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Introduccin
ndice
Pg
CUARTOS LIMPIOS
60 m2 de Cuartos Limpios Clase 1000 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
220 m2 de cuartos Limpios Clase 100 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
PROCESO DE FOTOLITOGRAFA
Escritor de Mascaras para Fotolitografa Hildelberg DWL 66 . . . . . . . . . . . . . 5
Sistema de Alineacin de Mascarillas (EVG620) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
PROCESAMIENTO DE MATERIALES
Depsito de Pelculas Delgadas en Alto Vaco (Sputtering) . . . . . . . . . . . . . . .
Depsito Qumico en Fase de Vapor First Nano ET-3000 . . . . . . . . . . . . . . . . .
Ataque por Iones Reactivos RIE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Impresora de Microarreglos y Materiales . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Alambradora (Wire Bonding) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9
11
13
15
17
CARACTERIZACIN
Caracterizacin Elctrica de dispositivos (Keithley 4200 SCS) . . . . . . . . . . . . . 19
Escaner de Microarreglos . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Perfilometro Mecnico de Superficie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Microbalanza de cuarzo Q-SENSE E4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Introduccin
ndice
www.nanocentro.ipn.mx
Pg.
33
35
37
39
41
65
TRANSFERENCIA TECNOLGICA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
67
57
59
61
63
DIRECTORIO
Especialistas y Contacto . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
69
LABORATORIO NACIONAL DE
MICRO Y NANOTECNOLOGAS
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Cuartos Limpios
Clase 1000
Objetivos
Descripcin
El Laboratorio de Micro y
Nanotecnologas est diseado
para albergar equipos enfocados a
la fabricacin de micro y nanodispositivos, la integracin de
dispositivos
micro/nano
electromecnicos (MEMS y NEMS)
y biomicro/nano-electromecnicos
(bioMEMS y bioNEMS), as como
lab-on-chips,
en
reas
especializadas clase 100 y 1000.
Aplicaciones
Cuartos Limpios
Clase 100
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Procesos
Caractersticas
Descripcin
El
Laboratorio
de
Micro
y
Nanotecnologas actualmente cuenta
con 3 salas clase 1000 construidas en
un arreglo tipo peine de 11 m cada
una donde se alberga el rea bio y el
rea de caracterizacin elctrica. Se
contar con una superficie adicional de
220 m de cuartos limpios clase 100,
dividida en dos reas (cuarto blanco y
cuarto amarillo) , las cuales albergarn
los equipos para fabricacin de micro
dispositivos,
MEMS,
BioMEMS,
sistemas para microfluidos, depsito
de materiales y electrnica flexible.
Lnea de Fabricacin:
-Limpieza de sustratos.
-Depsito de materiales.
-Fabricacin de mascarillas.
-Fotolitografa.
-Remocin de materiales
(ataque hmedo y seco)
-Caracterizacin elctrica.
-Perfilometra.
Equipo del rea Bio.
-Impresn de microarreglos.
-Escaneo de micro arreglos.
-Caracterizacin de sistemas de
microfludica.
Duchas de aire
Lavandera
Escritor de Mscaras
para Fotolitografa
(Heidelberg DWL 66FS)
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Descripcin
Beneficios
Posicionamiento de una
mscara al finalizar la
escritura.
Aplicaciones
Un engrane y un espiral
grabado en silicio al utilizar
una mscara con dichos
patrones.
Resultados
45
5
Motivos escritos a
diferentes ngulos.
Imagen tomada con un
objetivo de 20x.
La conversin y transferencia
de archivos hacia el equipo
tarda de 4 a 10 horas.
La escritura de una mscara y/o
sustrato puede tardar de 23 a
31 horas, dependiendo del rea
a escribir.
Heidelberg DWL66FS
Sistema de Alineacin
de Mascarillas (EVG620)
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Beneficios
Fabricacin de dispositivos a
escala nanomtrica
NIL
Descripcin
Aplicaciones
745
Negativo
Fotolitografa
Fotolitografa
El sistema
de alineacin
de
mascarillasEVG620 es una herramienta
de doble uso diseada para realizar
procesos de fotolitografa de doble
cara, as como procesos de litografa
por nanoimpresin NIL (Nanoimprint
Litography).
Positivo
Nanoimpresin
Litogrfica
NIL
Resultados
Fabricacin de micro y
nano sistemas
electromecnicos.
