1

Curso de Vaco
2
ndice
El vaco
Definicin
Unidades de medida
Aplicaciones
Conceptos bsicos
Definiciones y frmulas
Componentes bsicos de un sistema de vaco
Piezas de unin
Vlvulas
Filtros, etc
Bombas de vaco
Bombas de membrana
Bombas rotativas
3
Bombas de Pistn
Bombas Scroll
Bombas Roots
Bombas difusoras
Bombas Turbomolecular-Drag
Bombas de sublimacin de titanio
Bombas inicas
Bombas criognicas
Medidores de vaco
Medidores tipo Bourdon
Medidores capacitivos
Sensores tipo Pirani
Sensores de ctodo fro
Sensores de ctodo caliente
4
Deteccin de fugas
Mtodos de localizacin de fugas
Detectores de fugas de Helio
Detector de fugas HLT 260
Eleccin de un detector de fugas
Mtodos de deteccin. Casos prcticos
Espectrometra de masas Cuadrupolar
Ionizacin
Separacin
Deteccin
Tipo de espectros
Definicin de trminos
5
Procedimientos para verificar fugas
Volmenes pequeos sin detector de fugas de Helio
Volmenes grandes en sistemas de alto/ultra alto vaco
Espectrmetro de masas Cuadrupolar
Materiales y tratamientos de superficies
Materiales usados en cmaras de vaco
6
Ejercicios
Sistemas de evaporacin
7
El vaco
8
Definicin
Se define el vaco como un espacio o volumen en el que la
presin es menor que la presin atmosfrica.
Rangos de vaco
Rango de vaco Presin (mbar)
Densidad de molculas/cm
3
Vaco grueso 1013 - 1 10
19
- 10
16
Vaco medio 1 - 10
-3
10
16
- 10
13
Alto vaco 10
-3
- 10
-7
10
13
- 10
9
Ultra alto vaco < 10
-7
< 10
9
9
Unidades de medida del vaco
1 6.8 10
-2
5.17 10
4
51.71 68.9 6.89 10
-2
6.89 10
3
Psi
14.7 1 7.6 10
5
760 1013 1013 1.01 10
5
Atm
1.93 10
-5
1.32 10
-6
1 1 10
-3
1.33 10
-3
1.33 10
-6
0.133 Micron
1.93 10
-2
1.32 10
-3
1000 1 1.33 1.33 10
-3
1.33 10
2
Torr
1.45 10
-2
9.87 10
-4
750 0.75 1 1 10
-3
100 mbar
14.5 0.987 7.5 10
5
750 1 10
3
1 1 10
-5
bar
1.45 10
-4
9.87 10
6
7.5 7.5 10
-3
1.10
-2
1.10
-5
1 Pa
Psi
lbf/inch
2
atm Micron
m.Torr
Torr
mm Hg
mbar bar Pa-N/m
2
10
Aplicaciones del Vaco
11
Procesos Industriales
Empaquetado de alimentos.
Evacuacin y secado de circuitos frigorficos.
Secado e impregnacin de transformadores.
Sistemas de soldadura por haz de electrones.
Hornos de fusin y tratamientos trmicos.
Crecimientos de capas finas (ptica, tratamientos duros, etc.)
Metalizacin de faros y espejos.
Industria de semiconductores.
Sistemas de deteccin de fugas de Helio.
Fabricantes de criostatos y tanques criognicos.
Sistemas de anlisis de gases por espectrometra de masas.
12
Investigacin
Crecimiento de capas en ptica y electrnica.
Sistemas de anlisis de superficie (XPS, SIMS, etc. )
Cmaras de simulacin espacial.
Reactores de fusin.
Grandes aceleradores de partculas.
13
Parmetros atmosfricos/altura
Altura
(Km)
PRESION
(mbar)
TEMPERATURA
(C)
DENSIDAD
(g/cm
3
)
N PARTICULAS
(N/ cm
3
)
0 1013 +15 1.2210
-3
2.510
+19
1.6 835 +5 1.2210
-3
2.510
+19
2 795 +2 1.2210
-3
2.510
+19
4 616 -11 1.2210
-3
2.510
+19
6 472 -24 1.2210
-3
2.510
+19
8 356 -37 1.2210
-3
2.510
+19
10 264 -50 4.110
-4
8.610
+18
12 193 -56.5 4.110
-4
8.610
+18
14 141 -56.5 4.110
-4
8.610
+18
18 103 -56.5 4.110
-4
8.610
+18
20 55 -56.5 8.910
-5
1.8510
+18
14
Parmetros atmosfricos/altura
Altura
(Km)
PRESION
(mbar)
TEMPERATURA
(C)
DENSIDAD
(g/cm
3
)
N PARTICULAS
(N/ cm
3
)
22 40 -54.5 8.910
-5
1.8510
+18
24 29 -52.5 8.910
-5
1.8510
+18
26 21 -50.5 8.910
-5
1.8510
+18
28 16 -48.5 8.910
-5
1.8510
+18
30 12 -46.5 1.810
-5
3.710
+18
31 10 -45.5 1.810
-5
3.710
+18
40 3.1 -13 410
-6
8.310
+16
50 0.9 -10 1.0810
-6
2.310
+16
60 0.3 -25 3.710
-6
7.510
+15
70 4.710
-2
-95 9.410
-8
1.9.610
+15
80 6.710
-3
-105 1.410
-8
2.8410
+14
15
Conceptos bsicos en
Tecnologa de Vaco
16
Presin: Es la fuerza ejercida por un gas sobre una superficie,
dividido por su rea.
Gas: Es un estado de la materia en el que la distancia media entre
molculas es mayor que su tamao y stas tienen libertad de
movimiento.
En tecnologa de vaco se designan gases permanentes a los que
no lican ni solidifican por incremento de presin a una
determinada temperatura de trabajo, mientras que el vapor puede
licuar o solidificar debido a un incremento de presin a una
temperatura superior a su temperatura crtica.
17
Curva Presin Vapor del agua
18
Recorrido libre medio (): Es la distancia que una molcula puede
recorrer entre dos colisiones sucesivas con otras molculas de gas.
Esta distancia puede variar en funcin de la presin, temperatura del
gas y el tamao de las molculas. La frmula que se aplica, para aire a
temperatura ambiente, es la siguiente:
) (
) (
665 . 0
cm
Pa P
=
Presin (mbar) Recorrido libre (cm)
1013 6,6 x 10
-6
1 6,6 x 10
-3
1 x 10
-3
6,6
1 x 10
-6
6.600
19
Flujo viscoso turbulento: El recorrido libre de las molculas es
mucho menor que el dimetro (d), de la conduccin por la que se
mueven (<<d). Adems, las lneas de corriente de gas no son
paralelas, sino que aparecen remolinos. Este tipo de flujo se produce
cuando se comienza a evacuar una cmara de vaco.
20
Flujo viscoso laminar: Se diferencia del anterior, en que las lneas de
corriente son paralelas y el recorrido libre de las molculas es menor
que el dimetro de la seccin por la que se mueven ( < d). Este tipo
de flujo es el que se produce cuando se hace vaco grueso y medio.
21
Flujo molecular: Se produce cuando el recorrido libre medio de
cualquier molcula es mayor que el dimetro de la conduccin por
la que se mueve ( > d). Este flujo se genera cuando se alcanza
en el sistema condiciones de alto y ultra alto vaco.
22
Desorcin: Es la liberacin de molculas atrapadas en la
superficie de una cmara de vaco. La liberacin puede ser
espontnea (gasificacin) o acelerada a travs de algn proceso
fsico, como el calentamiento de las paredes (desgasificacin).
Permeacin: Se define como el transporte de un gas a travs de
las paredes de un slido o lquido de un determinado espesor.
ndice de compresin: Es el cociente entre la presin parcial de
un gas a la salida-expulsin de una determinada bomba de vaco
con respecto a su boca de entrada-succin, sin flujo de gas.
Este valor vara para cada gas, siendo mayor en molculas
pesadas.
23
Presin final alcanzable: Se define como la presin ms
baja que se puede conseguir con una bomba de vaco.
Este vaco final es el equilibrio que se establece entre el
flujo de gas arrastrado por la bomba y el reflujo producido
por fugas, desorciones, vapores de aceite, etc.
Velocidad de bombeo: Es el volumen de gas desplazado
en la unidad de tiempo, a una determinada presin en la
boca de succin de la bomba de vaco.
Conductancia : Volumen que deja fluir una conduccin
debido a la diferencia de presin entre sus extremos
24
Definiciones - Frmulas
25
Conductancia para rgimen laminar
) / ( 7750
3
4
h m
l
P r
C
m
=
C : Conductancia
r : Radio canalizacin (cm)
P
m
: Presin media (mbar)
l longitud canalizacin (cm)
)
2
(
brida Camara +
Siendo :
26
Conductancia para rgimen
molecular
) / ( 340
3
3
h m
l
r
C =
27
Conductancias en paralelo
La conductancia total es la suma de las parciales
4 3 2 1
C C C C C
T
+ + + =
28
Conductancias en serie
4 3 2 1
1 1 1 1
1
C C C C
C
T
+ + +
=
29
Capacidad Bombeo efectiva (S
eff
)
S C
S C
S
eff
+

