Gestion de Gases para Semiconductores

Gestin de gases de
escape y bombas
para la fabricacin de
semiconductores
FABMAX servicio de mantenimiento
durante la vida til del proceso de
fabricacin
4-4
Accesorios y bombas turbomoleculares con

levitacin magntica STP
Bombas y controladores STP
Accesorios
4-5
4-48
Bombas secas y accesorios

Accesorios y bombas secas iH, iF, iL, y L remotas
Bombas de alto vaco IPX instaladas en herramientas
Bombas de alto vaco EPX instaladas en herramientas
Accesorios y sistemas de bombas secas iQ
Bombas mecnicas Roots QMB
Redes e interfaces
4-52
4-63
4-68
4-70
4-76
4-80
Gestin de gases de escape

Procesamiento trmico
Columnas del reactor de gas
Depuradores por va hmeda
Sistema de acondicionamiento pirofrico
Sistema integrado de gestin de gases de escape y
vaco Zenith
Sistema de gestin de temperatura
4-84
4-91
4-96
4-98
4-99
4-100
Gestin trmica
Unidades de control de temperatura (refrigeradoras)
Compre en lnea en www.bocedwards.com
4-102
4
PGINA
1
SOLUCIONES INTEGRADAS PARA LA

INDUSTRIA DE SEMICONDUCTORES
BOC Edwards ha estado involucrada en la industria de semiconductores
desde el inicio de los procesos de vaco. En asociacin con sus clientes,
BOC Edwards ha desarrollado productos y servicios para satisfacer los
requerimientos de proceso especficos.
Esta asociacin se fortalece continuamente a medida que BOC Edwards
cumple su objetivo de brindar a sus clientes soluciones verdaderamente
integradas segn sus necesidades de vaco.
4
PGINA
2
Bomba seca iL600 de BOC Edwards
Redes para el monitoreo y control inteligente en los

procesos de fabricacin
BOC Edwards ha sido pionero en el suministro y uso de la interconexin en
toda la planta de los sistemas de bombeo para permitir el monitoreo y
diagnstico del sistema en forma remota. Pueden monitorearse mltiples
dispositivos, incluyendo bombas y sistemas de tratamiento de escapes desde
una o ms PC, utilizando software fcil de usar, compatible con Microsoft
WindowsTM. Cada red est diseada en forma individual para satisfacer los
requerimientos de fabricacin especficos.
Bombas secas iQ de BOC Edwards en funcionamiento en Plessey Roborough,

Plymouth, RU. (La fotografa es cortesa de Plessey).
Las bombas secas iQ, iH e iL

El desarrollo de nuestras bombas iQ, iH e iL ha sido el resultado de las mejoras
impulsadas por nuestros clientes.
Desempeo comprobado y alta confiabilidad en las aplicaciones ms
exigentes
Monitoreo y control inteligente
El conjunto patentado del rotor ofrece una alta eficiencia volumtrica con
una baja entrada de potencia
La trayectoria de gas corta y simple optimiza la conductancia interna y
reduce al mnimo el espacio muerto
No se requieren nterenfriadores
Bajos costos de operacin se eliminan los componentes consumibles
Manejo de gas ms seguro
Vaco limpio sin contracorriente
Diseadas para un mantenimiento poco frecuente
Intrnsicamente no contaminantes
Estas caractersticas hacen que las bombas Drystar sean ideales para:
Procesamiento de semiconductores
Pulverizacin catdica
Aplicaciones limpias en secado por congelamiento, deposicin de vaco e
investigacin y desarrollo especiales
Cmaras de bloqueo de carga
Hornos al vaco
Procesos de sustancias qumicas
Operador utilizando el software FabWorks Plant Monitor
En abril de 2002, BOC Edwards adquiri la unidad de

negocios de bombas turbomoleculares de Seiko
Instruments, Inc.
Diseo del sistema de gestin de gases de escape
Distribuidas y con soporte tcnico de BOC Edwards a nivel mundial

durante casi veinte aos
Diseadas mediante la mejora continua de tecnologa comprobada y
confiable existente en la actualidad
Los materiales y diseos de avanzada ofrecen:
- Desempeo inigualable en su tipo
- Bajo nivel de vibracin
- Confiabilidad garantizada
- Bajo costo de mantenimiento
La amplia familia de productos cubre todas las posibles aplicaciones de
turbobombas.
Aprobadas por los principales fabricantes de semiconductores
Usadas en las principales plantas de fabricacin de semiconductores
Base instalada de ms de 70000 unidades, 85% en la industria de
semiconductores
Unidades TPU en el escape de una aplicacin CVD (la fotografa es cortesa de

TI, Dallas, EE.UU.)
BOC Edwards es la nica empresa en la industria que ofrece la gama ms
amplia de tecnologas de gestin de gases de escape, lo cual ha sido
comprobado a travs de una serie de productos y sistemas diseados para
satisfacer todos los requerimientos del cliente, desde la gestin de bajo costo
de las instalaciones hasta la proteccin total del medio ambiente.
Sistema de cojinetes magnticos multieje

Versiones de alto rendimiento para procesos de gran flujo
Caractersticas de baja vibracin
Tecnologa avanzada de controladores
Instalacin de interconexin total
Caractersticas y ventajas
Mejor desempeo de bombeo
- Optimizado para las presiones del proceso de fabricacin de
semiconductores
- Rendimiento ptimo de gas para cada tamao de brida
- Modelos especficos para cada aplicacin
Controladores de nueva generacin
Controlador compacto (1/2 bastidor)
- Bombas "mix and match" con capacidad de sintonizacin automtica
- Control TMS integrado
- Sistema de diagnstico mejorado
Accionamiento del motor de c.c. de gran potencia
- Tiempo rpido de rampa ascendente
- Reactivacin automtica en caso de cortes de energa, lo que elimina la
necesidad de bateras
El carro de recambio del cartucho para la columna del reactor a gas simplifica
el mantenimiento de rutina de estas unidades de gestin de gases de escape de
tecnologa de ltima generacin.
BOMBAS PARA LA FABRICACIN DE SEMICONDUCTORES

Y GESTIN DE GASES DE ESCAPE
Principales caractersticas
4
PGINA
3
FABMAX servicio de mantenimiento durante

la vida til del proceso de fabricacin
XPert
FABMAX servicio de mantenimiento durante la vida til del proceso de fabricacin
BOC Edwards es uno de los proveedores ms importantes del mundo de

equipos de gestin de gases, vaco y emisiones de escape, as como sistemas
de gestin de sustancias qumicas para las industrias de fabricacin de
herramientas de procesos, pantallas planas y dispositivos de semiconductores.
Nuestra red global de plantas de fabricacin y centros de soporte de
mantenimiento est dedicada a brindar el ms alto nivel de calidad, seguridad
y servicio al cliente.
BOC Edwards contina fortaleciendo nuestra importante infraestructura,
construida a lo largo de ms de dos dcadas de servicio en la industria de
semiconductores. Operamos en las principales regiones de fabricacin de
semiconductores del mundo, garantizando el soporte local a nuestros clientes
en donde se encuentran.
Sobre la base de nuestra experiencia en productos y aplicaciones, as como en
nuestras alianzas estratgicas cada vez ms crecientes, hemos desarrollado el
programa de soporte al cliente FABMAX.
4
PGINA
4
Gestin de equipos y componentes
Red global de instalaciones que ofrecen:

Reparacin y actualizacin de equipos y sistemas
Limpieza y gestin de las piezas de herramientas de procesos
BOC Edwards Kachina
Servicios de "know how"

Etapas de diagnstico y analticas
Capacitacin
Servicios a travs de Internet

SemiServe.com: Capacitacin y recursos tcnicos en EHS (seguridad, salud y
medio ambiente)
XpertFabServices.com- Recursos de diseo para sistemas de gas, sustancias
qumicas y vaco
(Consulte la seccin 16, para obtener informacin sobre contactos)
Limpieza de componentes de la cmara de

semiconductores
BOC Edwards Kachina ofrece un servicio completo de limpieza de las piezas
de la cmara de semiconductores, mejoras de superficies y gestin de
componentes.
Instalaciones de separacin qumica selectiva Mediante qumicas
controladas y ms de 75 recetas de deposicin al sustrato, se reduce la prdida
de materias primas, se prolonga la vida til de los componentes y se reducen
los costos de recambios. Instalacin de lneas de proceso dedicadas,
separacin de cobre segregada, deteccin del punto final y de 300 mm.
Limpieza de dixido de carbono En combinacin con tcnicas acuosas,
se reducen considerablemente los niveles de desgasificacin, iones mviles, lo
que da como resultado la rehabilitacin ms rpida de la cmara.
Mejora de superficies La pulverizacin por arco de alambre bifilar
controlada por robot con tecnologa de cinco ejes optimiza la rugosidad
superficial, lo que da como resultado tiempos prolongados y predecibles entre
servicios de mantenimiento preventivo.
Instalacin de inspeccin y metrologa dimensional crtica
completa
Servicios de gestin de componentes Conjuntos de componentes
montados preacondicionados y listos para instalarse en la cmara, embalados
en nuestro contenedor de transporte patentado Quick KitTM compatible con
salas limpias. Aumenta el tiempo de uso de las herramientas, reduce el tiempo
para realizar el servicio de mantenimiento preventivo, elimina la necesidad de
que el cliente maneje el inventario de repuestos.
Instalaciones globales Existen tres instalaciones de servicio completo en
los EE.UU. (Phoenix, Austin, Hillsboro), y la ltima instalacin de servicio
completo en Corbeil, Francia. Tambin ofrecemos operaciones en fbrica en
Israel, China y el Reino Unido.
Arizona
3925 E. Watkins
Phoenix, AZ 85034
+(1) 602 431 1212
X Site
Soporte a la productividad
Gestin en la planta de sistemas y materiales crticos, incluyendo
Gases volumtricos y especiales
Sustancias qumicas
Vaco
Manejo de los gases de escape
Proyecto y diseo
Gestin de proyectos llave en mano para sistemas de gas, sustancias

qumicas, vaco, reduccin y otros servicios
Diseo ISinc 3D
Servicios de instalacin de herramientas de procesos
Texas
4117 Commercial Center Dr.
Austin, TX 78744
+(1) 512 416 0102
Oregn
6121 W. Cornelius Pass Road
Hillsboro, OR 97124
+(1) 503 533 5848
Francia
224 Boulevard John Kennedy
91105 Corbeil Essonnes Cedex
+(33) 1 6088 7110
BOMBAS TURBOMOLECULARES CON

LEVITACIN MAGNTICA STP
Accesorios
Bombas
y controladores
y bombas turbomoleculares
STP
con levitacin magntica STP
Serie Advantage La nueva serie Advantage de turbobombas

con levitacin magntica han sido diseadas para brindar los niveles
ms altos de rendimiento requeridos por la prxima generacin de
procesos CVD y de grabado de semiconductores. Estas bombas
fueron desarrolladas mediante tcnicas de mejora continua, de la
serie H de productos ultra confiables y de alto desempeo. El
diseo avanzado del rotor, junto con una seleccin de los mejores
materiales, ha permitido la creacin de la prxima generacin de
turbobombas de alto rendimiento dentro de las mismas
dimensiones que muchos de los modelos existentes. Esta familia de
bombas ofrece velocidades de rendimiento de 800 l s-1 a 3500 l s-1.
Caractersticas de las bombas STP

2
10 -12 amp/div
18
28
Comprobada tecnologa de cojinetes magnticos

El rotor est completamente suspendido por cojinetes magnticos, de manera
que todo el contacto entre el rotor y el resto de la bomba queda eliminado.
Adems de generar una vibracin muy baja, la eliminacin del contacto significa
que no hay desgaste de los cojinetes y, por lo tanto, no existe la necesidad de
mantenimiento de la bomba.
50
100
Libre de aceite Todas las bombas turbomoleculares STP estn libres de

aceite. El uso de cojinetes magnticos elimina todos los lubricantes de
hidrocarburos, lo que garantiza que no habr ningn tipo de contaminacin en
el proceso de vaco proveniente de la bomba turbomolecular. Esta
caracterstica es vital en la industria de semiconductores (donde las densidades
de los dispositivos aumenta constantemente) y en aplicaciones de la ciencia de
superficies o la fsica de alta energa (donde la ms mnima contaminacin
puede perjudicar las mediciones).
Libre de mantenimiento A diferencia de los cojinetes mecnicos
convencionales, la levitacin magntica significa que no existe el contacto por
friccin, eliminando as las fuentes de desgaste y vibracin. Esta caracterstica
permite a las bombas turbomoleculares STP funcionar durante aos
prcticamente sin ningn mantenimiento, reduciendo los costos anuales de
operacin al mnimo y garantizando un tiempo de funcionamiento mximo.
Esta caracterstica libre de mantenimiento puede ser especialmente
beneficiosa en procesos que generan contaminacin qumica o radioactiva.
Libre de vibraciones La levitacin magntica del rotor da como resultado
un nivel de ruido y vibracin extremadamente bajo. El nivel de vibracin pico
a pico es inferior a 0,02 m. Esta amplitud permanece constante a lo largo de
la vida til de la bomba y tambin est libre de subarmnicas problemticas.
Familia de bombas STP

5x10 -3
zm
Serie UHV La serie de vaco ultra alto de las bombas

turbomoleculares con levitacin magntica es el producto de
eleccin para las industrias de fabricacin de semiconductores,
ciencia de superficies o fsica de alta energa. Estas bombas ofrecen
inigualable confiabilidad, desempeo, limpieza y bajos niveles de
vibracin nicos en su tipo. Todas las bombas estn alimentadas
por c.c., eliminando as la necesidad de bateras; tambin utilizan un
controlador de medio bastidor que cuenta con caractersticas de
sintonizacin automtica y de diagnstico avanzadas. Esta familia de
bombas cuenta con velocidades de 300 l s-1 a 1000 l s-1, disponibles
con bridas ISO o CF.
Serie de alto rendimiento La serie de alto rendimiento de las
bombas turbomoleculares con levitacin magntica generan los
elevados flujos de gas requeridos por la generacin actual de
sistemas de grabado de semiconductores, implante de iones y
LCD. Todas las bombas cuentan con un sistema de cojinetes
magnticos de cinco ejes activos y accionamiento de c.c. para
ofrecer una mayor resistencia y estabilidad. Tambin utilizan una
etapa Holweck para brindar un rendimiento de avanzada. Estas
bombas funcionan a travs de un controlador de medio bastidor
con sintonizacin automtica, diagnstico avanzado y un sistema
integrado de gestin de temperatura. Esta familia de bombas
funciona con velocidades de rendimiento de 300 l s-1 a 450 l s-1.
200
400
600
800
1000
Hz
Desplazamiento/frecuencia del anlisis de vibracin de la bomba STP 300
Sistema de balanceo automtico (ABS) ABS es un desarrollo

patentado, nico en su tipo con tecnologa de cinco ejes. Si se produce un
desbalance del rotor (por ejemplo, por deposicin de los productos derivados
del proceso), los sensores de la bomba detectan los cambios en el movimiento
del rotor y compensan los campos de cojinetes magnticos para permitir que
el rotor gire sobre su eje inercial natural. Esto reduce al mnimo la vibracin
transmitida a la brida de entrada. El sistema ABS funciona con todas las
velocidades de rotacin de la bomba.
4
PGINA
5
Anlisis de gas residual

BOC Edwards es lder en tecnologa de vaco limpio y seco. Las primeras

bombas STP se vendieron en 1983 y en la actualidad existen 70000
instalaciones en todo el mundo. El 85% de ellas estn funcionando con
herramientas de procesos de fabricacin de semiconductores en donde se
demuestran sus excepcionales niveles de confiabilidad. Las bombas STP son la
primera opcin para aplicaciones que demandan un elevado tiempo de
operacin, bombeo libre de hidrocarburos, mantenimiento mnimo y bajo
nivel de vibracin.
Confiabilidad comprobada.
Alto vaco limpio y libre de aceite.
Rango completo de 300 a 3500 l s-1.
Modelos especficos para cada aplicacin.
Muy bajo nivel de ruido y vibracin.
Bajo costo de mantenimiento.
Prcticamente libre de mantenimiento.
Instalacin en cualquier orientacin.
Interfaz por control remoto total.
Soporte global de BOC Edwards
44
Cojinetes de seguridad Las bombas STP cuentan con cojinetes mecnicos

axiales y radiales lubricados en seco que actan como cojinetes de seguridad.
Estos cojinetes sirven de soporte al rotor y protegen la bomba en caso de que
se produzca una disrupcin total de la suspensin magntica o una rfaga
masiva de aire que supere la tensin de los cojinetes magnticos. Estos
cojinetes de bola de alta precisin estn lubricados en seco y no estn en
contacto con el rotor durante el funcionamiento normal.
Rotores optimizados Los rotores empaletados puros de
etapas mltiples de las bombas UHV, generan los altos vacos
requeridos por las lneas de haces libres de las mquinas CD SEM,
espectrmetros de masa e implantadores de iones. Tambin
ofrecen un desempeo de bombeo ptimo con excelentes
relaciones de compresin de gas liviano.
Rotores compuestos Las bombas de alto rendimiento
incorporan una etapa de arrastre Holweck que aumenta el
rendimiento de la bomba a baja presin.
Aplicaciones cientficas Las bombas STP se usan ampliamente en los

institutos de investigacin y desarrollo ms avanzados del mundo. Las bombas
cumplen con los criterios de desempeo y las expectativas de confiabilidad
ms exigentes. Tambin se utilizan en las siguientes aplicaciones:
Instrumentos cientficos: anlisis de superficies, espectrometra de masa,
microscopa electrnica
Fsica de alta energa: lneas de haces, aceleradores
Aplicaciones radioactivas: sistemas de fusin, ciclotrones
Rotores compuestos de la serie avanzada Las bombas

serie avanzada cuentan con un nuevo diseo de rotor; los
materiales de fabricacin se han mejorado para reducir la limpieza
dentro de la bomba, los rotores tienen un diseo 3D avanzado y la
etapa Holweck se ha rediseado para aumentar el rendimiento.
4
PGINA
6
TMS
Resistencia a la corrosin A fin de garantizar un alto nivel de

resistencia a la corrosin, las bombas resistentes a la corrosin (C)
y con un alto rendimiento (H-C) tienen rotores/estatores
recubiertos de nquel y componentes internos adecuados para el
implante de iones y el grabado de plasma. Otros niveles de mayor
proteccin estn disponibles a solicitud.
Purga de nitrgeno Las bombas resistentes a la corrosin (C)
y de alto rendimiento (H-C) cuentan con un dispositivo de purga
de nitrgeno; un flujo constante de nitrgeno a travs de la bomba
diluye los gases corrosivos, reduciendo al mnimo el dao causado
al motor de la bomba y a las bobinas del sensor.
Sistema TMS El sistema de gestin de temperatura (TMS) de
BOC Edwards est disponible en una amplia variedad de
turbobombas. Est diseado para optimizar la temperatura dentro
de la bomba, lo que reduce dramticamente la condensacin de
partculas. Esto no slo mejorar considerablemente el
desempeo de la bomba bajo condiciones exigentes del proceso,
sino que tambin aumentar su vida til de funcionamiento.
APLICACIONES
Fabricacin de semiconductores Las bombas turbomoleculares STP
son la principal eleccin de los fabricantes de implantes y grabado de
semiconductores lderes en el mundo. Las bombas se instalan en las
aplicaciones ms exigentes (por ejemplo, en el grabado metlico) y
demuestran niveles de confiabilidad excepcionales.
El grabado de plasma (cloro, flor y bromo) para metal (aluminio),
tungsteno, dielctrico (xido) y polisilicio
Grabado por resonancia ciclotrnica de electrones (ECR)
Deposicin de pelcula CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
Fuente de implante de iones, estacin terminal de bombeo de la lnea de
haces
MBE
Difusin
Separacin fotorresistente
Cultivo epitaxial/de cristales
Inspeccin de plaquetas
Cmaras de bloqueo de carga
Velocidad nominal
Tiempo de arranque
Temperatura mxima de la brida de entrada
Tensin de entrada
BOMBA TURBOMOLECULAR
STP301/STP301C
48000 rpm
3 min
120 C
100 a 120 V c.a. (10%)
200 a 240 V c.a. (10%)
Consumo de energa
Arranque
Peso
Bomba
Controlador
0,55 kVA
11 kg
7 kg
4
PGINA
7
300 l s-1 N2
300 l s-1 H2
280 l s-1 He
Tecnologa de rotor avanzada
Flexibilidad optimizada del proceso
Libre de aceite
Bajo nivel de vibracin
Alta confiabilidad
Libre de mantenimiento
Diseo avanzado del controlador
Sintonizacin automtica
Funciones de autodiagnstico
Accionamiento del motor de c.c.
Funcionamiento sin bateras
Diseo compacto
Tamao pequeo
Controlador de medio bastidor
DATOS TCNICOS
B
Brida de entrada CF
(versin C solamente)
Presin mxima de entrada permitida
Enfriada a temperatura ambiente
Presin mxima de salida continua
8 x M8 x 16
ISO100 / DN100CF
KF25
KF10 (versin C solamente)
108
45
60
300 l s-1
300 l s-1
110
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
Relacin de compresin
N2
H2
Presin final con calentamiento de desecado
Brida de entrada ISO
Brida de entrada CF (no la versin C)
>108
>2 x 104
6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)
en el orden de 10-8 (en el orden de
10-10) Pa (Torr)
10-9) Pa (Torr)
99.5
A
B
Conectores elctricos para la unidad de control

Brida de salida
0,066 (5 x 10-4) Pa (Torr)

13 (0,1) Pa (Torr)
Orificio de purga (versin C solamente)

Las bombas STP301 y STP-301C resistentes a la corrosin de BOC Edwards

se utilizan en aplicaciones de microscopios electrnicos y fabricacin de
semiconductores. La tecnologa de rotor de BOC Edwards brinda un
desempeo nico en su tipo para lograr una mxima flexibilidad del proceso.
La bomba STP 301 fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes
de equipos en las industrias de instrumentos cientficos, semiconductores y
medios magnticos.
Controlador
200
132.5
122.5
315
140
209.7
INFORMACIN SOBRE PEDIDOS

DESCRIPCIN DEL PRODUCTO
4
PGINA
8
NMERO DE PEDIDO
La bomba STP se suministra con una criba de entrada.

