Universidad Austral de Chile

Facultad de Ciencias de la Ingeniería

Escuela de Ingeniería Civil Acústica

Profesor Patrocinante:
Dr. Jorge Arenas Bermúdez
Instituto de Acústica
Universidad Austral de Chile

CONSTRUCCIÓN Y VALIDACIÓN DE UN SENSOR DE

VIBRACIONES USANDO UN SISTEMA
MICRO-ELECTRO-MECÁNICO (MEMS)

Tesis para optar al grado de:

Licenciado en Acústica
Y al título profesional de:
Ingeniero Acústico

GLORIA FERNANDA GALINDO VALENZUELA

VALDIVIA – CHILE
2010
Agradecimientos

A Dios que jamás me ha fallado.

A mi papás, Francisco y Olga por creer en mi y dejarme estudiar a 1000 km de casa.

A mi Andrés por su amor, dedicación e incondicional apoyo.

A mis hermanos Gerardo y Laura, siempre unidos en la distancia.

A mi profesor patrocinante Dr. Jorge Arenas B. por su muy buena disposición para con-
testar mis dudas y su inconmensurable paciencia.

A mis amigos: Laura, Lucho, Carola, Jana, Ale, Coté, Berta, Leita, Rocı́o y Ale Quezada;
por las risas, la compañı́a y los retos.

A Vı́ctor Cumián por estar dispuesto a ayudarme siempre con tanta alegrı́a.

Y a tantas personas más, MUCHAS GRACIAS.

i
Índice general

Agradecimientos I

Resumen IV

Summary V

1. Introducción 1

2. Objetivos 2
2.1. Objetivos Generales . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
2.2. Objetivos Especı́ficos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2

3. Marco Teórico 3
3.1. Acelerómetros . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3.1.1. Caracterı́sticas de los acelerómetros . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
3.1.2. Acelerómetros piezoeléctricos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3.1.3. Acelerómetros mecatrónicos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.1.4. Estructura mecánica del circuito integrado . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.1.5. Ruido del dispositivo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.2. Aplicaciones acústicas de los sensores mecatrónicos . . . . . . . . . . . . . . 26
3.2.1. Realimentación acústica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
3.2.2. Micrófono de contacto . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.3. Modos normales de vibración de una viga con un extremo libre . . . . . . . . 33

ii
4. Metodologı́a 36
4.1. Construcción del acelerómetro . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
4.2. Calibración . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
4.2.1. Sensibilidad . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
4.2.2. Respuesta en frecuencia . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
4.3. Metodologı́a de medición . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45

5. Análisis de resultados 49
5.1. Resultados de las mediciones en la viga. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
5.2. Resultados de la respuesta en frecuencia . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
5.3. Costos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56

6. Conclusiones 58

Bibliografı́a 60

iii
Resumen

Este trabajo tiene como objetivo principal la construcción y validación de un sensor de

vibraciones construido a partir de un acelerómetro mecánico-electrónico, el cual se armó en
un circuito impreso.

La metodologı́a consistió en armar el sensor, calibrarlo para obtener la relación señal/ruido

y obtener su respuesta en frecuencia. Posteriormente, se midió tanto con el sensor armado
como con un acelerómetro comercial, para comparar las respuestas obtenidas por cada uno al
excitar una viga de acero con un extremo libre y otro empotrado. Las mediciones se hicieron
para distintos puntos de la viga.

Las señales obtenidas por ambos sensores se capturaron con Labview6i, para posterior-
mente exportarlos a un archivo ASCII. Los datos obtenidos se analizaron con MATLAB,
para comparar los modos de vibración de la viga.

iv
Summary

The main objective of this work is to build and validate of a vibration sensor. The sensor
has been built using a micro-electro-mechanic system (MEMS), which was assembled in a
printed circuit board.

The work presents a review about the fundamentals of MEMS technology and the theo-
retical framework. The methodology of the work consisted in assembling the sensor and then
performing its calibration in order to obtain both the signal to noise ratio and the frequency
response of the sensor. In order to validate the work, the sensor was attached to a cantilever
beam, which was forced by an impulse excitation using a modal hammer. The response of
the sensor was compared to the response obtained from a commercial piezoelectric-based
accelerometer. Measurements were performed at several points on the beam.

The signals obtained from both sensors were acquired with an A/D converter and a
program developed in LabView6i. Later, the data were analyzed using a program developed
in Matlab. It can be concluded that the sensor built in this work can be applied to measure
vibrations in the low frequency range, although the internal noise has to be taken into account
when doing measurements.

v
Capı́tulo 1

Introducción

Para cuantificar y analizar las vibraciones se requiere de medidas experimentales. Para

hacer mediciones se usan sensores de vibración los cuales pueden ser de desplazamiento, de
velocidad o de aceleración, siendo el acelerómetro el más usado en la medición de vibraciones.

Un tipo de acelerómetro ampliamente utilizado es el de piezoeléctrico. Generalmente siem-

pre han tenido un costo muy elevado, porque los procesos de fabricación de los acelerómetros
de piezoeléctrico son en serie.

En la última década los dispositivos de sistema microelectromecánico (MEMS), han hecho

una revolución tecnológica, puesto que son de bajo costo y sencillos de implementar. Se han
implementado en distintos productos de consumo masivo disponibles en el mercado. Se han
desarrollado dispositivos MEMS entre los cuales también hay acelerómetros.

Interesante es saber cómo responde un acelerómetro MEMS de bajo costo para utilizarlo
en medición de vibraciones y saber cuáles son sus limitantes y sus ventajas respecto a los
acelerómetros de piezoeléctrico. Por este motivo, en este trabajo se realizarán mediciones de
vibración en una viga, con un extremo libre y el otro empotrado, con un acelerómetro MEMS
y con un acelerómetro comercial de piezoeléctrico. Estas mediciones se compararán respecto
a la teorı́a.

1
Capı́tulo 2

Objetivos

2.1. Objetivos Generales

Construir y validar un sensor de vibraciones de bajo costo, usado en este trabajo para
medir las vibraciones de una viga de acero con un extremo empotrado y el otro libre. Los
datos obtenidos de las vibraciones de la viga se comparan con los datos obtenidos de medir
con un acelerómetro comercial.

2.2. Objetivos Especı́ficos

Construir un sensor de vibraciones a partir de un circuito integrado ADXL210 de Analog
Devices.

Para validar el sensor se experimentó en una viga empotrada en un extremo y el otro

extremo libre.

Validar las medidas realizadas con un acelerómetro comercial.

Analizar los modos de vibración de la viga a partir de las mediciones obtenidas con el
sensor construido.

Estudiar los factores más importantes que pueden afectar la señal obtenida por el
sensor.

2
Capı́tulo 3

Marco Teórico

3.1. Acelerómetros
Los acelerómetros son dispositivos para medir aceleración y vibración. Estos dispositivos
convierten la aceleración de gravedad o de movimiento, en una señal eléctrica analógica pro-
porcional a la aceleración del sistema, o del mecanismo sometido a vibración o aceleración.
Esta señal analógica indica la aceleración instantánea del objeto en tiempo real, sobre el
cuerpo.

Los acelerómetros miden la aceleración en unidades “g”, donde 1 g se define como la

aceleración gravitacional de la tierra aplicada sobre un objeto.

Los acelerómetros son direccionales, esto quiere decir que miden aceleración en un eje.
Para medir aceleración en tres dimensiones, se emplean acelerómetros de 3 ejes (x, y, z), los
cuales son ortogonales. Existen distintos tipos de acelerómetros: de piezoeléctricos (pasivos)
y mecánico-electrónicos (activos).

3
3.1.1. Caracterı́sticas de los acelerómetros

Las caracterı́sticas principales en un acelerómetro son:

Sensibilidad

Rango dinámico

Masa

Respuesta en frecuencia

Ruido

Rango de temperatura

La sensibilidad de un acelerómetro depende de la relación entre la variación de la magni-

tud de salida, que es el voltaje y la variación de la magnitud de entrada, que es la aceleración.
En el caso de los acelerómetros de piezoeléctrico, la alta sensibilidad requiere un piezoeléctri-
co grande, por lo cual éste va a tener una mayor masa. El nivel de salida de un acelerómetro
de piezoeléctrico es bajo, lo cual es solucionado con un amplificador.