=
C : Conductancia
S: Capacidad de bombeo en la brida de la bomba
S
eff
: Capacidad de bombeo en la entrada de la cmara
Siendo :
30
Tiempo de bombeo en cmara
sin fuga y sin degasificacin
2
1
P
P
L
S
V
t
n
eff
=
V : Volumen de la cmara
P
1
: Presin inicial
P
2
: Presin final
S
eff
: Capacidad de bombeo efectiva
Siendo :
31
Tiempo de bombeo en cmara
con fuga

=
Q P S
Q P S
L
S
V
t
eff
eff
n
eff 2
1
V : Volumen de la cmara
P
1
: Presin inicial
P
2
: Presin final
S
eff
: Capacidad de bombeo efectiva
Q : Valor de fuga
Siendo :
32
Bombas de Vaco
33
VACIO GRUESO VACIO MEDIO ALTO VACIO ULTRA ALTO VACIO
DIAFRAGMA
ROTATORIA
ROOTS
TURBOMOLECULARES
TURBOMOLECULAR-DRAG
DIFUSORAS
ADSORCION
SUBLIMACION
IONICAS
Rangos de trabajo
CRIOGENICAS
RANGO TRABAJO
10 10
-3
10
-7
10
3
10
-12
EXPANSION POSIBLE
RANGO TRABAJO
PISTON
34
Bombas de membrana
35
Detalle de la bomba
Etapas de
bombeo
36
Principio Funcionamiento
Se basa en el cambio continuo de volumen de una pequea
cmara de bombeo como consecuencia de la expansin y
compresin que sufre su membrana. En la etapa de expansin
se produce la toma de gas y en la de compresin su expulsin.
Suelen tener tres-cuatro etapas de bombeo para llegar a un
vaco final de aprox. 2 mbar.
37
38
Mantenimiento requerido
Cambio membranas
Cambio vlvulas
Membrana
Cmara de
expansin
Vlvulas
Eje
excntrico
39
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Bomba totalmente seca,
utilizada como previa de
turbo molecular-drag
Utilizada en procesos
qumicos, sustituyendo su
elastmero PTFE-
Desventajas
No alcanza un gran vaco
Pequea capacidad de
bombeo
40
41
Bombas rotativas
42
Tipos de bombas rotativas
Etapa simple, con un solo
cuerpo de bombeo y presin
total final < 5x10
-2
mbar
Doble etapa, con dos
cuerpos de bombeo y
presin total final < 5x10
-3
mbar
PAC LINE DUO LINE
43
Principio Funcionamiento
44
Paletas
Rotor
Estator
45
Paletas
Estator
Vlvula de salida
Punto de contacto
Rotor
Aceite
46
Etapas del proceso de bombeo
Aspiracin
Expulsin
Compresin
Aislamiento
47
Bomba rotativa de 2 etapas
48
Aceite
Funciones de sellado y lubricacin
Baja presin de vapor a la temperatura de trabajo
No reactivo
Mantener la viscosidad
Buenas propiedades lubricantes
Tipos
Aceites minerales para bombeo de gases inertes
Aceites sintticos para procesos especiales ( corrosivos, alta
temperatura, etc)
49
Aceites sintticos
Utilizados generalmente en aplicaciones extremas en
las que los aceite minerales no son adecuados :
Polialfaolefinas (PAO) excelente estabilidad a la oxidacin
y trmica
Esteres tambin con excelentes propiedades de estabilidad
trmica y al craqueo se utilizan generalmente en
aplicaciones a altas temperaturas
Perfluorpolieteres Utilizados por su excelente resistencia
qumica ante agentes agresivos y corrosivos y su estabilidad
trmica excelente en aplicaciones con corrosivos ( 0
2
, SF
6
,
F
2
, etc)
50
51
Gas ballast
El gas ballast (lastre de aire) sirve para evitar que
haya condensaciones en el cuerpo de la bomba, en
procesos en los que se tiene que bombear gran
cantidad de vapor de agua. A travs de la vlvula de
gas ballast se admite una cantidad controlada de
aire en la etapa de compresin de la bomba y de
esta forma se consigue que la nueva mezcla gas-
vapor alcance la presin de expulsin antes de
producirse la condensacin.
52
Filtros
Funciones
Funcin de proteccin de la bomba
Evitan la retrodifusin de vapores de aceite a
la cmara de vaco
Tipos
Separacin de partculas
Absorcin de vapores de aceite
Retencin de contaminantes
53
Mantenimiento requerido
Control del nivel de aceite
Cambio aceite antes de su
degradacin
54
Riesgo para la bomba; por
degradacin del aceite P3
55
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Alto ndice de compresin
(10
6
)
Efectiva desde presin
atmosfrica
Bajo mantenimiento. Muy
robusta
.
Desventajas
Retrodifusin de vapores de
aceite al sistema
Arrastre de aceite en
expulsin. Contamina
Proteccin en determinados
procesos
56
57
Bombas rotativas de Pistn
58
Principio de funcionamiento
59
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Exenta de aceite
Exenta de partculas
Ideal como bomba primaria
de Bombas turbo
moleculares o Grupos Roots
Poco mantenimiento
.
Desventajas
Ruidosa
60
61
Bombas Scroll
62
Principio funcionamiento
63
Bombas Roots
64
Principio Funcionamiento
1
1
2
2/3
4
2
3
65
p
1
p
2
Etapas de bombeo
1
2
3
4
66
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Alta capacidad de bombeo
Exenta de aceite
Coste funcionamiento bajo
.
Desventajas
Necesita bomba de apoyo
Tolerancias crticas
Ruidosa
67
68
Bombas difusoras
69
70
71
Principio funcionamiento
Una vez conseguido una P<0,1 mbar con la bomba primaria, se
conecta la resistencia calefactora y el fluido se calienta y llega
hasta la ebullicin producindose un aumento de presin
(aprox. 3 mbar) en el interior de la chimenea. En este momento,
el chorro de vapor generado es expulsado desde el interior a
travs de las toberas con gran velocidad. Este chorro llega a las
paredes refrigeradas de la bomba y condensa, volviendo el
fluido a la base de la chimenea donde se calienta de nuevo. El
chorro de vapor atrapa las molculas y las arrastra, en etapas
sucesivas, hasta su expulsin en la boca de conexin de la
bomba primaria.
Si aumenta la presin en el vaco primario (P> 0,1-0,5 mbar),
las molculas de gas atrapadas se retrodifunden a travs del
chorro de vapor y la bomba difusora deja de ser efectiva.
72
Para evitar la retrodifusin de vapores de aceite al sistema, se