Desarrollo de micro y
nanoestructuras,
microcanales, sensores de
presin, entre otros.
Depsito de Pelculas
Delgadas en Alto Vaco
(Sputtering)
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Aplicaciones
Caractersticas
Fuente de
corriente
directa
Esquema de depsito
Plasma
Pelcula de
Polisilicio
Polisilicio (poly-Si)
Depsito de
Cobre para
fabricacin
de MEMS
Resultados
Descripcin
El Sputtering es una tcnica verstil para depositar pelculas delgadas (nanomtricas) de
cualquier tipo de material, ya sea conductor o no conductor. En este proceso, se
pulverizan los tomos de un material slido (blanco-ctodo) mediante el bombardeo de
iones provenientes de un plasma creado a partir de Argn. Las partculas pulverizadas
del blanco se depositan sobre un sustrato (nodo), generalmente de silicio o vidrio.
Sputtering
10
Deposito Qumico
en Fase Vapor
(FirstNano ET-3000)
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Beneficios
Descripcin
El equipo para depsito qumico en fase
vapor (CVD) FirstNano ET-3000 es un
equipo que est altamente configurado
para la sntesis de nanomateriales,
depsito de pelculas delgadas y recocidos
a alta temperatura (1100 oC).
Resultados
Aplicaciones
45
11
FirstNano ET-3000
12
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Tcnica RIE
Aplicaciones
SF
tomos ionizados
Cationes
Electrones
nodo
Plasma
Micromembranas
Microcantilevers
Silicio
Ctodo
Descripcin
Caractersticas
El RIE (Reactive Ion Etching) es una
tcnica de ataque en seco que
combina efectos fsicos y qumicos
para
remover
materiales
semiconductores
y
materiales
depositados en la superficie de
substratos mediante la generacin
de un plasma a partir de gases.
Resultados
13
Evita
ataques
anisotrpicos
debido a ataques hmedos.
Ataque o grabado de silicio.
Ataque de dielctricos como
xido de silicio (SiO2) o nitruro de
silicio (Si3N4)
Tamao de sustrato mximo de
4 de dimetro.
Ataque de polmeros como
resinas fotosensibles.
Mxima profundidad de ataque
de 10 a 15 mm.
*Fabricacin de microestructuras
*Microcantilevers
*Microcanales
*Micromembranas
*Micropinzas
*Actuadores capacitivos
Sistema de Ataque
por iones reactivos (RIE)
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Impresora de
Microarreglos y
Materiales
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Beneficios
Debido a la amplia gama de tintas
que se pueden manejar, el
Microplotter es capaz de imprimir
nuevos nanomateriales, como son los
nanotubos de carbono y grafeno.
Micro impresin de materiales
Microimpresora SONOPLOT
Descripcin
El Microplotter, o impresora de
microarreglos y materiales, tiene la
capacidad de imprimir en materiales
blandos y frgiles, como hidrogeles,
nitrocelulosa , o en vidrio recubierto
de oro, sin marcar o daar la
superficie.
En el Microplatter se puede imprimir
una variedad amplia de soluciones
sin necesidad de preocuparse por la
obstruccin, ya que las gotas no son
expulsadas por aire hacia la
superficie, como se hace en
dispensadores piezoelctricos. Como
ejemplos, se pueden imprimir
soluciones saturadas de sal y
materiales de alta viscosidad como
el ADN genmico.
45
15
Aplicaciones
Impresin de Microarreglo
Resultados
La microimpresora tiene la
capacidad de impresin de
materiales con viscosidades de 0
450 cP y volmenes a partir de
0.6 pL, para formar patrones con
dimensiones entre 5 y 200 mm.
Con la microimpresora se pueden
imprimir una gran variedad de
patrones utilizando un software
tipo CAD, por lo que se pueden
disear diferentes tipos de
aplicaciones como microarreglos
(protenas, DNA, anticuerpos),
electrnica
flexible
(diodos,
transistores,
lneas
de
interconexin)
y
materiales
diversos (nanotubos de carbn,
grafeno).
16
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Alambradora
(Wire Bonding)
Aplicaciones
Esta tcnica es empleada para el
empaquetado de circuitos integrados,
la interconexin de MEMS hbridos e
interconexin
entre
circuitos
integrados en diferente sustrato.
