Sensor de InclinaciÃ N Capacitivo MicrofluÃ - Dico - Blas Salvador DomÃ - Nguez

Sensor de Inclinación Capacitivo
Microfluídico
Proyecto Fin de Máster
Máster en Electrónica, Tratamiento de Señal y

Telecomunicaciones
Diciembre, 2013
Autor: Blas Salvador Domínguez
Tutor: Antonio Luque Estepa

Sensor de Inclinación Capacitivo Microfluídico
A Antonio por su tiempo y su ayuda,
a mi familia por su apoyo y compresión,
y a Irene, por no permitir que me rindiera,
a todos, gracias.
2
Blas Salvador Domínguez
ÍNDICE
CAPÍTULO 1 .............................................................................................................................6
1. INTRODUCCIÓN ...............................................................................................................7
1.1. Presentación .............................................................................................................7
1.2. Motivación .................................................................................................................8
1.3. Objetivos....................................................................................................................9
CAPÍTULO 2 ...........................................................................................................................10
2. ESTADO DEL ARTE ......................................................................................................11
2.1. Inclinómetro. Tilt Sensor .....................................................................................11
2.1.1. Dispositivos comerciales ............................................................................11
2.1.1.1. Inclinómetros capacitivos .......................................................................11
2.1.1.2. Inclinómetros MEMS .................................................................................12
2.1.1.3. Inclinómetros por conductividad ...........................................................13
2.1.1.4. Inclinómetros de dos ejes (biaxiales) ...................................................13
2.1.1.5. Servoinclinómetros ...................................................................................14
2.1.1.6. Referencia inercial .....................................................................................14
2.1.1.7. Alarma de inclinación ...............................................................................14
2.1.2. Otros inclinómetros ......................................................................................15
2.1.2.1. Inclinómetro electrolítico MEMS ............................................................15
2.1.2.2. Sensor de inclinación óptico ..................................................................16
2.1.2.3. Sensores de inclinación basados en péndulos .................................18
2.1.2.4. Inclinómetro MEMS basado en la temperatura del aire ....................19
2.1.2.5. Sensor de inclinación piezoeléctrico MEMS .......................................20
2.2. Aplicaciones existentes .......................................................................................21
2.2.1. Instalaciones de energía eólica ..................................................................21
2.2.2. Maquinaría del tipo grúa ..............................................................................22
2.2.3. Centrales solares térmicas..........................................................................23
2.2.4. Tecnología médica ........................................................................................23
2.2.5. Monitoreo de presas .....................................................................................24
2.2.6. Extracción de petróleo y gas ......................................................................24
CAPÍTULO 3 ...........................................................................................................................25
3. FASE DE DISEÑO ..........................................................................................................26
3
3.1. Principio Físico ......................................................................................................26

3.1.1. Variación de la capacidad debido a la gravedad ...................................26
3.1.2. Efectos de las fuerzas interfaciales ..........................................................27
3.2. Ecuaciones..............................................................................................................28
3.2.1. Ecuaciones para el cálculo de la capacidad ...........................................29
3.2.1.1. Condensador de placas planas ..............................................................29
3.2.1.2. Condensador de placas curvas ..............................................................32
3.2.2. Ecuaciones para el cálculo de las fuerzas interfaciales ......................34
3.3. Diseño y dimensiones ..........................................................................................38
3.3.1. Diseño del canal.............................................................................................39
3.3.2. Diseño de los electrodos de cobre............................................................40
CAPÍTULO 4 ...........................................................................................................................43
4. PROCESO DE FABRICACIÓN.....................................................................................44
4.1. Pasos del proceso .................................................................................................44
4.1.1. Diseño de máscaras......................................................................................44
4.1.2. Revelado de fotolito ......................................................................................46
4.1.3. Fabricación de electrodos ...........................................................................52
4.1.4. Fabricación del canal....................................................................................54
4.1.5. Tapadera y preparación para experimentación......................................60
4.2. Materiales ................................................................................................................65
4.2.1. Fotolitos ...........................................................................................................65
4.2.2. Placa de PCB ..................................................................................................66
4.2.3. Resina Fotosensible .....................................................................................67
4.2.4. Contactos ........................................................................................................68
4.2.5. Aceite de silicona ..........................................................................................69
CAPÍTULO 5 ...........................................................................................................................70
5. PRUEBAS EXPERIMENTALES ...................................................................................71
5.1. Prototipos ................................................................................................................71
5.1.1. Prototipo inicial ..............................................................................................71
5.1.2. Prototipo para la verificación de la capacidad .......................................75
5.1.3. Prototipo para comprobar el funcionamiento con fluido .....................77
5.1.4. Prototipo final .................................................................................................79
5.2. Pruebas dispositivo real ......................................................................................81
5.2.1. AD7745/46 ........................................................................................................82
4
5.2.2. Linealidad ........................................................................................................84

5.2.2.1. Pruebas y resultados de la linealidad ...................................................84
5.2.2.2. Conclusiones de los resultados de linealidad ....................................87
5.2.3. Sensibilidad ....................................................................................................87
5.2.3.1. Pruebas y resultados de Sensibilidad ..................................................87
5.2.3.1.1. Caso 1 .......................................................................................................88
5.2.3.1.2. Caso 2 .......................................................................................................90
5.2.3.1.3. Caso 3 .......................................................................................................92
5.2.3.1.4. Caso 4 .......................................................................................................94
5.2.3.2. Conclusiones de los resultados de sensibilidad ...............................96
5.2.4. Rango ...............................................................................................................97
5.2.4.1. Pruebas y resultados de medida del rango.........................................97
5.2.4.2. Conclusiones de los resultados del rango ........................................101
5.2.5. Ancho de banda ...........................................................................................103
5.2.5.1. Pruebas y resultados del Ancho de Banda .......................................103
5.2.5.1.1. Caso 1 .....................................................................................................106
5.2.5.1.2. Caso 2 .....................................................................................................108
5.2.5.1.3. Caso 3 .....................................................................................................110
5.2.5.1.4. Caso 4 .....................................................................................................112
5.2.5.2. Conclusiones de los resultados de Ancho de Banda .....................113
CAPÍTULO 6 .........................................................................................................................115
6. CONCLUSIONES Y TRABAJOS FUTUROS ...........................................................116
6.1. Conclusiones ........................................................................................................116
6.2. Mejoras y trabajos futuros ................................................................................119
CAPÍTULO 7 .........................................................................................................................121
7. BIBLIOGRAFÍA .............................................................................................................122
CAPÍTULO 8 .........................................................................................................................124
8. ANEXOS .........................................................................................................................125
8.1. Tablas de capacidad calculada ........................................................................125
8.2. Tablas de capacidad medida ............................................................................139
8.3. Run Card ................................................................................................................146
8.4. Datasheet AD7745/46 ..........................................................................................148
8.5. DataSheet SU82150 .............................................................................................157
5
CAPÍTULO 1
Introducción
6
1. INTRODUCCIÓN
En este capítulo se realiza una presentación del proyecto y una introducción a

la fabricación de microsistemas. Se explica a grandes rasgos las características
del sensor de inclinación proyectado. Además, se incluye las principales
motivaciones que llevan al diseño y fabricación del dispositivo. Por último, se
marcan los objetivos que se pretenden alcanzar.
1.1. Presentación
El presente Trabajo Fin de Máster se engloba dentro de la asignatura de

Microsistemas cursada durante el Máster en Electrónica, Tratamiento de la
Señal y Telecomunicaciones impartido en la Escuela Técnica Superior de
Ingeniería de Sevilla.
Se pretende realizar el diseño de un instrumento, de pequeñas dimensiones,

que sea capaz de medir ángulos de inclinación con una precisión adecuada.
Para ello se utiliza la tecnología en la que se basan los Microsistemas o
tecnología MEMS.
MEMS hace referencia a las siglas de Micro-Electromechanical Systems

(Sistemas Micro-electromecanicos). Este tipo de tecnología está dirigida hacia
la fabricación de componentes cuyas dimensiones pertenecen al rango de los
micrómetros, pero que en general pueden estar compuestos por elementos que
se pueden encontrar a escala macroscópica. A estos niveles aparecen nuevas
leyes de escala favorables, donde las fuerzas gravitatorias e inerciales se ven
atenuadas, mientras que, las fuerzas mecánicas y electroestáticas se
mantienen con el mismo factor de escala.
Tradicionalmente se ha asociado la microfabricación con la creación de

elementos semiconductores, sin embargo hoy en día, cada vez se utiliza más
en otro tipo de procesos. Podemos encontrar sensores, actuadores,
radiofrecuencia (MEMS de RF), aplicaciones en medicina (BioMEMS),
microfluídica, procesamiento óptico (MOEMS)…
A lo largo del proyecto se ha realizado un estudio de los distintos tipos de

dispositivos similares que existen, que ha proporcionado una base importante
7
para el diseño del dispositivo. Este diseño no hubiese sido posible sin la
realización de un análisis de los principios físicos y matemáticos que rigen en el
dispositivo. Una vez escogido un diseño adecuado se han realizado pruebas
experimentales que permiten mejorar los diseños iníciales y dimensionar el
sensor de inclinación.
Se han adquirido y desarrollado los conocimientos y habilidades necesarias

para conseguir desarrollar un dispositivo acorde con los objetivos del proyecto.
1.2. Motivación
En este apartado me gustaría destacar la relevancia de la realización del

dispositivo que nos ocupa. Se pretende crear un sensor que aporte un
concepto novedoso, tanto en el funcionamiento como en el diseño. Para ello se
utilizan técnicas conocidas en la fabricación de microsistemas.
Ha sido primordial es estudio de sistemas y elementos de parecido

funcionamiento, como base para el desarrollo del inclinómetro. Pese a la
importancia de la adquisición de estos conceptos fundamentales, es importante
destacar que tanto el funcionamiento como muchos de los elementos que
conforman el instrumento son únicos del mismo. De esta manera se consigue
que la singularidad del proyecto sea uno de sus aspectos fundamentales.
Durante todo el proceso, se han aplicado multitud de disciplinas científicas

imprescindibles para alcanzar los objetivos del proyecto. Para su creación se
precisan conocimientos de microsistemas, electrónica, física, diseño de
componentes, análisis matemático, etc. La interdisciplinaridad ha sido una
constante a lo largo de este trabajo. Si se entiende la Ingeniería como un
conjunto de técnicas científicas y conocimientos para la resolución de
problemas, se puede entender que el presente proyecto intenta aportar algo
nuevo a este mundo, de una manera pragmática y utilizando los recursos al
alcance.
8
1.3. Objetivos
Los objetivos principales que se marcan al principio del proyecto son:
- Diseñar un sensor que sea capaz de transformar los grados de

inclinación a los que se le somete en señales eléctricas.
- Utilizar para ello dos condensadores enfrentados cuya variación de
capacidad vendrá dada por un cambio de nivel en el dieléctrico
producido por la inclinación del sensor.
- Emplear el estudio de la microfluídica para introducir entre las placas del
condensador un dieléctrico líquido que se moverá a lo largo del
instrumento variando los valores del mismo.
- Adquirir la base teórica imprescindible para desarrollar el elemento.
- Emplear los procesos de fabricación necesarios basados en tecnología
MEMS.
- Estudiar los principios físicos que rigen en el instrumento.
- Realizar las pruebas experimentales necesarias para definir
correctamente las propiedades del sensor.
9
CAPÍTULO 2
Estado del arte
10
2. ESTADO DEL ARTE
En este capítulo se explican las características y los principios de

funcionamiento en que se basan muchos de los distintos dispositivos que
sirven para el cálculo de inclinaciones. Se enumeran además algunas
aplicaciones de este tipo de dispositivos.
2.1. Inclinómetro. Tilt Sensor
El inclinómetro, sensor de inclinación o tilt sensor, es un componente

electrónico que permite transformar una magnitud física, como son los grados
de inclinación a los que se ve sometido, en una magnitud eléctrica, que nos
permite averiguar el movimiento de un cuerpo en una o varias dimensiones.
Existen multitud de elementos de este tipo. Generalmente utilizan el efecto de

la gravedad sobre una pieza o parte móvil de su interior, para conocer el ángulo
de desplazamiento al que se ve sometido.
A continuación se explican algunas de las propiedades y funcionamiento de

estos dispositivos.
2.1.1. Dispositivos comerciales
En este punto se explican las propiedades y el funcionamiento básico de

algunos dispositivos que permiten la medida de la inclinación.
Son dispositivos comerciales que implementan diferentes técnicas para

conseguir estas medidas. En general son elementos de bajo coste, con un alto
nivel de precisión en sus medidas.
2.1.1.1. Inclinómetros capacitivos
Los inclinómetros capacitivos son sensores de

inclinación en los que la variación de inclinación
se traduce en una variación de la capacidad entre
las placas del sensor, que actuando como un
condensador, varía la señal de salida, según lo
Fig 1 Capacitivo
haga la inclinación.
11
En esta tecnología los rangos son variados, pudiendo darse hasta giros
completos de 360º.
Aprovechando las características de esta tecnología, los modelos capacitivos

con dieléctrico líquido, filtran en parte las vibraciones mecánicas del conjunto
donde está montado el sensor, lo que lo hace más inmune frente a estas
vibraciones.
2.1.1.2. Inclinómetros MEMS
Los inclinómetros MEMS son inclinómetros

de precisión media ya que están fabricados
con un elemento sensor micromecanizado,
al cual se le añade la electrónica de
Fig 2 MEMS acondicionamiento internamente y todo ello
se encapsula en una carcasa de plástico,
aluminio o acero inoxidable, consiguiendo así un inclinómetro muy robusto con
alta protección electromagnética y ambiental.
Las señales de salida pueden ser proporcionales al seno del ángulo, o

proporcional al ángulo, por lo que tendremos una relación directa entre la señal
analógica de salida con los grados de inclinación.
Su rango de aplicaciones es muy diverso, desde posicionamiento estándar en

aplicaciones industriales, posicionamiento para seguidores solares, plataformas
diversas, etc
12
2.1.1.3. Inclinómetros por conductividad
Los inclinómetros de conductividad o inclinómetros de

tecnología conductiva, basan su principio de
funcionamiento en la conductividad. Para medir la
inclinación se mide el nivel de conductividad que hay
entre dos electrodos, de tal forma que al inclinarse uno
Fig 3 Conductivo de los dos electrodos tiene más conductividad que el
otro y de ahí se deduce el nivel de inclinación.
Posteriormente cuenta con una etapa electrónica gobernada por un
microprocesador que lineariza y compensa las desviaciones de la señal, lo que
lo hace muy preciso en diferentes circunstancias de trabajo.
Se trata de una tecnología muy avanzada y novedosa para la medida de

inclinación, que permite contar con un equipo económico de altas prestaciones.
La única limitación está en el rango de estos inclinómetros, que como máximo
pueden medir +/-45º. Para rangos mayores habrá que elegir los inclinometros
con tecnología capacitiva o los inclinómetros tipo MEMS, que permiten el giro
completo.
2.1.1.4. Inclinómetros de dos ejes (biaxiales)
Los inclinómetros de dos ejes (2 ejes) o inclinómetros

biaxiales son sensores de inclinación de dos ejes,
pensados para la medida simultánea de los ejes X e
Y. En realidad hablamos de un inclinómetro
monoaxial doble, con doble salida, ya que cuenta con
Fig 4 Biaxial doble sensor, pero al compartir carcasa el coste se
reduce y además resulta más cómodo de montar y
conectar.
Se suelen emplear en aplicaciones de medida de nivelación y alineamiento,

como son las plataformas, nivelación de maquinaria, monitorización de
horizontalidad, etc.
13
2.1.1.5. Servoinclinómetros
Los servoinclinómetros o inclinómetros tipo servo, son

los inclinómetros más estables y precisos disponibles en
el mercado. Su funcionamiento se basa en la
realimentación en corriente de un elemento sísmico que
está sumergido en un denso líquido.
Fig 5 Servoinclinómetro Gracias a estas excepcionales características los

servoinclinómetros se pueden emplear en sectores
donde las exigencias son máximas, como ingeniería civil para instrumentación
de puentes y túneles, fundiciones, para el control de los recipientes de metal
fundido, etc.
2.1.1.6. Referencia inercial
Una referencia inercial (IMU) es un sensor que incorpora

tres acelerómetros, 3 giróscopos y, según los casos, tres
magnetómetros.
Fig 6 Ref. Inercial
El cálculo de posición inercial requiere ya el uso de

giróscopos de fibra óptica, servoacelerómetros, etc.
2.1.1.7. Alarma de inclinación
Una alarma de inclinación es básicamente un

inclinómetro con relés o inclinómetro con
contactos. Un sensor de seguridad pensado
en alertar cuando se supera cierto nivel de
inclinación. Este elemento consta
Fig 7 Alarma de Inclinación básicamente, de un sensor de inclinación, una
14
electrónica de comparación y unos interruptores.
El modo de configuración de la alarma de inclinación es sencillo, mediante un

potenciómetro en unos casos o un microinterruptor en otros, se fija un valor de
umbral máximo de inclinación, que lógicamente es programable. Cuando se
supera dicho umbral, se activa un contacto que nos alerta de esta inclinación.
El contacto puede ser mecánico por relé o digital por transistor, pudiendo
manejarse diferentes corrientes en cada caso.
La aplicación por excelencia es el control de seguridad en plataformas, cestas

móviles, pórticos, etc., donde superar un cierto nivel de inclinación puede
resultar fatal.
2.1.2. Otros inclinómetros
En este apartado se presentan inclinómetros de un tipo más ligado al mundo de

la experimentación como manera de desarrollar las funcionalidades de este tipo
de dispositivos.
Muchos de estos aparatos utilizan para su fabricación técnicas de la tecnología

de microsistemas. Por ello, es interesante un estudio de su funcionamiento
como base del presente proyecto.
2.1.2.1. Inclinómetro electrolítico MEMS
Los sensores electrolíticos basados en tecnología MEMS tienen múltiples

ventajas, tales como, su bajo coste, bajo consumo de energía, fiabilidad…
Fig 8 Inclinómetro electrolítico
15
En la figura se puede ver la vista esquemática y el principio de funcionamiento

de un inclinómetro de estas características. Se ha rellenado una cavidad con
un electrolito conductor de la electricidad. Cuando el sensor está nivelado los
electrodos positivo y negativo se introducen al mismo nivel en la cavidad.
Cuando se produce una inclinación, la parte sumergida de los electrodos
cambia, aumentando en uno y disminuyendo en otro. El valor de resistencia
nos proporcionará el ángulo de inclinación.
En la siguiente figura se puede ver el proceso de fabricación de uno de estos

dispositivos.
Fig 9 Fabricación del inclinómetro electrolítico
2.1.2.2. Sensor de inclinación óptico
Otro ejemplo es un sensor de inclinación basado en fibra óptica. Existen

muchas opciones distintas a la hora de implementar un inclinómetro con este
tipo de tecnología. Seguidamente se explica brevemente una de estas
opciones.
16
Fig 10 Sensor de inclinación óptico
El sensor está formado por una sonda que detecta un cambio de nivel en el
mercurio contenido en un depósito cuando se produce la inclinación. Para ello
se utiliza el mercurio como superficie reflectante. La sonda de fibra óptica
detecta cuando el nivel de mercurio se eleva por la inclinación.
Para que se refleje la luz en la sonda es necesario utilizar diodos emisores de

luz (LED) (existen tamaños que alcanzan los 650nm).
La luz reflejada es detectada por una resistencia dependiente de la luz (LDR).

En este diseño la salida del circuito receptor es directamente proporcional al
ángulo de inclinación.
Se puede aumentar la precisión del instrumento mediante la utilización de dos

sondas en lugar de una, colocadas equidistantemente del centro de la cavidad.
Fig 11 Sensor de inclinación dos sondas
17
2.1.2.3. Sensores de inclinación basados en péndulos
Existen varios inclinómetros cuyo funcionamiento se basa en la utilización de

un péndulo que oscila ante un cambio en su posición relativa.
Fig 12 Sensor péndulo
Uno de ellos es el inclinómetro basado en inductancias. En la figura se puede

ver el esquema de uno de los. Consiste en dos inductancias en cuyo centro se
cuelga un péndulo. Cuando el instrumento está nivelado el puente eléctrico se
mantiene equilibrado. Cuando se produce una variación en la inclinación, el
péndulo se acerca a una de las dos inductancias alejándose de la otra,
perdiéndose el valor de tensión del puente. Esta tensión proporciona la
inclinación.
Otro tipo de inclinómetro que utiliza el mismo principio físico que el anterior, es
el que está basado en un potenciómetro. Está formado por una esfera cargada
eléctricamente que se mueve en el interior de una superficie conductora.
Fig 13 Sensor potenciómetro
18
Cuando la esfera cargada oscila por efecto de la gravedad provoca una

variación de tensión en el potenciómetro que permite la medida de la
inclinación.
2.1.2.4. Inclinómetro MEMS basado en la temperatura del aire
Este curioso sensor de inclinación utiliza unas resistencias que calientan el aire
en el interior de una cavidad. Cuando el sensor está en posición de equilibrio,
el microcalentador produce una temperatura simétrica en el interior de la
cavidad sellada.
Fig 14 Inclinómetro temperatura
Cuando se produce la inclinación los sensores de temperatura que se colocan

alrededor del calentador detectan el gradiente de temperatura producido por la
convección en el aire.
Fig 15 Cavidad, sensores y microcalentador
La cavidad se crea a través de una técnica de ataque ionico. Para los sensores
de temperatura y el microcalentador se emplea un compuesto de titanio y
19
niquel. Se pueden conseguir inclinaciones de al menos 90º de resolución. Es

importante destacar el reducido tamaño de este tipo de sensor.
Fig 16 Tamaño inclinómetro temperatura
2.1.2.5. Sensor de inclinación piezoeléctrico MEMS
Existen estudios de sensores de inclinación basados en elementos

piezoeléctricos.
Fig 17 Piezoeléctrico
El diseño de la figura consiste en un sensor formado por una viga de platino

con una masa en su parte central que hace que la viga se deforme por efecto
de la gravedad.
Para poder medir la inclinación a través de una variación de la tensión, se

deposita una fina capa de Plomo Zirconato de Titanio (PZT) a lo largo de la
viga. Por lo tanto, la salida de tensión de la capa de PZT es directamente
proporcional a la inclinación del sensor.
20
2.2. Aplicaciones existentes
Existen multitud de aplicaciones en las que se echa mano del uso de sensores
de inclinación de diverso tipo, entre otras cosas, debido a su alta precisión y a
la necesidad de muchos sistemas de un seguimiento continuado de la posición
de uno o varios elementos.
2.2.1. Instalaciones de energía eólica
En este tipo de instalaciones es importante sacar el máximo rendimiento del

sistema, el ángulo de ataque de la pala y de toda la estructura con respecto al
viento es primordial para alcanzar el punto de máxima potencia.
Fig 18 Aplicación en energía eólica
Debido a que las condiciones del viento varían continuamente se pueden

provocar cambios en la carga aerodinámica de las turbinas. Especialmente en
caso de fuertes ráfagas de viento, tormentas o durante la fase de arranque de
una instalación de energía eólica. Un sensor de inclinación permite reducir esta
carga de la instalación ya que este sensor mide de forma fiable el ángulo de
inclinación absoluto y asegura que no se sobrepasen los valores límite.
21
2.2.2. Maquinaría del tipo grúa
Es muy frecuente el uso de estos dispositivos para el control de posición de

maquinaria en obras civiles, grúas, instrumentos geológicos, control de posición
de contenedores, plataformas, estabilizadores…Suelen medir la posición
relativa del brazo mecánico en torno a dos ejes y muy precisos y estables
frente a vibraciones y cambios de temperatura.
Fig 19 Aplicación grúa
Algunos ejemplos de su uso en este tipo de equipos son:
- Vehículos pesados de transporte de mercancías: Indicación de la

inclinación de las paredes de las rampas de carga
- Dispositivos de elevación: Alineación de plataformas elevadoras
- Maquinaria para la construcción: Monitorización de ángulos de
perforación
- Para carretillas elevadoras: Monitorización de la inclinación de la
horquilla
22
2.2.3. Centrales solares térmicas
Las instalaciones de colectores parabólicos pueden suministrar corriente

constantemente durante las 24 horas del día. Es necesario que existan unas
temperaturas lo más altas posibles, que se pueden obtener gracias a la
alineación óptima de los colectores parabólicos con respecto a la posición del
sol.
Fig 20 Aplicación central térmica
2.2.4. Tecnología médica
Otra aplicación de este tipo de sensores es la del posicionamiento de las

mesas de radioterapia utilizadas en medicina. Gracias a la precisión de los
sensores capacitivos se puede obtener el posicionamiento óptimo del paciente
para su tratamiento.
Fig 21 Aplicación tecnología médica
23
2.2.5. Monitoreo de presas
Las presas son estructuras que deben soportar enormes fuerzas para evitar el
riesgo de un accidente. Se pueden utilizar sensores de inclinación para
detectar movimientos indeseados.
Fig 22 Aplicación presas
Se pueden instalar sensores de inclinación a lo largo del recorrido de la pared

de la presa para obtener un registro de la deformación producida por los
cambios de nivel del agua.
2.2.6. Extracción de petróleo y gas
Pueden utilizarse para la alineación de la bómba de extracción de petróleo de

un pozo. Para este tipo de aplicaciones suelen utilizarse sensores que sean
robustos para soportar las inclemencias del tiempo.
Fig 23 Aplicación presas
24
CAPÍTULO 3
Fase de Diseño
25
3. FASE DE DISEÑO
Para iniciar el diseño del inclinómetro se realiza un estudio de los principios