suele colocar una cabeza fra alrededor de la tobera superior.
Se consigue as retener gran cantidad de vapores (hasta el
90%) pero se pierde eficiencia de bombeo.
73
Aceites utilizados
Caractersticas
Muy baja presin de vapor
No reactivos con los componentes del proceso
Buena estabilidad a la oxidacin
Caractersticas tcnicas Aceite
mineral
Aceite
sinttico
Aceite
Silicona
Pentafenil ter
Presin de vapor (20 C) 5 x 10
-7
2 x 10
-8
2 x 10
-8
1 x 10
-10
Resistencia qumica Buena Buena Mejor Muy buena
Viscosidad (20 C) 171 25 39 1000
Resistencia a oxidacin Buena Buena Mejor Muy buena
Vaco final con trampa de
LN
2
< 6 x 10
-8
< 6 x 10
-9
< 6 x 10
-9
< 6 x 10
-9
Vaco final con trampa de
agua a 20 C
< 4 x 10
-6
< 4 x 10
-7
< 6 x 10
-8
< 3 x 10
-8
74
Contaminacin por aceite
75
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Altas velocidades de
bombeo
Sistema robusto
Desplaza altas cargas de
gas
.
Desventajas
Contaminacin de cmara
Dificultad de manejo
Gran capacidad de
accesorios
76
Bombas Turbomoleculares
77
Brida
Rotor
Estator
Conexin vaco
previo
Mecha
lubricacin
Rodamientos
cermicos
Motor
Etapa molecular
esttor
Etapa molecular
rtor
78
Partculas
Alabe en movimiento
con velocidad v
v
79
Principio funcionamiento
Se basan en la direccin y velocidad que adquieren
las molculas de gas al chocar con una superficie
mvil a gran velocidad
Integracin de dos bombas en una ( turbomolecular y
drag)
Compuesta por unos labes en movimiento ( rotor ) y
otros en estado estacionario ( estator ), con las aspas
orientadas de forma inversa
Cada canal rotor - estator supone una etapa de
bombeo
80
Las etapas mayores tienen como funcin succionar el
mayor nmero de molculas posibles
Las etapas menores tienen la misin de comprimir las
molculas hasta su descarga ( Presin mxima
descarga 0.1 mbar )
Para descargar a presiones ms altas , en el rango de
10 mbar, se ha acoplado una bomba molecular, con
varias etapas de bombeo Holweck
La gran ventaja de estas bombas es que permiten
usar como bomba primaria las de membrana (
vaco limpio) logrndose eficiencia similares a las
de bombas rotativas
81
Mantenimiento requerido
Cambio de los
rodamientos cada dos
aos
Cambiar la mecha de
lubricacin cada ao
82
Gases residuales en cmaras de
vaco
Bomba Turbomolecular Bomba Turbomolecular + Placa fra
Bomba Turbomolecular + Placa fra
+ Bomba sublimacin Titanio
83
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Vaco limpio, sin aceite
Fcil manejo, sin vlvulas
Mxima eficiencia de
bombeo en tiempo corto
Desventajas
No admite golpes
Sensible a flujos grandes de
entrada de gas
84
Bombas sublimacin de titanio
85
86
Principio funcionamiento
Se basan en las propiedades de efecto getter que
tiene el titanio cuando sublima
Un filamento de Ti-Mo se calienta hasta que el Ti
evapora y se dirige a paredes laterales formando una
capa
Las partculas de gas al incidir sobre la capa getter
quedan quimisorbidas formando compuestos estables
de Ti, con presiones de vapor muy bajas
Las bombas de sublimacin de Ti se usan como
complemento de las inicas o turbomoleculares
87
Bombas Inicas
88
89
Principio funcionamiento
Bombas tipo diodo
Compuesta de 2 ctodos y un nodo con varios cilindros en
posicin intermedia
Imn permanente rodeando el cuerpo de la bomba
Cuando se produce la descarga, los electrones se dirigen
hacia el nodo y tienen un movimiento helicoidal alrededor
de las lneas del campo magntico
Los electrones ionizan molculas de gas que aparecen en
su larga trayectoria.
Los iones positivos producidos bombardean los ctodos y
arrancan las molculas de Ti que posteriormente forman las
pelculas getter sobre las superficies del nodo.
Estas bombas tienen muy poca capacidad de bombeo
para gases nobles
90
Bombas tipo Trodo
Se aaden dos electrodos exteriores auxiliares para
bombear mejor los gases nobles.
El rango de trabajo de estas bombas es 10
-2
- 10
-11
mbar
aunque se consigue su mxima velocidad de bombeo
entre 10
-6
y 10
-8
mbar
La vida media de los ctodos variar dependiendo de la
presin de trabajo. Por ejemplo, a 10
-5
la vida media ser
de 2.000-5000 horas y a 10
-7
mbar puede alcanzar las
200.000 horas.
91
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Sin ruidos ni vibraciones
Vaco lmite de 10
-11
mbar
Vaco muy limpio, sin apoyo
de bomba previa
Desventajas
Capacidad de bombeo varia
con la presin y tipo de gas
Puesta en funcionamiento a
vacos muy bajos
Muy pesada, contiene
imanes
92
Bombas criognicas
93
94
Principio de funcionamiento
El nitrgeno o helio lquido al expansionarse generan una
superficie fra en la que condensan los gases y vapores del
sistema
La bomba esta compuesta por una cabeza fra de dos etapas y
un compresor que hace circular el helio en un circuito cerrado.
Para evitar sobrecargas por radiacin, estas bombas van
equipadas con una pantalla y un deflector que en algunos casos
se refrigera con LN
2
La superficie fra est recubierta interiormente de una capa de
carbn activo.
95
En la zona del deflector, que es opaco para
reflejar la radiacin, se alcanza una
temperatura de aprox. 80 K y se produce la
condensacin del vapor de agua. En la
superficie de la cabeza fra se alcanzan
entre 10-20K y a esta temperatura se
consigue la condensacin de O
2
, Ar, N
2
y
otros gases (ver tabla).
En la capa de carbn activo se absorben el
hidrgeno, el nen y el helio.
96
Ventajas / Desventajas
Ventajas
Alta capacidad de bombeo
para H
2
O
Desplaza gran flujo de gas
