SEM

UNIVERSIDAD TECNOLGICA JUNTA DE LOS ROS. Asignatura: Integradora II Docente: Dra. Vernica Gallegos. 5to. Tetramestre Nanotecnologa.

MICROSCOPA.
Es el conjunto de tcnicas y mtodos destinados a hacer visible

los objetos de estudio que por su pequeez estn fuera del rango de resolucin del ojo normal. La microscopa generalmente implica la difraccin, reflexin o refraccin de algn tipo de radiacin incidente en el sujeto de estudio.

QU ES EL SEM?
Microscopio Electrnico de Barrido es una herramienta para ver

los mundos de otro modo invisibles del microespacio, mediante el uso de un enfoque de haz sed de electrones s, el SEM revela niveles de detalle y complejidad inaccesible por microscopa de luz.

SEM
Inventado en 1937 por Manfred Von Ardenne, es un microscopio

que utiliza un haz de electrones en lugar de un haz de luz para formar una imagen.
Es necesario acelerar los electrones en un campo elctrico, para

aprovechar de esta manera su comportamiento ondulatorio, lo cual se lleva a cabo en la columna del microscopio, donde se aceleran mediante una diferencia de potencial de 1000 a 30000 voltios.
Su

resolucin est entre 4 y 20 nm, dependiendo del microscopio.

SEM
Permite la observacin y caracterizacin superficial de materiales

inorgnicos y orgnicos, entregando informacin morfolgica del material analizado. A partir de l se producen distintos tipos de seal que se generan desde la muestra y se utilizan para examinar muchas de sus caractersticas.

CMO SE COMPONE?
1.

La columna de la microscopio, incluyendo la pistola de electrones en la parte superior, la columna, hacia abajo que se desplaza el haz de electrones, y la cmara de muestras en la base El equipo que dirige el microscopio, con los controles de banco adicionales

2.

3.

Equipos auxiliares que, por ejemplo, anlisis de la composicin. Esto ser explorado en el mdulo sobre microanlisis en vez de aqu bajo SEM.

CAN DE ELECTRONES.
Las pistolas de electrones se pueden clasificar en

dos tipos
Arma terminica Can de emisin de campo.

La pistola de electrones termoinica consta de

tres partes, el filamento , cap Wehnelt y elnodo. Termoelectrones producidos por el filamento se aceleran a travs de la aplicacin de un voltaje entre el filamento y el nodo, creando de este modo un haz de electrones que fluye hacia abajo la columna del microscopio.

COLUMNA DE ELECTRONES.
La columna de electrones se

centra y se ilumina la muestra con el haz de electrones generado por el can de electrones. Dado que el rayo se escanea a travs de la muestra en las X e Y direcciones, electrones secundarios y retrodispersados se producen y se detectan. Al amplificar y modular el brillo de las seales de electrones detectados se produce una imagen.

SISTEMA DE LENTE MAGNTICA.

El sistema de lente magntica consiste de un:
1. 2. 3.

Lente condensadora Lente objetiva Bobinas de exploracin

Lente condensadora

La lente condensadora controla la intensidad del haz de electrones llegar a la muestra. La lente del objetivo trae el haz de electrones en el foco (-magnifica DE) en la muestra. Las bobinas de exploracin desvan el haz de electrones en sentido horizontal y verticalmente sobre la superficie de la muestra. Esto tambin se llama rastering.
Lente objetiva (OL) abertura

Esta abertura se utiliza para reducir o excluir (dispersos) electrones extraos. Un dimetro ptimo de abertura debe ser seleccionado para la obtencin de imgenes de alta resolucin de electrones secundarios.

DETECTORES.
Electrones secundarios: para obtener imgenes de alta

resolucin SEI (Secundary Electron Image).

Electrones retrodispersados: que permite la obtencin de

imgenes de composicin y topografa de la superficie BEI (Backscattered Electron Image).

Energa dispersiva EDS (Energy Dispersive Spectrometer):

permite colectar los Rayos X generados por la muestra y realizar diversos anlisis e imgenes de distribucin de elementos en superficies pulidas.

DETECTORES.

Electrones secundarios.

Electrones retrodispersados.

SISTEMA DE ENFRIAMIENTO DE AGUA

El propsito de la enfriador de agua es el de mantener una

temperatura constante de 20 C durante la operacin de las lentes magnticas en el microscopio. Si el enfriador de falla y las lentes magnticas se calientan, el SEM se apagar automticamente.

CMARAS DE MUESTRAS
La cmara de muestra se mantuvo

a alto vaco que minimiza la dispersin del haz de electrones antes de llegar a la muestra. Esto es importante ya que la dispersin o la atenuacin del haz de electrones se incrementar el tamao de la sonda y reducir la resolucin, especialmente en el modo SE. Una condicin de alto vaco tambin optimiza la eficiencia de recoleccin, sobre todo de los electrones secundarios.

QU SE PUEDE VER?
Imagen morfologa de muestras (por ejemplo, ver el material a

granel, revestimientos, materiales de seccin, lminas, incluso rejillas preparadas para microscopa electrnica de transmisin).
Composicin de la imagen y algunas diferencias de unin

(mediante el contraste y el uso de electrones retrodispersados).

Imagen sondas moleculares: metales y sondas fluorescentes. Emprender microand litografa nano: remover el material de

muestras, cortar trozos o elimine rebanadas progresivas a partir de muestras (por ejemplo, utilizando un haz de iones enfocado).

FUNCIONAMIENTO.

CORAZN.

PULMN.

HUESO.

RIN.

ALCO2

AL-C