Todo lo que quiso saber sobre la

Microscopía
Electrónica...

¡... pero que nunca se atrevió a preguntar!

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 Introducción
¿Qué es la Microscopía Este folleto está escrito para quienes
saben poco, o nada, sobre la microscopía
Electrónica? electrónica y les gustaría saber cómo
funciona un microscopio electrónico,
por qué se usa y qué resultados útiles
puede aportar.

"Con un microscopio se puede ver la

superficie de las cosas. Las aumenta pero
no muestra la realidad. Hace que las
cosas parezcan más altas y más anchas.
Pero no implica que esté viendo las
cosas en sí mismas."
Feng-shen Yin-Te (1771 – 1810)
En The Microscope 1798

Una publicación de
FEI Electron Optics
FEI Electron Optics, una división de
FEI Company, es uno de los proveedores
El microscopio mas importantes en el mundo de
microscopios electrónicos de transmi-
electrónico de sión y de barrido marca Philips.

transmisión El compromiso de Philips con la

Microscopía Electrónica se remonta a
mediados de los años treinta, cuando
colaboró en programas de investigación
en ME con universidades del Reino
Unido y de Holanda. En 1949, la compa-
ñía presentó su primera unidad para
producción de ME, el microscopio
electrónico de transmisión EM100.

Las innovaciones tecnológicas y la

El microscopio integración de la óptica electrónica,
mecánica fina, microelectrónica,
electrónico de ciencias de la computación y técnica
del vacío, han mantenido a Philips a la
barrido vanguardia de la microscopía electrónica
desde entonces.

Número ISBN 90-9007755-3

Técnicas adicionales
C o n t e n i d o

¿Qué es la Microscopía
Electrónica?
Nadie sabe con seguridad quién inventó
el microscopio. El microscopio óptico se
desarrolló, probablemente, a partir del
telescopio de Galileo, durante el siglo
XVII. Uno de los instrumentos más anti-
guos para ver objetos muy pequeños fue
construido por el holandés Antony van
Leeuwenhoek (1632-1723), y estaba for-
mado por una potente lente convexa y
un soporte ajustable para el objeto a
estudiar (espécimen). Con este micros-
copio sumamente sencillo (Fig. 1),
Van Leeuwenhoek bien pudo haber
conseguido ampliar objetos hasta 400x
y, con él, descubrió protozoos, esperma-
tozoides y bacterias, y logró clasificar las
células sanguíneas por su forma.
El factor limitante en el microscopio de
Van Leeuwenhoek era la calidad de la
lente convexa. El problema se pudo
resolver con la adición de otra lente,
para ampliar la imagen producida por la
primera lente. Este microscopio com-
puesto –formado por una lente objetiva
y un ocular, junto con medios para el
enfoque, un espejo o una fuente de luz y
un soporte para sujetar y colocar el
espécimen– es la base de los microsco-
pios ópticos actuales.
4
La palabra se deriva del griego mikros (pequeño) y skopeo (examinar). Desde
los albores de la ciencia ha existido interés en examinar detalles cada vez
más pequeños. Los biólogos han querido analizar la estructura de las células,
bacterias, virus y partículas coloidales. Los científicos de materiales han queri-
do ver fallas en la homogeneidad e imperfecciones en los metales, cristales y
productos cerámicos. En las diversas ramas de la Geología, el estudio detallado
de las rocas, minerales y fósiles, podría proporcionar una valiosa visión sobre el
origen de nuestro pla-
neta y de sus valiosos
recursos minerales.
¿Por qué usar electrones lente objetiva en un medio de elevado
en vez de luz? índice de refracción (aceite) proporcionó
Un microscopio óptico moderno otra ligera mejora, pero estas medidas
(frecuentemente denominado MO) ofre- juntas, sólo llevaron el poder de
ce una amplificación máxima de 1000x, resolución del microscopio
y permite al ojo resolver objetos justo por debajo de
separados 0,0002 mm (ver cuadro A). 100 nm.
En un esfuerzo contínuo para obtener
una mejor resolución, se encontró que
el poder de resolución del microscopio
estaba limitado no sólo por el número y
la calidad de las lentes sino, también, por
la longitud de onda de la luz utilizada
para la iluminación. Era imposible resol-
ver puntos del objeto que estuviesen
más próximos que unos cientos de
nanómetros (ver cuadro B). El uso de
luz de longitud de onda corta, (azul o
ultravioleta) proporcionó una ligera
mejora; sumergir el espéci-
men y la parte
anterior de la
Resolución y Aumento (1)
Con luz suficiente, el ojo humano
Cuadro A
puede distinguir dos puntos separados entre
sí, 0,2 mm. Si los puntos están más próximos,
sólo se verá un punto. Esta distancia se llama
poder de resolución o resolución del ojo. Para
ampliar esta distancia se puede usar una lente, o un
conjunto de lentes (un microscopio) para hacer
posible que el ojo vea puntos, incluso más juntos que
0,2 mm. Pruebe examinar una fotografía de un
periódico o de una revista a través de una lupa,
por ejemplo.
En los años veintes se descubrió que los
electrones acelerados (componentes del
átomo – ver cuadro C), se comportan
en el vacío como la luz.Viajan en línea
recta y tienen una longitud de onda que
es unas 100.000 veces más pequeña que
la de la luz. Además, se encontró que
los campos eléctricos y magnéticos
tienen el mismo efecto sobre los elec-
trones que el que tienen las lentes y los
espejos de vidrio sobre la luz visible.
El Dr. Ernst Ruska, en la Universidad de
Berlín, combinó estas características y
construyó en 1931 el primer microsco-
pio electrónico de transmisión
(frecuentemente abreviado como MET).
Cuadro D El Nanómetro
Por éste y posteriores trabajos sobre el
A medida que las distancias se hacen
tema, recibió el Premio Nobel de Física
más cortas, el número de ceros detrás de
en 1986. El primer microscopio electró-
la coma decimal se hace mayor, de modo
nico usaba dos lentes magnéticas y, tres
que los microscopistas usan el nanómetro
años más tarde, se añadió una tercera
(abreviado nm) como unidad de longitud. Un
lente y se logró una resolución de 100
nanómetro es una millonésima de milímetro
nm (ver cuadro D), doblemente mejor
(10 -9 metros). Una unidad intermedia es la micra
que la del microscopio óptico en esa
(abreviada µm), que es la milésima de milímetro,
época. Actualmente, usando cinco lentes
o 1000 nm.
magnéticas en el sistema de visualización,
se puede conseguir un poder de resolu-
Alguna literatura hace referencia a la unidad
ción de 0,1 nm con aumentos de más
Ångström (abreviada Å) que es 0.1 nm y la micra
de 1 millón de veces.
para el micrómetro.

Fig. 1 Réplica de uno de los 550 microscopios ópticos El Electrón

construidos por Antony van Leeuwenhoek. Una de las formas de examinar un
átomo es visualizarlo como un "sistema
solar" en miniatura, en el que los electrones
orbitan como planetas alrededor de un núcleo central.
Cuadro C El núcleo está formado por partículas neutras y partículas
cargadas positivamente, y los electrones tienen una carga
negativa compensatoria para que el átomo sea neutro. Los elec-
trones, que son aproximadamente 1800 veces más ligeros que las
partículas del núcleo, ocupan diferentes órbitas, cada una de las
Cuadro B
Resolución y Aumento (2) cuales puede alojar un número máximo fijo de electrones.
El poder de resolución de un microsco-
pio determina su aumento máximo. Sólo se Sin embargo, cuando los electrones son liberados del
necesita ampliar el poder de resolución a 0,2 átomo, se comportan de forma análoga a la luz. Es
mm, el poder de resolución del ojo humano, para este comportamiento el que se aprovecha en la
que se revelen todos los detalles finos de un objeto. Un microscopía electrónica, aunque no se debe per-
aumento superior no revelará más información y es der de vista el papel del electrón en el átomo,
innecesario. del que se hará uso más adelante.

El poder de resolución de un microscopio es uno de sus

parámetros más importantes. La razón por la que se
citan los aumentos es que dan una idea de cuán-
to se puede ampliar una imagen.

5
Microscopio electrónico de
transmisión (MET)
El microscopio electrónico de transmi-
sión se puede comparar a un proyector
de diapositivas (Fig. 2). En este último, la
luz de una fuente luminosa se convierte
en un haz paralelo mediante la lente
condensadora; ésta pasa a través de la
diapositiva (el objeto) y luego se enfoca
como imagen ampliada sobre la pantalla,
mediante la lente objetiva. En el micros-
copio electrónico, la fuente de luz es
sustituida por una fuente de electrones
(un filamento de tungsteno calentado en
el vacío), las lentes de vidrio son sustitui-
das por lentes magnéticas y la pantalla
de proyección es reemplazada por una
pantalla fluorescente que emite luz al ser
golpeada por los electrones.Todo el
trayecto desde la fuente hasta la pantalla
está al vacío y el espécimen (objeto) ha
de ser muy fino para permitir que los
electrones lo penetren.
átomo más pequeño). Por ello es que el
microscopio tiene que estar al vacío y por
ello es que los especímenes - para el micros-
Fig. 3 Un moderno microscopio electrónico de
transmisión, el Tecnai 12.
6
No todos los especímenes se pueden
hacer lo suficientemente finos para el
MET.Además, hay un considerable interés
en observar las superficies con más
detalle. Los primeros intentos de
producir imágenes de la superficie de
un espécimen implicaron montar el
espécimen casi paralelo al haz electróni-
co, que incide sobre la superficie con un
ángulo muy pequeño. Sólo una región
muy estrecha del espécimen aparece Cuadro F
enfocada en la imagen, y hay una distor-
sión considerable. La técnica no ha
Microscopía de barrido
encontrado amplia aplicación para el
Imagínese que está solo en una habita-
estudio de superficies.
ción desconocida, en la oscuridad, con sólo
una linterna de haz estrecho. Puede comenzar a
explorar la habitación desplazando el haz de la lin-
terna sistemáticamente de lado a lado, y moviéndose
Cuadro E Penetración gradualmente hacia abajo, de modo que pueda retener
Los electrones son fácilmen- en la memoria, una imagen de los objetos que hay en
te detenidos o desviados por la la habitación.
materia (un electrón es casi 2.000
veces más pequeño y ligero que el Un microscopio de barrido usa un haz electróni-
co en vez de una linterna, un detector de
electrones, en vez de los ojos, y una
pantalla fluorescente y una cámara
copio de transmisión– han de ser muy como memoria.
delgados para que puedan ser vistos con
electrones. Típicamente, el espéci-
men no debe tener un grosor
mayor de unos pocos cien-
tos de nanómetros.
Fig. 2 El microscopio electrónico de trans-
misión, comparado con un proyector Proyector de diapositivas
de diapositivas.
Pantalla de proyección Lente Objetiva
Lente Condensadora
Diapositiva
Fuente de luz
Pantalla fluorescente
Espécimen
Diafragma (delgado) Haz electrónico
Fuente de
electrones
Lente Objetiva Lente
Condensadora
MET