físicos y matemáticos para un mejor entendimiento de su funcionamiento. Se
ha realizado un cálculo de las ecuaciones que definen el dispositivo y cuyos
resultados se tendrán en cuenta para el dimensionamiento del sensor.
3.1. Principio Físico
Para poder diseñar el instrumento es importante conocer los principios físicos

que lo rigen y lo modelan. En este apartado se explican dichos principios, que
nos servirán para entender su funcionamiento.
Una vez analizados estos principios físicos se procederá a la implementación

de cinco modelos distintos del inclinómetro, con variaciones en sus medidas,
para comprobar cómo estos cambios influyen en el funcionamiento del
dispositivo.
Para el diseño final del componente se ha optado por el de un condensador

cuyas placas tienen una forma curvada que se asemeja mucho al caso de un
condensador de placas cilíndricas.
3.1.1. Variación de la capacidad debido a la gravedad
Para el diseño preliminar del inclinómetro se ha partido del diseño de un

acelerómetro eléctrico formado por dos condensadores en serie, de sección
cuadrada y lado L con dos placas separadas entre sí una distancia a. Ambos
condensadores estarán llenos hasta la mitad de un líquido dieléctrico de
permeabilidad ε.
En una primera fase de diseño del proyecto se pensó en realizar el diseño de

un acelerómetro en lugar de un inclinómetro, en ambos elementos, los
principios físicos y de diseño que rigen son parecidos. Finalmente se optó por
desarrollar la opción del inclinómetro debido, entre otras razones a que la
posibilidad de medir la inclinación y obtener un valor en un determinado
instante es más exacta que la lectura de una aceleración. Sin embargo, el
funcionamiento de ambos dispositivos es muy parecido llegando incluso a
abrirse la posibilidad de conseguir ambas funciones con un diseño similar.
26
El funcionamiento físico del acelerómetro es sencillo, en el estado de

movimiento uniforme, el líquido que llena hasta la mitad ambos condensadores
se mantiene en reposo. Cuando el sistema posee cierta aceleración, los niveles
del líquido cambian, de manera que se produce un desnivel en ambos
condensadores de valor h. De esta manera se relaciona dicha aceleración a
través de la ecuación
𝑎 ℎ
=
𝑔 𝑑
A partir de este principio físico podemos calcular los valores de variación de

capacidad entre ambos condensadores al producirse un cambio en el nivel del
dieléctrico que lo forma.
Este principio físico que es válido para un acelerómetro, donde la variación en

el nivel del líquido se produce por una aceleración del dispositivo, es
igualmente extrapolable al sensor de inclinación. En su caso, el inclinómetro, se
sirve de una variación del nivel relativo del líquido de un condensador con
respecto de otro cuando se produce un giro o inclinación en el dispositivo.
Dependiendo del número de grados que giremos el dispositivo, este
proporcionará un valor distinto de capacidad.
3.1.2. Efectos de las fuerzas interfaciales
Otro principio físico muy importante que se debe tener en cuenta a la hora de
diseñar el inclinómetro es el del comportamiento de los líquidos en relación con
su circulación por un capilar de radio hidráulico reducido.
Para el adecuado funcionamiento del dispositivo se hace necesario un canal lo

suficientemente ancho para que el fluido se mueva y que las fuerzas debidas a
la tensión superficial entre el líquido y las paredes del canal permitan que se
produzca la variación de nivel deseada, con una velocidad de movimiento
aceptable.
27
Fig 24 Tensión superficial
Existen varios parámetros que influyen en la relación entre la tensión superficial

de un fluido y las fuerzas gravitacionales. Es importante el valor de radio
hidráulico del conducto, que en nuestro caso, viene determinado por la anchura
y la profundidad de canal. Otros valores a tener en cuenta son la densidad y la
tensión superficial, que varían dependiendo del fluido utilizado.
Para la realización de los cálculos se ha buscado el valor del número de Bond

asociado al líquido y canal empleados. Este es un número adimensional que es
utilizado generalmente en el análisis de fluidos. Se caracteriza por relacionar
las fuerzas gravitacionales con las fuerzas superficiales o interfaciales. Si el
número tiene un valor mucho más pequeño de uno, implica que el flujo del
líquido en cuestión depende muy débilmente de las fuerzas gravitacionales,
imperando las superficiales. En el caso de que el valor sea mucho mayor a
uno, existe una gran dependencia de las fuerzas interfaciales predominando
estas sobre las gravitacionales.
3.2. Ecuaciones
Para el diseño del inclinómetro, se hace necesario un modelo tanto físico como
matemático del mismo. A continuación se explican las ecuaciones que definen
el sistema y su funcionamiento.
Estas ecuaciones serán básicas en el posterior diseño de los distintos casos

que se han planteado para este dispositivo.
28
3.2.1. Ecuaciones para el cálculo de la capacidad
Debido a que la base de este inclinómetro es la medida de la capacidad con

respecto a la inclinación, es primordial conocer de antemano que valores de
capacidad teóricos somos capaces de obtener para cada tipo de diseño.
Se ha realizado una aproximación al dispositivo a partir del modelo del

condensador de placas planas y de placas cilíndricas. Pese a que es este
último el que más se asemeja al diseño propuesto, para ambos casos los
valores de capacidad son muy parecidos.
3.2.1.1. Condensador de placas planas
Para un primer estudio de la variación de la capacidad se ha tomado como

modelo el de un condensador de placas planas en el cual se produce una
variación en el nivel del dieléctrico que circula por el canal, que a su vez,
provoca un cambio en el valor de capacidad. Esta aproximación inicial sirve
como acercamiento al funcionamiento del dispositivo. Los datos que pueden
extraerse de estas expresiones, pese a no ajustarse categóricamente a los que
se podrán obtener más adelante en medidas reales, sirven como introducción a
cómo se comporta el dispositivo.
Durante el proceso de diseño y pruebas se han variado los parámetros

geométricos de partida del dispositivo. Para la rápida modificación de los datos
se han implementado hojas de cálculo que permiten el cambio de magnitudes,
como la longitud de las pistas o el ancho de canal, que influyen en el
funcionamiento del modelo. Los datos aquí reflejados se relacionan con los
modelos del dispositivo final.
29
Fig 25 Condensador placas planas
Se parte de la idea de que tenemos un sistema formado por dos

condensadores, de capacidades C1 y C2. Para el condensador de placas
planas el valor de capacidad vendrá dado por:
𝑒𝐿𝜀
𝐶=
𝑎
Siendo:
e: el espesor del cobre (35um)
L: la longitud de placas
ε: la permitividad del dieléctrico en cuestión
a: la distancia entre placas
Lo que tenemos realmente para cada uno de los condensadores son otros dos
condensadores en paralelo con valores de capacidad distintos que dependerán
del dieléctrico que hay en su interior, aceite o aire. A medida que giramos el
sensor variará el nivel de liquido, con lo que a su vez, varia el nivel de aire o
aceite que tenemos en las placas.
El cálculo del desnivel que depende de los grados de inclinación a los que
sometamos el dispositivo y al radio de giro, vendrá dado por:
30
2πrα
ℎ=
360º
Una vez que sabemos el desnivel que se produce para un ángulo de giro de α,
podemos sumar o restar dicho valor al de la longitud de la placa. Es decir, al
girar el instrumento hacia la izquierda aumenta el nivel del líquido del
condensador de la izquierda y disminuye el de la derecha. De igual modo, en el
caso del condensador de la izquierda, se reduce la longitud de aire y aumenta
la del aceite; ocurriendo lo contrario en el de la derecha. Estas variaciones de
nivel de dieléctrico son las que provocaran los cambios de capacidad en los
condensadores.
El valor de longitud al que tenemos que sumar o restar el desnivel dependiendo

del sentido de giro vendrá dado por la siguiente expresión:
𝐿 = 𝜋𝑟 ± ℎ
De esta manera sustituyendo este valor de longitud en la expresión de la

capacidad podemos fácilmente encontrar el valor de las capacidades de cada
uno de los condensadores.
Fig 26 Asociación de condensadores
En este caso tenemos que, la capacidad de cada uno de los condensadores

vendrá dada por la asociación de los dos condesadores en paralelo con valores
de dielectrico distintos:
𝐶1 = 𝐶1𝑎 + 𝐶1𝑏
31
𝐶2 = 𝐶2𝑎 + 𝐶2𝑏
El valor final de capacidad, medido en modo diferencial, vendrá dado por:
𝐶𝑒𝑞 = 𝐶1 − 𝐶2
3.2.1.2. Condensador de placas curvas
Para el diseño por el que finalmente se ha optado, cuyas placas son curvas, es
preferible aproximar los cálculos a los de un condensador de cilíndrico. El
planteamiento y muchas de las ecuaciones anteriormente utilizadas son válidos
para este caso.
Para el cálculo de la capacidad debemos tener en cuenta el campo existente

entre las armaduras de un condensador cilíndrico de radio interior a, radio
exterior b, y longitud L, cargado con cargas +Q y –Q, respectivamente, se
calcula aplicando la ley de Gauss a la región a<r<b, ya que tanto fuera como
dentro del condensador el campo eléctrico es cero.
Fig 27 Condensador placas cilídricas
Realizando las operaciones pertinentes, se llega a la expresión del valor de la

capacidad.
2𝜋𝜀𝑒
𝐶= 𝑎
ln 𝑏
32
Hay que tener en cuenta que para nuestro caso nos encontramos ante un
condensador de placas cilíndricas cuyo valor para la longitud del cilindro
corresponderá al espesor de las pistas cobre (35um) y que los valores de a y b
dependerán del radio de curvatura del diseño y de la distancia entre placas. Por
lo tanto la expresión anterior queda de la siguiente manera:
2𝜋𝜀𝑒
𝐶= 𝑟
ln 𝑟 − 𝑎
Siendo r el valor del radio y a el de la distancia entre placas.
Esta fórmula es válida para un condensador cilíndrico con un solo dieléctrico.

Pero, como ya se ha visto en el condensador de placas planas, nos
encontramos ante cuatro condensadores distintos dependiendo de los dos
dieléctricos y de la inclinación. Por lo tanto debemos cambiar la fórmula para
cada uno de los condensadores.
En lugar de calcular la capacidad para un condensador que forma un cilindro,

es decir, dos placas que dan una vuelta completa (2π). Se debe ajustar para el
valor en radianes del ángulo que nos servirá para determinar la longitud de las
placas según el radio de curvatura y la inclinación. Este desnivel en radianes
vendrá dado por:
𝜋𝛼
𝜃=
180
Esta expresión nos proporciona el valor en radianes del desnivel que se

produce al inclinar el sensor. Este valor se sumará o restará dependiendo de si
aumenta o disminuye el nivel del dieléctrico en cuestión.
Por lo tanto la expresión final de la capacidad de cada uno de los

condensadores dependiendo del dieléctrico y de la inclinación será:
𝜋
( 2 ± 𝜃)𝜀𝑒
𝐶= 𝑟
ln 𝑟 − 𝑎
A partir de estas expresiones se han calculado los valores de capacidad

teóricos para cada uno de los casos y niveles de inclinación. Estos datos se
33
han tenido en cuenta para la realización de los diseños de los dispositivos.

Estos valores se representan en la siguiente tabla para el estado de reposo del
dispositivo.
CASO1 CASO2 CASO3 CASO4 CASO5

Distancia a= 0,00025 0,00035 0,00085 0,001 0,00075
entre placas
(m)
Radio r= 0,005 0,01 0,005 0,0075 0,0125
(m)
Longitud del L1= 0,00785 0,0157 0,00785 0,011775 0,019625
aire (m)
Longitud del L2= 0,00785 0,0157 0,00785 0,011775 0,019625
aceite (m)
Espesor (m) e= 0,000035 0,000035 0,000035 0,000035 0,000035
Permitividad ε0= 8,85E-12 8,85E-12 8,85E-12 8,85E-12 8,85E-12
aire (F/m)
Permitividad ε= 1,95E-11 1,95E-11 1,95E-11 1,95E-11 1,95E-11
aceite (F/m)
Tabla 1 Dimensiones de cada uno de los modelos del dispositivo
3.2.2. Ecuaciones para el cálculo de las fuerzas interfaciales
Para el cálculo de las fuerzas interfaciales o superficiales y como estas se

relacionan con la fuerza de la gravedad, se ha calculado el valor del número de
Bond.
Se ha procurado encontrar un valor lo más cercano posible a uno para evitar

que las fuerzas interfaciales, provocadas principalmente por la tensión
superficial a la que se ve sometida un líquido dentro de un conducto de
pequeño tamaño, se reduzcan al mínimo.
Por supuesto teniendo en cuenta que nos encontramos ante un dispositivo que
intenta funcionar dentro de los parámetros de dimensionamiento de la
tecnología MEMS no podemos conseguir un valor del número de Bond que
evite completamente las fuerzas interfaciales. Sin embargo, para el
funcionamiento que se precisa no es necesario que dicho número supere el
valor de la unidad. Es suficiente con conseguir un numero lo bastante cercano
a uno con el que se consiga el líquido fluya correctamente.
34
Fig 28 Fuerzas superficiales en el canal
La ecuación para el cálculo del número de Bond viene dada por la siguiente
expresión:
𝜌𝑎𝐿2
𝐵𝑜 =
𝛾
Donde:
- B es el número de Bond.
- ρ es la densidad del fluido.
- a es la aceleración de la gravedad.
- L es la 'longitud característica'.
- γ es la tensión superficial del fluido.
Cada líquido que se pueda emplear como dieléctrico, tendrá una serie de
propiedades distintas. Es importante escoger un dieléctrico que además de
tener un pequeño valor de permitividad, reduzca al mínimo el valor de la
tensión superficial. Además debe de tener una densidad que permita que el
dieléctrico fluya adecuadamente por el canal. Algunas de estas propiedades se
representan en la siguiente tabla:
35
Líquido Tensión Densidad ρ Viscosidad η

superficial γ (Kg/m3) (Kg/ms)
(Dyn/m)
Agua 0.0728 1000 0.00105
Aceite 0.0331 900 0.113
Aceite de silicona 0.0300 800 0.108
Alcohol 0.0228 790 0.00122
Glicerina 0.0594 1260 1.393
Tabla 2 Propiedades de algunos líquidos
Por supuesto, teniendo en cuenta que nos movemos en tamaños que se miden
en micras, es imposible conseguir un número de Bond que supere
significativamente la unidad, ya que, el valor de la tensión superficial del fluido
(denominador) superará en mucho al del numerador donde el cuadrado de la
longitud característica (que en nuestro caso sería el radio hidráulico) va en
contra de nuestros intereses.
Para el cálculo de dicho radio hidráulico se parte de la definición de diámetro

hidráulico. El diámetro hidráulico es un término que se utiliza comúnmente en
hidráulica cuando se estudia el comportamiento de fluidos en canales y tubos
no circulares. Utilizando éste término se puede estudiar el comportamiento del
flujo de la misma forma como si fuera una tubería de sección circular. Viene
dado por la expresión:
4𝐴
𝐷ℎ =
𝑃
Donde A es el área de la sección transversal del conducto y P es el perímetro

mojado. En el caso que nos ocupa, nos encontramos ante un canal de sección
rectangular cuya expresión es:
4𝐿𝑊 2𝐿𝑊
𝐷ℎ = =
2(𝐿 + 𝑊) 𝐿 + 𝑊
El nombre sugiere cierta relación, y efectivamente la hay, pero en este caso el

diámetro hidráulico no es el radio hidráulico multiplicado por dos, sino por
cuatro:
𝐷ℎ = 4𝑅ℎ
36
Una vez que tenemos el valor del radio hidráulico y los parámetros que
necesitamos del fluido, es fácil calcular el valor del número de Bond. En la
siguiente tabla se puede ver el resultado del número de Bond utilizando como
dieléctrico aceite de silicona.
Magnitud Valor
Anchura capilar (m) 3,50E-03
Profundidad capilar (m) 6,00E-04
Densidad (Kg/m3) 800
Gravedad (m/s2) 9,81
Radio hidráulico (m) 2,56E-04
Tensión superficial (Dym/m) 3,00E-02
Numerador nºBo 0,00051
Denominador nºBo 3,00E-02
nº Bo 0,017157
Tabla 3 Calculo del numero de Bond
Pese a que el número de Bond es menor que la unidad es lo suficientemente

cercano a uno como para que el líquido fluya.
Para aumentar, en la medida de lo posible este valor, se puede variar

principalmente la anchura del canal, obteniendo de esta manera una mayor
sección. Encontramos más complicaciones a la hora de aumentar la
profundidad (ya que un aumento de la profundidad implica mayor número de
deposiciones de SU8, lo cual puede llegar a sobrepasar los límites de
dimensionamiento MEMS). Sin embargo, no tiene mucho sentido aumentar en
gran medida uno solo de los dos parámetros, ya que para aumentar
sustancialmente el valor del radio hidráulico es necesario elevar
proporcionalmente el valor de las dos magnitudes.
Se han realizado experimentos con tubos cuyo diámetro no sobrepasaba las

800 micras (tamaño aproximado de una aguja intravenosa) y se ha podido
comprobar cómo el aceite de parafina se movía con bastante fluidez por los
mismos. No ha ocurrido lo mismo con el agua (incluso añadiéndole jabón, lo
que reduce la tensión superficial). Por ello, se han intentado buscar medidas de
canal con radio hidráulico cercano a este valor y así asegurar que el dieléctrico
hace su función.
37
3.3. Diseño y dimensiones
A partir de los cálculos y los principios físicos anteriormente expuestos se

procede al diseño y dimensionamiento del dispositivo.
Lo primero que quiero destacar es que se opta por realizar más de un modelo
del dispositivo. Para cada modelo se varían los parámetros que lo definen
(ancho de canal, distancia entre placas, longitud de placas…), sin embargo, los
cálculos se han realizado de manera que todos los modelos deberían arrojar
resultados aceptables. De esta manera se consiguen varios objetivos:
- Asegurarnos de que al menos uno de los modelos alcanza los objetivos

del proyecto.
- Poder realizar distintos casos, desde el más crítico hasta el más factible.
Aprovechando al máximo el área de que se dispone en la oblea de PCB.
- Tener la capacidad de elegir el modelo que más nos convenga, teniendo
en cuenta nuestras necesidades (sensibilidad, tamaño…)
- Comprobar mediante experimentación que diferencias existen entre
todos los modelos.
- Debido a los posibles fallos que puedan producirse durante la
fabricación y lo largo que puede hacerse el proceso, es importante que
al menos uno de los modelos llegue al final del proceso con opciones de
poder ser analizado.
Partiendo de los cálculos iniciales del condensador de placas cilíndricas, se

propone la fabricación de un prototipo basándose en un condensador de placas
circulares. Con ello se pretende conseguir:
- Mayor facilidad y uniformidad en el desplazamiento del líquido y mayor

continuidad en el diseño.
- Para el anterior diseño basado en placas planas existía un canal inferior
que conectaba ambos condensadores. Con el diseño circular se evita
dicho canal inferior.
- Reducir sustancialmente el área del componente.
Pese a que se realizan los cálculos para hasta siete prototipos distintos, se
deciden fabricar únicamente cinco de ellos, descartándose dos. Se toma esta
38
decisión por falta de espacio en el PCB (8.5x8.5 cm), llegándose a la

conclusión de que es suficiente con cinco modelos.
Todos los diseños para la realización de las máscaras que servirán

posteriormente para la fabricación de los modelos se han realizado con el
programa L-Edit. Este programa de diseño esta especialmente preparado para
la fabricación de componentes basados en tecnología MEMS.
3.3.1. Diseño del canal
Para el diseño de esta parte del dispositivo, se optó por implementar un canal
lo suficientemente amplio para poder introducir las pistas de los condensadores
en el interior y evitar al máximo las tensiones superficiales del dieléctrico
líquido.
En la siguiente tabla se pueden ver los valores que se han dado para los
parámetros de los canales. Hay que tener en cuenta que el valor del radio será
el que hay desde el centro de la circunferencia hasta la mitad del canal.
MEDIDA Caso 1 Caso 2 Caso 3 Caso 4 Caso 5

Ancho de canal 0,003 0,00125 0,0025 0,00375 0,005
SU8 (m)
Profundidad de 0,00045 0,00045 0,00045 0,00045 0,00045
canal SU8 (m)
Radio (m) 0.005 0,0075 0,005 0.01 0.0125
Tabla 4 Magnitudes para el diseño del canal
Para poder dibujar los canales se escoge una de las capas del L-Edit. En esta
misma capa además de los canales (que representarán la zona que quedará
libre de SU8), dibujamos también:
- Zona para los contactos: son las zonas rectangulares libres de SU8,
donde posteriormente soldaremos los contactos.
- Deposito: conectados a cada uno de los canales se han diseñado unos
depósitos para poder introducir el líquido en el interior del canal. Están
formados por círculos de 2.2 mm de radio. Posteriormente se practicará
un agujero en el centro del depósito para poder introducir el líquido.
- Cruceta para alineación: Para poder alinear la máscara de de los
canales con la oblea con SU8, es necesario repartir a lo largo del diseño
39
una serie de cuadrados, cuyos vértices coinciden con unas cruces que
se dibujan en la máscara de los electrodos de cobre.
Fig 29 Máscara canales
3.3.2. Diseño de los electrodos de cobre
Para el diseño de los electrodos de cobre, se opta por un grosor del cobre lo
suficientemente amplio para evitar problemas en el grabado de la placa. Es
muy importante que cada uno de los electrodos que conforman el condensador
quede justo en el centro del canal que hemos diseñado anteriormente.
Tanto la distancia entre las placas como la longitud de las pistas se han
escogido conforme a los cálculos anteriormente realizados. Evidentemente la
longitud de la placa del condensador dependerá del radio de curvatura del
diseño. En la tabla siguiente se indican los parámetros más importantes del
diseño de los electrodos de cobre. Indicar que, al igual que ocurría con el
diseño de los canales, el radio se corresponde a la distancia desde el centro al
punto medio de los electrodos.
40
MEDIDA Caso 1 Caso 2 Caso 3 Caso 4 Caso 5

Ancho de 0,0005 0,0005 0,0005 0,0005 0,0005
pistas Cu (m)
Espesor Cu 0,000035 0,000035 0,000035 0,000035 0,000035
(m)
Distancia 0,00045 0,001 0,00085 0,00035 0,00075
entre pistas
(m)
Radio (m) 0.005 0,0075 0,005 0.01 0.0125
Tabla 5 Magnitudes para el diseño de los electrodos
Para los electrodos se escoge una capa distinta a la de los canales, de esta
manera se obtienen máscaras distintas para cada parte del componente. En el
diseño de los electrodos de cobre podemos destacar:
- Placas de los condensadores: es la parte circular de los electrodos que

irá dentro del canal que forme la ausencia de SU8 en esa zona. El valor
de capacidad de estos condensadores dependerá principalmente del
diseño de estas placas, siendo esta la parte más importante del
componente. La longitud y el grosor de la pista serán variables críticas
para conseguir un determinado valor de capacidad. Las otras variables
de las que dependerá este valor será la distancia entre placas y el
dieléctrico.
- Contactos: al final de los electrodos que nos sirven como placas del
condensador se han colocado unos círculos de cobre que servirán, una
vez que se realice el consecuente agujero con un taladro, para soldar los
contactos a al integrado AD7745/46 que permitirá realizar medidas.
- Depósito: para poder realizar fácilmente el orificio que servirá para
introducir el dieléctrico líquido en el canal del condensador, se ha
incluido un circulo de cobre en el interior del depósito, en cuyo centro, se
practicará el agujero de entrada del fluido.
- Cruceta para la alineación: Para poder alinear la máscara con la placa
en la insoladora, es necesario repartir a lo largo del diseño de los
canales, una serie de cuadrados cuyos vértices coinciden con unas
cruces que se dibujan en la máscara de los electrodos de cobre.
41
Fig 30 Máscara cobre
Superponiendo ambas capas se puede ver como quedaría el diseño. Los

condensadores coinciden justo en el centro de los canales por donde se
moverá el fluido.
Fig 31 Máscara cobre y canales
42
CAPÍTULO 4
Proceso de Fabricación
43
4. PROCESO DE FABRICACIÓN
En el presente capitulo se exponen los pasos que se siguen para la fabricación

de los sensores, desde el diseño de las máscaras, pasando por la fabricación
de los electrodos, la deposición del SU8, las técnicas de revelado y la
preparación del dispositivo para la experimentación. Se explican
detalladamente los materiales empleados y el uso del instrumental del
laboratorio de microsistemas.
4.1. Pasos del proceso
Para poder fabricar el inclinómetro se han tenido que seguir una serie de pasos
que permiten implementar el aparato. Estos pasos están basados en procesos
de fabricación que son típicos en la tecnología de microsistemas.
Seguidamente se describen detalladamente todos estos pasos.
4.1.1. Diseño de máscaras
Para el diseño de las máscaras que se utilizarán para el grabado del cobre y la
deposición del SU8. Se empleará el programa LEdit.
LEdit es un sencillo programa de diseño que permite implementar diferentes

capas para la creación de las posteriores máscaras. Las partes principales del
programa son:
- Toolbar: Esta barra contiene las herramientas necesarias para el diseño.

