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nano-estructuras moldeadoras
topológicas de luz
Por
en el
Agosto 2014
Tonantzintla, Puebla
Supervisada por:
©INAOE 2014
Derechos Reservados
El autor otorga al INAOE el permiso de
reproducir y distribuir copias de esta tesis en su
totalidad o en partes mencionando la fuente.
A las personas más importantes de mi vida:
José Luis Magallanes,
Gloria González,
Javier, Adrián,
Pablo y Vanessa.
I
II
Agradecimientos
Primeramente quiero agradecer la guia, el apoyo y la confianza que he recibido por parte
del Dr. Rubén García. Él es la persona que me dió la oportunidad de realizar una estancia
en el extranjero. De esta estancia se deriva este trabajo de tesis.
Finalmente quiero agradecer a mis amigos de maestría, con los que compartí dos años
maravillosos de mi vida. Empezaré por el siempre alegre y con buen apetito, Orlando; el
sarcastico y maestro de la distracción, Guillermo; el cuántico y pambolero, Irán; el músico
y deportista extremo, Marco; la cosmopolita y viajera, Carmina; la “fashion” y divertida,
Bety; la campirana y “pacífica”, Yadira; la tenaz y bailarina, Miriam.
III
IV AGRADECIMIENTOS
Resumen
V
VI RESUMEN
Índice general
Agradecimientos III
Resumen V
1. Polarimetría de Stokes 1
1.1. Introducción . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.2. Elipse de Polarización . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.3. Parámetros de Stokes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.4. Vectores de Stokes y Matrices de Mueller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.5. Medición de los Parámetros de Stokes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.5.1. Método Clásico o de Stokes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.5.2. Método de Análisis por Bases . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.6. Medición de las Matrices de Mueller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.6.1. Construcción de un polarímetro . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3. Experimentos y Resultados 25
3.1. Las Estructuras . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
3.2. Polarimetría con un Arreglo Experimental Propio . . . . . . . . . . . . . . . 26
3.2.1. Resultados . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
3.2.1.1. Aberturas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
3.2.1.2. Partículas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.3. Polarimetría con el Sistema Abrio
R
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.3.1. Resultados . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
VII
VIII ÍNDICE GENERAL
3.3.1.1. Aberturas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.3.1.2. Partículas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
3.3.1.3. Rendijas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4. Conclusiones 35
4.1. Polarímetro . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.2. Moldeado Topológico de la Luz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Polarimetría de Stokes
1.1. Introducción
Un haz de luz propagandose en un material isotrópico se compone de muchas ondas
individuales, cada una de ellas oscilando en una dirección perpendicular a su trayectoria.
Normalmente, las oscilaciones de cada onda ocurren en diferentes orientaciones sin una di-
rección preferencial, sin embargo, en algunos casos todas las ondas en un haz de luz oscilan
en planos paralelos en la misma dirección. Cuando la luz tiene este comportamiento se dice
que está polarizada, lo que significa que posee una dirección de oscilación preferencial. La
luz procedente de fuentes comunes como la bombilla, el sol o la llama de una vela es no po-
larizada, pero puede convertirse fácilmente a polarizada al interactuar con la materia [16].
Los fenómenos de reflexión, refracción, transmisión y dispersión pueden afectar el estado
de polarización de la luz.
1
2 CAPÍTULO 1. POLARIMETRÍA DE STOKES
donde Ex y Ey son las componentes del campo a lo largo de los ejes X y Y repec-
tivamente, E0x y E0y sus amplitudes, δx , δy y τ = kz − ωt (k, el número de onda y, ω,
la frecuencia angular) las fases iniciales. Operando en la ecuación 1.1 para cancelar τ se
obtiene
Ex2 Ey2 Ex Ey
2 + 2 −2 cos δ = sin2 δ, (1.2)
E0x E0y E0x E0y
0
Ex cos ψ sin ψ Ex
0 = , (1.3)
Ey − sin ψ cos ψ Ey
tal que desaparezca el término cruzado en la ecuación 1.2 obtenemos
Dos parámetros que describen que tan elíptica es la polarización surgen de manera
natural de la figura 1.1. Estos parámetros son: la razón entre las amplitudes
E0y
tan α = , (1.5)
E0x
y la razón entre los ejes de la elipse
b
tan χ = . (1.6)
a
2
4E0y hEx2 (t)i + 4E0x
2
hEy2 (t)i
(1.10)
2
−8E0x E0y hEx (t)Ey (t)i cos δ = (2E0x E0y sin δ) .