Para una instalacin completa, solicite una bomba STP, un controlador, un cable de
conexin y un cable de energa, de acuerdo con la siguiente informacin.
STP301
ISO100 - entrada
B74830020
DN100CF - entrada
B74831010
STP301C
ISO100 - entrada
B74871010
DN100CF - entrada
B74881010
Controlador
100-120 V 50/60 Hz
PT21Z0Z00
200-240 V 50/60 Hz
PT21Z0Z04
Cables de conexin
3m
B70700010
5m
B70700000
12 m
PT21Y0B08
Cables de energa
Terminal en anillo 3 m
B70700090
B70700040
Enchufe para Europa 3 m
A50506010
Enchufe para el RU 3 m
A50505010
Opciones
Serpentn de enfriamiento de agua
Instalacin horizontal RC1/4
B74801750
Aislador de vibracin
ISO100
B58046000
DN100CF
B74834010
BOMBA TURBOMOLECULAR STP301CB

Velocidad nominal
Tiempo de arranque
Tensin de entrada
Consumo de energa
Arranque
Peso
Bomba
Controlador
0,066 (5 x 10-4) Pa (Torr)

13 (0,1) Pa (Torr)
48000 rpm
3 min
120 C
100-120 V 200-240 V
0,55 kVA
11 kg
7 kg
4
PGINA
9
300 l s-1 N2
300 l s-1 H2
280 l s-1 He
Libre de aceite
Campo bajo
Alta confiabilidad
Compatible con procesos exigentes
Mayor vida til
Diseo compacto
Tamao pequeo
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Presin final
Brida de entrada CF
ISO100 / DN100CF
KF40 o KF25
KF10
300 l s-1
300 l s-1
>108
>2 x 104
6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)
10-7 (10-9) Pa (Torr)
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga
D
E
Salida del agua de enfriamiento (accesoria)

Entrada del agua de enfriamiento (accesoria)

La bomba turbomolecular STP301CB resistente a la corrosin de

BOC Edwards ofrece una confiabilidad comprobada en el campo para usarse
en las aplicaciones de fabricacin de semiconductores ms exigentes. La
tecnologa de rotor de BOC Edwards brinda un desempeo nico en su tipo
para lograr una mxima flexibilidad del proceso. La bomba STP301CB fue
aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las
industrias de semiconductores y medios magnticos.
Controlador
200
132.5
122.5
315
140
209.7

4
PGINA
10
NMERO DE PEDIDO

STP301C
ISO100 - entrada KF25 - salida
B74871000
B74872000
DN100CF - entrada KF25 - salida
B74881000
B74882000
Controlador
100-120 V 50/60 Hz
PT21Z0Z00
200-240 V 50/60 Hz
PT21Z0Z04
Cables de conexin
3m
B70700010
5m
B70700000
12 m
PT21Y0B08
Cables de energa
B70700090
B70700040
A50506010
A50505010
Opciones
B74801750
ISO100
B58046000
DN100CF
B74834010
Velocidad nominal
Tiempo de arranque
Tensin de entrada
STP451/STP451C
48000 rpm
3 min
120 C
100 a 120 V c.a. (10%)
200 a 240 V c.a. (10%)
Consumo de energa
Arranque
Peso
Bomba
Controlador
0,55 kVA
12 kg
7 kg
4
PGINA
11
480 l s-1 N2
A
B
Conectores elctricos
Orificio de salida
460 l s-1 H2
460 l s-1 He
Libre de aceite
Alta confiabilidad
Diseo compacto
Tamao pequeo
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Brida de entrada CF (versin C
solamente)
ISO160K / DN160CF
KF25
s-1
480 l
460 l s-1
>108
>2 x 104
6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)
10-10) Pa (Torr)
10-9) Pa (Torr)
0,066 (5 x 10-4) Pa (Torr)
13 (0,1) Pa (Torr)
C
E

Serpentn de enfriamiento (accesorio)

Las bombas STP-451 y STP-451C resistentes a la corrosin de BOC Edwards

se utilizan en aplicaciones de microscopios electrnicos, instrumentos
cientficos y fabricacin de semiconductores. La tecnologa de rotor de
BOC Edwards brinda un desempeo nico en su tipo para lograr una mxima
flexibilidad del proceso. La bomba STP451 fue aprobada para ser usada por los
principales fabricantes de equipos en las industrias de instrumentos cientficos,
semiconductores y medios magnticos.
Controlador
200
132.5
122.5
315
140
209.7

4
PGINA
12
NMERO DE PEDIDO

STP451
ISO160 - entrada
B74840030
DN160CF - entrada
B74841010
STP451C
ISO160 - entrada
B74851010
DN160CF - entrada
B74861010
Controlador
100-120 V 50/60 Hz
PT21Z0Z00
200-240 V 50/60 Hz
PT21Z0Z04
Cables de conexin
3m
B70700010
5m
B70700000
12 m
PT21Y0B08
Cables de energa
B70700090
B70700040
A50506010
A50505010
Opciones
B74801750
ISO160
B58049000
DN160CF
B70652040
BOMBA TURBOMOLECULAR STP451CB
Tiempo de arranque
Tensin de entrada
Consumo de energa
Arranque
Peso
Bomba
Controlador
3 min
120 C
100 120 V 200 240 V
550 VA
12 kg
7 kg
4
PGINA
13
1
480 l s-1 N2
460 l s-1 H2
460 l s-1 He
181
20 x 8.4

Velocidad nominal
DN160CF
(CF6)
22
12
203
141
43
8
43
68
210
180
1
210
141
156
35
34
DATOS TCNICOS
20
B
C
108
ISO160 / DN160CF
KF40 o KF25
KF10
17
1
11
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Presin final
Brida de entrada CF
180
ISO160
68

Libre de aceite
Campo bajo
Alta confiabilidad
Mayor vida til
Diseo compacto
Tamao pequeo
480 l s-1
460 l s-1
>108
>2 x 104
99.5
6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)

10-9)
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga
0,066 (5 x 10-4) Pa (Torr)

13 (0,1) Pa (Torr)
48000 rpm
D
E
Salida del agua de enfriamiento (accesoria)

Entrada del agua de enfriamiento (accesoria)

La bomba turbomolecular STP451CB resistente a la corrosin de

BOC Edwards ofrece una confiabilidad comprobada en el campo para usarse
en las aplicaciones de fabricacin de semiconductores ms exigentes. La
tecnologa de rotor de BOC Edwards brinda un desempeo nico en su tipo
para lograr una mxima flexibilidad del proceso. La bomba STP451CB fue
Controlador

200
132.5
122.5
315
140
209.7
4
PGINA
14
NMERO DE PEDIDO

STP451CB
B74851000
B74852000
B74861000
B74862000
Controlador
100-120 V 50/60 Hz
PT21Z0Z00
200-240 V 50/60 Hz
PT21Z0Z04
Cables de conexin
3m
B70700010
5m
B70700000
12 m
PT21Y0B08
Cables de energa
B70700090
B70700040
A50506010
A50505010
Opciones
B74801750
ISO160
B58049000
DN160CF
B70652040
NUEVA
Velocidad nominal
Tiempo de arranque
Tensin de entrada
STP-L301/STP-L301C
48000 rpm
3 min.
120 C
100 a 120 V c.a. (10%)
200 a 240 V c.a. (10%)
Consumo de energa
Arranque
Peso
Bomba
Controlador
0,55 kVA
13 kg
7 kg
ISO100
ICF152
7.5
30
30
15
VG100
7.5
8 x 12
15
45
1
48.
5
60
2
30.
1
22.5
16 x 8
22.5
11.25
12
35
115
ICF152
55
21
152
110
115
130

Libre de aceite
Alta confiabilidad
Diseo compacto
Tamao pequeo
ISO100
207
180
156
33
66
73
240
166
83
115
128
B
25
20
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
He
H2
108
8 x M8 x 16
DATOS TCNICOS
M4 x 10
20
ISO100 / DN100CF
KF25
60
260 l s-1
290 l s-1
99.5
>108
5 x 105
2 x 104
10-8) Pa (Torr)
A
B
Conector
Orificio de salida
6,7 x 10-2 (5 x 10-4) Pa (Torr)

13 (0,1) Pa (Torr)

Las bombas STP-L301 y STP-301C resistentes a la corrosin de BOC Edwards

se utilizan en aplicaciones de microscopios electrnicos y fabricacin de
semiconductores. La tecnologa de rotor de BOC Edwards brinda un
desempeo nico en su tipo para lograr una mxima flexibilidad del proceso.
La bomba STP-L301(C) fue aprobada para ser usada por los principales
fabricantes de equipos en las industrias de instrumentos cientficos,
VG100
185
PGINA
15
NUEVA
l s-1 N2
l s-1 H2
l s-1 He
Controlador
200
4
PGINA
16
132.5
122.5
315
140
209.7
NMERO DE PEDIDO

STP-L301
ISO100 - entrada
B75800090
DN100CF - entrada
PT470Z000
STP-L301C
ISO100 - entrada
B75800010
DN100CF - entrada
PT47AZ030
Controlador
100-120 V 50/60 Hz
PT21Z0Z00
200-240 V 50/60 Hz
PT21Z0Z04
Cables de conexin
3m
B70700010
5m
B70700000
12 m
PT21Y0B08
Cables de energa
B70700090
B70700040
A50506010
A50505010
Opciones
B74801750
ISO100
B58046000
DN100CF
B74834010
STP-L451/STP-L451C
10
ls
-1
10
1
10
STP-L451(C)
10
10
10
-5
10
-7
-4
10
-1
410 ls H2
-6
10
-3
10
10
-5
-2
10
10
-4
-1
10
Pa
-3
Torr
-1
450 ls N2
4
PGINA
17
Sistema de aislamiento contra vibraciones que ofrece un mejor
desempeo en comparacin con la bomba STP451(C) y un aislador
externo
Mejor desempeo de bombeo
Sin aislador externo, por lo que se reducen las prdidas de conductancia,
brindando un desempeo real de 450 l/s
Diseo ms compacto
Considerablemente ms pequea que la bomba STP451(C) y aislador
externo
Fcil instalacin
Un solo componente de la bomba reduce el tiempo de instalacin
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Presin mxima de refuerzo permitida
Velocidad nominal
Tiempo de arranque
Posicin de montaje
Flujo de gas de purga recomendado
Tensin de entrada
Consumo de energa tpico
Peso
Bomba
Controlador
ISO160K / DN160CF
KF 25
A
B
C
450 l s-1
410 l s-1
Conector elctrico
Orificio de salida
>108
>2 x 104
10-8) Pa (Torr)
6,7 x 10-2 (5 x 10-4) Pa (Torr)
13 (0,1) Pa (Torr)
48000 rpm
3 min.
Vertical
10 (1,7 x 10-2) sccm
100 a 120 V c.a. (10%)
200 a 240 V c.a. (10%)
0,55 kVA
14 kg
7 kg

La nueva bomba STP-L451(C) de BOC Edwards fue diseada para cumplir con
los requerimientos de baja vibracin de las herramientas avanzadas de
microscopa y espectroscopa. Esta bomba se basa en el modelo STP451(C) de
BOC Edwards nica en su tipo, y ofrece la ventaja de contar con un sistema
de asilamiento contra vibraciones incorporado en el cuerpo de la bomba. Este
revolucionario diseo brinda una serie de ventajas al usuario final.
Controlador
200
132.5
122.5
315
140
209.7

4
PGINA
18
NMERO DE PEDIDO

STP-L451
ISO160K
B75800100
DN160CF
B75801110
STP-L451C
ISO160K
B75800040
DN160CF
PT47AZ020
Controlador
100-120 V 50/60 Hz
PT21Z0Z00
200-240 V 50/60 Hz
PT21Z0Z04
Cables de conexin
3m
B70700010
5m
B70700000
12 m
PT21Y0B08
Cables de energa
B70700090
B70700040
A50506010
A50505010
Opciones
B74801750
ISO160
B58049000
DN160CF
B70652040
BOMBA TURBOMOLECULAR STP603/

STP603C
Tiempo de arranque
6 min.
Temperatura mxima de la brida de entrada 120 C
Tensin de entrada
100 a 120 V c.a. (10%)
200 a 240 V c.a. (10%)
Consumo de energa (continua)
0,8 kVA
Peso
Bomba
31 kg
Controlador
9 kg
1
Enfriada por agua
4
PGINA
19
1
650 l s-1 N2
600 l s-1 He
Libre de aceite
Alta confiabilidad
Compatible con procesos exigentes (versin C)
Mayor vida til
Diseo compacto
Tamao pequeo
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
solamente)
Presin mxima de salida continua1
Velocidad nominal
ISO160F / DN160CF
KF40
650 l s-1
550 l s-1
>108
>105
10-9) Pa (Torr)
10-10) Pa (Torr)
6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)
13 (0,1) Pa (Torr)
35000 rpm
550 l s-1 H2

Las bombas STP603 y STP603C resistentes a la corrosin de BOC Edwards

son nuevas bombas turbomoleculares para usarse en las aplicaciones de
fabricacin de semiconductores ms avanzadas. La tecnologa de rotor de
flexibilidad del proceso. Ambas bombas fueron aprobadas para ser usadas por
los principales fabricantes de equipos en las industrias de semiconductores y
medios magnticos.
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Conector tipo L

A
B
C
C
PGINA
20
90
A
B
C
270
180
Ranura de polarizacin
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
NMERO DE PEDIDO

STP603
ISO160F
B72102010
DN160CF
PT390Z005
STP603C
ISO160F
B72102020
DN160CF
PT39AZ002
Controlador
100 V-120 V/200-240 V 50/60 Hz RS232C
PT56Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75130050
5m
B75130020
10 m
B75130060
Cables de energa
PT46Y0A01
PT46Y0A10
Opcin
B72132020
400
132.5
122.5
315
140
210
BOMBA TURBOMOLECULAR STP1003/

STP1003C
Tensin de entrada
100 a 120 V c.a. (10%)

200 a 240 V c.a. (10%)
0,8 kVA

Peso
Bomba
Controlador
31 kg
9 kg
Enfriada por agua
Con agua de enfriamiento, para desecado
4
PGINA
21
1
1000 l s-1 N2
Las bombas STP1003 y STP1003C resistente a la corrosin de BOC Edwards

son nuevas bombas turbomoleculares para usarse en las aplicaciones de
fabricacin de semiconductores ms avanzadas. La tecnologa de rotor de
flexibilidad del proceso. Ambas bombas fueron aprobadas para ser usadas por
los principales fabricantes de equipos en las industrias de semiconductores y
medios magnticos.
900 l s-1 He
800 l s-1 H2
ISO200F
Libre de aceite
Alta confiabilidad
Compatible con procesos exigentes (versin C)
Mayor vida til
Diseo compacto
Tamao pequeo
297
30
DATOS TCNICOS
ISO200F / DN200CF
KF40
1000 l s-1
800 l s-1
147.5
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
solamente)
Velocidad nominal
Tiempo de arranque
>108
>105
en el orden de 10-7 (10-9) Pa (Torr)
6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)
13 (0,1) Pa (Torr)
35000 rpm
6 min.
120 C
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida

260
Conector tipo L

A
B
C
C
PGINA
22
90
A
B
C
270
180
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
NMERO DE PEDIDO

STP1003
ISO200F
PT390Z001
DN200CF
B72101040
STP1003C
ISO200F
B72101030
DN200CF
PT39AZ003
Controlador
100 V-120 V/200-240 V 50/60 Hz RS232C
PT56Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75130050
5m
B75130020
10 m
B75130060
Cables de energa
PT46Y0A01
PT46Y0A10
Opciones
B72132020
ISO200
B58061000
400
132.5
122.5
315
140
210
BOMBA TURBOMOLECULAR DE ALTO

RENDIMIENTO STPH301C
Tiempo de arranque
4 min.
Tensin de entrada
100 a 120 V c.a. (10%)
200 a 240 V c.a. (10%)
Consumo de energa
0,6 kVA
Peso
Bomba
15 kg
Controlador
9 kg
1
Enfriada por agua
4
PGINA
23
1
Ar
N2
He
H2
Mayor rendimiento de gas
Libre de aceite
Alta confiabilidad
Mayor vida til
Diseo compacto
Tamao pequeo
Sistema de suspensin magntica de cinco ejes
Cero contaminacin
Bajo mantenimiento
Funcionamiento en cualquier orientacin
ISO100K
12
255.5
257
180
211
197
211
156
40
45
45
40
35
34
D
111
DATOS TCNICOS
ISO100K / DN100CF
KF40
KF10
PT1/4
160
11
1
17
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Accesorio de enfriamiento de agua
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Mximo rendimiento de nitrgeno1
Velocidad nominal
130
300 l s-1
200 l s-1
8 x M8 x 20
>108
103
660 (5) Pa (Torr)
2500 sccm
48000 rpm
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga
D
E
Salida del agua de enfriamiento

Entrada del agua de enfriamiento

La bomba turbomolecular de alto rendimiento STPH301C de BOC Edwards

fue diseada para usarse en las aplicaciones de fabricacin de semiconductores
ms exigentes. La confiabilidad de la bomba y el desempeo nico en su tipo
comprobados en el campo, ofrecen una mxima flexibilidad del proceso. La
bomba STPH301C fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes
de equipos en las industrias de semiconductores y medios magnticos.
Conector tipo L

A
B
C
C
PGINA
24
90
A
B
C
270
180
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
400
NMERO DE PEDIDO

STPH301C
ISO100K - entrada
B71901010
DN100CF - entrada
PT340Z004
Controlador
100-120 V/200-240 V 50/60 Hz RS232C
PT56Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75130050
5m
B75130020
10 m
B75130060
Cables de energa
PT46Y0A01
PT46Y0A10
El sistema TMS est disponible para este modelo. Para una instalacin completa, solicite una
bomba STP (TMS), un controlador, un conjunto de cables de conexin TMS, un cable de
conexin y un cable de energa.
STPH301CV (TMS)
ISO100F
PT3416001
DN100CF
PT3416005
Conjunto del cable de conexin TMS
5m
PT330V000
10 m
PT330V001
15 m
PT330V002
132.5
122.5
315
140
210
Tiempo de arranque
4 min.
Tensin de entrada
100 a 120 V c.a. (10%)
200 a 240 V c.a. (10%)
Consumo de energa
0,6 kVA
Peso
Bomba
15 kg
Controlador
9 kg
Enfriada por agua
ISO160K
156
180
PGINA
25
231.5
188
227.5
12
180
188
172
BOMBA TURBOMOLECULAR DE ALTO

RENDIMIENTO STPH451C
45
B
45
40
35
34
110.7
160
5
11
8 x M8 X 20
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Velocidad nominal
1
17

Libre de aceite
Alta confiabilidad
Mayor vida til
Diseo compacto
Tamao pequeo
Cero contaminacin
Bajo mantenimiento
Funcionamiento en cualquier orientacin
40
ISO160K / DN160CF
KF40
KF10
PT1/4
450 l s-1
300 l s-1
>108
103
660 (5) Pa (Torr)
2500 sccm
48000 rpm
D
E


La bomba turbomolecular de alto rendimiento STPH451C de BOC Edwards

fue diseada para usarse en las aplicaciones de fabricacin de semiconductores
ms exigentes. La comprobada confiabilidad de la bomba y el desempeo nico
en su tipo, ofrecen una mxima flexibilidad del proceso. La bomba STP451C
fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las

Ar
N2
He
H2
Conector tipo L
4
PGINA
26
A
B
C
C
C
C
90
A
B
C
270
180
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
NMERO DE PEDIDO

STPH451C
ISO160K - entrada
B71901001
DN160CF - entrada
PT340Z005
Controlador
100-120 V/200-240 V 50/60 Hz RS232C
PT56Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75130050
5m
B75130020
10 m
B75130060
Cables de energa
PT46Y0A01
PT46Y0A10
STPH451CV (TMS)
ISO160F
PT3416007
DN160CF
PT3416006
5m
PT330V000
10 m
PT330V001
15 m
PT330V002
400
132.5
122.5
315
140
210
BOMBA TURBOMOLECULAR STPA803C

"ADVANTAGE"
Tiempo de arranque
Tensin de entrada
7 min.
120 C
200 240 V (10%)
0,85 kVA
Peso
Bomba
Controlador
39 kg
9 kg
1Enfriada por agua
4
PGINA
27
1
Ar
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga
Libre de aceite
Alta confiabilidad
Mayor vida til
Diseo compacto
Tamao pequeo
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Velocidad nominal
ISO160F / DN160CF
KF40
KF10
PT1/4
800 l s-1
520 l s-1
>108
103
10-7 (10-9) Pa (Torr)
270 (2) Pa (Torr)
1500 sccm
32500 rpm
N2
H2

La bomba STPA803C de BOC Edwards es una nueva bomba turbomolecular

diseada para usarse en aplicaciones de fabricacin de semiconductores. La
tecnologa de rotor avanzada de BOC Edwards brinda un desempeo nico
en su tipo para lograr una mxima flexibilidad del proceso. La bomba
STPA803C fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de
equipos en las industrias de semiconductores y medios magnticos.
Conector tipo L

A
B
C
C
PGINA
28
90
A
B
C
270
180
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
400
NMERO DE PEDIDO

STPA803C
ISO160F - entrada
B71801000
DN160CF - entrada
B71805010
Controlador
200-240 V 50 Hz/60 Hz con RS232C
PT56Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75130050
5m
B75130020
10 m
B75130060
Cables de energa
PT46Y0A01
PT46Y0A10
STPA803CV (TMS)
ISO160F
PT3626000
DN160CF
PT3626003
5m
PT330V000
10 m
PT330V001
15 m
PT330V002
132.5
122.5
315
140
210

"ADVANTAGE"
Tiempo de arranque
Tensin de entrada
Peso
Bomba
Controlador
1
7 min.
120 C
200 240 V c.a. (10%)
0,85 kVA
39 kg
9 kg
Enfriada por agua
4
PGINA
29
Ar
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga

tecnologa de rotor avanzada brinda un desempeo nico en su tipo para
lograr una mxima flexibilidad del proceso. La bomba STPA1303C fue
Libre de aceite
Alta confiabilidad
Mayor vida til
Diseo compacto
Tamao pequeo
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Velocidad nominal
ISO200F / DN200CF
KF40
KF10
PT1/4
1300 l s-1
800 l s-1
>108
103
270 (2) Pa (Torr)
1500 sccm
32500 rpm
N2
H2

Conector tipo L

A
B
C
C
PGINA
30
90
A
B
C
270
180
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
400
NMERO DE PEDIDO

STPA1303C
ISO200F - entrada
B71802020
DN200CF - entrada
B71803000
Controlador
200-240 V 50/60 Hz RS232C
PT56Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75130050
5m
B75130020
10 m
B75130060
Cable de energa
PT46Y0A01
PT46Y0A10
STPA1303CV (TMS)
ISO200F
PT3626005
DN2000CF
PT3626004
5m
PT330V000
10 m
PT330V001
15 m
PT330V002
132.5
122.5
315
140
210
Velocidad nominal
Tiempo de arranque
Posicin de montaje
Enfriamiento de agua
Flujo
Temperatura
Presin
Tensin de entrada
Peso
Bomba
Controlador
36500 rpm
7 min.
Cualquiera
2 l min-1
5 25 C
3 kgf / cm-2
20 sccm
200 240 V c.a. (10%)
0,85 kVA
35 kg
9 kg
N2
Ar
He
12 x 11
15
Diseo avanzado del rotor

Mejor desempeo
Alta confiabilidad
Cero contaminacin
Resistencia a la corrosin
Mayor vida til
Construccin compacta
Tamao pequeo
Sin necesidad de sintonizacin
260
285
ISO200F
16
237
268.5
35
262
276.5
320
307.5
270
35
30
30
E
DATOS TCNICOS
ISO200F / DN200CF
KF40
KF16
PT1/4
147.5
A
21
18
14
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Rendimiento mximo de nitrgeno
H2
1600 l s-1
1200 l s-1
8 x M2 x 20
>108
>7 x 103
10-7 Pa
266 (2,0) Pa (Torr)
2500 sccm
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga
D
E


La pequea y potente bomba turbomolecular STPA1603C de BOC Edwards

fue diseada utilizando la tecnologa avanzada de rotor de BOC Edwards. Esto
brinda un alto rendimiento, mxima confiabilidad y desempeo nico en su
tipo, exigidos por la ltima generacin de los procesos de fabricacin de
semiconductores. Su diseo compacto y controlador de medio bastidor
ofrecen un considerable ahorro de espacio, mientras que el sistema avanzado
de reduccin de deposiciones brinda una mayor confiabilidad y desempeo. La
bomba STPA1603C ha sido aprobada para las ms modernas herramientas de
grabado de 200 mm, as como para la nueva generacin de procesos de
grabado con xido de 300 mm.
PGINA
31
Conector tipo L

A
B
C
C
PGINA
32
90
A
B
C
270
180
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
400
NMERO DE PEDIDO

STPA1603C
ISO200F
B75100010
DN200CF
B75100100
Controlador
200-240 V 50/60 Hz RS232C
PT56Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75130050
5m
B75130020
10 m
B75130060
Cable de energa
PT46Y0A01
PT46Y0A10
STPA1603CV (TMS)
ISO200F
PT4616004
DN2000CF
PT4616005
5m
PT461V000
10 m
PT461V001
15 m
PT461V002
132.5
122.5
315
140
210

"ADVANTAGE"
Posicin de montaje
Flujo
Temperatura
Presin
Tensin de entrada
Peso
Bomba
Controlador
Cualquiera
2 l min-1
5 25 C
2,9 x 105 Pa 3 kgf/cm
20 (3,4 x 10-2) sccm
200 240 V c.a. (10%)
1,5 kVA
61 kg
12 kg
4
PGINA
33
Cero contaminacin
Bajo mantenimiento
Mayor vida til
Tamao pequeo
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Presin final
Velocidad nominal
Tiempo de arranque
ISO250F / ICF305
KF40
KF10
PT1/4
2200 l s-1
1700 l s-1
>108
2,5 x 104
400 (3) Pa (Torr)
1500 sccm
27000 rpm
7 min.
D
E
F

Conector del sensor de temperatura


tecnologa de rotor avanzada brinda un desempeo nico en su tipo para
lograr una mxima flexibilidad del proceso. Un nuevo controlador de medio
bastidor ofrece un ahorro adicional de espacio e incorpora la tecnologa de
accionamiento de c.c. para que funcione sin necesidad de batera. La bomba
STPA2203C fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de
equipos de grabado, implante de iones y deposicin en las industrias de

Ar
N2
He
H2
Conector tipo L
4
PGINA
34
A
B
C
C
C
C
90
A
B
C
270
180
NMERO DE PEDIDO

STPA2203C
ISO250F
PT4V0Z002
DN250CF
PT4V0Z003
Controlador
200-240 V 50/60 Hz RS232C
PT41Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75030030
5m
B75030010
10 m
B75030040
Cables de energa
B75030020
PT35Y0A00
STPA2203CV (TMS)
ISO250F
PT4V66001
DN250CF
PT4V66002
5m
PT351V000
10 m
PT351V001
15 m
PT351V002
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
132.5
122.5
500
150
209.7
Tiempo de arranque
Posicin de montaje
Flujo
Temperatura
Presin
Tensin de entrada
Peso
Bomba
Controlador
TURBOBOMBA STPA2503C
9 min.
Cualquiera
2 l min-1
5 25 C
2,9 x 105 Pa 3 kgf/cm-2
20 sccm
200 240 V c.a. (10%)
1,5 kVA
72 kg
12 kg
4
PGINA
35
Ar
N2
H2
30
10
15
335
15
ISO250F
81
350
216
8 x M16 x 24
240
222
185
35
B
45
DATOS TCNICOS
187
70
ISO250F / DN250CF
KF40
KF10
PT1/4
84
17
2
20
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Presin final
Velocidad nominal
314
348
308
352.5
333
383

Mejor desempeo
Alta confiabilidad
Cero contaminacin
Mayor vida til
Tamao pequeo
2500 l s-1
1600 l s-1
226
17.5
>108
6 x 103
10-6 Pa
333 (2,5) Pa (Torr)
1800 sccm
27000 rpm
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga
D
E
20


12 x 11
La nueva turbobomba STPA2503C de BOC Edwards fue diseada para

manejar los altos flujos de gas requeridos por la prxima generacin de
procesos de fabricacin de semiconductores y grabado de pelcula delgada. El
diseo mejorado del rotor, el controlador de medio bastidor y el
funcionamiento por accionamiento de c.c. sin necesidad de bateras brindan un
considerable ahorro de espacio y desempeo nico en su tipo. La bomba
STPA2503C ha sido aprobada para usarse en los principales procesos de
poligrabado y grabado en metal de 300 mm.
Controlador
12 x 11
200
30
10
3
15
132.5
122.5
335
15
ISO250F
500
314
348
308
352.5
389.5
333
150
209.7
81
350
172
8 x M16 x 24
240
35
45
70
PGINA
36
187
222
C
A
84
17
17.5
A
B
Conector elctrico
Orificio de salida
C
E
20
Orificio de purga
Orificio del agua de enfriamiento
Conector tipo L
A
B
C
C
C
C
90
A
B
C
180
NMERO DE PEDIDO