Unin tipo cua
Descripcin
Resultados
La alambradora es un equipo para
realizar conexiones elctricas entre
dados de silicio que contienen
dispositivos microelectrnicos y la
interfaz
electromecnica
(packaging).
Caractersticas
17
18
Caracterizacin
Elctrica de dispositivos
(Keithley 4200 SCS)
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Aplicaciones
Caractersticas
Descripcin
Se cuenta con un Electrmetro
Keithley 4200 SCS. Este equipo se usa
para hacer caracterizacin elctrica
de dispositivos y capas delgadas. Se
pueden hacer caracterizaciones
elctricas completas a circuitos
integrados
encapsulados
y
directamente sobre el dado de silicio
con el apoyo de la estacin de puntas
de prueba.
19
Resultados
Estacin de pruebas
Caracterizacin I-V.
Caracterizacin C-V.
Aplicaciones para baja potencia.
Aplicaciones para alta potencia.
Medicin de resistividad.
Fuente pulsada y osciloscopio.
20
Escner de
Microarreglos
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Beneficios
Escner MS 200
Microarreglo escaneado
Resultados
Aplicaciones
Descripcin
21
45
Microarreglo
Hibridizador
El escner de microarreglos es un
instrumento lser utilizado en la
adquisicin
de
imgenes
fluorescentes en las diapositivas de
microarreglos estndar (1 x 3
pulgadas).
El escner de microarreglos produce
slo una o mltiples imgenes en
archivos formato (TIFF / JPG), los
cuales
pueden ser ledos por
paquetes de software directamente
de Roche NimbleGen y otros
proveedores.
22
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Perfilmetro mecnico
de superficie
Aplicaciones
Perfilmetro
Escaneo
Caractersticas
Descripcin
Resultados
El perfilmetro es una herramienta
que mediante una aguja de diamante
en contacto con la muestra, permite
obtener el perfil superficial.
Software de anlisis.
Perfilmetro
23
- Espesor de capas.
- Perfiles de escalones.
- Medicin de espesores
nanomtricos.
- Caracterizacin mecnica de
materiales a partir de
microestructuras.
24
Microbalanza de
Cuarzo Q-SENSE E-4
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Descripcin
Protenas
La microbalanza de cristal de cuarzo
(QCM) es un dispositivo altamente
sensible a las pequeas variaciones de
masa que en ella ocurren. Esto se debe
a los cambios que experimenta la
frecuencia de resonancia (f0) del cristal
de cuarzo en tiempo real.
Beneficios
Nanopartculas
Biomateriales
Polmeros
Surfactantes
Biosensores
Clulas/bacterias
Resultados
Aplicaciones
Microbalanza de Cuarzo
Q-Sense E4 Auto
25
H
2
Cuarzos
6
26
Caracterizacin de
estructura
molecular y analtica
www.nanocentro.ipn.mx
CARACTERIZACIN DE ESTRUCTURA
MOLECULAR Y ANALTICA
LABORATORIO NACIONAL
MULTIDISCIPLINARIO DE
CARACTERIZACIN DE
NANOESTRUCTURAS
Y MATERIALES
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Difraccin de Rayos X
(DRX)
Descripcin
La difraccin de rayos X es una tcnica
no destructiva de caracterizacin de la
estructura de los materiales cristalinos.
Se
cuenta
con
dos
equipos:
Difractmetro
XPERT
Pro
MRD
PANalytical y Difractmetro de polvos
Miniflex 600 Rigaku.
Beneficios
Aplicaciones
Difractmetro de polvos
Miniflex 600 de Rigaku
TiO2
SiO2
Vidrio
(SiO)
1
45
27
Determinacin de la estructura de
materiales.
Medicin de espesores, densidad y
rugosidad de pelculas nanomtricas
(<150 nm) de una capa y multicapas por
reflectometra.
Anlisis cualitativo de fases con la base
PDF 4 del ao 2012
Anlisis cuantitativo de fases por el
mtodo de Rietveld.
Obtencin de figuras de polos para
materiales con textura.
Medicin de esfuerzos residuales.
Difractmetro de Rayos X
XPert PRO MRD PANanalytical
Counts
1600
Geometra Bragg-Bretano -2
(Polvos).
Geometra de haz rasante.