Vaco limpio
Desventajas
Largo tiempo en conseguir
los 20K
Necesita regeneracin
Genera vibraciones en
sistema
Mantenimiento costoso
97
Medidores de vaco
98
Medicin de vaco
Atm 100 10 1 10
-1
10
-3
10
-5
10
-7
10
-9
10
-11
Bourdon
Capacitivo de membrana
Pirani
Ionizacin de ctodo fro (Penning)
Ionizacin de ctodo caliente/ Bayard-Alpert
Espectrmetro de masas cuadrupolo
99
Medidor tipo Bourdon
100
El rango de medida es entre 1000 10 mbar con una
tolerancia de +/- 10 mbar
101
Principio funcionamiento
Se compone de un tubo en forma de arco,
cerrado por un extremo mientras que el otro
se conecta al sistema de vaco donde se va
a medir la presin. Al hacer vaco al tubo
este se arquear con mayor o menor
amplitud en funcin del vaco conseguido y
por medio de un juego de engranajes se
mover una flecha que se desplaza sobre
una escala calibrada
102
Medidor Capacitivo
103
Dependiendo del espesor de la membrana se medirn diferentes
intervalos de presin, que oscilar entre 1000 10
-4
mbar
104
Principio funcionamiento
Est compuesto por un volumen dividido en dos
cavidades independientes separadas por una
membrana metlica. Una de las cavidades se
conecta al sistema de vaco, mientras que la otra, con
una presin determinada, contiene un electrodo que
est muy cerca de la membrana. Al hacer vaco se
deformar la membrana, variando la medida de la
capacidad elctrica del electrodo. La seal obtenida
se procesar y amplificar para obtener una salida de
tensin continua que da la medida de la presin
Las membranas pueden ser de material cermico,
inconel o acero inoxidable
105
Sensores tipo Pirani
106
Entre ciertos rangos de presin, los gases conducen
trmicamente. Los sensores Pirani utilizan este fenmeno
fsico para medida de la presin
El rango de medida de estos sensores es de 1000-5x10
-4
mbar.
La mayor precisin se obtiene entre 100 10
-2
mbar
107
Tipos de sensores Pirani
Sensores de resistencia
variable
El filamento forma parte de
un puente de Wheatstone y
es alimentado con una
intensidad constante. Al
variar la presin, vara la
temperatura del filamento y
por tanto su resistencia,
midindose la variacin del
conjunto con un
galvanmetro
Sensores de resistencia
constante
el filamento se alimenta con
una intensidad variable para
mantener constante la
temperatura del sensor a
diferentes rangos de
presin.
108
Empleo de un sensor patrn de referencia
Se conectan el sensor patrn y el Pirani a comprobar en una
cmara de vaco que alcance una P<10
-4
mbar
Se ajusta el potencimetro Atm en el medidor del sensor
Pirani a comprobar, hasta que el medidor muestre 1000 mbar
Se hace vaco en la cmara hasta P<110
-3
mbar. Vaco medido
con el sensor patrn
Si el sensor Pirani a comprobar est contaminado indicar
P>110
-3
mbar
Se intenta ajustar con el potencimetro Vac, para comprobar
si la ganancia permite alcanzar P<10
-3
mbar
Si nos e consigue P<10
-3
mbar, el sensor est contaminado y
hay que limpiarlo o sustituirlo
Verificacin sensor Pirani
109
Procedimiento de limpieza del
sensor Pirani
Retirar y limpiar el filtro
Limpiar la cmara de medida con un disolvente (p.e.benceno),
manteniendo el disolvente un tiempo para que sea ms efectivo
Eliminar el disolvente
Aadir alcohol isoproplico para eliminar los restos de
disolvente. Repetir la operacin varias veces
Secar a 70 C
Aadir filtro
Verificar nuevamente la medida. Si no se alcanza el vaco final
hay que sustituir el sensor
110
Sensores de ctodo fro
111
Son sensores muy robustos y su rango de medida es desde 10
-2
a 10
-9
mbar
112
Principio de funcionamiento
Se aplica un voltaje en el ctodo que genera una
descarga ( con Presin en la cmara < 10
-2
mbar)
Los electrones producidos se dirigen al nodo siguiendo
trayectorias curvas, debido al campo magntico aplicado
paralelo al eje del nodo
Los electrones ionizan molculas de gas en su
trayectoria, generando a su vez nuevos electrones e
iones, mantenindose la descarga hasta presiones muy
bajas (10
-9
mbar)
La medida de la seal de los iones producidos nos indica
el vaco de la cmara
En caso de contaminacin del electrodo y sus paredes se
regenera fcilmente con una simple limpieza
113
114
Verificacin sensor Penning
Se emplea un sensor patrn de referencia
Se conectan sensor patrn y sensor Penning a comprobar en
una cmara de vaco que alcance una P<10
-6
mbar
Se verifican los valores de medida de ambos sensores
Si el sensor Penning esta contaminado mostrar un valor de
medida menor que el sensor patrn
115
Procedimiento de limpieza del
sensor Penning
Seguir manual de instrucciones para retirar las partes que nos
permita acceder a la cmara de medida
Limpiar cmara de medida y electrodo con unas lija de
granulometra fina
Aclarar con los restos de suciedad con alcohol isoproplico y
secar a 40 C
Reemplazar el igniter ( iniciador de la descarga )
Montar nuevamente todas las partes y verificar la medida del
sensor
Si el sensor est muy contaminado, hay que sustituirlo
116
Sensores de ctodo caliente
Sensores Bayard-Alpert
117
El rango de medida de estos manmetros es de 10
-3
10
-8
mbar
118
El ctodo caliente emite electrones que son acelerados
por un campo elctrico, ionizando en su trayectoria
molculas de gas
Los iones positivos se recogen en el nodo, -colector
de iones
La relacin entre la corriente de iones producidos y la
corriente elctrica emitida por el filamento da una
lectura de presin
Siendo S la sensibilidad del manmetro para cada gas
Principio de funcionamiento
S I
I
P