STPA2503C
ISO250F - entrada
PT43GZ001
DN250CF - entrada
PT43GZ040
Controlador
200-240 V 50/60 Hz RS232C
PT43Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75030030
5m
B75030010
10 m
B75030040
Cables de energa
B75030020
PT35Y0A00
STPA2503CV (TMS)
ISO250F
PT4396003
DN250CF
PT4396010
5m
PT351V000
10 m
PT351V001
15 m
PT351V002
270
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Tiempo de arranque
Posicin de montaje
Flujo
Temperatura
Presin
Tensin de entrada
Peso
Bomba
Controlador
9 min.
Cualquiera
2 l min-1
5 25 C
2,9 x 105 Pa 3 kgf/cm-2
20 sccm
200 240 V c.a. (10%)
1,5 kVA
72 kg
12 kg
4
PGINA
37
Ar
N2
He
H2
12 x 14
30
95
Mejor desempeo
Alta confiabilidad
Cero contaminacin
Mayor vida til
Tamao pequeo
15
323
285.5
327.5
360
333
81
350
216
8 x M16 x 24
240
222
185
35
B
45
187
DATOS TCNICOS
70
ISO320F / DN320CF
KF40
KF10
PT1/4
8
2
17
2
20
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Velocidad nominal
289
20
425
ISO320F
3000 l s-1
1800 l s-1
226
17.5
>108
6 x 103
10-6 Pa
333 (2,5) Pa (Torr)
1800 sccm
27000 rpm
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga
D
E
20



Controlador
12 x 14
200
30
95
15
132.5
122.5
425
150
289
323
283
327.5
333
364.5
500
20
ISO320F
209.7
350
81
172
70
D
PGINA
38
187
222
C
A
84
17
17.5
A
B
C
Conector elctrico
Orificio de salida
Orificio de purga
D
E
20

Conector tipo L
A
B
C
C
C
C
90
A
B
C
180
NMERO DE PEDIDO

STPA3003C
ISO320F - entrada
B75201020
DN320CF - entrada
PT43GZ030
Controlador
200-240 V 50/60 Hz con RS232C
PT43Z0Z01
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75030030
5m
B75030010
10 m
B75030040
Cables de energa
B75030020
PT35Y0A00
STPA3003CV (TMS)
ISO320F
PT4396000
DN320CF
PT4396020
5m
PT351V000
10 m
PT351V001
15 m
PT351V002
35
45
8 x M16 x 24
240
270
Orificio de salida
Buje de polarizacin
NUEVA
Tiempo de arranque
Posicin de montaje
Flujo
Temperatura
Presin
Tensin de entrada
Peso
Bomba
Controlador
10 min.
Cualquiera
2 l min-1
5 25 C
2,9 x 105 Pa 3 kgf/cm-2
50 sccm
200 240 V c.a. (10%)
1,5 kVA
79 kg
12 kg
4
PGINA
39

Ar
H2
12 x 14
30
3
95
Mejor desempeo
Alta confiabilidad
Cero contaminacin
Mayor vida til
Tamao pequeo
15
ISO320F
20
425
90
62.5
323
364.5
327.5
254
8 x M16 x 24
8 x M16 x 32
C
A
B
35
17.5
70
187
260.5
20
70
254
3500 l s-1
1600 l s-1
A
B
Orificio de agua de enfriamiento

Conector del cable STP
C
D
Orificio de salida
Orificio de purga
238.5
45
ISO320F / DN320CF
KF40
KF10
PT1/4
>108
3 x 103
10-6 Pa
266 (2) Pa (Torr)
2200 sccm
25500 rpm
280
204.5
367.5
390
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Velocidad nominal
N2

NUEVA
Conector tipo L

A
B
C
C
PGINA
40
90
A
B
C
270
180
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
NMERO DE PEDIDO

STPA3503C
ISO320F - entrada
PT480Z003
DN320CF - entrada
PT480Z010
Controlador
200-240 V 50Hz/60Hz con RS232C
B75206220
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75030030
5m
B75030010
10 m
B75030040
Cables de energa
B75030020
PT35Y0A00
STPA3503CV (TMS)
ISO320F
PT4866001
5m
PT351V000
10 m
PT351V001
15 m
PT351V002
132.5
122.5
500
150
209.7
NUEVA
Tiempo de arranque
Posicin de montaje
Flujo
Temperatura
Presin
Tensin de entrada
Peso
Bomba
Controlador
TURBOBOMBA STPF2203C
7 min.
Cualquiera
2 l min-1
5 25 C
2,9 x 105 Pa 3 kgf/cm-2
20 sccm
200 240 V c.a. (10%)
1,5 kVA
61 kg
12 kg
4
PGINA
41
0
Ar
N2
12 x 15
30
20
15
45
22.5
90
20
35
15
4
DATOS TCNICOS
20
2
20
VG250 / ISO250F / DN250CF

KF40
KF10
PT1/4
176
170
45
414
341
376
295
372
296
A
B
C
Conector del cable STP

Orificio de salida
Orificio de purga
2200 l s-1
1200 l s-1
>108
>103
10-6 Pa
500 (4) Pa (Torr)
6000 sccm
27000 rpm
431
231
341
138
18

Mejor desempeo
Alta confiabilidad
Cero contaminacin
Mayor vida til
Tamao pequeo
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Velocidad nominal
H2

La nueva turbobomba STPF2203C de BOC Edwards fue diseada para

STPF2203C ha sido aprobada para usarse en los principales procesos
dielctricos de 300 mm.
NUEVA
Conector tipo L

A
B
C
C
PGINA
42
90
A
B
C
270
180
NMERO DE PEDIDO

STPF2203C
VG250 - entrada
PT50-0Z-002
ISO250F - entrada
A solicitud
DN250CF - entrada
A solicitud
Controlador
200-240 V 50Hz/60Hz con RS232C
PT50Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75030030
5m
B75030010
10 m
B75030040
Cables de energa
B75030020
PT35Y0A00
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
132.5
122.5
500
150
209.7
NUEVA
TURBOBOMBA STPXH2603C
La nueva turbobomba STPXH2603C de BOC Edwards fue diseada
especialmente para las aplicaciones que requieren un buen rendimiento de
bombeo de gases livianos. Esta bomba alcanz un desempeo 50% mejor en el
flujo de gas y en la velocidad de bombeo de H2 en comparacin con otras
bombas de igual tamao. Su excelente desempeo es idealmente adecuado
para procesos iniciales como HDP CVD o Low k Etch. La bomba
STPXH2603C ha sido aprobada para usarse en los principales procesos HDP
CVD.
0
Ar
N2
H2
INLET PORT FLANGE VG250 ISO250F

A
350
335
15
287
365
373
440
395
363
306
248
350
A
B
4 x M16 x 33
45
DATOS TCNICOS
326
ISO250F
KF40
KF10
PT1/4
C
D
45
55
20
2300 l s-1
2600 l s-1
20
22.5
187
>108
3 x 104
10-7 Pa
333 (2,5) Pa (Torr)
1800 sccm
28000 rpm
9 min.
Cualquiera
2 l min-1
5 25 C
2,9 x 105 Pa 3 kgf/cm-2
20 sccm
200 240 V c.a. (10%)
1,5 kVA
22.5
2 35
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Velocidad nominal
Tiempo de arranque
Posicin de montaje
Flujo
Temperatura
Presin
Tensin de entrada
Peso
Bomba
Controlador
PGINA
43
8 x M16 x 24
A
B
C
22.5
Cubierta del calentador TMS

Calentador TMS
Sensor TMS
75 kg
12 kg
D
E
F
18
22.5
Orificio de salida
Orificio de purga


Mejor desempeo
Alta confiabilidad
Cero contaminacin
Mayor vida til
Tamao pequeo
NUEVA
Conector tipo L

A
B
C
C
PGINA
44
90
A
B
C
NMERO DE PEDIDO

STPXH2603C
ISO250F - entrada
PT620Z000
Controlador
200-240 V 50Hz/60Hz con RS232C
PT62Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75030030
5m
B75030010
10 m
B75030040
Cables de energa
B75030020
PT35Y0A00
270
180
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
132.5
122.5
500
150
209.7
NUEVA
TURBOBOMBA STPXH3203C
La nueva turbobomba STPXH3203C de BOC Edwards fue diseada
especialmente para las aplicaciones que requieren un buen rendimiento de
bombeo de gases livianos. Esta bomba alcanz un desempeo 50% mejor en el
flujo de gas y en la velocidad de bombeo de H2 en comparacin con otras
bombas de igual tamao. Su excelente desempeo es idealmente adecuado
para procesos iniciales como HDP CVD o Low k Etch. La bomba
STPXH3203C ha sido aprobada para usarse en los principales
procesos HDP CVD.
0
N2
H2
INLET PORT FLANGE VG300 ISO320F

A
400
420
*B
18
20
*C
410
415
*D
365
370
*E
333
338
*F
276
281
*G
218
223
*H
335
440
*I
343
348
4
PGINA
45
*B
A
B
4 x M16 x33
45
ISO320F
KF40
KF10
PT1/4
*H
*I
*C
*D
*E
*F
*G
350
DATOS TCNICOS
326
C
3150 l s-1
2900 l s-1
45
2 l min-1
5 25 C
2,9 x 105 Pa 3 kgf/cm-2
20 sccm
200 240 V c.a. (10%)
1,5 kVA
55
20
>108
3 x 104
10-7 Pa
333 (2,5) Pa (Torr)
1800 sccm
28000 rpm
9 min.
Cualquiera
20
22.5
187
22.5
2 35
Brida de entrada
Orificio de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo
N2
H2
N2
H2
Velocidad nominal
Tiempo de arranque
Posicin de montaje
Flujo
Temperatura
Presin
Tensin de entrada
Peso
Bomba
Controlador
Ar
8 x M16 x 24
A
B
C
22.5
Cubierta del calentador TMS

Calentador TMS
Sensor TMS
85 kg
12 kg
D
E
F
18
22.5
Orificio de salida
Orificio de purga


Mejor desempeo
Alta confiabilidad
Cero contaminacin
Mayor vida til
Tamao pequeo
NUEVA
Conector tipo L

A
B
C
C
PGINA
46
90
A
B
C
NMERO DE PEDIDO

STPXH3203C
ISO320F - entrada
PT620Z030
Controlador
200-240 V 50Hz/60Hz con RS232C
PT62Z0Z00
Cables de conexin
Conector directo
3m
B75030030
5m
B75030010
10 m
B75030040
Cables de energa
B75030020
PT35Y0A00
270
180
Orificio de salida
Buje de polarizacin
Controlador
200
132.5
122.5
500
150
209.7
NUEVA
UNIDAD DE CONTROL SCU750
DATOS TCNICOS
Sistema de control de cojinetes magnticos
Tensin de entrada
AC100
AC200
Consumo de energa
Sin TMS
Con TMS
Frecuencia de entrada Hz
Corriente de fuga
Corriente nominal del disyuntor principal
Sistema de accionamiento del motor
Mx. 850 VA
Mx. 1200 VA
50/602 Hz
Mx. 3,5 mA
10 A
Accionamiento del motor de CC
trifsico sin escobillas
0 40 C
-25 55 C
8,5 kg
Incorporada
Estndar
Estndar
LCD (20 caracteres, 2 lneas)
4
200
4.8
PGINA
47
14.5
11
136
110.5
11
4.8
25
25
150
100
209.7
140
34.8
29.8
150
29.8
4 x 3.6
132.5
34.8
122.5
1.6
34
230
315
400
110
85
100
Controlador universal
Un solo controlador se utiliza para las bombas de tamao mediano. No se
requieren controladores diferentes para cada tipo de bomba
Disminucin de los repuestos de reserva para el servicio de
mantenimiento
Funcin avanzada de mantenimiento preventivo
AVR (reduccin automtica de vibracin) disminuye al mnimo la
vibracin del sistema rotativo durante la aceleracin.
ABS (sistema de balanceo automtico)
ptima confiabilidad
Cumple con las normas internacionales de seguridad
CE/UL/SEMI S2
Puerto de comunicaciones estndar
Los puertos de comunicaciones RS232/RS485 estn equipados como
estndar
Los puertos de comunicaciones dobles permiten la conexin simultnea a
la interfaz de control remota y al sistema de monitoreo FabWorks de
BOC Edwards.
Modelos aplicables
Serie STP603/1003
Serie STPH301/H451
Serie STPH803/H1303
Serie STPA803C/A1303
Serie STPA1603
100 120 10% V c.a.

200 240 10% V c.a.

NMERO DE PEDIDO
Serie STP603/1003, serie STPH301/H451, serie STPA803/A1303 y serie STPA1603.

SCU750
100-120 V/200-240 V RS232C
PT56Z0Z00

La nueva unidad de control de la turbobomba SCU750 de BOC Edwards es

un controlador totalmente digital que cuenta con una perfecta compatibilidad
con las bombas de tamao mediano. La nueva tecnologa AVR (reduccin
automtica de vibracin) ofrece una mayor reduccin de los niveles de
vibracin. Adems, la funcin avanzada de aviso de mantenimiento preventivo
indica por adelantado el momento preciso en el que se debe realizar el servicio
de mantenimiento.
El diseo basado en la confiabilidad, la funcin de comunicaciones actualizada
y una perfecta compatibilidad, se traducen en considerables ahorros en las
unidades de reserva y tambin contribuye a lograr una reduccin en el costo
de mantenimiento total.
Temperatura ambiente permisible

Temperatura de almacenamiento
Masa
Unidad de control TMS
Funcin de comunicaciones serial
RS232
RS485
Visor del panel
Control digital
ACCESORIOS
Accesorios
AISLADOR DE VIBRACIN DE ENTRADA
4
PGINA
48
Puede instalarse en aquellas aplicaciones donde se requiera un nivel de

vibracin inferior a 0,02 m pico a pico.

NMERO DE PEDIDO
Aislador de vibracin de entrada (se adapta al tamao de la brida de entrada)

Disponible en los modelos serie STP301, serie STP451, serie STP603, serie STP1003.
ISO100
B58046000
DN100CF 6 pulg. CF
B74834010
ISO160
B58049000
DN160CF 8 pulg. CF
B70652040
ISO200
B58061000
CONJUNTOS PARA TRANSPORTE

Los conjuntos para transporte estn disponibles para proteger a las bombas que se retiran de las cmaras de procesos para su mantenimiento o reparacin.
Estos conjuntos permiten que la bomba se purgue y selle de acuerdo con las recomendaciones del fabricante y, adems, protegen a la bomba durante su
almacenamiento y transporte. Estos conjuntos estn disponibles para la familia completa de bombas turbomoleculares de BOC Edwards.

BRIDA DE SALIDA
ORIFICIO DE PURGA
ADECUADO PARA USARSE CON BOMBAS
ISO100K
ISO100F
DN100CF
VG100
ISO100K
ISO100F
DN100CF
VG100
ISO100K
ISO100F
DN100CF
VG100
ISO160K
ISO160F
DN160CF
VG160
ISO160K
ISO160F
DN160CF
VG160
ISO160K
ISO160F
DN160F
VG160
ISO200K
ISO200F
ASA 6"
DN200CF
VG200
ISO200K
ISO200F
NW25
NW25
NW25
NW25
NW25
NW25
NW25
NW25
NW40
NW40
NW40
NW40
NW25
NW25
NW25
NW25
NW25
NW25
NW25
NW25
NW40
NW40
NW40
NW40
NW40
NW40
NW40
NW40
NW40
NW40
NW40
N/D
N/D
N/D
N/D
NW10
NW10
NW10
NW10
NW10
NW10
NW10
NW10
N/D
N/D
N/D
N/D
NW10
NW10
NW10
NW10
NW10
NW10
NW10
NW10
N/D
N/D
N/D
N/D
N/D
NW10
NW10
ASA 6"
DN200CF
VG200
ISO250F
NW40
NW40
NW40
NW40
NW10
NW10
NW10
NW10
ISO250F
VG250
NW40
NW40
NW10
STP200, STP300, STP300H, STP301, STPH200

STP200, STP300, STP301, STPH200
STP300C, STP301C, STPH200C
STP300C, STP301C, STP200C
STP301CVB, STP301CVB3, STPH301C
STPH300, STP400, STP451
STPH300C, STP400C, STP451C
STPH451C, STP600C, STP603C, STPH600C, STPH803C, STPA803C
STP1000, STP1003
STP1000, STP1003
STP1000, STP1003
STP1000, STP1003
STP1000, STP1003
STP1000C, STP1003C, STPH1000C, STPH751E, STPH1301L(1)(B), STPH1303C, STPH1303CV2,
STPA1303C
STPH1000C
STP1000C, STP1003C, STPH1000C, STPH1303C, STPA1303C
STP2001, STPH1000C, STPH2000C, STP2001C, STPH2001C, STPH2002C, STPA2002C,
STPA2203CV
STPA2203PV
STP2001, STPH200OC, STP2001C, STPH2001C, STPH2002C, STPA2002C, STPA2203C
NMERO DE PEDIDO
B70615000
B70615001
B70615002
B70615003
B70615004
B70615005
B70615006
B70615007
B70615008
B70615009
B70615010
B70615011
B70615012
B70615013
B70615014
B70615015
B70615016
B70615017
B70615018
B70615019
B70615020
B70615021
B70615022
B70615023
B70615024
B70615025
B70615026
B70615027
B70615028
B70615029
B70615030
B70615031
B70615032
B70615033
B70615034
B70615035
B70615036
4
PGINA
49

BRIDA DE
ENTRADA
BOMBAS SECAS Y ACCESORIOS iH, iF, iL, L,

IPX Y EPX
Esta es una nueva familia de bombas secas para la industria de
semiconductores.
BOMBAS SECAS iH
BOMBA SECA iF1800

La bomba iF1800 es la solucin ptima para los exigentes requerimientos de
evacuacin de bloqueo de carga de las herramientas de los procesos de
fabricacin de pantallas planas.
Sobre la base de la calidad y confiabilidad comprobadas de los productos de
BOC Edwards, la bomba iF1800 ofrece un mejor desempeo de bombeo, la
capacidad de lograr tiempos del ciclo de bloqueo de carga ms cortos y un
mayor rendimiento de las herramientas.
Evacuacin rpida del bloqueo de carga ahorra segundos de vital
importancia
Alta confiabilidad en aplicaciones con ciclos de alta frecuencia
Interfaces disponibles para todas las herramientas del proceso
4
PGINA
50
Las bombas iH ofrecen una gran confiabilidad adems de un bajo costo de

mantenimiento para procesos difciles tales como el grabado, PECVD y
LPCVD utilizados en la fabricacin de plaquetas de silicio y pantallas planas.
Mecanismo de la bomba robusto, para trabajos exigentes, optimizado para
partculas y productos derivados.
Alta temperatura de operacin que evita la condensacin
Diseo compacto y eficiente de tamao pequeo y alta velocidad de
bombeo
Bajo costo de mantenimiento
Cumple con las normas CE, SEMI S2 y UL
iH1800 y iH160
Las bombas iH1800 y iH160 se han agregado a la familia de bombas secas iH
para cumplir con los requerimientos de bombeo de alta velocidad de flujo para
los procesos de fabricacin de semiconductores y pantallas planas de 300 mm,
ofreciendo velocidades pico de 1800 m3h-1 y 160 m3h-1 respectivamente. Al
igual que otras bombas iH de esta familia de productos, estas nuevas adiciones
ofrecen una alta confiabilidad comprobada y un bajo costo de mantenimiento
para procesos difciles tales como el grabado, PECVD y LPCVD, en los que se
encuentran presentes partculas y productos derivados condensables y
corrosivos.
BOMBAS SECAS iL
La bomba iL fue especialmente diseada para procesos limpios, a fin de brindar
un bajo costo de mantenimiento y una excepcional confiabilidad, adems de no
requerir ningn tipo de mantenimiento peridico entre los intervalos de
reacondicionamiento. Con su funcionamiento silencioso, tamao pequeo y
altas velocidades de bombeo, estas bombas son ideales para cmaras de
bloqueo de carga, transferencia, PVD, SEM y tareas similares.
Las variantes de las bombas iLN incluyen la purga de nitrgeno del sello del eje,
y estn diseadas para aplicaciones de trabajos livianos, como por ejemplo el
grabado dielctrico.
Bajo costo de mantenimiento, sin nitrgeno (iL), baja potencia y bajo
consumo de agua de enfriamiento.
Diseo compacto y eficiente de tamao pequeo y altas velocidades de
bombeo
Alta confiabilidad, que da como resultado bajos costos de mantenimiento
Cumple con las normas CE, SEMI S2 y UL
BOMBA SECA L70

La L70 es una bomba seca simple, de bajo costo, especficamente diseada para
bloqueos de carga (loadlocks) limpios y aplicaciones similares.
Bajo costo de mantenimiento, sin nitrgeno, baja potencia y bajo consumo
de agua de enfriamiento
Control simple
Como complemento de la familia de bomba iH, est disponible la nueva serie

de bombas iL, especficamente diseadas para lograr el menor costo de
mantenimiento en tareas limpias y de trabajos livianos. Las bombas iL
comparten muchas caractersticas de diseo de la serie iH (vida til de servicio
especialmente prolongada), adems de un diseo que optimiza el desempeo
limpio con un consumo mnimo de servicios. Un novedoso diseo de sellos y
eje permite su funcionamiento sin nitrgeno para estas tareas.
Consulte la informacin que se indica en la siguiente tabla para seleccionar las
bombas iH o iL para su aplicacin. Esta tabla tambin indica las
recomendaciones sobre las opciones de gestin de gases de escape.
PROCESO
iH
iLN
iL
GESTIN DE
GASES DE ESCAPE
Nitruro LPCVD
Trampa enfriada por agua y

TMS y GRC
Otros LPCVD
GRC o TPU
Nitruro PECVD
TMS, GRC o TPU
Otros PECVD
TMS, GRC o TPU
Metal
TMS y GRC
Otros
Grabadores
GRC
Implante de iones
Separadores y generadores de
ceniza
Cmaras de transferencia
(sucias)
Cmaras de transferencia
(limpias)
Bloqueo de carga (loadlock)
PVD
SEM
n Primera eleccin
o Segunda eleccin
TMS = Sistema de gestin de temperatura
GRC = Columna del reactor de gas
TPU = Unidad de procesamiento trmico
Esta figura muestra el sistema integrado de reduccin y bomba Zenith, con dos
bombas iH.
La nueva familia de bombas secas iH de BOC Edwards estn especficamente
diseadas para los procesos de fabricacin de semiconductores ms exigentes.
Para estas aplicaciones, bombas como la iH que funcionan a altas temperaturas
constituyen una gran ventaja. Adems, las bombas iH tienen una capacidad de
manejo de partculas especialmente mejorada.
Las bombas iH estn diseadas para brindar una larga vida til y el uso
altamente eficiente de ciertos servicios como el agua de enfriamiento, el
nitrgeno y la energa. Con un tamao bastante pequeo y velocidades de
bombeo mejoradas para adecuarse a los procesos ms modernos, constituyen
la eleccin ptima para lograr un bajo costo de mantenimiento en aplicaciones
exigentes.
4
PGINA
51

BOMBAS iH E iL: INFORMACIN SOBRE

APLICACIONES
BOMBAS SEAS iH80 E iH600
10 3
m 3 h -1
10 2
2
10 1
iH600
10 0
10 -4
10 -2
10
-3
10
-1
10
-2
10
60 Hz iH600
10
-1
10
10
10
10
10
10
10
mbar
10
10
Pa
50 Hz iH600
10 3
ft 3 min -1
DATOS TCNICOS
10 1
iH80
50 Hz
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
Vaco final1
mbar
Torr
Flujo de nitrgeno de sello
del eje tpico (slm)
iH600
60 Hz
50 Hz
103
61
518
305
600
353
3 x 10-2
2,3 x 10-2
1 x 10-2
7,5 x 10-3
2 x 10-3
1,5 x 10-3
7 x 10-4
5,3 x 10-4
iH600
60 Hz
86
51
Flujo de agua de
enfriamiento tpico2
l h-1
l min-1
Entrada de potencia en el
vaco (kW)
Potencia nominal del motor
(kW)
Capacidad de aceite (l)
Conexin de entrada
Conexin de salida
Peso (kg)
2
1
10 0
10 -4
10
-3
10
-2
10
60 Hz iH600
-1
10
10
10
10
Torr
50 Hz iH600
10 3
4
10 2
120
2
m 3 h -1
PGINA
52
10 2
Bombas secas
Accesorios
y bombas
y accesorios
secas iH, iF, iL, y L remotas
240
4
10 1
2,4
2,7
3,1
3,4
2,9
3,5
5,1
6,1
0,85
ISO63
NW40
240
iH80
1,65
ISO100
NW40
415
10 0
10 -4
10
-3
10
-2
10
-1
10
10
10
10
mbar
10 -2
10
-1
10
10
10
10
10
10
Pa
1 Con purga de sello del eje solamente
60 Hz iH80
50 Hz iH80
10 3
2 A una cada de presin de 15 psi
10 2
ft 3 min -1
1
2
10 1
iH80
10 0
10 -4
10
-3
10
60 Hz iH80
-2
10
-1
10
50 Hz iH80
10
10
10
Torr
iH600
663 (26.10)
210
(8.27)
631 (24.84)
Las bombas iH constan de: una bomba seca de 5 etapas totalmente cerrada con motor
enfriado por agua, control del sistema elctrico y sensor, sistema de gas, dispositivo de
enlaces de control y comunicaciones para accesorios y herramientas de procesos, adems
de una terminal de visualizacin de la bomba. El modelo iH600 tambin cuenta con una
bomba mecnica Roots de accionamiento directo.
839 (33.03)
820 (32.28)
310 (12.21)
(2.68)
68
93
(3.66)
661 (26.02)
792 (31.18)
925 (36.42)
1
iH80 - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz
230 V 60 Hz
380/415 V 50 Hz
460 V 60 Hz
iH600 - bomba seca
200/208 V 50/60 Hz
230 V 60 Hz
380/415 V 50 Hz
460 V 60 Hz
NMERO DE PEDIDO
A53350945
A53350957
A53350946
A53350908
A53351945
A53351957
A53351946
A53351908
Para obtener informacin acerca de los accesorios iH, consulte la pgina 4-61.
48
(1.89)
390 (15.35)
195
(7.68)
Entrada
Salida
Orificio de extraccin de aire
iH80
723 (28.47)
141
(5.55)
1
84
(3.31)
526 (20.71)
310 (12.21)
529 (20.83)
68 (2.68)
661 (26.02)
781 (30.75)
916 (36.06)
1
95
(3.74)
195
(7.68)
390 (15.35)
134
(5.28)
Entrada
Salida