La masa del acelerómetro puede afectar la medición cuando el objeto a medir es liviano;
se recomienda que la masa del acelerómetro sea como máximo 10 veces menor que la masa
del objeto a medir.
El rango dinámico de un acelerómetro va a depender de cuan sensible sea éste. Los acel-
erómetros son lineales en el sentido de la amplitud, es decir tienen un rango dinámico muy
grande. Los niveles más bajos de aceleración que pueden detectar son determinados única-
mente por el ruido del sistema, y el lı́mite de los niveles más altos en el caso de los acel-
erómetros de piezoeléctrico es la destrucción del mismo elemento piezoeléctrico.
Respuesta en frecuencia de un acelerómetro es el rango de frecuencias en la cual se puede

4
emplear el acelerómetro para medir. En ese rango se obtiene una respuesta medianamente
plana.
El Ruido de un acelerómetro es una señal aleatoria no deseada a la salida. Limita el rango
dinámico ya que si la señal fuese muy débil, serı́a enmascarada por el ruido.

Rango de temperatura es el rango al cual puede ser expuesto el acelerómetro durante

su funcionamiento sin cambiar apreciablemente sus caracterı́sticas.

5
3.1.2. Acelerómetros piezoeléctricos

Los acelerómetros más comunes son los de piezoeléctrico, los cuales al ser sometidos a
una fuerza externa adquieren una polarización eléctrica en su masa, obteniéndose una dife-
rencia de potencial entre los extremos del material, transformando ası́ una señal mecánica
en una señal eléctrica de muy baja amplitud. Estos acelerómetros requieren de un amplifi-
cador para incrementar la señal. Estos transductores utilizan el fenómeno piezoeléctrico de
ciertos materiales que se pueden encontrar en la naturaleza, como son el cristal de Rochella
o el cuarzo. También se puede obtener un piezoeléctrico en forma artificial a partir de un
material cerámico.

Principio de los piezoeléctricos cerámicos

Desde un punto de vista eléctrico de la microestructura del material, puede considerarse

ésta conteniendo dipolos ideales, con una cierta separación. Durante el proceso de fabricación
del piezoeléctrico los dipolos están desordenados, como muestra la figura 3.1(a), de modo que
están orientados de forma aleatoria. Cuando una fuerza es aplicada, la suma de los desplaza-
mientos de carga es cero, tanto que bajo estas condiciones el material no deberı́a exhibir
efecto piezoeléctrico alguno [Randeraat, 1968].

Para obtener actividad piezoeléctrica los dipolos deben ser primero “ordenados”, lo cual
se logra al exponer el material cerámico a un campo eléctrico fuerte a una alta temperatura,
no menor del punto de Curie, temperatura en la cual la magnetización se hace igual a cero y
los dipolos espontáneos desaparecen, y se crean nuevos dipolos cuando la temperatura baja.
Bajo estas condiciones de polarización, los dipolos toman una posición correspondiente a la
dirección de polarización del campo eléctrico, como muestra la figura 3.1(b), con el resultado
que el cuerpo del cerámico muestra una elongación en la misma dirección.
El acelerómetro de piezoeléctrico de tipo de compresión tiene una estructura la cual, co-
mo muestra la figura 3.2, se compone de una base la que tiene adosado el material piezoeléctri-
co, y al otro extremo del piezoeléctrico tiene pegada a una masa sı́smica conocida, sujetada

6
 Figura 3.1: Dipolos en piezoeléctrico cerámico (a) antes y (b) después de ser polarizado.

a la base con un perno axial, que se apoya en un resorte circular. Cuando el acelerómetro
se encuentra sometido a una vibración se genera una fuerza, la cual actúa sobre el elemento
piezoeléctrico, generando una carga eléctrica entre sus superficies. Esta fuerza es igual al
producto de la aceleración por la masa sı́smica. Debido al efecto piezoeléctrico, se genera una
salida de carga proporcional a la fuerza aplicada. Como la masa sı́smica es conocida, la señal
de salida de carga es proporcional a la aceleración [White, 2008].

Figura 3.2: Modelo de acelerómetro de compresión.

Dado que el nivel de salida de un acelerómetro de piezoeléctrico es bajo, esto hace que el

7
sistema sea delicado en lo que respecta a los cables, pues podrı́a generarse ruido triboélec-
trico. Este tipo de ruido se genera ante la flexión o vibración de los cables y al ser la señal
del acelerómetro muy baja este ruido afectarı́a la señal al amplificarla. Otro tipo de ruido
que se puede presentar es cuando el cable genera una carga piezoeléctrica al ser movido
mecánicamente o ser extrangulado [Van Der Burgt, 2004]. Este tipo de ruido se nota más en
acelerómetros de alta impedancia.

Ambos tipos de ruido pueden surgir cuando el acelerómetro está en una estructura en
movimiento, como una máquina vibratoria. Una corriente de fuga en el cable también puede
inyectar corrientes de ruido en el circuito de medición. Por esto, es importante evitar que
los acelerómetros sean de baja impedancia, o variar su impedancia con un amplificador de
ganancia unitaria. También se debe reducir al mı́nimo la longitud del cable entre el ace-
lerómetro y el dispositivo de medición y reducir al mı́nimo el movimiento del cable. El cable
debe ser de buena calidad aislante entre el conductor y la malla, por ejemplo de teflón.

3.1.3. Acelerómetros mecatrónicos

El término (MEMS) proviene del término sistema microelectromecánico, componentes

mecánicos que se caracterizan por su pequeño tamaño. Traducido literalmente, MEMS debe
tener dimensiones en la escala de micrones y tienen componentes eléctricos y mecánicos for-
mando un sistema[Kaajakari, 2009b].

Los dispositivos MEMS introducen un cambio de paradigma en la fabricación y/o apli-

cación de circuitos integrados, puesto que los circuitos integrados antes de los MEMS de-
pendı́an sólo de un sistema electrónico y no tenı́an ningún componente mecánico.

Los acelerómetros MEMS son más pequeños, pero su verdadera ventaja es el proceso de
fabricación, que utiliza la fabricación por lotes, proceso inicialmente desarrollado para la tec-
nologı́a de circuitos integrados. La fabricación por lotes permite el procesamiento simultáneo

8
de miles de dispositivos idénticos en una sola oblea de silicio. Esto contrasta con la tradi-
cional fabricación en serie de un dispositivo lo cual toma más tiempo. La fabricación por
lotes ha hecho los acelerómetros económicos, y con el menor costo de los acelerómetros de
silicio, el uso de sensores inerciales se ha ampliado primero en la industria del automóvil y,
más recientemente, en el mercado de consumo.

Además de proporcionar una más barata y/o mejor alternativa a las tecnologı́as, los
MEMS han permitido habilitar dispositivos completamente nuevos: los cabezales de impre-
soras de inyección de tinta han hecho de bajo costo la impresión a color. Matrices de micro-
espejos que contengan más de un millón de espejos individuales se han desarrollado para la
televisión de alta definición, y se utilizan en proyectores de datos (data show) en oficinas,
salas de clases, auditorios, y en los hogares para los juegos de vı́deo y cine en casa.

Reseña histórica de los MEMS

La idea de los MEMS nace a finales de la década de los cincuentas, mucho antes que
existiese la tecnologı́a para poder fabricarlos. Para poder llegar a fabricarlos utilizaron técni-
cas utilizadas en la fabricación de semiconductores, como la litografı́a, el grabado de silicio
y el engrozamiento de una pelı́cula delgada para hacer las estructuras mecánicas durante la
década de los setentas.

En las décadas de los ochentas y noventas se dió lugar a nuevas tecnologı́as de fabricación
de dispositivos MEMS y el comienzo de su comercialización. En particular, la técnica de
micromecanizado de superficie permitió la integración de los componentes mecánicos con los
circuitos integrados, que conducieron a la fabricación de acelerómetros de bajo costo y las
matrices de microespejos.

A mediados de los setentas, la industria automotriz se interesa en implementar un sis-

tema de Airbags (bolsas de aire), pero sólo en la década de los noventas logran obtener un

9
interruptor para activar los airbags que fuese muy eficaz y de bajo costo. Los primeros inten-
tos de utilizar interruptores de mercurio no funcionaron bien. Luego, lograron implementar
un sistema mecánico llamado “rolamite” que consistı́a en un rodillo suspendido dentro de
una banda tensa, diseñado por Sandia National Laboratories, hasta que a mediados de los
noventa implementan los acelerómetros MEMS, los cuales se universalizaron en la industria
automotriz [White, 2008].

La comercialización de las tecnologı́as MEMS por fin ha empezado a repercutir la sociedad

a una escala más grande. Hoy en dı́a, la mayorı́a de los consumidores tienen, a sabiendas o
no, productos con tecnologı́a MEMS.

Técnicas de fabricación de un acelerémetro MEMS

La fabricación de un MEMS se basa en el procesamiento por lotes, con lo cual se logra

que el costo de un acelerómetro MEMS sea muy bajo.