4 CAPÍTULO 1. POLARIMETRÍA DE STOKES
1 2
hEx (t)2 i = E
2 0x
1 2
hEy (t)2 i = E (1.11)
2 0y
1
hEx (t)Ey (t)i = E0x E0y cos δ.
2
Sustituyendo la ecuación 1.11 en 1.10 y completando el cuadrado nos conduce a
2 2
2 2 2
2
E0x + E0y = E0x − E0y
(1.12)
2 2
+ (2E0x E0y cos δ) + (2E0x E0y sin δ) .
Ahora, la última expresión define en sí misma los bien conocidos parámetros de Stokes,
ellos son:
2
S0 = E0x 2
+ E0y = Ex Ex∗ + Ey Ey∗ (1.13)
S1 = 2
E0x− 2
E0y= Ex Ex∗
− Ey Ey∗ (1.14)
S2 = 2E0x E0y cos δ = Ex Ey∗ + Ey Ex∗ (1.15)
2E0x E0y sin δ = i Ex Ey∗ − Ey Ex∗ .
S3 = (1.16)
0
S0 m11 m12 m13 m14 S0
0
0 S1 m21 m22 m23 m24 S1
S = 0
=
m31
= M S, (1.19)
S2 m32 m33 m34 S2
0
S3 m41 m42 m43 m44 S3
donde M es la matriz de Mueller del medio. Las matrices de Mueller más comunes y
relevates son:
1 0 0 0
0 1 0 0
F (p) = p2 0 0 1 0 , Filtro de Densidad Neutra;
(1.20)
0 0 0 1
1 1 0 0
p2x
1 1 0 0 , Polarizador;
P (px ) = (1.21)
2 0 0 0 0
0 0 0 0
1 0 0 0
0 1 0 0
R (φ) = 0 0 cos φ sin φ , Retardador;
(1.22)
0 0 − sin φ cos φ
1 0 0 0
0 cos 2θ sin 2θ 0
G (θ) = 0 − sin 2θ cos 2θ 0 , Rotación;
(1.23)
0 0 0 1
Figura 1.2: Método de Stokes. 1)Placa λ/4 fija y eje rápido paralelo al eje X 2)Polarizador
lineal rotado un ángulo θ respecto al eje.
S0 + S1 cos 2θ + (S2 cos φ + S3 sin φ) sin 2θ
1 2
S 00 = S0 cos 2θ + S1 cos 2θ + (S2 cos φ + S3 sin φ) sin 2θ cos 2
2θ
2 S0 sin 2θ + S1 sin 2θ cos 2θ + (S2 cos φ + S3 sin φ) sin 2θ
0
= P (θ) S 0 . (1.27)
Como en el laboratorio solo podemos medir intensidades, fijaremos nuestra atención en
00
el término S0 que representa la intensidad del haz en cuestión, entonces
1.5. MEDICIÓN DE LOS PARÁMETROS DE STOKES 7
00 1
I (φ, θ) = S0 = (S0 + S1 cos 2θ + (S2 cos φ + S3 sin φ) sin 2θ) . (1.28)
2
Para valores apropiados de φ y θ en la ecuación anterior, buscando aislar cada parámetro,
resulta que una combinación adecuada es
I (0o , 0o )
S0 + S1
I (0o , 90o ) 1 S0 − S1
I (0o , 45o ) =
2 S0 + S2
I (90o , 45o ) S0 + S3
1 1 0 0 S0
1 1 −1 0 0 S1
=
1 0 1
. (1.29)
2 0 S2
1 0 0 1 S3
Ahora, resolviendo el sistema anterior obtenemos
Si cada parámetro se mide con los mismos elementos, entonces la absorción es la misma
y los parámetros reducidos determinarán el estado de polarización. En el método de Stokes,
el cuarto parámetro se mide con un elemento adicional respecto a los otros tres, reduciendo
así la magnitud de la componente circular del vector de Stokes. Para evitar este problema
tenemos que dividir a cada parámetro entre la intensidad total medida de acuerdo a la base
utilizada [10].
Transformando la base rectangular del campo a otras dos bases tenemos que
E+45o 1 1 −1 Ex
= √ (1.32)
E−45o 2 1 1 Ey
Eσ+ 1 i Ex
= , (1.33)
Eσ− i 1 Ey
y sustituyendo en las ecuaciones 1.13 a 1.16 comprobamos que
Ex Ex∗ + Ey Ey∗
S0 I
∗ ∗
= Ex Ex − Ey Ey = Ix − Iy ,
S1
S2 Ex Ey∗ + Ey Ex∗ I+45o − I−45o (1.34)
i Ex Ey∗ − Ey Ex∗ .
