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Curso de Vacio Tecnovac
Curso de Vacio Tecnovac
ndice
El vaco
Aplicaciones
Conceptos bsicos
Definiciones y frmulas
Componentes bsicos de un sistema de vaco
Definicin
Unidades de medida
Piezas de unin
Vlvulas
Filtros, etc
Bombas de vaco
Bombas de membrana
Bombas rotativas
Bombas de Pistn
Bombas Scroll
Bombas Roots
Bombas difusoras
Bombas Turbomolecular-Drag
Bombas de sublimacin de titanio
Bombas inicas
Bombas criognicas
Medidores de vaco
Deteccin de fugas
Ionizacin
Separacin
Deteccin
Tipo de espectros
Definicin de trminos
Ejercicios
Sistemas de evaporacin
El vaco
Definicin
Se define el vaco como un espacio o volumen en el que la
presin es menor que la presin atmosfrica.
Rangos de vaco
Rango de vaco
Presin (mbar)
Densidad de molculas/cm3
Vaco grueso
1013 - 1
1019 - 1016
Vaco medio
1 - 10-3
1016 - 1013
Alto vaco
10-3 - 10-7
1013 - 109
< 10-7
< 109
bar
mbar
Torr
mm Hg
Micron
m.Torr
atm
Psi
lbf/inch2
Pa
1.10-5
1.10-2
7.5 10-3
7.5
9.87 106
1.45 10-4
bar
1 10-5
1 103
750
7.5 105
0.987
14.5
mbar
100
1 10-3
0.75
750
Torr
1.33 102
1.33 10-3
1.33
1000
Micron
0.133
1 10-3
Atm
1.01 105
1013
1013
760
7.6 105
14.7
Psi
6.89 103
6.89 10-2
68.9
51.71
5.17 104
6.8 10-2
10
11
Procesos Industriales
Empaquetado de alimentos.
Evacuacin y secado de circuitos frigorficos.
Secado e impregnacin de transformadores.
Sistemas de soldadura por haz de electrones.
Hornos de fusin y tratamientos trmicos.
Crecimientos de capas finas (ptica, tratamientos duros, etc.)
Metalizacin de faros y espejos.
Industria de semiconductores.
Sistemas de deteccin de fugas de Helio.
Fabricantes de criostatos y tanques criognicos.
Sistemas de anlisis de gases por espectrometra de masas.
12
Investigacin
13
Parmetros atmosfricos/altura
Altura
(Km)
PRESION
(mbar)
TEMPERATURA
(C)
DENSIDAD
(g/cm3)
N PARTICULAS
(N/ cm3)
1013
+15
1.2210-3
2.510+19
1.6
835
+5
1.2210-3
2.510+19
795
+2
1.2210-3
2.510+19
616
-11
1.2210-3
2.510+19
472
-24
1.2210-3
2.510+19
356
-37
1.2210-3
2.510+19
10
264
-50
4.110-4
8.610+18
12
193
-56.5
4.110-4
8.610+18
14
141
-56.5
4.110-4
8.610+18
18
103
-56.5
4.110-4
8.610+18
20
55
-56.5
8.910-5
1.8510+18
14
Parmetros atmosfricos/altura
Altura
(Km)
PRESION
(mbar)
TEMPERATURA
(C)
DENSIDAD
(g/cm3)
N PARTICULAS
(N/ cm3)
22
40
-54.5
8.910-5
1.8510+18
24
29
-52.5
8.910-5
1.8510+18
26
21
-50.5
8.910-5
1.8510+18
28
16
-48.5
8.910-5
1.8510+18
30
12
-46.5
1.810-5
3.710+18
31
10
-45.5
1.810-5
3.710+18
40
3.1
-13
410-6
8.310+16
50
0.9
-10
1.0810-6
2.310+16
60
0.3
-25
3.710-6
7.510+15
70
4.710-2
-95
9.410-8
1.9.610+15
80
6.710-3
-105
1.410-8
2.8410+14
Conceptos bsicos en
Tecnologa de Vaco
15
16
17
18
0.665
=
( cm )
P( Pa )
Presin (mbar)
1013
1
1 x 10-3
6,6 x 10-3
6,6
1 x 10-6
6.600
19
20
21
22
23
Definiciones - Frmulas
24
25
r Pm 3
C = 7750
(m / h)
l
Siendo :
C:
Conductancia
r:
Pm :
Camara + brida
)
2
26
r
3
C = 340 ( m / h )
l
27
Conductancias en paralelo
La conductancia total es la suma de las parciales
CT = C1 + C2 + C3 + C4
28
Conductancias en serie
CT =
1
1
1
1
1
+
+
+
C1 C2 C3 C4
29
CS
=
C+S
C:
Conductancia
S:
Seff :
30
V:
Volumen de la cmara
P1 :
Presin inicial
P2 :
Presin final
Seff :
31
t=
Ln
S eff S eff P2 Q
Siendo :
V:
Volumen de la cmara
P1 :
Presin inicial
P2 :
Presin final
Seff :
Q:
Valor de fuga
Bombas de Vaco
32
33
Rangos de trabajo
VACIO GRUESO
VACIO MEDIO