Fig. 5 Un moderno
microscopio electrónico de barrido,
el XL30 ESEM
Microscopio electrónico de barrido
(MEB)
No está totalmente claro quién fue el
primero en utilizar el principio del barri-
do de la superficie de una muestra con
un haz electrónico finamente enfocado
para producir una imagen de la superfi-
cie. La primera descripción publicada
apareció en 1935, en un artículo del físi-
co alemán Dr. Max Knoll.Aunque otro
físico alemán, el Dr. Manfred von
Ardenne, realizó en 1937 algunos experi-
mentos con lo que podría llamarse un
microscopio electrónico de barrido
(usualmente abreviado MEB), no fue sino
hasta 1942 cuando tres americanos, Dr.
Zworykin, el Dr. Hillier y el Dr. Snijder,
quienes describieron por vez primera, un
verdadero MEB con un poder de resolu-
ción de 50 nm y un aumento de 8000x.
Actualmente los MEBs pueden tener un
poder de resolución de 1 nm y pueden
aumentar más de 400.000 veces.
7 de transmisión (B) y de barrido (C).
Fuente de luz
(luz reflejada)
Haz de luz
Espécimen
Fuente de luz
(luz transmitida)
Fuente de electrones
Haz electrónico
Espécimen (delgado)
La Figura 4 compara la microscopía ópti-
ca (usando luz transmitida o reflejada),
con el MET y el MEB. Una combinación
de los principios usados por el MET y el Vacío
MEB, normalmente conocida como
Pantalla fluorescente
Microscopía electrónica de barrido y
transmisión (MEBT), fue descrita inicial-
mente en 1938 por el Dr. Manfred von B
Ardenne. No se sabía cuál era el poder
de resolución de este instrumento.
El primer instrumento comercial en el
que se combinaron estas técnicas fue
un Philips EM200 provisto de una unidad
MEBT, desarrollada por el Dr. Ong de Fuente de electrones
Philips Electronic Instruments en los
EE.UU.(1969). Haz electrónico
En aquel entonces, el poder de resolu-
ción era de 25 nm y el aumento
100.000x. Los METs modernos, provistos Bobina de barrido
de un accesorio de barrido y transmi-
sión (MEBT) pueden resolver 1 nm con
aumentos de hasta 1 millón de veces.
Espécimen (grueso)
Detector Monitor
Vacío
C
Fig. 4 Comparación del microscopio
óptico (A) con los microscopios electrónicos
 Un microscopio electrónico de transmisión está formado por cuatro compo-

nentes principales: una columna de óptica electrónica, un sistema de vacío, la

electrónica necesaria (alimentación de las lentes para el enfoque y desviación

del haz, y el generador de alta tensión para la fuente de electrones), y el

software de control. Un MET de la serie Tecnai está compuesto por una

consola de operación sobre la que se encuentra una columna vertical de unos

25 cm de diámetro, que contiene el sistema de vacío, y los páneles de control

convenientemente colocados para el operador (Fig. 3).

El Microscopio Electrónico
de Transmisión

La columna es el elemento principal.
Consta de los mismos elementos que el
microscopio óptico, como se puede ver
en las trayectorias de los rayos de luz y
de los electrones (Fig. 6). La fuente de
luz del microscopio óptico es sustituida
por un cañón de electrones incorporado
en la columna. Las lentes de vidrio son
sustituidas por lentes electromagnéticas
y el ocular es sustituido por una pantalla
fluorescente.Toda la trayectoria de los
electrones, desde el cañón hasta la pan-
talla, ha de estar en vacío (en otro caso,
los electrones colisionarían con las
moléculas de aire y serían absorbidos),
de modo que la imagen final ha de ser
vista a través de una ventana en la cáma-
ra de proyección. Otra característica
importante es que, a diferencia de las
lentes de vidrio, las lentes electromagné-
ticas son variables: modificando la
corriente que pasa por la bobina de la
lente, se puede variar la distancia focal
(la que determina el aumento). (En el
microscopio óptico, la variación de
aumento se obtiene cambiando de lente
objetiva o desplazando mecánicamente
la misma).
El cañón electrónico
El cañón electrónico está formado por
un filamento, el llamado cilindro de
Wehnelt, y un ánodo. Estos tres elemen-
tos juntos forman un cañón tipo triodo
que es una fuente de electrones muy
estable. El filamento de tungsteno tiene
forma de horquilla y se calienta a unos
2700 ºC.Aplicando una diferencia de
potencial positiva muy alta entre el fila-
mento y el ánodo, los electrones son
extraídos de la nube electrónica que
rodea el filamento y se aceleran hacia el
ánodo. El ánodo tiene un orificio para
que el haz electrónico, en el que los
electrones viajan a varios cientos de
miles de kilómetros por segundo (ver
cuadro G), salga por el otro lado. El cilin-
dro de Wehnelt, que está a un potencial
diferente, agrupa los electrones en un
punto enfocado con precisión (Fig. 7).
Existen otras fuentes de electrones, que
se tratarán brevemente en "Técnicas adi-
cionales", en la página 21.
El haz de electrones que sale del
cañón se concentra en un haz casi
paralelo al espécimen, mediante las len-
tes condensadoras y, después de pasar a
través de éste, se proyecta como imagen
ampliada del espécimen sobre la pantalla
fluorescente en la base de la columna.
Si el espécimen no fuese delgado,
los electrones, simplemente, serían
detenidos y no se formaría ninguna ima-
gen (ver cuadro E "Penetración", en la
página 6). Los especímenes para el MET
tienen, normalmente, un espesor de 0,5
micras o inferior. Cuanto mayor es la
velocidad de los electrones o, en otras
palabras, cuanto mayor es el voltaje de
aceleración del cañón, más grueso puede
ser el espécimen a estudiar.

8
 Velocidad de los electrones Cuadro G
Cuanto mayor es el voltaje de acele-
ración, mayor será la rapidez de
desplazamiento de los electrones. A 80 kV, Fuente
de Filamento
los electrones tienen una velocidad de
150.000 km/segundo (1,5 x 10 8 m/s), que
es la mitad de la velocidad de la luz. Ésta se
Filamento
eleva a 230.000 km/segundo con electrones
a 300 kV (2,3 x 10 8 m/s – más de tres
Cilindro de
cuartas partes de la velocidad de la luz). Wehnelt

Haz electrónico

Generador
de alto voltaje
Ánodo

Fig. 7 Esquema representando el corte transversal del

cañón de electrones de un microscopio electrónico

Fig. 6 Comparación entre las trayectorias de haces de fotones

en un microscopio óptico (MO) con la de electrones en un
microscopio electrónico de transmisión (MET)

Lámpara Electrones
"Iluminación"

Lentes
electro-
Lentes de vidrio magnéticas
"Lente Condensadora"
Cuadro H
Densidad electrónica
"Espécimen"
Lentes ¿Cuántos electrones inciden sobre el
electro-
Lentes de vidrio magnéticas espécimen? Un haz electrónico típico
"Lente Objetiva" lleva una corriente de alrededor de
1 picoamperio (10 -12 A). Un amperio es
1 coulombio/s. El electrón tiene una carga de
"Imagen primaria"
1,6 x 10 -19 coulombios. Por lo tanto, inciden
sobre el espécimen, aproximadamente
6 millones de electrones por segundo.
Lente
electro-
Lentes de vidrio magnética
"Lente Proyectora"