314 (12.36)
4
PGINA
53
10
10
10
10
ft 3 min -1
BOMBA SECA iH1000
iH1000
10 -4
10 -3
10
60 Hz
-2
10 -1
10
10
10
10
Torr
50 Hz
663 (26.10)
631 (24.84)
210
(8.27)
599 (23.58)
215
(8.47)
4
50 Hz
60 Hz
950
560
1000
589
2,0 x 10-3
1,5 x 10-3
3,5
1,0 x 10-3
7,5 x 10-4
3,8
5,1
6,1
839 (33.03)
310 (12.21)
(2.68)
68
661 (26.02)
93
(3.66)
792 (31.18)
925 (36.42)
48
(1.89)
(7.68)
390 (15.35)
Vaco final1
mbar
Torr
Entrada de potencia en el vaco
(kW)
Potencia nominal del motor (kW)
240
4
1,65 l
420 kg
195
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
4 slm
ISO100
NW40
820 (32.28)
Flujo de nitrgeno de sello del eje tpico

Conexin de entrada
Conexin de salida
Flujo de agua de enfriamiento tpico2
l h-1
l min-1
Capacidad de aceite
Peso
992 (39.06)
314 (12.36)
10 3
Entrada
Salida
Inversor

10 2
m 3 h -1
PGINA
54
1
10
Las bombas iH1000 constan de: una bomba seca de 5 etapas totalmente cerrada con motor
enfriado por agua, bomba mecnica Roots de accionamiento directo, control del sistema
elctrico y sensor, sistema de gas, dispositivo de enlaces de control y comunicaciones para
accesorios y herramientas de procesos, adems de una terminal de visualizacin de la
bomba.
iH1000
10 0
10 -4
10
-3
10
-2
10
-1
10
10
10
10
mbar
10 -2
10
-1
10
10
10
10
10
10
Pa
60 Hz
50 Hz
iH1000 - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz
230 V 60 Hz
380/415 V 50 Hz
460 V 60 Hz
NMERO DE PEDIDO
A53352945
A53352957
A53352946
A53352908
Para obtener informacin acerca de los accesorios iH, consulte la pgina 4-61.
ft 3 min -1
BOMBA SECA iH1800, iH1800HTX E iH160
10
10
10
10 1
iH1800 & iH1800HTX, 60Hz

10 0
10 -4
10 -3
10
10 -1
-2
10
654 (25.75)
10
10
10
641 (25.24)
385 (15.16)
204
(8.03)
334 (13.15)
DATOS TCNICOS
661 (26.02)
4 slm
ISO63 atornillada
NW40
240
4
1,6 l
500 kg
120
2
0,85 l
250 kg
1800
1060
30000
165
97
2750
1 x 10-3
7,5 x 10-4
4,1
7,0
3,1
5,0
150
(5.91)
4 slm
ISO160
NW40
1067 (42.01)
470 (18.50)
iH160
235 (9.25)
Flujo de nitrgeno de sello del eje

tpico
Conexin de entrada
Conexin de salida
Flujo de agua de enfriamiento tpico
l h-1
l min-1
Capacidad de aceite
Peso
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
l min-1
Vaco final1
mbar
Torr
Entrada de potencia en el vaco (kW)
iH1800,
iH1800HTX
113
(4.45)
1
4
Entrada
2
5
Salida
Inversor
Salida alternativa
kW

4
10 4
2
10
iH160
m 3 h-1
0
10 -4
10 -3
10
-2
10 -1
10
10
10
10
mbar
10 -2
10 -1
10
10 1
10
10
10
10
Pa
10 2
10 1
iH1800 & iH1800HTX, 50Hz

10 0
10 -4
10 -2
10
-3
10 -1
10
-2
10 0
10
-1
10 1
10 0
10
10
10 3
10
10 4
10 3 mbar
10 5 Pa

Bajo consumo de energa

Tamao pequeo
Confiabilidad comprobada a travs de aos de experiencia
Cumple con las normas internacionales
PGINA
55
885 (34.84)
878 (34.57)
Torr
674 (26.54)
340 (13.39)
La bomba iH1800 fue especficamente diseada para las aplicaciones de alto

rendimiento de los mercados de fabricacin de pantallas planas y 300 mm. Esta
bomba combina calidad y confiabilidad sobre la base de 20 aos de experiencia
en el bombeo en seco.
La bomba iH1800 ofrece un bajo consumo de energa, y reduce al mnimo el
impacto ambiental y los costos de funcionamiento.
m 3 h-1
10
10
10
10 1
iH160
10 0
10 -4
-3
10 -1
10
10 -2
10
-2
10
10
10 1
145 (5.71)
-1
10
10
10
10
10
mbar
10
10
10
Pa
723 (28.46)
310 (12.20)
518 (20.39)
64 (2.52)
529 (20.83)
123.7 (4.87)
661.3 (26.04)
785 (30.91)
920 (36.22)
105
17.5
95(3.74)
105 (4.13)
439 (17.28)
134 (5.28)
1
4
Entrada
2 Inversor
477 (18.78)
451 (17.76)
390 (15.35)
PGINA
56
195
(7.68)
780 (30.71)
150
(5.91)
Salida

iH1800 - bomba seca

200/208 V, 50/60 Hz
230 V, 60 Hz
380/415, 50/60 Hz
460 V, 60 Hz
iH1800HTX - bomba seca
200/208 V, 50/60 Hz
230 V, 60 Hz
380/415, 50/60 Hz
460 V, 60 Hz
NMERO DE PEDIDO
A53325945
A53325957
A53325946
A53325908
A53324945
A53324957
A53324946
A53324908
Para obtener informacin sobre las bombas iH160, comunquese con

BOC Edwards.
BOMBA SECA iF1800
10 4
10 3
m 3 h -1
10 2
10 1
iF1800
10 0
10 -4
10 -2
10
-3
10
-1
10
-2
10
60 Hz
10
-1
10
10
10
10
10
10
mbar
10
10
10
Pa
50 Hz
10 4
ft 3 min -1
10 3
10 2
PGINA
57
10 1
iF1800
10 0
10 -4
10
-3
10
60 Hz
-2
10
-1
10
10
10
10
Torr
50 Hz
911 (35.87)
487 (19.17)
1173 (46.18)
Evacuacin rpida del bloqueo de carga que ahorra segundos de vital

importancia
Alta confiabilidad en aplicaciones con ciclos de alta frecuencia
Interfaces disponibles para todas las herramientas del proceso
340
Vaco final1
mbar
Torr
Entrada de potencia en el final
(kW)
1720
1010
28600
1800
1060
30000
8 x 10-4
6 x 10-4
6,1
5 x 10-4
3,75 x 10-4
6,8
889 (35.00)
334
(13.15)
3
1307 (51.46)
235
(9.25)
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
l min-1
932 (36.69)
106
(4.17)
60 Hz
470 (18.50)
50 Hz
334
(13.15)
Flujo de lastre de gas tpico

59 slm
Conexin de entrada
ISO160
Conexin de salida
NW40
Flujo de agua de enfriamiento tpico2 360 l h-1 / 6 l min-1
Peso
585 kg
878 (34.57)
903 (35.55)
DATOS TCNICOS
1
3
Entrada
Salida alternativa
2
4
Salida

iF1800 - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz
440 V 60 Hz
NMERO DE PEDIDO
A53323945
A53323975

La bomba iF1800 es la solucin ptima para los exigentes requerimientos de

evacuacin de bloqueo de carga de las herramientas de los procesos de
fabricacin de pantallas planas.
Sobre la base de la calidad y confiabilidad comprobadas de los productos de
BOC Edwards, la bomba iF1800 ofrece un mejor desempeo de bombeo, la
capacidad de lograr tiempos del ciclo de bloqueo de carga ms cortos y un
mayor rendimiento de las herramientas.
BOMBA SECA L70
10
ft 3 min -1
2
10
L70
0
10
10
-2
10 -1
10
60 Hz
10
10
10
Torr
50 Hz
1
723 (28.47)
47
(1.85)
60 Hz
70
41
84
49
5 x 10-2
3,8 x 10-2
3 x 10-2
2,3 x 10-2
ISO63
NW40
ISO63
NW40
1,5
90
1,3
1,8
0,75
210
1,5
90
1,5
2,2
0,75
210
236 (9.29)
50 Hz
629 (24.76)
21
(0.83)
671 (26.42)
165 (6.50)
189 (7.44)
377 (14.84)
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
Vaco final
mbar
Torr
Flujo de nitrgeno de sello del eje
tpico
slm
Conexin de entrada
Conexin de salida
Flujo de agua de enfriamiento tpico
a una cada de presin de 30 psi
l min-1
l h-1
Entrada de potencia en el final (kW)
Peso (kg)
450 (17.72)
DATOS TCNICOS
Entrada
Salida
Orificio del ventilador extractor

10
10
El sistema L70 incluye como equipamiento estndar: bomba seca de 5 etapas de diseo
ptimo para aplicaciones con motores cerrados enfriados por agua.
m 3 h-1
PGINA
58
551 (21.69)
1
10
10
L70 - bomba seca

200/230V, 50/60 Hz
L70
10 -4
10 -3
10 -2
10 -1
10
10
10
10
mbar
10 -2
10 -1
10 0
10 1
10
10
10
10
Pa
60 Hz
50 Hz
NMERO DE PEDIDO
A53377958
10
10
ft 3 min -1
BOMBAS SECAS iL70, iL70N, iL600, iL600N
1
2
10
10
iL70/iL70N
10
-4
10
-3
-2
10
10
-1
60 Hz iL70/iL70N
10
10
10
10
Torr
50 Hz iL70/iL70N
10 3
1
2
m 3 h -1
10 2
DATOS TCNICOS
10 1
iL70/iL70N
50 Hz
60 Hz
70
41
Vaco final1
mbar
Torr
Flujo de nitrgeno
del sello del eje tpico
(slm)
Flujo de agua de
enfriamiento tpico2
l h-1
l min-1
vaco (kW)
Potencia nominal del
motor (kW)
Conexin de entrada
Conexin de salida
Peso (kg)
84
49
5 x 10-2
3,8 x 10-2
518
305
3 x 10-2
2,3 x 10-2
iL600/iL600N
10 0
10 -4
600
353
3 x 10-3
2,3 x 10-3
0/4
10 -2
2 x 10-3
1,5 x 10-3
10
-3
10
-1
10
-1
10
10
10
10
10
10
10
mbar
10
10
10
Pa
10
Torr
50 Hz iL600/iL600N
10 3
1
2
ft 3 min -1
10 2
150
2,5
10 1
1,3
1,5
1,8
2,0
1,8
2,2
3,6
4,4
0,75
ISO63
NW40
230
10
-2
60 Hz iL600/iL600N
0/4
90
1,5
iL600/iL600N
10 0
10 -4
1,5
ISO100
NW40
405
10
-3
10
-2
10
60 Hz iL600/iL600N
-1
10
10
10
50 Hz iL600/iL600N
iL70/70N
723 (28.47)
141
(5.55)
1

84
(3.31)
10
526 (20.71)
310 (12.21)
529 (20.83)
10
m 3 h -1
68 (2.68)
2
10
661 (26.02)
781 (30.75)
916 (36.06)
1
2
iL70/iL70N
10 -2
10 -1
10 -1
10 0
10 1
60 Hz iL70/iL70N
10
10
10
10
mbar
10
10
10
10
Pa
50 Hz iL70/iL70N
95
(3.74)
10 -2
10 -3
390 (15.35)
10 -4
195
(7.68)
10
PGINA
59
134
(5.28)
Entrada
Salida

Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
iL600/iL600N
50 Hz
60 Hz
iL600/600N
925 (36.41)
663 (26.10)
210 (8.26)
631 (24.84)
820 (32.38)
839 (33.03)
310 (12.21)
93
(3.66)
792 (31.18)
195
(7.68)
2
390 (15.35)
PGINA
60
661 (26.02)
Entrada
Salida

Las bombas iL constan de: una bomba seca de 5 etapas totalmente cerrada con motor
enfriado por agua, control del sistema elctrico y sensor, sistema de gas, dispositivo de
enlaces de control y comunicaciones para accesorios y herramientas de procesos. Adems,
el modelo iL600 tambin cuenta con una bomba mecnica Roots de accionamiento directo.
iL70 - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz
230 V 60 Hz
380/415 V 50 Hz
460 V 60 Hz
iL70N - bomba seca
200/208 V 50/60 Hz
230 V 60 Hz
380/415 V 50 Hz
460 V 60 Hz
iL600 - bomba seca
200/208 V 50/60 Hz
230 V 60 Hz
380/415 V 50 Hz
460 V 60 Hz
iL600N - bomba seca
200/208 V 50/60 Hz
230 V 60 Hz
380/415 V 50 Hz
460 V 60 Hz
NMERO DE PEDIDO
A53353945
A53353957
A53353946
A53353908
A53355945
A53355957
A53355946
A53355908
A53354945
A53354957
A53354946
A53354908
A53356945
A53356957
A53356946
A53356908
Para obtener informacin acerca de los accesorios iL, consulte la pgina 4-61.
ACCESORIOS iH E iL
TERMINAL DE VISUALIZACIN DE LA
BOMBA iL
CONJUNTO DEL MANMETRO iH ACTIVE

Permite al sistema iH monitorear la presin de entrada de la bomba con un
manmetro Active de BOC Edwards. El manmetro Active y los cables no se
incluyen, consulte la pgina 11-3.


Use la terminal de visualizacin de la bomba para operar el sistema iL en forma

manual y para visualizar el estado del sistema iL.
Terminal de visualizacin de la bomba
NMERO DE PEDIDO
D37272800
NMERO DE PEDIDO
Conjunto del manmetro iH Active
D37241000
MDULO DE COMUNICACIONES iH/iL

Permite a la herramienta del proceso o software de PC controlar y
monitorear el sistema iH o iL a travs de un puerto serial o paralelo.

NMERO DE PEDIDO
Mdulo de comunicaciones iH/iL

Comunicacin serial solamente
Comunicaciones/control serial y paralelo
Control paralelo solamente
D37232000
D37235000
D37236000
El mdulo de interfaz de herramientas permite realizar un mejor control del

sistema iH o iL mediante la herramienta del proceso OEM.

NMERO DE PEDIDO
Contamos con una variedad de mdulos de interfaz de herramientas. Comunquese con

BOC Edwards para obtener ms informacin.
Cable de extensin
1m
D37207602
3m
D37207591
5m
D37207592
EMO
3m
D37207598
5m
D37207593
10 m
D37207599
15 m
D37207600
25 m
D37207601
FABWORKS
Permite interconectar todos los sistemas inteligentes de gestin de gases de
escape y bombas secas de su instalacin.

Cada sistema de monitoreo central FabWorks est especificado y construido para su
instalacin en particular. Comunquese con BOC Edwards para obtener ms informacin.

MDULO DE INTERFAZ DE HERRAMIENTAS
4
PGINA
61
BOMBAS SECAS IPX

La serie IPX de bombas secas fueron especficamente diseadas para satisfacer
los exigentes requerimientos de los sistemas avanzados de vaco de las
herramientas de procesos de fabricacin de semiconductores.
En los momentos en los que el espacio es de especial importancia, la familia de
bombas secas IPX reemplaza a los sistemas convencionales de bombas
mltiples con una sola bomba que puede montarse sobre la herramienta para
reducir al mnimo el espacio ocupado.
4
PGINA
62
Mecanismo de bombeo nico en su tipo la IPX puede evacuar desde la
presin atmosfrica hasta un nivel de presin base TMP y, adems, puede
funcionar en forma continua a todas las presiones de entrada.
Sistema de cojinetes limpios los cojinetes convencionales de alto vaco
usan lubricacin con grasa que puede ser una fuente de contaminacin en
las herramientas de procesos. Las bombas IPX no tienen cojinetes de alto
vaco y no presentan ninguna otra fuente de contaminacin.
Extremadamente confiables confiabilidad comprobada en el campo por
MTBFp = 13 aos (SEMI E10) con perodos de servicio de mantenimiento
de aproximadamente 5 aos.
Opciones de montaje flexible las bombas IPX pueden integrarse en la
herramienta para ahorrar espacio, o pueden instalarse en forma remota,
lo que sea ms conveniente.
Compatibilidad con la red todas las bombas IPX pueden solicitarse con
Cnet, que adems permite que puedan conectarse a una red Fab-Wide.

Peso (kg)
BOMBA SECA IPX100
0,3
55
1 Mdulo de gas disponible a solicitud
10 3
10 2
m3 h-1
10 1
10 0
10 -1
IPX100
10 -2
10 -3
10 -2
10 -1
10 0
10 1
10 2
10 3 mbar
10 -1
10 0
10 1
10 2
10 3
10 4
10 5 Pa
216 (8.50)
La IPX100 es un concepto innovador en el bombeo de prxima generacin.

Como bomba de primer punto de uso para ser integrada en plataformas de
herramientas de procesos, ha logrado un reconocimiento comprobado en
cuanto a su desempeo y confiabilidad extremadamente altos. Se utiliza
ampliamente para el bombeo de bloqueo de cargas en las herramientas de
proceso avanzadas de 300 mm, ofreciendo una evacuacin rpida desde la
presin atmosfrica hasta un nivel inferior a 4 x 10-3 Torr.
175 (6.89)
308 (12.13)
200 (7.87)
220 (8.66)
110
(4.33)
DATOS TCNICOS
5
64
IPX100
Agua de enfriamiento tpica

l h-1
Potencia final (kW)
522 (20.55)
361.5 (14.23)
347 (13.66)
Innovador mecanismo de bombeo

Diseo robusto
Vaco extremadamente limpio
Sin cojinetes de alto vaco
Bajo nivel de ruido y vibracin
Compatibilidad con salas limpias
De poco peso
Tamao pequeo
Ahorro de espacio a nivel sub fabricacin
Sin vaco frontal
Sin nitrgeno
Baja potencia y agua de enfriamiento
Alta confiabilidad
MTBFp = 13 aos (SEMI E10)
Sin necesidad de mantenimiento peridico
Bajos costos de servicio de mantenimiento
284 (11.18)
1
4
100
59
142 (5.59)
Entrada de la bomba
Salida de la bomba
2
5
Salida del agua de enfriamiento 3 Entrada del agua de enfriamiento

Orificio de ajuste: 8 x 10,2 (0,40) di.

-3
<5 x 10
<3,7 x 10-3
01
NW40
NW25
<59
IPX100
200/208 V, 50/60 Hz
400 V, 50/60 Hz
120 (2 l min-1)
2,2
3,3
NMERO DE PEDIDO
A40902977
A40902973

Vaco final
mbar
Torr
Flujo de nitrgeno
del sello del eje tpico (slm)
Conexin de entrada
Conexin de salida
Ruido dB(A)
PGINA
63
Bombas de alto vaco IPX instaladas en herramientas
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
173 (6.81)

Peso (kg)
BOMBA SECA IPX100A
3,3
0,3
55
10 3
10 2
m3 h-1
10 1
10 0
10 -1
IPX100A
10 -2
10 -3
10 -2
10 -1
10 0
10 1
10 2
10 3 mbar
10 -1
10 0
10 1
10 2
10 3
10 4
10 5 Pa
4
2
La IPX100A es un concepto innovador en el bombeo de prxima generacin.

Integrado en plataformas de herramientas de procesos, ha logrado un
reconocimiento comprobado en cuanto a su desempeo y confiabilidad
extremadamente altos. Se utiliza ampliamente para el bombeo de bloqueo de
cargas en las herramientas de proceso avanzadas de 300 mm, ofreciendo una
evacuacin rpida desde la presin atmosfrica hasta un nivel inferior a
4 x 10-3 Torr. La bomba IPX100A difiere de la IPX100 en la orientacin de las
cajas elctricas.
522 (20.55)
200 (7.87)
110
(4.33)
144 (5.67)
123.26
(4.85)
54
(2.13)
142 (5.59)
54
(2.13)
284 (11.18)
1
4
IPX100A

l h-1
Potencia final (kW)
308 (12.13)
DATOS TCNICOS
Vaco final
mbar
Torr
Flujo de nitrgeno
Conexin de entrada
Conexin de salida
Ruido dB(A)
361.5 (14.23)
175 (6.89)
50

Diseo robusto
De poco peso
Tamao pequeo
Sin vaco frontal
Sin nitrgeno
Alta confiabilidad
(1.97)
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
347 (13.66)
110
(4.33)
PGINA
64
214 (8.43)
100
59
10-3
<5 x
<4 x 10-3
Entrada de la bomba
Salida de la bomba
2
5


IPX100A
200/208 V, 50/60 Hz
400 V, 50/60 Hz
01
NW40
NW25
56
120 (2 l min-1)
2,2
NMERO DE PEDIDO
A40904977
A40904973

Peso (kg)
BOMBA SECA IPX180A
3,3
0,3
55
180
160
IPX180A
140
m 3 h -1
120
100
80
60
40
20
0
10
10
-5
10 -4
10
-3
10
-2
10
-1
10
10
10
10
mbar
-3
10 -2
10
-1
10
10
10
10
10
10
Pa
214 (8.43)
4
2
PGINA
65
522 (20.55)
308 (12.13)
123.26
(4.85)
110
(4.33)
110
(4.33)
144 (5.67)
200 (7.87)
50

Diseo robusto
De poco peso
Tamao pequeo
Sin vaco frontal
Sin nitrgeno
Alta confiabilidad
(1.97)
361.5 (14.23)
175 (6.89)
347 (13.66)
54
(2.13)
142 (5.59)
54
(2.13)
284 (11.18)
1
4
DATOS TCNICOS
Entrada de la bomba
Salida de la bomba
2
5

IPX180A
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
Vaco final
mbar
Torr
Flujo de nitrgeno
Conexin de entrada
Conexin de salida
Ruido dB(A)
l h-1
Potencia final (kW)

180
106
<1 x 10-4
<7,5 x 10-5
IPX180A
200/208 V, 50/60 Hz
400 V, 50/60 Hz
01
ISO63
NW25
56
120 (2 l min-1)
2,2
NMERO DE PEDIDO
A40924977
A40924973

La IPX180A es una nueva bomba de vaco diseada para usarse en aplicaciones

de cmara de transferencia y bloqueo de carga de baja presin. Su innovador
mecanismo de bombeo es nico en su tipo para el bombeo a partir de la
presin atmosfrica, y alcanzar presiones de entrada inferiores a 7,5 x 10-5
Torr. La bomba puede funcionar en forma continua a cualquier presin de
entrada y los gases de escape a presin atmosfrica. La compatibilidad con
salas limpias significa que la bomba puede instalarse cerca de la herramienta del
proceso.

l h-1
Potencia final (kW)
Peso (kg)
BOMBA SECA IPX500A
120 (2 l min-1)
2,2
3,3
0,3
58
550
500
IPX500A
450
400
m 3 h -1
350
300
250
200
150
100
50
10 -6
10
-5
10 -4
10
-3
10
-2
10
-1
10
10
10
10
mbar
10 -5
10 -4
10
-3
10 -2
10
-1
10
10
10
10
10
10
Pa
214 (8.43)
La IPX500A es una nueva bomba de vaco diseada para usarse en aplicaciones

de cmara de bloqueo de carga, transferencia y procesos livianos de baja
presin. La bomba IPX500A ofrece el mismo desempeo que la combinacin
de una bomba turbomolecular y de refuerzo pequeas como un solo conjunto.
Su innovador mecanismo de bombeo es nico en su tipo para el bombeo a
partir de la presin atmosfrica, y alcanzar presiones de entrada inferiores a
7 x 10-7 Torr. La bomba puede funcionar en forma continua a cualquier
presin de entrada y los gases de escape a presin atmosfrica. La
compatibilidad con salas limpias significa que la bomba puede instalarse cerca
de la herramienta del proceso.
361.5 (14.23)
175 (6.89)
308 (12.13)
123.26
(4.85)
110
(4.33)
144 (5.67)
200 (7.87)
50
(1.97)
Diseo robusto
De poco peso
Tamao pequeo
Elimina la necesidad de bombas secundarias
Sin vaco frontal
Sin nitrgeno
Alta confiabilidad
347 (13.66)
522 (20.55)
110
(4.33)
PGINA
66
0
10 -7
54
(2.13)
142 (5.59)
54
(2.13)
284 (11.18)
1
4
DATOS TCNICOS
Entrada de la bomba
Salida de la bomba
2
5


IPX500A
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
Vaco final
mbar
Torr
Flujo de nitrgeno
Conexin de entrada
Conexin de salida
Ruido dB(A)
500
295
IPX500A
200/208 V, 50/60 Hz
400 V, 50/60 Hz
<1 x 10-6
<7,5 x 10-7
01
ISO160
NW25
56
NMERO DE PEDIDO
A40914977
A40914973
BOMBAS DE ALTO VACO EPX

La nueva bomba seca compacta EPX180 de alto vaco ofrece un mejor
desempeo con un menor costo de mantenimiento. Mediante el uso de un
mecanismo protegido por patente, la EPX180 puede bombear desde presin
atmosfrica hasta presiones finales de <7 x 10-5 Torr.
Basada en la exitosa y premiada familia de bombas IPX, la bomba modular
EPX180 ofrece un desempeo sobresaliente en una unidad 20% ms liviana,
30% ms pequea y que requiere 40% menos energa que la IPX.
RESUMEN DE APLICACIONES DE LA EPX

Las bombas serie EPX cubren una amplia variedad de aplicaciones desde el
manejo de plaquetas hasta los procesos de trabajos medianos.
La serie EPX "L" fue diseada para usarse en aplicaciones limpias en las que se
usa un entorno no corrosivo y sin formacin de partculas.
La serie EPX "N" incluye un mdulo de gas con purga de nitrgeno, lo que
extiende la gama de aplicaciones a procesos medianos, en los que se esperan
bajos niveles de vapores corrosivos y partculas.
A continuacin se indica un resumen de la gama de procesos recomendados
para la EPX. La bomba IPX tambin se indica como referencia.
4
PGINA
67
Tamao compacto una de las bombas ms pequeas incorporadas a
herramientas, la EPX ofrece un sobresaliente ahorro de espacio. La
bomba EPX puede montarse directamente en la herramienta, ahorrando
espacio y costos de instalacin o, de lo contrario, puede instalarse en
forma remota si se desea.
Bajo costo de mantenimiento la EPX requiere slo 1,4 kW de potencia
e incorpora la modalidad de marcha en vaco para optimizar la eficiencia
de potencia.
Mecanismo de bombeo nico en su tipo protegido por patente la EPX
puede evacuar desde la presin atmosfrica hasta un nivel de presin base
turbomolecular y, adems, puede funcionar en forma continua a todas las
presiones de entrada.
Sistema ultra limpio los cojinetes convencionales de alto vaco en grasa,
usan lubricacin con grasa que puede ser una fuente de contaminacin en
las herramientas de procesos. Las bombas EPX no tienen cojinetes de alto
vaco en grasa y no presentan ninguna otra fuente de contaminacin.
Extremadamente confiable basada en la tecnologa IPX comprobada en
el campo, la bomba EPX tiene un MTBFp = 13 aos (SEMI E10), con
perodos de servicio de mantenimiento de aproximadamente 5 aos para
extender al mximo la vida til de la bomba.
Compatibilidad con la red disponible con Control de Usuario Final, la
serie de bombas EPX puede conectarse a una red Fab-Wide para el
monitoreo y control de diagnstico.