ALTO VACIO
DIAFRAGMA
ROTATORIA
PISTON
RANGO TRABAJO
ROOTS
TURBOMOLECULARES
TURBOMOLECULAR-DRAG
DIFUSORAS
EXPANSION POSIBLE
ADSORCION
RANGO TRABAJO
SUBLIMACION
IONICAS
CRIOGENICAS
103
10
10
-3
10
-7
10
-12
Bombas de membrana
34
35
Detalle de la bomba
Etapas de
bombeo
36
Principio Funcionamiento
37
38
Mantenimiento requerido
Cambio membranas
Cambio vlvulas
Eje
excntrico
Membrana
Cmara de
expansin
Vlvulas
39
Ventajas / Desventajas
Desventajas
Ventajas
40
Bombas rotativas
41
42
PAC LINE
DUO LINE
43
Principio Funcionamiento
44
Rotor
Estator
Paletas
45
Vlvula de salida
Estator
Punto de contacto
Paletas
Aceite
Rotor
46
Aspiracin
Expulsin
Compresin
47
48
Aceite
Tipos
49
Aceites sintticos
y trmica
Esteres tambin con excelentes propiedades de estabilidad
trmica y al craqueo se utilizan generalmente en
aplicaciones a altas temperaturas
Perfluorpolieteres Utilizados por su excelente resistencia
qumica ante agentes agresivos y corrosivos y su estabilidad
trmica excelente en aplicaciones con corrosivos ( 02, SF6,
F2, etc)
50
51
Gas ballast
52
Filtros
Funciones
Tipos
Separacin de partculas
Absorcin de vapores de aceite
Retencin de contaminantes
53
Mantenimiento requerido
54
55
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Desventajas
Retrodifusin de vapores de
aceite al sistema
Arrastre de aceite en
expulsin. Contamina
Proteccin en determinados
procesos
56
57
58
Principio de funcionamiento
59
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Exenta de aceite
Exenta de partculas
Ideal como bomba primaria
de Bombas turbo
moleculares o Grupos Roots
Poco mantenimiento
Desventajas
Ruidosa
60
Bombas Scroll
61
62
Principio funcionamiento
Bombas Roots
63
64
Principio Funcionamiento
3
1
2/3
2
65
Etapas de bombeo
p1
p2
66
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Desventajas
67
Bombas difusoras
68
69
70
71
Principio funcionamiento
72
73
Aceites utilizados
Caractersticas
Muy baja presin de vapor
No reactivos con los componentes del proceso
Buena estabilidad a la oxidacin
Caractersticas tcnicas
Aceite
mineral
Aceite
sinttico
Aceite
Silicona
Pentafenil ter
5 x 10-7
2 x 10-8
2 x 10-8
1 x 10-10
Resistencia qumica
Buena
Buena
Mejor
Muy buena
Viscosidad (20 C)
171
25
39
1000
Resistencia a oxidacin
Buena
Buena
Mejor
Muy buena
< 6 x 10-8
< 6 x 10-9
< 6 x 10-9
< 6 x 10-9
< 4 x 10-6
< 4 x 10-7
< 6 x 10-8
< 3 x 10-8
74
75
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Altas velocidades de
bombeo
Sistema robusto
Desplaza altas cargas de
gas
Desventajas
Contaminacin de cmara
Dificultad de manejo
Gran
capacidad
de
accesorios
Bombas Turbomoleculares
76
77
Brida
Rotor
Estator
Etapa molecular
rtor
Conexin vaco
previo
Etapa molecular
esttor
Motor
Rodamientos
cermicos
Mecha
lubricacin
78
Partculas
Alabe en movimiento
con velocidad v
79
Principio funcionamiento
Se basan en la direccin y velocidad que adquieren
las molculas de gas al chocar con una superficie
mvil a gran velocidad
80
81
Mantenimiento requerido
Cambio
de
rodamientos cada
aos
Cambiar la mecha de
lubricacin cada ao
los
dos
82
Bomba Turbomolecular
83
Ventajas / Desventajas
Desventajas
Ventajas
No admite golpes
Sensible a flujos grandes de
entrada de gas
84
85
86
Principio funcionamiento
Se basan en las propiedades de efecto getter que
tiene el titanio cuando sublima
Bombas Inicas
87
88
89
Principio funcionamiento
Bombas tipo diodo