Con ella podemos crear distintas figuras geométricas, realizar acciones
como voltear o rotar y cambiar las propiedades de los elementos del
layout. Además, podemos utilizar la regla para medir distancias.
- Sidebar: esta barra nos da la opción de variar el material de la capa que

estamos diseñando. Cada capa poseerá unas propiedades distintas,
44
podemos escoger entre polisilicio, metal1, metal2… Además tiene un

selector de configuración de los botones del ratón.
- Area de dibujo: En esta ventana se realiza el diseño que precisamos

utilizando las herramientas del programa. Es importante trabajar en las
unidades de medidas apropiadas para el diseño.
En el caso del inclinómetro se ha realizado un diseño circular para favorecer la

circulación del líquido. En el mismo, se pueden destacar dos capas principales.
La primera capa será la del cobre, donde dejaremos un canal sobre las pistas
libre de SU8 por donde circulará el dieléctrico. La otra capa es la del SU8, que
recubrirá el resto, excepto las zonas donde se sueldan los contactos y la parte
que nos sirve como depósito del líquido dieléctrico. Al guardar podremos
exportar el diseño a formato GDS-II.
45
Fig 32 Pantalla LEdit
4.1.2. Revelado de fotolito
Para conseguir la máscara que deseamos en el fotolito se ha hecho uso del

Fotoplotter FP-8000. Con esto se consigue una máscara semirrígida de alta
calidad con una resolución de unas pocas micras. El fotoplotter funciona
mediante la luz procedente de un diodo laser que se mueve sobre un rodillo
giratorio donde se coloca el fotolito.
Una vez que se tiene el Layout de la máscara en cualquier programa de diseño

de microsistemas (en nuestro caso L-Edit), debemos transformarlo en el
formato Gerber RS-274X, que es el que emplea el Fotoplotter. Con el software
L-Edit obtenemos el formato GDS-II, así que deberemos utilizar un programa
que transforme el formato GDS-II en Gerber.
El programa utilizado es LinkCAD. La transformación y el uso del programa es

muy sencilla y nos permitirá obtener el archivo Gerber. En el caso concreto de
este proyecto se obtienen dos Gerber, uno para las máscaras del cobre y otro
para las que se utilizan para eliminar el SU8.
46
Fig 33 LinkCAD
El siguiente paso consistirá en obtener el archivo .FPF y ubicar la máscara en

el rodillo del fotoplotter. Para esto se utiliza el programa “Combert Gerber into
FPF”.
Fig 34 Combert Gerber into FPF
El rectángulo oscuro del programa se corresponderá con el área de ploteado

donde podemos ubicar vuestra máscara, en este caso los dos archivos Gerber.
En el fotoplotter éste área de ploteado será la superficie de un cilindro, por lo
que en la imagen se muestra dicha superficie estirada, siendo el eje x la
longitud del cilindro y el eje y su eje. Como se puede apreciar, el área máxima
del layout que podemos hacer de una vez será 34 cm por 37 cm.
47
Se deben colocar los dos archivos Gerber correspondientes a nuestro diseño

en la parte superior izquierda del cuadrado gris que se corresponderá con el
punto de inicio de ploteo. Una vez colocados los dos diseños en pantalla se
visualizan para comprobar que todo este correctamente (tecla F6) generamos
el archivo FPF (tecla F4). En este momento nombramos el archivo y
escogemos una resolución adecuada para nuestro proyecto. En este caso se
ha escogido 4064x8600.
Fig 35 Fotoplotter
Antes de enviar nuestra máscara al plotter para que se inicie la impresión

debemos colocar el fotolito en el rodillo del plotter. Si abrimos la tapadera
superior del fotoplotter, veremos cómo existen unas flechas blancas en el borde
lateral izquierdo e inferior, mientras que en el rodillo nos encontramos con otra
flecha. Las dos primeras flechas, del lateral izquierdo y de la parte inferior,
indican el punto inicial de ploteado, es decir, la coordenada (0,0), que se
corresponderá con la esquina superior izquierda del rectángulo oscuro que se
muestra en el programa “Convert Gerber into FPF”. La intersección entre dos
líneas imaginarias saliendo de cada una de estas flechas mostrará este punto.
En cuanto a la flecha que aparece en el rodillo, es necesario alinearla con la
flecha lateral, tal y como se ve en la imagen anterior, de modo que el rodillo o
cilindro comience a girar desde el “punto cero”. Para ello se moverá el cilindro
del plotter suavemente con la mano hasta que ambas flechas coincidan.
48
Para manipular estos fotolitos será necesario mantener todas las luces
apagadas y utilizar únicamente la luz verde, cuya longitud de onda no afecta al
fotolito. Este punto es de vital importancia, ya que la más mínima fuente de luz
podría afectar al fotolito irreversiblemente. Lo mismo ocurre con las huellas
dactilares, siendo importante utilizar guantes a lo largo de todo el
procedimiento. Como debemos pegar el fotolito al rodillo del fotoplotter a
oscuras debemos tener preparado de antemano la cinta adhesiva que vamos a
utilizar.
Fig 36 Instrumental
Abrir cuidadosamente por un extremo la caja y extraer uno. Cortarlo con unas
tijeras según las dimensiones de la máscara que queramos plotear y volver a
guardar el resto de fotolito sobrante en la caja, seguidamente cerramos bien la
caja con cinta aislante para impedir que entre la luz.
Debemos colocar la parte más oscura del fotolito hacia arriba en el rodillo. Para
ello, se alinean previamente las flechas horizontales del rodillo y del extremo
izquierdo y se coloca la parte superior del fotolito siguiendo la línea horizontal
indicada por la flecha del rodillo. A su vez, el fotolito ha de colocarse a partir de
49
la línea vertical indicada por la flecha del extremo inferior del fotoplotter. De
este modo, el plotter comienza a trabajar con el fotolito a partir de la
coordenada (0,0) del rodillo. Hay que asegurarse de que el fotolito se encuentra
bien tirante y perfectamente pegado al rodillo. Para pegar el fotolito al rodillo
utilizamos dos tiras de cinta adhesiva en la parte superior e inferior.
El siguiente paso será cerrar la tapa del fotoplotter y encender las luces para
comenzar la impresión. Para ello encendemos el fotoplotter en el lateral
izquierdo e iniciamos el programa “Run_photo_USB”. Seleccionamos el archivo
FPF que contiene las máscaras y pulsamos en “Play”, donde escogemos la
resolución de salida y pinchamos sobre “Plot” con lo que comenzará el
proceso.
Es importante destacar que esta imagen se encuentra girada 90º respecto a la

que aparecerá en el fotoplotter, es decir, si en el programa la imagen fuera de
10 x 50 mm, habría de colocar el fotolito de modo que fuese 50 x 10mm, girado
justo 90º.
En este caso el proceso de impresión de máscaras ha rondado los 90 minutos.

Se han realizado diferentes máscaras para cada una de las pruebas que se
han realizado a lo largo de la realización del proyecto. Una vez que termina el
proceso de impresión se preparan tres cubetas para revelar el fotolito.
En una echamos el líquido revelador, en otra agua y en la última el líquido

fijador. Para hacer el revelador, mezclar una parte de “Developer RA2000” con
dos partes de agua, y para el fijador mezclar una parte de “Fixer RA3000” con
tres partes de agua. Generalmente estos líquidos ya se encuentran mezclados
en el laboratorio.
50
Fig 37 Cubetas
Con las luces de nuevo apagadas se saca el fotolito del plotter sumergirlo en el
revelador durante aproximadamente 40 segundos mientras agitamos
suavemente la cubeta. Es importante no dejar demasiado tiempo el fotolito en
la cubeta, puesto que puede oscurecerse. Transcurrido este tiempo,
enjuagamos bien el fotolito en la cubeta de agua, para eliminar todo el
revelador. Con sumergirlo unos 5 minutos en el fijador será suficiente, por
último volvemos a enjuagar el fotolito en el agua para quitarle los restos del
fijador y se deja secar. El fotolito debe ser completamente transparente por
donde no hay nada y oscuro por las zonas donde hay pistas o canal de SU8.
Fig 38 Fotolito revelado
51
4.1.3. Fabricación de electrodos
Para la fabricación de los electrodos utilizaremos una placa de PCB que

cortaremos mediante la utilización de una sierra con un tamaño de 8.5x8.5cm.
Posteriormente se le someterá a un lijado de las aristas de los bordes. El PCB
utilizado tendrá cobre en una de sus caras con un espesor de 35um.
Fig 39 Serrado de PCB
El siguiente paso será proceder a la fotolitografía del PCB, superponiendo

sobre el PCB la máscara de las pistas de cobre que obtuvimos anteriormente.
Para la fotolitografía es importante realizar una limpieza tanto del PCB como
del fotolito.
Para proceder al revelado de la placa de PCB, antes de colocar la placa en la

insoladora debemos retirar el plástico protector de que dispone. Este plástico
se utiliza para evitar que la placa se exponga a la luz y quede inutilizable. Es
conveniente, una vez retirado el plástico, ser rápidos a la hora de comenzar la
insolación.
52
Fig 40 Insoladora
A continuación se realiza una exposición de luz ultravioleta en la insoladora de

tubos. La duración del proceso de insolación varía en función de la potencia de
los tubos y del tipo de placa que usemos. En este caso la mantenemos en la
insoladora durante 1 minuto y 40 segundos para posteriormente proceder al
revelado de la misma en el banco húmedo. Para ello utilizamos el líquido
revelador. Este revelador está formado por sosa caustica disuelta en agua. Se
mantiene en la cubeta con dicho líquido agitándolo suavemente hasta que
aparecen las pistas marcadas en la fotorresina, menos de un minuto
aproximadamente. Durante este proceso veremos como poco a poco las pistas
comienzan a aparecer. Posteriormente se limpia con agua corriente.
Fig 41 Cubeta revelado PCB
53
Seguidamente se procede al atacado químico. Para la realización del atacador

se utiliza una parte de agua oxigenada (H2O2), una de agua fuerte (H2ClO3) y
dos de agua (H2O). La duración del grabado del cobre dependerá del tiempo
que se tarde en disolver la parte no deseada. Se mantiene unos 3 min
aproximadamente en la cubeta agitando el líquido suavemente. Poco a poco el
ácido eliminará el cobre que ha sido expuesta a la luz pero no la que está
protegida por la pequeña película que define las pistas.
Por último, cuando hemos comprobado que las pistas están bien definidas, se
procede a la limpieza con agua corriente y a la eliminación de la fotorresina
mediante acetona.
4.1.4. Fabricación del canal
Para la realización del canal por donde se quiere que circule el fluido se realiza
una deposición de resina fotosensible SU8 en la placa con los terminales de
cobre. Posteriormente se elimina el SU8 del canal mediante fotolitografía.
Como ya se ha comentado se han realizado diferentes prototipos del modelo.

En un primer prototipo se realizó una deposición de SU8 2025 que nos
proporciono un grosor de unas 100um. Posteriormente se comprobó mediante
pruebas experimentales que dicho grosor era demasiado pequeño para la
correcta circulación del dieléctrico. Es por ello que se optó por utilizar SU8 2150
que permite conseguir espesores mayores (del orden de las 450um). A
continuación se explican los pasos dados para la deposición, fotolitografía y
revelado de dicho SU8 2150. El proceso es muy parecido para el SU8 2025
variándose los tiempos, temperaturas, etc.
El primer paso es realizar una deposición de SU8 sobre la oblea. Como se

necesita que el SU8 quede uniformemente extendido se utiliza un revestidor de
giro o spin coater. La técnica del spin coating se utiliza para depositar películas
uniformes sobre un plano mediante un plato giratorio.
54
Fig 42 Spin Coater
Por lo tanto, se coloca la oblea sobre el plato giratorio que quedará fija al
mismo mediante succión. Se vierte el SU8 lentamente de modo que se
deposite una gota de tamaño suficiente en el centro de la placa. Es entonces
cuando se programa el spin coater durante 1 minuto a 400 rpm.
El siguiente es conseguir la eliminación del disolvente de la resina aplicándole

calor mediante un proceso de soft bake. Al eliminar este disolvente que tiene la
resina esta se endurece y podemos trabajar con ella en el posterior proceso de
fotolitografía. Para ello se coloca la oblea en el hot plate. Primero se calienta el
hot plate a 65º y se deja la placa durante unos 2 minutos para que no reciba
cambios bruscos de temperatura. A continuación se aumenta la temperatura
hasta los 105º y se deja calentar durante 6 horas.
Fig 43 Hot Plate
55
Mientras que con el SU8 2025 bastaba con exponerlo alrededor de 45 minutos,
al haber utilizado SU8 2150 debemos incrementar sustancialmente el tiempo
de exposición al calor, debido a que la capa de resina es mucho más gruesa y
se necesita que el calor llegue hasta la parte superior para que se produzca la
eliminación completa del disolvente.
El último paso del proceso de deposición es dejarlo enfriar sobre la mesa un

tiempo suficiente para que la resina se endurezca.
El siguiente paso es el de someterlo a fotolitografia mediante la máscara en la

que se han dibujado los canales. Para ello se alienará la oblea con la foto
resina y la máscara, para posteriormente exponerse a luz ultravioleta.
Fig 44 Alineadora SMA
Para ello colocamos la placa y la máscara con los canales en la alineadora

SMA. Para poder alinear correctamente la oblea y la máscara se han dibujado,
en el proceso de diseño, una serie de cruces cuyos vértices deben hacerse
coincidir con unos cuadrados.
Para poder alinear se coloca la máscara sobre un cristal y la oblea con resina
sobre un soporte móvil. De tal manera que podemos mover dicho soporte
mediante aire comprimido para hacer coincidir ambos elementos.
56
Fig 45 Proceso de alineación
El delicado proceso de alineación se realiza con la ayuda de un microscopio

electrónico y con una serie de mandos que posee la alineadora para poder
mover el soporte de la placa sobre los tres ejes y que coincida con la máscara.
Una vez se ha realizado la alineación de ambos elementos se procede a

realizar la exposición a los rayos ultravioleta. La fotorresina contiene unos
fotoácidos que se sensibilizan con la exposición ultravioleta, esto permite que,
con una posterior exposición al calor, aquellas zonas que hayan sido expuestas
a luz ultravioleta polimericen y se endurezcan. Mientras que aquellas que no se
hayan expuesto (gracias a las zonas oscuras de la máscara) puedan eliminarse
en un posterior proceso de revelado, formándose los canales.
Fig 46 Exposición a luz UV
57
Por lo tanto, una vez alineada la máscara se realizan 12 repeticiones de

exposición a luz ultravioleta durante 30 segundos con un descanso de 15
segundos entre exposición y exposición. Una vez realizado esta parte del
proceso los fotácidos han sido sensibilizados y se procede a la polimerización
devolviendo la oblea al hot plate.
En el hot plate se vuelve a tener durante 4 minutos a 65ºC, de tal manera que
se eviten los cambios bruscos de temperatura, y seguidamente se aumenta
hasta los 95ºC durante 5 min. Este tiempo es más que suficiente para la
polimerización. Es más, en ese instante, se observo que la resina comenzaba a
arrugarse ligeramente por efecto del calor y se procedió a sacarla rápidamente
del hot plate. De no haber hecho esto podría haberse dañado
irreversiblemente.
Una vez polimerizada la parte de la fotorresina que nos interesa se procede al

revelado de la misma. Para ello, en el banco húmedo, aplicamos el revelador
de SU8 sobre una cubeta y sumergimos la oblea durante 15 min, agitando
suavemente para que la que llegue de la manera más uniforme posible a todas
las zonas. En este punto debemos ser capaces de ver los canales que se han
formado donde no se recibió luz ultravioleta y por donde circulará el líquido.
Por último se procede a una limpieza con isopropanol para eliminar los restos
de revelador y de SU8 que puedan haber quedado. El isopropanol es un
compuesto que nos sirve para limpiar la oblea sin dañar el SU8, como podría
pasar con otros líquidos más corrosivos como la acetona.
Finalmente, tras un secado con nitrógeno, se procede a la inspección del

componente al microscopio. Por un lado, se observan que han aparecido
algunas grietas que atraviesan la superficie del SU8, una de ellas parece ser
crítica, inhabilitando el dispositivo más grande para su uso, ya que al introducir
el líquido se producirían perdidas.
58
Fig 47 Grieta en el caso 5
El muy posible que la aparición de esta grieta se haya producido por algún
cambio brusco de temperatura. Seguramente entre el momento de la
polimeración y el revelado. Por suerte esta fue una de las razones por las que
se fabrican distintos modelos y ha de tenerse en cuenta en proyectos futuros.
También es importante ver mediante la inspección al microscopio que

profundidad de canal se ha obtenido finalmente, ya que, puede ser variable
dependiendo de la cantidad de SU8 que se deposite.
Fig 48 detalle de la profundidad de canal
59
Para ver la profundidad del canal enfocamos con el microscopio a la parte

superior del SU8 hasta que la imagen es totalmente nítida. Posteriormente
vamos acercando paulatinamente la imagen hasta ver nítidamente el fondo del
canal, contando cuantas micras hemos aumentado la imagen. Esta es una
manera bastante exacta de medir los canales. Finalmente la profundidad de
canal es de 600um, más que suficiente para el objetivo del proyecto.
Fig 49 desplazamiento de la gota por el canal
4.1.5. Tapadera y preparación para experimentación
El último paso para la fabricación del dispositivo es la realización de los

taladros, la colocación de una tapadera, idear un sistema de introducción del
líquido y el soldado de los pines.
El primer paso será la realización de los taladros. Para ello utilizaremos un mini
taladro de precisión colocado en un soporte al que adaptaremos una broca de
1mm para realizar los agujeros.
60
Fig 50 Taladro de precisión
Se realizan cuidadosamente los agujeros donde posteriormente soldaremos los

pines. Además se deben realizar también los orificios para la entrada del
líquido en el depósito.
El siguiente paso será colocar la tapadera. Como nos encontramos en una fase
de experimentación y no es un dispositivo final, nos interesa que la tapadera
pueda ser extraíble. De esta manera podemos realizar distintas pruebas con
diferentes líquidos. Posteriormente podemos quitar la tapadera, proceder a la
limpieza del dispositivo y volver a comenzar el proceso de prueba de una
manera más fácil que si se coloca una tapadera definitiva.
Fig 51 Realización de los horificios
61
Aún así, es importante saber que podemos cerrar definitivamente el

componente mediante una tapadera fabricada con SU8 una vez que estos
seguros de que el dispositivo funciona correctamente.
Para realizar la tapadera, simplemente empleamos cinta adhesiva transparente

que colocaremos sobre la capa de SU8 cerrando los canales. Hay que ser muy
cuidadoso en la colocación de la cinta adhesiva procurando cortar trozos de un
tamaño adecuado, de manera que, no se superpongan en puntos críticos cerca
de los canales. De esta manera evitaremos posibles fugas.
Debe colocarse de manera uniforme y lo mas estirada posible evitando dejar

bolsas de aire o pliegues. Una vez colocada presionamos suavemente con el
dedo por las zonas cercanas al canal para que quede bien pegada.
Una vez colocada la tapadera debemos idear un método de introducción del

líquido a través del agujero del depósito que se diseñó para el instrumento.
Para ello cortamos pequeños tubos de platico rígido de alrededor de 1,5 cm de
longitud que se pegan en la parte posterior del dispositivo, haciéndolos coincidir
con el agujero del depósito.
Fig 52 Pegado de tubos
En esa zona aplicamos pegamento Araldit Rápido. Consiste en un adhesivo

epoxi de dos componentes, un endurecedor y una resina que reaccionan al
mezclarse. Con un endurecimiento muy corto, este adhesivo es ideal para
uniones rápidas.
62
Fig 53 Materiales para el pegado (Araldit)
Los pasos a seguir para usar correctamente este pegamento son:
- Las superficies a unir deben estar secas y limpias de grasa, polvo o

suciedad.
- Sobre una placa, se añaden cantidades iguales de cada componente A y
B. Posteriormente hay que cerrar los dos tubos vigilando no invertir el
color de los tapones.
- Mezclar ambos componentes con la espátula hasta obtener una mezcla
homogénea. Esta mezcla debe ser utilizada antes de 5 minutos.
- Sobre las dos superficies a unir se aplica una fina capa de la mezcla.
Tras un pegado inicial se añade más cantidad de adhesivo para
asegurarnos que no existen fugas. Es importante tener cuidado en no
taponar el agujero de entrada del líquido.
- Hay que esperar 1 hora, antes de mover los objetos pegados.
63
Fig 54 Realización de orificio de entrada de aire
Cuando se ha pegado el tubo a la parte posterior podemos introducir líquido a

través de una jeringuilla. El diámetro interior del tubo coincide con el de la
salida de la jeringuilla. Para poder meter el líquido se ha practicado un pequeño
agujero en la cinta adhesiva que nos sirve de tapadera, de manera que, exista
una salida de aire. De no ser así, en el momento que introducimos el líquido
por el tubo de entrada, la presión producida por la jeringuilla en el interior del
canal no permitiría que entrara el líquido, llegándose incluso a despegar la
tapadera.
Fig 55 Introducción del líquido dieléctrico
64
Cuando se introduce el líquido al nivel deseado podemos tapar ambos orificios.

Para el orificio practicado con la aguja se emplea un pequeño trozo de cinta
adhesiva, el tubo de entrada podemos taparlo con plastilina de forma temporal
o definitivamente con pegamento. De esta manera el instrumento queda
totalmente cerrado evitándose fugas indeseadas.
Fig 56 Soldado de pines
El último paso consiste en la colocación de unos pines para poder conectar el

AD7745/46 al inclinómetro y poder realizar mediciones. Para ello utilizamos
pines rectos de 2,54 mm que separaremos de la tira mediante el uso de unos
alicates. Posteriormente se sueldan a la placa mediante estaño, teniendo
cuidado de no quemar el SU8 con el soldador.
4.2. Materiales
Para la realización del inclinómetro se han utilizado una serie de materiales. A

continuación pasaré a describirlos.
4.2.1. Fotolitos
Para la realización de las máscaras se utilizarán unos fotolitos especiales para

la utilización en un fotoplotter. Con ello obtendremos unas máscaras
semirígidas con unas resoluciones muy altas.
65
Fig 57 Fotolitos de las máscaras
Si se realiza un revelado adecuado, con estos fotolitos se alcanza un nivel de

transparencia que puede ser muy importante para el posterior proceso de
revelado del PCB.
4.2.2. Placa de PCB
Para este proyecto se ha utilizado un trozo de PCB fotosensible a una cara de

unos 7x7 mm con película foto sensible. El trozo de PCB se ha cortado de uno
mayor utilizando una sierra de corte.
Fig 58 Placa de PCB
Existen placas con distintos espesores de cobre, siendo la utilizada en este

proyecto la que tiene un espesor de 35 um. Los cálculos iniciales se han
realizado para un condensador con un espesor de placas de este tamaño.
El PCB incluye un plástico protector que evita que la placa pueda dañarse
cuando se exponga a la luz. Es muy importante retirar este plástico justamente
antes de colocarla en la insoladora.
66
Para obtener las pistas de cobre, hay que atacar la placa con las sustancias
adecuadas, que se encargará de eliminar la parte de cobre que no forme parte
de las pistas. Esto se consigue protegiendo de la corrosión dichas partes
mediante la utilización del fotolito. Al ser una placa positiva todas las zonas
oscuras del fotolito serán posteriormente las pistas de nuestra placa.
La placa fotosensilble tiene un barniz que es sensible a la luz, que se

impresiona mediante una insoladora o cualquier otro foco luminoso adecuado.
Normalmente, es más sensible a la luz que contenga UVA (ultravioleta tipo A)
que es el que tienen los rayos de sol. Para la exposición de la placa utilizamos
una insoladora.
4.2.3. Resina Fotosensible
La resina fotosensible que se a utilizado es la SU8 2150. Esta es un tipo de

resina de alto contraste diseñada para el micromecanizado y aplicaciones
microelectrónicas. Forma parte de la serie SU8 2000, una formula mejorada de
SU-8, que ha sido utilizada durante años para la creación de elementos MEMS.
Fig 59 Resina fotosensible SU8
Con el SU8 podemos conseguir capas de 0,5 a >200um con una sola
deposición. Se consiguen estructuras con excelentes características para la
realización, por ejemplo, de paredes verticales. Su secado es relativamente
rápido, dependiendo también del espesor de la capa que se deposite.
Composición química:
67
- Cyclopentatone (CAS: 120-92-3); 23-96%,

- Mixed Triarylsulfonium/ Hexafluoroantimonate Salt;(CAS: 89452-37-
9)/(CAS: 71449-78-0); 0.3-5%
- Propylene Carbonate (CAS: 108-32-7); 0.3-5%,
- Epoxy Resin (CAS: 28906-96-9); 3-75%
Algunas de sus características técnicas son:
% Solidos Viscosidad (cSt) Densidad (g/ml)

