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Datos
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Hipótesis anova
Ho = u1=u2=u3(son iguales)
H1: 𝑢1 ≠ 𝑢2 ≠ 𝑢3
Cuando P > 𝑎𝑙𝑓𝑎 se rechaza Ho
0,063 > 0,05 no se rechaza la hipótesis nula
UNIVERSIDAD NACIONAL SAN AGUSTIN DE AREQUIPA
FACULTAD DE INGENERIA DE PROCESOS
PROGRAMA PROFESIONAL DE INGENIERIA METALURGICA
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III Examen de Diseños Experimentales Metalúrgicos
Análisis de Varianza
Total 11 247855
R-cuad. R-cuad.
S R-cuad. (ajustado) (pred)
122.129 45.84% 33.80% 3.71%
Medias
c) Usar el método de LSD con un nivel de significación del 95 % para realizar las comparaciones de
promedios, si es que amerita tal comparación
2.- Un artículo describe la aplicación de diseños experimentales de dos niveles para la manufactura de
circuitos integrados una etapa básica del procesamiento es poner una capa epitaxial en las obleas de silicio
pulidas. Las obleas se montan en una base y se colocan dentro de un recipiente de campana. Se introducen
vapores químicos a través de boquillas cerca de la parte superior del recipiente. La base se rota y se aplica
calor. Estas condiciones se mantienen hasta que la capa epitaxial es lo suficientemente gruesa.
La tabla presenta los resultados empleando los factores A= tiempo deposito B = tasa flujo de arsénico. Los
dos niveles del tiempo deposito son alto y bajo, y los dos niveles de la tasa de flujo son 55 % y 59 %. La
variable respuesta es el espesor de la capa epitexial en (µm).
Factores de diseño
Espesor (µm)
tiempo Tasa
-1 -1 14.037 14.165 13.972 13.907
1 -1 14.821 14.757 14.843 14.878
-1 1 13.88 13.86 14.032 13.914
1 1 14.888 14.921 14.415 14.932
a) Determine el modelo preliminar que explique los factores de diseño con el espesor.
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b) Mediante un análisis de varianza (ANAVA) determine al 95% de confianza que factores de diseño son
significativos.
c) Realice un análisis de residuos para verificar la idoneidad del modelo.
Alimentación
Combinaciones Profundidad (B) Angulo (C) Rugosidad Suma
(A)
1 -1 -1 -1 9 7 16
a 1 -1 -1 10 12 22
b -1 1 -1 9 11 20
ab 1 1 -1 12 15 27
c -1 -1 1 11 10 21
ac 1 -1 1 10 13 23
bc -1 1 1 10 8 18
abc 1 1 1 16 14 30
11.0625
ANAVA
Fuente SS Grados Libertad MS Fo Significación
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