90
91
Ventajas / Desventajas
Desventajas
Ventajas
Bombas criognicas
92
93
94
Principio de funcionamiento
El nitrgeno o helio lquido al expansionarse generan una
superficie fra en la que condensan los gases y vapores del
sistema
95
96
Ventajas / Desventajas
Desventajas
Ventajas
Medidores de vaco
97
98
Medicin de vaco
Atm
100
10
10-1
10-3
10-5
10-7
10-9
10-11
Bourdon
Capacitivo de membrana
Pirani
Ionizacin de ctodo fro (Penning)
Ionizacin de ctodo caliente/ Bayard-Alpert
Espectrmetro de masas cuadrupolo
99
100
101
Principio funcionamiento
Medidor Capacitivo
102
103
104
Principio funcionamiento
105
106
107
Sensores de resistencia
constante
108
109
110
111
Son sensores muy robustos y su rango de medida es desde 10-2 a 10-9 mbar
112
Principio de funcionamiento
113
114
115
116
117
118
Principio de funcionamiento
P=
I S
119
Limites de deteccin
Deteccin de fugas
Detectores de Helio
120
121
Definicin
Se define fuga como un diminuto orificio en un
recipiente o conducto, a travs del cual los gases,
vapores o incluso lquidos fluyen desde una zona
donde la presin es mayor hacia otra en donde la
presin es menor
P V
Q=
T
Q: ndice de fuga
P: Variacin de presin
V: Volumen
T: Tiempo
122
Pa m3 /s W
mbar/ls
Torr l/s
Atm cm /s
cm.
Mol/s
Pa m3 /s W
10
7.5
9.87
592
4.41 10-4
mbar/ls
0.1
0.75
0.987
59.2
4.41 10-5
Torr l/s
0.133
1.33
1.32
78.9
5.85 10-5
Atm cm3/s
0.101
1.01
0.76
59.8
4.45 10-5
cm.
1.69 10-3
1.69 10-2
1.27 10-2
1.67 10-2
7.45 10-7
Mol/s
2.27 103
2.27 104
1.7 104
2.24 104
1.34 106
Mtodos de localizacin de
fugas
123
124
Prdida de presin
Test de burbujas
10-1
10-2
10-4
mbar l/s
10-6
TM
10-8
10-10
10-12
125
Sistemas de vaco
Aumento de presin
10-1
10-2
10-4
mbar l/s
10-6
10-8
TM
10-10
10-12
126
127
Principio de medida
He+ + 2e-
Espectrmetro de masas
3
1 Ctodo 1
2 nodo
3 Ctodo 2
4 Barrera
5 Extractor
6 Barrera
7 Campo Magntico
8 Supressor
9 Barrera
10 Copa Faraday
11 Pre amplificador
11
10
M < 4
7
M = 4
M > 4
129
130
1
1
2
3
4
5
6
7
8
Brida de conexin
Presin en la entrada
Fuga calibrada
Conexin para sniffer o
para aireacin
Bomba previa
Presin en el previo
Bomba turbo especial
Espectrmetro de masas
P2
V5
V4
3
7
V3
V1
V6
V2
P1
Vaco primario
Objeto a
testear
P2 > 15 mbar
P2
V4
V5
V3
V6
V1
P1
V2
V4
V5
V3
V6
V1
P1
V2
V4
V5
V3
V6
V1
P1
V2
P2
V4
V5
V3
V6
V1
P1
V2
P2
V4
V5
V3
V6
V1
P1
V2
Calibracin
P2
V4
V5
V3
V6
V1
P1
V2
138
Aplicacin
En sistemas de ultra alto vaco
Cliente :CERN
Respuesta rpida
Testeo de componentes en
sobrepresin de Helio
Cliente :Industria de refrigeracin
Criostatos
Cliente :CERN
VACUUM
VACUUM
Test gas
Integral
Test gas
Local
VACUUM
VACUUM
VACUUM
Test gas
Test gas
VACUUM
VACUUM
VACUUM
Test gas
VACUUM
VACUUM
Qreal = Qdet
Test gas
Cmara
De
vaco
Sdet + Saux
Sdet
VACUUM
VACUUM
Espectrometra de Masas
Cuadrupolar
143
144
Fundamento de la Espectrometra de
Masas Cuadrupolar
145
Fuente Ionizacin
eFilamento
Cuadrupolo
Filtro Masas
Detector
146
Atomos y Molculas
Fuente de Ionizacin
Electrones
Iones
Filamento
Entrada
de Gas
Salida Iones
10-05
10-04
Presin
(mbar)
10-03
10
147
Ionizacin
Atomo
12
C + 1e-
In
12
C+ + 2e-
148
Ionizacin
m/e=6
Ionizacin
1 e- +
12C++
12C
Fragmentacin - Ionizacin
+ 3e-
H
m/e=17
1 e- +
18H2O
1 e- +
17OH
1 e- +
17OH
17OH+
+2 e-
149
Fuentes de Ionizacin
150
Masas adicionales
In Molecular(s)
N (m/e)
C++
C++
C++
CO
CO2
CxHy
12, 28, 29
12, 28, 44
12, 13, 14, 26, 27 etc.