SU8 2150 76.75 80000 1.238
Tabla 6 Propiedades del SU8 2150
Como vemos, se trata de un líquido extremadamente viscoso, lo cual hace que

sea complicada su deposición. Sin embargo los resultados son inmejorables en
cuanto al grosor que finalmente se ha obtenido (600um).
Una vez solidificado, el SU8 ha permitido la construcción de los canales por los
que circula el líquido, con paredes verticales uniformes. Se crea una capa
superior totalmente plana y carente de rugosidades que facilita la posterior
colocación de la tapadera del dispositivo.
4.2.4. Contactos
Para los contactos se han utilizado pines rectos de 2,54 mm que se presentan
en tiras. Se realiza la soldadura al prototipo mediante soldador y estaño.
Fig 60 Contactos
Estos pines son adecuados para la posterior conexión a las sondas del
Convertidor Digital de Capacidad AD7745/46.
68
4.2.5. Aceite de silicona
El aceite de silicona es un producto no toxico, sin ningún tipo de olor y no

inflamable. Este lubricante se deriva del polisiloxano.
Fig 61 Aceite de silicona
En el mercado existen multitud de aceites de silicona que se caracterizan por

tener diferentes viscosidades. Al alterar el grado de polimeración y el tipo de
grupo orgánico, se consiguen distintas propiedades útiles, como resistencia al
agua, a la adhesión, evitar espumas, etc.
Líquido Tensión Densidad ρ Viscosidad η Líquido

superficial γ (Kg/m3) (Kg/ms)
(Dyn/m)
Aceite de 0.0300 800 0.108 2.2
silicona
Tabla 7 Propiedades del aceite de silicona
Para el uso que queremos darle en el presente proyecto nos interesan las
siguientes propiedades del aceite de silicona:
- Propiedades dieléctricas
- Resistencia al calor
- Baja tensión superficial
Otras propiedades de este tipo de aceite son: resistencia a las temperaturas

extremas, antioxidante, baja volatilidad, resistencia de sellamiento y no
toxicidad.
69
CAPÍTULO 5
Pruebas Experimentales
70
5. PRUEBAS EXPERIMENTALES
En este tema se relatan las distintas fases que se han pasado para alcanzar
unos resultados experimentales válidos. En una primera parte se explican los
diferentes prototipos que se han realizado hasta alcanzar el modelo definitivo.
Se realizan pruebas que permiten definir el instrumento con precisión y se
analizan los resultados.
5.1. Prototipos
Durante el transcurso del proyecto se han desarrollado distintos prototipos para

realizar pruebas del funcionamiento del dispositivo en diferentes situaciones.
De esta manera y gracias a los cálculos se ha conseguido alcanzar un
instrumento que realiza las funciones que se pedían para el inclinómetro.
5.1.1. Prototipo inicial
Este prototipo que he denominado como inicial corresponde al desarrollado

durante la asignatura de Microsistemas del Máster en Electrónica, Tratamiento
de Señal y Telecomunicaciones junto con dos compañeros, Adrián Lara Pérez
y Felipe Ramón Fabresse. Este prototipo sirvió como base para el diseño del
inclinómetro final.
El objetivo del trabajo de la asignatura era crear un acelerómetro. Básicamente

el funcionamiento de un acelerómetro de estas características se parece
bastante al del inclinómetro. Se pretendía que cuando se produjese un
movimiento en el dispositivo, éste derivase en un cambio en el nivel del líquido
que lo contenía. Este cambio de nivel se traduciría en una variación entre las
placas que podríamos medir y tabular, extrapolándola a un valor de aceleración
de la gravedad.
Se optó por un diseño formado por dos condensadores de placas planas y un

canal inferior que los unía.
El primer paso del diseño fue la realización de cálculos teóricos. Tras realizar
los cálculos para el diseño del acelerómetro se llegó a la conclusión de que
sería capaz de realizar medidas de aceleración entorno a los 2G. En un
principio estos cálculos se realizaron utilizando como dieléctrico agua, más
71
tarde comprobaríamos que es mejor el aceite por su permitividad, además se

doblaría la anchura de los electrodos.
CALCULOS INICIALES
Permitividad vacio epsilon= 8,80E-12 F/m
Permitividad relativa aire epsilon r= 1
Permitividad relativa agua epsilon r= 4
Anchura electrodos w= 100 um
Separación Electrodos a= 100 um
longitud electrodos l= 5,00E+02 um
Condensador aire C= 3,69E-15 F
Condensador agua C= 1,48E-14 F
Tabla 8 Dimensionamiento del prototipo inicial
Seguidamente se implementó un diseño en COMSOL para comprobar el

funcionamiento del acelerómetro en una simulación:
Fig 62 Modelo en COMSOL
Posteriormente se procedió a la realización de las máscaras, se optó por

realizar tres modelos con diferentes alturas:
72
Fig 63 Máscaras acelerómetro placas planas
Al realizar estas mascaras en el laboratorio nos dimos cuenta que la distancia

entre placas era demasiado estrecha y hubo que realizar otro modelo doblando
dicha distancia. Este segundo modelo fue con el que pudimos realizar las
simulaciones. Sin embargo, debido a un fallo con la insoladora, no pudieron
implementarse correctamente los canales realizados con SU8. Pese a esto, se
pudieron realizar medidas y comprobar que funciona, al menos en el proceso
de medición de capacidad.
Durante la simulación se midió el valor de capacidad que se conseguía con el

acelerómetro. Se hizo un primer intento utilizando agua como dieléctrico pero
debido al valor de permitividad del agua (78.5) el condensador saturaba. Se
optó por tanto por utilizar aceite, cuyo valor de permitividad es mucho menor
(19.5) y se pudieron realizar mediciones.
Al carecer el acelerómetro de encapsulado necesitábamos algún método para

evitar que el aceite se saliera, para lo que fue suficiente con un poco de cinta
adhesiva. El siguiente paso fue llenar uno de los condensadores al máximo y
realizar la medida de capacidad en modo diferencial.
73
Los valores obtenidos se representan en la tabla:
Valores obtenidos
Offset 0.08pF
C (al mismo nivel) 0.00pF
C (máxima diferencia) 0.60pF
Valor teórico de aceleración 2G
Recorrido 450mm
Tabla 9 Valores medidos en el prototipo inicial
Es decir, al realizar la medida el circuito arroja un offset de 0.08 pF. Una vez
despreciado dicho valor, se tiene que en reposo (0G) los niveles de aceite de
ambos condensadores están igualados y obtenemos un valor de capacidad de
0 pF. Cuando se produce una aceleración el máximo recorrido que realiza el
aceite a través del condensador es de 450 mm obteniéndose en ese instante
un valor de capacidad de 0.60pF, que según los cálculos teóricos
corresponderá a una aceleración de 2G.
Para poder ver el funcionamiento del acelerómetro al producirse una subida

progresiva del nivel del líquido, se colocó una gota de aceite al principio de una
de las pistas. Al inclinar el acelerómetro el aceite recorría el condensador
simulándose de esta manera un aumento en el nivel del fluido por la acción de
una aceleración.
A continuación se muestra la gráfica obtenida:
Fig 64 Gráfica acelerómetro
Se puede comprobar en la gráfica que tras las variaciones iniciales producidas

por la inclinación del circuito el aumento de capacidad es continuo a medida
que transcurre el tiempo. Finalmente se obtuvo un sensor que media la
74
inclinación con el desplazamiento del líquido. Esto ha sido, en parte, la base de

este proyecto.
De este modelo inicial se extrajeron conclusiones en cuanto a posibles fallos y

mejoras para los siguientes prototipos.
5.1.2. Prototipo para la verificación de la capacidad
Tras la realización del prototipo inicial, se comenzó a diseñar el inclinómetro del

presente proyecto. Se realizaron varios cambios, uno de los más significativos
fue la forma del dispositivo. Se pasó del condensador de placas planas a uno
con forma circular. Una de las razones principales de este cambio fue que al
buscarse mediciones de ángulos con respecto a la rotación del líquido por el
canal, se llego a la conclusión de que en movimiento del dieléctrico sería más
natural por un canal circular que por uno plano.
Fig 65 Modelo para pruebas de capacidad
Además, gracias a este cambio de diseño somos capaces de medir ángulos

mayores que con el anterior. Con el condensador de placas planas llenado
hasta la mitad de líquido solo podemos alcanzar una inclinación de unos 45º
hasta que uno de los condensadores este completamente vacío y el otro lleno.
Sin embargo, con el diseño circular somos capaces de aumentar este rango.
El primer paso, una vez diseñado, fue fabricar un prototipo con los distintos
modelos para comprobar que pese a haber variado la forma y los valores,
75
seguía sirviendo al menos para medir capacidades. Algo fundamental para el

resto del proyecto.
Por ello se fabricó únicamente el PCB del dispositivo sin añadir los canales de
de la resina fotosensible SU8. Se soldaron pequeños cables a modo de pines
en los contactos de cobre y se procedió a medir capacidad mediante el
AD7745/46.
Fig 66 Pruebas de capacidad (preparación de medidas)
El proceso, pese a lo rudimentario, fue suficiente para alcanzar el objetivo

perseguido. Se vertieron gotas de aceite a lo largo de las placas de cada uno
de los condensadores y se comprobó que a medida que el condensador iba
variando su dieléctrico se variaba su capacidad. Cuanto más aceite y menos
aire existía entre las placas del condensador mayor era el valor de capacidad
(puesto que la permitividad del aceite es mayor que la del aire).
Se probó además con otros fluidos para verificar cual podría ser más
adecuado. La idea inicial era utilizar agua en lugar de aceite, principalmente
porque trabajar con aceite es mucho más “sucio” que hacerlo con agua. Se
llegó a la conclusión de que el agua tenía un valor demasiado alto de
permitividad para funcionar como dieléctrico. También se prueba con agua
destilada que tiene un valor de permitividad menor, pero los resultados fueron
los mismos.
76
La realización de este modelo sirvió además para comprobar que tanto el

grosor como la cercanía entre las pistas eran muy pequeños para que el
proceso de fabricación diese resultados óptimos. Esto se debió a que al
introducir el PCB en el ácido podían ocurrir dos cosas. Por un lado podía pasar
que se dejase poco tiempo en el ácido, con lo que aquellos modelos que
tuviesen las placas muy juntas podían quedar unidas por el cobre; si en cambio
se dejaba demasiado tiempo, era muy posible que el acido llegara a eliminar el
cobre de la placa del condensador haciendo que esta quedase cortada por
algún punto. Por ello, en el modelo final se procura dejar mayor separación
entre las placas y una anchura de pistas superior.
5.1.3. Prototipo para comprobar el funcionamiento con fluido
Una vez comprobado que el dispositivo era capaz de medir capacidades de

una manera adecuada se procedió a realizar unos canales mediante fotorresina
SU8 para comprobar su funcionamiento con líquido. Con respecto al anterior
caso se varían también la disposición de los taladros donde se soldarán los
contactos, para de esta manera intentar alejarlos lo más posible entre si y evitar
de alguna manera capacidades parasitas a la hora de realizar mediciones.
Fig 67 Modelo con tapadera
El proceso de deposición de la resina para este prototipo es muy parecido al

del prototipo final. Lo que varía principalmente son los tiempos de espera para
cada uno de las partes del proceso. En los anexos se incluye una tabla con los
tiempos que se siguen para esta deposición.
77
Otro de los cambios es que en lugar de SU8 2150 se utiliza SU8 2025. Este
material, aparte de ser mucho menos denso, proporciona unas capas menos
gruesas que el SU8 2150. El espesor de de resina que se alcanza está entre
los 100 y 150 um, lo que nos proporciona un canal mucho más estrecho.
De la misma manera que con el prototipo final se procede a la colocación de

una tapa con cinta adhesiva y al pegado de un tubo para la introducción del
fluido en el interior del canal. Se vuelve a insistir con el uso del agua como
dieléctrico y se inyecta en el canal mediante una jeringuilla. Será necesario
practicar un pequeño agujero en la tapadera para la salida del aire y evitar la
presión en el interior del canal.
En un primer momento es prácticamente imposible ver el agua en el interior a

no ser que se utilice el microscopio electrónico. Por ello se opta por colorear el
agua con tinta para poder visualizar mejor el fluido.
Finalmente se puede ver como el agua tintada llena el canal. Sin embargo, esta
no se mueve o se mueve muy lentamente, prácticamente, por mucho que
movemos el componente las fuerzas gravitacionales apenas le afectan. Esto es
debido a que el canal es muy estrecho y las fuerzas superficiales, que se
producen tanto por la anchura del capilar como por la tensión superficial del
agua tintada, prevalezcan sobre las gravitacionales.
Fig 68 Visualización del dieléctrico líquido
Seguidamente se procede a intentar medir capacidad. De nuevo es imposible,

el rango de capacidad que se alcanza con un dieléctrico formado por aire y
78
agua es muy superior a los 4 pF que es capaz de medir el AD7745/46. Ni

siquiera utilizado el CAPDAC del dispositivo, que aumenta este rango hasta los
17 pF, es posible determinar una medida. Por ello se desecha definitivamente
la posibilidad de utilizar agua como dieléctrico.
Finalmente se vacía de agua tintada el prototipo y se procede a rellenar con

aceite de silicona. Al reducirse la tensión superficial del líquido puede verse a
simple vista que el aceite, aunque también muy lentamente, fluye mejor que el
agua. Pero cuando se intenta medir capacidades vuelve a ser imposible,
debido a las impurezas que quedaron en el canal después del experimento
anterior. Se prueba también con agua destilada, con idéntico resultado.
Una de las ventajas de utilizar cinta adhesiva transparente es que esta se

puede quitar y poner cuantas veces queramos. La razón por la que no
conseguíamos medir capacidad con el aceite es que las pequeñas partículas
de agua con tinta habían quedado adheridas a la cinta y al canal. Esto
provocaba un aumento en la permitividad relativa del dieléctrico haciendo que
el condensador saturase. Por ello se procedió a cambiar la tapa limpiando
previamente lo mejor posible los canales del dispositivo con isopropanol.
Una vez cambiada la tapa, se volvió a introducir aceite de silicona. El

movimiento seguía siendo muy lento, pero al menos se apreciaba levemente.
Se conectó al AD7745/46 y se consiguió medir capacidades en varios
condensadores.
Como principal conclusiones de las pruebas con este prototipo, se dedujo que
era necesario aumentar sustancialmente el ancho del canal para conseguir que
el instrumento funcionara correctamente bajo el influjo de las fuerzas
gravitacionales y que el dieléctrico a utilizar debiera ser algún tipo de aceite. Se
optó por el aceite de silicona, por su baja permitividad, baja tensión superficial y
disponibilidad en el laboratorio.
5.1.4. Prototipo final
Para el prototipo final se rediseña el dispositivo anterior y se rehacen las

máscaras. Se varían algunas separaciones entre placas y el ancho de las
79
pistas de cobre para asegurarnos de que no existan problemas con el ácido a

la hora de realizar el grabado.
Fig 69 Modelo definitivo
Además se utiliza SU8 1150 en lugar de SU8 1025 para conseguir canales
mayores y evitar los problemas anteriormente mencionados con las tensiones
superficiales. Con esto conseguimos pasar de los 100-150 um que teníamos en
el caso anterior a los 600 um.
Fig 70 Funcionamiento del modelo definitivo
80
Por otro lado, además de conseguir mayor profundidad de canal, se diseña el

dispositivo con canales mucho más anchos. Con lo que nos aseguramos que
las fuerzas interfaciales no influyan negativamente en el dispositivo.
Todo el proceso de fabricación de este dispositivo final se describe

detalladamente en apartados anteriores.
5.2. Pruebas dispositivo real
En este apartado se explican las pruebas que se han realizado sobre el

instrumento para poder definirlo correctamente.
Para conseguir las medidas de capacidad que se obtienen del sensor de

capacidad se ha utilizado un convertidor digital de capacidad (AD7745/46), que
se describe a continuación.
Se han numerado los dispositivos de manera que podamos diferenciarlos,

dicha numeración aparece a continuación:
Fig 71 Numeración de los casos
Como ya se ha comentado, el caso 5 no ha podido completarse por un fallo

durante el proceso de fabricación.
Se han obtenido medidas y resultados para la sensibilidad, el rango y el ancho

de banda del dispositivo, con lo que se dimensiona para su uso.
81
5.2.1. AD7745/46
El AD7745/46 será el instrumento utilizado para la medida de la capacidad del

inclinómetro. Estos valores de capacidad son los que luego permiten conocer la
inclinación.
Fig 72 Esquema del integrado
El dispositivo es un Convertidor Digital de Capacidad (CDC). En cuanto a las

características más reseñables podemos destacar su alta resolución (24 bits),
alta linealidad (±0.01%) y alta precisión (±4fF). En principio es capaz de medir
hasta ±4pF, pero se pueden alcanzar hasta los 17 pF utilizando el registro
CAPDAC.
Fig 73 AD7745/46
82
El AD7745/46 funciona a una tensión variable de entre 2,7 a 5,25 V. Además

de la que nos ocupa puede utilizarse en múltiples aplicaciones, como:
- Medición de la presión
- Sensores de posición
- Sensores de nivel
- Medidores de flujo
- Sensores de humedad
- Detección de impurezas
Este CDC incluye un software para su utilización en el que podemos variar sus
características dependiendo de su uso. Podemos escoger la tensión de
entrada, el modo de funcionamiento (Differencial mode o Single-ended), el uso
de CAPDAC…
El CAPDAC consiste en un registro que nos permite medir capacidades

mayores a los 4pF de resolución del dispositivo añadiendo capacidades
virtuales en serie. Existen dos registros como estos, CAPDAC A y CAPDAC B.
Fig 74 CAPDAC
El AD7744/45 dispone de tres sondas de entrada para poder medir

capacidades. En el caso de realizar la medida en modo común tendremos dos
sondas (CIN+ y CIN-) para cada uno de los condensadores y la tercera (EXC)
para el terminal común. Para los modelos implementados no ha sido necesario
el uso del CAPDAC.
83
Una vez conectadas las sondas, mediante el programa podemos visualizar las
variaciones de capacidad. Se pueden representar distintos tipos de gráficas e
histogramas, tanto en tiempo real como en un periodo de muestreo dado.
La configuración que se ha empleado para este integrado es la que se produce

de forma automática al pulsa “Quick Setup”. Es importante destacar, que ha de
configurarse la tarjeta para realizar las medidas en modo diferencial.
En los anexos se incluyen la hoja de características técnicas del dispositivo.
5.2.2. Linealidad
Una vez completada la fabricación del dispositivo se procede a la realización de

pruebas con el mismo. En una primera fase se busca un método con el que
conseguir cambios en la inclinación del dispositivo, para comprobar su
funcionamiento y si los datos que se recogen tienen una tendencia lineal.
5.2.2.1. Pruebas y resultados de la linealidad
Para verificar la linealidad se realiza un montaje haciendo uso del péndulo

existente en el laboratorio. Para las pruebas se fija al péndulo tanto el sensor
de inclinación como el AD7745/46, este último irá conectado al ordenador
mediante USB.
84
Fig 75 Inclinómetro en péndulo
Para comenzar a medir las capacidades, colocamos las sondas del AD7745/46
en los pines del sensor de inclinación y este a su vez en el péndulo. Como
existen varias posibilidades para colocar estas sondas (debido a que tenemos
dos pines para conectar el terminal común), se hace necesario establecer un
criterio de colocación de las sondas para evitar dispersiones mayores en los
datos obtenidos. Mirando de frente los pines de conexión del inclinómetro, la
colocación de las sondas sería la siguiente.
Fig 76 Conexión de las sondas
85
Una vez colocado el inclinómetro en el eje del soporte y habiendo realizado el

conexionado de las sondas, conectamos el AD7745/46 al ordenador mediante
el puerto USB y abrimos el software que trae incorporado. Debemos configurar
el programa dependiendo del tipo de medición que queramos realizar. El
programa trae un botón de “quick setup” que generalmente configura la tarjeta
para medir correctamente, aunque, es importante que comprobemos que la
configuración es la que deseamos pulsando en “setup”.
Seguidamente, se ejecuta el software para la adquisición de datos del

integrado y una vez configurado, se comienzan a realizar las mediciones.
Para ello se lleva el péndulo hasta la posición de -90º y se va moviendo cada

10º, siguiendo la tasa de muestreo del software. De esta manera se alcanzan
los +90º, realizando con el dispositivo un giro de 180º. Con el AD7745/46 se
puede escoger el número de muestras que se toman y el tiempo de cada
muestra. Se elige realizar 2000 muestras con una tasa de muestreo de 62ms.
Con lo cual se realiza el movimiento de 10º cada 6.8 segundos.
Una vez completado el experimento se extraen los datos obtenidos y se

tabulan. A partir de dichas tablas se obtiene esta gráfica en la que se muestran
los valores de capacidad obtenidos para cada inclinación de 10º.
0,4
0,3
0,2
0,1 caso1
Capacidad (pF) 0 caso2

-90-80-70-60-50-40-30-20-10 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 caso3
-0,1
caso4
-0,2
-0,3
-0,4
Ángulo ( o)
Fig 77 Gráfica linealidad. Comparativa de capacidad con respecto a ángulo.
86
5.2.2.2. Conclusiones de los resultados de linealidad
Como se puede comprobar en la gráfica los valores de capacidad siguen una

progresión lineal para cada uno de los casos. Se puede considerar que las
pequeñas variaciones de linealidad se producen más por errores de medida (ya
sean errores humanos o errores de medida producidos por capacidades
parásitas que afecten al AD7745/46, que por un mal funcionamiento del
dispositivo.
Si que puede influir levemente, dependiendo de la posición del sensor, la

entrada o salida de líquido a través del depósito, que puede llegar a variar muy
levemente el nivel de líquido en el canal.
Analizando la gráfica vemos como los resultados pierden parte de su valor

lineal en las zonas cercanas a los 90º y -90º. Esto se debe a que coincide con
la zona que va desde los electrodos de los condensadores a los contactos,
donde se producen variaciones apreciables de capacidad. Sin embargo,
alejándose de esa zona se consigue un valor de linealidad elevado.
La falta de paso por el cero es debida a dos cuestiones principales. Por un

lado, los dispositivos no están llenos exactamente hasta la mitad de la
capacidad del canal, con lo cual hace que cada caso tenga el cero en un punto
distinto de inclinación. Por otro lado, existen capacidades parásitas inevitables
que afectan al valor de la capacidad.
5.2.3. Sensibilidad
Para el cálculo de la sensibilidad se busca la variación de medida que es capaz

de apreciar el aparato.
5.2.3.1. Pruebas y resultados de Sensibilidad
Para este cálculo se emplean los datos obtenidos en el experimento anterior de

búsqueda de la linealidad del dispositivo. Lo que se pretende es encontrar una
relación entre los valores de capacidad obtenidos y la inclinación a la que se
somete en cada punto. Al ser un dispositivo que se comporta de manera lineal,
los datos obtenidos se pueden aproximar a una recta de regresión, cuya
pendiente nos dará el valor de sensibilidad.
87
5.2.3.1.1. Caso 1
En este caso los valores obtenidos en las mediciones se corresponden con los
expresados en la siguiente tabla.
Grados de Capacidad Caso1 ΔCapacidad Caso1

inclinación (pF) (pF)
-90 0,151546 0,002182
-80 0,149364 0,010394
-70 0,13897 0,017852
-60 0,121118 0,016229
-50 0,104889 0,020543
-40 0,084346 0,024321
-30 0,060025 0,018451
-20 0,041574 0,012872
-10 0,028702 0,023057
0 0,005645 0,023057
10 -0,015655 0,0213
20 -0,036751 0,021096
30 -0,056833 0,020082
40 -0,075008 0,018175
50 -0,091974 0,016966
60 -0,109786 0,017812
70 -0,12791 0,018124
80 -0,137703 0,009793
90 -0,137542 -0,000161
Tabla 10 Valores de capacidad obtenidos en el caso 1
A partir de estos datos podemos representar los datos y calcular la recta de

regresión. Se han despreciado los valores de los extremos.
88
caso1
0,2
0,15
0,1
0,05
caso1
0 Lineal (caso1)
-70 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50 60 70
-0,05
-0,1
y = -0,019x + 0,159
R² = 0,999
-0,15
Fig 78 Representación linealidad caso 1
La pendiente de esta recta nos indica el valor sensibilidad en picofaradios por

cada diez grados de variación. Por lo tanto, la sensibilidad para un grado será
el valor de esta pendiente dividido entre 10.
S1=0.0019pF/º
R2= 0,99343973
En este caso podemos comprobar que el coeficiente de correlación múltiple

(R2) da un valor muy cercano a la unidad lo que nos da una idea de la
linealidad del sistema y de la poca variabilidad de las muestras.
89
5.2.3.1.2. Caso 2

-90 0,288666 0,004992
-80 0,283674 0,024845
-70 0,258829 0,044653
-60 0,214176 0,032148
-50 0,182028 0,040004
-40 0,142024 0,041227
-30 0,100797 0,035203
-20 0,065594 0,046002
-10 0,019592 0,02503
0 -0,005438 0,02503
10 -0,043665 0,038227
20 -0,076359 0,032694
30 -0,11782 0,041461
40 -0,158287 0,040467
50 -0,190174 0,031887
60 -0,223245 0,033071
70 -0,258177 0,034932
80 -0,272107 0,01393
90 -0,271937
Tabla 11Valores de capacidad obtenidos en el caso 2

90
caso2
0,3
0,2
0,1
caso2
0
Lineal (caso2)
-90 -80 -70 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50
-0,1 Lineal (caso2)
-0,2
y = -0,036x + 0,288
R² = 0,999
-0,3

cada diez grados de variación. Por lo tanto para este caso la sensibilidad para
un grado será el valor de esta pendiente dividido entre 10.
S1=0.0036pF/º
R2= 0,99401256

91
5.2.3.1.3. Caso 3

-90 -0,0514 0,0049
-80 -0,0465 0,0117
-70 -0,0348 0,0114
-60 -0,0234 0,0108
-50 -0,0126 0,0114
-40 -0,0012 0,0081
-30 0,0093 0,0135
-20 0,0228 0,0123
-10 0,0351 0,0057
0 0,0408 0,0075
10 0,0483 0,0122
20 0,0605 0,0136
30 0,0741 0,0137
40 0,0878 0,0127
50 0,1005 0,0126
60 0,1131 0,0124
70 0,1255 0,0117
80 0,1372 0,0043
90 0,1415

92
caso3
0,14
0,12 y = 0,011x - 0,046
R² = 0,996
0,1
0,08
0,06
0,04 caso3
0,02 Lineal (caso3)
0
-0,02 -90 -80 -70 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50
-0,04
-0,06

S1=0.0011pF/º
R2= 0,997528

93
5.2.3.1.4. Caso 4

-90 -0,01147 0,00313
-80 -0,0146 -0,0131
-70 -0,0015 0,017
-60 0,0155 0,0159
-50 0,0314 0,0153
-40 0,0467 0,015
-30 0,0617 0,0194
-20 0,0811 0,0041
-10 0,0852 0,0143
0 0,0995 0,0154
10 0,1149 0,0213
20 0,1362 0,0225
30 0,1587 0,0182
40 0,1769 0,0156
50 0,1925 0,0147
60 0,2072 0,0174
70 0,2246 0,0179
80 0,2425 0,0026
90 0,2451