"Imagen final"
Ocular Pantalla
Fluorescente

9
¿Qué sucede en el espécimen
durante el bombardeo electrónico?
Contrariamente a lo que se pudiera
esperar, la mayoría de los especímenes
no son afectados por el bombardeo elec-
trónico mientras éste se mantenga bajo
control. Cuando los electrones inciden
sobre el espécimen, pueden suceder
varias cosas:
a. Algunos de los electrones son
absorbidos, en función del espesor
y composición del espécimen; esto
produce lo que se conoce como
contraste de amplitud en la imagen.
b. Otros electrones son dispersados
en ángulos pequeños, según la compo-
sición del espécimen; esto produce
lo que se llama contraste de fase en
la imagen.
c. En los especímenes cristalinos, los elec-
trones son dispersados en direcciones
muy definidas, que son función de la
estructura del cristal; esto produce lo
que se llama contraste por difracción
en la imagen.
d. Algunos de los electrones que impac-
tan son reflejados (éstos se llaman
electrones retrodispersados).
10 Fig. 8 Sección transversal de la columna de un moderno
microscopio electrónico de transmisión.
e. Los electrones incidentes pueden
hacer que el propio espécimen emita
electrones (éstos se llaman electrones
secundarios).
f. Los electrones incidentes hacen que
el espécimen emita rayos X, cuya
energía y longitud de onda están
relacionadas con la composición
elemental del espécimen.
g. Los electrones incidentes hacen que
el espécimen emita fotones (o luz);
esto se llama cátodoluminiscencia.
h. Finalmente, los electrones que han
perdido una cierta cantidad de energía
en su interacción con el espécimen,
pueden ser detectados por un espec-
trómetro de pérdida energética, que
es el equivalente a un prisma en la
óptica de la luz.
En un MET estándar los dos primeros
fenómenos contribuyen a la formación
de la imagen MET convencional en los
especímenes no cristalinos (biológicos),
mientras que en los especímenes cristali-
nos (la mayoría de los materiales no
biológicos) el contraste de fase y el
contraste por difracción son los factores
más importantes para la formación de
la imagen. Para procesar la información
adicional que se puede obtener estudian-
do las cinco interacciones mencionadas
anteriormente, es necesario añadir al
equipo accesorios o periféricos.
Fig. 9 Quizá el
asesino mundial
más eficiente sea el
virus de la gripe.
Las lentes electromagnéticas
La Figura 10 muestra la sección transver-
sal de una lente electromagnética.
Cuando pasa una corriente eléctrica por
las bobinas (C), se crea un campo
electromagnético entre las piezas pola-
res (P), que forman un entrehierro en el
circuito magnético.Variando la corriente
que pasa por las bobinas, se puede modi-
ficar el aumento de las lentes. Esta es la
diferencia esencial entre las lentes mag-
néticas y las lentes de vidrio. Por lo
demás, se comportan de la misma forma
y tienen los mismos tipos de aberracio-
nes: aberración esférica (el aumento en
el centro de la lente es diferente del
aumento en los bordes), aberración
cromática (el aumento de la lente varía
con la longitud de onda de los electro-
nes del haz) y astigmatismo (un círculo
en el espécimen se convierte en una
elipse en la imagen).
La aberración esférica es una
característica muy importante, que
viene determinada en gran medida por
el diseño y la fabricación de la lente.
La aberración cromática se reduce man-
teniendo el voltaje de aceleración lo más
estable posible, y usando especímenes
muy delgados. El astigmatismo se puede
corregir usando bobinas de compensa-
ción electromagnética variable.
El sistema de lentes condensadoras
enfoca el haz electrónico sobre el
espécimen a investigar todo lo que sea
necesario para lograr la iluminación
adecuada. La lente objetiva produce una
imagen del espécimen que es posterior-
mente ampliada por el resto de las
lentes de formación de la imagen y
proyectada en la pantalla fluorescente.
Si el espécimen es cristalino, habrá
un patrón de difracción en un punto
diferente de la lente, conocido como
plano focal posterior.Variando el aumen-
to de la lente inmediatamente detrás de
la lente objetiva, es posible ampliar el
patrón de difracción y proyectarlo
sobre la pantalla fluorescente. En la serie
de METs Tecnai, la lente objetiva está
seguida de cuatro lentes: una lente de
difracción, una lente intermedia y dos
lentes de proyección. Para garantizar una
gran estabilidad y conseguir el mayor
aumento posible, las lentes de un MET
moderno son refrigeradas con agua.
 En su trayectoria desde el filamento hasta
la pantalla fluorescente, el haz electrónico
pasa a través de una serie de diafragmas
de diferentes diámetros. Estos diafragmas
detienen los electrones que no son nece-
sarios para la formación de la imagen
(ejemplo: los electrones dispersados).
Usando un sistema mecánico especial con
cuatro diafragmas diferentes se pueden
seleccionar desde el exterior de la
columna los diámetros del diafragma de
la lente condensadora, de la lente objetiva
y de la lente de difracción, según sean
requeridos por las circunstancias.
Fig. 10 Sección transversal de
una lente electromagnética.
C es una bobina eléctrica y P es
la pieza polar de hierro dulce.
La trayectoria de los electrones
es de arriba hacia abajo.
C C
Observación y registro
de la imagen
La imagen en la pantalla fluorescente se
puede observar a través de una gran
ventana en la cámara de proyección
(algunos modelos tienen, incluso, dos
ventanas). Para examinar detalles finos,
o para ayudar al enfoque correcto de la
imagen, se puede insertar en el haz una
pantalla de enfoque especial, de grano
fino, y observar a través de un visor
binocular de 12x de alta calidad.
Como en cualquier otra rama de la
ciencia, se desea tener un registro
permanente de lo que se ha observado
con la vista.Antony van Leeuwenhoek
dibujó cuidadosamente lo que vio a tra-
vés de su microscopio. La invención de la
fotografía permitió a los microscopistas
fotografiar lo que veían. Los electrones
tienen la misma influencia que la luz
sobre el material fotográfico. Por consi-
guiente, sólo se necesita sustituir la
pantalla fluorescente por una película
fotográfica para registrar la imagen. En
la práctica, la pantalla fluorescente se
abate hacia arriba para permitir que la
imagen sea proyectada sobre la película
colocada en un plano inferior.También
se puede usar una cámara de TV para
grabar la imagen digitalmente, haciéndola
adecuada para procesamiento y
análisis posteriores.
La observación por TV es útil con fines
didácticos y para ocasiones en las que
se desee que la imagen sea vista por
un grupo de personas.También se puede
usar para registrar fenómenos dinámi-
cos, utilizando una grabadora de vídeo,
o como señal de entrada en un sistema
de análisis de imágenes.
Fig. 11 Al igual que la tela de un paraguas
produce un patrón de puntos de luz, un cristal
(en este caso un semiconductor) produce un
patrón de difracción que se puede fotografiar
(ver inserción).

p p

p p

C C

Cuadro I Difracción
Cuando una onda pasa a través de
una estructura periódica que tiene el mismo
orden de magnitud que la longitud de onda, la onda
emergente produce un patrón más allá del objeto. El fenó-
meno puede ser observado cuando las olas marinas pasan a
través de una línea uniforme de postes, o cuando se mira una
fuente de luz a través de un paraguas. La fuente de luz aparece como
un patrón rectangular de puntos de luz, brillantes en el centro y Fig. 12 Una técnica especial de
perdiendo intensidad hacia el exterior. Esto es producido por la difrac- difracción de electrones (HAADF)
ción de la luz a través del tejido de la tela del paraguas, el tamaño y forma produjo esta espectacular imagen.
del patrón proporciona información sobre la estructura (proximidad
y orientación del tejido). Los electrones son difractados exactamente de la
misma manera por un cristal, y el patrón de puntos en la pantalla del
microscopio proporciona información sobre la red del cristal (forma,
orientación, y separación de los planos de la red) – ver Fig. 11.

11
Vacío
La presión atmosférica normal del aire es alrededor de
760 mm de mercurio. Esto significa que la presión de la
atmósfera es suficiente para soportar una columna de mer-
curio de 760 mm de altura. Los físicos modernos usan
el Pascal (Pa). Presión normal del aire = 100.000 Pa;
presión residual en el microscopio = 2,5 x 10 -5 Pa. A esta
presión, el número de moléculas de gas por litro
es alrededor de 7x10 12 y la probabilidad de que un
electrón choque con una molécula de ga al atravesar
la columna es cercano a cero.
Cuadro J
Vacío
Los electrones se comportan como la
luz solamente cuando se manipulan en el
vacío. Como se ha mencionado anterior-
mente, toda la columna, desde el cañón
electrónico hasta la pantalla fluorescen-
te, e incluyendo la cámara, se encuentran
al vacío. Diversos niveles de vacío son
requeridos: El vacío más elevado es alre-
dedor del espécimen y en el cañón; en la
cámara de proyección y en el recinto de
la cámara fotográfica se encuentra un
vacío menor. Para mantener estos nive-
les se usan diferentes bombas de vacío.
El vacío más alto producido es del orden
de una diezmillonésima de milímetro de
mercurio (ver cuadro J).
La electrónica
Para obtener la resolución tan
elevada que permiten los
modernos METs, el voltaje de
aceleración y la corriente de las
lentes debe ser extremadamente
estable. La unidad de la fuente de
alimentación contiene varias fuentes
de suministro cuya tensión o corrien-
te de salida no se desvía más de una
millonésima del valor seleccionado para
una finalidad determinada. Dichas estabi-
lidades requieren circuitos
electrónicos muy sofisticados.
El diseño mejorado de la óptica electró-
nica ha hecho posible un mayor número
de técnicas electron-ópticas cada vez
más complicadas. Ello, a su vez, ha creado
la necesidad de una operación más sen-
cilla. Las técnicas electrónicas digitales,
en general, y las técnicas basadas en
microprocesadores en particular
juegan un papel muy importante en este
aspecto. Los modernos microscopios
electrónicos emplean una PC (computa-
dora personal) potente y rápida para
Fig. 15 Disposición de
átomos en un cerámico.
controlar, vigilar y registrar las condicio-
nes de operación del microscopio. Esto
da lugar a una drástica reducción en el
número de botones de mando en com-
paración con los modelos antiguos, y a
un microscopio que es muy sencillo de
usar. Más allá, esto permite incorporar
técnicas especiales al instrumento, de tal
forma que el operador pueda realizarlas
utilizando los mismos controles. La PC
se puede conectar a una red para poder
hacer copias de seguridad automáticas y
para descargar los resultados a otras
estaciones de trabajo. El microscopio
siempre se podrá actualizar instalando
un nuevo software o sustituyendo la
computadora por un modelo de última
tecnología.
Fig. 16
Cromosoma de una Fig. 17 Tejido
célula humana hilvanado
cancerosa. (imagen MEB).