12
C+
C+
C+
N+
N+
CH2+
CO++
O+
O+
CH4+
NH2+
OH+
NH3+
H2O+
CO
CO2
CxHy
N2
NH3
CxHy
CO
O2
H2O
CH4
NH3
H2O
NH3
H2O
28, 29
(m/e)
14
16
17
18
28, 29, 44
13, 14, 26, 27 etc.
28, 29
15, 16, 17
12, 13, 26, 27 etc.
28, 29
32, 34
17, 18
12, 13, 14, 15
14, 15, 17
16, 18
14, 15, 16
16, 17
151
0.15
Ne
0.30
D2
0.35
C2H6
2.6
H2
0.44
C3H8
3.7
Aire
1.0
C4H10
4.9
N2
1.0
N-C5H12
6.0
02
1.0
C6H14
6.6
H2O
1.0
C6H6
5.9
CO
1.05
C6H5Cl
7.0
Ar
1.2
C6H5CH3
6.8
NO
1.2
C6H4(CH3)2
7.8
NH3
1.3
CH3OH
1.8
HF
1.4
CH3Cl
3.1
CO2
1.4
CH2Cl2
3.7
HCl
1.6
CHCl3
4.8
N2O
1.7
CCl4
6.0
Kr
1.0
CCl2F2
2.7
SO2
2.1
C2H5OH
3.6
SF6
2.3
C2H5Cl
4.0
Xe
2.4
CH4
1.6
152
153
Espectro de fragmentacin de
diferentes especies a 90 feb
154
Barras cilndricas de
acero inoxidable o
Molibdeno
La alineacin es crtica
y no es ajustable
+
U + V cos wt
155
Principio Funcionamiento
Filtro Masas
156
157
Filtro de masas
158
Detector Faraday
Ii
e-
I i ~ 10-15....10-9 A
= Iones positivos
159
Detector SEM/Channeltron
Ganancia de seal ~ 100 - 106
Dependiendo del Voltaje aplicado
FILTRO DE MASAS
e-
Voltaje 0-3500 V
Ii
e-
mbar
I i ~ 10-14....10-5 A
160
Tipos de espectros
161
162
Espectro Analgico
1-100 uma
1-200 uma
1-300 uma
163
Espectro de Barras
164
Deteccin de Concentraciones
mltiples
165
18
44
Definiciones trminos
166
167
Resolucin
m
R=
m '
Se define como la relacin entre la masa m, y la distancia en
unidades de masa, m.
m es la masa en la que se determina la resolucin,
m hay dos definiciones
168
169
170
Sensibilidad
La sensibilidad (S) del espectrmetro de masas, para un
determinado gas, es la relacin entre la corriente de iones
(1+) recogida en el detector con respecto a la presin
parcial (Pp) del mismo en la fuente de ionizacin.
S Ar
1 + Ar
=
PPAr
171
21
Pm =
S
Procedimientos prcticos de
verificacin de fugas en
cmaras de vaco
172
173
174
Degasificacin
+
Fuga
Presin
Degasificacin
Tiempo
175
176
Relacin H2O / N2
43
27
15
177
178
Propiedades
179
Tratamientos superficiales
Se suelen tratar las paredes interiores de las cmaras
de vaco, para eliminar los componentes adheridos a
su superficie (aceites, grasas, xidos, partculas de
polvo, etc)
Alguno de los mtodos de limpieza son :
180
181
Caractersticas.