94
caso4
0,25
y = 0,016x - 0,019
0,2 R² = 0,995
0,15
caso4
0,1
Lineal (caso4)
0,05 Lineal (caso4)
0
-90 -80 -70 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50
-0,05

S1=0.0016pF/º
R2= 0,993654

95
5.2.3.2. Conclusiones de los resultados de sensibilidad
A partir de la valoración de estos resultados se pueden extraer varias

conclusiones sobre la sensibilidad de los dispositivos. Por un lado, destacar
que a partir de estos valores de sensibilidad podemos conocer cuál es el valor
de la variación de capacidad por cada grado de incremento de ángulo.
Analizando los datos obtenidos y comparándolos con el diseño de los

prototipos, se demuestra que existen varios parámetros que afectan a la
sensibilidad del dispositivo.
Por un lado, la distancia entre las placas es importante para conseguir una
mayor sensibilidad. Se ha visto que aquellos dispositivos que tienen menor
distancia entre placas consiguen valores de sensibilidad mayores. Es decir la
cercanía entre placas es directamente proporcional a la sensibilidad.
El otro parámetro crítico que afecta es el valor del radio del dispositivo, que se
relaciona con la longitud de las placas. En aquellos casos en que la longitud de
placas es mayor el dieléctrico posee mayor recorrido cuando se produce la
inclinación. Esto afecta positivamente a la sensibilidad del dispositivo.
Caso 1 Caso 2 Caso 3 Caso 4

Distancia entre 0,00025 0,00035 0,00085 0,001
placas (m)
Radio (m) 0,005 0,01 0,005 0,0075
Sensibilidad 0,0019 0,0036 0,0011 0,0016
(pF/º)
Tabla 14 Parámetros que influyen en la sensibilidad
Haciendo una comparativa, los casos 1 y 2 son los que poseen una mayor
sensibilidad, ya que son aquellos en los que la distancia entre placas es menor.
De entre estos dos es el caso 2 el que posee el valor de sensibilidad más
elevado, ya que, pese a tener una distancia entre placas ligeramente mayor
que el caso 1, posee más radio. Esta relación entre el radio y la distancia entre
placas hace que sea en modelo con más sensibilidad.
Los casos 3 y 4 son los de menos sensibilidad ya que en ellos la distancia entre
placas es mayor en comparación con los anteriores. El caso 4 pese a tener un
96
valor de radio considerable, no es lo suficientemente elevado para compensar

esta distancia entre placas.
Por lo tanto se puede concluir que, una buena manera de aumentar la

sensibilidad sin que crezca demasiado el área del dispositivo, es reduciendo la
distancia entre placas y buscando un valor adecuado para el radio según las
necesidades.
5.2.4. Rango
En este apartado se especifica el rango de medida del instrumento, o lo que es

lo mismo, el conjunto de valores dentro de los límites superior e inferior de
medida, en los cuales el instrumento trabaja de forma confiable.
5.2.4.1. Pruebas y resultados de medida del rango
Para la correcta definición del instrumento es interesante definir un criterio a la

hora de buscar el punto donde el valor de capacidad de ambos condensadores
se anula. Para esta búsqueda del punto cero se emplean el valor medido de
capacidad para una variación de un grado que se ha hallado en el apartado
anterior.
Como referencia empleada se utiliza uno de los laterales del PCB donde
fabricamos los inclinómetros. Se coloca la placa en posición vertical sobre una
mesa apoyando en ella dicho lateral y se van conectando cada uno de los
casos para obtener el valor de capacidad que el sensor de inclinación nos
proporciona en dicha posición.
Hemos de tener en cuenta que el criterio que se ha seguido nos da dos

referencias dependiendo del caso en que nos encontremos. Para los casos 1, 2
y 3 el lado de la placa que nos sirve para buscar el cero será el más cercano a
la zona de los contactos de dichos casos. Para el caso 4, del mismo modo,
también será el lateral más cercano a los contactos; es decir, el lado contrario.
Pues bien, una vez definida la referencia y apuntados los valores de capacidad
en esta posición, procedemos a inclinar el instrumento para comprobar hacia
donde hemos de realizar el giro para encontrar el cero del dispositivo. En todos
los casos el giro se realiza inclinando el sensor hacia la derecha.
97
Finalmente, a partir del valor de capacidad para un grado hallado

anteriormente, podemos calcular cuántos grados son necesarios inclinar el
dispositivo para encontrar el cero a partir de la referencia escogida. El número
de grados que es necesario inclinar el sensor para encontrar el cero se
representa en la siguiente tabla para cada uno de los casos:
Capacidad Sensibilidad Inclinación

(pF) (pF/º) hasta 0º (º)
Caso 1 -0,0918 0,0019 -48,3
Caso 2 -0,0211 0,0036 -5,9
Caso 3 -0,0453 0,0011 -41,2
Caso 4 -0,0535 0,0016 -33,4
Tabla 15 Grados de inclinación hasta encontrar el valor cero
Es importante destacar que el valor cero se alcanza en dos instantes cuando

se realiza un giro de 360º, ya que los condensadores se anulan en dos puntos
distintos al realizar dicho giro. Aquí solo se define el cero más cercano al
inclinar los sensores a la derecha.
Una vez encontrado el cero es interesante averiguar el número de grados que

el sensor recorre en valores positivos y negativos de capacidad. De esta
manera al realizar un giro completo podemos saber exactamente en qué
posición nos encontramos a partir del cero.
Para poder realizar un giro completo del sensor se ha construido un soporte

reglado con el que se pueda variar levemente y de una manera lo más precisa
posible, el instrumento.
98
Fig 82 Soporte para pruebas
El soporte consiste en un eje empotrado en una estructura de espuma

poliuretano. En uno de los extremos del eje se coloca una aguja que marca los
grados de giro del sistema. En el otro extremo del eje, colocamos el sensor de
inclinación. Cada tubo que sirvió para la introducción del líquido en cada uno de
los casos, se utiliza ahora para unir el eje al instrumento. La unión se realiza a
través de otro trozo de tubo, de un diámetro mayor, que entra a presión tanto
en el eje como en el tubo de llenado del sensor de inclinación. De esta manera
conseguimos que tanto el inclinómetro como la aguja giren solidariamente al
eje.
He de indicar que la precisión que se alcanza con este sistema dista bastante
de ser la más adecuada para la calibración del instrumento. Lo cierto es que, a
lo largo de las pruebas, se ha comprobado que nos encontramos ante un
aparato de alta sensibilidad a cualquier variación en las condiciones
ambientales que lo rodean. Estas variaciones podían producirse por cualquier
cambio en la colocación de las sondas, capacidades parásitas cercanas
producidas por elementos metálicos o el propio cuerpo, mala colocación del
aparato en el eje…
99
Fig 83 Funcionamiento del eje de giro
Para la medida del rango se ha hecho un análisis en tiempo real del aparato.
Esto quiere decir que a medida que variamos la inclinación del instrumento
mediante el giro del eje podíamos ver en pantalla y a tiempo real la variación de
capacidad que se produce.
Fig 84 Colocación del sensor en el soporte
100
Procediendo de la misma manera que anteriormente se busca la posición cero

de cada uno de los dispositivos y se comienza a inclinar lentamente a la
derecha. En todos los casos esta inclinación hacia la derecha proporciona
valores negativos de capacidad. Es te valor negativo, alcanza un punto mínimo
de valor de capacidad que depende de cada uno de los casos.
RANGO Capacidad max Sensibilidad Grados (º)

min (pF) (pF/º)
Caso 1 -0,262 0,0019 -137,9
Caso 2 -0,307 0,0036 -85,3
Caso 3 -0,125 0,0011 -113,6
Caso 4 -0,17 0,0016 -106,3
Tabla 16 Rango mínimo
Una vez alcanzado este valor mínimo de capacidad, esta comienza a

aumentar, pasando de valores negativos a positivos, y alcanzando de la misma
manera un punto máximo de capacidad.
RANGO Capacidad max Sensibilidad Grados (º)

max (pF) (pF/º)
Caso 1 0,044 0,0019 23,2
Caso 2 0,285 0,0036 79,2
Caso 3 0,078 0,0011 70,9
Caso 4 0,142 0,0016 88,8
Tabla 17 Rango máximo
Una vez alcanzado este valor máximo de capacidad se sigue girando hacia la
derecha hasta llegar de nuevo al punto inicial. De esta forma se completa un
giro de 360º.
5.2.4.2. Conclusiones de los resultados del rango
Para cada uno de los casos el cero es distinto y depende tanto del diseño del
dispositivo como, sobre todo, de la cantidad de la relación entre en nivel de los
dos dieléctricos (el aceite y el aire). Para un sensor de estas características
ideal, este nivel se encontraría justo en el centro de ambas placas, con lo que
el punto donde ambos condensadores se anulan sería el que conseguimos
colocando el inclinómetro en posición horizontal con respecto a su base. Esto
no ocurre en los casos que tenemos, ya que, cada uno de ellos tiene un nivel
101
de aceite distinto. Lo que podría parecer un problema, se reduce siempre que

definamos correctamente las características del instrumento.
Como se puede comprobar el recorrido negativo de valores de capacidad es

más amplio que el de valores positivos, esto es achacable a la diferencia entre
los valores de los niveles de cada uno de los dieléctricos. Es decir, si se
hubiese llenado de aceite el canal justamente hasta la mitad del nivel, los
valores positivos y negativos serían más parecidos. En la mayoría de los casos
existe a simple vista mayor cantidad de aceite que de aire.
Además el instrumento se ve afectado tanto por las capacidades parásitas a su

alrededor como por el efecto que se produce en la zona que ve desde el inicio
de las placas del condensador hasta los electrodos que llegan a los contactos.
En esta zona la medición de capacidad no es adecuada.
Resumiendo, se podría decir que si nos interesa tener un dispositivo cuyo valor
de capacidad cero coincida con la horizontal debemos buscar la manera de que
la cantidad del líquido introducido ocupe justo la mitad del canal.
Para aumentar el rango de medida se debe buscar la manera de que las

capacidades parásitas no afecten a la medida de inclinación. Como se ha
dicho, estas zonas donde la medida se distorsiona debido a que cuando el
punto de unión de los dos dieléctricos la atraviesa se rompe la continuidad de
las placas del condensador, provocándose un efecto indeseado.
Fig 85 Zonas de discontinuidad
102
Se podría mejorar uniendo al máximo las placas de ambos condensadores por

el punto superior y rehaciendo el diseño para que la zona desde el final de las
placas a los contactos desaparezca del canal.
5.2.5. Ancho de banda
Como forma de saber la rapidez de respuesta del sensor de inclinación

calculamos el ancho de banda del sistema. El ancho de banda es la frecuencia
a la cual la respuesta en magnitud en lazo cerrado cae 3dB. Este parámetro da
una indicación de las propiedades de la respuesta transitoria, en el dominio del
tiempo, de un sistema de control. Un ancho de banda elevado corresponderá a
un tiempo de respuesta corto, por el contrarío un ancho de banda pequeño
tendrá una respuesta en tiempo pequeña. Además, el ancho de banda indica
las características de filtrado de ruido y robustez del sistema.
Para poder saber el valor del ancho de banda del sistema, debemos comprobar
como éste se comporta ante un cambio brusco en sus parámetros, es decir
ante una respuesta a un escalón. Para ello se realiza el siguiente experimento.
Se coloca el sensor en posición vertical y lo inclinamos un determinado número
de grados (se ha procurado que la inclinación sea en todas las pruebas de
alrededor de 20º, el valor exacto para cada prueba nos lo dará el propio
inclinómetro). En el momento en que el sensor se estabiliza en dicha posición
lo soltamos dejándolo caer y medimos la variación de capacidad del
inclinómetro con respecto al tiempo en dicho recorrido.
5.2.5.1. Pruebas y resultados del Ancho de Banda
Para realizar estas medidas utilizamos, como siempre, el AD7745/46; esta vez
se toman varias muestras para ver la entrada a un escalón. Estos datos
pueden exportarse a una tabla de Excel para trabajar con ellos.
103
Fig 86 Gráficas ancho de respuesta a un escalón AD7745/46
Al analizar los datos vemos que nos encontramos ante un sistema de primer
orden, ya que la forma de respuesta se asemeja a una exponencial con un
valor de constante añadido, además en el instante en que se inicia el
movimiento aparece una respuesta de valor positivo, lo que parece indicar que
nos encontramos ante este tipo de sistema.
El siguiente paso será buscar la función de transferencia de un sistema de

primer orden. Para ello necesitamos conocer el valor de la ganancia del
sistema y de la constante de tiempo.
𝐺𝑠
𝐺 𝑠 =
𝑠𝜏 + 1
104
El valor de la ganancia del sistema vendrá determinado por la relación entre el

incremento de capacidad y el incremento del ángulo.
∆𝐶
𝐺𝑠 =
∆𝛼
Hay que tener en cuenta que a partir del valor medido de capacidad para un
grado podemos calcular el incremento exacto que se ha producido en el valor
del ángulo de inclinación. Para el cálculo de la constante de tiempo (𝜏)
debemos encontrar el instante en que se llega al 63% del valor máximo de
capacidad.
Una vez definidos estos dos parámetros se puede implementar la función de

transferencia del sistema. En este momento se introduce la función de
transferencia en Matlab y se obtiene el diagrama de bode de cada uno de los
casos.
A partir del diagrama de Bode se halla el ancho de banda del sistema. Para
ello, se busca en la gráfica el valor de frecuencia correspondiente a 3 dB
menos que el valor máximo. Gracias al ancho de banda podemos hacernos
una idea de la velocidad de respuesta del sistema.
A continuación se indican las gráficas y valores de ancho de banda para cada

caso.
105
5.2.5.1.1. Caso 1
Para este caso, a partir de los datos experimentales, se obtiene la siguiente

respuesta a un escalón, desde el momento en que el sensor comienza a
detectar el movimiento.
0 0,062
4,278
4,526
0,558
0,806
1,054
1,302
1,798
2,046
2,294
2,542
3,038
3,286
3,534
3,782
4,774
5,022
5,518
0,31
1,55
2,79
4,03
5,27
-0,02
-0,04
-0,06
-0,08
-0,1
-0,12
-0,14
-0,16
Fig 87 Respuesta a un escalón caso 1
A partir de estos datos se obtiene la función de transferencia y se calcula el

valor del ancho de banda a partir del diagrama de Bode.
Fig 88 Ancho de banda caso 1
106
Los datos que se obtienen para este caso se representan en esta tabla:
Parámetro Valor
Sensibilidad (pF/º) 0,0019
Δcapacidad (pF) 0,0408
Δangulo(º) 21,4643
Ganancia(pF/º) 0,0019
63% Capacidad(pF) -0,1156
Tiempo(s) 5,7040
Tau(s) 1,1780
Ancho de banda (rad/s) 0,8490
Ancho de banda (Hz) 0,1351
Tabla 18 Valores ancho de banda caso 1
Se podría decir que estamos ante un caso de una velocidad levemente superior
a la mínima, en comparación con el resto de casos. Parece que la proporción
entre aire y aceite es importante para conseguir un ancho de banda
determinado. En este caso se observa que la cantidad de aceite es mayor que
la de aire.
107
5.2.5.1.2. Caso 2

0,07
0,06
0,05
0,04
0,03
0,02
0,01
0
0
1,24
0,992
1,488
1,736
1,984
0,248
0,496
0,744
2,232
2,48
2,728
2,976
3,224
3,472
3,72
3,968
4,216
4,464
4,712
4,96
5,208
-0,01
-0,02

108
Parámetro Valor
63% Capacidad(pF) 0,0315
Tiempo(s) 5,3940
Tau(s) 1,3020
Este es el caso con el menor valor de ancho de banda, por lo que es el que
tiene una respuesta más lenta a los estímulos. Observando el dispositivo
podemos ver que es el que tiene mayor proporción de aceite con respecto a
aire, lo cual vuelve a demostrar que la cantidad de aceite influye negativamente
en la velocidad de respuesta. Por lo tanto, pese a que su sensibilidad es
elevada su tiempo de respuesta es muy bajo.
109
5.2.5.1.3. Caso 3

0
0
4,96
1,24
2,48
3,72
0,248
0,496
5,208
0,744
0,992
1,488
1,736
1,984
2,232
2,728
2,976
3,224
3,472
3,968
4,216
4,464
4,712
5,456
-0,01
-0,02
-0,03
-0,04
-0,05
-0,06
-0,07
-0,08
-0,09

110
Parámetro Valor
Tiempo(s) 5,5180
Tau(s) 0,8680
El caso 3 es el de mayor ancho de banda, por lo tanto es también el más rápido

en la respuesta. Como ya he comentado anteriormente, la proporción aire-
aceite influye en este parámetro. Este es el modelo en el que se observa menor
cantidad de aceite en el canal.
111
5.2.5.1.4. Caso 4

0
0
5,208
0,248
0,496
0,744
0,992
1,488
1,736
1,984
2,232
2,728
2,976
3,224
3,472
3,968
4,216
4,464
4,712
5,456
2,48
1,24
3,72
4,96
-0,01
-0,02
-0,03
-0,04
-0,05
-0,06
-0,07

112
Parámetro Valor
Tiempo(s) 5,5180
Tau(s) 1,2400
De nuevo nos encontramos ante un caso en el que pese a su buena

sensibilidad, tiene un ancho de banda bastante bajo en comparación con el
resto. Pese a ello esto no es más que una propiedad del sensor que no tiene
por qué ser necesariamente negativa. Dependiendo de la aplicación puede
necesitarse respuestas más o menos rápidas.
5.2.5.2. Conclusiones de los resultados de Ancho de Banda
A partir de los datos extraídos, se puede concluir que el ancho de banda del
sistema va a depender de dos parámetros principalmente. Por un lado la
cantidad de dieléctrico que tengamos en el canal y por otro la viscosidad del
mismo.
Se ha pensado en la posibilidad de que la tensión superficial, que se relaciona

con la sección del canal, pueda influir en el ancho de banda. Sin embargo, se
ha calculado que, teniendo la misma profundidad de canal en todos los casos,
el aumentar mucho el ancho de canal con respecto a la profundidad mejora
muy levemente el valor del número de Bond. Por lo que se considera que la
tensión superficial es muy parecida en todos los dispositivos, no siendo esta la
razón de los distintos valores de ancho de banda.
113

Ancho de canal 2950 3750 2250 2500
(um)
Profundidad de 600 600 600 600
canal (um)
Ancho de 0,1351 0,1222 0,1830 0,1283
Banda(Hz)
Tabla 22 Relación de las dimensiones del canal con el ancho de banda
Sin embargo, hay que tener en cuenta que, debido a la viscosidad del aceite, el
rozamiento con las paredes del canal hace que el movimiento del fluido sea
más lento. Por lo tanto, la cantidad de aceite que se introduzca en el canal
influye en el ancho de banda.
Se ha observado que, aquellos modelos que tienen menor cantidad de líquido

son más rápidos en su respuesta que aquellos que están más llenos. En
relación a esto, el caso 3 es el que, a simple vista, tiene menor cantidad de
aceite y en consecuencia mayor ancho de banda. Los otros casos están
prácticamente a un nivel parecido de líquido, siendo el que esta mas lleno el
caso 2, que coincide con el ancho de banda más bajo.
Por lo tanto si se necesita un instrumento de respuesta más rápida se debe

fabricar teniendo en cuenta que la cantidad de líquido dieléctrico en el canal y
su viscosidad influye negativamente en el ancho de banda.
114
CAPÍTULO 6
Conclusiones y Trabajos Futuros
115
6. CONCLUSIONES Y TRABAJOS FUTUROS
Este tema pretende sacar las conclusiones más importantes que pueden
extraerse tras la realización de este proyecto. En él se resumen los pasos
dados y se evalúan los objetivos alcanzados. Se intenta resumir los aspectos
más destacables del dispositivo y desgranar su funcionamiento con respecto a
las propiedades que lo definen. Además se explican algunas mejoras y
posibles líneas de investigación relacionadas con el sensor de inclinación.
6.1. Conclusiones
El objetivo fijado para este proyecto era el diseño y la fabricación de un sensor

de inclinación, en el que se emplean tres conceptos principales: el uso de la
variación de la capacidad de un condensador como método para medir la
inclinación, la utilización de la microfluídica para producir dicha variación y el
empleo de las técnicas basadas en la tecnología de fabricación de
microsistemas para la construcción del instrumento.
Se ha hecho un estudio de las distintas posibilidades de diseño, escogiendo la

que se ha creído más adecuada para la consecución de estos objetivos. Para
ello, ha sido necesario adquirir una base teórica lo suficientemente amplia que
permita fabricar adecuadamente el componente.
Se ha pretendido aprender y comprender algunos de los más importantes

procesos de fabricación y las técnicas que se emplean en la creación de
microsistemas. Durante la etapa de fabricación del dispositivo, han aparecido
multitud de dificultades que se han conseguido solventar gracias a la
progresiva adquisición de las habilidades y conocimientos para la correcta
realización del modelo final. Sin embargo, para poder alcanzar este modelo,
han sido necesarias numerosas pruebas, que han producido cambios en los
diseños iniciales.
Estos cambios no han hecho otra cosa que producir una mejora progresiva de
las características del dispositivo, además de permitir ampliar los
conocimientos precisos para terminar el proyecto. A medida que se avanzaba
en el proceso se hacía más necesario adquirir nuevos conocimientos para
solventar los problemas y alcanzar la meta propuesta. Por ejemplo, construir un
116
aparato para poder obtener las inclinaciones necesarias para realizar las
mediciones o buscar una manera de ampliar el radio hidráulico del canal para
conseguir disminuir las fuerzas interfaciales.
Durante el proceso se han realizado multitud de pruebas experimentales que

han permitido definir el instrumento correctamente. Para ello se han empleado
los materiales y elementos que se tenían a mano reduciendo sustancialmente
el coste del proyecto.
En cuanto al modelo final construido se pueden sacar numerosas conclusiones

con respecto a su funcionamiento, a partir de los parámetros que lo definen. Se
ha conseguido fabricar un elemento que responde linealmente a los cambios
de inclinación. En cada uno de los casos propuestos existen puntos donde esa
linealidad se ve distorsionada. Estos puntos, como ya se ha comentado, son
las zonas cercanas a la unión de los dos condensadores. Estas zonas afectan
también al rango de medida del dispositivo, haciendo que este se reduzca
levemente.
Se ha comprobado que la distancia entre placas afecta a la sensibilidad del

dispositivo, de tal manera que para conseguir sensibilidades mayores se puede
reducir todo lo posible esta distancia. Además, un mayor radio del dispositivo
implica un aumento de la longitud de las placas, haciendo que aumente el valor
de capacidad por cada variación de ángulo. De esta manera se puede también
aumentar la sensibilidad.
Si se quiere es un instrumento más sensible es preferible obtenerlo a partir de

un acercamiento de las placas que por un aumento radio del dispositivo.
Tamaños mayores implican un aumento de los costes de fabricación.
En cuanto al aceite de silicona que se emplea como dieléctrico. Su elección

viene determinada por su bajo nivel de permitividad eléctrica y su pequeña
tensión superficial, que lo hacían adecuado para este uso.
Realizando una comparación entre los distintos casos se ha concluido que en

todos existe una linealidad en cuanto a la relación de la medida entre la
capacidad y la inclinación. A partir de los datos obtenidos en las pruebas se ha
podido sacar un valor de sensibilidad para cada dispositivo. Se concluye que la
117
cercanía de las placas y un tamaño mayor del radio favorecen la sensibilidad.

Es por ello que el caso 2 es el más sensible a los cambios, ya que es el de
mayor radio y uno de los que tiene las placas más cercanas. En cambio el de
menor sensibilidad es el número 3, cuyo radio es la mitad que el del caso
anterior y la distancia entre placas más del doble.
Se ha comprobado que el nivel de aceite de silicona influye en la posición en la

que cada dispositivo debe colocarse para que los valores de capacidad de los
condensadores sean iguales y se anulen cuando se proceda a realizar la
medida en modo diferencial, es decir, cada dispositivo alcanza el cero en una
posición. El rango de medidas que se alcanza es de un giro completo en todos
los casos, pero, como ya se ha explicado existen zonas en las que la medida
se distorsiona.
Como la cantidad de dieléctrico líquido y su viscosidad influyan en la rapidez de

respuesta del sistema, siendo el de mayor ancho de banda el caso 3, ya que
con la simple observación se comprueba que es el caso que está más vacío. El
de menor ancho de banda, por el contrarío, es el que tiene más cantidad de
líquido, es decir, el caso 2.
La implementación de diferentes casos ha sido muy conveniente para

comprobar algunas de las hipótesis que se tenía al principio y llegar a nuevas
conclusiones. En la siguiente tabla se comparan los parámetros más
importantes de los dispositivos.