La microfabricación ha estado ligada al circuito integrado (IC) y la mayorı́a de las he-

rramientas de procesamiento y la terminologı́a se han adoptado directamente de la fabricación
de circuitos integrados. Pero la tecnologı́a de fabricación de MEMS no es fácil de explicar.
Los retos especı́ficos de MEMS incluyen el embalaje de las estructuras mecánicas que tiene
piezas móviles, fabricación de estructuras con espesor y la obtención de buenos controles de
las dimensiones.

La fabricación por lotes es muy diferente a la producción en serie tradicional y ha sido

adaptada para realizar en forma relativamente sencilla los componentes mecánicos a gran
escala.

El proceso de fabricación por lotes, especı́ficamente el uso de fotolitografı́a, permite la

definición de cualquier forma en la superficie de una oblea, pero es difı́cil para la fabricación

10
de formas tridimensionales. Debido a las limitaciones de fabricación, los componentes MEMS
a menudo se ven planos o en dos dimensiones.

Existen dos tipos de MEMS hechos con técnica de fotolitografı́a. Uno son los MEMS
llamados “bulk”, donde todo el espesor de una oblea de silicio se utiliza para la construcción
de las estructuras MEMS. El silicio es mecanizado utilizando diversos procesos de grabado.
La unión anódica de placas de vidrio o láminas adicionales de silicio se utiliza para agregar
caracterı́sticas en la tercera dimensión y para encapsulación hermética.

El otro es el MEMS de “superficie” que utiliza capas depositadas sobre la superficie de un

sustrato como los materiales estructurales, en lugar de utilizar el propio sustrato. El MEMS
de “superficie” fue creado para lograr dispositivos de silicio más compatibles con la tecnologı́a
plana de circuito integrado, con el objetivo de la combinación de MEMS y circuitos integra-
dos en la misma oblea de silicio.

Figura 3.3: Ejemplo de la fabricación por lotes. Miles de componentes al mismo tiempo se
definirán en una sola oblea mediante fotolitografı́a.

El costo para procesar obleas de MEMS no depende del número de dispositivos dentro
de la oblea y la fabricación por lotes es una manera económica de hacer un gran número de

11
dispositivos. En una oblea tı́pica, pueden haber miles de dispositivos, como muestra la figura
3.3 . Una vez que todos los pasos de procesamiento se han completado, la oblea es cortada en
piezas individuales o pastillas de silicio. Por último, las piezas de silicio son empaquetadas,
a menudo junto con un circuito integrado.

La superficie del micromecanizado se basa en patrones de pelı́culas delgadas en la parte

superior de un sustrato de la oblea. Las estructuras de la superficie son relativamente planas
lo que simplifica el proceso de las capas posteriores. Un proceso de fabricación tı́pico se
muestra en la figura 3.4, donde una pelı́cula delgada degradada, seguida por el grabado por
corrosión, se repiten para formar estructuras semi-tridimensionales. El espesor de cada capa
puede variar, pero normalmente es inferior a 5 µm. Las estructuras más simples, tales como
los acelerómetros, tienen dos capas estructurales y una capa de dióxido de silicio, como se
muestra en la figura 3.4.

12
Figura 3.4: Proceso de micromecanizado de la superficie que consiste en combinaciones de
capas, litografı́a óptica y grabado para la fabricación de microestructuras finas.

13
Principios de detección en MEMS

Existen varios principios de detección que se utilizan para acelerómetros MEMS.

Principio piezoresistivo de detección se basa en piezoresistores integrados en un resorte

y los cambios en la resistencia del piezoresistor cuando se someten a una cierta aceleración.
Ası́, midiendo el cambio en la resistencia, la aceleración se deduce. Los primeros aceleróme-
tros MEMS de silicio desarrollados en los años 70 se basaron en la detección piezorresistiva.
El sensor piezorresistivo es sólido y fácil de aplicar, pero tiene mucho ruido y es pobre en
potencia.

Principio capacitivo de detección se basa en detectar pequeños cambios en la capa-

citancia debido al movimiento relativo de la masa de la espiga y las placas exteriores. En
este momento, los acelerómetros capacitivos son los más utilizados porque son de bajo costo,
tienen un bajo ruido y bajo consumo de energı́a.

Modelo mecánico

La medición de aceleración puede realizarse midiendo la fuerza necesaria para acelerar

un objeto de masa conocida, para lo cual basta medir la deflexión de un dinamómetro que
sostiene a dicha masa. Es éste el principio fı́sico en el cual se basa el funcionamiento de los
acelerómetros ADXL de Analog Devices. Esto corresponde a un sistema masa-resorte como
muestra la figura 3.5.

La figura 3.5 muestra un objeto vibrante cuya aceleración se desea medir. Sobre el mismo
está montado el dispositivo de medición formado por una masa m y un resorte con constante
elástica k. Lo que se desea medir es la segunda derivada del desplazamiento del objeto vi-
brante, es decir:

a(t) = ẍ(t). (3.1)

14
 Figura 3.5: Modelo mecánico.

Para lograr esto, se mide la deformación del resorte x2 (t) − x1 (t). Se busca la relación entre
esta deformación y la aceleración a(t):

f = k(x2 − x1 ) = mẍ1 (t) (3.2)

mẍ1 (t) + kx1 = kx2 . (3.3)

Aplicando transformada de Laplace (suponiendo condiciones iniciales nulas), se obtiene:

X2 (s) X2 (s)
X1 (s) = m 2 = , (3.4)
1+ ks 1 + ( ωs0 )2

p
siendo ω = k/m la frecuencia de resonancia del sistema. De aquı́ se obtiene X2 − X1 :

X2 (s)( ωs0 )2 1
ω0 2
X2 (s) − X1 (s) = = A(s), (3.5)
1 + ( ωs0 )2 1 + ( ωs0 )2

donde A(s) es la transformada de la aceleración requerida. Ya que la frecuencia natural es

mucho más alta que la frecuencia de trabajo del sistema (ω  ω0 ) , la deformación del resorte
es proporcional a la acelaración, es decir:

1
x2 (t) − x1 (t) ∼
= 2 a(t). (3.6)
ω0

15
3.1.4. Estructura mecánica del circuito integrado

El acelerómetro ADXL210 trabaja a partir de transformar la variación de capacitancia de

condesadores de placa, para luego medir esta variación eléctricamente. Para esto, se utiliza
la mecatrónica (construcción de mecanismos microscópicos mediante la tecnologı́a de los
circuitos integrados). Esto ocurre con piezas muy pequeñas del orden de µm dentro del
circuito integrado, como muestra la figura 3.6.

Figura 3.6: Estructura mecánica del sensor de aceleración;(a) En reposo, (b) en aceleración
hacia la izquierda.

Consta de una espiga central, sujeta sólo a unos anillos rectangulares elásticos, de la cual
emergen láminas que actúan como placas centrales de condensadores diferenciales iguales.
El sensor completo mide aproximadamente 0,5 mm de lado. La masa del modelo anterior
corresponde a la masa de la espiga y de las láminas, y la constante elástica a la de los anillos.

En reposo, ambas capacidades son iguales, es decir Ca0 = Cb0 = C0 . Cuando se aplica al
integrado una aceleración en la dirección de la espiga central, ésta se desplaza, haciendo que
uno de los condensadores disminuya y el otro aumente. La distancia en reposo entre la placa

16
central y las placas extremas de cada condensador se denota como d, como muestra la figura
3.7.
El desplazamiento relativo entre la placa central y las placas móviles es ξ , o sea ξ = x2 − x1

Figura 3.7: Desplazamiento de las placas en los condensadores.

del modelo mecánico (figura 3.5) y S es la superficie de las placas, con lo que se obtiene:

S d
C a = ε0 = C0 , (3.7)
d+ξ d+ξ
S d
C b = ε0 = C0 . (3.8)
d−ξ d−ξ
Para detectar esta diferencia se conectaron los condensadores como divisores capacitivos,
excitando en ambos extremos con tensiones opuestas de alta frecuencia (En la figura 3.8,
el oscilador bifásico entrega una tensión en forma alternada con un desfase de 180o ). Al no
haber aceleración ambos condensadores son iguales, por lo cual la salida es cero.

Figura 3.8: Modelo del divisor capacitivo.