Para evitar tener que evacuar toda la

columna cada vez que se cambia de
espécimen o de material fotográfico, o
el filamento, se incorporan varias esclu-
sas y válvulas de separación. En los METs
modernos, el sistema de vacío está
totalmente automatizado, se vigila
continuamente el grado de vacío y
está totalmente protegido contra los
problemas de funcionamiento.

Fig. 14 Contornos
plegados de un
semiconductor.

12
Orientación y manipulación
del espécimen
Con la mayoría de los especímenes no es
suficiente moverlos sólo en el plano hori-
zontal.Aunque el espécimen sea delgado,
en la imagen hay información que provie-
ne de diversas profundidades del mismo.
Esto se puede ver inclinando el espécimen
y tomando estereofotografías. Para definir
el eje de inclinación, es necesario poder
rotar el espécimen. Los especímenes cris-
talinos necesitan tener un segundo eje de
inclinación, perpendicular al primer eje de
inclinación, para poder orientar una parte
de éste y así poder obtener el patrón de
difracción. Estos requisitos se pueden
satisfacer mediante un dispositivo
denominado goniómetro.
El goniómetro es una platina porta-
espécimen diseñada para proporcionar,
además de la traslación del espécimen a
lo largo de los ejes X e Y, inclinación alre-
dedor de uno o dos ejes, y rotación, así
como movimiento, a lo largo del eje Z
(altura del espécimen) paralelo al eje del
haz.También es habitual disponer de
porta-espécimenes para calenta-
miento, enfriamiento y tensión
para experimentos especializa-
dos en el microscopio. El
goniómetro se monta muy
próximo a la lente objetiva;
el espécimen se coloca, real-
mente, en el campo de la
lente objetiva, entre las piezas
polares, debido a que es allí
donde las aberraciones son
menores y la resolución
es máxima.
El propio goniómetro proporciona
movimiento motorizado de los
ejes X,Y y Z, e inclinación alre-
dedor de un eje. El espécimen
se monta cerca del extremo
de un soporte en forma
de varilla que, a su vez, se
introduce en el goniómetro
a través de una esclusa.
Es la varilla soporte del
Fig. 13 Especímen perfectamente localizado en una oblea de semiconductor de 200 nm con un espesor
cercano a 300 nm. Se realizan cortes para separar parcialmente la sección. La oblea se inclina a 60º y se
hacen cortes con el FIB en la base y los lados. A partir de aquí el fresado al espesor definitivo se hará a
bajas corrientes de haz y los cortes finales de liberación se harán a una inclinación de 0º.
13
espécimen la que proporciona el eje de
inclinación extra, o la rotación, o el calen-
tamiento, o el enfriamiento, o la tensión,
siendo necesario un soporte especial para
cada finalidad.
Preparación del espécimen
El MET se puede usar en cualquier rama
de la ciencia y de la tecnología en la que
se desee estudiar la estructura interna de
especímenes hasta el nivel atómico. El
espécimen se debe poder estabilizar y
hacer lo suficientemente pequeño (unos 3
milímetros de diámetro) para permitir su
introducción en la columna del microsco-
pio al vacío, y lo suficientemente delgado
(menos de 0,5 micrones) para permitir el
paso de los electrones.
Cada rama de la ciencia tiene sus propios
métodos de preparación del espécimen
para microscopía electrónica. En biología,
por ejemplo, los tejidos se tratan, a veces,
como sigue: primero se aplica un trata-
miento químico para eliminar el agua
y conservar el tejido lo más cercano a
su estado original; luego se realiza una
inclusión en una resina endurecedora;
después de que la resina se haya endure-
cido, se cortan láminas finas (secciones)
con un espesor medio de 0,5 micróme-
tros, mediante un instrumento llamado
ultramicrótomo, provisto de una cuchilla
de vidrio o de diamante. Las secciones
delgadas así obtenidas, se colocan en un
porta-espécimen, usualmente una rejilla
de cobre, de 3 mm de diámetro, recubier-
ta con una capa de carbono amorfo de
0,1 micrómetros de espesor.
En metalurgia se aplica, a veces, el
siguiente método de preparación: un
disco del material, de 3 mm de diámetro
(de un espesor, digamos, 0,3 mm), se trata
químicamente de tal forma que en el cen-
tro del disco se ataque totalmente el
material.Alrededor de este orificio, habrá,
usualmente, zonas que sean lo suficiente-
mente delgadas (aproximadamente 0,1
micrómetros) que permitan el paso de los
electrones. En un semiconductor se
desea, a veces, cortar una sección de
material perpendicularmente a la superfi-
cie para investigar un defecto. Esto se
hace mediante un ataque con haz de
iones.Volveremos a ello en una sección
posterior.
Una técnica que está adquiriendo
importancia en el campo de la biología
estructural, es la congelación del
espécimen y su observación en
estado congelado.
Está fuera del alcance de este folleto des-
cribir las muchas técnicas de preparación
de especímenes que se usan hoy día. Lo
que podemos decir es que la preparación
de un diminuto espécimen para MET es,
con frecuencia, relativamente complicada
y, seguramente, más complicada que el
manejo de los METs actuales.
Microscopía electrónica de Barrido
y Transmisión (MEBT)
La técnica puede ser aplicada en un MEB,
pero hay mucho más interés en aplicarla
en un MET debido a que las lentes bajo
el espécimen amplían el número de posi-
bilidades para obtener información.
Esta técnica fue demostrada por vez
primera en 1969 por Philips. Hoy, la
mayoría de los METs, se pueden equipar
con este módulo, y lo que fue una vez un
accesorio, ahora forma parte integral
del instrumento.
Los últimos MET´s de Philips ofrecen una
resolución de 1 nm y rangos de aumentos
mayores a 1 millón de veces.
Una vez que el accesorio de barrido
forma parte de la columna del MET, es
posible obtener ventajas de la información
proveniente de los electrones retrodis-
persados, así como de los electrones
secundarios que son emitidos durante el
bombardeo del espécimen.
 Un microscopio electrónico de barrido, como el MET, está compuesto por una

columna de óptica electrónica, un sistema de vacío y de la electrónica. La

columna es notablemente mas corta porque sólo hay tres lentes para enfocar

los electrones en un haz fino sobre el espécimen; además, no hay lentes bajo

el espécimen. La cámara del espécimen, por otra parte, es mayor debido a

que la técnica MEB no impone otras restricciones sobre tamaño del espéci-

men que las impuestas por el tamaño de su cámara de espécimen. La unidad

electrónica es más pequeña: aun-

El Microscopio que contiene electrónica de barrido

y visualización, que el MET básico

Electrónico de no tiene, las alimentaciones de las

lentes y el voltaje de aceleración son

Barrido considerablemente más compactas.

Todos los componentes de un MEB
se alojan, por lo general, en una unidad
(Fig. 5, pág. 7).A la derecha está la
columna de óptica electrónica montada
sobre la cámara del espécimen. En el
gabinete inferior está el sistema de vacío.
A la izquierda está el monitor de visuali-
zación, el teclado, y un "ratón" para
controlar el microscopio y la cámara.
Todo lo demás está bajo la mesa
superior, lo que proporciona al instru-
mento un aspecto despejado.
El cañón electrónico en la parte
superior de la columna produce un haz
de electrones que se enfoca en un fino
punto menor de 4 nm de diámetro
sobre el espécimen. Este haz es barrido
en un arreglo rectangular sobre el espé-
cimen.Además de otras interacciones
con el espécimen, se producen electro-
nes secundarios y estos son detectados
por un detector adecuado. La amplitud
de la señal de los electrones secundarios
varía con el tiempo de acuerdo con la
topografía de la superficie del espécimen.
La señal se amplifica y se usa para hacer
que varíe en concordancia con la brillan-
tez del haz electrónico de un tubo de
rayos catódicos (CRT).Tanto el haz del
microscopio como el del CRT, son
explorados a la misma frecuencia y
hay una relación unívoca entre cada
punto en la pantalla del CRT y el punto
correspondiente del espécimen.Así se
construye la imagen (ver la Fig. 18). La
relación entre el tamaño de la pantalla
del monitor de visualización (CRT) y el
tamaño de la superficie explorada sobre
el espécimen es la amplificación (ver
cuadro K). Se consigue aumentar la
amplificación reduciendo el tamaño de
la superficie barrida sobre el espécimen.
El registro se realiza fotografiando la
pantalla del monitor (o, más usualmente,
una pantalla separada de alta resolución),
haciendo impresiones de vídeo o guar-
dando la imagen digitalmente.
El cañón electrónico
El cañón electrónico está compuesto
por un filamento y el cilindro Wehnelt, y
es igual que el de un MET.Tampoco es
muy diferente el sistema de iluminación,
compuesto por el cañón electrónico,
ánodo y lentes condensadoras. La lente
final enfoca el haz sobre la superficie del
espécimen a estudiar.
Las diferencias más importantes entre el
MEB y el MET son:
a. El haz no es estático como en el MET:
con la ayuda de un campo electromag-
nético, producido por las bobinas de
barrido, el haz explora línea por línea
sobre un área extremadamente
pequeña de la superficie del espéci-
men (ver cuadro K).
b. El voltaje de aceleración es considera-
blemente menor que en el MET,
porque ya no es necesario penetrar
el espécimen; en un MEB varía entre
200 y 30.000 voltios.
c. Los especímenes no necesitan
preparaciones complicadas.
Cuadro L

14
 Aumento del MEB
longitud de una línea "escrita"
por el haz electrónico sobre el
monitor
Aumento del MEB =
longitud de una "pista" del
haz electrónico sobre
el espécimen

Cuadro K

Filamento de la fuente
Filamento
Diafragma del Wehnelt Filamento

Generador de Ánodo
Diafragma del Wehnelt alto voltaje

Ánodo Vacío
Diafragma del Wehnelt
Haz electrónico
Lente electromagnética

Fig. 18 Diagrama
esquemático de un Vacío
MEB mostrando
la columna y cómo Generador
de Barrido
se forma la imagen
Bobina de deflexión
en el monitor.