=

+
119
Limites de deteccin
El lmite de deteccin del detector disminuye, debido al
ruido de seal generados por los Rayos X
El sensor Bayard-Alpert se desarrollo para extender el
lmite de medida de los sensores de ionizacin a
presiones ms bajas
El diseo de la fuente de ionizacin ha variado para
disminuir la posibilidad de generacin de Rayos X, con
una rejilla intermedia entre el filamento y el colector de
iones Se reduce a 10
3
la cantidad producida
llegndose a medir presiones de 10
-11
mbar
120
Deteccin de fugas
Detectores de Helio
121
Definicin
Se define fuga como un diminuto orificio en un
recipiente o conducto, a travs del cual los gases,
vapores o incluso lquidos fluyen desde una zona
donde la presin es mayor hacia otra en donde la
presin es menor
Q: ndice de fuga
P: Variacin de presin
V: Volumen
T: Tiempo
T
V P
Q

=
122
Unidades de medida de fuga
1 1.34 10
6
2.24 10
4
1.7 10
4
2.27 10
4
2.27 10
3
Mol/s
7.45 10
-7
1 1.67 10
-2
1.27 10
-2
1.69 10
-2
1.69 10
-3
cm.
4.45 10
-5
59.8 1 0.76 1.01 0.101 Atm cm
3
/s
5.85 10
-5
78.9 1.32 1 1.33 0.133 Torr l/s
4.41 10
-5
59.2 0.987 0.75 1 0.1 mbar/ls
4.41 10
-4
592 9.87 7.5 10 1 Pa m
3
/s W
Mol/s cm. Atm cm
3
/s Torr l/s mbar/ls Pa m
3
/s W
123
Mtodos de localizacin de
fugas
124
Recipientes con sobrepresin
10 1 10
-1
10
-2
10
-4
10
-6
10
-8
10
-10
10
-12
Prdida de presin
Mtodo sniffer con QualyTest
TM
Test de burbujas
mbar l/s
125
Sistemas de vaco
10 1 10
-1
10
-2
10
-4
10
-6
10
-8
10
-10
10
-12
Aumento de presin
Dependencia del gas. Pirani
mbar l/s
Test de fuga de He con QualyTest
TM
126
Detectores de fugas de Helio
127
Principio de medida
Basado en la Espectrometra de Masas
Las molculas de He sufren los siguientes procesos
Ionizacin por bombardeo electrnico
He + 1e
-
He
+
+ 2e
-
Separacin, en el filtro de masas
Deteccin de los iones en un detector Faraday
Espectrmetro de masas
M > 4
M < 4
M = 4
3 1 2
5
9
11
8
7
6
4
10
1 Ctodo 1
2 nodo
3 Ctodo 2
4 Barrera
5 Extractor
6 Barrera
7 Campo Magntico
8 Supressor
9 Barrera
10 Copa Faraday
11 Pre amplificador
129
Ventajas del uso del He
Abunda en pequea concentracin en la
atmsfera (< 5ppm)
Por su pequeo volumen, puede atravesar
orificios diminutos
Es un gas noble INERTE
No presenta interferencias en el espectro
con otras molculas presentes en la
atmsfera
130
Detector de fugas HLT 260
1 Brida de conexin
2 Presin en la entrada
3 Fuga calibrada
4 Conexin para sniffer o
para aireacin
5 Bomba previa
6 Presin en el previo
7 Bomba turbo especial
8 Espectrmetro de masas
V4
V1
V3 V6
V5
V2
P1
2
1
3
4
5
8
7
6
P2
Vaco primario
Objeto a
testear
P2 > 15 mbar
V4
V1
V3 V6
V5
V2
P1
P2
Medida Counter flow
Objeto a testear
P2 < 15 mbar
P2 > 5 mbar
V4
V1
V3 V6
V5
V2
P1
P2
Medida "Twin-Flow low"
Objeto a
testear
P2 < 5 mbar
P2 > 0.5 mbar
V4
V1
V3 V6
V5
V2
P1
P2
V4
V1
V3 V6
V5
V2
P1
P2
Medida "Twin-Flow high"
Objeto a
testear
P2 < 0,5 mbar
Sniffer Twin-Flow low
V4
V1
V3 V6
V5
V2
P1
P2
V4
V1
V3 V6
V5
V2
P1
P2
Calibracin
138
Eleccin de un detector de fugas
de Helio
Criostatos
Cliente :CERN
Alta velocidad de bombeo para Helio.
Rpida recuperacin del detector en
casos de saturacin con Helio del
sistema. Mnimo tiempo de espera
Grandes volmenes evacuados en
bombas primarias
Cliente :Tanques criognicos
Posibilidades de testeo a latas
presiones ( 10 mbar)
Testeo de componentes en
sobrepresin de Helio
Cliente :Industria de refrigeracin
Respuesta rpida
En sistemas de ultra alto vaco
Cliente :CERN
Lmite de deteccin
Aplicacin Caractersticas
T
e
s
t

g
a
s
T
e
s
t

g
a
s
Integral Local
Mtodos con sniffer
VACUUM
VACUUM
VACUUM
VACUUM
VACUUM
VACUUM
VACUUM