S3 Iσ+ − Iσ−
donde S0 = I = Ix + Iy = I+45o + I−45o = Iσ+ + Iσ− , entonces
1 1
s 1 (Ix − Iy ) / (Ix + Iy )
I = I
s 2 (I+45o − I−45o ) / (I+45o + I−45o ) .
(1.35)
s3 (Iσ+ − Iσ− ) / (Iσ+ + Iσ− )
La última ecuación define un método distinto para medir el vector de Stokes. Para
llevarlo a cabo se requieren tres pares de mediciones, cada par con una base distinta; el
primero con una base rectangular y arbitraria, el segundo rotado 45o respecto al primero,
y el último con una base circular. En los dos primeros basta un polarizador lineal; en el
tercero se requiere un polarizador y una placa λ/4 de acuerdo a la figura 1.3.
Hasta aquí se han revisado dos métodos para determinar el estado de polarización de
un haz. Cualquier otro método debera tener un planteamiento como el siguiente:
I = AS ⇒ S = A−1 I, (1.36)
donde S es el vector 4x1 de Stokes, A es la matriz Nx4 que representa la relación entre
la acción del sistema sobre S y las intensidades medidas I (vector Nx1). En consecuencia,
podemos reescribir y presentar la ecuación 1.35 como
Ix
S0 1 1 0 0 0 0 Iy
S1 1 −1 0 0 0 0 I+45o
=
0 0 1 −1 0 0 I−45o . (1.37)
S2
S3 0 0 0 0 1 −1 Iσ+
Iσ−
1.6. MEDICIÓN DE LAS MATRICES DE MUELLER 9
(e) σ + (f) σ −
Debe ser claro que A−1 es la pseudoinversa de A e implica que el método debe formar
una base del espacio vectorial de Stokes, que en general quedará sobrederterminado (N ≥ 4).
Figura 1.4: Esquema conceptual. 1)PSG 2)Objeto de estudio con matriz de Mueller M 3)PSA.
Mueller del PSA; finalmente, Iag es la señal del detector para cada par a-g. Cabe mencionar
que g es el producto del vector de Stokes de la fuente por la matriz de Mueller del PSG.
Entonces, debemos adquirir al menos 16 valores de I con combinaciones de PSA-PSG para
obtener 16 ecuaciones linealmente independientes e igual número de incógnitas, las cuales
son los elementos de la matriz de Mueller de la muestra. Generalmente, se realizan mas de
16 mediciones y por ende, las incógnitas quedan sobredeterminadas.
Figura 1.5: Polarímetro de transmisión contruido con: 1)Láser de He-Ne de 632.8 nm 2)Dos
polarizadores lineales 3)Dos placas λ/4 5)Una cámara CCD 6)Software escrito en Matlab.
4
X
Irs = ari mij gjs ⇒ I = AM G ⇒ M = A−1 IG−1 , (1.39)
i,j=1
donde I es la matriz RxS del conjunto de mediciones; A es la matriz Rx4 del PSA; M
la matriz de Mueller del material a determinar; finalmente, G es la matriz 4xS del PSG.
Este resultado es una generalización de la ecuación 1.36 e implica que:
Hoy en día existe una gran cantidad de polarímetros capaces de medir vectores de Stokes
y/o matrices de Mueller. Dentro de esta oferta existen diferentes métodos que fundamentan
su operación [9]. Las diferencias dependen mucho de la aplicación, por ejemplo, si es para
1.6. MEDICIÓN DE LAS MATRICES DE MUELLER 11
Figura 1.6: Matriz de Mueller del aire. La escala cromática va del azul al rojo, donde azul= −1,
verde= 0 y rojo= 1.
Con la experiencia adquirida fabricando este polarímetro se estudió una técnica, recien-
temente propuesta, de generación y control de vórtices ópticos. En el siguiente capítulo se
explicará en qué consiste y cómo es que se aplica la polarimetría en su descripción.
12 CAPÍTULO 1. POLARIMETRÍA DE STOKES
Capítulo 2
2.1. Introducción
Un haz de luz con polarización circular o elíptica gira en torno a su eje de propagación
a medida que se desplaza a través del espacio. Se sabe que la luz tiene momento angular
de espín si todos sus vectores de polarización rotan, mientras que posee momento angular
orbital (Orbital Angular Momentum, OAM) si tiene una variación de fase azimutal. Un haz
con OAM posee un vórtice óptico y este tiene una variación de fase azimutal dando como
resultado una dona de luz; a lo largo del eje de propagacion el haz posee un minimo de
energía. El OAM puede ser muchas veces mayor que el momento angular de espín, que per-
mite utilizarlo en muchas aplicaciones como formación de imágenes [20], atrapamiento con
pinzas ópticas [14] y, recientemente, en comunicaciones ópticas [19]. Para extender la apli-
cabilidad del OAM, desde hace poco, científicos han buscado la manera de generar vórtices
ópticos de menor tamaño. Para ello han centrado sus esfuerzos en reducir los generadores
que actualmente son de unos cuantos centímetros.