Cuando Cb 6= Ca , entonces se obtiene:

1 1
Ca s Cb s
V2 (s) = V1 (s) 1 1 − V1 (s) 1 1 , (3.9)
Ca s
+ Cb s Ca s
+ Cb s

17
de lo que se obtiene:

C b − Ca
V2 (s) = V1 (s) . (3.10)
Cb + Ca
Reemplazando las ecuaciones 3.7 y 3.8 en la ecuación 3.10; se obtiene:

ξ
V2 (s) = V1 (s) . (3.11)
d
Notemos que ξ/d es independiente de s, por lo tanto también es válido para las variables
temporales. Como ξ = x − y, y la aceleración es proporcional a la deformación:

ξ a(t)
V2 (t) = V1 (t) = 2 V1 (t). (3.12)
d ω0 d
Por lo tanto, la tensión de salida es proporcional a la aceleración. La constante de propor-
cionalidad puede tener pequeñas variaciones de un dispositivo a otro, lo cual es inherente
del proceso de fabricación, variando levemente la resonancia mecánica. También se producen
cambios de la constante de proporcionalidad debido a cambios de temperatura. Para la validez
de la ecuación 3.9, los condensadores deben ser cuasiestacionarios, es decir que su variación
debe ser mucho más lenta que la de V1 (t). Esto se logra eligiendo la frecuencia de V1 (t) mucho
más alta que la de a(t). La frecuencia del oscilador bifásico es de 1 MHz [Miyara, 2004].

3.1.5. Ruido del dispositivo

Los MEMS han permitido la fabricación de sensores miniaturizados de bajo costo. Por
variadas razones, son interesantes los dispositivos de reducido tamaño. Por ejemplo, reducir
el costo mediante la incorporación de más dispositivos en una oblea de silicio.

Sin embargo, los dispositivos más pequeños son de baja relación S/R. Esto puede ser
entendido señalando que la razón de energı́a térmica para E/(kT) disminuye a medida que
la masa del dispositivo se reduce [Kaajakari, 2009a].

18
Derivación de ruido de Johnson-Nyquist

La derivación del ruido de Johnson-Nyquist en forma de vibraciones mecánicas y en forma

de movimiento de electrones tienen en común que el origen del ruido es la disipación, gene-
rada por la agitación térmica de los portadores de carga [Mata, 2002]. La densidad espectral
de potencia de ruido en una resistencia viene dada por un valor medio cuadrático del voltaje
de ruido: u2n = 4kT R, donde:
kB es la constante de Boltzmann: 1, 38 ∗ 10−23 J/o K,
T es la temperatura en o K,
R es la resistencia en Ω .
A continuación se derivará la expresión anterior. Consideremos el circuito en serie RLC de

Figura 3.9: Modelo del ruido en un circuito RLC.

la figura 3.9, donde hay un generador de ruido térmico desconocido un . Debido a esta ten-
sión hay energı́a almacenada en la bobina y el condensador. El circuito esté completamente
descrito por dos variables: corriente y voltaje. Del teorema de equipartición se sabe que hay
energı́a térmica E = 12 kB T asociada a cada variable. Para la derivación se calculará la energı́a
almacenada en la bobina debido al voltaje un y se igualará esto con 12 kB T .

La corriente a través del circuito RLC, debido a ruido del voltaje un es:

un
in = 1 . (3.13)
R + jωL + jωC

La magnitud del valor medio cuadrado de la corriente es:

u2n
i2n =
. (3.14)
1 2
R2 + ωL − ωC

19
Se reescribe la ecuación 3.14 en términos de frecuencia de resonancia ω0 = √1 y el factor
LC
ω0 L
de calidad Q = R
, como:
1 u2n
i2n = 2 . (3.15)
R2

ω ω0
1+ Q2 ω0
− ω

La energı́a almacenada en la bobina en un intervalo de frecuencia es dE = 12 Li2n df . Ası́, la

energı́a total almacenada en la bobina es:
Z ∞
1
E= L i2n df. (3.16)
2 0

Sustituyendo 3.15 en la ecuación 3.16 obtenemos:

∞
u2n Q d (f /f0 )
Z
1
E= . (3.17)
4πR 0 1 + Q2 (f /f0 − f0 /f )2
Se supone que el factor de calidad es tan elevado que en esencia toda la energı́a se limita
cerca de la resonancia. Ası́, se supone que dentro de este rango de frecuencia el voltaje del
generador es aproximadamente constante u2n = u2n (f0 ), por lo tanto:

∞
u2 (f0 )
Z
Q d (f /f0 )
E= n . (3.18)
4πR 0 1 + Q2 (f /f0 − f0 /f )2

Resolviendo la integral:
u2n (f0 )
E= . (3.19)
8R
Igualando la ecuación 3.19 con la energı́a térmica E = 12 kB T :

u2n (f0 ) = 4kB T R. (3.20)

El resultado no depende de la frecuencia, por lo que es siempre válido.

Entonces:
u2n = 4kB T R. (3.21)

20
Derivación de ruido mecánico

La figura 3.10 muestra un resonador mecánico en el cual se analiza el ruido. El sistema

está completamente descrito por dos variables: la velocidad y la posición (energı́a cinética y
potencial). Asociada a una amortiguación, hay alguna fuerza Fn generada por el ruido, para
la que se quiere obtener una expresión.

Figura 3.10: Resonador mecánico representado con una masa M , un resorte K, y un amor-
tiguador γ.

La ecuación del movimiento para el sistema es:

∂ 2x ∂x
M 2
+γ + Kx = Fn . (3.22)
∂t ∂t

Se puede escribir la ecuación 3.22 en términos de la velocidad

∂x
ν= = sx, (3.23)
∂t

utilizando transformada de Laplace, donde:

K
sM ν + γν + ν = Fn . (3.24)
s

21
Por lo tanto, la media de los cuadrados de la velocidad, debido al generador de ruido Fn , es:

Fn2
νn2 =
. (3.25)
K 2
γ 2 + ωM − ω

q
K
La ecuación 3.25 se puede reescribir en términos de frecuencia de la resonancia ω0 = m
y
el factor de calidad Q = ω0 m
γ
como:

1 Fn2
νn2 = 2 . (3.26)
γ2

ω ω0
1+ Q2 ω0
− ω

La energı́a cinética almacenada en el resonador es:

1
E = mνn2 , (3.27)
2
 
f
1
Z ∞ Fn2 Q d f0
E= 2 , (3.28)
4πγ

0 f f0
1 + Q2 f0
− f

que corresponde a la ecuación 3.17. Ası́, la fuerza del generador de ruido es:

Fn2 = 4kB T γ. (3.29)

Ruido mecánico en un circuito eléctrico equivalente

Otra forma de obtener la fuerza del ruido en el generador es utilizar el análisis de circuitos
∂x
equivalentes. Se sustituye ∂t
= i en la ecuación 3.22, dando:
Z
∂i
M + γi + K i dt = f (t). (3.30)
∂t

Se define f = u , reescribiéndose la ecuación 3.30 como:

Z
∂i
M + γi + K i dt = u. (3.31)
∂t

22
Además, puede definir la resistencia de movimiento, la capacidad de movimiento y la induc-
tancia de movimiento, como:

√
KM
Rm = γ = Q
,

1
Cm = , (3.32)
K

Lm = M ,

respectivamente. La ecuación 3.31 se convierte en:

Z
∂i 1
Lm + Rm i + i dt = u. (3.33)
∂t Cm

Aplicando la transformada de Laplace:

1
sLm i + Rm i + i = u, (3.34)
sCm

que es igual a la ecuación 3.13 para el circuito en serie RLC. El voltaje de ruido es:

u2n = 4kB T Rm . (3.35)

Aplicando las definiciones f = u y Rm = γ , entonces el ruido mecánico es:

fn2 = 4kB T γ. (3.36)

Ejemplo de ruido en acelerómetro MEMS

La figura muestra la estructura de un acelerómetro MEMS tı́pico. Las dimensiones del

dispositivo son de 1 mm×1 mm×0,2 mm, la masa m = 4, 4∗10−7 kg y la constante del resorte
K = 0, 25 N/m, respectivamente. El espectro del ruido se obtiene a partir de la ecuación 3.22
a la 3.29, como:
4kB T γ
x2n = . (3.37)
γ 2 ω 2 + (K − M ω 2 )2

23
 q
El ruido rms hxn i = x2n se representa en la figura 3.12 para los valores del factor de calidad
Q = 1, Q = 2, y Q = 3.

Figura 3.11: Esquema de un acelerómetro MEMS.

Figura 3.12: Espectro de ruido del acelerómetro.

24
 Los acelerómetros detectan el movimiento por debajo de la frecuencia de resonancia,
donde:
4kB T γ
x2n ≈ , (3.38)
K2
y donde el ruido rms es: √
4kB T γ
hxn i ≈ . (3.39)
K
La fuerza debido a la aceleración es F = ma y por debajo de la resonancia, el movimiento
de la masa de prueba es:
ma
x≈ . (3.40)
K
Entonces, el ruido de acelerómetro es:
s
4kB T ω0
han i ≈ . (3.41)
mQ

√
Por ejemplo, la ecuación 3.41 da han i = 0, 38µg/ Hz para el ejemplo del acelerómetro
con Q = 2.
De la ecuación 3.41, se observa que la relación S/R se puede modificar:

1. Modificando la masa,

2. Modificando el factor de calidad,

3. Reduciendo el ancho de banda.

El factor de calidad, sin embargo, no puede ser incrementado lo suficiente, no al menos

sin control de retroalimentación, tanto que un Q alto resultarı́a en una oscilación excesiva a
la frecuencia de resonancia.

