
MEMS
Architect (y II)
Ejemplo Architect (I)
Ejemplo Architect (y II)
Designer
 Analyzer (I)
El mallado automtico
est optimizado para
MEMS caracterizando
mltiples elementos y
permitiendo influenciar
el proceso.

Puede generar diferentes mallas de elementos finitos

para las distintas capas del MEM.
 Analyzer (y II)

Se lleva a cabo un
anlisis detallado
despus de realizar el
diseo inicial
 Simuladores disponibles (I)
MemElectro (electrosttica)
MemMech (termo-mecnico, estructural)
CoSolve-EM (electro-mecnico)
MemPZE (piezoelctrico)
DampingMM (rozamiento y elasticidad)
MemETherm (dilatacin trmica)
MemPZR (piezorresistencia)
MemHenry (inductancia)
MemOptics (difraccin ptica)
 Simuladores disponibles (II)
SpringMM (muelles)
MemPackage (efectos del encapsulado)
MemCFD (fluidodinmica)
FSI (interaccin fluido-estructura)
NetFlow (transporte en diversos flujos)
SwitchSim (flujo con campo elctrico
pulsado)
ReactSim (reaccin qumica)
DropSim (formacin de gotas)
Builder
 Ejemplo de uso de Coventorware
Diseo y simulacin de un microespejo
Proceso de fabricacin
Mscaras
Simulacin del comportamiento
Efectos fsicos acoplados
 Microespejo
Conmutador ptico, entre otras aplicaciones
Actuacin electrosttica
Inicio de Coventorware
BD de materiales
Proceso de fabricacin I
Proceso de fabricacin II
Proceso de fabricacin
Editor de layout
Preprocesador
Propiedades y mallado
Mallado del modelo
Simulacin electromecnica
Condiciones elctricas
Condiciones mecnicas
Condiciones acopladas
Resultados (I)
Resultados (II)
Resultados (III)
Resultados (y IV)
 ndice
Diseo y simulacin
Software profesional
Caractersticas
CoventorWare
ACES
 ACES
Anisotropic Crystalline Etching Simulator
Simulador de grabado del silicio. Trata las
diferentes orientaciones cristalogrficas y
propiedades del atacante
Mtodo de simulacin basado en tomos.
Clculo dinmico para reducir el consumo de
memoria.
 ACES
Interfaz de usuario amigable
Cualquier forma de mscara
Tasas de grabado modificables
Visor tridimensional
Resultados verificados experimentalmente
GRATIS!
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