Reflectometra.
pticas lineales para haz paralelo y
monocromado K1
Geometra simtrica y asimtrica
en el modo de alta resolucin
(0.0001), mapas en espacio
recproco.
pticas puntuales para microdifraccin, esfuerzos y textura.
Detectores de alta velocidad en el
haz difractado.
400
=0.5
ZnO
0
1600
400
ZnO + CIGS
=1
0
3600
1600
ZnO + CIGS +
Mo
=2
400
0
10
20
30
40
50
60
70
10
28
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Elipsmetro
Espectroscpico (SE)
Beneficios
Descripcin
Tcnica no destructiva.
Muy sensible, especialmente para
pelculas delgadas menores a 10
nm.
Alta resolucin espacial.
Registro in situ en tiempo real del
depsito de pelculas delgadas.
No se necesita preparacin de
muestra.
Resultados
Aplicaciones
Determinacin de espesores de
arreglos monocapa y multicapa,
ndice de refraccin, coeficiente de
extincin, rugosidad o anisotropa
para aplicaciones en dispositivos
optoelectrnicos
(lseres,
fotorresinas, electrnica orgnica),
en
pelculas
delgadas
para
fotoceldas, pelculas bio-orgnicas y
biocompatibles
(interaccin
biomolecular, biosensado) y en el
control del proceso de micro y
nanofabricacin
(espesores
de
xidos de todo tipo).
Elipsmetro Espectroscpico
Horiba CTRL-UNIT
11
29
45
Grfica en 3D de resultados
30
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Espectrometra de
Masas:
MALDI-TOF
Aplicaciones
Descripcin
La ionizacin por MALDI (desorcin/ionizacin mediante lser asistida por
matriz), acoplada a un analizador TOF (tiempo de vuelo), es una tcnica de
ionizacin suave utilizada en espectrometra de masas que permite el anlisis
de biomolculas (biopolmeros como protenas, pptidos y azcares) y
molculas orgnicas grandes (como polmeros, dendrmeros y otras
macromolculas) que tienden a hacerse frgiles y fragmentarse cuando son
ionizadas por mtodos ms convencionales.
Resultados
Anlisis de polmeros
sintticos y naturales
13
31
45
2
32
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Espectrometra de Masas:
UHPLC-ESI y APCI
Resultados
Analiza los pesos moleculares de:
Descripcin
La ionizacin por electrospray (ESI) es una tcnica utilizada en espectrometra de
masas para inducir una ionizacin suave, especialmente a partir de
macromolculas, pues supera la propensin de estas a fragmentarse cuando se
ionizan. Por medio de la separacin cromatogrfica en UHPLC de diferentes
mezclas de compuestos de productos naturales, orgnicos, pptidos, protenas y
otros, se logran grandes beneficios, incluyendo anlisis ms rpidos, mejor
resolucin y menor costo para cada separacin. La ionizacin qumica a presin
atmosfrica (APCI) es una tcnica similar, aunque vlida para compuestos de baja
a alta polaridad; no se requiere que estn ionizados en solucin aunque deben de
presentar cierta volatilidad. Ambos mtodos de anlisis tienen una buena
sensibilidad para compuestos de polaridad y peso molecular intermedios con
caractersticas polares.
33
45
Aplicaciones
UHPLC-ESI y ACI
34
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Espectroscopa de
Fotoelectrones Inducidos
por Rayos X (XPS)
Aplicaciones
Proporcionar informacin cualitativa
y/o cuantitativa de los estados de
oxidacin de los elementos presentes
en las capas ms externas de un
slido, permitiendo as que la tcnica
pueda ser aplicada entre otras reas :
Mapeo de distribucin de especies
qumicas en superficie para Nb
Descripcin
La espectroscopa de fotoelectrones
inducidos por rayos X (XPS) es una de las
tcnicas de caracterizacin de superficie
ms poderosas que existen. Esta tcnica
espectroscpica
permite
detectar
cualquier elemento, a excepcin del H y
el He, que est presente en la superficie
a una profundidad no mayor a 8 a 10
capas atmicas con una resolucin
espacial 6 mm. Los lmites mnimos de
deteccin se encuentran en el intervalo
de 0.1 a 0.5 porciento en peso
dependiendo del elemento. Cuenta con
un sistema de compensacin de carga
por flujo de argn para analizar muestras
no conductoras y una platina para
anlisis angular en el intervalo de 60
con respecto a la superficie de anlisis.