Lente electromagnética
Bobina de
deflexión
Vacío
amplificador
Espécimen de señal

A Imagen en la panta-
lla fluorescente
del monitor de TV
Microscopio B
C
electrónico de Barrido
En la introducción, comparamos el MEB
funcionamiento de un MEB, con
algunas restricciones, con un microscopio
de luz reflejada (Fig. 3). Otra comparación
válida se ilustra en la Fig. 18. Las trayectorias
del haz electrónico en un MEB son muy similares
a las de un monitor de TV. Ambos dispositivos tienen
un cañón electrónico, ambos están al vacío, ambos tienen
bobinas de deflexión

Los electrones producidos cuando el haz primario impacta con el espéci-

men en el MEB, son detectados y convertidos en una señal eléctrica; en
el monitor, los electrones primarios se convierten en luz para producir
una imagen sobre la pantalla fluorescente.

15

Interacciones de los
electrones con la materia Cuadro M
En la visión moderna de la
materia, un átomo está compuesto
por un núcleo fuertemente cargado,
rodeado por varios electrones en órbita
(ver cuadro C, página 5). El número de
electrones es igual al número de protones del
núcleo, éste se denomina número atómico
del átomo. El electrón que llega puede inter-
accionar con el núcleo y ser retrodispersado
prácticamente sin pérdida de energía (igual
que una sonda espacial es desviada por un
planeta durante la confluencia). O puede
interaccionar con los electrones que están en
órbita: un electrón puede ser expulsado del
átomo (éste es un electrón secundario), y
el átomo con un electrón menos restaura
su estado basal emitiendo su exceso de
energía en forma de un cuanto de
rayos X o de un fotón de luz.
(Ver cuadro P, página 20).
16
¿Qué sucede en el espécimen
durante el bombardeo electrónico?
Cuando se trató el MET, se vio que
cuando los electrones chocan con el
espécimen se producen varios
fenómenos. En general, cinco de
estos fenómenos se usan en un MEB
convencional (ver cuadro M).
a. El propio espécimen emite electrones
secundarios.
b. Algunos de los electrones
primarios son reflejados (electrones
retrodispersados).
c. El espécimen absorbe electrones.
d. El espécimen emite rayos X.
e. El espécimen, a veces, emite
fotones (= luz).
Todos estos fenómenos están relaciona-
dos entre sí y todos ellos dependen en
cierta medida de la topografía, el número
atómico (ver cuadro M) y el estado
químico del espécimen. El número
de electrones retrodispersados, de
electrones secundarios y de electrones
absorbidos en cada punto del espéci-
men, depende de la topografía del
espécimen en una medida mucho más
importante que las demás propiedades
mencionadas. Por esta razón, estos fenó-
menos son utilizados en primer lugar
para formar la imagen de la superficie
del espécimen.
Detección de los electrones
Los detectores para los electrones
retrodispersados y electrones secunda-
rios son, usualmente, detectores de
centelleo o detectores de estado sólido.
En el primer caso, los electrones chocan
con una pantalla fluorescente que, inme-
diatamente después, emite luz que es
amplificada y convertida en una señal
eléctrica mediante un tubo fotomultipli-
cador. El último detector funciona
amplificando la diminuta señal producida
por los electrones que llegan a un
dispositivo semiconductor. Cuando el
espécimen no está conectado directa-
mente a tierra, sino a través de una
resistencia, los electrones que no han
sido reflejados generan una diferencia
de potencial a través de la resistencia.
Esta diferencia de potencial cambiante,
puede ser amplificada y la señal resultan-
te puede ser usada para producir una
tercera clase de imagen en el monitor.
Esta función también permite el estudio
de fenómenos eléctricos (dinámicos)
en dispositivos electrónicos, tales como
los circuitos integrados.
Aumento y resolución
En el MEB el aumento está totalmente
determinado por el tipo de circuitos
electrónicos que barren el haz sobre el
espécimen (y simultáneamente sobre la
pantalla fluorescente del monitor en el
que se despliega la imagen).
El aumento puede ser de tan grande
como 300.000x, lo cual es, normalmente,
más que suficiente. En principio, la
resolución de un MEB está determinada
por el diámetro del haz sobre la
superficie del espécimen. La resolución
práctica, sin embargo, depende de las
propiedades del espécimen y de la técni-
ca de preparación del mismo, y de
muchos parámetros del instrumento,
como la intensidad del haz, el voltaje de
aceleración, la velocidad de barrido, la
distancia desde la última lente al espéci-
men (denominada usualmente distancia
de trabajo), y el ángulo de la superficie
del espécimen con relación al detector.
Bajo condiciones óptimas, se puede
obtener una resolución de 1 nm (ver
cuadro N).
Observación y registro de
la imagen
Un MEB está provisto, usualmente, de
dos monitores de imagen, uno para
observación por el operador y el otro,
un monitor de alta resolución, equipado
con una cámara fotográfica convencional
(que puede ser de 35 mm o Polaroid).
Para facilitar la observación y elección
correcta de los parámetros mencionados
anteriormente, los MEBs de Philips tie-
nen una memoria de imagen en la que la
imagen es construida cada vez que se
efectúa un barrido y mostrada a veloci-
dad de TV, para que haya una imagen
estable y libre de parpadeo, en el moni-
tor de visualización. Las imágenes son
digitales y se pueden registrar por pro-
cedimiento electrónico para tratamiento
y análisis posteriores.
Procesamiento de la imagen
Como en un MEB la imagen es produci-
da de forma totalmente electrónica,
ésta puede someterse a toda clase de
tratamientos utilizando la electrónica
moderna. Esto incluye una mejora del
contraste, inversión (el blanco es
 Fig.19 . Investigación forense de un filamento de tungsteno de una
lámpara de automóvil después de un accidente. Los glóbulos de
vidrio fundido en el filamento muestran que en el momento del
impacto la lámpara estaba encendida. Foto cortesía del Dr. Rabbit,
Military School, Bruselas

convertido en negro, etc.), mezcla de

imágenes procedentes de varios detecto-
res, sustracción de imágenes producidas
por diferentes detectores, codificación
de colores y análisis de imagen.Todas
estas técnicas pueden ser aplicadas si se
adecuan a la finalidad primaria de extra-
er la mejor información posible del
espécimen.

Vacío
En general se produce un vacío lo sufi-
cientemente bajo para el MEB mediante
una bomba de difusión de aceite, o una
bomba turbomolecular, asistida en cada
caso por una bomba rotativa para hacer
el vacío previo. Estas combinaciones
también proporcionan tiempos de cam-
bio razonables del espécimen, filamento
y diafragma (menos de 2 minutos) sin
necesidad de usar esclusas de vacío. El
sistema de vacío del MEB es controlado
de forma totalmente automática y prote-
gido contra fallas de operación.
Electrónica
En el MEB, el voltaje de aceleración y
las corrientes necesarias para el funcio-
namiento del cañón electrónico y las
lentes condensadoras deben ser lo
suficientemente estables para alcanzar
la máxima resolución. De forma análoga,
la estabilidad de los circuitos electróni-
cos asociada con los detectores debe
estar extremadamente bien controlada.
Es común encontrar rangos de
estabilidad de 1 parte por millón.
Todas las unidades electrónicas van
alojadas en la consola del microscopio
y son controladas por una computadora
personal (PC), usando un teclado y
un ratón.
Aplicaciones y preparación del
espécimen
Se puede usar un MEB siempre que se
requiera información sobre la superficie
de un espécimen. Esto se aplica a
muchas ramas de la ciencia y de la
tecnología, así como a las ciencias de
la vida. El único requisito es que el espé-
cimen pueda soportar el vacío de la
cámara y el bombardeo electrónico.
Muchos especímenes
se pueden introducir en la
cámara sin preparación de
ninguna clase. Si el espécimen
contiene componentes volátiles,
como agua, será necesario eliminarla
mediante un proceso de secado (o, en
algunas circunstancias, puede ser un
sólido congelado). Los especímenes no
conductores se cargarán por el bombar- Resolución en el MEB
deo electrónico y necesitan ser recu- La resolución (determinada por el tamaño del
biertos de una capa conductora. Debido haz incidente) significa que se pueden conseguir
a que un elemento pesado, como el oro, aumentos del orden de 300.000 veces. Si la pan-
también proporciona una buena produc- talla de visualización es, pongamos por caso, de
ción de electrones secundarios y, por lo 300 mm de anchura, la anchura total de la zona
tanto, una buena calidad de imagen, barrida será de sólo 1 micrómetro.
este es el elemento favorito para el
recubrimiento.Además produce un
recubrimiento de grano fino y se aplica Cuadro N
fácilmente en un metalizador por bom-
bardeo iónico. La capa necesaria para
garantizar la conductibilidad es bastante
delgada (unos 10 nm). Considerándolo dos, que necesitan
todo, la preparación de los especímenes ser estudiados mien tras
a ser investigados mediante MEB no es están en funcionamiento. En dichos
tan complicada como la preparación de casos es necesario emplear técnicas
los especímenes para la MET. especiales para obtener imágenes satis-
factorias. La microscopía electrónica de
A veces es imposible, o no deseable, bajo voltaje es una de estas técnicas. Los
preparar un espécimen para su observa- modernos MEB´s pueden ser adaptados
ción al MEB: muchos especímenes en para trabajar con todas estas técnicas
aplicaciones forenses, por ejemplo, las especiales, la mayor parte de las ocasio-
obleas de silicio usadas en la fabricación nes sólo mediante la adición del acceso-
de CIs, y los propios circuitos integra rio adecuado.