Como el ancho de banda operacional es usualmente fijo, al diseñador le queda como único
método para incrementar la relación S/R, el aumento de la masa de prueba. Esto puede ex-
plicar en parte por qué hay tan pocos acelerómetros NEMS “nanomecánicos” en el mercado.
Los acelerómetros NEMS utilizan unidades nanométricas, a diferencia de los acelerómetros

25
MEMS que utilizan unidades micrométricas; los cuales son los más comunes.

La teorı́a puede ser puesta en perspectiva al comparar dos acelerómetros comerciales.

√
Un acelerómetro MEMS “bulk” (SCA G10 de ADI), tiene un ruido de han i = 30µg/ Hz;
mientras que un acelerómetro MEMS de superficie (ADXL150 de Analog Devices), que tiene
√
mucha menor masa tiene un ruido de han i = 1mg/ Hz. Mientras que esos números incluyen
ruido del circuito, ellos ilustran la necesidad de grandes masas para obtener un bajo ruido.

Este ruido impone un lı́mite a la mı́nima aceleración que es posible medir, es decir la
resolución del sensor. Dicha resolución puede mejorarse restringiendo la banda de paso a lo
necesario; con un filtro pasa banda o pasa bajos, dependiendo del ancho de banda que se
requiera.

A diferencia de un acelerómetro piezoeléctrico, que puede presentar dificultades debido al

ruido triboeléctrico en el cable, los acelerómetros mecatrónicos no presentan gran problema,
pues se amplifican en el propio dispositivo y además presentan una impedancia de salida baja.

3.2. Aplicaciones acústicas de los sensores mecatrónicos

La aplicación de transductores de vibración en la medición de vibraciones acústicas de
instrumentos musicales, no es algo nuevo. Piezo y transductores electromagnéticos han sido
muy usados en instrumentos musicales. Suena atractiva la posibilidad de agregar pequeños
acelerómetros MEMS a la lista de transductores disponible en tales aplicaciones; tan pequeños
y livianos que su masa no efecta al instrumento. En cuanto a datos, han habido limitados
logros en el uso de estos acelerómetros debido, principalmente, al ancho de banda angosto de
estos acelerómetros disponibles en el comercio [O´Ω Reilly, 2008].

Algunos de los recientes descubrimientos en tecnologı́a de acelerómetros han generado

26
la producción de pequeños acelerómetros con un amplio ancho de banda. Los dispositivos
análogos ADXL001 tienen una masa de ± 70 g a ± 500 g, con un sólo eje y tienen un ancho
de banda de 22 kHz. Sus dimensiones son de 5 mm×5 mm×2 mm. Esto es ideal para el

Figura 3.13: Respuesta en frecuencia del acelerómetro ADXL001.

monitoreo de vibraciones en aplicaciones industriales y para aplicaciones de altos “g”, como

en condiciones de monitoreo de la vida de motores y condiciones generales de las máquinas,
detectando cambios acústicos en los rodamientos. Las primeras etapas del desgaste de éstos
se pueden detectar con un sensor de vibraciones de un alto “g” instalado en la carcasa de los
rodamientos. Este sensor no es adecuado para la vibración acústica de instrumentos musi-
cales debido a que sus “g” son demasiado altos, por lo tanto poco sensibles para instrumentos
musicales. También, porque tiene sensibilidad en sólo un eje de movimiento, mientras que un
sensor acústico ideal tendrı́a que responder en los tres ejes. Sin embargo, se han desarrollado
transductores de aceleración con ancho de banda en el rango de audio usando tecnologı́a
MEMS.

Los acelerómetros de bajos “g” tienen anchos de banda de alrededor de 5 kHz. Esta
limitación puede ser asociada con el hecho de que pocas aplicaciones comerciales requieren
sensores de un ancho de banda significativo (las primeras aplicaciones suponen la detección de
movimiento humano o gravedad dirigida, en eventos en los cuales la aceleración es difı́cilmente
controlada). Eso explica la poca motivación para desarrollar sensores especı́ficos para anchos

27
de bandas de audio. La salida de un acelerómetro es, generalmente, medida en milivoltios por
“g” y en acelerómetros tri-axiales se tienen canales de salida por separado, siendo su medición
en los ejes x, y, z separadamente. Un acelerómetro MEMS “g” débil o bajo es alojado en un
envase con superficie de montaje estándar, tomando ventaja de la madurez de la fabricación
del semiconductor. Con medidas de menos de 4 mm×4 mm×1.5 mm, el producto final puede
encajar en lugares inimaginables para los acelerómetros de tecnologı́a tradicional y por su
pequeño tamaño no causa mayor carga u otros cambios en la respuesta del sistema que se
está midiendo.

3.2.1. Realimentación acústica

La realimentación acústica es un problema que siempre hay que considerar en los sistemas
de refuerzo sonoro. Hay muchas formas convencionales de evitar la realimentación acústica.
Un método es usar diferentes tecnologı́as en micrófonos enfocándose principalmente en la
direccionalidad de éstos. Este método funciona hasta cierto punto y requiere un control cons-
tante de los sonidistas ante los eventuales cambios de dirección del micrófono.

Un segundo método es el empleo de cápsulas de contacto en el propio instrumento. La

tecnologı́a varı́a, pero la idea básica es captar directamente las vibraciones del instrumento,
en lugar del sonido que produce en el aire. La ventaja es obvia (prácticamente no hay rea-
limentación acústica), ya que estas cápsulas no son sensibles al sonido aéreo. Pero también
tienen muchas deficiencias, como por ejemplo la búsqueda de una buena ubicación del sonido
en el cuerpo del instrumento es difı́cil. Una cápsula piezoeléctrica tiene una impedancia de
salida alta, por lo cual hay que aplicarle un adaptador para bajarle la impedancia. También,
estas cápsulas son muy grandes y pueden interferir con el comportamiento de la acústica
natural, propia del instrumento.

Esto sugiere la idea de nuevas formas de “micrófonos de contacto”. Una superficie trans-
ductora puede medir la aceleración del cuerpo del instrumento, preferentemente en más de
un eje, con buena linealidad y reducido peso para no afectar acústicamente al instrumento

28
medido. Suponga que dicho transductor tiene una interfase idéntica a la del micrófono tradi-
cional con similares niveles de salida, de impedancia y de energı́a requerida. Suponga además
que un músico podrı́a conectar este transductor a un preamplificador de micrófono o a un
mezclador, como cualquier otro micrófono.

3.2.2. Micrófono de contacto

¿Que pasarı́a si hubiera un acelerómetro con un ancho de banda suficiente para ser usado
como micrófono de contacto?

Para explorar este concepto,[O´Ω Reilly, 2008] ubicaron un acelerómetro de tres ejes en
una guitarra acústica para que actuara como cápsula. Aunque no es ideal, se usó un acel-
erómetro de Analog Devices ADXL 330, el que tiene 3 ejes, con un ancho de banda de 6 kHz
en el eje x e y , y 1 kHz en el eje z.

Un ancho banda expandido permite a los acelerómetros MEMS reunir información útil en
el ancho banda de audio. Dado que la salida es análoga, es fácil conectarla con un equipamien-
to de grabación estándar. La vibración del instrumento fue medida y comparada con la recep-
ción del piezoeléctrico y con un micrófono MEMS ubicado cerca de la guitarra. La guitarra
utilizada fue una Fender acústica.

Un acelerómetro de salida MEMS análogo fue ubicado en un circuito flexible y se ad-

hirió usando cera de abejas en el cuerpo de la guitarra y en el clavijero, como muestra la
figura 3.14.
El eje x del acelerómetro fue orientado hacia el eje de las cuerdas, el eje y perpendicular
a las cuerdas y el z normal a la superficie de la guitarra. Un micrófono MEMS con una
respuesta en frecuencia plana hasta 15 kHz. se ubicó a 3 pulgadas de las cuerdas.

Un breve segmento de sonido fue grabado usando el acelerómetro, la cápsula de la guitarra

y el micrófono MEMS. La forma de onda para cada transductor se muestra en la figura 3.15.

29
 Figura 3.14: Acelerómetro montado en el clavijero de una guitarra Fender.

La figura 3.16 muestra el espectro obtenido de la FFT de una parte de la onda captada
por la cápsula de la guitarra. Este espectro muestra una respuesta de componente grave que
es creada por la caja de resonancia de la guitarra y que no es la misma que se escucha del
instrumento directamente.