VACUUM
T
e
s
t

g
a
s
Objeto a testear presurizado
Cmara de chequeo en vaco
T
e
s
t

g
a
s
Objeto a testear en vaco
Cmara de chequeo presurizada
Mtodos de deteccin integral
VACUUM
VACUUM
T
e
s
t

g
a
s
Objeto a testear en vaco
Mtodo de deteccin local
VACUUM
VACUUM
T
e
s
t

g
a
s
Pieza a testear en vaco Grandes volmenes
Mtodo de deteccin en vaco :
Grandes volmenes
Cmara
De
vaco
det
det
det
S
S S
Q Q
aux
real
+
=
143
Espectrometra de Masas
Cuadrupolar
144
Fundamento de la Espectrometra de
Masas Cuadrupolar
Un compuesto en fase gas es ionizado,
acelerado, separado de acuerdo a la relacin
masa/carga y detectado
El proceso de ionizacin rompe el compuesto
en fragmentos, cada uno de ellos con su
propia relacin (m/e)
El patrn de fragmentos detectados es el
espectro de masas del compuesto y puede
ser utilizado para su identificacin
145
e
-
Fuente Ionizacin
Cuadrupolo
Filtro Masas
Detector
Filamento
146
Salida Iones
Fuente de Ionizacin
Atomos y Molculas
Electrones
Iones
Entrada
de Gas
Presin
(mbar)
Filamento
10
-05
10
-03
10 10
-04
147
Ionizacin
12
C + 1e
-
12
C
+
+ 2e
-
Atomo In
148
Ionizacin
m/e=6
1 e
-
+
12
C
12
C
++
+ 3e
-
1 e
-
+
18
H2O
m/e=17
1 e
-
+
17
OH 1 e
-
+
17
OH
17
OH
+
+2 e
-
Ionizacin
Fragmentacin - Ionizacin
H
149
Fuentes de Ionizacin
150
Algunos Fragmentos Inicos
Fragmentos Masas adicionales
(m/e) probables In Molecular(s) N (m/e)
6 C++ CO 12, 28, 29
C++ CO2 12, 28, 44
C++ CxHy 12, 13, 14, 26, 27 etc.
12 C+ CO 28, 29
C+ CO2 28, 29, 44
C+ CxHy 13, 14, 26, 27 etc.
14 N+ N2 28, 29
N+ NH3 15, 16, 17
CH2+ CxHy 12, 13, 26, 27 etc.
CO++ CO 28, 29
16 O+ O2 32, 34
O+ H2O 17, 18
CH4+ CH4 12, 13, 14, 15
NH2+ NH3 14, 15, 17
17 OH+ H2O 16, 18
NH3+ NH3 14, 15, 16
18 H2O+ H2O 16, 17
151
Probabilidades relativas de ionizacin
a 100 feb referidas al N
2
1.6 CH
4
2.4 Xe
2.3 SF
6
2.1 SO
2
1.0 Kr
1.7 N
2
O
1.6 HCl
1.4 CO
2
1.4 HF
1.3 NH
3
1.2 NO
1.2 Ar
1.05 CO
1.0 H
2
O
1.0 0
2
1.0 N
2
1.0 Aire
0.44 H
2
0.35 D
2
0.30 Ne
0.15 He
4.0 C
2
H
5
Cl
3.6 C
2
H
5
OH
2.7 CCl
2
F
2
6.0 CCl
4
4.8 CHCl
3
3.7 CH
2
Cl
2
3.1 CH
3
Cl
1.8 CH
3
OH
7.8 C
6
H
4
(CH
3
)
2
6.8 C
6
H
5
CH
3
7.0 C
6
H
5
Cl
5.9 C
6
H
6
6.6 C
6
H
14
6.0 N-C
5
H
12
4.9 C
4
H
10
3.7 C
3
H
8
2.6 C
2
H
6
152
Patrn de fragmentacin de CO
2
153
Espectro de fragmentacin de
diferentes especies a 90 feb
154
Cuadrupolo -Filtro de masas
Barras cilndricas de
acero inoxidable o
Molibdeno
La alineacin es crtica
y no es ajustable
+
+
-
-
U + V cos wt
155
Principio Funcionamiento
Filtro Masas
156
Espectros con diferentes
valores de resolucin
157
Filtro de masas
158
I
i
e
-
I
i
~ 10
-15
....10
-9
A
= Iones positivos
Los iones chocan contra el detector y pierden su carga. Un
convertidor de corriente en voltaje transforma la seal, que es
proporcional a la corriente de iones.
Rango de seal detectable 10
-15
-10
-9
A
Detector Faraday
159
I
i
Ganancia de seal ~ 10
0
- 10
6
Dependiendo del Voltaje aplicado
e
-
e
-
I
i
~ 10
-14
....10
-5
A
Voltaje 0-3500 V
FILTRO DE MASAS
Detector SEM/Channeltron
Los iones chocan contra la superficie
arrancando iones secundarios y,
amplificando la seal de salida hasta
10
6
Presin de trabajo < 10
5
mbar
160
Detectores SEM y Channeltron
161
Tipos de espectros
162
Espectro Analgico
1-100 uma 1-300 uma 1-200 uma
163
Espectro de Barras
164
Deteccin de Concentraciones
mltiples
165
Deteccin de Iones Mltiples
Seleccin de hasta 64 masas
(evolucin en continuo)
18
44
166
Definiciones trminos
167
Resolucin
Se define como la relacin entre la masa m, y la distancia en
unidades de masa, m.
m es la masa en la que se determina la resolucin,
m hay dos definiciones
' m
m
R