17
Orientación y manipulación del
espécimen
Como se ha dicho, la calidad de imagen
de un MEB depende de la orientación
y la distancia entre el espécimen y los
detectores y la lente final. La platina del
espécimen permite que el espécimen
se mueva en un plano horizontal (direc-
ciones X e Y), hacia arriba y abajo
(dirección Z) y también que sea rotado
e inclinado a voluntad. Estos movimien-
tos están, frecuentemente, motorizados
y son controlados por la PC.
Los diversos modelos de MEB de una
gama difieren en el tamaño de sus
cámaras de espécimen, lo que permite
que se introduzcan y manipulen especí-
menes de dimensiones diversas.
El tamaño máximo del espécimen
también determina el precio, porque
cuanto mayor es la cámara del espéci-
men, mayor ha de ser el movimiento del
goniómetro, y más grande debe ser el
sistema de bombeo para obtener y
mantener un buen vacío.
El modelo más sencillo acepta
especímenes de unos centímetros de
diámetro, y puede moverlos 50 mm
en las direcciones X e Y. La cámara
más grande acepta muestras de
hasta 200 mm de diámetro y puede
desplazarlos 150 mm en cada dirección.
Todos los modelos permiten inclinar las
muestras en ángulos elevados y ser
rotadas 360 grados.
Hay platinas especiales para calentar,
refrigerar y estirar los especímenes. En
vista de la amplia variedad de tamaños
de muestra posibles, estas platinas son
fabricadas generalmente por empresas
especializadas.
18
ESEM
Como se ha indicado anteriormente,
las muestras para el MEB convencional
tienen que ser, generalmente, limpias,
secas, compatibles con el vacío y eléctri-
camente conductoras. En los últimos
años se ha desarrollado la Microscopía
electrónica de barrido ambiental (ESEM),
para proporcionar una solución única
para muestras problemáticas. Ejemplos
de especímenes que presentan limita-
ciones son los tejidos de lana o algodón,
cosméticos, grasas y emulsiones (por ej.
la margarina).
Los intentos de ver un espécimen
conteniendo componentes volátiles,
colocado en una cámara ambiental (ver
cuadro O) aislada de la columna princi-
pal por una o más aperturas de bombeo
diferencial, tropezaban con el problema
de la falta de un detector electrónico
que pudiera funcionar en la atmósfera
de la cámara. El detector gaseoso de
electrones secundarios, desarrollado por
ElectroScan, en Boston, hace uso de la
amplificación en cascada (ver Fig. 20),
no sólo para mejorar la señal de los
electrones secundarios, sino también
para producir iones positivos (ver página
22) que son atraídos por la carga
negativa de la superficie del espécimen
aislado, eliminando eficazmente los
artefactos de carga.
Fig. 21. Helado en el Crio-MEB:
la cantidad de emulsión en relación
con el aire y agua (hielo) es un
parámetro importante a estudiar.
Cuadro O Cámara ambiental
El diagrama de fases presión-tempera-
tura del H2O, indica que las condiciones de
humedad "verdadera" sólo existen a presiones de
al menos 600 Pa a 0ºC (los microscopistas
ambientales usualmente hacen referencia a 4,6 Torr
= 4,6 mm de mercurio – ver cuadro J). Por consi-
guiente, el espécimen puede ser observado en el rango
de 650 a 1300 Pa (5 -10 Torr) mientras está en equi-
librio con el agua.
 Amplificación de señal en el ESEM

Detector Haz electrónico

primario

Atmósfera Amplificación
gaseosa en cascada

Fig. 24 La cóclea es el órgano auditivo en el

Electrones secundarios interior de la oreja. La vibración de
las fibras transmite los sonidos
Fig. 20. La ionización del gas amplifica
al cerebro.
la señal de los electrones secundarios
y, en un espécimen no conductor,
los iones positivos son atraí-
dos a la superficie del
espécimen a medida
que se acumula allí
la carga.

Fig. 22 Ácaros domésticos

han sido filmados vivos y en Fig. 23 La
movimiento en el MEBA. biomineralización
por diversos
organismos ilustra
una asombrosa gama de
ultraestructuras de esqueletos.
Fotos cortesía del Natural History Museum,
Londres.
19
 Microscopía electrónica de barrido
y transmisión
Si el espécimen en un MEB es lo
suficientemente transparente para que
los electrones sean transmitidos a través
del mismo, estos se pueden recoger con
un detector colocado adecuadamente.
Esta técnica MEBT, aplicada a veces en un
MEB se encuentra frecuentemente más
utilizada en un MET porque también se
puede hacer uso de las lentes situadas
bajo el espécimen. Esto se ha tratado ya
en la página 13.
Más información del espécimen
Como ya se indicó, los electrones que
bombardean la muestra hacen que emita
rayos X, cuya energía está determinada
por la composición elemental. Cuando se
coloca un detector adecuado cerca del
espécimen (y el goniómetro así lo permi-
te), es posible detectar cantidades muy
pequeñas de elementos. Estas cantidades
pueden llegar por debajo de una milésima
de picogramo (10-12 g) o incluso más
pequeñas (ver cuadro P). El detector en
cuestión se llama Detector de rayos
x por dispersión de Energía (EDX).
Con este detector se pueden adquirir

Técnicas espectros que muestren picos de los

elementos presentes, siendo la altura de
los picos una indicación directa de la con-
centración del elemento. Esto se aplica

adicionales tanto al MEB como al MET.

También se ha mencionado que algunos

de los electrones pierden energía mien-
tras viajan a través de la muestra. Esta
pérdida de energía se puede medir con
un espectrómetro de pérdida de energía
electrónica (EELS). Este detector se colo-
ca bajo la cámara de proyección del MET.

Análisis por rayos X

Volvamos por un momento a la analogía de la persona en
la habitación oscura con una linterna de haz estrecho (cuadro F).
Mientras explora la habitación para determinar su topografía, el inspector
también tendría conocimiento del color de los objetos. Igualmente, examinando
las longitudes de onda de los rayos X emitidos (su "color") podemos, determinar los
Cuadro P
elementos químicos que están presentes en cada punto, siendo la intensidad de los rayos
X una medida de la concentración del elemento.

El electrón incidente del haz primario puede hacer que un electrón de un átomo del espéci-
men sea eliminado de su órbita (si el átomo está cerca de la superficie, se puede convertir en
un electrón secundario). El átomo queda en un estado excitado (tiene demasiada energía) y
vuelve a su estado fundamental, transfiriendo un electrón desde una órbita exterior para sus-
tituir el electrón eliminado (ver cuadro C). Finalmente, el electrón más externo que falta es sus-
tituido por uno de los electrones libres, siempre presentes en un material. Cada una de estas trans-
ferencias da lugar a la liberación del exceso de energía en forma de cuanto de rayos X de una lon-
gitud de onda característica (en el caso de transiciones de un orbital exterior a uno interior), o
de un cuanto de luz (en el caso de la transferencia de un electrón libre a la órbita más externa).
Podemos ver que los diferentes materiales producen diferentes colores, examinando con una lupa
una pantalla de televisión a color. Los diferentes tipos de fósforo producen colores de luz dife-
rentes bajo el impacto del haz electrónico de barrido.

20
 Fig. 25 La calidad de una soldadura depende de la obtención
de la estructura y mezcla correctas durante el enfriamiento.
Los mapas coloridos de rayos X muestran la localización
del plomo (rojo) y estaño (verde) correspondientes a la
imagen de electrones secundarios.

Los demás fenómenos que se producen

cuando el haz electrónico pasa a través
del espécimen (retrodispersión de los
electrones incidentes y emisión de
electrones secundarios) son, utilizadas en
la técnica METB que se discutió en la
página 13.

Otras fuentes de electrones

El mismo tipo de filamento de horquilla
de tungsteno se usa tanto en los MET
como en los MEB. Cuanto mayor es la
temperatura del filamento, más electro-
nes son generados por el cañón
electrónico, y más brillante es la imagen.
Sin embargo, se reduce la duración del
filamento y el compromiso práctico fija
el límite a la brillantez del cañón electró-
nico. En los últimos años se han hecho
populares dos fuentes de electrones más
brillantes: el hexaboruro de lantano
(LaB6) y el cañón de emisión por campo
(FEG). En el primero, un cristal de hexa-
boruro de lantano, cuando se calienta,
libera hasta 10 veces más electrones
que el de tungsteno calentado a la
misma temperatura. En el último, los
electrones son arrancados de una punta
de tungsteno muy aguda mediante un
campo eléctrico muy fuerte. Con el FEG
se pueden obtener densidades de elec-
trones hasta 1000 veces las de los
emisores de tungsteno.

El mayor número de electrones, o la

mayor densidad electrónica suministrada
por estas fuentes, permite reducciones
en el diámetro del haz, que se traducen
en una mejor resolución, tanto en el
MEB como en el MEBT. Esto también
permite obtener un análisis de rayos X
más preciso en ambos instrumentos. No
obstante, las ganancias no son propor-
cionales al aumento de brillantez: otros
factores, como las aberraciones de las
lentes, pueden jugar su papel.

Los METs y MEBs de emisión de campo

son más costosos que los instrumentos
normales, pero proporcionan un rendi-
miento mucho mayor.

