Tecnología Planar

PRESENTACIONES

Ana Karen Sánchez Hernández

Descripción De Etapas Básicas de oxidación

Modelo de Grove-Deal

Procesos de oxidación térmica.

Oxidación seca; reacciones químicas.

José Manuel Trevera Rodríguez

Oxidación húmeda; reacciones químicas.

Procedimiento para la oxidación térmica

Parámetros que determinan el espesor y calidad del óxido de silicio

Olga Lucero Illescas

Procesos de ataque al oxido

Revelado de defectos

Fotograbado (apertura de ventanas en el oxido

Sonia Patricia Cerón García

Defectos Generados Durante El Proceso De Oxidación

Dislocaciones

Fallas de apilamiento

Iones móviles en el oxido

REPORTE

Limpieza de sustratos

Describir el método de limpieza RCAI, y RCAII

Porque emplear HF en el proceso de limpieza de las obleas de silicio?

Que es la solución piraña y para que se emplea?