En la difusión sustitucional, un átomo o molécula ocupa
la posición de otro átomo o molécula en la red cristalina. Este mecanismo es posible porque los átomos o moléculas en los metales sólidos están en constante vibración, lo que les permite moverse a posiciones adyacentes y En la difusión intersticial, un átomo o molécula se mueve a través de un espacio vacío, o intersticio, en la red cristalina. Los intersticios son espacios más pequeños que las posiciones normales en la red cristalina, por lo que solo los átomos o moléculas más pequeños pueden difundirse de esta manera.