Si el proceso de su inters no se indica en el resumen antedicho, comunquese

con la oficina de ventas de BOC Edwards ms cercana para obtener
informacin adicional.
BOMBA SECA DE ALTO VACO EPX180L
La bomba EPX180L fue diseada para aplicaciones de transferencia y bloqueo

de carga limpio.
La bomba EPX500L fue diseada para aplicaciones de transferencia y bloqueo

de carga limpio.
Mecanismo protegido por patente

Presin final baja
Alta confiabilidad
Opcin de versiones "L" y "N"
EPX180L para trabajos limpios
EPX180N para trabajos livianos
Baja potencia, 1,4 kW solamente
Ahorros de espacio a nivel sub fabricacin
Modalidad de marcha en vaco
Unidad compacta
Instalacin remota o en el lugar de uso
De poco peso
Tamao pequeo
Mecanismo protegido por patente

Presin final baja
Alta confiabilidad
Opcin de versiones "L" y "N"
EPX500L para trabajos limpios
EPX500N para trabajos livianos
Baja potencia, 1,4 kW solamente
Ahorros de espacio a nivel sub fabricacin
Modalidad de marcha en vaco
Unidad compacta
Instalacin remota o en el lugar de uso
De poco peso
Tamao pequeo
Bombas de alto vaco EPX instaladas en herramientas
4
PGINA
68
BOMBA SECA DE ALTO VACO EPX500L
DATOS TCNICOS
DATOS TCNICOS
EPX500L
EPX180L
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
l min-1
Vaco final
mbar
Torr
Pa
Flujo de nitrgeno
Conexin de entrada
Conexin de salida
Ruido dB(A)
l h-1
Potencia final (kW)
Peso (kg)
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
l min-1
170
105
2835
Vaco final
mbar
Torr
Pa
Flujo de nitrgeno
<1 x 10-4
<7,5 x 10-5
<1 x 10-2
01
ISO63
NW25
<59
Conexin de entrada
Conexin de salida
Ruido dB(A)
300 (5 l min-1)
1,4
3,0
43,5

l h-1
Potencia final (kW)
Peso (kg)
500
295
8338
<1 x 10-6
<7,5 x 10-7
<1 x 10-4
01
ISO160
NW25
<59
300 (5 l min-1)
1,4
3,0
45,2
1 Para la EPX180L Use EPX500N para aplicaciones de trabajos livianos a medianos. Consulte la pgina
1 Para la EPX500L Use la serie EPX N para aplicaciones de trabajos livianos a medianos. Consulte la
4-67 para leer el resumen.
pgina 4-67 para leer el resumen.
NMERO DE PEDIDO
Para obtener informacin acerca de la forma de efectuar el pedido de la bomba seca de

alto vaco EPX180L, consulte la pgina 4-69.
NMERO DE PEDIDO
Para obtener informacin acerca de la forma de efectuar el pedido de la bomba seca de

alto vaco EPX500L, consulte la pgina 4-69.
MATRIZ DE SOLICITUD DE PEDIDOS DE LAS

BOMBAS SECAS DE ALTO VACO EPX
EPX es un producto configurado. Use la siguiente matriz para elegir el nmero
de pieza correcto para la configuracin que usted requiere.
A419
Si no est seguro acerca de la configuracin EPX correcta que requiere para su aplicacin,
comunquese con la oficina de ventas de BOC Edwards ms cercana para solicitar ayuda.
4
PGINA
69

Velocidad
1 4180
2 5500
Aplicacin
1 L
3 2N
4 3LE
TIM
0 Ninguno
1 C3
2 SPI
3 E73
4 TEL
5 LAM
6 Hitachi
7 MCM
Agua
0 Ninguno
1 3/8" Quick
2 1/4" Quick
3 9/16" JIC
Tensin
2 208 V
4 400 V
BOMBAS SECAS iQDP40 E iQDP80
DATOS TCNICOS
195
(7.68)
55
32
80
47
96
56,4
52
30,6
62,4
36,7
91,5
53,9
109,8
64,7
1353
125
0,55
0,6
1,3
2,6
2,2
186
3,1
4,0
216
Con purga de sello del eje solamente
2
3
4
Para temperaturas inferiores del gas de escape, se requiere un mayor flujo

Temperatura del gas de escape 125 C
Temperatura del gas de escape 145 C
10
iQDP40
iQDP80
581
723
337
695
830
371
283
199
188
554
528

Las bombas que se indican a continuacin son configuraciones estndar, recomendadas para
los tipos de aplicaciones indicados. Para solicitar otras configuraciones de bombas, use la
matriz de solicitud de pedidos iQ: consulte la pgina 4-79.
iQ 80H para procesos de semiconductores

208 V 60 Hz
415 V 50 Hz
iQ 40C para procesos limpios
208 V 60 Hz
415 V 50 Hz
208 V 60 Hz
415 V 50 Hz
m 3 h -1
2
1
iQDP, 50Hz
10
10
10
-2
10
10
-1
10
10
10
10
10
10
10
10
mbar
Pa
Velocidad de la bomba con purga de sello del eje solamente.

1 50 Hz iQDP80
2 50 Hz iQDP40
10
iQDP80
iQDP40
10
iQDP, 60Hz
10
10
-2
10
-1
10
10
10
NMERO DE PEDIDO
iQ2111004
iQ2111007
iQ1311004
iQ1311007
iQ2311004
iQ2311007
iQ 80H es recomendado para procesos de semiconductores tales como CVD y grabado. La configuracin
incluye: iQDP80, trifsica, mdulo de gas para trabajos exigentes y mdulo de visualizacin de la bomba.
iQ 40C e iQ80C son recomendados para procesos limpios como cmaras de transferencia y bloqueo de carga
(load lock) y PVD. La configuracin incluye: bomba iQDP40 iQDP80, trifsica, mdulo de gas para trabajos
limpios y mdulo de visualizacin de la bomba.
10
527 (20.75)
iQDP80
50 Hz
60 Hz
44
26
1,1
309 (12.17)
1 x 10 mbar
7 slm
15 min.
NW40
0,4 l
5 x 10-2 3 x 10-2 3 x 10-2 1 x 10-2

3,8 x 10-2 2,3 x 10-2 2,3 x 10-2 7,5 x 10-3
ISO40
ISO63
atornillada
atornillada
Flujo de agua de enfriamiento

tpico2
l h-1
gal EE.UU. min-1
vaco (kW)
Peso (kg)
ft 3 min -1
Vaco final1
mbar
Torr
Conexin de entrada
iQDP40
50 Hz
60 Hz
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
Desplazamiento
m3h-1
pies3min-1
9
(0.35)
597 (23.50)
Presin mxima continua de entrada

Tiempo de precalentamiento
Conexin de salida
Capacidad de aceite
PGINA
70
B
D
390 (15.35)
Accesorios y sistemas de bombas secas iQ
10
Torr
SISTEMAS DE BOMBAS SECAS iQDP40/

iQMB250F E iQDP80/iQMB250F
10
iQDP80/iQMB250
DATOS TCNICOS
Conexin de entrada
Conexin de salida
Capacidad de aceite
Bomba iQDP
iQMB250F, cubierta del acoplamiento
iQMB250F, depsito del sello del eje
ft 3 min -1
10
20 mbar
7 slm
15 min.
ISO63 atornillada
NW40
iQDP40/iQMB250
10
iQMB250, 60Hz
0,4 l
1,5 l
0,13 l
10
10
-3
10
-2
10
-1
10
10
10
10
Torr
Montaje directo
Vaco final1
mbar
Torr
235
139
290
171
260
153
305
180
310
180
375
221
310
183
375
221
2,5 x 10-3
1,9 x 10-3
2 x 10-3
1,5 x 10-3
2 x 10-3
1,5 x 10-3
7 x 10-4
5,3 x 10-3
225
0,99
1,1
0,7
2,6
0,7
195 (7.68)
3,1
1,0
2,2
2,2
4,0
2,2
256
313
286
346
137
(5.39)
PGINA
71
216
0,96
1,3
1,0
C
B
iQDP40/iQMB250F
iQDP80/iQMB250F
1
798
116
258
679
821,5
860,51
842
36
46
Mdulo del sistema elctrico montado en forma horizontal. Con el mdulo del sistema elctrico
montado en forma vertical, la altura es de 784 mm.
Montaje en bastidor
Temperatura del gas de escape 145 C. Para temperaturas inferiores del gas de escape, se requiere
268.5
(10.57)
251.5
(9.90)
260
(10.24)
260
(10.24)
un mayor flujo.
314 (12.36)
m 3 h -1
10
967 (38.07)
990 (38.98)
10
10
iQMB250, 50Hz
10
10
10
-3
-1
10
10
-2
10
10
-1
10
10
10
10
10
10
10
10
mbar
iQDP40/iQMB250F
iQDP80/iQMB250F
Pa

1 50 Hz iQDP80/iQMB250
164,5
140,5
760
890
108,5
98,5
83,5
71,5
679
821
179
204


tpico2
l h-1
gal EE.UU. min-1
vaco (kW)
Bomba iQDP
iQMB250F
(kW)
Bomba iQDP
iQMB250F
Peso (kg)
Montaje directo
Montaje en bastidor
8.5
(0.34)
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
Desplazamiento
m3h-1
pies3min-1
iQDP80/iQMB250F
50 Hz
60 Hz
iQDP40/iQMB250F
50 Hz
60 Hz

Los sistemas que se indican a continuacin son configuraciones estndar, recomendadas
para los tipos de aplicaciones indicados. Para solicitar otros sistemas, use la matriz de
solicitud de pedidos iQ: consulte la pgina 4-79.

208 V 60 Hz
415 V 50 Hz
208 V 60 Hz
415 V 50 Hz
NMERO DE PEDIDO
iQ5151004
iQ5151007
iQ5351004
iQ5351007
iQ 250H es recomendado para procesos de semiconductores tales como CVD y grabado. El sistema incluye:
bombas iQDP80 e iQMB250F, trifsicas, totalmente cerradas, mdulo de gas para trabajos exigentes y mdulo
de visualizacin de la bomba.
iQ 250C es recomendado para procesos limpios como cmaras de transferencia y bloqueo de carga (load
lock) y PVD. El sistema incluye: bombas iQDP80 e iQMB250F, trifsicas, totalmente cerradas, mdulo de gas
para trabajos limpios y mdulo de visualizacin de la bomba.
4
PGINA
72
SISTEMAS DE BOMBAS SECAS

iQDP40/iQMB500F E iQDP80/iQMB500F
10
iQDP80/iQMB500F
DATOS TCNICOS
10
iQMB500F, 60Hz
10
10
iQDP80/iQMB500F
50 Hz
60 Hz
50 Hz
60 Hz
350
207
425
251
390
231
460
272
505
299
605
358
505
299
605
358
-3
10
-2
225
0,99
1,1
0,7
1,3
1,0
2,6
0,7
3,1
1,0
2,2
2,2
4,0
2,2
10
10
10
Tor
Montaje directo
8.5
(0.34)
179
(7.05)
4
PGINA
73
269
329
299
359
iQDP40/iQMB500F
iQDP80/iQMB500F
1
25
-1171
844
819,5
20
9
531,5
723
Para esta combinacin de bomba, el centro de la vlvula de retencin se extiende 117 mm ms all del
extremo del motor de la bomba iQMB.
Montaje en bastidor

Temperatura del gas de escape 145 C. Para temperaturas inferiores del gas de escape, se requiere un
mayor flujo.
268.5
(10.57)
251.5
(9.90)
260
(10.24)
260
(10.24)
948 (37.32)
990 (38.98)
314 (12.36)
m 3 h -1
iQMB500F, 50Hz
10
10
195 (7.68)
10
-1
216
0,96
10
10
2,5 x 10-3 2 x 10-3 2 x 10-3 7 x 10-4

1,9 x 10-3 1,5 x 10-3 1,5 x 10-3 5,3 x 10-3

tpico2
l h-1
gal EE.UU. min-1
(kW)
Bomba iQDP
iQMB500F
Bomba iQDP
iQMB500F
Peso (kg)
Montaje directo
Montaje en bastidor
10
10
10
-3
-1
10
10
-2
10
10
-1
10
10
10
10
10
10
10
10
mbar
Pa
iQDP40/iQMB500F
iQDP80/iQMB500F
1
890 (35.04)
262,5
238,5
108,5
98,5
-46,5*
71,5
581
723
179
204
Para esta combinacin de bomba, el centro de la vlvula de retencin se extiende 46,5 mm ms all
del extremo del motor de la bomba iQMB.

1 50 Hz iQDP80/iQMB500F

Vaco final1
mbar
Torr
iQDP40/iQMB500F
10
0,4 l
1,5 l
0,13 l
iQDP40/iQMB500F
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
Desplazamiento
m3h-1
pies3min-1
min
20 mbar
7 slm
15 min.
ISO100 atornillada
NW40
ft

Conexin de entrada
Conexin de salida
Capacidad de aceite
Bomba iQDP


208 V 60 Hz
415 V 50 Hz
208 V 60 Hz
415 V 50 Hz
NMERO DE PEDIDO
iQ6151004
iQ6151007
iQ6351004
iQ6351007
iQ 500H es recomendado para procesos de semiconductores tales como CVD y grabado. El sistema incluye:
bombas iQDP80 e iQMB500F, trifsicas, totalmente cerradas, mdulo de gas para trabajos exigentes y mdulo
de visualizacin de la bomba.
iQ 500C es recomendado para procesos limpios como cmaras de transferencia y bloqueo de carga (load
lock) y PVD. El sistema incluye: bombas iQDP80 e iQMB500F, trifsicas, totalmente cerradas, mdulo de gas
para trabajos limpios y mdulo de visualizacin de la bomba.
4
PGINA
74
SISTEMA DE BOMBAS SECAS

iQDP80/iQMB1200F
10
iQDP80/iQMB1200F
DATOS TCNICOS
1 mbar
7 slm
15 min.
ISO160 atornillada
NW40
10
-2
940
554
1195
704
1435
845
2 x 10-3
1,5 x 10-3
7 x 10-4
5,3 x 10-3
10
10
811 (31.93)
10
Torr
318.5
(12.54)
1018 (40.08)
260
260
79.5
(10.24)
(10.24)
(3.13)
2,6
1,1
-69.5*
1050 (41.34)
(2.74)
El centro de la vlvula de retencin se extiende 69,5 mm dentro del extremo del bastidor de la bomba
Roots iQMB.

3,1
1,7

208 V 60 Hz
415 V 50 Hz
NMERO DE PEDIDO
iQ7151004
iQ7151007
iQ 1200H es recomendado para procesos de semiconductores tales como CVD y grabado. El sistema incluye
las bombas iQDP80 e iQMB1200F, trifsicas, totalmente cerradas, mdulo de gas para trabajos exigentes y
mdulo de visualizacin de la bomba.
0
-3
-1
10
10
-2
10
10
-1
10
10
10
10
10
10
10
10
mbar
Pa

1 50 Hz IQDP80/IQMB1200F
4
PGINA
75
10
1050 (41.34)
10
10
314 (12.36)
815
480
iQMB1200F, 50Hz
10
-1
251.5
(9.90)
m 3 h -1
10
10
218
268.5
(10.57)
10
(8.58)
-3

10
10
60 Hz

Temperatura del gas de escape 145 C. Para temperaturas inferiores del gas de escape, se requiere
un mayor flujo.
10
10
4,0 kW
4,0 kW
450 kg
Vaco final
mbar
Torr
(kW)
Bomba iQDP
iQMB1200F
iQMB1200F, 60Hz
0,4 l
2,4 l
0,13 l
1,25 l
204 l h-1, 0,92 gal EE.UU. min-1
50 Hz
Velocidad pico
m3h-1
pies3min-1
Desplazamiento
m3h-1
pies3min-1
ft 3 min -1
10

Conexin de entrada
Conexin de salida
Capacidad de aceite
Bomba iQDP
iQMB1200F, caja de engranajes
Flujo de agua de enfriamiento tpico2
Bomba iQDP
iQMB1200F
Peso
1
2
BOMBA MECNICA ROOTS QMB250F

10
1
2
m 3 h -1
10
10
iQMB250, 50Hz
10
10
10
-3
10
-1
10
-2
10
10
-1
10
10
50 Hz iQDP80/iQMB250
10
10
10
10
10
10
mbar
Pa
iQDP40/iQMB250
700 (27.56)
Salida
Aceite recomendado
Capacidad de aceite
Cubierta del acoplamiento
Depsito del sello del eje
Peso
1
310 m3h-1, 185 pies3min-1

375 m3h-1, 220 pies3min-1
235 m3h-1, 138 pies3min-1
260 m3h-1, 153 pies3min-1
138 (5.43)
7 x 10-4 mbar
0 20 mbar
1000 mbar
0 180 mbar
iQDP40, iQDP80
ISO63
ISO40
200 208 V, 380 415 V
200 230 V, 460 V
2,2 kW
5 40 C
90% HR
75 l h-1
Hansen de conexin rpida
/8 pulg. BSP macho
/8 pulg. BSP macho
Fomblin YVAC !^/6
Krytox 1514
3 x M10 x 15 (0.59)
ISO40
187.5 (7.38)
98 (3.86)
La bomba se muestra con las bridas de reserva de entrada y salida instaladas. Las dimensiones se
indican hasta la parte superior de la brida de la bomba.

QMB250F
50 Hz
60 Hz
ACCESORIOS
Conjunto de accesorios del motor iQMB250 y 500

REPUESTOS
Conjunto del mdulo

Conjunto de cuas
bombeo efectiva con un suministro elctrico de 60 Hz ser por lo menos 20% superior que el
funcionamiento con un suministro de 50 Hz.
Dependiendo de la presin.
Determinado por el accionamiento hidrocintico.
Los requerimientos exactos de agua de enfriamiento dependen de la temperatura de gas requerida,
A30185905
A30186905
NMERO DE PEDIDO
A53225033
Use este conjunto para convertir una QMB250 en una iQMB250.
Velocidad de bombeo efectiva para aire a 0,3 mbar con un suministro de 50 Hz. La velocidad de
NMERO DE PEDIDO
Suministrada con un Co-Seal y un anillo "O".
Conjunto de limpieza y revisin general

1,5 l
0,13 l
65 kg
270 (10.63)
ISO63
0 2900 rpm
0 3500 rpm
231 (9.10)
Desplazamiento (volumtrico)
Suministro elctrico de 50 Hz
Velocidad de bombeo efectiva a 50 Hz1
iQDP40
iQDP80
Velocidad de rotacin2
Presin final con bomba de refuerzo iQDP
y purga de sellos del eje solamente
Rango de presin continua de entrada (con
bomba de refuerzo adecuada)
Presin mxima de salida
Diferencial de presin en la bomba3
Bombas de refuerzo recomendadas
Conexin de entrada
Conexin de salida
Tensin de suministro elctrico, trifsico
50Hz
60 Hz
Potencia del motor
Rango de temperatura ambiente
Humedad de operacin mxima
Flujo mnimo de agua de enfriamiento (con
presin de entrada de 1 mbar y 30 C)4
Conexiones de agua de enfriamiento
Entrada
140 (5.51)
DATOS TCNICOS
292 (11.50)
PGINA
76
Bombas mecnicas Roots QMB
125 (4.92)
la configuracin TCV y la presin de entrada.
Krytox es una marca registrada de Dupont Dow Elastomers
NMERO DE PEDIDO
A30151815
A30151820
A30151825
788 (31.02)
505 m3h-1, 300 pies3min-1

605 m3h-1, 355 pies3min-1
350 m3h-1, 206 pies3min-1
390 m3h-1, 230 pies3min-1
179 (7.05)
0 2900 rpm
0 3500 rpm
M10 x 15 (0.59)
Hansen de conexin
rpida /8 pulg. BSP macho
Hansen de conexin
rpida /8 pulg. BSP macho
Fomblin YVAC 16/6 o
Krytox 1514

QMB500F
50 Hz
60 Hz
ACCESORIOS
Conjunto de accesorios del motor iQMB250 y 500

REPUESTOS
bombeo efectiva con un suministro de 60 Hz ser por lo menos un 20% superior que el

1
2
m 3 h -1
iQMB500F, 50Hz
10
10
10
-3
10
-1
10
-2
10
10
-1
50 Hz iQDP80/iQMB500F
10
10
10
10
10
10
10
10
A30285905
A30286905
NMERO DE PEDIDO
A53225033
NMERO DE PEDIDO
Se suministra con dos anillos "O".

Conjunto del mdulo
Conjunto de cuas
1,5 l
0,13 l
78 kg
4
PGINA
77
mbar
Pa
50 Hz iQDP40/iQMB500
NMERO DE PEDIDO
A30151815
A30151820
A30151825

75 l h-1
Capacidad de aceite
Peso
10
196 (7.72)
200 208 V, 380 415 V

200 230 V, 460 V
2,2 kW
5 40 C
90% HR
Aceite recomendado
10
98
(3.86)
Salida
10
4 x M8 x 16
ISO63
222 (8.74)
251 (9.88)
106
(4.17)
0 20 mbar
1000 mbar
0 110 mbar
QDP40 / iQDP40
QDP80 / iQDP80
ISO100
ISO63
212 (8.35)
ISO100
7 x 10-4 mbar
Conexin de entrada
Conexin de salida
50 Hz
60 Hz
Potencia del motor
Entrada
292 (11.50)
Velocidad de bombeo efectiva a 50 Hz1
QDP40
QDP80
115
(4.53)
DATOS TCNICOS
958 (37.72)
PGINA
78
Salida
Aceite recomendado
260 (10.24)
M12 x 15
75 l h-1
QMB1200F
50 Hz
60 Hz

/8 pulg. BSP macho
/8 pulg. BSP hembra
Fomblin YVAC 16/6 o
Krytox 1514
ACCESORIOS
Conjunto de accesorios del motor iQMB1200
iQMB1200F, 50Hz
0
10
10
-1
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
A30585905
A30586905
NMERO DE PEDIDO
A53212033
-1
NMERO DE PEDIDO
Suministrada con un Co-Seal y un anillo "O".
-2
368 (14.49)

Conjunto del mdulo
Conjunto de cuas
1,25 l
2,4 l
0,13 l
157 kg
-3
ISO100
10
220 (8.66)
200 208 V / 380 415 V

200 230 V/460 V
4 kW
5 40 C
90% HR
10
110
(4.33)
230 (9.06)
bombeo efectiva con un suministro de 60 Hz ser por lo menos un 20% superior que el
10
4 x 18
(0.71)
316 (12.44)
0 1 mbar
1000 mbar
0 90 mbar
QDP80 / iQDP80
ISO160
ISO100
48
(1.89)
180 (7.09)
7 x 10-4 mbar
10
277 (10.91)
ISO160
0 2900 rpm
0 3500 rpm
REPUESTOS
Capacidad de aceite
Capacidad de engranajes
Peso
1
1195 m3h-1, 715 pies3min-1

1435 m3h-1, 845 pies3min-1
815 m3h-1, 980 pies3min-1
m 3 h -1
Velocidad de bombeo efectiva (iQDP80) a 50
Hz1
Conexin de entrada
Conexin de salida
50Hz
60 Hz
Potencia del motor
Entrada
380 (14.96)
DATOS TCNICOS
mbar
Pa
NMERO DE PEDIDO
A30151815
A30151820
A30151825
MATRIZ DE SOLICITUD DE PEDIDOS DEL

SISTEMA DE BOMBEO iQ
Consulte la siguiente tabla para obtener informacin acerca del mdulo de gas
que debe seleccionar para su aplicacin. Para obtener ms informacin,
comunquese con BOC Edwards o con su proveedor local.
MDULO DE GAS iQ
APLICACIN
TRABAJO
LIVIANO
Bloqueo de carga (loadlock)
Generadores de cenizas,
separadores
TRABAJO
EXIGENTE
Pulverizadores catdicos,
evaporadores
Implantadores de iones1
Grabado de plasma
Metal
Poli/ xido
Otros
TRABAJO
MEDIANO
PECVD
MOCVD
Para solicitar el sistema de bombeo seco iQ, elija una de las opciones
que se indican a continuacin.
Bombas
1 iQDP40
2 iQDP80
3 iQDP40 e iQMB250F (caja elctrica de montaje vertical)
4 iQDP40 e iQMB500F
5 iQDP80 e iQMB250F
6 iQDP80 e iQMB500F
7 iQDP80 e iQMB1200F
8 iQDP40/iQMB250F (caja elctrica de montaje horizontal)
Mdulo de gas
1 Proceso exigente
2 Proceso mediano
3 Proceso limpio
Alojamientos y montaje de la Roots iQMB
0 iQDP sin alojamientos
1 iQDP con alojamiento
2 iQMB directamente montada en la iQDP, sin
alojamientos (no disponible para la
iQMB1200)
3 iQMB directamente montada en la iQDP,
alojamiento iQDP (no disponible para la
iQMB1200)
4 iQMB montada en bastidor en la iQDP, sin
alojamientos
5 iQMB montada en bastidor en la iQDP, iQDP
e iQMB cerradas
Control
0 Sin mdulo de visualizacin de la bomba
1 Mdulo de visualizacin de la bomba
1 Para la lnea de haces y objetivo solamente.