Una estructura de dimensión menor a la longitud de onda del haz que incide sobre ella,
puede emplearse para generar anisotropía óptica, incluso cuando los componentes indivi-
duales que constituyen la estructura son ópticamente isotrópicos. Como se ha demostrado,
una nanorendija metálica recta puede funcionar como retardador óptico, mientras que una
nanorendija circular metálica puede producir OAM a través de la interacción spin-órbita
de la luz. Sin embargo, estructuras circulares o poligonales convexas solo permiten una
circulación total de fase de 2π.
Para controlar la circulación de fase por cualquier múltiplo entero de 2π, y por ende,
realizar una estrategia versátil para moldear la topología de la luz a pequeña escala, se
introducen deformaciones continuas específicas a las estructuras circulares. Las estructuras
se pueden elaborar mediante el fresado de películas delgadas de oro, creando estructuras
con trayectoria cerrada y cúspides (figura 2.1).
En este trabajo se muestra una técnica novedosa, que consiste en generar y controlar
vórtices ópticos a través de un conjunto discreto de deformaciones continuas aplicado a
nanorendijas, aberturas y partículas circulares de escala microscópica.
13
14 CAPÍTULO 2. MOLDEADO TOPOLÓGICO DE LA LUZ
Figura 2.1: Imagen adquirida con microscopía de fuerza atómica (atomic force microscope,
AFM) de una nanorendija con m = 3.
Cuando tres o más ondas interfieren la luz se desvanece en algunos puntos, es precisa-
mente en estos puntos donde la fase se indetermina y a esto se le denomina singularidad.
En general, todos los valores de fase entre 0 y 2π ocurren alrededor de estos puntos de
intensidad cero, dando lugar a una circulación de la energía óptica. Estos puntos reciben
diferentes nombres, tales como: singularidades de fase, puntos nodales, dislocaciones de
onda o vórtices ópticos. También puede verse a las singularidades de fase como objetos
topológicos incrustados en las superficies del frente de onda, portando cargas topológi-
cas que se atribuyen a una estructura helicoidal espacial del frente de onda en torno a la
singularidad de fase. Esta estructura es similar a la de un defecto en una red cristalina,
y por ende, fue en un principio conocido como dislocación de tornillo del frente de onda [15].
Los vórtices ópticos que ocurren en sistemas físicos a menudo se localizan al azar (como
en el moteado o speckle de un láser) o en una posición rígidamente definida (como en el
modo de dona), además, el tamaño del núcleo en tales sistemas no es un parámetro libre.
Esto plantea un reto ya que para realizar experimentos con vórtices ópticos tenemos que
controlar la posición, la carga, y el tamaño de un número arbitrario de vórtices. En la
actualidad, la nanolitografía puede utilizarse para crear elementos ópticos difractivos que
tengan dimensiones inferiores a unas cuantas micras, estos elementos son los que guian el
presente trabajo. La litografía de contacto fue de las primeras técnicas para fabricar estos
elementos, pero esta técnica resulta poco conveniente ya que requiere de muchas máscaras
maestras bien alineadas para lograr una adecuada resolución de fase. Afortunadamente, la
llegada de la holografía generada por computadora y la disponibilidad de impresoras láser
de alta calidad permite generar vórtices con hologramas de manera rápida y económica.
De hecho, el grado de control proporcionado por medios ópticos combinado con técnicas
de medición no invasivas, no tiene precedentes en comparación con otras áreas de la física
donde también se producen vórtices, especialmente en fluidos (por ejemplo, los superfluidos
y otros condensados de Bose).