Beneficios
En trminos de la riqueza de
informacin til y la fiabilidad de los
datos, son pocas las tcnicas de
caracterizacin composicional de
superficie que puedan compararse
con XPS. Las muestras se analizan tal y
como son entregadas al laboratorio.
En caso de ser necesario, la
preparacin previa a su anlisis es
mnima por lo que la informacin
obtenida provendr exclusivamente
de los elementos presentes en la
superficie de la muestra.
Caracterizacin de pelculas
delgadas (semiconductores,
ptica, catlisis, metalurgia).
Identificacin de contaminantes
en superficies delgadas.
Estudios de corrosin en metales.
Biocompatibilidad.
Problemas de adhesin y/o
recubrimiento (interfaces
orgnicas inorgnicas).
Estudio de procesos mineralgicos
y geoqumicos.
Caracterizacin de catalizadores.
35
Resultados
Este mtodo permite determinar, de
manera cualitativa y cuantitativa, los
elementos presentes en la superficie
de los materiales slidos, su estado
de
oxidacin
y/o
especies
moleculares, as como su distribucin
en superficie. Adicionalmente, es
posible realizar estudios de perfil de
composiciones y estratificacin de
pelculas delgadas 10 nm.
36
Thermo Scientific, K-ALPHA
Espectroscopa
Micro-Raman Confocal
e Infrarrojo con
Transformada de Fourier
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Descripcin
Resultados
Beneficios
Identificacin de
Aplicaciones
Polimorfismos
Ambas tcnicas son no-destructivas y no-invasivas.
Las muestras no requieren de preparacin previa para su anlisis.
Aplicable a materiales slidos o lquidos.
Espectros tomados en tiempo real y en periodos cortos de anlisis.
Anlisis in-situ, in-vitro e in-vivo.
Mapeos 2D (distribucin de componentes).
37
Mapeo Raman 2D
38
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Resonancia Magntica
Nuclear 750 y 400
MHz: Lquidos y Geles
Resultados
A
Espectro de 1H del
compuesto A en D2O
Aplicaciones
Espectro de 1H de los
ismeros del Mentol
Descripcin
La Resonancia Magntica Nuclear (RMN) es una tcnica til para
determinar la estructura de las molculas, la interaccin de complejos
moleculares, cintica de reacciones qumicas, dinmica de
biomacromolculas y la composicin de las mezclas de las soluciones
biolgicas. El tamao de las molculas de inters puede ir desde una
pequea molcula orgnica o metabolito, a un pptido de tamao medio,
un producto natural o hasta protenas de varios kDa de peso molecular.
39
45
39
Espectrmetro de RMN
de 4000 MHz
40
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Resonancia Magntica
Nuclear 750 y 400 MHz:
Slidos
Aplicaciones
A
Resultados
Descripcin
La Resonancia Magntica Nuclear (RMN) estudia el comportamiento de los
ncleos atmicos con spin diferente de cero bajo la influencia de un campo
magntico externo. A diferencia del estado lquido, en estado slido, la
movilidad est muy restringida y se obtienen seales anchas, resultado de la
suma de seales de todas las posibles orientaciones.
Se han desarrollado tcnicas que permitan obtener espectros de alta
resolucin en estado solido: giro con ngulo mgico (MAS, Magic Angle
Spinning), polarizacin cruzada (CP, Cross Polarization) o secuencias
multipulso especficas para slidos (CRAMPS, Combined Rotation and
Multiple Pulse Spectroscopy)
41
45
42
Caracterizacin de
estructura
molecular y analtica
www.nanocentro.ipn.mx
CARACTERIZACIN DE LA MICROESTRUCTURA
LABORATORIO NACIONAL
MULTIDISCIPLINARIO DE
CARACTERIZACIN DE
NANOESTRUCTURAS
Y MATERIALES
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Microscopa Confocal de
Barrido Lser (MCBL)
Descripcin
La Microscopa Confocal permite el
estudio de muestras orgnicas e
inorgnicas que por su naturaleza
fluorescen o que, en su caso, estn
marcadas con sustancias especficas
(fluorforos o cromforos) para
destacar rasgos estructurales de
inters, en base a su composicin.
Microscopio Confocal de Barrido Lser
LAM 710 NLO, Mca. Carl Zeiss.