2 LTO, HTO, TEOS, Nitrox.
iQ
Sensores opcionales
Ninguno
0
Monitor(es) de nivel de aceite 1
Interruptor del flujo de agua
2
Sensor de la temperatura
del gas de escape
3
1+2
4
1+3
5
2+3
6
1+2+3
7
Suministro elctrico
200V 50Hz trifsico
200V 60Hz trifsico
208V 50Hz trifsico
208V 60Hz trifsico
230V 60Hz trifsico
380V 50Hz trifsico
415V 60Hz trifsico
460V 60Hz trifsico
1
2
3
4
5
6
7
8
Ejemplo: La iQ5251306 es una iQDP80 cerrada con una iQMB2550F montada en bastidor (380V, 50Hz,
trifsica), un mdulo de gas de proceso mediano, un mdulo de visualizacin de la bomba y un sensor de
la temperatura del gas de escape.
4
PGINA
79

LPCVD
xido2
Nitruro
PSG, BPSG
Tungsteno, siliciuros
Otros
REDES E INTERFACES
Redes e interfaces
BOC Edwards ofrece una variedad de opciones de redes e interfaces para sus
productos de gestin de gases de escape y bombas secas para la fabricacin de
semiconductores.
La comunicacin con los sistemas de bombas individuales se realiza a travs de
interfaces seriales y paralelas o mediante una interfaz de PC y nuestro software
especial.
Los sistemas con ms de un componente de vaco pueden conectarse a una
red y monitorearse con el software FabWorks de BOC Edwards.
Las redes e interfaces estn diseadas para adecuarse a cada aplicacin y se
fabrican a solicitud. Comunquese con BOC Edwards o con su proveedor local
para discutir sus requerimientos especficos.
INTERFACES Y COMUNICACIONES
INTERCONEXIN DE REDUCCIN Y VACO

A TRAVS DE FABWORKS32
El sistema FabWorks32 permite visualizar mltiples sistemas de reduccin y
vaco en forma remota a travs de una pantalla de PC.
Monitoreo en tiempo real de los sistemas de reduccin y de bombas,
aumentando as la eficiencia de las actividades de servicio y mantenimiento
Notificacin de alarmas y monitoreo del estado de alarmas, para una
rpida respuesta
Seguimiento del nmero de serie
Registro completo de datos y generacin de tendencias histricas, para la
optimizacin del equipo
Notificacin de alarmas remotas a travs de un sistema de radiollamadas,
telfono mvil o correo electrnico, para la optimizacin de los tiempos
de respuesta a los emisores
Visualizacin flexible a travs de un servidor, red de rea local (LAN) o
Internet
Diseo de la red
La red de BOC Edwards utiliza el protocolo confiable LON Works y realiza la
comunicacin a travs de un cable especial de par trenzado de pantalla aislada,
que brinda una excelente inmunidad contra el ruido a lo largo de grandes
distancias y a velocidades de comunicacin elevadas.
La base de datos central utiliza actualmente una base de datos de servidor SQL
para un mejor manejo y manipulacin de datos.
La red est compuesta de segmentos que estn conectados "en forma de
margarita". Los segmentos de red de hasta 1000 m de longitud pueden
enlazarse a travs de enrutadores simples para formar una nica gran red de
equipos. Pueden monitorearse hasta 1000 dispositivos por red, y a su vez,
varias redes pueden conectarse a un servidor, generando oportunidades para
redes de 3000+ dispositivos.
4
PGINA
80
Visualizacin de la red
El sistema FabWorks32 es un verdadero servidor de web. El servidor de red
se conecta con la red LON y con la LAN segn se muestra en la figura.
Interfaces OEM
Mediante el trabajo conjunto con los OEM, BOC Edwards ha desarrollado el
Mdulo de Interfaz de Herramientas, para conectar los sistemas de bombas
secas para la fabricacin de semiconductores con todas las herramientas para
semiconductores nuevas y existentes.
Las ventajas del Mdulo de Interfaz de Herramientas (TIM) incluyen:
Verificaciones de la configuracin especfica de la aplicacin. Cuando se
conecta o se cambia un sistema de bombas, se realiza una verificacin de
la configuracin para asegurarse de que la(s) bomba(s), el mdulo de gas
y los sensores estn conectados segn lo especificado para el proceso.
Registro de los cambios y servicio de mantenimiento de la bomba. Esta
funcin puede usarse para analizar la forma en la que las bombas pueden
funcionar en procesos especficos y, adems, permite realizar el rastreo
electrnico de las bombas a travs del proceso de fabricacin de
semiconductores.
Descarga automtica de ajustes. Los ajustes del sensor para cada
herramienta del proceso se descargan automticamente a la bomba
cuando se enciende. Esto permite realizar un cambio sencillo de la bomba,
sin necesidad de reconfigurarla o ponerla a punto en forma manual.
Interfaz con otros componentes de vaco. Puede agregarse una tarjeta de
circuitos auxiliar para operar otros equipos del sistema de vaco, tal como
una vlvula de compuerta en la parte frontal.
Cualquier terminal cliente conectada a la LAN que utilice un explorador

Microsoft Internet Explorer 5.5 o superior, puede visualizar la red.
Adems, FabWorks32 puede visualizarse en forma segura a travs de Internet,
con la provisin del monitoreo remoto E-Diagnostic verdadero.
Interfaces de comunicaciones
Mdulos de funcionalidad adicional
Pueden agregarse mltiples interfaces de comunicaciones a los sistemas de

bombas secas de BOC Edwards para la fabricacin de semiconductores,
permitindoles comunicarse a travs de sistemas de comunicaciones RS232,
RS485 y fibra ptica. Adems, tambin se encuentran disponibles diversas
interfaces de bus de sensores.
Adems del software estndar, se encuentran disponibles mdulos "FabSuite"

adicionales.
1
2
3
4
5
Explorador
Lan/Ethernet dedicada
Servidor
LON
Mdulo de interfaz

Comunquese con BOC Edwards o con su proveedor local para obtener informacin acerca
de la forma de solicitar redes y componentes.
FABWORKS
FabWorks tambin soporta la norma OPC industrial estndar, que permite
compartir la base de datos FabWorks con otros sistemas de monitoreo.
Sistemas de monitoreo
4
PGINA
81
Comunquese con BOC Edwards o con su proveedor local para obtener informacin acerca
de la forma de solicitar redes y componentes.

GESTIN DE GASES DE ESCAPE PARA LOS

PROCESOS DE FABRICACIN DE
SEMICONDUCTORES
Familia completa de productos
BOC Edwards es la nica empresa en la industria que ofrece la gama ms
amplia de tecnologas de gestin de gases de escape, lo cual ha sido
comprobado a travs de una serie de productos y sistemas diseados para
satisfacer todos los requerimientos del cliente, desde la gestin de bajo costo
de las instalaciones hasta la proteccin total del medio ambiente. Estamos
comprometidos con el suministro de sistemas de gestin de gases de escape
que se adecuen a los requerimientos especficos de las aplicaciones de los
clientes. Realizamos todos los esfuerzos posibles para reducir al mnimo el
costo de mantenimiento mientras introducimos diseos innovadores para
lograr una mayor confiabilidad, intervalos de servicio de mantenimiento ms
prolongados, espacio reducido, as como los requerimientos de servicios y
menores emisiones de desperdicios.
Muchos de nuestros productos estn aprobados para los procesos OEM.
Seleccin de productos
4
PGINA
82
La tecnologa GRC se ha utilizado para reducir las corrientes de gases de escape

en una amplia gama de aplicaciones en la fabricacin de semiconductores. (La
fotografa es cortesa de TI, Dallas, EE.UU.)
Los clientes tienen la oportunidad de decidir qu equipo de reduccin de

punto de uso de BOC Edwards es ms adecuado para su aplicacin especfica
dependiendo de sus objetivos de gestin de los gases de escape. BOC Edwards
brindar su experiencia y conocimientos a fin de determinar cul es el
producto correcto de gestin de gases de escape para una aplicacin en
particular. Existen varios criterios para tomar esta decisin.
Fabricacin de avanzada
Nuestra principal instalacin de fabricacin est situada en Clevedon, Reino
Unido. El emplazamiento comprende una fbrica con lneas de produccin
flexibles, celdas de montaje, tcnicas de fabricacin "just-in-time" (justo a
tiempo) y uno de los centros de investigacin en gestin de gases de escapes
ms importantes del mundo. Otras plantas de fabricacin adicionales situadas
en Chunan (Corea) e Ina (Japn), complementan la capacidad de produccin
global. El fundamento de toda nuestra operacin es el compromiso con la
calidad y las normas de fabricacin a nivel mundial. Un sistema de gestin ISO
9001 e ISO 14001, apoyados por las metodologas de trabajo TQM y Kaizen
constituyen el ncleo de la operacin. ITS, el organismo de pruebas externo,
lleva a cabo la certificacin de los productos de acuerdo con las normas
internacionales pertinentes.
Procesamiento trmico
Una gestin efectiva de los gases de escape de los procesos CVD, debe
manejar los gases de deposicin y los polvos asociados con ellos. Los desechos
de fluoruros provenientes de los gases de limpieza tambin requieren un
tratamiento adecuado junto con los gases causantes del calentamiento global.
Los sistemas de reduccin deben cumplir con estos requerimientos en una
unidad completa.
La TPU (Unidad de procesamiento trmico) es el sistema de reduccin
estndar de la industria para CVD. Un modelo es adecuado para todas las
aplicaciones CVD y muchas aplicaciones de grabado. Cada entrada puede
configurarse para la reduccin de alto nivel de todos los gases PFC causantes
del calentamiento global, F2 o CIF3. La TPU puede manejar flujos de entrada
totales de hasta 280 slpm.
En los casos en los que no se usan PFC, el TCS (Sistema de acondicionamiento
trmico) brinda una forma efectiva en cuanto a costos de manejar los
desechos de fluoruros y los gases de deposicin peligrosos.
Helios es una solucin avanzada para la reduccin de altos flujos de hidrgeno,
mediante el uso de la combustin por alimentacin interna comn a las series
de productos TPU y TCS. Fue diseado para manejar gases txicos y gases
portadores provenientes de los procesos de epitaxia de baja presin y
MOCVD.
El sistema Kronis es la ltima adicin a la serie de combustin por alimentacin
interna. El sistema Kronis ofrece un tratamiento efectivo para los gases de
escape del proceso CVD de k bajo.
El sistema HOx (Sistema de oxidacin en caliente) ofrece un avance
significativo en el desempeo de la tecnologa de oxidacin sin
combustible. Con una innovadora unidad de oxidacin con calentamiento
elctrico y el comprobado depurador por va hmeda de tres etapas de la lnea
de productos de combustin, combina un desempeo ptimo para la
reduccin de los procesos CVD en instalaciones que no tienen la posibilidad
de utilizar gas de combustible.
BOC Edwards ofrece una variedad de sistemas de reduccin en seco en el

lugar de instalacin, de bajo costo, para el procesamiento de semiconductores.
Cada sistema utiliza la tecnologa de reactor de lecho caliente, nica en su tipo,
desarrollada para la serie GRC (columna del reactor de gas). El Inline 250 es
el sistema de ms alto desempeo de las tecnologas de reduccin en seco
utilizadas para los gases de escape del grabado. Ofrece el tratamiento mediante
reaccin qumica y transformacin en sales inertes estables, as como el
tratamiento de la ms amplia gama de gases, desde los halgenos y cidos hasta
CIF3, NF3, SF6 y otros compuestos del grabado haloideo. El GRC D150 Dual
funciona con cartucho doble, reduciendo al mnimo el costo de
mantenimiento con un tiempo de servicio ininterrumpido. El GRC M150
Simple es un sistema compacto de tratamiento de gas seco utilizado para la
eliminacin de emisiones peligrosas en la fuente originadas por los procesos
de CVD y grabado, que las convierte en slidos inocuos dentro de un cartucho
descartable fcil de cambiar.

La nueva serie de depuradores por va hmeda de BOC Edwards ofrece la
gestin de gases de escape a un costo mnimo para la preservacin de los
activos de la empresa y el cumplimiento de las normas regulatorias.
Tempest es un depurador por va hmeda en el lugar de instalacin adecuado
para el tratamiento de los gases de escape de las herramientas del proceso de
fabricacin de semiconductores que contienen gases solubles en agua y
reactivos al agua, tales como HCl, Cl2 y NH3.
Acondicionamiento pirofrico
Para la eliminacin de silano y gases pirofricos por debajo del nivel de
explosin inferior (LEL), el PCS (Sistema de acondicionamiento pirofrico)
ofrece una solucin avanzada. Especficamente diseado para el manejo seguro
del silano, el PCS incorpora un sistema de manejo de partculas nico en su
tipo para mantener los conductos libres de polvos.
Sistemas integrados de gestin de gases de escape y vaco

Los equipos de vaco y los dispositivos de gestin de gases de escape
tradicionalmente se instalan uno junto a otro debajo de la herramienta del
proceso. La serie Zenith ahora ofrece una variedad de sistemas totalmente
integrados de gestin de gases de escape y bomba de vaco, diseados para el
manejo seguro de los gases de escape del proceso de una amplia gama de
aplicaciones. Una mayor seguridad, compatibilidad con las herramientas de
procesos, tamao mnimo y menores costos de mantenimiento, son las
ventajas clave derivadas de un enfoque inigualable que da como resultado un
mejor tiempo de funcionamiento, eficiencia del proceso y rentabilidad.
TMS - Sistema de gestin de temperatura
Recomendaciones sobre el proceso
BOC Edwards ofrece el TMS (Sistema de gestin de temperatura) para los

procesos que generan productos derivados condensables. El TMS asegura que
estos compuestos sean voltiles hasta que ingresen en el dispositivo de
reduccin. El TMS est diseado para calentar las lneas frontales y de gases de
escape de la bomba hasta la entrada del dispositivo de reduccin. Los
calentadores moldeados de gran superficie optimizan el contacto con las
tuberas y estn diseados para mantener la temperatura en ellas entre 90 y
150 C. El monitoreo mediante TMS est disponible como opcin para
verificar en forma local y remota si la temperatura de la lnea es adecuada. El
sistema TMS se ha utilizado con xito en conjunto con la familia completa de
equipos de gestin de gases de escape de BOC Edwards para aliviar los
problemas histricamente relacionados con la deposicin de slidos y la
corrosin.
Su eleccin del sistema de gestin de gases de escape depende de dos factores

clave: el proceso genrico usado y el nivel de gestin de gases de escape
requerido. Existen tambin otras variables que pueden afectar su eleccin,
como por ejemplo la poltica de la compaa, el costo de la operacin y la
legislacin local sobre emisiones.
Nuestra Gua de Aplicaciones est diseada para ayudarle a seleccionar el tipo
adecuado de productos de acuerdo con los procesos de fabricacin de
semiconductores especficos.
PROCESO
GENRICO
GASES
GENRICOS
CONFIGURACIONES
DEL SISTEMA
GESTIN ESH TOTAL

BOMBA
ELEGIDA
SOLUCIN DE
COMBUSTIBLE
SOLUCIN
SIN
COMBUSTIBLE
HS +
PROTECCIN
BIENES
DE CAPITAL
PROTECCIN
DE TUBERAS
POR TMS
GRABADO
Integrada
CHF3/NF3/CF4/
C2F6/C4F8/SF6/
C4F6/C5F8/CH3F
Conductivo poli
silicio
Cl2/HBr/ SF6/CF4/
CHF3
Autnoma
Conductivo metal
Cl2/BCl3/CF4/
CHF3
Autnoma
Autnoma
Grabados serie Zenith

Serie iH/iL o
EPX
Integrada
Serie TPU
i250 o Tempest
Incluida
i250 o Tempest
Recomendada
PGINA
83
i250 o Tempest
Esencial

Serie iH/iL o
EPX
Serie TPU
Serie iH
Serie TPU
Integrada
Incluida
PECVD
xido con base de
SiH4/NH3/N2O/
silano/nitruro/
PH3/SiF4
HDP
Paso limpio
Integrada
PFC, NF3
Autnoma
TEOS/TEB/TEP
Integrada
PFC, NF3
Autnoma
3MS/4MS/TMCTS
Integrada
NF3
Autnoma
SiH4/WF6/H2
Integrada
PFC, NF3, CIF3
Autnoma
Metalizacin
titanio
TiCl4/NH3
ClF3/CI2
Autnoma
Metalizacin k alto
Precursores k alto
EPI de baja presin
H2/DCS/PH3/SiH4/
AsH3/B2H6/GeH4
xido con base

TEOS/BPSG
Paso limpio
CVD de k bajo
Paso limpio
Metalizacin
tungsteno
Paso limpio
Serie iH
Serie TPU
Recomendada
para el nitruro
Serie HOx
Serie Zenith CVD

Serie iH
Serie TPU
Incluida
Serie HOx
Esencial
Serie Zenith CVD

Serie iH
Incluida
Serie k bajo
Incluida
Serie Zenith CVD

Serie iH
Serie TPU o
Helios
Serie iH
Serie TPU
Serie HOx
Serie TPU
Serie GRC
Integrada
Serie HOx
Esencial
Zenith CVD
Integrada
Autnoma
Incluida para
el nitruro
Serie Zenith CVD
Incluida
Tempest
Esencial
Recomendada
Zenith EPI
Serie
iH o iQ
Helios
Recomendada
LPCVD
Polislice
Paso limpio
SiH4/PH3/AsH3
Ninguno
F2/HF, CIF3
Nitruro LPCVD
Paso limpio
HCD/DCS/NH3
Ninguno
F2/HF
IMPLANTE
Integrada
Autnoma
Zenith CVD
Serie iH
Serie TPU
Serie HOx
Serie TPU
Serie HOx
Integrada
PCS
Zenith CVD
Serie TPU
Tempest
Serie TPU
Serie HOx
Autnoma
Serie iH
Autnoma
Serie iQ
M150i
Incluida
WCT(+M150)
Esencial
Esencial
MOCVD
GaAS, fosfuro
H2, SiH4, PH3,

AsH3,
*Metalorgnicos
Autnoma
iK500 / GV40
EH2600
Helios
GaN
H2, NH3,
*Metalorgnicos
Autnoma
iK500 /
GV400
EH2600
Helios
Esencial
GaNcat
Esencial

Dielctrico
UNIDADES DE PROCESAMIENTO TRMICO
4
PGINA
84
Gestin de gases
Procesamiento
trmico
de escape
Gestin de gases de escape en procesos CVD

Los gases de hidruros son fcilmente eliminados por la combustn, pero el
grabado perfluorinado y los gases limpios (como C2F6, NF3, SF6) presentan un
problema ms importante para la gestin de los gases de escape. La
destruccin a una alta eficiencia slo puede lograrse mediante la oxidacin
sostenida a altas temperaturas. Una unidad de tratamiento efectiva debe tener
dos elementos. En primer lugar, una unidad de combustin capaz de convertir
los gases PFC. En segundo lugar, un depurador de alta eficiencia para eliminar
los productos derivados de la combustin (HF y SiO2).
Los procesadores trmicos TPU/TCS/Helios/Kronis de BOC Edwards
combinan las unidades de combustin de pared porosa patentadas de Alzeta
Corporation con una unidad de depuracin compacta que ofrece estas
caractersticas. El HOx utiliza la tecnologa de oxidacin sin combustible.
Unidades de combustin radiantes de pared porosa (TPU/

TCS/Helios/Kronis)
Las unidades de combustin Alzeta garantizan la alta eficiencia de combustin.
El combustible y el aire pasan a travs de la matriz de cermica porosa donde
la combustin se produce en la superficie.
En la superficie, donde el combustible, el aire y el gas del proceso se mezclan
ntimamente, la temperatura de la mezcla de gas puede alcanzar 900 C. No
hay una llama visible, pero la superficie de la matriz es incandescente. La
exposicin sostenida de los gases de escape a una alta temperatura asegura
una alta reaccin de alta eficiencia.
Componentes del procesamiento trmico

Unidad del cabezal (A) Entre una y cuatro entradas independientes pasan
en forma separada a travs del cabezal, directamente a la zona de reaccin de
la unidad de combustin que se encuentra inmediatamente debajo. No existe
el mezclado previo de los gases, por lo que los gases potencialmente
incompatibles provenientes de distintas cmaras pueden tratarse en forma
simultnea.
Unidad de combustin por alimentacin interna de pared porosa
(B) La unidad de combustin patentada de Alzeta genera una zona de
reaccin adiabtica, isotrmica, de alta temperatura, dentro del tubo poroso.
La superficie interior de las paredes se lavan continuamente con el combustible
y el aire entrantes, de manera que los materiales de reaccin se mantienen
alejados de las paredes. Esto evita la corrosin y la acumulacin de slidos. La
conversin de alta eficiencia de los gases PFC se logra con el gas natural (CH4).
El gas natural brinda ventajas adicionales de costo y seguridad en comparacin
con los quemadores que requieren hidrgeno. El HOx utiliza la tecnologa de
oxidacin sin combustible.
Depurador de condensacin por fuerza de flujo (C) Aqu, los gases
calientes se enfran rpidamente a 90 C y se saturan en vapor de agua. Esta
parte de la TPU tambin se conoce como la unidad de "enfriamiento
repentino". Las paredes de esta seccin se lavan continuamente con agua, lo
que da como resultado una rpida condensacin del vapor y el arrastre de las
partculas de oxido.
Depurador ciclnico (D) La corriente de gas enfriado ingresa a un
depurador ciclnico. Las partculas finas que no se captaron en la etapa de
condensacin se transferirn a la fase lquida y luego pasarn al drenaje.
Torre de depuracin integrada (E) Aqu, el componentes restante en
la mezcla de gas procesado, la fraccin no disuelta de HF, se elimina usando
una torre de contracorriente altamente eficiente equipada con el diseo ms
novedoso de alta conductancia y empaquetadura de gran superficie.
E
B
A
B
C
D
Combustible y aire
PFC en el escape de la bomba
Intercambio de radiacin
Plano anular de suministro
Mdulo de servicio
La instalacin de los procesadores trmicos se facilita mediante el uso de
mdulos de servicio opcionales. El mdulo de servicio contiene todos los
componentes requeridos para regular las velocidades de flujo y las presiones
de los servicios que requiere la unidad trmica. El suministro elctrico del
mdulo de servicio proviene directamente del procesador trmico.
Depurador de tres etapas de alta eficiencia
Unidad de recirculacin de agua WRU
La depuracin de etapas mltiples es esencial para eliminar los altos niveles de

HF y polvos de xido de la unidad de combustin. El depurador de tres etapas
de la TPU se describe en detalle a continuacin. Es importante observar que
la velocidad de disolucin de HF en agua es tres veces ms lenta que la del HCl,
y, por lo tanto, los rociadores de agua simple no son efectivos.
En los casos en los que la conservacin del agua es un tema crucial, una unidad
de recirculacin de agua (WRU) puede integrarse en el procesador trmico
para reducir el consumo de agua.
UNIDAD DE PROCESAMIENTO TRMICO TPU
DATOS TCNICOS
Conexiones
Suministro de nitrgeno al sistema de
purga
Suministro de nitrgeno al sistema
neumtico
Suministro de oxgeno
Suministro del gas de combustible
Suministro de agua de enfriamiento
Suministro del agua de compensacin
Drenaje de agua cida
Gas del proceso
Gas de escape
Salida de derivacin
Extraccin del gabinete
Servicios requeridos
Suministro elctrico
La TPU (Unidad de procesamiento trmico) es un sistema de reduccin

estndar de la industria para CVD. La unidad de combustin por alimentacin
interna, junto con un depurador por va hmeda de alta eficiencia, ha sido
probada en forma independiente para brindar el DRE ms elevado para los
gases PFC de cualquier sistema. Cada entrada puede configurarse para la
reduccin de alto nivel de todos los gases PFC causantes del calentamiento
global, F2 o CIF3. La TPU puede manejar flujos de entrada totales de hasta 280
slpm. Tambin reduce todos los hidruros y ofrece la eliminacin inferior a TLV
de las sustancias corrosivas, a la vez que se reduce al mnimo el NOx, los
productos de combustin incompleta (PIC) y los contaminantes peligrosos del
aire (HAP). La TPU es adecuada para todas las aplicaciones CVD y muchas
aplicaciones de grabado. Las ventajas adicionales incluyen un bajo costo de
mantenimiento, reduccin sin igual, desempeo de campo ptimo, excelentes
facilidades de manejo de polvo y certificacin SEMI S2-0703.
B
Latn Swagelok de 1/4 pulg.

Tubera de uPVC de 3/4 pulg.
Acero inoxidable NW40
Polipropileno de 75 mm
Acero suave de 150 mm, pintado
230 V, monofsico, 50 Hz
100 V, monofsico, 50/60 Hz
4 a 8 bar
6 a 8 bar
2,07 a 3,1 bar
Metano/Propano/LPG 0,021 a 0,7 bar
4,1 a 6,9 bar
1,5 a 4 bar
Salida no presurizada
1000 l min-1 / 0 a -5 pulg. wg
100 m3h-1
OPCIONES DE PEDIDOS
Tensin
Modelo
Gas de combustible
Instalacin
Consulte los datos tcnicos

Mdulo de servicios
WRU
Metano
Propano
1, 2 4 entradas
TMS
Mdulo de derivacin remoto
Dilucin del nitrgeno de derivacin
Alta reduccin de CF4
Contencin secundaria
A
625
800

230
1830
760
E
1300
A
C
E
Salida de extraccin del gabinete: 160 di.

