INGENIERA DE LOS MATERIALES

Revista de Pura y Aplicada Fsica Vol. 45, abril de 2007, p. 395-399 Nano estructurada pelculas de ZnO proceso sol-gel Harish Bahadur, Srivastava AK, Haranath Divi, Chander Harish, Basu A, Samanta SB, Sood KN, Ram Kishore, RK Sharma, Rashmi, Vivekanand Bhatt *, Prem Pal Sudhir Chandra * & * Laboratorio Nacional de Fsica, el Dr. KS Krishnan Road, Nueva Delhi 110 012 * Centro de Investigacin Aplicada en Electrnica, Instituto Indio de Tecnologa, Hauz Khas, Nueva Delhi 110 016
Recibido el 7 de junio de 2006, revisada 28 de diciembre 2006, aceptado 04 de enero 2007 Las pelculas delgadas de ZnO crecido por el mtodo de giro de sol-gel utilizando dos precursores diferentes. Acetato de zinc y nitrato de zinc han caracterizadas por su naturaleza cristalina y nanoestructuras asociadas. En algunos casos, las pelculas consisten en nanoestructuras en forma de nanocristales y nanoneedles de dimensiones en el rango de 15-60 nm. Una comparacin entre la caracterizacin fsica y las nanoestructuras de las pelculas producidas por dos diferentes materiales precursores se ha presentado y los resultados se discuten es vital en trminos de las consideraciones que se rige la cintica de crecimiento de las pelculas de ZnO. Palabras clave: ZnO pelculas, sol-gel, microscopa electrnica de barrido, difraccin de rayos X, microscopa electrnica de transmisin y nano-estructurados. IPC Cdigo: H01F41/30 1. INTRODUCCION: Las pelculas delgadas de ZnO han sido un rea activa de casi la mitad para la investigacin de un siglo debido a la diversidad Aplicaciones Tecnolgicas de ZnO idnea. Es una excelente variedad de materiales para un fotnicos Cuando dopado con dopante aplicaciones adecuadas. A o En las pelculas de ZnO son transparentes utiliza como realizacin de electrodo para dispositivos de visualizacin y de silicio amorfo de las clulas solares. Debido a su piezoelctrico y semiconductor propiedades, pelculas delgadas de ZnO son Utilizado ampliamente en las ondas acsticas de superficie (SAW) Sensores de diversos componentes y MEMS basados en. Las propiedades de las pelculas de ZnO dependern del mtodo de su preparacin. Caracterizacin de ZnO pelculas es importante en la decisin de su dispositivo mrito a la luz de la rentabilidad, coherencia y la fiabilidad del sensor. Es, Malthus, se convierte en importante investigar el cristalino una serie de pelculas de alguna de esta orientacin preferente durante el crecimiento. Los materiales nano estructurados de xido de zinc importancia de la corriente estn en electrnica, ptica y Aplicaciones y forma la base de fotnico Las aplicaciones de la nanotecnologa y sensores moleculares electrnicos. Las nanoestructuras presentan la novela propiedades elctricas, mecnicas, qumicas y pticas se cree que se deben a la superficie los efectos de confinamiento de las nanoestructuras en una dimensin estos objetos son: 1 D, de gran Importancia para comprender algo de fsica bsica fenmenos relacionados con los sistemas

INGENIERA DE LOS MATERIALES de baja dimensionalidad a formar la base de los resultados la prxima generacin de alta nanodispositivos. 2 DATOS EXPERIMENTALES Proceso sol-gel utilizando giro fue utilizado por 10% sol con nitrato de zinc como el material precursor. Mtodos de preparacin de pelculas delgadas fueron esencialmente los mismos como. Fueron estudiados por sus pelculas de absorcin ptica, elipsometra, DRX, SEM, EDS, TEM y STM. Todas estas pelculas las tcnicas que fueron confirmados En primer lugar consistieron en ZnO. 3 RESULTADOS Y DISCUSIN Medidas de elipsometra se realizaron en un Rudolph Investigacin nula tipo elipsmetro mano, en un sola longitud de onda de 546,1 nm, usando ngulos de incidencia en el rango de 50 -75 grados. Las mediciones se hecho en tres ngulos de incidencia y la mejor y ms Resultados consistentes para la extincin del ndice de refraccin coeficiente y el espesor de la muestra de pelcula fina fueron calculados. Los clculos de NK y d se realizaron utilizando Desarrollado en la casa de software. los valores de n result ser muy de acuerdo con lo reportado valores para ZnO. Para la obtencin de espesor viable, los Carreras repetidas de recubrimientos de espn se realizaron. Por diez recubrimientos, un espesor de aproximadamente 80-90A WAS obtenido. Eran las pelculas de naturaleza cristalina Se ha demostrado en los patrones de difraccin de rayos X de la Figura 1 (A y B).