Figura 3.16: Respuesta en frecuencia de la onda captada por la cápsula de la guitarra.

La salida del micrófono MEMS es muy plana y reproduce el sonido del instrumento muy
bien. Suena muy natural, bien balanceado y verdaderamente vivo. La figura 3.17 muestra el

30
 Figura 3.15: Formas de onda de la señal captada por los tres transductores.

espectro obtenido de la FFT de una parte de la onda captada por el micrófono MEMS.

Figura 3.17: Respuesta en frecuencia de la onda captada por el micrófono MEMS

31
 Figura 3.18: Respuesta en frecuencia de la onda captada por el Acelerómetro.

La salida desde el acelerómetro MEMS es muy interesante. Los puntos débiles son tales
que el ruido de fondo del acelerómetro fue muy alto y audible tanto al principio como al
final de la pista y el ancho de banda del eje z fue claramente limitado a las bajas frecuen-
cias. Además, la reproducción de cada eje fue notoriamente diferente. Los ejes x e y sonaron
brillantes y articulados y tuvo diferencias claramente discernibles en tonalidad. Como se es-
peraba, el eje z sonó dominantemente grave. La figura 3.18 muestra el espectro obtenido de
la FFT de una parte de la onda captada por el acelerómetro. La mezcla en conjunto de los
ejes x, y, z produce un representación justa del instrumento con un poco de viveza.

Ası́, los acelerómetros MEMS de bajos ”g” presentan un claro potencial como cápsulas
de alta calidad acústica para instrumentos musicales, no sufriendo problemas en la recepción
tradicional. Un acelerómetro de tres ejes ubicado sobre el clavijero de una guitarra Fender
es prometedor respecto a la reproducción del sonido. Los tres ejes tienen diferentes tonos,
relacionados a los modos de vibración de los instrumentos, dependiendo de las diferentes
direcciones del cuerpo en el que se posicione. Los tres canales de salida pueden ser mezclados
para generar sonidos de reproducción reales. Además, estos canales pueden ser mezclados en
diferentes formas resultando en creativos tonos.

32
3.3. Modos normales de vibración de una viga con un
extremo libre
En esta sección, se presentará el análisis para encontrar los modos normales de vibración
de una viga con un extremo libre y el otro empotrado [Timoshenko, 1990]. La geometrı́a de
la viga se muestra en la figura 3.19.

Figura 3.19: Viga con un extremo libre y el otro empotrado.

La ecuación diferencial de movimiento de la viga es:

∂ 4 ψ ρab ∂ 2 ψ
+ = 0, (3.42)
∂x4 Y I ∂t2

donde ψ es el desplazamiento transversal de un punto x de la viga en el instante t, ρ es la

densidad de la viga, I = ab3 /12 es el momento de inercia de la sección trasversal rectangular
de la viga de ancho a y espesor b, Y es el módulo de Young del material de la viga. Una
solución a la ecuación 3.42 es de la forma

ψ(x, t) = y(x) · sen(ωt), (3.43)

donde y(x) es la amplitud con que vibra la viga y ω es la frecuencia angular de ésta.

Al reemplazar la solución 3.43 en la ecuación diferencial 3.42, se obtiene:

d4 y ρab 2
− ω y = 0. (3.44)
dx4 YI

Las raı́ces de la ecuación caracterı́stica son

33
 r4 − q 4 = 0,
q = ( ρab
YI
ω 2 )1/4 .

Por lo tanto, se obtienen dos raı́ces reales y dos imaginarias

r = q, r = −q, r = iq, r = −iq.

La solución general es

y(x) = C1 eqx + C2 e−qx + C3 eiqx + C4 e−iqx . (3.45)

De forma equivalente, se puede escribir

y(x) = A1 senh(qx) + A2 cosh(qx) + A3 sen(qx) + A4 cos(qx). (3.46)

La derivada de y(x) da

dy
= q(A1 cosh(qx) + A2 senh(qx) + A3 cos(qx) − A4 sen(qx)). (3.47)
dx

Condiciones de contorno Un extremo está empotrado (x = 0) y en este punto la pendiente

es nula (dy/dx = 0), por lo cual obtenemos

0 = A2 + A4 , (3.48)

0 = A1 + A3 . (3.49)

En el extremo derecho libre (x = L), y(L) y su pendiente dy/dt 6= 0, pero el momento

flector y la fuerza cortante son cero. De la ecuación de la viga a flexión y para el caso analizado
(empotrado en un extremo y libre en el otro) se tiene para x = L y y(L) que d2 y/dx2 = 0 y
d3 y/dx3 = 0 con lo cual

A1 (senh(qL) + sen(qL)) + A2 (cosh(qL) + cos(qL)) = 0, (3.50)

A1 (cosh(qL) + cos(qL)) + A2 (senh(qL) − sen(qL)) = 0. (3.51)

34
 Eliminando A1 y A2 , se obtiene una ecuación trascendente en qL

cosh(qL) · cos(qL) = −1. (3.52)

Las raı́ces rn = qn · L de la ecuación 3.52 se calculan por métodos numéricos, y las

primeras 5 raı́ces son: Una vez conocido los valores posibles de qn , se calculan las frecuencias

r1 r2 r3 r4 r5
1.8751 4.6941 7.8548 10.9955 14.1372

Cuadro 3.1: rn raı́ces de la ecuación 3.52.

ωn = 2πfn por:
s
r2 YI
fn = n , (3.53)
2π ρabL4
s
YI
fn = Cn , (3.54)
ρabL4

donde fn es la frecuencia natural del modo normal n y Cn es un número que corresponde

a este modo. Sus primeros valores son: Los coeficientes Cn son independientes de las carac-

C1 C2 C3 C4 C5
0.5596 3.5069 9.8194 19.2421 31.81

Cuadro 3.2: Cn coeficiente que corresponde a cada modo.

terı́sticas del material de la viga, pero fn depende de las dimensiones de la viga (a y b) y del
tipo de material, que en este caso es acero.

La amplitud y(x) de los distintos puntos x de la viga en el modo normal de vibración n

es:

senh(qn L) + sen(qn L)
yn (x) = A(senh(qn x) − sen(qn x) − (cosh(qn L) + cos(qn L)). (3.55)
cosh(qn L) + cos(qn L)

35
Capı́tulo 4

Metodologı́a

4.1. Construcción del acelerómetro

La construcción del acelerómetro mecatrónico se basó en el dispositivo ADXL210 de
Analog Devices, dispositivo el cual se configura como se muestra en la figura 4.1, con con-
densadores de 6.8nF en ambas salidas analógicas de los ejes x e y, valor que fija los anchos
de banda de las salidas del acelerómetro. Además, se usó una resistencia de 820 kΩ y un
condensador de 100nF de desacoplo para reducir el ruido eléctrico en la alimentación del
dispositivo, tal como lo recomienda el fabricante. El dispositivo se alimentó con 5V DC.

Figura 4.1: Esquema del montaje del acelerómetro.

36
 Las especificaciones del fabricante indicaban que el dispositivo se podı́a alimentar con
una corriente continua de 3 a 5.25V; se conectó la alimentación VDD a un conector USB
para obtener fácilmente los 5V DC del mismo computador del cual se adquieren los datos. El
conector de salida utilizado fué un plug estéreo de 3.5mm, en el cual la punta es la salida del eje
y, el anillo es la salida del eje x y la manga es tierra. En la figura 4.2 se muestra el dispositivo
montado en un circuito impreso con la configuración recomendada por el fabricante.

Figura 4.2: Dispositivo montado en un circuito impreso.