Beneficios
La Microscopa Confocal de Barrido Lser
(MCBL) proporciona la estructura interna y
superficial de materiales orgnicos e
inorgnicos con base en su composicin, a
partir de seales de fluorescencia, para
contribuir al conocimiento de mecanismos,
fenmenos, reacciones e interacciones en el
rea mdico-biolgica y de los materiales.
Resultados
43
Entomologa:
Reconstruccin
3D de una hormiga.
Caracterizacin de
pelculas (capas)
Estudios de
mecanismos
de infeccin: clulas
Mejoramiento de
procesos de
panificacin: pan integral
Tejidos Vegetales
Caracterizacin de
biomateriales
para prtesis
Caracterizacin de
superficies
Aplicaciones
Microscopa de Campo
Inico/Electrnico
de Barrido
(FIB/MEB)
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Aplicaciones
Cabeza de mosquita de
fruta. Imagen de baja
resolucin adquirida en
modo ambiental.
Anlisis de fractura en
modo de alto vaco.
Descripcin
Nanotubos de carbn en
modo de alto vaco
Se cuenta con un estacin de trabajo Dual Beam Quanta 3D FEG, Mca. FEI, capaz de
operar como un microscopio electrnico de barrido de alta resolucin (MEB) o como
un microscopio de campo inico. En la operacin como MEB, brinda imgenes que
dan informacin sobre la topografa, la microestructura y la composicin de la
superficie de una muestra. El microscopio Quanta 3D FEG (marca FEI), incluye tres
detectores de electrones secundarios (SE) optimizados para el uso en alto vaco (HV),
bajo vaco (LV) y modo ambiental (ESEM), as como un detector de electrones
retrodispersados (BSE) de estado slido.
45
45
25
Modo ambiental
(ESEM)
1.5nm a 30kV (SE)
Caracterizacin microestructural de
metales, cermicos, materiales
compuestos,
semiconductores,
polmeros, minerales.
Caracterizacin de tejidos orgnicos.
Estudio
de
degradacin
de
materiales
(fatiga,
corrosin,
fragilizacin).
Estudio de fatiga de materiales.
Anlisis de fractura.
Determinacin de caractersticas
texturales superficiales.
Peritajes caligrficos (estudio de
trazos).
Anlisis de control de calidad.
Seguimiento
morfolgico
para
diferencias materiales.
Beneficios
Observacin de muestras no
conductoras sin preparacin.
Combinacin de detectores.
46
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Microscopa Electrnica
de Barrido de
Ultra Alta Resolucin
Resultados
Beneficios
Descripcin
Se cuenta con un microscopio electrnico de barrido (MEB) mod. JSM
7800F, Mca. JEOL, con una resolucin de 1.2 nm a 1 kV de aceleracin y
de 0.8 nm a 15 kV. Tiene instalados varios detectores:
Detector EDS con una ventana de deteccin de 30 mm2 Mca. EDAX.
Detector EBSD (Electron Backscattered Diffraction) marca EDAX.
Detector STEM (Modo Transmisin/Barrido).
Detector de electrones retrodispersos.
Tres detectores de electrones secundarios
Sistema de desaceleracin de electrones til para materiales no
conductores y sensibles al haz de electrones.
Limpiador de plasma.
47
45
La tcnica es no destructiva.
La ventana de 30 mm2 del EDS permite
realizar mapeos elementales en escala
nanomtrica en muestras delgadas en STEM.
Se analizan muestras no conductoras y
biolgicas sin recubrimiento conductor.
Aplicaciones
Las tcnicas analticas que se pueden realizar en
el microscopio JSM 7800F son aplicables en
diversos campos de la industria e investigacin:
farmacutica, alimentos, semiconductores,
biologa, mineraloga, micro y nanotecnologa,
metalurgia, catlisis, entre otras.
28
48
Microanlisis
Elemental por
Espectroscopa de
Rayos X (EDS)
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Element
Na
Ni
CK
OK
NaK
AlK
SiK
PK
NiK
Total
Wt %
At %
86.85
6.12
1.08
0.12
0.77
2.7
2.35
100
92.47
4.89
0.6
0.06
0.35
1.11
0.51
100
Beneficios
Aplicaciones
El microanlisis elemental se emplea
en la identificacin de materiales,
anlisis de falla, control de calidad en
la industria electrnica, metalurgia,
por citar algunos ejemplos pero su
uso se extiende hasta el rea
biolgica y mdica de la Distribucin
de partculas en catalizadores.