21
 Tecnología de haz iónico
Hasta ahora, este documento se ha
dedicado a la microscopía electrónica y a
la clase de información útil que se puede
obtener usando un haz de electrones
primarios. Sin embargo, los electrones
no son las únicas partículas cargadas que
se pueden acelerar y enfocar usando
campos eléctricos y magnéticos. Como
anteriormente fue explicado, (ver cuadro
C), el átomo está compuesto por un
núcleo cargado positivamente, rodeado
por electrones en órbitas. Normalmente
el átomo es neutro porque hay igual
número de protones que de electrones.
Un átomo que ha perdido uno o más de
sus electrones más externos tiene una
carga positiva y puede ser acelerado,
deflectado y enfocado de forma análoga
a su contraparte cargada negativamente,
el electrón.
La diferencia reside en la masa (similar al
peso - ver cuadro Q). El electrón es casi
2000 veces más ligero que el ion más
ligero, y los iones pueden ser aún hasta
250 veces más pesados. Los electrones
subatómicos de masa relativamente baja
interaccionan con una muestra y liberan
electrones secundarios que, cuando se
recogen, proporcionan imágenes de alta
calidad con un nivel de resolución casi
atómico. Los iones de masa mayor desa-
lojan partículas de la superficie dando
lugar, también, al desplazamiento de
iones y electrones secundarios. El haz
de iones modifica o fresa directamente
la superficie con precisión inferior a una
micra. Los electrones y los iones secun-
darios se usan para un análisis de imagen
y de composición. Controlando cuidado-
samente la energía e intensidad del haz
de iones, es posible realizar operaciones
Peso y Masa Cuadro Q
Todo tiene masa. Hasta un
astronauta en condiciones de grave-
dad cero mantiene la misma masa que
tenía antes del despegue. El peso es la fuer-
za de gravedad actuando sobre la masa. Si
la gravedad es menor, como en la luna,
nuestro peso será menor, pero nuestra masa
sería la misma. Así es como los científicos
refieren la diferencia entre masa y peso. La
masa es una característica independiente de
la referencia utilizada en la medición.
22
micromecánicas muy precisas para
producir componentes diminutos,
o para eliminar el material no deseado.
Ejemplos de aplicaciones son la produc-
ción de cabezales de capa fina para la
lectura de medios informáticos, y la eli-
minación de material alrededor de un
defecto en un dispositivo semiconductor,
para permitir que se estudie el defecto
en un microscopio electrónico de trans-
misión (ver Fig. 13, página 13).
¿Cómo se controla un haz tan fino y
cómo sabe el operador que ha finalizado
la operación de micromecánica? Pues,
sencillamente, teniendo un detector
para observar los electrones secundarios
producidos por el impacto de los iones.
Teniendo un microscopio electrónico
de barrido como parte integral del
mismo instrumento, es posible observar
el punto de impacto del haz de iones
de forma no destructiva, y el operador
puede controlar con mejor precisión
el proceso del haz iónico. Estos instru-
mentos se denominan estaciones de
doble haz.
Los FIBs en la fabricación de CIs
Enfocando con precisión un haz de iones
de elevada densidad de corriente, una
estación de trabajo FIB (haz iónico foca-
lizado) no sólo puede eliminar material y
poner de manifiesto defectos, sino que
también puede depositar nuevas pistas
conductoras o capas aislantes, analizar la
composición química de una muestra y
ver la zona que se está modificando,
todo ello dentro de tolerancias inferio-
res a la micra. Para los fabricantes de
Circuitos Integrados ésta resulta una
herramienta altamente rentable, con una
gama de aplicaciones tan versátil, que
puede reducir el tiempo de generación
de un CI hasta la comercialización del
mismo, aumentando las ganancias.
Durante el diseño y pruebas de los CIs,
estos productos aceleran la fabricación
y localización de errores en prototipos.
La tecnología del haz de iones focalizado
proporciona un acceso rápido a los
problemas de diseño, luego las técnicas
Para mayor información acerca de la última tecnología e
innovaciones en Microscopía, siente la libertad de navegar en
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de inyección de gas permiten modifica-
ciones rápidas de corte y unión de pistas
en el circuito. Usada en la revisión de
defectos, una unidad FIB puede mejorar
los rendimientos de producción, anali-
zando defectos superficiales y defectos
bajo la superficie en las obleas de la línea
de producción (fábrica).También puede
seccionar transversalmente estructuras
críticas para proporcionar control
tridimensional del proceso. Como
herramienta de análisis de falla, acelera el
diagnóstico del funcionamiento anómalo
de los CIs y la localización de defectos
debajo de la superficie.A medida que
las estructuras microelectrónicas se
hacen más pequeñas, el control de la
contaminación adquiere una mayor
importancia.Algunos de los nuevos
modelos de instrumentos FBI ofrecen
manipulación robotizada de las obleas y
del alineamiento automático de las mis-
mas, para cumplir con las exigencias de
una sala limpia en la línea de fabricación.
Los FIBs en la Ciencia de los
Materiales
Para las aplicaciones en la ciencia
de materiales, una unidad FIB puede
seccionar transversalmente aleaciones
complejas y materiales en capas, y
preparar especímenes extremadamente
delgados para su observación al MET.
Una fresa de haz de iones de dimensio-
nes micrométricas encuentra aplicación
en la fabricación y pruebas de sistemas
electromecánicos como son los detecto-
res de aceleración. Otras aplicaciones en
superficies duras incluyen la micromeca-
nización de lentes de Fresnel y el afilado
de puntas de microscopios de barrido
de tunelaje.
Los FIBs en las Ciencias Biológicas
En las ciencias biológicas, un corte
preciso con un haz de iones puede
eliminar la superficie de una célula, o
preparar una sección transversal de un
virus para permitir el examen detallado
bajo un microscopio electrónico. Esto
está abriendo nuevas posibilidades en el
campo de la biología estructural.