Distancia entre 250 350 850 1000
placas (um)
Radio (um) 5000 10000 5000 7500
Sensibilidad 0,0019 0,0036 0,0011 0,0016

(pF/º)
Ancho de canal 2950 3750 2250 2500
(um)
Profundidad de 600 600 600 600
canal (um)
Ancho de 0,1351 0,1222 0,1830 0,1283
Banda(Hz)
Tabla 23 Comparativa de las características que definen el dispositivo
118
Podemos concluir que se ha conseguido construir un sensor lo suficientemente

sensible como para medir las desviaciones de ángulo deseadas. Se ha
empleado para ello un diseño propio a la vez que novedoso, con muchas
posibilidades de ser empleado para la medida de la inclinación en multitud de
aplicaciones.
Por último destacar que, además de haber conseguido construir un

inclinómetro cuya viabilidad ha sido contrastada, se ha adquirido un
aprendizaje y una serie de técnicas que han ayudado a mi enriquecimiento
académico y personal, permitiéndome realizar esta aportación científica al
mundo de la ingeniería.
6.2. Mejoras y trabajos futuros
Pese a que se ha conseguido un instrumento con unas características técnicas

bastante aceptables, teniendo en cuenta los objetivos marcados, es importante
plantear posibles mejoras en su diseño y prestaciones.
En cuanto al diseño, considero que ha sido bastante acertado el uso de un

diseño circular que favorece el movimiento del líquido a lo largo del canal. Sin
embargo, la zona de conexión de los contactos es mejorable. La alta
concentración de cobre en esa zona produce capacidades parásitas
indeseables. Además, la zona que va desde la parte baja de las placas de los
condensadores hasta los contactos provoca distorsiones en las medidas.
En cuanto al dieléctrico, pese a que el aceite de silicona ha resultado funcionar

adecuadamente, sería interesante realizar pruebas con otros dieléctricos
menos viscosos y mejorar el ancho de banda del sistema. Además también es
mejorable el método de introducción del aceite en el canal. Se ha visto que la
cantidad de aceite influye en el ancho de banda, es importante encontrar un
punto en el nivel del dieléctrico que sea el adecuado, teniendo en cuenta la
aplicación a la que destinemos el sensor.
Sobre este tema, se ha observado que puede existir un flujo de aceite desde el
depósito al canal dependiendo de la posición del sensor. Sería interesante
evitar este pequeño flujo para eliminar variaciones en el nivel del dieléctrico.
Una manera podría ser reduciendo el ancho del conducto que va desde el
119
depósito al canal, de este modo, podría introducirse el líquido a presión en el

inclinómetro y una vez dentro, las fuerzas superficiales de este canal de
reducido radio hidráulico impedirían el movimiento de fluido al depósito.
También se puede intentar conseguir medidas en varios ejes. Podrían utilizarse

dispositivos similares con orientaciones distintas para cada eje o realizar un
cambio radical en el diseño que permita este tipo de medición.
El proceso de fabricación ha sido bastante adecuado. La elección del SU8-

1150 ha sido acertada en la medida que nos ha permitido alcanzar un grosor
de canal adecuado para la circulación del líquido. Es posible que pueda
reducirse este grosor para conseguir disminuir el dispositivo, disminuyendo la
cantidad de SU8 depositado o haciendo varias deposiciones para controlar el
espesor.
Existe la posibilidad de escoger uno de los modelos diseñados para hacer un

único dispositivo, evitando que en una misma oblea existan distintos
componentes y reduciendo las capacidades parásitas. Además se le puede
colocar una tapadera definitiva para evitar la actual con cinta adhesiva.
En cuanto a la toma de medidas y la obtención de resultados. Es posible una

mejora sustancial de los mismos a través de un instrumental adecuado. Pese a
que el sistema que se ha empleado para la inclinación del sensor ha sido
suficiente para tomar unos datos válidos, se puede buscar mayor exactitud en
las medidas para definir con más precisión el componente. Además, la extrema
sensibilidad del AD7745/46 hace que cualquier vibración o variación en las
condiciones ambientales produzca un cambio en la medida, lo que complica
bastante el proceso. Una posible solución es emplear un inclinómetro comercial
para calibrar el sensor.
Existen múltiples modificaciones que pueden hacer aumentar las prestaciones

de este sensor de inclinación. Por lo tanto, se abre un abanico de posibilidades
entorno a la investigación de posibles mejoras del dispositivo.
120
CAPÍTULO 7
Bibliografía
121
7. BIBLIOGRAFÍA
[1] Marc J. Madou, "Fundamentals of microfabrication", 2nd ed., CRC Press,

2002.
[2] M. Gad-El-Hak (ed.), "The MEMS handbook", CRC Press, 2006.
[3] James J. Allen, “Micro Electro Mechanical System Design", CRC Press,
2005.
[4] Qiushi Han; Chen Chen, "Research on Tilt Sensor Technology," Knowledge
Acquisition and Modeling Workshop, 2008.
[5] Qiushi Han; Chen Chen, "Research on Tilt Sensor Technology," Knowledge
Acquisition and Modeling Workshop, 2008. KAM Workshop 2008. IEEE
International Symposium on , vol., no., pp.786,789, 21-22 Dec. 2008
[6] Xudong Zou; Thiruvenkatanathan, P.; Seshia, A.A., "Micro-electro-

mechanical resonant tilt sensor," Frequency Control Symposium (FCS), 2012
IEEE International , vol., no., pp.1,4, 21-24 May 2012
[7] Ho Jung; Chang Jin Kim; Seong-Ho Kong, "A MEMS-Based Electrolytic Tilt
Sensor," Sensors, 2006. 5th IEEE Conference on , vol., no., pp.1199,1202, 22-
25 Oct. 2006
[8] Abu Al Aish, A.; Rehman, M., "Development of a low cost optical tilt
sensor," Autonomous Robots and Agents, 2009. ICARA 2009. 4th International
Conference on , vol., no., pp.290,293, 10-12 Feb. 2009
[9] Choi, J. C.; Park, C. M.; Lee, J.K.; Kong, S.-H., "A MEMS-based dual-axis tilt
sensor using air medium," Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
Conference, 2009. TRANSDUCERS 2009. International , vol., no., pp.300,303,
21-25 June 2009
[10] Moubarak, P.M.; Ben-Tzvi, P., "Design and analysis of a new piezoelectric
MEMS tilt sensor," Robotic and Sensors Environments (ROSE), 2011 IEEE
International Symposium on , vol., no., pp.83,88, 17-18 Sept. 2011
[11] Chun-I Chang; Ming-Han Tsai; Yu-Chia Liu; Chih-Ming Sun; Weileun Fang,
"Design and implementation of an extremely large proof-mass CMOS-MEMS
capacitive tilt sensor for sensitivity and resolution improvement,"Solid-State
Sensors, Actuators and Microsystems Conference (TRANSDUCERS), 2011
16th International , vol., no., pp.1104,1107, 5-9 June 2011
[12] Xing Wang; Linhua Piao, "Structure research on the gas pendulum tilt
sensor," Electrical and Control Engineering (ICECE), 2011 International
Conference on , vol., no., pp.391,394, 16-18 Sept. 2011
[13] Au, H. Y.; Khijwania, S.K.; Fu, H. Y.; Chung, W.H.; Tam, H. -Y,
"Temperature-Insensitive Fiber Bragg Grating Based Tilt Sensor With Large
Dynamic Range," Lightwave Technology, Journal of , vol.29, no.11,
122
pp.1714,1720, June1, 2011
[14] Chen Chen; Qiushi Han; Fuxue Zhang, "Scaling effect research on micro-
machined gas-pendulum dual-axis tilt sensors," Sensing Technology, 2008.
ICST 2008. 3rd International Conference on , vol., no., pp.301,306, Nov. 30
2008-Dec. 3 2008
[15] Ik-Su Kang; Ho Jung; Dong-Sun Kim; Byong-Jo Kwon; Chang Jin Kim;
Woo-Jeong Kim; Choi, Sie-Young; Jong-Hyun Lee; Jang-Kyoo Shin; Seong-Ho
Kong, "Design and fabrication of a MEMS-based electrolytic tilt
sensor," Microprocesses and Nanotechnology Conference, 2005 International ,
vol., no., pp.216,217, 25-28 Oct. 2005
[16] Husak, M., "Model of tilt sensor system," Electronics, Circuits and Systems,
2002. 9th International Conference on , vol.1, no., pp.227,230 vol.1, 2002
[17] Bai Yongqiang; Han Junhui; Qi Xianghai, "Data processing algorithm of

MEMS inclinometer based on improved Sage-Husa adaptive Kalman
filter," Control Conference (CCC), 2012 31st Chinese , vol., no., pp.3702,3707,
25-27 July 2012
[18] Guo Qinglei; Liang Huawei; Miao Shifu; Huang Jian, "Design of a Plane
Inclinometer Based on MEMS Accelerometer," Information Acquisition, 2007.
ICIA '07. International Conference on , vol., no., pp.320,323, 8-11 July 2007
[19] Lin Da-wei; Guo Tao, "Design of Dual-axis Inclinometer Based on MEMS
Accelerometer," Measuring Technology and Mechatronics Automation
(ICMTMA), 2011 Third International Conference on , vol.1, no., pp.959,961, 6-7
Jan. 2011
[20] Djambazian, H.H.; Nerguizian, C.; Nerguizian, V.; Saad, M., "3D
Inclinometer and MEMS Acceleration Sensors," Industrial Electronics, 2006
IEEE International Symposium on , vol.4, no., pp.3338,3342, 9-13 July 2006
[21] Alves, F.S.; Dias, R.A.; Cabral, J.; Rocha, L.A.; Monteiro, J., "FPGA
controlled MEMS inclinometer," Industrial Electronics (ISIE), 2013 IEEE
International Symposium on , vol., no., pp.1,4, 28-31 May 2013
[22] Bretterklieber, T.; Zangl, H.; Brasseur, G., "Capacitance mismatch