2.2. VÓRTICES ÓPTICOS 15
El núcleo del vórtice está en el cruce de líneas reales e imaginarias donde se anula el
campo eléctrico (Re(u) = 0 y Im(u) = 0); los perfiles iniciales de amplitud y fase se repre-
sentan en la figura 2.2. Sean w0 y wV como el radio del haz y del vórtice respectivamente,
definimos entonces la relación entre el tamaño del haz y el vórtice como β = w0 /wV , pará-
metro muy importante para describir la dinámica de propagación del vórtice, típicamente,
vórtices con gran núcleo corresponden a β ∼ 1. Matemáticamente, un vórtice puntual es
una construcción conceptualmente útil cuyo tamaño de núcleo es extremadamente peque-
ño, por lo menos en el plano de partida z = 0, de tal manera que β → ∞ (o al menos a
β ∼ w0 /λ).
un punto con fase Φ + π situado simétricamente con respecto al núcleo del vórtice. Según el
principio de Huygens, todos los puntos del círculo irradiarán, dando lugar a la interferencia
destructiva debido a la diferencia de fase de π entre los puntos simétricos.
−ik(x2 +y 2 )
2 2
HG −(x +y )
Cnm
2
2z 1+( 1 )
uH
nm = 2
e w (ζ) e ζ
ei(n+m+1) arctan(ζ)
1 + ζ2
√ ! √ !
x 2 x 2
x Hn Hm (2.2)
w (ζ) w (ζ)
donde
zλ
ζ = , (2.3)
πw02
1
w (ζ) = w0 1 + ζ 2 2
, (2.4)
ρ2
e−ilφ ρ2
−
e−i(l+2p+1) arctan(ζ) ,
2 (1+iζ)
uL
pl = l
ρ Llm e ikz
e w0
(2.5)
w (ζ)l+1 w02 (1 + iζ)
donde Llp son los polinomios asociados de Laguerre; ζ, w0 y w (ζ) son la variables de-
finidas con anterioridad. Los modos LG con p = 0 son anillos individuales con una fase
azimutal bien definida por lφ. Para p > 0, los modos con p + 1 son multianulares y con
igual número de nodos radiales. En la figura 2.4 se ha representado los perfiles de intensi-
dad de algunos de los primeros modos. Como podemos observar LG00 es el mismo que HG00 .
Intensidad
Fase
Figura 2.5: Intersección de la parte real (azul) con la parte imaginaria (roja) de la fase de
un haz.
Los vórtices ópticos alojados en un haz de luz se comportan como partículas cargadas.
Ellos pueden girar alrededor del eje del haz, repeler/atraer a los demás, o aniquilarse en
colisiones. Para la siguiente definición vamos a representar la función de onda compleja
como
(a) (b)
(c)
Figura 2.6: Imágenes tomadas del artículo [8]: (a)Transmisión de modos y ancho adecuado
para obtener una diferencia de fase de π/2 (b)Se demuestra que la rendija convierte luz
linealmente polarizada a ±45o en ∓ circular y viceversa (c)Imagen de la muestra donde se
observa que es una rendija de ancho variable.
(a) (b)
(c)
Figura 2.7: Imágenes tomadas del artículo [6] (a)Arreglos experimentales para generar y
analizar el vórtice (b)Nano-anillo iluminado con polarización circular produciendo luz lineal-
mente polarizada con orientaciones distintas a lo largo de su contorno (c)La propagación del
haz a campo lejano demuestra la transformación de momento de spin a OAM.
En este trabajo se utilizan diferentes elementos, cuya frontera posee una trayectoria
cerrada y homeomorfa a la circunferencia con el objetivo de moldear la luz a una escala
de µm. Fundamentalmente, el concepto se basa en el diseño de elementos regulares con
cúspides para crear singularidades adicionales [13].
2.3. TÉCNICA DE MOLDEADO 21
Figura 2.8: Geometría y definición de los ángulos característicos β y φ para un circuito cerrado
C homeomorfo a una circunferencia.
Aquí se observa que la generalización para valores arbitrarios de l se puede lograr por
mera deformación continua del círculo [7]. La idea principal es introducir un contorno C
con múltiples cúspides, por ejemplo, con un diseño que consta de m arcos de circunferencia
(m ≥ 3) de radio
donde R es el radio en el que la estructura está inscrita (figura 2.9). En este caso se
obtiene que
l = σ (2 − m) . (2.13)
(a)
(b)
Figura 2.10: Imágenes tomadas del artículo [4] (a)Haz propagado para m = 3 en función de
z. (b)Haz propagado en función de m.
Esto se puede explicar a partir de la variación del ángulo de la tangente sobre la estruc-
tura a lo largo de uno de los m arcos de circunferencia [12], es decir, de acuerdo a la figura
2.9 tenemos
De hecho, esto se demuestra [3] en la figura 2.9 observando primero que β = −θ, tal
que
Experimentos y Resultados
Figura 3.1: Imágenes de las estructuras adquiridas con un microscopía electrónica. Adicio-
nalmente, en cada imagen se muestran sus dimensiones.