=
168
Resolucin al 10 % del valle
Significa que dos masas contiguas, m y m+m, con
similar altura del pico se encuentran resueltas de forma
que la seal del valle entre los picos es el 10% con
respecto a la altura del pico.
Resolucin con respecto anchura del pico
Dos masas contiguas con similar altura de pico son poco
frecuentes, por lo cual seria mejor definir la resolucin
con respecto a la anchura del pico al 10% 50% de su
altura.
169
170
Sensibilidad
La sensibilidad (S) del espectrmetro de masas, para un
determinado gas, es la relacin entre la corriente de iones
(1
+
) recogida en el detector con respecto a la presin
parcial (Pp) del mismo en la fuente de ionizacin.
Para determinar la sensibilidad es necesario especificar la
corriente de emisin del filamento, la energa electrnica y el
valor de resolucin
PAr
Ar
Ar
P
S
+
=
1
171
Presin Parcial mnima detectable
Se define como la presin que origina una seal cuyo valor
es dos veces mayor que la seal generada por el ruido
S
Pm
1 2
=
172
Procedimientos prcticos de
verificacin de fugas en
cmaras de vaco
173
Volmenes pequeos, P>10
-3
mbar
sin detector de fugas de Helio
Cuando no conseguimos la presin final esperada en un
sistema de vaco y siempre que tengamos una vlvula de
aislamiento entre bomba y cmara, debemos proceder
como sigue :
Comprobar que el sensor Pirani no est contaminado
Colocar el sensor en la boca de aspiracin de la bomba y
comprobar que llega a su vaco final
Hacer vaco al sistema, cerrar la vlvula y comprobar el
aumento de presin durante un tiempo de t> 30 min.
174
Tiempo
P
r
e
s
i

