Sensores de Presin: Vaco

Que es el vaco? Imaginen un contenedor cerrado con nada en su interior El espacio dentro de la caja con nada, es llamado vaco

Del latn vacuus => vaco Aplicaciones: sanitarias: alimenticias, farmaceticas, superfices atmicamente limpias, investigacn cientfica

Distintos niveles de vaco

Clasificacin usada habitualmente (arbitraria)
Bajo vaco: 1 100 mbar Medio vaco: 1 10-3 mbar Alto vaco: 10-3 10-7 mbar Ultra alto vaco: 10-3 10-14 mbar

Sensores de Nivel: Vaco

Dependen del nivel de vaco Mtodos directos: manmetro, tubo de bourdon Indirectos: capacitivos sores inicos y de conductividad trmica.

Sensores de Nivel: Seleccon

Depende del nivel de vaco

Bourdon
Rango app: de 1000 a 1 mbar

Capacitivo
Principio de operacin

Capacitivo
Deflexin de una membrana (ej: iconel, silicio), cambia distancia de electrodos => cambio de capacidad En general disponibles en rangos especficos. Ej:
1013 a 1 mbar 100 a 10-1 mbar 10 a 10-2 mbar 1 a 10-3 mbar

Necesitan compensacin de tempertura Problemas con histresis y fatiga de membrana Si el rango de presin, excede estos rangos, se recomienda un esquema multicanal (de lectura automtica), con varios sensores de presin para rangos especficos

Conductividad Trmica
Utilizan un propiedad de los gases: Menor conductividad trmica a menor densidad (presin). La transferencia de calor en gases es un fenmeno complejo. En trminos simples la relacin entre la presin del gas y el modo de transferencia de calor se puede relacionar al nmero de Kundsen, que adems depende de la geometra del sensor

Conductividad Trmica: Pirani

Desde 1906 Operacin:
Por un filamento (tpico: 10W-tungsteno, o titanio), circula una corriente y se genera calor El filamento est rodeado por el vaco a medir Los cambio de presin, cambian la conductividad trmica y en consecuencia la temperatura del filamento El cambio de temperatura, causa un cambio de resistencia del filamento Controlando la tensin al filamento, se puede operar de manera de mantener su temperatura constante

Sensores de pirani modernos, incluyen curvas de compensacin de la conductividad trmica (que es variable con la presin de vaco) No trabajan sobre un torr Hasta 10-5 torr

Ionizacin
Son los sensores ms importante en medicin de alto vaco, y ultra alto vaco Miden la presin en funcin del nmero o densidad de partculas Operacin: El gas a ser medido, entra a una cmara y es parcialmente ionizado a travs de energa elctrica Estos viajan entre un par de electrodos, generando una corriente elctrica A mayor densidad de partculas mayor cantidad de iones y viceversa La facilidad de ionizacin depende del tipo de gas Generalmente calibrados respecto al nitrgeno Dos tipos: Ctodo fro, y ctodo caliente

Ionizacin: Ctodo Caliente

Hasta 10e-10 torr

Ionizacin: Ctodo Fro Penning