Figura 1 (A) muestra el patrn de difraccin de rayos X para el Que se prepar la pelcula utilizando nitrato de zinc como el material precursor. Figura 1 (B) muestra la DRX difractograma de la pelcula crecido utilizando acetato de zinc como el material precursor. tienen medidas de DRX Demostrado que las pelculas preparadas mediante el uso de acetato de zinc como Tener el precursor cristalina de mayor tamao (25 nm en c direccin del eje) en comparacin con las preparadas utilizando nitrato de zinc como los materiales precursores (20 nm de c direccin del eje)

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Figura 1 difractogramas de rayos X de pelculas delgadas de ZnO Preparado por el mtodo de giro de sol-gel (A) pelcula preparada mediante cinc nitrato como los materiales precursores y (B) de acetato de zinc como los materiales precursores. BAHADUR et al. nanoestructura pelculas de ZnO POR proceso sol-gel

Figura. 2: Pelcula de ZnO delgada sobre el sustrato de silicio Preparado por proceso sol-gel utilizando giro de zinc nitrato como el precursor materiales. La micrografa muestra dendritas

Figura. 3: Pelcula de ZnO delgada en cuarzo fundido sustrato Preparado por proceso sol-gel utilizando giro de zinc como el nitrato material precursor. La micrografa muestra dendritas

Sistema de microanlisis (EDS adjunto). Se muestra de escaneado a fondo a una menor ampliacin con el fin de ver la uniformidad de la pelcula. El zinc pelcula precursora de nitrato preparado mostro una estructura policristalina. Tiene crecimiento con la aglomeracin de las dendritas en algunas reas, tal como se muestra en la Figura 2. Figura 3 muestra la superficie morfologa de la pelcula precursora en el uso de la misma el cuarzo amorfo. Puede verse que la bsica tiene las caractersticas morfolgicas de las aglomeraciones en las pelculas son esencialmente los mismos que en el substrato de silicio. Por otro lado, las caractersticas topogrficas de la pelcula utilizando acetato de zinc como el material precursor. En la figura 4 muestran una superficie lisa.

Pelcula delgada de ZnO en el siliciosustrato Preparado por el proceso de centrifugado de sol-gel usando acetato de zinc como el material precursor. La micrografa muestra una suave En comparacin con la topografa como el uso de nitrato de zinc como el precursor material.

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La Figura 5 muestra la micrografa SEM de la superficie de la pelcula de antera crecido en una oblea de Si oxidado utilizando nitrato de zinc. Las pelculas preparada mostr una tener dos estructuras policristalina diferente morfologas. Micrografas SEM delineado una densa creacin de redes de forma de aguja y de la isla en forma de morfologas. A mayor aumento, en general, las finas agujas afiladas escala convergentes a una punta es de la orden de 15-20 nm, Considerando que la casi esfrica apareci en dos dimetros de la isla en forma de 5 a 10 micras y 0,5 a 1 micra. Es importante destacar que las agujas y la morfologa de la isla mostraron la homognea y la distribucin uniforme en toda la pelcula.

Pelcula delgada de ZnO en el silicio-sustrato preparado por proceso sol-gel utilizando giro de zinc nitrato como el precursor materiales. Las exposiciones micrografa de tamao nano-agujas y las islas morfologas
Figura 6 muestra una versin ampliada de algunas reas seleccionadas de la pelcula. Los dos tipos de morfologas de comer los aglomerados mismos.

Figura 7 muestra una vista en ampliacin extendida. Que se inicien investigaciones TEM esto se muestra con grandes aumentos, estas caractersticas dentro del crecimiento exhibido solo sin rasgos. Adems, en la periferia, normalmente estos Rodeada de islas son ultra finas dendritas tipo crecimiento. Una observacin importante como resultado fue que las micrografas de las superficies de estos. Estas micrografas sugieren que las pelculas preparadas por utilizando nitrato de zinc muestran una rpida y al azar La cristalizacin. Utilizando un equipo microscopa de efecto tnel. Esto se realizado por corrugaciones de deteccin en la densidad de electrones de la superficie que se derivan de las posiciones del tomos de la superficie.

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Figura 7: Punto de vista de aumento prolongado de las caractersticas topogrficas de figura 6.

Figura 8 muestra la disposicin atmica Exponer un enrejado uniforme de la pelcula.

Figura 8: -gel
derivado pelcula delgada de ZnO usando acetato de zinc como el material precursor. La ficha visual representa a la uniformidad de la red

La Figura 9 muestra una vista 3D de la zona seleccionada en el superior magnificada La fotoluminiscencia (PL) espectros del sol-gel se registr la pelcula se deriva utilizando un Perkin-Elmer espectrmetro (modelo LS-55) y una lmpara de flash de xenn como la fuente de excitacin. El PL espectros para la pelcula Si el sustrato, mostr picos anchos centrado en el 650 y 520 nm, respectivamente y, adems de la UV at 380 nm pico (fig. 10). El pico de radiacin UV se atribuye a la banda de punta emisin de ZnO, mientras que los otros dos amplio visibles bandas en las regiones verde y naranja-rojo y se atribuye generalmente a nivel profundo defectos en ZnO de cristal, vacantes e intersticiales tales como las de zinc y oxgeno. El tratamiento de recocido de las pelculas en el aire acerca de hora de la atmsfera mostr que el defecto pico a 520 nm no cambia significativamente, mientras que la intensidad de emisin UV ha disminuido sustancialmente. Esta juega un papel importante en el proceso PL. Cuando Nanorods ZnO de pelculas recocidas en el aire son, ms vacantes de oxgeno e intersticiales de zinc se crean.

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Figura 9: magnificada 3D ficha visual de la figura 8

4 CONCLUSIONES El presente trabajo compara los resultados de caracterizacin de las caractersticas nanocristalinas de ZnO pelculas delgadas preparadas por el mtodo de giro de sol-gel, as como RF-sputtering mtodo. Los resultados muestran algunas caractersticas importantes de las pelculas de ZnO. Estos incluyen evidencia de vacantes de oxgeno como se muestra por las medidas de fotoluminiscencia y la superficie topgrafos que exhiben la naturaleza nanocristalina del material. Mediciones STM han mostrado el arreglo de las posiciones atmicas. Estas tcnicas de caracterizacin sera de gran ayuda en la evaluacin de la calidad de las pelculas para aplicaciones prcticas como el uso MEMS en sensores basados