Acero nox.
sin tratar
limpia
Q mbar l
s.cm2
1 hora
2,7x10-7
Acero inox
pulida
limpia
2x10-8
4x10-9
2x10-10
Acero inox
caustic
Calentada 1 hora
con aire
1,4x10-9
2,8x10-10
1,4x10-10
Acero inox
granallada
Calentada 1 hora
con aire
3x10-10
6,5x10-11
4x10-11
Ni plateado
pulida
limpia
2x10-7
1,5x10-8
5x10-9
Cr plateado
pulida
limpia
1,3x10-8
2,2x10-9
1,2x10-9
oxidada
6x10-7
1,6x10-7
1x10-7
Superficie
Acero
Condicin
superficie
Q mbar l
s.cm2
4 hora
5,4x10-8
Q mbar l
s.cm2
10 hora
2,7x10-8
Acero
sin tratar
limpia
5x10-7
1x10-7
5x10-8
Acero
granallada
limpia
4x10-7
8x10-8
3,8x10-8
182
Material
Caractersticas.
Aluminio
limpia
Q mbar l
s.cm2
1 hora
6x10-8
Latn
limpia
1,6x10-6
5,6x10-7
4x10-7
Cobre
limpia
3,5x10-7
9,5x10-8
5,5x10-8
Vidrio
limpia
4,5x10-9
1,1x10-9
5,5x10-10
Neopreno
4x10-5
2,2x10-5
1,5x10-5
Perbunan
4x10-6
1,7x10-6
1,3x10-6
Vitn
1,2x10-6
3,6x10-7
2,2x10-7
Superficie
Condicin
superficie
Q mbar l
s.cm2
4 hora
1,7x10-8
Q mbar l
s.cm2
10 hora
1,1x10-8
Vitn
Calentado a
100C (4 h )
1,2x10-7
5x10-8
2,8x10-8
Vitn
Calentado a
150C (4 h )
1,2x10-9
3,3x10-10
2,5x10-10
Tefln
Desgasificado
8x10-7
2,3x10-7
1,5x10-7
Ejercicios
183
184
Ejercicio n 1
Calcular el tiempo de bombeo para alcanzar en una cmara de 14
litros una P= 5 x 10-2 mbar
300
200
24
70
100
Cmara de vaco 14 l
Medidor Pirani
185
Clculos
1 Clculo de la conductancia
r 4 Pm
1.24 0.05
C = 7750
= 7750
= 47m 3 / h
l
17
2 Clculo de la capacidad de bombeo efectiva
Seff
C S 47 10
=
=
= 8,2m 3 / h
C + S 47 + 10
V
P1 0.014 1000
t=
Ln
=
Ln
= 61s
Seff
P2
8.2
0.05
186
Ejercicio n 2
Mismas condiciones que en el ejercicio 1 pero introduciendo
conducciones , vlvulas y codos
2
100
750
Vlvula
70
24
3
200
Cmara de vaco 14 l
Medidor Pirani
300
187
Clculos
1 Clculo de la conductancia
r 4 Pm
1.24 0.05
C = 7750
= 7750
= 6.9m 3 / h
l
116
2 Clculo de la capacidad de bombeo efectiva
Seff
C S 6.9 10
=
=
= 4m 3 / h
C + S 6.9 + 10
V
P1 0.014 1000
t=
Ln
=
Ln
= 124 s
Seff
P2
4
0.05
188
Ejercicio n 3
El flujo de gas que desplaza una bomba turbomolecular con una
capacidad efectiva de bombeo de 70 l/s a una P=0.02 mbar
Qu Presin se alcanzar en el vaco primario, trabajando con
una bomba primaria seca de membrana de 1 m3 /h ?
189
Ejercicio n 4
Valor de fuga mximo considerando que conectamos un detector
HLT 260 en test port 2 a la boca de una bomba Roots de 4000
m3/h (WKP 4000)
SWKP 4000
4000
=
= 1.110l / s
3 .6
0.01 + 1.100
QR = QFD
0.01
Ejemplo 5
Indice de fuga en mbar l/s
Una rueda de bicicleta puede tener una prdida
mxima de presin de 1000 mbar en 175 das.
Volumen
=
1.5 litros
175 das
=
1.5x107 segundos
.
mbar * l 1000 * 15
4
LR =
.
=
=
x
mbarl / s
1
0
10
7
. x10
s
15
Sistemas de evaporacin
191
193
Seccin de PE CVD
194
195
Esquema de un Sputtering
196
197