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elctrica
propiedades de las pelculas delgadas de nitruro de titanio amorfo
Abstracto
Las pelculas delgadas de TiN fueron depositadas por el mtodo de magnetrn
reactivo. La estructura y composicin qumica de las pelculas se determinaron
por medio de rayos X, EDX y las investigaciones de microscopa electrnica.
Estos estudios indican una estructura compleja de las pelculas como
bombardeada. Las pelculas se componen de una matriz amorfa que incluye
nanocrystallites de TiN y Ti N. La amorfo como pelculas bombardeada
transforman en 2 pelculas cristalinas durante el tratamiento trmico por
encima de 673 K. Ambas propiedades elctricas y pticas de las pelculas
amorfas difieren sustancialmente de las de las pelculas cristalinas de la misma
composicin qumica. pelculas de TiN amorfos presentan una alta resistividad
elctrica, alta transmisin de la luz en el rango visible y una falta de brillo
metlico. El desarrollo de los modelos de estructura durante el tratamiento
trmico se ha propuesto. q 1997 Elsevier Science S.A.
Palabras clave: nitruro de titanio; Los materiales amorfos; propiedades y
mediciones elctricas; Propiedades pticas
1. Introduccin
Pelculas delgadas de nitruro de titanio TiN presentan propiedades interesantes,
tales como alta dureza, alta resistencia al desgaste, buena inercia qumica y
resistencia a la corrosin. Ellos son comnmente utilizados como
recubrimientos resistentes al desgaste y para la decoracin de la superficie 15. Recientemente han sido utilizados en dispositivos semiconductores debido a
su alta conductividad elctrica w x 6-8. Debido a su alta reflectancia y
durabilidad, TiN
ha sido considerado como un material prometedor para las pelculas de control
solar para ventanas 9. w x Muchos mtodos diferentes se han utilizado para la
deposicin de pelculas delgadas de nitruro de titanio, incluyendo qumica de
vapor CVD de deposicin y deposicin fsica de vapor PVD .La revisin de
deposicin de pelculas delgadas de TiN por z. ambos mtodos CVD y PVD se
realiza por Chatterjee et al. w x 10. Las pelculas delgadas de TiN se pueden
preparar tambin por otra
mtodos tales como electroqumica 11 y qumica nitruracin de cualquiera de
Ti metlico Ti puro o de aleacin de 12 o compuestos 13. w x
La deposicin de TiN mediante pulverizacin catdica magnetrn tiene
importantes ventajas especficas, tales como los bajos niveles de impurezas y
un fcil control de la velocidad de deposicin. Este mtodo tambin permite la
produccin de pelculas delgadas de diferentes morfologa y estructura
cristalogrfica. pelculas delgadas de TiN amorfo se prepararon mediante la
variacin de los parmetros de deposicin que favorecen la formacin de las
pelculas delgadas amorfas sobre el cristalino, es decir, menor temperatura de
sustrato y una menor velocidad de deposicin. Las propiedades fsico-qumicas
de las pelculas delgadas de TiN amorfa son poco conocidos. Sin embargo, hay
algunos indicios de que sean distintos a los de las pelculas cristalinas 14. w x