25
26 CAPÍTULO 3. EXPERIMENTOS Y RESULTADOS
(a) (b)
Figura 3.2: (a) Sustratos de vidrio con peliculas de oro con 60 nm y 200 nm de espesor,
del tamaño de un porta objetos y dentro de sus estuches (b) Se observa: 1)Haz Gaussiano
colimado con vector de onda k, cintura w, helicidad σ = ±1 e incidencia normal sobre la
muestra 2)Sustrato 3)Película de oro y titanio 4)Plano focal 5)Objetivo 6)PSA 7)CCD.
después en acetona y finalmente isopropanol. Las capas de titanio y oro (6 y 60 nm, respec-
tivamente) se depositaron sobre los sustratos limpios con un magnetrón rociador (AXXIS,
Kurt J. Lesker) y los generadores de vórtices fueron hechos por litografía directa con haz de
iones de Ga (IonLiNE, Raith). Se usó una corriente de 300 pA para grabar las estructuras
a través de las capas de oro y titanio.
Figura 3.3: Arreglo experimental para la caracterización de las estructuras. Los elementos
en la figura son: 1)Espejo para guiar el haz láser de λ = 532 nm 2)Diafragma 3)Muestra
4)Montura con 2-D de libertad de desplazamiento 5)Monturas para el PSG y PSA formados
con polarizadores lineales y placas λ/4 6)Objetivo de microscopio de 100x y N A = 0,8 7)CCD.
diafragma, el cual es únicamente una referencia del eje óptico del arreglo.
m Stokes Elipsometría
Figura 3.4: Polarimetría de las aberturas de espesor de 60 nm. Las imagenes de la columna
de Stokes están creadas con el correspondiente parámetro reducido de stokes (s1 , s2 y s3 ).
Las imagenes de la columna de Elipsometría están creadas con el correspondiente parámetro
de la elipse de polarización (elipticidad, χ rad;retardancia, ∆ rad; inclinación de la elipse, φ
rad; eficiencia de conversión de polarización, η ua)
La imagen de la estructura es enfocada en la cámara CCD pasando por una placa λ/4
28 CAPÍTULO 3. EXPERIMENTOS Y RESULTADOS
y un polarizador lineal para el análisis polarimétrico. El láser que se usó es de λ = 532 nm.
m Stokes Elipsometría
Figura 3.5: Polarimetría de las aberturas de espesor de 200 nm. Las imagenes de la columna
de Stokes están creadas con el correspondiente parámetro reducido de stokes (s1 , s2 y s3 ).
Las imagenes de la columna de Elipsometría están creadas con el correspondiente parámetro
de la elipse de polarización (elipticidad, χ rad;retardancia, ∆ rad; inclinación de la elipse, φ
rad; eficiencia de conversión de polarización, η ua).
3.2.1. Resultados
3.2.1.1. Aberturas
Las imagenes de las figuras 3.4 y 3.5 muestran los parámetros de Stokes reducidos y la
elipsometría para ambos espesores. Es notable la diferencia en ruido que hay entre ambas;
mientras que para el grosor de 200 nm el fondo aparece totalmente oscuro, el de 60 nm
mezcla patrones de difracción que probablemente se originen por polvo o alguna otra im-
pureza en el sustrato.
3.2. POLARIMETRÍA CON UN ARREGLO EXPERIMENTAL PROPIO 29
m Stokes Elipsometría
Figura 3.6: Polarimetría de las partículas de espesor de 200 nm. Las imagenes de la columna
de Elipsometría están creadas con el correspondiente parámetro de la elipse de polarización
(elipticidad, χ rad;retardancia, ∆ rad; inclinación de la elipse, φ rad; eficiencia de conversión
de polarización, η ua).
También es notable que la circulación de la azimutal está bien definida solo en las es-
tructuras mas gruesas; esto puede deberse a la resolución del sistema.
3.2.1.2. Partículas
Las imagenes de las figuras 3.7 y 3.6 muestran los parámetros de Stokes reducidos y la
elipsometría para ambos espesores. No se detecta una diferencia cualitativa entre los dos
espesores. No se distingue una clara circulación de la azimutal, en este caso la resolución
se vuelve crítica debido a que la información de interés se encuentra mezclada con la infor-
mación del fondo.
30 CAPÍTULO 3. EXPERIMENTOS Y RESULTADOS
m Stokes Elipsometría
Figura 3.7: Polarimetría de las partículas de espesor de 60 nm. Las imagenes de la columna
de Elipsometría están creadas con el correspondiente parámetro de la elipse de polarización
(elipticidad, χ rad;retardancia, ∆ rad; inclinación de la elipse, φ rad; eficiencia de conversión
de polarización, η ua).