Entradas del gas del proceso
Salida del agua de desecho cido
(sin mdulo de servicio WRU)
1024
B
D
F
G
NMERO DE PEDIDO
Comunquese con BOC Edwards para obtener informacin acerca de las opciones que mejor
se adecuan a su aplicacin.
Salidas de derivacin
Salida del gas de escape: 100 di.
Espacio requerido para el acceso de mantenimiento
Mdulo de servicio (opcional)
4
PGINA
85

Suministro de nitrgeno de purga

neumtico
Gas de escape
SISTEMA DE ACONDICIONAMIENTO
TRMICO TCS
DATOS TCNICOS
Conexiones
purga
neumtico
Gas del proceso
Gas de escape
Salida de derivacin
Suministro elctrico

neumtico
Gas de escape
4
PGINA
86

4 a 8 bar
6 a 8 bar
4,1 a 6,9 bar
1,5 a 4 bar
1000 l min-1 / 0 a -5 pulg. wg
100 m3h-1
OPCIONES DE PEDIDOS
El sistema de acondicionamiento trmico (TCS) ofrece un medio de reduccin
confiable, de alto desempeo y bajo costo de los gases inflamables y cido
provenientes de los escapes de CVD. El TCS incorpora la unidad de
combustin radiante por alimentacin interna, nica en su tipo, y la alta
eficiencia del depurador de agua de tres etapas desarrollado para la serie de
procesamiento trmico. Es ideal para plasma NF3 y altos flujos de F2 remotos.
B
Tensin
Modelo
Gas de combustible
Instalacin
A
625

Mdulo de servicios
WRU
Metano
Propano
1, 2 4 entradas
TMS
Vlvulas de derivacin internas
800
230

NMERO DE PEDIDO
1830
760
E
1300
A
C
E
Salida de extraccin del gabinete: 160 di.

1024
B
D
F
G
Durante los perodos de flujo bajo o nulo de hidrgeno, un pequeo orificio

restringe el flujo del exceso de aire a la unidad de combustin. Esto asegura
que en caso de que se genere repentinamente un flujo elevado, haya suficiente
aire para eliminar el H2 por debajo del LEL. (Consulte la figura B).
HELIOS
Figura A
Figura B
PGINA
87
C
Helios es una solucin avanzada para la reduccin de altos flujos de hidrgeno

mediante el sistema de combustin por alimentacin interna. Esta solucin fue
diseada para manejar gases txicos y gases portadores provenientes de las
aplicaciones de epitaxia de baja presin o atmosfrica y MOCVD. El sistema
Helios elimina con seguridad los peligros de explosin relacionados con el
hidrgeno y destruye los gases de hidruro, tales como AsH3 y PH3 en el lugar
de instalacin.
800
230
Desafos en la gestin de gases de escape

La alternancia de altos flujos de hidrgeno con gases txicos y pirofricos
adicionales seguido de vapores cidos, presenta un nuevo desafo para el
tratamiento de los gases de escape en quemadores bsicos. La variacin de los
flujos de hidrgeno pueden limitar gravemente la eficiencia y la limpieza de la
combustin. Helios es una nueva generacin de unidades de combustin por
alimentacin interna de BOC Edwards con un alto desempeo en estos
procesos, junto con un proceso de combustin limpio.
1830
760
Combustin limpia
A fin de realizar la combustin limpia de altos flujos de hidrgeno, debe
suministrarse un exceso de aire a la unidad de combustin. De lo contrario, la
unidad de combustin puede emitir altos niveles de CO, los hidrocarburos no
quemados o an el hidrgeno sin quemar. Debe suministrarse en una forma
que asegure que el gas del proceso de hidrgeno no cause retornos de llama.
El sistema Helios logra esto, mediante el agregado de aire a travs de un
orificio hacia las boquillas; por lo tanto, el aire slo se mezcla con el hidrgeno
durante la combustin. Esto puede observarse en el diagrama de la derecha,
donde las flechas que ingresan desde el lateral representan el aire agregado a
travs del orificio de la boquilla y mezclado con el gas del proceso (flechas
superiores) solamente en la unidad de combustin.
Sin embargo, durante los perodos en los que no fluyen altos flujos de
hidrgeno, el exceso de aire debe detenerse a fin de que la unidad de
combustin no se apague. El mecanismo de control nico en su tipo (derecha)
asegura que la eficiencia no se vea comprometida con o sin el flujo de
hidrgeno.
1300
A
C
E
Salida de extraccin del gabinete: 160 di. B

D
F
G
Operacin inteligente
Durante los perodos de alto flujo de hidrgeno, la interfaz con la herramienta
asegura que el flujo del exceso de aire a travs del orificio abierto es suficiente
como para asegurar la combustin completa limpia de hasta 200 lpm de
hidrgeno. (Consulte la figura A).
1024

A
625
DATOS TCNICOS
Conexiones
purga
neumtico
Gas del proceso
Gas de escape
Salida de derivacin
Suministro elctrico
4
PGINA
88

neumtico
Gas de escape

6 a 8 bar
4 a 8 bar
4,1 a 6,9 bar
1,5 a 4 bar
1800 l min-1 / -3 a -5 pulg. wg
350 m3h-1
OPCIONES DE PEDIDOS
Tensin
Modelo
Gas de combustible

Mdulo de servicios
WRU
Metano
Propano
Instalacin
1, 2 4 entradas
TMS

NMERO DE PEDIDO
KRONIS
DATOS TCNICOS
Conexiones
purga
neumtico
Gas del proceso
Gas de escape
Salida de derivacin
Suministro elctrico
El sistema Kronis es la ltima adicin a las unidades de combustin por

alimentacin interna de BOC Edwards diseado especialmente para el
tratamiento efectivo de los gases de escape del proceso provenientes de los
recientemente emergentes procesos CVD de k bajo. El logro de una
combustin limpia de precursores de organosileno de k bajo es un desafo, y
si esto no se logra pueden generarse productos derivados inaceptables y
bloqueos en los sistemas subsiguientes. BOC Edwards ha logrado un
conocimiento profundo de los problemas relacionados con los procesos CVD
de k bajo, a travs del trabajo conjunto con OEMs y proveedores de
materiales durante el desarrollo de los procesos. El sistema Kronis fue
diseado para superar los problemas relacionados con los procesos CVD ms
exigentes.
Tensin
Modelo
Gas de combustible
Instalacin
1830
760
A
C
E

D
F
G

Mdulo de servicios
WRU
Metano
Propano
1, 2 4 entradas
Conjunto de contencin secundaria
230
1024
6 a 8 bar
2,07 a 3,1 bar
4,1 a 6,9 bar
1,5 a 4 bar
1000 l min-1 / 0 a -5 pulg. wg
100 m3h-1
NMERO DE PEDIDO
800
1300
4 a 8 bar
OPCIONES DE PEDIDOS
625
F

4
PGINA
89


neumtico
Gas de escape
SISTEMA DE OXIDACIN EN CALIENTE HOx
DATOS TCNICOS
Conexiones
Suministro de nitrgeno al
sistema de purga / neumtico
Gas del proceso
Gas de escape
Salida de derivacin
Suministro elctrico
Gas de escape
4
PGINA
90

400 V, trifsico, 50 Hz
200 V, trifsico, 50/60 Hz
6 a 8 bar
4,1 a 6,9 bar
1,5 a 4 bar
1000 l min-1 / 0 a -5 pulg. wg
100 m3h-1
OPCIONES DE PEDIDOS
Tensin
Modelo
Instalacin
El sistema de oxidacin en caliente (HOx ) ofrece un avance significativo en el

desempeo de la tecnologa de oxidacin sin combustible. Mediante la
combinacin de una innovadora unidad de oxidacin con calentamiento
elctrico y el comprobado depurador por va hmeda de tres etapas de la lnea
de productos de combustin por alimentacin interna, el sistema HOx ofrece
un desempeo ptimo en comparacin con otros sistemas de la competencia,
con una considerable mejora en la capacidad de manejo de polvo. El sistema
est diseado para garantizar la eliminacin segura de gases pirofricos por
debajo de los lmites de inflamabilidad y el tratamiento efectivo de los
productos derivados cidos, a fin de proteger los sistemas de escape contra
posibles daos. El sistema de oxidacin en caliente (HOx) ofrece el
tratamiento en el lugar de instalacin de los gases de escape peligrosos
derivados de las aplicaciones de fabricacin de semiconductores,
especialmente de las etapas de deposicin y cmara limpia de las aplicaciones
CVD.
B

A
800
230
1830
760
E
1300
A
C
E

D
F
G
1024
NMERO DE PEDIDO
625
F

Recirculacin de agua interna
WRU
1, 2 4 entradas
TMS
Limpieza en lnea
Alarma audible
Mdulo de interfaz
Vlvulas de derivacin remota
Mdulo de la vlvula de derivacin
COLUMNAS DEL REACTOR DE GAS GRC
4
PGINA
91
El proceso GRC
En la columna del reactor de gas (GRC), una mezcla patentada de grnulos
inorgnicos se retiene dentro de un cartucho de acero inoxidable. El cartucho
se mantiene a una temperatura elevada mediante calentadores tubulares
situados a su alrededor. Los gases de escape peligrosos que ingresan al
cartucho son sometidos a una reaccin qumica y se convierten en sales
inorgnicas estables e inertes.
Aplicaciones del proceso GRC

El proceso GRC es adecuado para el tratamiento de los gases de escape
peligrosos que se generan en muchos procesos incluyendo el grabado de
metal, poligrabado, grabado por surcos, grabado xido, muchos procesos
CVD y lneas de purga del gabinete de gas. El sistema GRC procesa de manera
efectiva la mayora de los compuestos que contienen cloro, bromo y flor,
adems de hidruros como el silano, la fosfina, el diborano y el germano.
Sistema de cartucho econmico

A diferencia de algunos sistemas de tratamiento, los reactivos de GRC slo se
usan cuando fluye el gas del proceso. El gas de purga de la bomba de nitrgeno
no consume los cartuchos descartables que ofrecen una gran capacidad y larga
vida til, dependiendo solamente de la cantidad de gas del proceso utilizado.
Medio ambiente
El proceso GRC ofrece el medio de proteccin ms avanzado. Los gases se
eliminan en la fuente y no se descargan a la atmsfera. Por el contrario, son
sometidos a una reaccin qumica y convertidos en slidos inertes y seguros.
No se producen lquidos ni slidos txicos que deban ser eliminados.
Cambio rpido del cartucho

El cambio del cartucho es rpido, simple y seguro. Mediante el sistema de
derivacin integral, las operaciones de bombeo no son afectadas. Para reducir
al mnimo el tiempo de recambio, el cartucho usado puede extraerse caliente
(se recomienda utilizar el carro de recambio en caliente) o tambin puede
usarse la estacin de precalentamiento opcional.
Estacin de precalentamiento
Con esta opcin, el tiempo de recambio de los cartuchos agotados se reduce
a aproximadamente 10 minutos. La unidad consta de un calentador estndar y
una unidad de control simplificada. Esto permite que el nuevo cartucho se
caliente hasta la temperatura de operacin antes de efectuar el cambio.
Cuando el cartucho se agota en el sistema en lnea, simplemente se cambian
las dos unidades del calentador completas.

INLINE 250
DATOS TCNICOS
Conexiones
Gas del proceso
Gas de escape
Salida de derivacin
Suministro elctrico

4 a 5 bar
100 m3h-1
OPCIONES DE PEDIDOS
4
PGINA
92
El sistema Inline 250 es un sistema de reduccin en seco en el lugar de

instalacin, de bajo costo, utilizado en la industria de semiconductores. El
tratamiento a altas temperaturas realiza la destruccin permanente de gases y
la eliminacin de halgenos, cidos y otros compuestos del grabado haloideo.
El sistema Inline 250 trata en forma segura los productos derivados de
organocloros txicos, optimiza el uso de cartuchos y reduce al mnimo el
costo de mantenimiento.
Tensin
Instalacin

TMS
Alarma audible
Visualizacin de la presin de entrada
Caractersticas y ventajas:
Cartuchos de 250 mm aumentan la capacidad del cartucho en un 30%

El uso optimizado de los cartuchos en serie asegura el uso del material al
mximo
Tratamiento seguro por reaccin qumica y transformacin en sales
inertes estables
La gama ms amplia de gases tratados, desde halgenos y cidos hasta
ClF3, NF3, C4F8, SF6 y otros compuestos de grabado haloideo
No existen riesgos de desorcin, especfico de los sistemas de altas
temperaturas
Sin desechos txicos
Tiempo 100% ininterrumpido de funcionamiento con conmutacin
automtica
Sistema de reduccin continua an en caso de interrupcin de energa
Tubera integral de entrada calentada (opcional)
Requerimientos de baja energa y de servicios
Funcionamiento del sistema Inline
Figura A
Opciones de extraccin del gabinete
Opciones de salida
Opciones de entrada
NMERO DE PEDIDO
Figura B
Figura C
Desde el arranque del sistema (Figura A), el gas de escape es tratado en la
columna izquierda.
En la puesta en servicio inicial, un porcentaje considerable del reactivo de la
columna permanece sin usarse.
La columna de la izquierda contina usndose, y la columna de la derecha
asegura la eliminacin del gas residual, hasta que la columna de la izquierda se
consume totalmente.
La unidad se conmuta luego a la derecha (Figura B), mientras que se recambia
la columna izquierda, y luego funciona en direccin inversa.
La columna de la derecha contina usndose (Figura C), y la columna de la
izquierda asegura la eliminacin del gas residual, hasta que la columna de la
derecha se consume totalmente.
COLUMNA DEL REACTOR DE GAS

DOBLE D150
DATOS TCNICOS
El sistema D150 es un sistema GRC de depsito doble, diseado para la

conmutacin automtica del cartucho primario al cartucho de reserva.
Conexiones
Gas del proceso
Aire comprimido
Gas de escape
Salida de derivacin
Suministro elctrico
Aire comprimido

Swagelok de 1/4 pulg.
1,5 a 2 bar
4 a 5 bar
100 m3h-1
OPCIONES DE PEDIDOS
Tensin
Instalacin

20.87
(530)
36.02 (915)
42.72 (1085)
B
C
B
C
78.35
(1990)
71.65
(1820)
B
C
70.67
(1795)
30.32
(770)
A
B
Extraccin del gabinete, 3 posiciones alternativas

Salida, 4 posiciones alternativas
C
D
NMERO DE PEDIDO
Entrada, 4 posiciones alternativas

Espacio requerido para el cambio del
cartucho
4
PGINA
93


TMS
Boquilla de aire
Dilucin manual o automtica en la salida
Detector del punto final
Alarma audible
Visualizacin de la presin de entrada
Visualizacin remota
Monitor de PC central
COLUMNA DEL REACTOR DE GAS

SIMPLE M150
DATOS TCNICOS
Conexiones
Gas del proceso
Aire comprimido
Gas de escape
Salida de derivacin
Suministro elctrico
Aire comprimido

Acero inoxidable NW40 (opcional)
1,5 a 2 bar
4 a 5 bar
100 m3h-1
OPCIONES DE PEDIDOS
Tensin
Instalacin
4
PGINA
94
La columna del reactor de gas M150 es una tecnologa compacta desarrollada

para la industria de semiconductores. Este revolucionario sistema de
tratamiento de gas seco se utiliza para la eliminacin de emisiones peligrosas
en la fuente originadas por los procesos de CVD y grabado, que las convierte
en slidos inocuos dentro de un cartucho descartable fcil de cambiar.
17.72
(450)

B
C
77.56
(1970)
70.87
(1800)
24.02
(610)
A
B
C
D
NMERO DE PEDIDO
21.26
(540)

TMS
Boquilla de aire
Detector del punto final
Alarma audible
Sensor de la presin de entrada
Prueba de fugas
Disparo de fuga a tierra
29.53
(750)
Posicin de la brida de extraccin de aire

Salida M150
Entrada M150
Espacio requerido para el cambio del cartucho
NUEVA
GANCAT
DATOS TCNICOS
Conexiones
Gas del proceso
Aire comprimido
Gas de escape
Salida de derivacin
Suministro elctrico
Aire comprimido

Acero inoxidable NW40 (opcional)
1,5 a 2 bar
4 a 5 bar
100 m3h-1
OPCIONES DE PEDIDOS
Tensin
Instalacin
GRC
2
GRC
3
GRC
4
2635 (103.74)
970 (38.19)
424
(16.69)
750 (29.53)
492
(19.37)
605
(23.82)
915 (36.02)
B
A
385 (15.16)
2335 (91.93)
A
B
C
NMERO DE PEDIDO
1974 (77.72)
GRC
1
Zona operativa para el carro del calentador

rea del operador
rea de acceso al servicio elctrico
4
PGINA
95

GaNcat es una solucin basada en cartuchos con calentamiento elctrico, para

el tratamiento de flujos de gases de escape con alto contenido de amonaco
provenientes de los procesos MOCVD basados en GaN. Este sistema
incorpora las mismas caractersticas genricas que el sistema GRC en el que
se basa, y adems, mediante la combinacin de mltiples cartuchos en paralelo,
es posible tratar an los flujos ms elevados de gases del proceso. El diseo del
cartucho nico en su tipo cuenta con dos etapas, la primera descompone los
vapores metalorgnicos (tales como TMG, TMI y TMA) que podran
"contaminar" la segunda etapa, donde el amonaco se descompone en
nitrgeno e hidrgeno. Debido a que el proceso qumico es principalmente de
naturaleza cataltica, el sistema GaNcat es una solucin efectiva en cuanto a
costos para esta aplicacin y no genera NOx o agua de desechos. Un cartucho
de reserva opcional permite el recambio de cartuchos sin necesidad de sacar
al sistema GaNcat fuera de lnea, optimizando as el tiempo de funcionamiento
productivo.

Mdulos de cartuchos 1-9
TMS
Prueba de fugas
Disparo de fuga a tierra
Mdulo de deteccin del gas de amonaco
DEPURADORES POR VA HMEDA

La familia de depuradores por va hmeda Tempest de BOC Edwards ofrece

la gestin de gases de escape a un costo mnimo para la preservacin de los
activos de la empresa y el cumplimiento de las normas regulatorias. Son
adecuados para el tratamiento de las corrientes de escape que contienen gases
solubles en agua y reactivos al agua.
Cmara segmentada
Las cmaras segmentadas estn disponibles en forma opcional. Sirven para
evitar las reacciones potencialmente adversas de los gases incompatibles. Los
gases permanecen separados en la mitad inferior de la torre integrada.
TMS
El sistema de gestin de temperatura (TMS) mantiene el conducto de entrada
y la entrada misma a una temperatura de hasta 150 C para evitar la
acumulacin de productos derivados condensables.
Limpieza mecnica
Esta entrada opcional para el sistema Tempest permite la eliminacin peridica
de cualquier producto condensable derivado de la reaccin, permitiendo el
funcionamiento de la unidad durante perodos prolongados sin mantenimiento
intrusivo. La limpieza mecnica es adecuada para aplicaciones de grabado de
metal y nitruro LPCVD.
4
PGINA
96
La familia de depuradores por va hmeda de

BOC Edwards incorpora al Tempest
El sistema Tempest una unidad de absorcin/reaccin de lecho integrado, de
flujo de contracorriente. Es adecuado para el grabado conductivo, el grabado
dielctrico, las aplicaciones RTP y nitruro LPCVD y contiene una unidad de
absorcin de lecho integrado de agua fra de una sola etapa.
La serie de depuradores por va hmeda brinda la absorcin de gas de alta
eficiencia mediante el diseo de torre de flujo de contracorriente. La "criba"
integrada asegura una distribucin uniforme del agua y elimina la posibilidad de
canalizacin del gas.
Diseo robusto, alta confiabilidad

Menor costo de mantenimiento
Diseo de mltiples entradas
Tratamiento efectivo de los gases incompatibles a travs de la
segmentacin de cmaras
Acceso de servicio en un solo lado
Control PLC
Compatible con Fabworks
Certificacin SEMI S2-0303
Entrada de gas coaxial

El gas del proceso ingresa al gabinete de lecho integrado del Tempest a travs
de entrada(s) de gas coaxial(es). El diseo de la boquilla de entrada permite a
los gases de reaccin y a los productos condensables derivados de la reaccin
ingresar al depurador sin necesidad de precipitacin o reaccin en la entrada
del depurador. Una cortina de nitrgeno reduce la velocidad de reaccin del
gas del proceso entrante con el lquido de depuracin. El servicio de
mantenimiento de la entrada es poco frecuente debido a las caractersticas del
diseo, sin embargo, en caso de ser necesario, el manguito de entrada
removible puede repararse o reemplazarse fcilmente en menos de dos
minutos.
NUEVA
TEMPEST
DATOS TCNICOS
Conexiones
Gas del proceso
Gas de escape
Suministro elctrico
Gas de escape
Acero inoxidable Swagelok de 1/4 pulg.

Polipropileno de 3/4 pulg.
Polipropileno de 3/4 pulg.
Polipropileno NW40
6 a 8 bar
1,5 a 4 bar
600 l min-1 / -1 a -5 pulg. wg
300 m3h-1
OPCIONES DE PEDIDOS
Tensin
Instalacin
1010 (39.76)

800 (31.50)
600 (23.62)
A
C
E
1785 (70.28) TYP
1834 (72.20)
1984 (78.11)
Suministro de nitrgeno
Salida del gas de escape
Extraccin del gabinete 150 mm di.
B
D
NMERO DE PEDIDO
Suministro elctrico
4
PGINA
97

Tempest , el nuevo depurador por va hmeda en el lugar de instalacin, ofrece

la gestin de gases de escape a un costo mnimo para la preservacin de los
activos de la empresa y el cumplimiento de las normas regulatorias. Tempest
es adecuado para el tratamiento de los gases de escape de las herramientas del
proceso de fabricacin de semiconductores que contienen gases solubles en
agua y reactivos al agua, tales como HCl, Cl2 y NH3. Las aplicaciones tpicas
del proceso incluyen el grabado de metal, poligrabado, nitruro LPCVD, nitruro
PECVD y RTP.
Si bien est basado en un simple principio de "tormenta en una caja", Tempest
incluye muchas caractersticas de diseo innovadoras que brindan beneficios
reales al cliente. Estos beneficios incluyen la prevencin de bloqueos de
entrada a travs del uso de entradas de gas coaxiales y una reduccin en el
consumo de servicios mediante el sistema de control PLC.

Entradas 1 4
Cmara segmentada
Entradas de alta temperatura
Limpieza mecnica
Vlvulas de derivacin remota
Mdulo de la vlvula de derivacin
Mdulo de vlvula de derivacin con TMS
SISTEMA DE ACONDICIONAMIENTO
PIROFRICO
Entrada de aire activa

Suministro de aire positivo impulsado por ventilador para el aire de
reaccin/dilucin.
Sin dependencia en los flujos de los conductos.
Entradas autolimpiantes
Equipado con un sistema comprobado de entrada autolimpiante usado en
las familias de productos TPU/TCS de alto desempeo.
Cmara de reaccin ciclnica.
Diseo de la cmara de reaccin nico en su tipo.
La oxidacin se produce en un remolino ciclnico de aire.
Diseado para eliminar el 90% de partculas de > 10 micrones.
Interfaz de monitoreo total
Esencial para una instalacin segura.
Presin positiva del sistema/flujo de aire y temperatura de salida
monitoreadas continuamente por medio del control PLC.
DATOS TCNICOS
Conexiones
Gas del proceso
Gas de escape
4
PGINA
98
Salida de derivacin
Suministro elctrico
Sistema de acondicionamiento pirofrico
El sistema de acondicionamiento pirofrico (PCS) establece un nuevo estndar

para los sistemas de autooxidacin, utilizando las propiedades pirofricas de
los gases para el control de los gases de escape.
El concepto "burn box" o "autooxidacin"

El concepto de autooxidacin es un enfoque de bajo costo para el escape de
silano usado en muchos procesos de fabricacin en todo el mundo. El sistema
PCS genera flujos de escape de silano con exceso de aire y utiliza las
propiedades pirofricas del gas para garantizar la oxidacin.
El sistema PCS incorpora las caractersticas de diseo para reducir el bloqueo
relacionado con la oxidacin de flujos elevados de silano.
En las pruebas de laboratorio con flujos simulados de procesos, las
observaciones sobre la oxidacin del silano muestran que, a concentraciones
del silano en nitrgeno se produce una autooxidacin de > 1,6% al mezclarse
con el aire. A concentraciones inferiores, la oxidacin no se produce y el
silano, una vez diluido al mezclarse con el aire a <0,05% es estable y seguro.

Tubera de uPVC de 1 pulg.
Acero inoxidable NW40 con
recubrimiento de PFA
Gas de escape
4 a 6 bar
2 a 5 bar
1400 l min-1 / -1 a -5 pulg. wg
100 m3h-1 (opcional)
OPCIONES DE PEDIDOS
Tensin
Alojamiento
Instalacin

Sin alojamiento
Alojamiento del cicln
1 2 entradas
Visualizacin del estado
Limpieza en lnea
Monitoreo de la presin de entrada
350
209
264
237
102
43
106
NMERO DE PEDIDO
72 - 122
1191
1300
409
550
ZENITH
FAMILIA DE PRODUCTOS ZENITH
Sistema integrado de gestin de gases de escape y vaco Zenith
Zenith Etch
Zenith Etch es una serie de soluciones de gestin de gases de escape y vaco
totalmente integradas para los procesos de grabado. La familia Zenith Etch
incorpora tecnologas que mejor se adaptan a los requerimientos especficos.
4
PGINA
99
Caractersticas y ventajas:
Seguridad
- Transferencia / reduccin al mnimo de riesgos
- Certificacin SEMI
- Certificacin de seguridad NRTL disponible antes de la instalacin
- Instalacin, puesta en servicio y autorizacin municipal ms rpidas
- Solicitud de una nueva autorizacin municipal ms sencilla
Ahorros de costos de instalacin
- Ahorro de espacio
- Menor tiempo, costo y facilidad de instalacin
Beneficios operativos
- Estrategia de control comn que brinda seguridad de las plaquetas
- Mayor produccin y vida til de las plaquetas, debido a que la interfaz
inteligente realiza la gestin del mantenimiento preventivo con relacin
al uso de las herramientas
- Menor costo de mantenimiento
- Menor cantidad de componentes y componentes estndar generan
menos requerimientos de mantenimiento
Centralizacin en el proceso
- Para adecuarse a las aplicaciones especficas del cliente y los OEM, cada
unidad Zenith est diseada teniendo el proceso en mente, lo que
permite efectuar la correcta eleccin de bombas de vaco y una gestin
completa de los gases de escape.
Zenith Etch Plasma

Comprende un depurador por va hmeda integral, de plasma atmosfrico y
bombas de procesos especialmente reforzadas. Zenith Etch Plasma es una
solucin de gestin de gases de escape sin combustible con un bajo costo de
mantenimiento (en comparacin con otras tecnologas), consumo de energa
muy bajo y una mnima cantidad de componentes consumibles.
Zenith Etch TPU-M

Comprende la ltima generacin de bombas secas con gestin de gases de
escape de la serie de procesadores trmicos existente. El sistema de reduccin
TPU-M comprende una unidad de combustin con alimentacin interna
pequea con un depurador por va hmeda compacto de 2 etapas. La unidad
cuenta con un costo de servicios menor que la TPU estndar, si bien brinda un
desempeo de reduccin excelente.
Zenith CVD
Zenith CVD incorpora la ltima generacin de bombas secas y gestin de
gases de escape que mejor se adecuan a sus requerimientos especficos y
calefaccin integrada de tuberas (TMS). Es el sistema de mayor desempeo
comprobado para CVD que maneja altos flujos de gases de deposicin y gases
limpios de cmara.