n
Degasificacin
Degasificacin
+
Fuga
Si hay fuga, se debe rociar con alcohol cada una
de las uniones y soldaduras. Cuando se produzca
una variacin de presin en el sensor Pirani, nos
indicar el punto de fuga
175
Volmenes grandes, P>10
-3
mbar
Detector de fugas de Helio
Sistemas de alto y ultra alto vaco
Proceder de forma similar a la mencionada anteriormente. Si
la prueba de P demuestra que existe fuga se debe
proceder :
Adaptar la conexin del detector de fugas entre bomba rotativa y
cmara
Comenzar a hacer vaco al sistema hasta llegar a P<25 mbar, se
conecta el detector de fugas y con una pequea botella de Helio se
comienza a rociar de arriba hacia abajo todas las uniones y
soldaduras
176
Sistemas de alto-ultra alto vaco, P< 10
4
mbar
Espectrmetro de masas Cuadrupolar
Se conecta el Espectrmetro de Masas a una de las bridas de
la cmara de vaco
Se hace vaco a la cmara y si P> 10
4
mbar, se roca con
alcohol las uniones y soldaduras. Si se produce una variacin
en la medida del sensor, es indicador del punto de fuga
Si P<10
-4
mbar, se pone en funcionamiento y se hace un
espectro de gases residuales
Si se sigue la relacin H
2
0/N
2
a una P= 5x10
-6
mbar, se pueden
tomar, como aproximados los siguientes valores de fugas
Valor de fuga Relacin H
2
O / N
2
0,35 x 10
-4
mbar l/s 43
1 x 10
-4
mbar l/s 27
8,0 x 10
-4
mbar l/s 15
177
Materiales usados en cmaras
de vaco
178
Propiedades
Resistencia mecnica : Soportar, sin deformarse, la diferencia
de presiones a las que son sometidos
Impermeabilidad : En ningn caso deben pasar los gases
desde el exterior a la cmara de vaco
Inertes : No sufrir corrosin, ni reacciones a alta temperatura,
etc.
Baja presin de vapor
Alto ndice de degasificacin
179
Tratamientos superficiales
Se suelen tratar las paredes interiores de las cmaras
de vaco, para eliminar los componentes adheridos a
su superficie (aceites, grasas, xidos, partculas de
polvo, etc)
Alguno de los mtodos de limpieza son :
Pulido de la superficie, empleando lijas de pequea
granulometra y polvos de pulir.
Desengrasado: Inmersin del componente en cuba de
disolventes y tratamientos de ultrasonidos
Desengrasado con disolvente en fase vapor
180
Limpieza qumica: Hay que elegir los agentes apropiados
dependiendo del tratamiento. Las cmaras de ultra alto vaco
requieren tratamientos muy especiales
Aclarado: Se suele emplear agua desmineralizada.
Posteriormente se aade alcohol isoproplico para eliminar los
restos de agua
Secado
A las cmaras de vaco, una vez producida su limpieza, se
deben cerrar todas sus bocas y tocar con guantes la
superficie tratada
181
ndices de desorcin (Q)
Material Caractersticas.
Superficie
Condicin
superficie
Q mbar l
s.cm
2
1 hora
Q mbar l
s.cm
2
4 hora
Q mbar l
s.cm
2
10 hora
Acero nox.
sin tratar limpia 2,7x10
-7
5,4x10
-8
2,7x10
-8
Acero inox
pulida
limpia
2x10
-8
4x10
-9
2x10
-10
Acero inox
caustic Calentada 1 hora
con aire
1,4x10
-9
2,8x10
-10
1,4x10
-10
Acero inox
granallada Calentada 1 hora
con aire
3x10
-10
6,5x10
-11
4x10
-11
Ni plateado
pulida limpia 2x10
-7
1,5x10
-8
5x10
-9
Cr plateado
pulida
limpia
1,3x10
-8
2,2x10
-9
1,2x10
-9
Acero
oxidada 6x10
-7
1,6x10
-7
1x10
-7
Acero
sin tratar
limpia
5x10
-7
1x10
-7
5x10
-8
Acero
granallada
limpia
4x10
-7
8x10
-8
3,8x10
-8
182
Material Caractersticas.
Superficie
Condicin
superficie
Q mbar l
s.cm
2
1 hora
Q mbar l
s.cm
2
4 hora
Q mbar l
s.cm
2
10 hora
Aluminio
limpia
6x10
-8
1,7x10
-8
1,1x10
-8
Latn
limpia 1,6x10
-6
5,6x10
-7
4x10
-7
Cobre
limpia 3,5x10
-7
9,5x10
-8
5,5x10
-8
Vidrio
limpia 4,5x10
-9
1,1x10
-9
5,5x10
-10
Neopreno
4x10
-5
2,2x10
-5
1,5x10
-5
Perbunan
4x10
-6
1,7x10
-6
1,3x10
-6
Vitn
1,2x10
-6
3,6x10
-7
2,2x10
-7
Vitn
Calentado a
100C (4 h )
1,2x10
-7
5x10
-8
2,8x10
-8
Vitn
Calentado a
150C (4 h )
1,2x10
-9
3,3x10
-10
2,5x10
-10
Tefln
Desgasificado 8x10
-7
2,3x10
-7
1,5x10
-7
183
Ejercicios
184
Ejercicio n 1
Calcular el tiempo de bombeo para alcanzar en una cmara de 14
litros una P= 5 x 10
-2
mbar
1
3
2
1 Cmara de vaco 14 l
2 Medidor Pirani
3 Bomba de vaco rotativa de
10 m
3
/h de capacidad nominal
300
200
24
70
100
185
Clculos
1 Clculo de la conductancia
h m
l
P r
C
m
/ 47
17
05 . 0 2 . 1
7750 7750
3
4 4
=

= =
2 Clculo de la capacidad de bombeo efectiva
h m
S C
S C
S
eff
/ 2 , 8
10 47
10 47
3
=
+

=
+

=
3 Clculo del tiempo de bombeo
s L
P
P
L
S
V
t
n n
eff
61
05 . 0
1000
2 . 8
014 . 0
2
1
= = =
186
Ejercicio n 2
Mismas condiciones que en el ejercicio 1 pero introduciendo
conducciones , vlvulas y codos
1
3
2
1 Cmara de vaco 14 l
2 Medidor Pirani
3 Bomba de vaco rotativa de
10 m
3
/h de capacidad nominal
300
200
24
70
100
Vlvula
750
187
Clculos
1 Clculo de la conductancia
h m
l
P r
C
m
/ 9 . 6
116
05 . 0 2 . 1
7750 7750
3
4 4
=

= =
2 Clculo de la capacidad de bombeo efectiva
h m
S C
S C
S
eff
/ 4
10 9 . 6
10 9 . 6
3
=
+

=
+

=
3 Clculo del tiempo de bombeo
s L
P
P
L
S
V
t
n n
eff
124
05 . 0
1000
4
014 . 0
2
1
= = =
188
Ejercicio n 3
El flujo de gas que desplaza una bomba turbomolecular con una
capacidad efectiva de bombeo de 70 l/s a una P=0.02 mbar
Qu Presin se alcanzar en el vaco primario, trabajando con
una bomba primaria seca de membrana de 1 m
3
/h ?
189
Ejercicio n 4
Valor de fuga mximo considerando que conectamos un detector
HLT 260 en test port 2 a la boca de una bomba Roots de 4000
m
3
/h (WKP 4000)
01 . 0
100 . 1 01 . 0
/ 110 . 1
6 . 3
4000
4000
+
=
= =
FD R
WKP
Q Q
s l S
Una rueda de bicicleta puede tener una prdida
mxima de presin de 1000 mbar en 175 das.
Volumen = 1.5 litros
175 das = 1.5x10
7
segundos
Ejemplo 5
Indice de fuga en mbar l/s
LR
mbar l
s x
x mbarl s = = =

* * .
.
. /
1000 15
15 10
10 10
7
4
191
Sistemas de evaporacin
CVD ( Chemical Vapour Deposition )
193
Seccin de PE CVD
194
Evaporador con can de electrones
195
Esquema de un Sputtering
196
Ejemplo Cmara evaporacin
197
Ejemplo Espectrometra de masas