Composicin elemental
porcentual semicuantitativa.
Si
Descripcin
El espectrmetro de energa dispersiva de rayos X (EDS) se instala en la
cmara de anlisis del microscopio electrnico de barrido. Su funcin es
colectar la seal de rayos X caractersticos que se generan cuando un haz de
electrones impacta en la superficie de la muestra que es analizada. De esta
forma, es posible identificar los elementos presentes en la muestra siempre y
cuando se encuentren en una concentracin igual o superior a la del lmite de
deteccin, que est entre 0.2 y 1 % en peso, y que tengan un nmero atmico
Z > 11. Se cuenta con detectores EDS instalados en el microscopio Dual Beam
Quanta 3D FEG, Mca. FEI y en el microscopio JSM 7800F, Mca. JEOL.
49
45
Resultados
JSM7800 - JEOL
50
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Microscopa Electrnica
de Barrido en Modo
de Transmisin
Aplicaciones
Imagen STEM en
campo claro.
Imagen de
microestructura
de una aleacin
de Cu
Beneficios
Imagen STEM en
campo oscuro.
Nanotubos de carbn
depositados en una
rejilla preparada de
cobre.
Nanotubos de carbn
depositados en una
rejilla preparada de
cobre.
Descripcin
Las imgenes en modo de transmisin obtenidas en un microscopio electrnico
de barrido conocido como modo STEM, proporcionan regularmente informacin
de la microestructura interna de una muestra suficientemente delgada (espesor
menor a 100-200 nanmetros).
El microscopio Quanta 3D FEG. Mca. FEI, cuenta con un detector STEM de
estado slido de 2 segmentos para obtener imgenes de campo claro y campo
oscuro, y puede trabajar en las configuraciones de alto vaco, bajo vaco y
ambiental.
45
51
52
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Microscopa Electrnica
de Transmisin en Modo
Criognico
Aplicaciones
El JEM-2100 tiene una capacidad de resolucin de imagen de 0.27 nm punto a
punto, lo que permite aplicaciones en diferentes campos como el campo
mdico y biolgico donde se estudian y analizan tejidos animales y vegetales de
diversos tipos. En el rea de la nanociencia y la nanotecnologa se estudian y
caracterizan materiales nanoestructurados, pelculas delgadas, nanotubos,
nanofibras y polmeros entre otros.
Imagen en campo claro de una
nanopartcula core-shell Ti MoS2
Beneficios
Descripcin
Imagen de campo
oscuro de una
nanopartcula de oro.
Resultados
45
53
54
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Microscopa Electrnica
de Transmisin de
Resolucin Atmica
Aplicaciones
Beneficios
Imgenes
de
microscopia
electrnica
con
resolucin
atmica.
Menor tiempo de anlisis
qumicos.
Detectores con mejor resolucin
espectral para anlisis qumico.
Operacin a diferentes voltajes de
aceleracin.
Descripcin
El JEM-ARM200CF es un microscopio electrnico con capacidad de resolucin
atmica operando en modo TEM o STEM con voltajes de aceleracin de 80 200
kV. Cuenta con un can de electrones de ctodo fro (Cold Field Emission Gun,
CFEG) y un corrector de aberracin esfrica CEOS para el modo STEM, lo que
permite obtener imgenes con resolucin de hasta 78 pm. El microscopio cuenta
con detectores acoplados para realizar anlisis qumico mediante EDS (energydispersive x-ray spectroscopy) y EELS (electron energy-loss spectroscopy) con
resolucin espectral de 0.3eV. Lo cual complementa las tcnicas de microscopa
de imagen en campo claro y campo oscuro (BF/DF) y contraste Z (HAADF).
55
45
Resultados
56
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Microscopa de
Fuerza Atmica
(AFM)
Beneficios
Bacteria
Caparazn de
escarabajo
Aplicaciones
Imagen de
indentacin
Resultados
Descripcin
El microscopio opto-mecnico sirve para
obtener imgenes topogrficas es un
equipo por medio de una punta afilada
que escanea la superficie de la muestra.
57
45
58
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Nanoindentacin
Aplicaciones
Huellas de indentacin
en una aleacin
Resultados
Huellas de indentacin en
una capa dura
59
45
37
Beneficios
Descripcin
Obtencin de propiedades
mecnicas en zonas especficas
o fases de la muestra.