La familia de productos Zenith es una serie de avanzada de sistemas de gestin

de gases de escape y vaco totalmente integrados, que brindan una mayor
seguridad, compatibilidad con las herramientas de procesos, requerimiento de
espacio mnimo y un menor costo de mantenimiento.
La experiencia en aplicaciones de BOC Edwards se aplica a los sistemas Zenith
para asegurar la provisin del hardware y software ms adecuados para la
aplicacin especfica.
Puede incorporarse una bomba de vaco de ltima generacin y una adecuada
gestin de gases de escape, junto con paquetes de piezas que aseguran un
funcionamiento ms uniforme y confiable.
SISTEMA DE GESTIN DE
TEMPERATURA (TMS)
4
PGINA
100
Sistema de gestin de temperatura
Muchos procesos de fabricacin de semiconductores, especialmente el

grabado de metal y nitruro LPCVD generan vapores que, a temperatura
ambiente, se condensan formando slidos en las lneas de escape, partes
frontales y silenciadores de bombas. Estos slidos pueden acumularse hasta
bloquear las tuberas, originando una contrapresin y la eventual
falla de la bomba. Para mantener los productos derivados en forma gaseosa
hasta que llegan al sistema de tratamiento de gases de escape, el gas debe
mantenerse caliente y seco.
El sistema de gestin de temperatura (TMS) de BOC Edwards ha tenido un
gran xito en la prevencin de la deposicin de slidos y lquidos corrosivos
en las tuberas. El sistema TMS est disponible para adaptarse a dimetros de
tuberas de 40 mm y 50 mm, y es adecuado para instalarse en las lneas de gases
de escape, 80 mm y 100 mm, siendo tambin adecuado para el calentamiento
de la parte frontal. El sistema TMS puede usarse para calentar de manera
efectiva las piezas ms complejas, como las vlvulas.
Principales componentes del sistema

El sistema TMS tiene tres componentes principales: la unidad de control, los
calentadores de tuberas y el aislamiento de las tuberas. La unidad de control
alimenta calentadores de tuberas de hasta 1200 W. Los calentadores estn
disponibles en una variedad de longitudes y simplemente estn unidos por
conectores en cadena. El aislamiento de las tuberas se realiza con espuma de
silicona con un recubrimiento exterior de silicona.
Sistema de monitoreo TMS

El sistema de monitoreo TMS est disponible en forma opcional. Brinda el
beneficio adicional de sealar en forma automtica un punto fro
potencialmente problemtico en donde puede producirse deposicin. Sobre
cada calentador se instalan monitores especialmente diseados. Luces
indicadores muestran el estado de la tubera. Una seal de advertencia tambin
se indica en la unidad de suministro elctrico y tambin existe la opcin de
integracin con el sistema de gestin del edificio o con el sistema de
monitoreo FabWorks de BOC Edwards.
Aplicaciones
Grabado de metal
Grabado con nitruro
PECVD de tungsteno con C2F6 / O2 limpio
Nitruro LPCVD
Calentadores
40-50 mm (1,5-2") x 50 mm (2,0")
40-50 mm (1,5-2") x 80 mm (3,1")
40-50 mm (1,5-2") x 100 mm (4,0")
40-50 mm (1,5-2") x 200 mm (7,9")
40-50 mm (1,5-2") x 300 mm (11,8")
40-50 mm (1,5-2") x 500 mm (19,7")
80 mm (3") x 50 mm (2,0")
80 mm (3") x 80 mm (3,1")
80 mm (3") x 100 mm (4,0")
80 mm (3") x 200 mm (7,9")
80 mm (3") x 300 mm (11,8")
80 mm (3") x 500 mm (19,7")
100 mm (4") x 50 mm (2")
100 mm (4") x 80 mm (3,1")
100 mm (4") x 100 mm (4,0")
100 mm (4") x 200 mm (7,9")
100 mm (4") x 300 mm (11,8")
100 mm (4") x 500 mm (19,7")
Aislamiento
Banda de unin de 40 mm (1,5")
Longitud del medidor de 40 mm (1,5")
Codo de 40 mm (1,5")
Pieza en T de 40 mm (1,5")
Abrazadera de 40 mm (1,5")
Banda de unin de 50 mm (2")
Longitud del medidor de 50 mm (2")
Codo de 50 mm (2")
Pieza en T de 50 mm (2")
Abrazadera de 50 mm (3")
Codo de 80 mm (3")
Codo de 100 mm (4")
Longitud del medidor de 63 mm (2,5")
Fuentes de alimentacin
Versin E 230 V, 50 Hz monofsica
Versin S 110 V, 60 Hz monofsica
Versin J 200 V, 50/60 Hz bifsica
Cables de extensin
300 mm
2m
Monitores
300 mm
500 mm
700 mm
NMERO DE PEDIDO
13,5 W
13,5 W
13,5 W
24 W
36 W
60 W
13,5 W
13,5 W
13,5 W
24 W
36 W
60 W
8W
12,8 W
15 W
32 W
48 W
80 W
Y14012050
Y14012080
Y14012100
Y14012200
Y14012300
Y14012500
Y14023050
Y14023080
Y14023100
Y14023200
Y14023300
Y14023500
Y14024050
Y14024080
Y14024100
Y14024200
Y14024300
Y14024500
Y14101000
Y14101001
Y14101002
Y14101003
Y14101004
Y14102000
Y14102001
Y14102002
Y14102003
Y14102004
Y14103000
Y14103001
Y14103002
Y14103003
Y14103004
Y14104000
Y14104001
Y14104002
Y14104003
Y14104004
Y14105001
Y14201000
Y14204000
Y14203000
Y14501024
Y14501022
Y14300300
Y14300500
Y14300700
5.08
Bomba
QDP, salida de la bomba
QDP, salida del silenciador de escape
18.90 (480)
A
1628 mm
1448 mm
4.25
17.72 (450)
(108)
22.44 (570)
(129)
16.02 (407)
TRAMPA DE GASES DE ESCAPE ENFRIADA

POR AGUA MODELO 250
B
325 mm
155 mm
Trampa enfriada por agua

Captacin controlada de los slidos de escape
Evita bloqueos costosos
Fcil operacin y disposicin
Los procesos de nitruro LPCVD que utilizan diclorosilano (SiH2Cl2) y
amonaco (NH3) generan cloruro de amonio (NH4Cl). Al realizar el
enfriamiento a presin atmosfrica, NH4Cl se condensa rpidamente en forma
de slido en las tuberas de escape.
La trampa enfriada por agua Modelo 250, brinda una solucin efectiva en
cuanto a costos para la deposicin controlada de estos productos derivados
slidos. La cmara de la trampa y el revestimiento estn enfriados por agua,
por lo tanto, el NH4Cl se deposita en el revestimiento. El revestimiento tiene
una gran capacidad y es fcil y rpido de cambiar. En general, la vida til de un
revestimiento es de seis meses.
El Modelo 250 elimina slidos solamente. Para aplicaciones en donde se
necesita eliminar slidos y tratar el amonaco residual, use una trampa enfriada
por agua junto con un GRC equipado con cartuchos C150A (amonaco). Para
obtener ms informacin acerca de la reduccin de los gases de escape,
consulte el resumen de aplicaciones: consulte la pgina 4-83.
Trampa de gases de escape enfriada por agua Modelo 250

ACCESORIOS
NMERO DE PEDIDO
A53114000
NMERO DE PEDIDO
Conexin de la trampa de gases de escape enfriada por agua y conjunto TMS,

para el sistema con
bomba mecnica Roots 250/500
A53114060
bomba mecnica Roots 1200
A53114065
REPUESTOS CONSUMIBLES
Revestimientos de la trampa de repuesto para el Modelo 250
DATOS TCNICOS
Conexiones
Suministro de agua de enfriamiento Conector de conexin rpida macho
de 3/8 pulg. BSP
Gas del proceso
NW40
Gas de escape
NW40
Suministro de agua de enfriamiento 7 bar
NMERO DE PEDIDO
A53115020

4
PGINA
101
REFRIGERADORA TCU 40/80
DATOS TCNICOS
4
PGINA
102
La unidad de control de temperatura TCU 40/80 (refrigeradora) es una unidad

de control de temperatura de un solo canal que suministra refrigerante de
perfluorocarbono en un circuito cerrado para el control de temperatura de
las cmaras de procesos de fabricacin de semiconductores y plaquetas
durante los procesos de grabado, entre otros. La TCU 40/80 est diseada
para brindar un desempeo confiable del tiempo de funcionamiento y facilidad
de mantenimiento, brindando un enfriamiento continuo y libre de problemas
en una amplia gama de temperaturas. Utilice la TCU para el enfriamiento de
portaherramientas electrostticas, ventanas de cuarzo y domos y paredes de
las cmaras.
Gestin trmica
Unidades
de control de temperatura (refrigeradoras)
Bomba de refrigerante libre de fugas con accionamiento magntico con
refrigerante de perfluorocarbono
Amplio control del rango de temperatura, de -40 a 80 C
Control de temperatura en incrementos de 0,1 C, con estabilidad tpica
de 0,5 C.
Flujo ajustable del refrigerante, de 3,8 a 22,7 l min-1 (1-6 gal min-1)
Sistema de refrigerante presurizado de acero inoxidable
Ascenso y descenso rpido de temperatura
MTBF de 50000 horas
Mnimas longitud de tuberas y cantidad de uniones; sistema de
refrigeracin totalmente soldado
Las lneas de refrigerante y enfriador estn verificadas contra fugas de
helio
La industria de semiconductores exige equipos con un tiempo de
funcionamiento mximo cuando operan en forma continua los 365 das del
ao. El cumplimiento de estas exigencias fue de primordial importancia en el
diseo de la TCU, lo que dio como resultado un controlador de temperatura
altamente confiable, libre de fugas y sin causar daos al medio ambiente. El
controlador libre de CFC est aprobado por la norma SEMI S2-93, con
certificacin CE (cumple con las directivas sobre baja tensin de la Unin
Europea), est aprobado por UL, y se fabrica en una planta con certificacin
ISO9001.
La TCU cuenta con un sistema de refrigerante de perfluorocarbono de
circuito cerrado. El uso de un refrigerante no conductivo en lugar de agua
desionizada, significa que la TCU puede usarse en sistemas con grandes
campos magnticos y de plasma. El uso del refrigerante de perfluorocarbono
tambin elimina la necesidad de monitorear el refrigerante y mantener los
filtros de refrigerante.
La TCU40/80 puede montarse en bastidor o en torre. Los paneles frontal y
laterales pueden retirarse con facilidad para el mantenimiento de rutina. Al
igual que con todos los productos de BOC Edwards, la TCU 40/80 cuenta con
el respaldo de nuestro servicio de soporte tcnico y de mantenimiento de
productos en todo el mundo.
Rango de temperatura de control

-40 a 80 C
Punto de referencia de la temperatura de
control
0,1 C
Estabilidad de la temperatura de control 1,0 C
Capacidad de enfriamiento (en la salida de
la TCU, agua de enfriamiento 15 C)
A -40 C
350 W
A -20 a +80 C
2000 W
Capacidad de calentamiento
2800 W
Rampa de temperatura (sin carga)
25 a 80 C
<25 min
25 a -30 C
<20 min
Sistema de refrigerante de
perfluorocarbono
Tipo de refrigerante
3M FC77, 3M FC3283, FC8270 o
Ausimont Galden HT110 o 3M HFE 7500
Tipo de bomba
Bomba de engranajes de accionamiento
magntico, motor de 3/4 HP
Velocidad de flujo de la bomba
establecido en fbrica
11,4 l min-1 (3 gal min-1)
(20C, 4,1 bar / 60 psi)
Presin mxima de suministro del
100 psi
refrigerante
Velocidad de flujo ajustable del
3,8 22,7 l min-1 (1-6 gal min-1)
refrigerante
Conexiones del refrigerante
Conector de unin Swagelok de pulg.
(suministrado)
Sistema de refrigeracin
Refrigerante
HFC R404A
Compresor
2,8 kW, trifsico, hermticamente sellado
Intercambiador de calor
Placa de flujo cruzado de acero inoxidable
de alta eficiencia
Requerimientos del agua de enfriamiento
Velocidad de flujo
11,4 22,8 l min-1 (3-6 gal min-1)
Temperatura
10 26 C
Presin
1,4 6,9 bar (20 100 psi)
Conexiones de agua de
Accesorio de compresin de latn de
enfriamiento
pulg. y adaptadores de manguera de latn
de pulg. (suministrados)
Suministro elctrico
Tensin
200-208 V, trifsica, 50/60 Hz,
balanceo en delta
Tipo de conexin
Con fusible de 30 A, NEMA L21-30R
Monitor de baja tensin
Incorporado
y rotacin de fase
Cable elctrico
3,05 m (10 pies), con enchufe de
seguridad L21-30P de 5 clavijas
Consumo de potencia tpico
2,75 kW a capacidad nominal
Disyuntor principal
25 A
Controles
Encendido1, Arranque / Parada,
Reposicin / Listo2,
Arranque / Parada y Emergencia (EMO)3
Indicadores
Alarma audible
100 dB(A) a 1 metro
Manmetro
0 100 psig, analgico
Reloj
0 99999 horas, digital
Alarmas
Rotacin / baja tensin trifsica, bajo flujo
del agua de enfriamiento, disyuntor, nivel
y temperatura del refrigerante en el
depsito, flujo del refrigerante,
sobrecarga del compresor,
operacin RTD** remota
Peso
204 kg (450 lbs)
MTBF
75000 h (90% seguro)
1
Botn y luz verde
Se usa para reposicionar las alarmas bloqueadas
Rojo, interruptor tipo hongo de 40 mm, con protector
No puede reposicionarse alarma activa cuando la operacin de RTD remota est en uso.
Temperatura del proceso vs carga de enfriamiento***

*** en la salida de la refrigeradora, agua de enfriamiento 15 C.
762 (30.0)
(3.8)
96.52
10
-10
2
-20
-40
TCU 40/80
TCU 40/80
-50
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
993.14 (39.1)
1
-30
50 Hz
60 Hz
Temperatura del proceso vs tiempo

100
559 (22.01)
11 min
80
60
PGINA
103
20
5
10
15
20
25
30
-20
-40
TCU 40/80
TCU 40/80
19 min
-60
min
Velocidad de flujo de la bomba del refrigerante vs presin

diferencial
32
1
24
l min -1
16
REPUESTOS
8
TCU 40/80
0
1
4
bar
50 Hz
60 Hz
W95000000
Suministrada con embudo, manual de instrucciones, todos los accesorios de conexin, vlvulas de cierre y
receptculo de contencin secundaria. Las opciones de comunicaciones tales como el RS-232 y el RS-485
estn disponibles a solicitud. Para obtener ms informacin, comunquese con BOC Edwards o con su
proveedor local.
NMERO DE PEDIDO
Unidad de control de temperatura TCU 40/80
NMERO DE PEDIDO
Manual de instrucciones
Conjunto de mantenimiento preventivo
Embudo
Receptculo de contencin secundario
ACCESORIOS
Refrigerante de perfluorocarbono Ausimont Galden HT1101

6,5 kg
17,2 kg
Conjunto de pernos de sujecin para las unidades apiladas
Conjunto de estabilizacin (restriccin contra terremotos)
Conjunto de nivelacin
Cuadro de montaje en bastidor
Plataforma y elevador neumtico
Conjunto de conexin para la interfaz del host
Montaje del RTD remoto
Cable de 3,6 m
Cable de 15,2 m
Conjunto del conector del refrigerante
W95900001
P60153005
P60141100
P30152700
NMERO DE PEDIDO
1Comunquese con BOC Edwards para obtener informacin acerca de otros refrigerantes.
P53289800
P53289900
P60152200
P60154600
P60152100
P60155000
P60156000
P60153200
P60153100
P60153101
P60150400

892 (35.12)
762 (30.0)
40
REFRIGERADORA TCU 40/80 PLUS
temperatura altamente confiable, libre de fugas y sin causar daos al medio

ambiente. El controlador de temperatura libre de CFC est aprobado por la
norma SEMI S2-93, con certificacin CE (cumple con las directivas sobre baja
tensin de la Unin Europea), est aprobado por UL, y se fabrica en una planta
con certificacin ISO9001.
La TCU 40/80 Plus cuenta con un sistema de refrigerante de perfluorocarbono
de circuito cerrado. El uso de un refrigerante no conductivo en lugar de agua
desionizada, significa que la TCU 40/80 Plus puede usarse en sistemas con
grandes campos magnticos y de plasma. El uso del refrigerante de
perfluorocarbono tambin elimina la necesidad de monitorear el refrigerante
y mantener los filtros de refrigerante.
La TCU 40/80 Plus puede montarse en bastidor o en torre. Los paneles frontal
y laterales pueden retirarse con facilidad para el mantenimiento de rutina. Al
igual que con todos los productos de BOC Edwards, la TCU 40/80 Plus cuenta
con el respaldo de nuestro servicio de soporte tcnico y de mantenimiento de
productos en todo el mundo.
La lnea de productos para control de temperatura de BOC Edwards ofrece
una serie completa de diseos compatibles con los procesos de fabricacin de
semiconductores para cualquier tipo de proceso. Los modelos estn
disponibles con comunicaciones digitales, rangos especiales de temperatura,
cargas de calor adaptadas a las necesidades del cliente y operaciones en
cmaras mltiples.
DATOS TCNICOS
PGINA
104
Alta confiabilidad y desempeo del tiempo de funcionamiento

La unidad TCU 40/80 Plus fue diseada para cumplir con los requerimientos
ms exigentes de la fabricacin de semiconductores para el enfriamiento de las
plaquetas durante el proceso de grabado, entre otros. La TCU 40/80 Plus est
diseada para brindar un desempeo confiable del tiempo de funcionamiento
y facilidad de mantenimiento, brindando una operacin libre de problemas en
una amplia gama de temperaturas extremas. Esto, en combinacin con los
centros de servicio y soporte de servicio tcnico en el lugar de instalacin de
BOC Edwards en todo el mundo, hace que la TCU 40/80 Plus sea el nuevo
estndar de la industria.
Bomba de refrigerante libre de fugas con accionamiento magntico,
funcionamiento confiable
Amplia temperatura de operacin -40 a +80 C
Temperatura establecida en incrementos de 0,1 C
Estabilidad tpica +/- 1 C
Velocidad del flujo ajustable del refrigerante 1-6 gpm
Certificacin SEMI S2-93
Certificacin CE; cumple con las directivas sobre baja tensin
Refrigerante de perfluorocarbono para un funcionamiento libre de iones
Facilidad de deteccin remota de la temperatura
Sistema de refrigerante presurizado de acero inoxidable
MTBF de 50000+ horas
Las lneas de refrigerante y enfriador estn verificadas contra fugas de helio
Servicio tcnico de BOC Edwards en todo el mundo
APLICACIONES
La unidad de control de temperatura TCU 40/80 Plus es una unidad de control
de temperatura de un solo canal que suministra refrigerante de
perfluorocarbono en un circuito cerrado para el control de temperatura de
las cmaras de procesos de fabricacin de semiconductores y plaquetas
durante los procesos de grabado, entre otros. La TCU 40/80 Plus est
diseada para brindar un desempeo confiable del tiempo de funcionamiento
y facilidad de mantenimiento, brindando un enfriamiento continuo y libre de
problemas en una amplia gama de temperaturas. Utilice la TCU Plus para el
enfriamiento de portaherramientas electrostticas, ventanas de cuarzo y
domos y paredes de las cmaras.
La industria de semiconductores exige equipos con un tiempo de
funcionamiento mximo cuando operan en forma continua los 365 das del
ao. El cumplimiento de estas exigencias fue de primordial importancia en el
diseo de la TCU 40/80 Plus, lo que dio como resultado un controlador de
Rango de temperatura de control

-40 a 80 C
Punto de referencia de la temperatura de
control
0,1 C
Estabilidad de la temperatura de control 1,0 C
Capacidad de enfriamiento (en la salida de
la TCU, agua de enfriamiento 15 C)
A -40 C
750 W
A -20 a +80 C
2400 W
Capacidad de calentamiento a 208 V
2800 W
Rampa de temperatura (sin carga)
25 a 80 C
<25 min
25 a -30 C
<15 min
Sistema de refrigerante de
perfluorocarbono
Tipo de refrigerante
3M FC77, 3M FC3283, FC8270,
Ausimont Galden HT110 o 3M HFE 7500
Tipo de bomba
Bomba de engranajes de accionamiento
magntico, motor de 3/4 HP
Velocidad de flujo de la bomba
establecido en fbrica
11,4 l min-1 (3 gal min-1)
(20 C, 4,1 bar / 60 psi)
Presin mxima de suministro del
100 psi
refrigerante
Velocidad de flujo ajustable del
refrigerante
3,8 22,7 l min-1 (1 6 gal min-1)
Potencia del motor de la bomba
Conexiones del refrigerante
Conector de unin Swagelok de pulg.
(suministrados)
Sistema de refrigeracin
Refrigerante
HFC R404A
Compresor
2,8 kW, trifsico, hermticamente sellado
Intercambiador de calor
Placa de flujo cruzado de acero inoxidable
de alta eficiencia
Requerimientos del agua de enfriamiento
Velocidad de flujo
11,4 22,8 l min-1 (3 6 gal min-1)
Temperatura
10 26 C
Presin
1,4 6,9 bar (20 100 psi)
Conexiones de agua de enfriamientoAccesorio de compresin de latn de
pulg. y adaptadores de manguera de latn
de pulg. (suministrados)
Suministro elctrico
Tensin
200 208 V, trifsica, 50/60 Hz, balanceo
en delta
Tipo de conexin
Con fusible de 30 A, NEMA L21-30R
Monitor de baja tensin
Incorporado
y rotacin de fase
Cable elctrico
3,05 m (10 pies), con enchufe de
seguridad (L21-30P) de 5 clavijas
2,75 kW a capacidad nominal

25 A
Encendido1, Arranque / Parada,
Reposicin / Listo2,
Arranque / Parada y Emergencia (EMO)3
Indicadores
Alarma audible
Manmetro
Reloj
Alarmas
100 dB(A) a 1 metro

0 100 psig, analgico
0 99999 horas, digital
Rotacin / baja tensin trifsica, bajo flujo
del agua de enfriamiento, disyuntor, nivel
y temperatura del refrigerante en el
depsito, flujo del refrigerante,
sobrecarga del compresor,
operacin RTD** remota
190 kg (416 lbs)
> 50000 h (90% seguro)
Peso (en seco)

MTBF
1
Botn y luz verde
Se usa para reposicionar las alarmas bloqueadas
Rojo, interruptor tipo hongo de 40 mm, con protector
11
No puede reposicionarse alarma activa cuando la operacin de RTD remota est en uso.
TCU 40/80 Plus
(3.8)
96.52
762 (30.0)
993.14 (39.1)
Consumo de potencia tpico

Disyuntor principal
Controles
559 (22.01)
Temperatura del proceso vs carga de enfriamiento*
* en la salida de la refrigeradora, agua de enfriamiento 15 C

10
PGINA
105
2
-20
762 (30.0)
-10
TCU 40/80 Plus
1
-30
-40
TCU 40/80 Plus

-50
1000
2000
3000
4000
5000
50 Hz
60 Hz
Temperatura del proceso vs tiempo

100
TCU 40/80 Plus
11 min
60
REPUESTOS
40
20
10
15
20
0
-20
14 min
-60
min
Velocidad de flujo de la bomba del refrigerante vs presin

diferencial
32
1
24
l min -1
2
16
TCU 40/80 Plus

2
Refrigerante de perfluorocarbono Ausimont Galden HT1101

6,36 kg/14,3 lbs
17,2 kg/37,3 lbs
Conjunto de pernos de sujecin para las unidades apiladas
Conjunto de estabilizacin (restriccin contra terremotos)
Conjunto de nivelacin
Cuadro de montaje en bastidor
Plataforma y elevador neumtico
Conjunto de conexin para la interfaz del host
Montaje del RTD remoto
3,5 m /12 pies
15,2 m /50 pies
Conjunto del conector del refrigerante
bar
50 Hz
W95900001
P60153005
P60141100
P30152700
NMERO DE PEDIDO
1Comunquese con BOC Edwards para obtener informacin acerca de otros refrigerantes.
0
1
NMERO DE PEDIDO
Manual de instrucciones
Conjunto de mantenimiento preventivo
Embudo
Receptculo de contencin secundario
ACCESORIOS
-40
W95100000
Suministrada con embudo, manual de instrucciones, todos los accesorios de conexin, vlvulas de cierre y
receptculo de contencin secundaria. Las opciones de comunicaciones tales como el RS-232, RS-485 y
LonWorks estn disponibles a solicitud. Para obtener ms informacin, comunquese con BOC Edwards o con
su proveedor local.
80
NMERO DE PEDIDO
Unidad de control de temperatura TCU 40/80Plus*
60 Hz
P53289800
P53289900
P60152200
P60154600
P60152100
P60155000
P60156000
P60153200
P60153100
P60153101
P60150400

892 (35.12)
NOTAS
4
PGINA
106

Gestion de Gases para Semiconductores

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