Aberración
La desviación de la imagen perfecta en un
sistema óptico, causada por imperfecciones
en las lentes o por falta de uniformidad del
haz electrónico.
Aberración cromática
Véase aberración. El aumento de las lentes
varía con la longitud de onda de los electro-
nes del haz.
Aberración esférica
Véase aberración. El aumento en el centro
de la lente difiere del de los bordes.
Amplitud
Valor máximo que puede alcanzar una mag-
nitud física que cambia periódicamente. Para
las ondas electromagnéticas, la intensidad de
la perturbación es proporcional al cuadrado
de su amplitud.
Ångström
Unidad de longitud usada en los primeros
tiempos de la microscopía. 1 Å = 0.1 nm
(ver cuadro D, página 5).
Ánodo
En un cañón electrónico (ver página 8),
los electrones cargados negativamente son
acelerados hacia el ánodo, que tiene carga
positiva en relación con el filamento (cáto-
do) del que emergen. En la práctica (para
facilidad de construcción), el filamento tiene
una elevada carga negativa y el ánodo está al
potencial de tierra.
Arreglo
Ruta seguida por el haz en un MEB o
MEBT. Es análogo a los movimientos del ojo
cuando se lee un libro: de izquierda a dere-
cha, palabra por palabra y hacia abajo de la
página, línea por línea.
Astigmatismo
Aberración de una lente (véase) Un círculo
en el espécimen se convierte en una elipse
en la imagen.
Átomo
Hay muchas formas de examinar el átomo.
La más útil para los microscopistas electró-
nicos es imaginarlo formado por un núcleo
cargado positivamente (conteniendo proto-
nes cargados positivamente y neutrones sin
carga) rodeado por electrones cargados
negativamente, girando en órbitas discretas.
Átomo excitado
Átomo que ha perdido uno de sus
electrones internos (ver también ion), tiene
más energía (la energía extra es aquélla
requerida para eliminar el electrón). Busca
volver a su estado fundamental reordenando
sus electrones y emitiendo el exceso de
energía como un cuanto de rayos X.
Barrido
Proceso de investigación de un espécimen
moviendo sistemáticamente un haz de elec-
trones finamente enfocado en un arreglo a
lo largo de una superficie. La misma técnica
en el monitor, lleva a la generación de una
imagen en la que cada punto corresponde
a un punto sobre el espécimen.
Bomba de difusión de aceite
Bomba de vacío en la que la acción de
bombeo se produce mediante el arrastre
de un chorro de vapor de aceite a través de
un orificio.
Bomba Iónica de vacío (IGP)
Bomba de vacío en la que el movimiento
de iones en un fuerte campo magnético
arrastra moléculas de gas y las introduce en
el cátodo de la bomba.
Bomba rotativa
Bomba de vacío en la que la acción de
bombeo se produce moviendo volúmenes
de aire de un lado a otro de un cilindro
giratorio mediante un tambor excéntrico.
23
Bomba turbomolecular
Bomba de vacío en la que la fuerza
centrífuga generada por discos que giran
rápidamente, fuerza el movimiento de las
moléculas desde el eje hacia la periferia.
Cátodoluminiscencia
Emisión de fotones de luz por un material
bajo bombardeo electrónico (ver página 11).
Cilindro de Wehnelt
Electrodo entre el cátodo (filamento) y el
ánodo (tierra), en un cañón electrónico que
enfoca y controla la corriente de electrones
del haz y la mantiene constante (ver Fig. 7,
página 9).
Columna
Parte del microscopio electrónico
colocada verticalmente que alberga el
trayecto al vacío del haz de electrones, las
lentes electromagnéticas, el espécimen y los
mecanismos de diafragma (ver página 8).
Contraste de amplitud
Contraste de la imagen producido por
eliminación de electrones (o de luz) del haz,
por absorción en el espécimen.
Contraste de difracción
Contraste de la imagen producido por la
eliminación de electrones (o luz) del haz
mediante dispersión por una estructura
periódica (ej. Cristalina) en el espécimen.
Contraste de fase
Contraste de la imagen producido por la
conversión de las diferencias de fase, en
diferencias de amplitud en la imagen, prove-
nientes de la luz que sale del objeto.
Cristal
Material en el que los átomos están
ordenados en filas y columnas (una malla)
y, que debido a esta periodicidad, los elec-
trones cuya longitud de onda (véase) es
aproximadamente del mismo tamaño del
espacio interatómico, generan el fenómeno
de difracción (véase).
CRT (Tubo de rayos catódicos)
La pantalla de un aparato de TV convencio-
nal, o un monitor de PC es la parte frontal
de un tubo de rayos catódicos. Detrás
existe un cañón electrónico, lentes de en-
foque y un sistema de barrido para hacer
que el haz genere un arreglo (ver definición)
en la pantalla para producir una imagen.
Cuanto
Paquete discreto de radiación X.
Detector
Dispositivo para detectar electrones o foto-
nes específicos en el microscopio electrónico.
Detector de centelleo
Detector de electrones usado en MEB o
MEBT, en el que los electrones a detectar
son acelerados hacia un material (fósforo)
que fluoresce produciendo luz, que a su vez
es amplificada mediante un fotomultiplicador
(véase) para producir una señal eléctrica.
Detector tipo semiconductor
Detector de electrones usado en MEB o
MEBT en el que los electrones a detectar
producen un ligero cambio en el material
semiconductor, que es amplificado haciendo
que el semiconductor forme parte del
circuito eléctrico.
Diafragma
Disco de metal con un pequeño orificio,
diseñado para detener los electrones que no
son necesarios para la formación de la ima-
gen (por ejemplo: electrones dispersados).
Diagrama de fases
Gráfico de temperatura y presión que
muestra el rango de éstas en el que un
material específico puede existir en fase
sólida, líquida o vapor.
Difracción
Desviación de la dirección de la luz u otro
movimiento ondulatorio cuando el frente de
onda pasa por el borde de un obstáculo.
G l
Distancia de trabajo
La distancia física entre las partes metálicas
externas de la lente objetiva y la superficie
del espécimen. Éste es el espacio disponible
para colocar determinados detectores de
electrones, de rayos X y cátodoluminiscen-
cia. Para obtener la resolución máxima, la
distancia de trabajo ha de ser la menor
posible, lo que puede exigir compromisos.
Distancia focal de una lente
Distancia (medida desde el centro de la
lente) a la que un haz incidente paralelo es
focalizado.
EDX
Análisis o Espectrometría de rayos x por
dispersión de Energía. Un espectrómetro
EDX genera un espectro (véase) de los
rayos X emitidos por el espécimen en
función de su energía. Existe un método
alternativo de realizar el espectro,
Espectrometría de rayos x por Dispersión
de Longitud de Onda (WDS), pero no se
hace referencia al mismo en este libro.
EELS
La Espectroscopia (o Espectrometría) de
Pérdida de Energía Electrónica se define en
la página 20.
Electrón
Partícula atómica fundamental que gira
en una órbita alrededor del núcleo del
átomo (ver cuadro C). Los electrones
libres pueden fluir fácilmente hacia un
conductor y pueden ser extraídos en el
vacío por calentamiento o mediante un
campo eléctrico.
Electrones primarios
Electrones del haz tal cual salen del cañón
y que chocan con el espécimen.
Electrones retrodispersados
Electrones primarios que han sido
desviados por el espécimen en un ángulo,
generalmente mayor a 180º, con poca o
ninguna pérdida de energía.
Electrones secundarios
Electrones que se originan en el espécimen,
que son emitidos bajo la influencia del haz
primario.
Enfoque
El acto de hacer que la imagen tenga
toda la definición posible, ajustando la lente
objetiva (véase).
Esclusa
Cámara dentro del microscopio
electrónico que puede aislarse del resto
para permitir la inserción del espécimen.
La esclusa es entonces evacuada y el
espécimen colocado dentro de la columna
al vacío. Esto reduce la cantidad de aire y
de otros contaminantes introducidos en la
columna. Las esclusas también facilitan el
cambio del material fotográfico y del
emisor del cañón electrónico.
ESEM
La Microscopía electrónica de barrido
ambiental se describe en la página 18.
Espectro
Imagen producida por la descomposición
de una radiación compleja en sus longitudes
o energías componentes.
Espectrómetro
Instrumento para obtener un espectro
(véase).
Estado basal
El estado de energía más baja de un átomo.
Todos los electrones se encuentran coloca-
dos en sus lugares originales y sin carga.
Excitación
Entrada de energía en la materia, que
conduce a la emisión de radiación.
Fase
Posición relativa en un movimiento cíclico
u ondulatorio. Se expresa como un ángulo,
un ciclo o una longitud de onda (véase)
correspondiente a 180º.
o s a r
FEG
El Cañón de Emisión por Campo se describe
en la página 21.
FIB
Instrumento de haz de iones focalizado. Un
haz de iones sustituye al haz de electrones.
Los instrumentos de doble haz tienen,
además, una columna de electrones.
Filamento
Hilo metálico, usualmente en forma de
horquilla, que cuando se calienta en el vacío,
descarga electrones libres y proporciona así
la fuente de electrones en el microscopio
electrónico.
Fotomultiplicador
Dispositivo electrónico en el que la luz es
amplificada sin interferencias (ruido), para
producir una señal eléctrica.
Fotones
Paquetes discretos de radiación electromag-
nética. Un haz de luz está compuesto por
una corriente de fotones.
Goniómetro
Platina de espécimen que permite el
movimiento lineal del espécimen en dos o
más direcciones, el giro del espécimen en su
propio plano y la inclinación alrededor de
uno, o más, ejes (ver página 13).
Índice de refracción
Relación entre la velocidad de la luz en el
vacío y la velocidad en un medio determina-
do tal como vidrio, agua o aceite.
Ion
Átomo que ha perdido uno o más de sus
electrones exteriores.Tiene carga positiva.
Lente
En un microscopio óptico, pieza de material
transparente con una o más superficies cur-
vas, que se usa para alterar sistemáticamente
la dirección de los rayos de luz. En un
microscopio electrónico, se consigue un
efecto similar sobre el haz de electrones
usando un campo magnético (o electrostáti-
co) (ver páginas 5 y 10).
Lentes condensadoras
Parte del sistema de iluminación entre el
cañón electrónico y el espécimen, diseñada
para concentrar el haz electrónico paralela-
mente al especímen o finamente enfocado
sobre uno de sus puntos (o, en el caso del
microscopio electrónico de barrido, en la
lente objetiva).
Lente objetiva
En un MET, esta es la primera lente
después del espécimen, cuya calidad
determina el rendimiento del microscopio.
En un MEB es la última lente antes del
espécimen que produce un punto (spot) de
electrones extremadamente fino con el que
se explora el espécimen.
Línea de fabricación
La línea de producción de semiconductores,
que está ubicada en una sala limpia (véase).
Longitud de onda
En una onda periódica, la distancia entre dos
puntos que están en fase.
Malla
Disposición regular de los átomos en un
cristal (véase).
MEB
La Microscopía Electrónica de Barrido se
describe en la página 7.
MEBT
La Microscopía Electrónica de Barrido y
Transmisión se describe en la página 7.
MET
La Microscopía Electrónica de Transmisión,
se describe en la página 6.
i o
Metalizador por bombardeo iónico
Instrumento para recubrir un espécimen no
conductor con una capa uniforme, muy fina
de un elemento conductor; tal como el oro,
que es utilizado para adecuar el espécimen
para su observación al microscopio electró-
nico de barrido, sin peligro de carga.
Micrómetro
Unidad de longitud (distancia). Un micróme-
tro (abreviado µm) es una milésima de milí-
metro, o 1.000 nm (ver cuadro D, página 5).
Microscopio
Instrumento diseñado para ampliar la
capacidad visual humana, es decir, para hacer
visibles detalles diminutos que no se ven a
simple vista.
Microscopio electrónico
Microscopio (véase) en el que se usa un haz
de electrones para formar una imagen
ampliada del espécimen.
Microtomo
Instrumento para cortar secciones
extremadamente finas de un espécimen
antes del examen al microscopio. En micros-
copía electrónica se hace referencia al
mismo como ultramicrótomo.
Nanómetro
Unidad de longitud (distancia). Un
nanómetro (abreviado nm) es una millonési-
ma de milímetro (10-9 metros) (ver cuadro
D, página 5).
Número atómico
El número de protones en el núcleo
atómico. Este número determina la naturale-
za química del átomo. Un átomo de hierro
tiene por ejemplo, 29 protones, un átomo de
oxígeno, 8, y así sucesivamente.
Pantalla fluorescente
Placa grande recubierta de un material (fós-
foro) que libera luz (produce fluorescencia)
cuando es bombardeada por electrones. En
el MET, la imagen se forma en la pantalla
fluorescente (ver página 11).
Poder de resolución
Capacidad para hacer distinguibles puntos o
líneas adyacentes cercanos de una imagen
(ver cuadro B, página 5).
Rayos X
Radiación de longitud de onda extremada-
mente corta. En el microscopio electrónico,
se emite un fotón de rayos X (véase) cuando
un átomo excitado libera su exceso de ener-
gía y vuelve a su estado basal.
Refracción
Cambios de velocidad (y a veces de
dirección) cuando la luz o los electrones
pasan a través de un espécimen.
Resolución
El acto o resultado de mostrar el detalle fino
de una imagen (ver cuadro A, página 4).
Sala limpia
Recinto en el que se encuentra un número
extremadamente bajo de partículas de polvo,
usado para fabricar semiconductores.
Vacío
Espacio del que se han eliminado (la mayor
parte de) los gases y vapores (ver cuadro J,
página 12).
Visor binocular
Microscopio óptico incorporado en un
MET para ver una pantalla fluorescente de
grano fino, utilizada para enfoque crítico y
corrección del astigmatismo.
Voltaje de Aceleración
La diferencia de potencial entre el cátodo y
el ánodo de un cañón electrónico, mediante
la cual los electrones son acelerados. Cuanto
mayor sea el voltaje, más rápidos serán los
electrones y mayor será el poder de pene-
tración. Los voltajes varían usualmente desde
unos pocos cientos de voltios hasta varios
cientos de miles.
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