El sistema realiza las mediciones con una longitud de onda λ = 530 nm y cinco niveles
de aumento con objetivos entre 4X a 100X. En la figura 3.8 se muestra el sistema junto a
un esquema general de su funcionamiento [1].
El sistema presenta la retardancia en escala de grises, siendo una escala variable para
obtener el mejor contraste; el color rojo representa un valor saturado (fuera de escala). En
las imagenes de la azimutal, el disco de colores determina un sistema de referencia que va
de 0 a π.
3.3.1. Resultados
En las figuras 3.9, 3.10 y 3.11 se presentan las imagenes de retardancia junto a las de
su correspondiente azimutal, en especial, se observa como la azimutal circula por todo el
contorno confirmando que solo depende de su geometría (ecuación 2.13 y cuadro 3.2). Es-
tos son resultados novedosos porque se extiende el estudio realizado sobre rendijas hacia
partículas y aberturas, las cuales no habían sido caracterizadas.
3.3.1.1. Aberturas
m 60 nm 200 nm
Retardancia Azimutal Retardancia Azimutal
3.3.1.2. Partículas
m 60 nm 200 nm
Retardancia Azimutal Retardancia Azimutal
3.3.1.3. Rendijas
m 60 nm 200 nm
Retardancia Azimutal Retardancia Azimutal
Se ha demostrado que la propagación del campo transmitido por una rendija con 3
hasta 8 cúspides, presenta una circulación de fase azimutal de acuerdo con la ecuación 2.10,
además, que produce un vórtice con carga topológica de acuerdo con la ecuación 2.13. De
nuestros resultados se esperan otros similares para las aperturas y partículas. Esta es una
de las tareas pendientes del presente trabajo de tesis.
Capítulo 4
Conclusiones
4.1. Polarímetro
En base al estudio de la Polarización se logró instalar un polarímetro, sin embargo,
permanece en fase de prueba. Se requiere calibrar este instrumento para que sea fiable,
adicionalmete, se requiere mejorar su diseño para aumentar la velocidad de adquisición de
datos.
35
36 CAPÍTULO 4. CONCLUSIONES
Apéndice A
Para mostrar la validez de estos vectores basta con demostrar que uno de ellos pue-
da escribirse como la combinación lineal de otros. Sabemos que el campo eléctrico puede
escribirse como E = Ei + Ej , entonces
37
38 APÉNDICE A. ESPACIO VECTORIAL DE STOKES
Apéndice B
Para tener una breve descripción de estos elementos calcularemos las matrices de Mueller
de los elementos de polarización más comunes, los cuales son el polarizador, el retardador
y la matriz de rotación.
B.1. Diatenuador
Las componentes del haz antes de incidir sobre el polarizador son Ex y Ey ; las com-
0 0
ponentes después de atravesar el polarizador son Ex y Ey . Los campos están relacionados
por
0
Ex px Ex
0 = , 0 ≤ px,y ≤ 1. (B.1)
Ey px Ey
39
40 APÉNDICE B. CÁLCULO DE LAS MATRICES DE MUELLER
0 0 0 0
0
Ex Ex∗ + Ey Ey∗
p2x Ex Ex∗ + p2y Ey Ey∗
S0 0 0 0 0
S10 Ex Ex∗ − Ey Ey∗ p2x Ex Ex∗ − p2y Ey Ey∗
0 = 0 0∗ 0 0∗ =
∗ + E E∗
S Ex Ey + Ey Ex p p E E
x y x y
y x
2
0 0 0 0 0
S3 i Ex Ey∗ − Ey Ex∗ ipx py Ex Ey∗ − Ey Ex∗
(B.2)
2
px + p2y p2x − p2y
0 0 S0
2 2 2
1 px − py px + py 2 0 0 S1 = M S,
= S2
2 0 0 2px py 0
0 0 0 2px + py S3
donde
B.2. Retardador
Un Retardador es un elemento polarizante que cambia la fase del haz. Este elemento
introduce un cambio de fase de φ entre las componentes ortogonales del campo incidente.
Esto puede verse como un cambio de +φ/2 a lo largo del eje X y otro de −φ/2 alo largo del
eje Y, por esta razón a los ejes se les nombra como eje rápido y eje lento respectivamente.