Caracterizacin de propiedades
mecnicas
en
pelculas
delgadas y recubrimientos de
espesor nanomtrico.
Propiedades
plsticas
como:
dureza,
termofluencia
por
indentacin (creep indentation),
trabajo de deformacin plstica.
Propiedades elsticas o elsticoplsticas como: mdulo elstico,
relajacin de indentacin, trabajo
de deformacin elstico, parte de
trabajo elstico de indentacin.
Curvas de indentacin: fuerza (mN)
contra profundidad de penetracin
(nm).
Obtencin de imgenes de la huella
de indentacin.
Agrietamiento
en
materiales
frgiles.
60
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
rea Superficial
y
Porosidad
Descripcin
Resultados
Parmetros
rea Superficial desde 0.01 m2/g
Tamao de Poro desde 3.5 a > 4000
Volumen de Poro mnimo:
(lquido) 2 106 cm3/g
STP: 0.0001 cm3/g
Desgasificacin
4 puertos
Vaco (10 mTorr) y Flujo
Rango de temperatura hasta 300 C
(precisin 5 C)
Transductores de presin
(especificaciones fabricante):
Precisin (% desv.): 0.1
Resolucin de presin (mm Hg): 0.016
Resolucin de Presin relativa
/0 (2 ): 2 105
Aplicaciones
Beneficios
45
61
Isoterma de adsorcin de
Distribucin de mesoporos
Mtodos estndar de
microporos
Curva de distribucin de
Tamao de Poro
28
62
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Haz de Iones
Enfocados
(FIB Focused
Ion Beam)
Beneficios
Aplicaciones
Descripcin
63
64
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Preparacin de
Muestras
Resultados
Descripcin
El rea de preparacin de muestras se encuentra dedicada para el acondicionamiento de
materiales orgnicos e inorgnicos que sern destinados a las diversas tcnicas de caracterizacin;
esta rea esta integrada por los siguientes equipos:
Criostato
Criostato
Equipo de alto rendimiento con sistema de refrigeracin. La
temperatura de la criocmara puede llegar hasta -35C, sin
embargo el dispositivo Peltier permite la refrigeracin de las
muestras con suma rapidez a temperaturas de hasta -60C. Los
cortes pueden ser de 1 a 60 m.
Ultramicrotomo
Aplicaciones
65
Beneficios
Ultramicrotomo
Cortes vegetales
obtenidos con
criostato
Muestra problema
incluida en resina
66
Transferencia
Tecnolgica
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Descripcin
El rea de Transferencia Tecnolgica es la encargada del desarrollo , impulso y difusin del Centro
de Nanociencias y Micro y Nanotecnologas. En Transferencia Tecnolgica brindamos la
informacin que requieren nuestros usuarios para el desarrollo de los proyectos de investigacin
que aqu se generan; la infraestructura con la que contamos, los procesos de vinculacin con
alumnos, comunidad politcnica y empresas privadas , as como la evaluacin de los servicios que
brindamos.
Somos un Centro con nueva tecnologa de la informacin, comprometida en difundir, contactar y
colaborar entre centros de investigacin, empresas y entidades forneas. Buscamos una gestin
eficiente del proceso de transferencia de conocimiento, por lo que tambin realizamos convenios
de colaboracin con el sector productivo, instituciones educativas y sectores con intereses en el
desarrollo de la investigacin. El objetivo de las colaboraciones para transferencia tecnolgica es
el impulsar el desarrollo y crecimiento de los diversos sectores de la sociedad mediante el acceso
al conocimiento y experiencia de los grupos de investigacin, innovacin y desarrollo tecnolgico.
Servicios
67
Equipos e Investigadores
68
Micro y Nanotecnologas
www.nanocentro.ipn.mx
Directorio
69
45
43
ESPECIALISTAS DE CARACTERIZACIN
70
Micro y Nanotecnologas
www.nanocentro.ipn.mx
Directorio
ESPECIALISTAS DE NANOCIENCIAS
ESPECIALISTAS DE NANOCIENCIAS
71
45
72
Micro y Nanotecnologas
www.nanocentro.ipn.mx
Directorio
DEPARTAMENTO ADMINISTRATIVO
TRANSFERENCIA TECNOLGICA
73
45
74