37
 Figura 4.3: Foto del acelerómetro construido.

4.2. Calibración

4.2.1. Sensibilidad

Para medir la sensibilidad del acelerómetro se utilizó un calibrador Bruel & Kjaer modelo
4294, al cual se adosa el acelerómetro, como muestra la figura 4.4. El calibrador entrega un
tono puro de 1000 rad/s, que equivale a 159.15 Hz, con una aceleración rms de 10m/s2 . Se
midió la señal que entregó el acelerómetro con un osciloscopio digital, del cual se adquirió la
forma de onda para procesarla en Matlab. También, se adquirió la forma de onda del ruido
que entrega el acelerómetro cuando no está siendo excitado.
Una vez adquiridos los datos en MATLAB, se obtuvo el valor RMS de la forma de onda
que entregaba el acelerómetro al ser excitado por el calibrador, siendo de Vs = 101,28mVrms .
Este valor se utilizó para obtener la sensibilidad del acelerómetro. La sensibilidad se obtiene
dividiendo la señal de salida que está en mV con la señal de entrada que es a = 10m/s2 , pero

38
 Figura 4.4: Esquema de la medición de sensibilidad.

Figura 4.5: Foto de la medición de sensibilidad con el osciloscopio.

la sensibilidad generalmente se mide en unidades mV /g.

a = 10 m/s2 = 10/9, 8 g = 1, 0204 g (4.1)

Vs 101, 28
sensibilidad = = mV /g = 99, 25 mV /g (4.2)
a 1, 0204

También se obtuvo el valor RMS de la forma de onda del ruido que entrega el acelerómetro,
siendo de Vn = 2,54mVrms . Con ambos valores, se obtuvo a partir de la ecuación 4.3 la relación
SNR de 32dB.
Vs
SN R = 20 log (4.3)
Vn

39
 Posteriormente, ambas señales fueron filtradas con un filtro pasa bajos FIR con ventana
Kaiser de orden 256, con frecuencia de corte en 1000Hz. Al tener un orden alto, el corte en
1000Hz es bastante abrupto, lo que se ve en la figura 4.6. En estas condiciones, se volvió a
calcular los valores RMS y nuevamente se obtuvo a partir de la ecuación 4.3 la relación SNR,
siendo ahora de 37.8dB. En la figura 4.7 se puede observar el tono puro antes y después de
ser filtrado.

Figura 4.6: Magnitud y fase de la respuesta en frecuencia del filtro FIR de orden 256.

40
 Figura 4.7: Onda que entrega el calibrador, captada por el acelerómetro.

Con el filtro FIR de orden 256 también se pudo comparar la señal del ruido del dispositivo
captado por el osciloscopio, antes y después de ser filtrada. Con esto logró comprobar que
es posible extraer el ruido generado por el oscilador interno del acelerómetro MEMS, puesto
que al hacer un acercamiento a la señal de ruido sin filtrar se ve en la figura 4.9 que el ruido
es periódico. Esta periodicidad está dada por el oscilador interno del dispositivo.

41
 Figura 4.8: Ruido del acelerómetro MEMS antes y después de ser filtrado.

A ambas señales que muestra la figura 4.8 se les calculó el valor RMS, obteniendo para
el ruido sin filtrar 2,54mVrms y para el ruido ya filtrado 1,3mVrms .

Figura 4.9: Acercamiento a la señal de ruido sin filtrar.

42
4.2.2. Respuesta en frecuencia

Para medir la respuesta en frecuencia del acelerómetro se utilizó un shaker Bruel & Kjaer
modelo 4810, al cual se adosaron dos acelerómetros: el acelerómetro comercial Bruel & Kjaer
modelo 4518-003 y el acelerómetro ADXL210 de Analog Devices, como muestra la figura 4.10.

El shaker fué excitado con ruido blanco y se captó simultaneamente una señal con el
acelerómetro Bruel & Kjaer y otra señal con el acelerómetro mecatrónico a través del Software
LabView6i, con el programa VibronMulti2n [Pereira, 2008] , el cual obtiene la función de
transferencia y la coherencia entre ambas señales, como muestra la figura 4.11. Se usó una
frecuencia de muestreo de 16kHz y 64000 muestras por canal.

Figura 4.10: Acelerómetros adosados al shaker para medir la respuesta en frecuencia.

43
Figura 4.11: Programa VibronMulti2n.

44
4.3. Metodologı́a de medición
Para probar el acelerómetro MEMS, se hicieron mediciones en una viga de acero con un
extremo empotrado y otro extremo libre. Se usó esta configuración, puesto que fué un exper-
imento simple de montar y la respuesta de la viga ante un impulso es conocida teóricamente.
Para excitar la viga se golpeó el extremo libre con un martillo de impactos Bruel & Kjaer
modelo 8206 con punta de goma, con el cual se obtiene la respuesta al impulso de la viga. Las
dimensiones de la viga de acero son: largo 50cm, ancho 3cm y espesor 0.5 cm. Para adosar
el acelerómetro se hicieron 6 orificios equidistantes a 8cm uno de otro para poder medir en
diferentes puntos de la viga.
Se instaló el acelerómetro ya construido a partir del dispositivo ADXL210 y se hicieron
mediciones en los 6 puntos de la viga, como muestra la figura 4.12.

Figura 4.12: Viga empotrada con un extremo libre.

Como se puede observar en el diagrama en bloque en la figura 4.14, el acelerómetro se

conectó con un plug estéreo en la entrada 1 del ecualizador y el martillo de impactos Bruel
& Kjaer (que se muestra en la figura 4.13), se conectó al acondicionador, el cual amplifica la

45
 Figura 4.13: Martillo de impacto Bruel & Kjaer 8206.

P1 P2 P3 P4 P5 P6
8cm 16cm 24cm 32cm 40cm 48cm

Cuadro 4.1: Posición de los puntos de medición, a partir del lado empotrado.

señal y luego a la entrada 2 del ecualizador. Cada salida del ecualizador va a una entrada de
la tarjeta de sonido National Instruments PCI-6036E que está en el computador.

Figura 4.14: Diagrama de configuración del experimento de medición de la viga empotrada.

Se implementó un programa en LabView 6i llamado “capturador2” que permitió capturar

simultáneamente la señal del martillo de impactos y de la respuesta de la viga captada

46
por el acelerómetro. Además, permitió visualizar las señales en tiempo real al realizarse el
experimento para comprobar que no se estuviese capturando una señal saturada. Con este
programa se exportaron los datos a Matlab para luego procesarlos. El programa, como se
muestra en la figura 4.15, permitı́a captar ambas señales con igual frecuencia de muestreo
de 8kHz y número de muestras por canal de 64000. En la figura 4.16 se puede observar el
diagrama en bloque del programa hecho en Labview 6i para capturar las señales.
Posteriormente, se hicieron los mismos procesos de medición pero utilizando un acele-
rómetro comercial Bruel & Kjaer 4518-003 en vez del acelerómetro MEMS, para poder com-
parar las señales captadas con ambos acelerómetros.

Figura 4.15: Interfaz gráfica del programa hecho en Labview.

47
Figura 4.16: Diagrama en bloque del programa hecho en Labview.
48
Capı́tulo 5

Análisis de resultados

5.1. Resultados de las mediciones en la viga.

Después de 22 mediciones de la viga empotrada en cada uno de los 6 puntos con ambos
acelerómetros, excitando la viga con el martillo de impactos, se comenzaron a procesar los
datos en Matlab de la siguiente manera: Para las mediciones hechas sobre un punto de la
viga (ejemplo, punto 1 de la viga), con MATLAB se hizo un script donde a las señales
del acelerómetro y del martillo de impactos, se les aplicó la FFT (Transformada Rápida de
Fourier), para transformar las señales del dominio del tiempo al dominio de la frecuencia.
Considerando que:

a(t): señal en el dominio del tiempo del acelerómetro MEMS.

fa (t) : señal en el dominio del tiempo del martillo de impactos para el impulso aplicado en
las mediciones del acelerómetro MEMS. Podemos representar

a(t) ⇒ A(ω) (5.1)

fa ⇒ Fa (ω) (5.2)

Posteriormente, se le aplicó valor absoluto a la FFT de cada una de las señales. Luego, se
promediaron las 22 mediciones captadas por el acelerómetro y entonces se promediaron las

49
22 respuestas al impulso captadas por el martillo de impactos.

Para hacer la promediación de las 22 señales de aceleración en el dominio de la frecuencia,

se sumaron cada una de las mediciones punto a punto como muestra la figura 5.1 y dividiendo
por 22 en cada punto.

El mismo procedimiento se utilizó para obtener la promediación de las 22 señales captadas

por el martillo.

Figura 5.1: Esquema de la suma de las mediciones para la promediación.

Tanto para la señal del martillo como para la del acelerómetro, se normalizó la señal
obtenida de la promediación dividiendo cada punto de la señal por su valor máximo para
poder después comparar ambas señales teniendo una misma referencia.

50
 Para obtener la función de transferencia, se hizo la división de la señal del acelerémetro
por la del martillo, de acuerdo a la ecuación:

A(ω)
Ha (ω) = . (5.3)
Fa (ω)

Se hizo un arreglo con la función linspace de MATLAB, para que el valor de cada punto
del dominio correponda a la frecuencia. Se acortó la señal para graficarla sólo de 1 a 1000
Hz, puesto que el análisis de vibraciones se hace usualmente para bajas frecuencias.

Se hizo el mismo proceso con las mediciones hechas con el acelerómetro Bruel & Kjaer y
el martillo de impactos, obteniendo la función de transferencia para estos datos.

Tanto para las mediciones hechas con el acelerómetro como las hechas con el martillo se
utilizó la misma frecuencia de muestreo de 8kHz y el mismo número de muestras por canal
de 64000.