Las componentes del haz antes y después de atravesar el retardador están relacionadas por
0 +iφ/2
Ex e Ex
0 = (B.4)
Ey e−iφ/2 Ey
0 0 0 0
0
Ex Ex∗ + Ey Ey∗
Ex Ex∗ + Ey Ey∗
S0 0 0 0 0
S10 Ex Ex∗ − Ey Ey∗ Ex Ex∗ − Ey Ey∗
0 = 0 0∗ 0 0∗ =
e+iφ Ex Ey∗ + e−iφ Ey Ex∗
S Ex Ey + Ey Ex
2
0 0 0 0 0
i e+iφ Ex Ey∗ − e−iφ Ey Ex∗
S3 i Ex Ey∗ − Ey Ex∗
Ex Ex∗ + Ey Ey∗
∗ ∗
Ex Ex − Ey Ey ∗
=
∗ ∗ ∗
(B.5)
Ex Ey + Ey Ex cos φ + i Ex Ey − Ey Ex sin φ
i Ex Ey∗ − Ey Ex∗ cos φ + i Ex Ey∗ + Ey Ex∗ sin φ
1 0 0 0 S0
0 1 0 0 S1
=
0
= M S,
0 cos φ sin φ S2
0 0 − sin φ cos φ S3
donde
1 0 0 0
0 1 0 0
M=
0
. (B.6)
0 cos φ sin φ
0 0 − sin φ cos φ
Ahora bien, suponiendo que φ = π obtenemos la matriz de una Retardador de λ/2, en
cambio, si φ = π/2 entonces se convierte en una Retardador de λ/4, en ambos casos con el
eje rápido paralelo al eje X.
B.3. Rotación
Como se ha visto, las matrices antes calculadas son para cierta posición respecto a un
sistema de referencia fijo. El caso general implica una posición arbitraria del medio respecto
a un sitema de referencia, en consecuencia, solo hay que rotar el sitema de referencia de
las matrices anteriores lo suficiente para que representen la situación deseada. El ángulo θ
describe la rotación en sentido antihorario sobre el plano XY, por lo tanto
0
Ex cos θ sin θ Ex
0 = . (B.7)
Ey − sin θ cos θ Ey
Sabemos que
0 0 0 0
0 Ex Ex∗ + Ey Ey∗
S0 0 0 0 0
S10 Ex Ex∗ − Ey Ey∗
0 = 0 0∗ 0 0∗ .
(B.8)
S Ex Ey + Ey Ex
2
0 0 0 0 0
S3 i Ex Ey∗ − Ey Ex∗
0
S0 = Ex Ex∗ cos2 θ + Ey Ex∗ sin θ cos θ + Ex Ey∗ sin θ cos θ + Ey Ey∗ sin2 θ
+ Ex Ex∗ sin2 θ − Ey Ex∗ sin θ cos θ − Ex Ey∗ sin θ cos θ + Ey Ey∗ cos2 θ
= Ex Ex∗ + Ey Ey∗ = S0 (B.9)
0
S1 = Ex Ex∗ cos2 θ + Ey Ex∗ sin θ cos θ + Ex Ey∗ sin θ cos θ + Ey Ey∗ sin2 θ
− Ex Ex∗ sin2 θ + Ey Ex∗ sin θ cos θ + Ex Ey∗ sin θ cos θ − Ey Ey∗ cos2 θ
= S1 cos 2θ + S2 sin 2θ (B.10)
0
S2 = −Ex Ex∗ sin θ cos θ + Ex Ey∗ cos2 θ − Ey Ex∗ sin2 θ + Ey Ey∗ sin θ cos θ
− Ex Ex∗ sin θ cos θ − Ex Ey∗ sin2 θ + Ey Ex∗ cos2 θ + Ey Ey∗ sin θ cos θ
= −S1 sin 2θ + S2 cos 2θ (B.11)
0
−iS3 = −Ex Ex∗ sin θ cos θ + Ex Ey∗ cos2 θ − Ey Ex∗ sin2 θ + Ey Ey∗ sin θ cos θ
+ Ex Ex∗ sin θ cos θ + Ex Ey∗ sin2 θ − Ey Ex∗ cos2 θ − Ey Ey∗ sin θ cos θ
= Ex Ey∗ − Ey Ex∗ = −iS3 , (B.12)
por lo tanto,
0
S0 1 0 0 0 S0
S10 0 cos θ sin θ 0 S1
0 =
0 − sin θ cos θ 0 S2 = M S,
S
2
0
S3 0 0 0 1 S3
donde
1 0 0 0
0 cos θ sin θ 0
0 − sin θ cos θ 0 .
M= (B.13)
0 0 0 1
Bibliografía
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calibration of polarization modulators, polarimeters, and mueller-matrix ellipsometers.
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43
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