correction for a fluidic inclinometer," Instrumentation and Measurement
Technology Conference, 2009. I2MTC '09. IEEE , vol., no., pp.646,651, 5-7 May
2009
123
CAPÍTULO 8
Anexos
124
8. ANEXOS
8.1. Tablas de capacidad calculada
Caso 1
rad Desnivel Laire Laceite Caire1 Caceite1 Cap1 Caire2 Caceite2 Cap2 c1-c2
inclinacion (h)
0 0 0 0,01571 0,01571 9,49E-15 2,088E-14 3,04E-14 9,49E-15 2,088E-14 3,037E-14 0
1 0,01745 8,7E-05 0,01562 0,0158 9,38E-15 2,111E-14 3,05E-14 9,596E-15 2,065E-14 3,024E-14 2,531E-16
2 0,03491 0,00017 0,01553 0,01588 9,28E-15 2,134E-14 3,06E-14 9,701E-15 2,041E-14 3,012E-14 5,061E-16
3 0,05236 0,00026 0,01545 0,01597 9,17E-15 2,157E-14 3,07E-14 9,807E-15 2,018E-14 2,999E-14 7,592E-16
4 0,06981 0,00035 0,01536 0,01606 9,07E-15 2,181E-14 3,09E-14 9,912E-15 1,995E-14 2,986E-14 1,012E-15
5 0,08727 0,00044 0,01527 0,01614 8,96E-15 2,204E-14 3,1E-14 1,002E-14 1,972E-14 2,974E-14 1,265E-15
6 0,10472 0,00052 0,01518 0,01623 8,86E-15 2,227E-14 3,11E-14 1,012E-14 1,949E-14 2,961E-14 1,518E-15
7 0,12217 0,00061 0,0151 0,01632 8,75E-15 2,25E-14 3,13E-14 1,023E-14 1,925E-14 2,948E-14 1,772E-15
8 0,13963 0,0007 0,01501 0,01641 8,65E-15 2,273E-14 3,14E-14 1,033E-14 1,902E-14 2,936E-14 2,025E-15
9 0,15708 0,00079 0,01492 0,01649 8,54E-15 2,297E-14 3,15E-14 1,044E-14 1,879E-14 2,923E-14 2,278E-15
10 0,17453 0,00087 0,01484 0,01658 8,44E-15 2,32E-14 3,16E-14 1,054E-14 1,856E-14 2,91E-14 2,531E-15
11 0,19199 0,00096 0,01475 0,01667 8,33E-15 2,343E-14 3,18E-14 1,065E-14 1,833E-14 2,898E-14 2,784E-15
12 0,20944 0,00105 0,01466 0,01676 8,22E-15 2,366E-14 3,19E-14 1,076E-14 1,809E-14 2,885E-14 3,037E-15
13 0,22689 0,00113 0,01457 0,01684 8,12E-15 2,389E-14 3,2E-14 1,086E-14 1,786E-14 2,872E-14 3,29E-15
14 0,24435 0,00122 0,01449 0,01693 8,01E-15 2,413E-14 3,21E-14 1,097E-14 1,763E-14 2,86E-14 3,543E-15
15 0,2618 0,00131 0,0144 0,01702 7,91E-15 2,436E-14 3,23E-14 1,107E-14 1,74E-14 2,847E-14 3,796E-15
16 0,27925 0,0014 0,01431 0,0171 7,8E-15 2,459E-14 3,24E-14 1,118E-14 1,717E-14 2,834E-14 4,049E-15
17 0,29671 0,00148 0,01422 0,01719 7,7E-15 2,482E-14 3,25E-14 1,128E-14 1,693E-14 2,822E-14 4,302E-15
18 0,31416 0,00157 0,01414 0,01728 7,59E-15 2,505E-14 3,26E-14 1,139E-14 1,67E-14 2,809E-14 4,555E-15
19 0,33161 0,00166 0,01405 0,01737 7,49E-15 2,529E-14 3,28E-14 1,149E-14 1,647E-14 2,796E-14 4,808E-15
20 0,34907 0,00175 0,01396 0,01745 7,38E-15 2,552E-14 3,29E-14 1,16E-14 1,624E-14 2,784E-14 5,061E-15
21 0,36652 0,00183 0,01388 0,01754 7,28E-15 2,575E-14 3,3E-14 1,17E-14 1,601E-14 2,771E-14 5,315E-15
22 0,38397 0,00192 0,01379 0,01763 7,17E-15 2,598E-14 3,32E-14 1,181E-14 1,577E-14 2,758E-14 5,568E-15
23 0,40143 0,00201 0,0137 0,01772 7,06E-15 2,621E-14 3,33E-14 1,192E-14 1,554E-14 2,746E-14 5,821E-15
24 0,41888 0,00209 0,01361 0,0178 6,96E-15 2,645E-14 3,34E-14 1,202E-14 1,531E-14 2,733E-14 6,074E-15
25 0,43633 0,00218 0,01353 0,01789 6,85E-15 2,668E-14 3,35E-14 1,213E-14 1,508E-14 2,721E-14 6,327E-15
26 0,45379 0,00227 0,01344 0,01798 6,75E-15 2,691E-14 3,37E-14 1,223E-14 1,485E-14 2,708E-14 6,58E-15
27 0,47124 0,00236 0,01335 0,01806 6,64E-15 2,714E-14 3,38E-14 1,234E-14 1,461E-14 2,695E-14 6,833E-15
28 0,48869 0,00244 0,01326 0,01815 6,54E-15 2,737E-14 3,39E-14 1,244E-14 1,438E-14 2,683E-14 7,086E-15
29 0,50615 0,00253 0,01318 0,01824 6,43E-15 2,761E-14 3,4E-14 1,255E-14 1,415E-14 2,67E-14 7,339E-15
30 0,5236 0,00262 0,01309 0,01833 6,33E-15 2,784E-14 3,42E-14 1,265E-14 1,392E-14 2,657E-14 7,592E-15
31 0,54105 0,00271 0,013 0,01841 6,22E-15 2,807E-14 3,43E-14 1,276E-14 1,369E-14 2,645E-14 7,845E-15
32 0,55851 0,00279 0,01292 0,0185 6,12E-15 2,83E-14 3,44E-14 1,286E-14 1,346E-14 2,632E-14 8,098E-15
33 0,57596 0,00288 0,01283 0,01859 6,01E-15 2,853E-14 3,45E-14 1,297E-14 1,322E-14 2,619E-14 8,351E-15
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36 0,62832 0,00314 0,01257 0,01885 5,69E-15 2,923E-14 3,49E-14 1,329E-14 1,253E-14 2,581E-14 9,111E-15
37 0,64577 0,00323 0,01248 0,01894 5,59E-15 2,946E-14 3,51E-14 1,339E-14 1,23E-14 2,569E-14 9,364E-15
38 0,66323 0,00332 0,01239 0,01902 5,48E-15 2,969E-14 3,52E-14 1,35E-14 1,206E-14 2,556E-14 9,617E-15
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41 0,71558 0,00358 0,01213 0,01929 5,17E-15 3,039E-14 3,56E-14 1,381E-14 1,137E-14 2,518E-14 1,038E-14
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44 0,76794 0,00384 0,01187 0,01955 4,85E-15 3,109E-14 3,59E-14 1,413E-14 1,067E-14 2,48E-14 1,114E-14
45 0,7854 0,00393 0,01178 0,01963 4,75E-15 3,132E-14 3,61E-14 1,424E-14 1,044E-14 2,467E-14 1,139E-14
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126
47 0,8203 0,0041 0,01161 0,01981 4,53E-15 3,178E-14 3,63E-14 1,445E-14 9,975E-15 2,442E-14 1,189E-14
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49 0,85521 0,00428 0,01143 0,01998 4,32E-15 3,225E-14 3,66E-14 1,466E-14 9,511E-15 2,417E-14 1,24E-14
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56 0,97738 0,00489 0,01082 0,02059 3,59E-15 3,387E-14 3,75E-14 1,54E-14 7,887E-15 2,328E-14 1,417E-14
57 0,99484 0,00497 0,01073 0,02068 3,48E-15 3,41E-14 3,76E-14 1,55E-14 7,655E-15 2,316E-14 1,443E-14
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59 1,02974 0,00515 0,01056 0,02086 3,27E-15 3,457E-14 3,78E-14 1,571E-14 7,191E-15 2,29E-14 1,493E-14
60 1,0472 0,00524 0,01047 0,02094 3,16E-15 3,48E-14 3,8E-14 1,582E-14 6,959E-15 2,278E-14 1,518E-14
61 1,06465 0,00532 0,01038 0,02103 3,06E-15 3,503E-14 3,81E-14 1,592E-14 6,728E-15 2,265E-14 1,544E-14
62 1,0821 0,00541 0,0103 0,02112 2,95E-15 3,526E-14 3,82E-14 1,603E-14 6,496E-15 2,252E-14 1,569E-14
63 1,09956 0,0055 0,01021 0,02121 2,85E-15 3,549E-14 3,83E-14 1,613E-14 6,264E-15 2,24E-14 1,594E-14
64 1,11701 0,00559 0,01012 0,02129 2,74E-15 3,573E-14 3,85E-14 1,624E-14 6,032E-15 2,227E-14 1,62E-14
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66 1,15192 0,00576 0,00995 0,02147 2,53E-15 3,619E-14 3,87E-14 1,645E-14 5,568E-15 2,202E-14 1,67E-14
67 1,16937 0,00585 0,00986 0,02155 2,43E-15 3,642E-14 3,88E-14 1,656E-14 5,336E-15 2,189E-14 1,696E-14
68 1,18682 0,00593 0,00977 0,02164 2,32E-15 3,665E-14 3,9E-14 1,666E-14 5,104E-15 2,176E-14 1,721E-14
69 1,20428 0,00602 0,00969 0,02173 2,21E-15 3,689E-14 3,91E-14 1,677E-14 4,872E-15 2,164E-14 1,746E-14
70 1,22173 0,00611 0,0096 0,02182 2,11E-15 3,712E-14 3,92E-14 1,687E-14 4,64E-15 2,151E-14 1,772E-14
71 1,23918 0,0062 0,00951 0,0219 2E-15 3,735E-14 3,94E-14 1,698E-14 4,408E-15 2,138E-14 1,797E-14
72 1,25664 0,00628 0,00942 0,02199 1,9E-15 3,758E-14 3,95E-14 1,708E-14 4,176E-15 2,126E-14 1,822E-14
73 1,27409 0,00637 0,00934 0,02208 1,79E-15 3,781E-14 3,96E-14 1,719E-14 3,944E-15 2,113E-14 1,847E-14
127
74 1,29154 0,00646 0,00925 0,02217 1,69E-15 3,805E-14 3,97E-14 1,729E-14 3,712E-15 2,101E-14 1,873E-14
75 1,309 0,00654 0,00916 0,02225 1,58E-15 3,828E-14 3,99E-14 1,74E-14 3,48E-15 2,088E-14 1,898E-14
76 1,32645 0,00663 0,00908 0,02234 1,48E-15 3,851E-14 4E-14 1,75E-14 3,248E-15 2,075E-14 1,923E-14
77 1,3439 0,00672 0,00899 0,02243 1,37E-15 3,874E-14 4,01E-14 1,761E-14 3,016E-15 2,063E-14 1,949E-14
78 1,36136 0,00681 0,0089 0,02251 1,27E-15 3,897E-14 4,02E-14 1,772E-14 2,784E-15 2,05E-14 1,974E-14
79 1,37881 0,00689 0,00881 0,0226 1,16E-15 3,921E-14 4,04E-14 1,782E-14 2,552E-15 2,037E-14 1,999E-14
80 1,39626 0,00698 0,00873 0,02269 1,05E-15 3,944E-14 4,05E-14 1,793E-14 2,32E-15 2,025E-14 2,025E-14
81 1,41372 0,00707 0,00864 0,02278 9,49E-16 3,967E-14 4,06E-14 1,803E-14 2,088E-15 2,012E-14 2,05E-14
82 1,43117 0,00716 0,00855 0,02286 8,44E-16 3,99E-14 4,07E-14 1,814E-14 1,856E-15 1,999E-14 2,075E-14
83 1,44862 0,00724 0,00846 0,02295 7,38E-16 4,013E-14 4,09E-14 1,824E-14 1,624E-15 1,987E-14 2,101E-14
84 1,46608 0,00733 0,00838 0,02304 6,33E-16 4,037E-14 4,1E-14 1,835E-14 1,392E-15 1,974E-14 2,126E-14
85 1,48353 0,00742 0,00829 0,02313 5,27E-16 4,06E-14 4,11E-14 1,845E-14 1,16E-15 1,961E-14 2,151E-14
86 1,50098 0,0075 0,0082 0,02321 4,22E-16 4,083E-14 4,13E-14 1,856E-14 9,279E-16 1,949E-14 2,176E-14
87 1,51844 0,00759 0,00812 0,0233 3,16E-16 4,106E-14 4,14E-14 1,866E-14 6,959E-16 1,936E-14 2,202E-14
88 1,53589 0,00768 0,00803 0,02339 2,11E-16 4,129E-14 4,15E-14 1,877E-14 4,64E-16 1,923E-14 2,227E-14
89 1,55334 0,00777 0,00794 0,02347 1,05E-16 4,152E-14 4,16E-14 1,887E-14 2,32E-16 1,911E-14 2,252E-14
90 1,5708 0,00785 0,00785 0,02356 -1,2E-24 4,176E-14 4,18E-14 1,898E-14 -2,73E-24 1,898E-14 2,278E-14
Caso 2
inclinacion (h)
0
0 0 0,03142 0,03142 1,37E-14 3,006E-14 4,37E-14 1,366E-14 3,006E-14 4,372E-14 0
1
0,01745 0,00017 0,03124 0,03159 1,35E-14 3,039E-14 4,39E-14 1,382E-14 2,973E-14 4,354E-14 3,644E-16
2
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3
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4
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128
5
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6
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7
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8
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9
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10
0,17453 0,00175 0,02967 0,03316 1,21E-14 3,34E-14 4,55E-14 1,518E-14 2,672E-14 4,19E-14 3,644E-15
11
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12
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13
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14
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15
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16
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17
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19
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20
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21
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22
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30
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31
0,54105 0,00541 0,02601 0,03683 8,96E-15 4,041E-14 4,94E-14 1,837E-14 1,971E-14 3,808E-14 1,129E-14
129
32
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130
59
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60
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63
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64
1,11701 0,01117 0,02025 0,04259 3,95E-15 5,143E-14 5,54E-14 2,338E-14 8,684E-15 3,206E-14 2,332E-14
65
1,13446 0,01134 0,02007 0,04276 3,8E-15 5,177E-14 5,56E-14 2,353E-14 8,35E-15 3,188E-14 2,368E-14
66
1,15192 0,01152 0,0199 0,04294 3,64E-15 5,21E-14 5,57E-14 2,368E-14 8,016E-15 3,17E-14 2,405E-14
67
1,16937 0,01169 0,01972 0,04311 3,49E-15 5,244E-14 5,59E-14 2,383E-14 7,682E-15 3,152E-14 2,441E-14
68
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69
1,20428 0,01204 0,01937 0,04346 3,19E-15 5,31E-14 5,63E-14 2,414E-14 7,014E-15 3,115E-14 2,514E-14
70
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75
1,309 0,01309 0,01833 0,04451 2,28E-15 5,511E-14 5,74E-14 2,505E-14 5,01E-15 3,006E-14 2,733E-14
76
1,32645 0,01326 0,01815 0,04468 2,13E-15 5,544E-14 5,76E-14 2,52E-14 4,676E-15 2,988E-14 2,769E-14
77
1,3439 0,01344 0,01798 0,04485 1,97E-15 5,578E-14 5,78E-14 2,535E-14 4,342E-15 2,969E-14 2,806E-14
78
1,36136 0,01361 0,0178 0,04503 1,82E-15 5,611E-14 5,79E-14 2,55E-14 4,008E-15 2,951E-14 2,842E-14
79
1,37881 0,01379 0,01763 0,0452 1,67E-15 5,644E-14 5,81E-14 2,566E-14 3,674E-15 2,933E-14 2,878E-14
80
1,39626 0,01396 0,01745 0,04538 1,52E-15 5,678E-14 5,83E-14 2,581E-14 3,34E-15 2,915E-14 2,915E-14
81
1,41372 0,01414 0,01728 0,04555 1,37E-15 5,711E-14 5,85E-14 2,596E-14 3,006E-15 2,897E-14 2,951E-14
82
1,43117 0,01431 0,0171 0,04573 1,21E-15 5,745E-14 5,87E-14 2,611E-14 2,672E-15 2,878E-14 2,988E-14
83
1,44862 0,01449 0,01693 0,0459 1,06E-15 5,778E-14 5,88E-14 2,626E-14 2,338E-15 2,86E-14 3,024E-14
84
1,46608 0,01466 0,01676 0,04608 9,11E-16 5,811E-14 5,9E-14 2,642E-14 2,004E-15 2,842E-14 3,061E-14
85
1,48353 0,01484 0,01658 0,04625 7,59E-16 5,845E-14 5,92E-14 2,657E-14 1,67E-15 2,824E-14 3,097E-14
131
86
1,50098 0,01501 0,01641 0,04643 6,07E-16 5,878E-14 5,94E-14 2,672E-14 1,336E-15 2,806E-14 3,133E-14
87
1,51844 0,01518 0,01623 0,0466 4,55E-16 5,912E-14 5,96E-14 2,687E-14 1,002E-15 2,787E-14 3,17E-14
88
1,53589 0,01536 0,01606 0,04677 3,04E-16 5,945E-14 5,98E-14 2,702E-14 6,68E-16 2,769E-14 3,206E-14
89
1,55334 0,01553 0,01588 0,04695 1,52E-16 5,978E-14 5,99E-14 2,717E-14 3,34E-16 2,751E-14 3,243E-14
90
1,5708 0,01571 0,01571 0,04712 -1,8E-24 6,012E-14 6,01E-14 2,733E-14 -3,92E-24 2,733E-14 3,279E-14
Caso 3
inclinacion (h)
0
0 0 0,01571 0,01571 2,61E-15 5,747E-15 8,36E-15 2,612E-15 5,747E-15 8,36E-15 0
1
0,01745 8,7E-05 0,01562 0,0158 2,58E-15 5,811E-15 8,39E-15 2,642E-15 5,684E-15 8,325E-15 6,967E-17
2
0,03491 0,00017 0,01553 0,01588 2,55E-15 5,875E-15 8,43E-15 2,671E-15 5,62E-15 8,29E-15 1,393E-16
3
0,05236 0,00026 0,01545 0,01597 2,53E-15 5,939E-15 8,46E-15 2,7E-15 5,556E-15 8,255E-15 2,09E-16
4
0,06981 0,00035 0,01536 0,01606 2,5E-15 6,003E-15 8,5E-15 2,729E-15 5,492E-15 8,221E-15 2,787E-16
5
0,08727 0,00044 0,01527 0,01614 2,47E-15 6,067E-15 8,53E-15 2,758E-15 5,428E-15 8,186E-15 3,483E-16
6
0,10472 0,00052 0,01518 0,01623 2,44E-15 6,131E-15 8,57E-15 2,787E-15 5,364E-15 8,151E-15 4,18E-16
7
0,12217 0,00061 0,0151 0,01632 2,41E-15 6,195E-15 8,6E-15 2,816E-15 5,3E-15 8,116E-15 4,877E-16
8
0,13963 0,0007 0,01501 0,01641 2,38E-15 6,258E-15 8,64E-15 2,845E-15 5,237E-15 8,081E-15 5,573E-16
9
0,15708 0,00079 0,01492 0,01649 2,35E-15 6,322E-15 8,67E-15 2,874E-15 5,173E-15 8,046E-15 6,27E-16
10
0,17453 0,00087 0,01484 0,01658 2,32E-15 6,386E-15 8,71E-15 2,903E-15 5,109E-15 8,012E-15 6,967E-16
11
0,19199 0,00096 0,01475 0,01667 2,29E-15 6,45E-15 8,74E-15 2,932E-15 5,045E-15 7,977E-15 7,663E-16
12
0,20944 0,00105 0,01466 0,01676 2,26E-15 6,514E-15 8,78E-15 2,961E-15 4,981E-15 7,942E-15 8,36E-16
13
0,22689 0,00113 0,01457 0,01684 2,24E-15 6,578E-15 8,81E-15 2,99E-15 4,917E-15 7,907E-15 9,057E-16
14
0,24435 0,00122 0,01449 0,01693 2,21E-15 6,642E-15 8,85E-15 3,019E-15 4,853E-15 7,872E-15 9,753E-16
15
0,2618 0,00131 0,0144 0,01702 2,18E-15 6,705E-15 8,88E-15 3,048E-15 4,79E-15 7,837E-15 1,045E-15
16
0,27925 0,0014 0,01431 0,0171 2,15E-15 6,769E-15 8,92E-15 3,077E-15 4,726E-15 7,803E-15 1,115E-15
132
17
0,29671 0,00148 0,01422 0,01719 2,12E-15 6,833E-15 8,95E-15 3,106E-15 4,662E-15 7,768E-15 1,184E-15
18
0,31416 0,00157 0,01414 0,01728 2,09E-15 6,897E-15 8,99E-15 3,135E-15 4,598E-15 7,733E-15 1,254E-15
19
0,33161 0,00166 0,01405 0,01737 2,06E-15 6,961E-15 9,02E-15 3,164E-15 4,534E-15 7,698E-15 1,324E-15
20
0,34907 0,00175 0,01396 0,01745 2,03E-15 7,025E-15 9,06E-15 3,193E-15 4,47E-15 7,663E-15 1,393E-15
21
0,36652 0,00183 0,01388 0,01754 2E-15 7,089E-15 9,09E-15 3,222E-15 4,406E-15 7,628E-15 1,463E-15
22
0,38397 0,00192 0,01379 0,01763 1,97E-15 7,152E-15 9,13E-15 3,251E-15 4,343E-15 7,594E-15 1,533E-15
23
0,40143 0,00201 0,0137 0,01772 1,94E-15 7,216E-15 9,16E-15 3,28E-15 4,279E-15 7,559E-15 1,602E-15
24
0,41888 0,00209 0,01361 0,0178 1,92E-15 7,28E-15 9,2E-15 3,309E-15 4,215E-15 7,524E-15 1,672E-15
25
0,43633 0,00218 0,01353 0,01789 1,89E-15 7,344E-15 9,23E-15 3,338E-15 4,151E-15 7,489E-15 1,742E-15
26
0,45379 0,00227 0,01344 0,01798 1,86E-15 7,408E-15 9,27E-15 3,367E-15 4,087E-15 7,454E-15 1,811E-15
27
0,47124 0,00236 0,01335 0,01806 1,83E-15 7,472E-15 9,3E-15 3,396E-15 4,023E-15 7,419E-15 1,881E-15
28
0,48869 0,00244 0,01326 0,01815 1,8E-15 7,536E-15 9,34E-15 3,425E-15 3,959E-15 7,385E-15 1,951E-15
29
0,50615 0,00253 0,01318 0,01824 1,77E-15 7,599E-15 9,37E-15 3,454E-15 3,896E-15 7,35E-15 2,02E-15
30
0,5236 0,00262 0,01309 0,01833 1,74E-15 7,663E-15 9,4E-15 3,483E-15 3,832E-15 7,315E-15 2,09E-15
31
0,54105 0,00271 0,013 0,01841 1,71E-15 7,727E-15 9,44E-15 3,512E-15 3,768E-15 7,28E-15 2,16E-15
32
0,55851 0,00279 0,01292 0,0185 1,68E-15 7,791E-15 9,47E-15 3,541E-15 3,704E-15 7,245E-15 2,229E-15
33
0,57596 0,00288 0,01283 0,01859 1,65E-15 7,855E-15 9,51E-15 3,57E-15 3,64E-15 7,21E-15 2,299E-15
34
0,59341 0,00297 0,01274 0,01868 1,63E-15 7,919E-15 9,54E-15 3,599E-15 3,576E-15 7,176E-15 2,369E-15
35
0,61087 0,00305 0,01265 0,01876 1,6E-15 7,983E-15 9,58E-15 3,628E-15 3,512E-15 7,141E-15 2,438E-15
36
0,62832 0,00314 0,01257 0,01885 1,57E-15 8,046E-15 9,61E-15 3,657E-15 3,448E-15 7,106E-15 2,508E-15
37
0,64577 0,00323 0,01248 0,01894 1,54E-15 8,11E-15 9,65E-15 3,687E-15 3,385E-15 7,071E-15 2,578E-15
38
0,66323 0,00332 0,01239 0,01902 1,51E-15 8,174E-15 9,68E-15 3,716E-15 3,321E-15 7,036E-15 2,647E-15
39
0,68068 0,0034 0,0123 0,01911 1,48E-15 8,238E-15 9,72E-15 3,745E-15 3,257E-15 7,001E-15 2,717E-15
40
0,69813 0,00349 0,01222 0,0192 1,45E-15 8,302E-15 9,75E-15 3,774E-15 3,193E-15 6,967E-15 2,787E-15
41
0,71558 0,00358 0,01213 0,01929 1,42E-15 8,366E-15 9,79E-15 3,803E-15 3,129E-15 6,932E-15 2,856E-15
42
0,73304 0,00367 0,01204 0,01937 1,39E-15 8,43E-15 9,82E-15 3,832E-15 3,065E-15 6,897E-15 2,926E-15
43
0,75049 0,00375 0,01196 0,01946 1,36E-15 8,493E-15 9,86E-15 3,861E-15 3,001E-15 6,862E-15 2,996E-15
133
44
0,76794 0,00384 0,01187 0,01955 1,34E-15 8,557E-15 9,89E-15 3,89E-15 2,938E-15 6,827E-15 3,065E-15
45
0,7854 0,00393 0,01178 0,01963 1,31E-15 8,621E-15 9,93E-15 3,919E-15 2,874E-15 6,792E-15 3,135E-15
46
0,80285 0,00401 0,01169 0,01972 1,28E-15 8,685E-15 9,96E-15 3,948E-15 2,81E-15 6,758E-15 3,205E-15
47
0,8203 0,0041 0,01161 0,01981 1,25E-15 8,749E-15 1E-14 3,977E-15 2,746E-15 6,723E-15 3,274E-15
48
0,83776 0,00419 0,01152 0,0199 1,22E-15 8,813E-15 1E-14 4,006E-15 2,682E-15 6,688E-15 3,344E-15
49
0,85521 0,00428 0,01143 0,01998 1,19E-15 8,877E-15 1,01E-14 4,035E-15 2,618E-15 6,653E-15 3,414E-15
50
0,87266 0,00436 0,01134 0,02007 1,16E-15 8,941E-15 1,01E-14 4,064E-15 2,554E-15 6,618E-15 3,483E-15
51
0,89012 0,00445 0,01126 0,02016 1,13E-15 9,004E-15 1,01E-14 4,093E-15 2,491E-15 6,583E-15 3,553E-15
52
0,90757 0,00454 0,01117 0,02025 1,1E-15 9,068E-15 1,02E-14 4,122E-15 2,427E-15 6,549E-15 3,623E-15
53
0,92502 0,00463 0,01108 0,02033 1,07E-15 9,132E-15 1,02E-14 4,151E-15 2,363E-15 6,514E-15 3,692E-15
54
0,94248 0,00471 0,011 0,02042 1,04E-15 9,196E-15 1,02E-14 4,18E-15 2,299E-15 6,479E-15 3,762E-15
55
0,95993 0,0048 0,01091 0,02051 1,02E-15 9,26E-15 1,03E-14 4,209E-15 2,235E-15 6,444E-15 3,832E-15
56
0,97738 0,00489 0,01082 0,02059 9,87E-16 9,324E-15 1,03E-14 4,238E-15 2,171E-15 6,409E-15 3,901E-15
57
0,99484 0,00497 0,01073 0,02068 9,58E-16 9,388E-15 1,03E-14 4,267E-15 2,107E-15 6,374E-15 3,971E-15
58
1,01229 0,00506 0,01065 0,02077 9,29E-16 9,451E-15 1,04E-14 4,296E-15 2,044E-15 6,34E-15 4,041E-15
59
1,02974 0,00515 0,01056 0,02086 9E-16 9,515E-15 1,04E-14 4,325E-15 1,98E-15 6,305E-15 4,11E-15
60
1,0472 0,00524 0,01047 0,02094 8,71E-16 9,579E-15 1,04E-14 4,354E-15 1,916E-15 6,27E-15 4,18E-15
61
1,06465 0,00532 0,01038 0,02103 8,42E-16 9,643E-15 1,05E-14 4,383E-15 1,852E-15 6,235E-15 4,25E-15
62
1,0821 0,00541 0,0103 0,02112 8,13E-16 9,707E-15 1,05E-14 4,412E-15 1,788E-15 6,2E-15 4,319E-15
63
1,09956 0,0055 0,01021 0,02121 7,84E-16 9,771E-15 1,06E-14 4,441E-15 1,724E-15 6,165E-15 4,389E-15
64
1,11701 0,00559 0,01012 0,02129 7,55E-16 9,835E-15 1,06E-14 4,47E-15 1,66E-15 6,131E-15 4,459E-15
65
1,13446 0,00567 0,01004 0,02138 7,26E-16 9,898E-15 1,06E-14 4,499E-15 1,597E-15 6,096E-15 4,528E-15
66
1,15192 0,00576 0,00995 0,02147 6,97E-16 9,962E-15 1,07E-14 4,528E-15 1,533E-15 6,061E-15 4,598E-15
67
1,16937 0,00585 0,00986 0,02155 6,68E-16 1,003E-14 1,07E-14 4,557E-15 1,469E-15 6,026E-15 4,668E-15
68
1,18682 0,00593 0,00977 0,02164 6,39E-16 1,009E-14 1,07E-14 4,586E-15 1,405E-15 5,991E-15 4,737E-15
69
1,20428 0,00602 0,00969 0,02173 6,1E-16 1,015E-14 1,08E-14 4,615E-15 1,341E-15 5,956E-15 4,807E-15
70
1,22173 0,00611 0,0096 0,02182 5,81E-16 1,022E-14 1,08E-14 4,644E-15 1,277E-15 5,922E-15 4,877E-15
134
71
1,23918 0,0062 0,00951 0,0219 5,52E-16 1,028E-14 1,08E-14 4,673E-15 1,213E-15 5,887E-15 4,946E-15
72
1,25664 0,00628 0,00942 0,02199 5,22E-16 1,035E-14 1,09E-14 4,702E-15 1,149E-15 5,852E-15 5,016E-15
73
1,27409 0,00637 0,00934 0,02208 4,93E-16 1,041E-14 1,09E-14 4,732E-15 1,086E-15 5,817E-15 5,086E-15
74
1,29154 0,00646 0,00925 0,02217 4,64E-16 1,047E-14 1,09E-14 4,761E-15 1,022E-15 5,782E-15 5,155E-15
75
1,309 0,00654 0,00916 0,02225 4,35E-16 1,054E-14 1,1E-14 4,79E-15 9,579E-16 5,747E-15 5,225E-15
76
1,32645 0,00663 0,00908 0,02234 4,06E-16 1,06E-14 1,1E-14 4,819E-15 8,941E-16 5,713E-15 5,295E-15
77
1,3439 0,00672 0,00899 0,02243 3,77E-16 1,066E-14 1,1E-14 4,848E-15 8,302E-16 5,678E-15 5,364E-15
78
1,36136 0,00681 0,0089 0,02251 3,48E-16 1,073E-14 1,11E-14 4,877E-15 7,663E-16 5,643E-15 5,434E-15
79
1,37881 0,00689 0,00881 0,0226 3,19E-16 1,079E-14 1,11E-14 4,906E-15 7,025E-16 5,608E-15 5,504E-15
80
1,39626 0,00698 0,00873 0,02269 2,9E-16 1,086E-14 1,11E-14 4,935E-15 6,386E-16 5,573E-15 5,573E-15
81
1,41372 0,00707 0,00864 0,02278 2,61E-16 1,092E-14 1,12E-14 4,964E-15 5,747E-16 5,538E-15 5,643E-15
82
1,43117 0,00716 0,00855 0,02286 2,32E-16 1,098E-14 1,12E-14 4,993E-15 5,109E-16 5,504E-15 5,713E-15
83
1,44862 0,00724 0,00846 0,02295 2,03E-16 1,105E-14 1,13E-14 5,022E-15 4,47E-16 5,469E-15 5,782E-15
84
1,46608 0,00733 0,00838 0,02304 1,74E-16 1,111E-14 1,13E-14 5,051E-15 3,832E-16 5,434E-15 5,852E-15
85
1,48353 0,00742 0,00829 0,02313 1,45E-16 1,118E-14 1,13E-14 5,08E-15 3,193E-16 5,399E-15 5,922E-15
86
1,50098 0,0075 0,0082 0,02321 1,16E-16 1,124E-14 1,14E-14 5,109E-15 2,554E-16 5,364E-15 5,991E-15
87
1,51844 0,00759 0,00812 0,0233 8,71E-17 1,13E-14 1,14E-14 5,138E-15 1,916E-16 5,329E-15 6,061E-15
88
1,53589 0,00768 0,00803 0,02339 5,81E-17 1,137E-14 1,14E-14 5,167E-15 1,277E-16 5,295E-15 6,131E-15
89
1,55334 0,00777 0,00794 0,02347 2,9E-17 1,143E-14 1,15E-14 5,196E-15 6,386E-17 5,26E-15 6,2E-15
90
1,5708 0,00785 0,00785 0,02356 -3,4E-25 1,149E-14 1,15E-14 5,225E-15 -7,5E-25 5,225E-15 6,27E-15
Caso 4
inclinacion (h)
0
0 0 0,02356 0,02356 3,4E-15 7,484E-15 1,09E-14 3,402E-15 7,484E-15 1,089E-14 0
1
0,01745 0,00013 0,02343 0,02369 3,36E-15 7,567E-15 1,09E-14 3,439E-15 7,401E-15 1,084E-14 9,071E-17
2
0,03491 0,00026 0,0233 0,02382 3,33E-15 7,65E-15 1,1E-14 3,477E-15 7,317E-15 1,079E-14 1,814E-16
135
3
0,05236 0,00039 0,02317 0,02395 3,29E-15 7,733E-15 1,1E-14 3,515E-15 7,234E-15 1,075E-14 2,721E-16
4
0,06981 0,00052 0,02304 0,02409 3,25E-15 7,816E-15 1,11E-14 3,553E-15 7,151E-15 1,07E-14 3,628E-16
5
0,08727 0,00065 0,02291 0,02422 3,21E-15 7,899E-15 1,11E-14 3,591E-15 7,068E-15 1,066E-14 4,536E-16
6
0,10472 0,00079 0,02278 0,02435 3,17E-15 7,983E-15 1,12E-14 3,628E-15 6,985E-15 1,061E-14 5,443E-16
7
0,12217 0,00092 0,02265 0,02448 3,14E-15 8,066E-15 1,12E-14 3,666E-15 6,902E-15 1,057E-14 6,35E-16
8
0,13963 0,00105 0,02251 0,02461 3,1E-15 8,149E-15 1,12E-14 3,704E-15 6,818E-15 1,052E-14 7,257E-16
9
0,15708 0,00118 0,02238 0,02474 3,06E-15 8,232E-15 1,13E-14 3,742E-15 6,735E-15 1,048E-14 8,164E-16
10
0,17453 0,00131 0,02225 0,02487 3,02E-15 8,315E-15 1,13E-14 3,78E-15 6,652E-15 1,043E-14 9,071E-16
11
0,19199 0,00144 0,02212 0,025 2,99E-15 8,398E-15 1,14E-14 3,817E-15 6,569E-15 1,039E-14 9,978E-16
12
0,20944 0,00157 0,02199 0,02513 2,95E-15 8,482E-15 1,14E-14 3,855E-15 6,486E-15 1,034E-14 1,089E-15
13
0,22689 0,0017 0,02186 0,02526 2,91E-15 8,565E-15 1,15E-14 3,893E-15 6,403E-15 1,03E-14 1,179E-15
14
0,24435 0,00183 0,02173 0,02539 2,87E-15 8,648E-15 1,15E-14 3,931E-15 6,32E-15 1,025E-14 1,27E-15
15
0,2618 0,00196 0,0216 0,02553 2,83E-15 8,731E-15 1,16E-14 3,969E-15 6,236E-15 1,021E-14 1,361E-15
16
0,27925 0,00209 0,02147 0,02566 2,8E-15 8,814E-15 1,16E-14 4,006E-15 6,153E-15 1,016E-14 1,451E-15
17
0,29671 0,00223 0,02134 0,02579 2,76E-15 8,897E-15 1,17E-14 4,044E-15 6,07E-15 1,011E-14 1,542E-15
18
0,31416 0,00236 0,02121 0,02592 2,72E-15 8,98E-15 1,17E-14 4,082E-15 5,987E-15 1,007E-14 1,633E-15
19
0,33161 0,00249 0,02107 0,02605 2,68E-15 9,064E-15 1,17E-14 4,12E-15 5,904E-15 1,002E-14 1,724E-15
20
0,34907 0,00262 0,02094 0,02618 2,65E-15 9,147E-15 1,18E-14 4,158E-15 5,821E-15 9,978E-15 1,814E-15
21
0,36652 0,00275 0,02081 0,02631 2,61E-15 9,23E-15 1,18E-14 4,195E-15 5,738E-15 9,933E-15 1,905E-15
22
0,38397 0,00288 0,02068 0,02644 2,57E-15 9,313E-15 1,19E-14 4,233E-15 5,654E-15 9,888E-15 1,996E-15
23
0,40143 0,00301 0,02055 0,02657 2,53E-15 9,396E-15 1,19E-14 4,271E-15 5,571E-15 9,842E-15 2,086E-15
24
0,41888 0,00314 0,02042 0,0267 2,49E-15 9,479E-15 1,2E-14 4,309E-15 5,488E-15 9,797E-15 2,177E-15
25
0,43633 0,00327 0,02029 0,02683 2,46E-15 9,563E-15 1,2E-14 4,347E-15 5,405E-15 9,752E-15 2,268E-15
26
0,45379 0,0034 0,02016 0,02697 2,42E-15 9,646E-15 1,21E-14 4,384E-15 5,322E-15 9,706E-15 2,359E-15
27
0,47124 0,00353 0,02003 0,0271 2,38E-15 9,729E-15 1,21E-14 4,422E-15 5,239E-15 9,661E-15 2,449E-15
28
0,48869 0,00367 0,0199 0,02723 2,34E-15 9,812E-15 1,22E-14 4,46E-15 5,155E-15 9,615E-15 2,54E-15
29
0,50615 0,0038 0,01977 0,02736 2,31E-15 9,895E-15 1,22E-14 4,498E-15 5,072E-15 9,57E-15 2,631E-15
136
30
0,5236 0,00393 0,01963 0,02749 2,27E-15 9,978E-15 1,22E-14 4,536E-15 4,989E-15 9,525E-15 2,721E-15
31
0,54105 0,00406 0,0195 0,02762 2,23E-15 1,006E-14 1,23E-14 4,573E-15 4,906E-15 9,479E-15 2,812E-15
32
0,55851 0,00419 0,01937 0,02775 2,19E-15 1,014E-14 1,23E-14 4,611E-15 4,823E-15 9,434E-15 2,903E-15
33
0,57596 0,00432 0,01924 0,02788 2,15E-15 1,023E-14 1,24E-14 4,649E-15 4,74E-15 9,389E-15 2,993E-15
34
0,59341 0,00445 0,01911 0,02801 2,12E-15 1,031E-14 1,24E-14 4,687E-15 4,657E-15 9,343E-15 3,084E-15
35
0,61087 0,00458 0,01898 0,02814 2,08E-15 1,039E-14 1,25E-14 4,725E-15 4,573E-15 9,298E-15 3,175E-15
36
0,62832 0,00471 0,01885 0,02827 2,04E-15 1,048E-14 1,25E-14 4,762E-15 4,49E-15 9,253E-15 3,266E-15
37
0,64577 0,00484 0,01872 0,02841 2E-15 1,056E-14 1,26E-14 4,8E-15 4,407E-15 9,207E-15 3,356E-15
38
0,66323 0,00497 0,01859 0,02854 1,97E-15 1,064E-14 1,26E-14 4,838E-15 4,324E-15 9,162E-15 3,447E-15
39
0,68068 0,00511 0,01846 0,02867 1,93E-15 1,073E-14 1,27E-14 4,876E-15 4,241E-15 9,117E-15 3,538E-15
40
0,69813 0,00524 0,01833 0,0288 1,89E-15 1,081E-14 1,27E-14 4,914E-15 4,158E-15 9,071E-15 3,628E-15
41
0,71558 0,00537 0,0182 0,02893 1,85E-15 1,089E-14 1,27E-14 4,951E-15 4,074E-15 9,026E-15 3,719E-15
42
0,73304 0,0055 0,01806 0,02906 1,81E-15 1,098E-14 1,28E-14 4,989E-15 3,991E-15 8,98E-15 3,81E-15
43
0,75049 0,00563 0,01793 0,02919 1,78E-15 1,106E-14 1,28E-14 5,027E-15 3,908E-15 8,935E-15 3,901E-15
44
0,76794 0,00576 0,0178 0,02932 1,74E-15 1,114E-14 1,29E-14 5,065E-15 3,825E-15 8,89E-15 3,991E-15
45
0,7854 0,00589 0,01767 0,02945 1,7E-15 1,123E-14 1,29E-14 5,103E-15 3,742E-15 8,844E-15 4,082E-15
46
0,80285 0,00602 0,01754 0,02958 1,66E-15 1,131E-14 1,3E-14 5,14E-15 3,659E-15 8,799E-15 4,173E-15
47
0,8203 0,00615 0,01741 0,02971 1,63E-15 1,139E-14 1,3E-14 5,178E-15 3,576E-15 8,754E-15 4,263E-15
48
0,83776 0,00628 0,01728 0,02985 1,59E-15 1,148E-14 1,31E-14 5,216E-15 3,492E-15 8,708E-15 4,354E-15
49
0,85521 0,00641 0,01715 0,02998 1,55E-15 1,156E-14 1,31E-14 5,254E-15 3,409E-15 8,663E-15 4,445E-15
50
0,87266 0,00654 0,01702 0,03011 1,51E-15 1,164E-14 1,32E-14 5,292E-15 3,326E-15 8,618E-15 4,536E-15
51
0,89012 0,00668 0,01689 0,03024 1,47E-15 1,172E-14 1,32E-14 5,329E-15 3,243E-15 8,572E-15 4,626E-15
52
0,90757 0,00681 0,01676 0,03037 1,44E-15 1,181E-14 1,32E-14 5,367E-15 3,16E-15 8,527E-15 4,717E-15
53
0,92502 0,00694 0,01662 0,0305 1,4E-15 1,189E-14 1,33E-14 5,405E-15 3,077E-15 8,482E-15 4,808E-15
54
0,94248 0,00707 0,01649 0,03063 1,36E-15 1,197E-14 1,33E-14 5,443E-15 2,993E-15 8,436E-15 4,898E-15
55
0,95993 0,0072 0,01636 0,03076 1,32E-15 1,206E-14 1,34E-14 5,48E-15 2,91E-15 8,391E-15 4,989E-15
56
0,97738 0,00733 0,01623 0,03089 1,29E-15 1,214E-14 1,34E-14 5,518E-15 2,827E-15 8,345E-15 5,08E-15
137
57
0,99484 0,00746 0,0161 0,03102 1,25E-15 1,222E-14 1,35E-14 5,556E-15 2,744E-15 8,3E-15 5,171E-15
58
1,01229 0,00759 0,01597 0,03115 1,21E-15 1,231E-14 1,35E-14 5,594E-15 2,661E-15 8,255E-15 5,261E-15
59
1,02974 0,00772 0,01584 0,03129 1,17E-15 1,239E-14 1,36E-14 5,632E-15 2,578E-15 8,209E-15 5,352E-15
60
1,0472 0,00785 0,01571 0,03142 1,13E-15 1,247E-14 1,36E-14 5,669E-15 2,495E-15 8,164E-15 5,443E-15
61
1,06465 0,00798 0,01558 0,03155 1,1E-15 1,256E-14 1,37E-14 5,707E-15 2,411E-15 8,119E-15 5,533E-15
62
1,0821 0,00812 0,01545 0,03168 1,06E-15 1,264E-14 1,37E-14 5,745E-15 2,328E-15 8,073E-15 5,624E-15
63
1,09956 0,00825 0,01532 0,03181 1,02E-15 1,272E-14 1,37E-14 5,783E-15 2,245E-15 8,028E-15 5,715E-15
64
1,11701 0,00838 0,01518 0,03194 9,83E-16 1,281E-14 1,38E-14 5,821E-15 2,162E-15 7,983E-15 5,806E-15
65
1,13446 0,00851 0,01505 0,03207 9,45E-16 1,289E-14 1,38E-14 5,858E-15 2,079E-15 7,937E-15 5,896E-15
66
1,15192 0,00864 0,01492 0,0322 9,07E-16 1,297E-14 1,39E-14 5,896E-15 1,996E-15 7,892E-15 5,987E-15
67
1,16937 0,00877 0,01479 0,03233 8,69E-16 1,305E-14 1,39E-14 5,934E-15 1,913E-15 7,847E-15 6,078E-15
68
1,18682 0,0089 0,01466 0,03246 8,32E-16 1,314E-14 1,4E-14 5,972E-15 1,829E-15 7,801E-15 6,168E-15
69
1,20428 0,00903 0,01453 0,03259 7,94E-16 1,322E-14 1,4E-14 6,01E-15 1,746E-15 7,756E-15 6,259E-15
70
1,22173 0,00916 0,0144 0,03272 7,56E-16 1,33E-14 1,41E-14 6,047E-15 1,663E-15 7,71E-15 6,35E-15
71
1,23918 0,00929 0,01427 0,03286 7,18E-16 1,339E-14 1,41E-14 6,085E-15 1,58E-15 7,665E-15 6,441E-15
72
1,25664 0,00942 0,01414 0,03299 6,8E-16 1,347E-14 1,42E-14 6,123E-15 1,497E-15 7,62E-15 6,531E-15
73
1,27409 0,00956 0,01401 0,03312 6,43E-16 1,355E-14 1,42E-14 6,161E-15 1,414E-15 7,574E-15 6,622E-15
74
1,29154 0,00969 0,01388 0,03325 6,05E-16 1,364E-14 1,42E-14 6,199E-15 1,33E-15 7,529E-15 6,713E-15
75
1,309 0,00982 0,01374 0,03338 5,67E-16 1,372E-14 1,43E-14 6,236E-15 1,247E-15 7,484E-15 6,803E-15
76
1,32645 0,00995 0,01361 0,03351 5,29E-16 1,38E-14 1,43E-14 6,274E-15 1,164E-15 7,438E-15 6,894E-15
77
1,3439 0,01008 0,01348 0,03364 4,91E-16 1,389E-14 1,44E-14 6,312E-15 1,081E-15 7,393E-15 6,985E-15
78
1,36136 0,01021 0,01335 0,03377 4,54E-16 1,397E-14 1,44E-14 6,35E-15 9,978E-16 7,348E-15 7,076E-15
79
1,37881 0,01034 0,01322 0,0339 4,16E-16 1,405E-14 1,45E-14 6,388E-15 9,147E-16 7,302E-15 7,166E-15
80
1,39626 0,01047 0,01309 0,03403 3,78E-16 1,414E-14 1,45E-14 6,425E-15 8,315E-16 7,257E-15 7,257E-15
81
1,41372 0,0106 0,01296 0,03416 3,4E-16 1,422E-14 1,46E-14 6,463E-15 7,484E-16 7,212E-15 7,348E-15
82
1,43117 0,01073 0,01283 0,0343 3,02E-16 1,43E-14 1,46E-14 6,501E-15 6,652E-16 7,166E-15 7,438E-15
83
1,44862 0,01086 0,0127 0,03443 2,65E-16 1,439E-14 1,46E-14 6,539E-15 5,821E-16 7,121E-15 7,529E-15
138
84
1,46608 0,011 0,01257 0,03456 2,27E-16 1,447E-14 1,47E-14 6,577E-15 4,989E-16 7,076E-15 7,62E-15
85
1,48353 0,01113 0,01244 0,03469 1,89E-16 1,455E-14 1,47E-14 6,614E-15 4,158E-16 7,03E-15 7,71E-15
86
1,50098 0,01126 0,0123 0,03482 1,51E-16 1,463E-14 1,48E-14 6,652E-15 3,326E-16 6,985E-15 7,801E-15
87
1,51844 0,01139 0,01217 0,03495 1,13E-16 1,472E-14 1,48E-14 6,69E-15 2,495E-16 6,939E-15 7,892E-15
88
1,53589 0,01152 0,01204 0,03508 7,56E-17 1,48E-14 1,49E-14 6,728E-15 1,663E-16 6,894E-15 7,983E-15
89
1,55334 0,01165 0,01191 0,03521 3,78E-17 1,488E-14 1,49E-14 6,766E-15 8,315E-17 6,849E-15 8,073E-15
90
1,5708 0,01178 0,01178 0,03534 -4,4E-25 1,497E-14 1,5E-14 6,803E-15 -9,77E-25 6,803E-15 8,164E-15
8.2. Tablas de capacidad medida
Capacidad medida con variaciones de 10 grados (linealidad)
caso1 caso2 caso3 caso4