Figura 5.2: Función de transferencia del acelerómetro MEMS (rojo) y del acelerómetro Bruel
& Kjaer (azul), en escala lineal.

51
 En las figuras 5.2 y 5.3 se observan ambas funciones de transferencia para ambos acel-
erómetros.

Figura 5.3: Función de transferencia en escala logarı́tmica del acelerómetro MEMS (rojo) y
del acelerómetro Bruel & Kjaer (azul).

Al comparar las gráficas en la figura 5.3, donde ambas funciones de transferencia están en
escala logarı́tmica, se puede ver que la señal que se obtiene a partir del acelerómetro Bruel &
Kjaer (gráfica azul) detecta cada una de las frecuencias. En cambio, la señal que se obtiene
a partir del acelerómetro MEMS sólo logra captar los primeros modos. Las frecuencias sobre
los 400Hz se enmascaran con el ruido del acelerómetro MEMS.
Frecuencias naturales fn1 fn2 fn3 fn4 fn5
Frecuencias teóricas (Hz) 16.5 103.5 290 568 939
Medición con ac.MEMS (Hz) 17 101 277 536
Medición con ac.B& K(Hz) 17 101 279 544 897

Cuadro 5.1: fn frecuencias naturales de los primeros 5 modos de vibración.

En la tabla 5.1 se pueden comparar los 5 modos de vibración transversal. El primer

modo tiene una diferencia de 0.5Hz entre la teorı́a y ambos acelerómetros. El segundo modo

52
teóricamente es en 103.5Hz y ambos acelerómetros midieron 101Hz. En el tercer modo de
vibración la diferencia entre la teorı́a y lo medido por el acelerómetro B&K es de 11Hz, y
con el acelerómetro MEMS es de 13Hz. En el cuarto modo la diferencia entre la teorı́a y lo
medido por el acelerómetro B&K es de 24Hz, y con el acelerómetro MEMS es de 32Hz. Para
el quinto modo teórico la frecuencia es de 939Hz. El acelerómetro B&K registra 897Hz y en
el acelerómetro MEMS sólo se observa ruido, como se puede observar en la figura 5.4.

Figura 5.4: Zoom de la función de transferencia en escala logarı́tmica entre los 800 y 1000Hz
del acelerómetro MEMS (rojo) y del acelerómetro Bruel & Kjaer (azul).

Haciendo un zoom entre los 8 y 24 Hz, de la función de transferencia, como se puede

observar en la figura 5.5, hay un peak en 13 y en 17Hz. Los 17Hz corresponden al primer modo
transversal de vibración, mientras los 13 Hz corresponderı́an a un modo torsional de vibración
que se genera en la viga. Puesto que, aunque la viga fue percutada en forma transversal, no
solamente tiene modos de vibración transversal sino también modos de vibración torsional.
Se puede observar en las figuras 5.4 y 5.5, que la señal (color rojo), del acelerómetro
MEMS tiene ruido sumado.

53
Figura 5.5: zoom de la función de transferencia en escala logarı́tmica entre los 8 y 24 Hz del
acelerómetro MEMS (rojo) y del acelerómetro Bruel & Kjaer (azul).

5.2. Resultados de la respuesta en frecuencia

A partir de la respuesta en frecuencia con el programa ”VibronMulti2n” en Labview6i,
se obtuvo la función de transferencia entre el acelerómetro MEMS y el acelerómetro Bruel &
Kjaer, la cual se observa en la figura 5.6. En la magnitud se observa la señal filtrada de 0 a
50Hz y se puede ver una no linealidad de 0 a 50 Hz en la fase.

El programa ”VibronMulti2n” también entregaba la coherencia entre las señales de

ambos acelerómetros la cual, idealmente, serı́a igual a uno para todo el ancho de banda
analizado. La figura 5.7(a) muestra la gráfica de 1 a 1000Hz y la figura 5.7(b) muestra un
acercamiento de los primeros 100Hz de la coherencia. Se puede observar que en los primeros
50Hz la señal tiene filtrada las señales bajo los 50Hz.

54
 Figura 5.6: Función de transferencia entre ambos acelerómetros, magnitud y fase.

Figura 5.7: Coherencia entre el acelerómetro MEMS y el acelerómetro Bruel & Kjaer.

55
5.3. Costos
El acelerómetro ADXL210 de Analog Devices se obtuvo a través de la página de Analog
Devices www.analog.com como una muestra gratis.

El montaje del dispositivo, configurado con un par de condensadores y una resistencia en

un circuito impreso muy pequeño, se encapsuló en un conector DIN al cual se le removieron
los pines de conexión.

Los costos de los materiales utilizados fueron (mayo de 2010):

2 condensadores 200 pesos

1 resistencia 100 pesos
circuito impreso 5000 pesos
1 conector DIN 500 pesos
tapa del conector 1500 pesos
cable 1000 pesos
TOTAL 8300 pesos

Esto da un costo total del montaje del MEMS ADXL210 de $8300, aproximadamente
US$16.
Si se desea comprar un acelerómetro MEMS, puede hacerlo a través de la página http :
//www.digikey.com, donde se puede elegir el componente deseado ingresando las carac-
terı́sticas que se necesite, por ejemplo:

marca

cantidad de ejes

sensibilidad

ancho de banda

tipo de salida

56
 En la página señalada se pueden comprar acelerómetros desde una unidad a precios muy
accesibles (desde US$5), más los costos de envio. De hecho, el envı́o puede ser más caro que
el mismo dispositivo al comprar en pocas cantidades.

Se puede destacar que hay acelerómetros MEMS disponibles en el mercado, orientados a

mediciones sismológicas, los cuales han logrado tener un precio muy inferior a los sensores
sismológicos tradicionales. Por ejemplo, el sensor modelo 2440 de ”Silicon Designs” es un
arreglo de tres acelerómetros unidireccionales ordenados cada uno en un eje de aceleración.
√
Este sensor tiene una relacion señal/ruido muy baja de 15µg/ Hz para ±10g, y una sensi-
bilidad bastante alta de 500mV /g en comparación con el acelerómetro ADXL210 de Analog
Devices que se utilizó en este trabajo [Silicon Designs, 2007].

57
Capı́tulo 6

Conclusiones

El objetivo principal de este trabajo consistió en construir un sensor de vibraciones de

bajo costo. Se logró armar el sensor de manera que fuese posible utilizarlo para medir vibra-
ciones en una viga de acero.

Con el acelerómetro ya armado se logró en la viga empotrada en un extremo, obtener 4

de las 5 frecuencias naturales de vibración que se generan de 0 a 1000Hz en la viga.

El acelerómetro MEMS tiene la ventaja de no requerir acondicionador de señal o amplifi-

cador, como es el caso de los acelerómetros de piezoeléctrico, los que generan una señal muy
débil. Esto tiene la ventaja que si se genera ruido triboeléctrico en el cable del acelerómetro
MEMS, este no va a afectar a la señal captada, como puede ocurrir con los acelerómetros
de piezoeléctrico, lo que se evita con cables muy bien blindados los que son de un alto valor
comercial.

Se comprobó que la relación señal/ruido del MEMS es baja, mucho más baja que la
relación señal a ruido de los acelerómetros de piezoeléctrico. El ruido se va incrementando
fuertemente sobre los 500Hz para el acelerómetro utilizado, enmascarando las señales sobre
los 600Hz, por lo cual la mayor desventaja de este acelerómetro MEMS es el ruido propio del
dispositivo.

58
 A partir de este trabajo, se concluye que los acelerómetros MEMS son de un tamaño
muy reducido, de bajo costo y el montaje también es de bajo costo, lo que hace que los
acelerómetros MEMS se estén masificando en el mercado de consumo.

Finalmente, se concluye que el acelerómetro ADXL210 tiene una repuesta en frecuencia

útil para aplicarlo en la medición de vibraciones de 50 a 500Hz. Ya que muchas aplicaciones
en este ámbito se concentran en estos rangos de frecuencia, el sensor de vibraciones construido
en este trabajo presenta un gran potencial práctico.

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Bibliografı́a

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ical systems, Small Gear Publishing (2009).

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[Miyara, 2004] Miyara, F., El acelerómetro monolı́tico ADXL05: Un ejemp-

lo de mecatrónica, Extraido en octubre de 2008 de la World Wide Web:
www.fceia.unr.edu.ar/enica3/adxl05.pdf (2004).

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[Silicon Designs, 2007] Silicon Designs Inc., Triaxial Analog Accelerometer Module Model
2440, Issaquah, WA (2007).

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[White, 2008] White, G., Introducción al Análisis de Vibraciones, Azima DLI, Woburn
(2008).

61