-90 0,151546 0,288666 -0,0514 -0,01147
-80 0,149364 0,283674 -0,0465 -0,0146
-70 0,13897 0,258829 -0,0348 -0,0015
-60 0,121118 0,214176 -0,0234 0,0155
-50 0,104889 0,182028 -0,0126 0,0314
-40 0,084346 0,142024 -0,0012 0,0467
-30 0,060025 0,100797 0,0093 0,0617
-20 0,041574 0,065594 0,0228 0,0811
-10 0,028702 0,019592 0,0351 0,0852
0 0,005645 -0,005438 0,0408 0,0995
10 -0,015655 -0,043665 0,0483 0,1149
20 -0,036751 -0,076359 0,0605 0,1362
30 -0,056833 -0,11782 0,0741 0,1587
139
40 -0,075008 -0,158287 0,0878 0,1769

50 -0,091974 -0,190174 0,1005 0,1925
60 -0,109786 -0,223245 0,1131 0,2072
70 -0,12791 -0,258177 0,1255 0,2246
80 -0,137703 -0,272107 0,1372 0,2425
90 -0,137542 -0,271937 0,1415 0,2451
Capacidad medida con variaciones de 1 grado (Sensibilidad)
caso1 Δcaso1 caso2 Δcaso2 caso3 Δcaso3 caso4 Δcaso4

-10 0,0101 0,0008 -0,0519 0,002 0,0091 0,0006 0,02311 0,00366
-9 0,0093 0,0004 -0,0499 0,0044 0,0085 0,0007 0,01945 0,00367
-8 0,0089 0,0011 -0,0455 0,0034 0,0078 0,0009 0,01578 0,00273
-7 0,0078 0,0014 -0,0421 0,0043 0,0069 0,0013 0,01305 0,00119
-6 0,0064 0,0011 -0,0378 0,0037 0,0056 0,0009 0,01186 0,00171
-5 0,0053 0,0005 -0,0341 0,0083 0,0047 0,0016 0,01015 0,0029
-4 0,0048 0,0019 -0,0258 0,0067 0,0031 0,0012 0,00725 0,002
-3 0,0029 0,0013 -0,0191 0,0042 0,0019 0,00078 0,00525 0,0018
-2 0,0016 0,0005 -0,0149 0,0051 0,00112 0,00082 0,00345 0,00184
-1 0,0011 0,0011 -0,0098 0,0098 0,0003 0,0003 0,00161 0,00161
0 0 0 0 0
1 -0,0006 -0,0006 0,0045 0,0045 -0,00023 0,00023 -0,00104 0,00104
2 -0,0016 0,001 0,0061 0,0016 -0,00149 0,00126 -0,00397 0,00293
3 -0,0025 0,0009 0,0075 0,0014 -0,00232 0,00083 -0,00435 0,00038
4 -0,0039 0,0014 0,0098 0,0023 -0,00245 0,00013 -0,00615 0,0018
5 -0,0053 0,0014 0,0132 0,0034 -0,00375 0,0013 -0,00855 0,0024
6 -0,0067 0,0014 0,0192 0,006 -0,0045 0,00075 -0,01078 0,00223
140
7 -0,0079 0,0012 0,0221 0,0029 -0,006 0,0015 -0,01287 0,00209

8 -0,0081 0,0002 0,0261 0,004 -0,0071 0,0011 -0,01427 0,0014
9 -0,0091 0,001 0,0298 0,0037 -0,0078 0,0007 -0,01654 0,00227
10 -0,0097 0,0006 0,0341 0,0043 -0,0089 0,0011 -0,01912 0,00258
Cap 1 grado 0,00092954 0,00421054 0,00090087 0,00209667
Capacidad medida con variaciones de 5 grados (Sensibilidad)
caso1 Δcaso1 caso2 Δcaso2 caso3 Δcaso3 caso4 Δcaso4

-30 0,0454 0,0046 0,1025 0,0156 0,0369 0,0055 0,0466 0,0089
-25 0,0408 0,0071 0,0869 0,0204 0,0314 0,0056 0,0377 0,0059
-20 0,0337 0,0102 0,0665 0,0207 0,0258 0,0061 0,0318 0,0066
-15 0,0235 0,0081 0,0458 0,0194 0,0197 0,0059 0,0252 0,0081
-10 0,0154 0,00635 0,0264 0,0146 0,0138 0,0059 0,0171 0,009
-5 0,00905 0,00905 0,0118 0,0118 0,0079 0,0079 0,0081 0,0081
0 0 0 0 0
5 -0,0118 0,0118 -0,0128 0,0128 -0,0055 0,0055 -0,0071 0,0071
10 -0,0203 0,0085 -0,0282 0,0154 -0,0126 0,0071 -0,0159 0,0088
15 -0,0275 0,0072 -0,0468 0,0186 -0,0181 0,0055 -0,0247 0,0088
20 -0,0392 0,0117 -0,0658 0,019 -0,0241 0,006 -0,0338 0,0091
25 -0,0497 0,0105 -0,0834 0,0176 -0,0311 0,007 -0,0448 0,011
30 -0,0576 0,0079 -0,0987 0,0153 -0,0366 0,0055 -0,0563 0,0115
Cap 5 grados 0,00849276 0,01676388 0,00612789 0,0085282
Cap 1 grado 0,00169855 0,00335278 0,00122558 0,00170564
141
Medida del Ancho de Banda

Capacidad Tiempo Capacidad Tiempo Capacidad Tiempo Capacidad Tiempo
-0,14128307 0 -0,01127706 0 -0,07706498 0 -0,06580377 0
-0,141161 0,062 -0,00559006 0,062 -0,07441166 0,062 -0,06471149 0,062
-0,13905603 0,124 -0,00364378 0,124 -0,07380034 0,124 -0,06322419 0,124
-0,13563026 0,186 0,00011354 0,186 -0,07244389 0,186 -0,0625113 0,186
-0,13363417 0,248 0,00538891 0,248 -0,07174175 0,248 -0,06196443 0,248
-0,13334755 0,31 0,00709399 0,31 -0,07107671 0,31 -0,06114021 0,31
-0,13218935 0,372 0,0117888 0,372 -0,07047564 0,372 -0,06003182 0,372
-0,12966396 0,434 0,01310911 0,434 -0,06971001 0,434 -0,05934383 0,434
-0,12849648 0,496 0,01455344 0,496 -0,0687442 0,496 -0,0583619 0,496
-0,12734707 0,558 0,01562229 0,558 -0,06814898 0,558 -0,05793905 0,558
-0,12625919 0,62 0,0182048 0,62 -0,06769635 0,62 -0,05731844 0,62
-0,12524601 0,682 0,01927999 0,682 -0,06720514 0,682 -0,05690829 0,682
-0,12420695 0,744 0,02169747 0,744 -0,0668399 0,744 -0,05597128 0,744
-0,12143059 0,806 0,0226335 0,806 -0,06638873 0,806 -0,05541073 0,806
-0,12067717 0,868 0,02367158 0,868 -0,06609137 0,868 -0,05457138 0,868
-0,11896135 0,93 0,0265788 0,93 -0,06582965 0,93 -0,05418906 0,93
-0,11814544 0,992 0,02747333 0,992 -0,06543219 0,992 -0,05375254 0,992
-0,1174096 1,054 0,02832831 1,054 -0,06474079 1,054 -0,05343027 1,054
-0,11670794 1,116 0,02912518 1,116 -0,06458698 1,116 -0,05316611 1,116
-0,1153974 1,178 0,03007342 1,178 -0,0643819 1,178 -0,05274961 1,178
-0,11426752 1,24 0,0305744 1,24 -0,06402204 1,24 -0,05245762 1,24
-0,11312494 1,302 0,03156561 1,302 -0,06393513 1,302 -0,05213096 1,302
-0,11266108 1,364 0,03225359 1,364 -0,06337458 1,364 -0,05187412 1,364
142
-0,11162592 1,426 0,03281316 1,426 -0,0634405 1,426 -0,05124375 1,426

-0,11127241 1,488 0,03374089 1,488 -0,06314948 1,488 -0,05105039 1,488
-0,11033589 1,55 0,03443425 1,55 -0,06287361 1,55 -0,05052891 1,55
-0,11001167 1,612 0,03487859 1,612 -0,0627115 1,612 -0,05020225 1,612
-0,10965962 1,674 0,03560075 1,674 -0,06257234 1,674 -0,05004991 1,674
-0,10920405 1,736 0,03628044 1,736 -0,06239656 1,736 -0,05004991 1,736
-0,10883784 1,798 0,03679411 1,798 -0,06227058 1,798 -0,0495963 1,798
-0,10848579 1,86 0,03813004 1,86 -0,06218123 1,86 -0,04949327 1,86
-0,108144 1,922 0,03839518 1,922 -0,06206697 1,922 -0,04918614 1,922
-0,10783003 1,984 0,03916812 1,984 -0,06184919 1,984 -0,04914708 1,984
-0,10749068 2,046 0,04021451 2,046 -0,06167048 2,046 -0,04883067 2,046
-0,10718648 2,108 0,04051187 2,108 -0,06174617 2,108 -0,0488087 2,108
-0,10702633 2,17 0,04155972 2,17 -0,06150203 2,17 -0,04850157 2,17
-0,10672799 2,232 0,04221695 2,232 -0,06136433 2,232 -0,04830968 2,232
-0,10620943 2,294 0,04366518 2,294 -0,0612325 2,294 -0,04807775 2,294
-0,10598092 2,356 0,04393471 2,356 -0,06123591 2,356 -0,04798448 2,356
-0,10576607 2,418 0,04461538 2,418 -0,06104744 2,418 -0,04783019 2,418
-0,10525192 2,48 0,04506313 2,48 -0,06102254 2,48 -0,04776964 2,48
-0,10505123 2,542 0,04557485 2,542 -0,06097176 2,542 -0,04776964 2,542
-0,1050068 2,604 0,04593178 2,604 -0,06088484 2,604 -0,047234 2,604
-0,10453366 2,666 0,04628969 2,666 -0,06081697 2,666 -0,04712023 2,666
-0,10429 2,728 0,04647084 2,728 -0,0607364 2,728 -0,0470089 2,728
-0,10402487 2,79 0,04723939 2,79 -0,0604449 2,79 -0,04692638 2,79
-0,10384518 2,852 0,04747621 2,852 -0,06053572 2,852 -0,04666076 2,852
-0,10367917 2,914 0,04775062 2,914 -0,06044978 2,914 -0,04665636 2,914
-0,10343063 2,976 0,04804652 2,976 -0,06047566 2,976 -0,04636193 2,976
-0,10288327 3,038 0,04830482 3,038 -0,06050398 3,038 -0,04603527 3,038
143
-0,10286374 3,1 0,04867933 3,1 -0,06025935 3,1 -0,04602892 3,1

-0,10278708 3,162 0,04882044 3,162 -0,06027547 3,162 -0,0457672 3,162
-0,10280905 3,224 0,04898499 3,224 -0,06007527 3,224 -0,04566808 3,224
-0,1025986 3,286 0,04945521 3,286 -0,06020223 3,286 -0,04548107 3,286
-0,10244284 3,348 0,05023108 3,348 -0,06009969 3,348 -0,04554992 3,348
-0,10248434 3,41 0,05044983 3,41 -0,06004891 3,41 -0,04544152 3,41
-0,10225241 3,472 0,05053528 3,472 -0,05999959 3,472 -0,0453341 3,472
-0,10220944 3,534 0,05086194 3,534 -0,05994588 3,534 -0,04531457 3,534
-0,10216061 3,596 0,05112024 3,596 -0,05996834 3,596 -0,04518908 3,596
-0,10207663 3,658 0,05184583 3,658 -0,05983943 3,658 -0,04525598 3,658
-0,10201901 3,72 0,05205774 3,72 -0,05992195 3,72 -0,04513244 3,72
-0,10191355 3,782 0,05229114 3,782 -0,05974129 3,782 -0,04502844 3,782
-0,10169284 3,844 0,05240442 3,844 -0,05977693 3,844 -0,04498791 3,844
-0,10159567 3,906 0,05277405 3,906 -0,05977156 3,906 -0,0450841 3,906
-0,10168064 3,968 0,05308313 3,968 -0,05983602 3,968 -0,04492492 3,968
-0,10156345 4,03 0,0536925 4,03 -0,0596949 4,03 -0,04493664 4,03
-0,10152585 4,092 0,05395471 4,092 -0,05973152 4,092 -0,04484338 4,092
-0,10152194 4,154 0,05402941 4,154 -0,05978719 4,154 -0,04476965 4,154
-0,10133493 4,216 0,05409533 4,216 -0,05962459 4,216 -0,04476623 4,216
-0,10145603 4,278 0,05410315 4,278 -0,05962752 4,278 -0,04473547 4,278
-0,10121286 4,34 0,0544884 4,34 -0,05972908 4,34 -0,04473498 4,34
-0,1012446 4,402 0,05447668 4,402 -0,05970565 4,402 -0,04460168 4,402
-0,10120554 4,464 0,05449377 4,464 -0,05970174 4,464 -0,04467199 4,464
-0,10117185 4,526 0,05473303 4,526 -0,05959578 4,526 -0,04460754 4,526
-0,10122751 4,588 0,05473303 4,588 -0,05960945 4,588 -0,04458117 4,588
-0,10110007 4,65 0,05532873 4,65 -0,05972371 4,65 -0,04458703 4,65
-0,10106003 4,712 0,05531164 4,712 -0,0597325 4,712 -0,04455139 4,712
144
-0,10104538 4,774 0,05540148 4,774 -0,05954744 4,774 -0,04448889 4,774

-0,10100583 4,836 0,05543713 4,836 -0,05958065 4,836 -0,0444552 4,836
-0,10093259 4,898 0,05562609 4,898 -0,05967684 4,898 -0,04445031 4,898
-0,10088425 4,96 0,05569006 4,96 -0,05952108 4,96 -0,0443844 4,96
-0,10079245 5,022 0,05573009 5,022 -0,05965584 5,022 -0,04443371 5,022
-0,10082908 5,084 0,05593908 5,084 -0,05972176 5,084 -0,04439074 5,084
-0,10077146 5,146 0,05615343 5,146 -0,05951229 5,146 -0,04431262 5,146
-0,10078513 5,208 0,05611584 5,208 -0,0595118 5,208 -0,04438928 5,208
-0,10067966 5,27 0,05614953 5,27 -0,05946346 5,27 -0,0443551 5,27
-0,10064939 5,332 0,05653673 5,332 -0,0595494 5,332 -0,0442799 5,332
-0,10073484 5,394 0,05664464 5,394 -0,05956893 5,394 -0,04426574 5,394
-0,10066843 5,456 -0,05946736 5,456 -0,04419397 5,456
-0,10056345 5,518 -0,05962752 5,518 -0,04432141 5,518
-0,10066062 5,58
-0,10065476 5,642
-0,10050095 5,704
145
8.3. Run Card
146
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8.4. Datasheet AD7745/46
149
150
151
152
153
154
155
156
8.5. DataSheet SU82150
157
158
159
160

Sensor de InclinaciÃ N Capacitivo MicrofluÃ - Dico - Blas Salvador DomÃ - Nguez

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Sensor de Inclinación Capacitivo

Proyecto Fin de Máster

Máster en Electrónica, Tratamiento de Señal y

Autor: Blas Salvador Domínguez

Tutor: Antonio Luque Estepa

A Antonio por su tiempo y su ayuda,

a mi familia por su apoyo y compresión,

y a Irene, por no permitir que me rindiera,

3.1. Principio Físico ......................................................................................................26

5.2.2. Linealidad ........................................................................................................84

En este capítulo se realiza una presentación del proyecto y una introducción a

El presente Trabajo Fin de Máster se engloba dentro de la asignatura de

Se pretende realizar el diseño de un instrumento, de pequeñas dimensiones,

MEMS hace referencia a las siglas de Micro-Electromechanical Systems

Tradicionalmente se ha asociado la microfabricación con la creación de

A lo largo del proyecto se ha realizado un estudio de los distintos tipos de

Se han adquirido y desarrollado los conocimientos y habilidades necesarias

En este apartado me gustaría destacar la relevancia de la realización del

Ha sido primordial es estudio de sistemas y elementos de parecido

Durante todo el proceso, se han aplicado multitud de disciplinas científicas

Los objetivos principales que se marcan al principio del proyecto son:

- Diseñar un sensor que sea capaz de transformar los grados de

Estado del arte

2. ESTADO DEL ARTE

En este capítulo se explican las características y los principios de

2.1. Inclinómetro. Tilt Sensor

El inclinómetro, sensor de inclinación o tilt sensor, es un componente

Existen multitud de elementos de este tipo. Generalmente utilizan el efecto de

A continuación se explican algunas de las propiedades y funcionamiento de

2.1.1. Dispositivos comerciales

En este punto se explican las propiedades y el funcionamiento básico de

Son dispositivos comerciales que implementan diferentes técnicas para

2.1.1.1. Inclinómetros capacitivos

Los inclinómetros capacitivos son sensores de

Aprovechando las características de esta tecnología, los modelos capacitivos

2.1.1.2. Inclinómetros MEMS

Los inclinómetros MEMS son inclinómetros

Las señales de salida pueden ser proporcionales al seno del ángulo, o

Su rango de aplicaciones es muy diverso, desde posicionamiento estándar en

2.1.1.3. Inclinómetros por conductividad

Los inclinómetros de conductividad o inclinómetros de

Se trata de una tecnología muy avanzada y novedosa para la medida de

Los inclinómetros de dos ejes (2 ejes) o inclinómetros

Se suelen emplear en aplicaciones de medida de nivelación y alineamiento,

Los servoinclinómetros o inclinómetros tipo servo, son

Fig 5 Servoinclinómetro Gracias a estas excepcionales características los

2.1.1.6. Referencia inercial

Una referencia inercial (IMU) es un sensor que incorpora

El cálculo de posición inercial requiere ya el uso de

2.1.1.7. Alarma de inclinación

Una alarma de inclinación es básicamente un

Fig 7 Alarma de Inclinación básicamente, de un sensor de inclinación, una

electrónica de comparación y unos interruptores.

El modo de configuración de la alarma de inclinación es sencillo, mediante un

La aplicación por excelencia es el control de seguridad en plataformas, cestas

2.1.2. Otros inclinómetros

En este apartado se presentan inclinómetros de un tipo más ligado al mundo de

Muchos de estos aparatos utilizan para su fabricación técnicas de la tecnología

2.1.2.1. Inclinómetro electrolítico MEMS

Los sensores electrolíticos basados en tecnología MEMS tienen múltiples

Fig 8 Inclinómetro electrolítico

En la figura se puede ver la vista esquemática y el principio de funcionamiento