El
SEM
y
sus
Modos
de


Operación

Capitulo
2,
Goldstein
et
al

 EL
SEM
y
sus
modos
de
operación

•  Obtener
una
imagen
en
3D
a
baja
magnificación

es
fácil.

•  Obtener
toda
la
información
que
el
Microscopio

de
Barrido
puede
ofrecer
requiere
entender
los

disFntos
modos
de
operación
y
los
parámetros

del
haz
electrónico
que
los
afectan.

•  Modos
de
operación:

–  Modo
de
resolución,
modo
de
alta
corriente,
mode
de

profundidad
de
foco
y
modo
a
bajos
voltajes.


 Modos
de
operación

•  El
diametro
del
haz
electrónico
en
la
muestra
limita
la
resolucion
de

la
imagen


•  La
magnitud
de
corriente
electronica
en
la
sonda
final
determina
la

intensidad
de
electrones
secundarios
y
retrodispersados

y
señales

de
rayos
X.

•  Mientras
mas
pequeño
es
el
haz
electrónico,
mas
pequeña
es
la

corriente
disponible
y
la
visibilidad
de
las
caracterisFcas
de
la

muestra
disminuye.

•  El
ángulo
del
haz
cónico
que
llega
a
la
muestra
controla
el
iintervalo

de
alturas
en
la
muestra
que
se
obtendran
en
foco

simultaneamente.

•  El
voltaje
de
aceleración
del
haz
determina
que
tan
verasmente
la

imagen
representa
la
superficie
real
de
la
muestra.

•  Operador
debe
controlar
estos
parámetros.

 Funcionamiento
del
SEM


•  Dos
componentes
básicos:
la
columna

electrónica
y
la
consola
de
controles.

 Cañón
de
electrones
y
lentes


•  El
cañón
de
electrones
genera

electrones
y
los
acelera
a
una

energía
en
el
intervalo
0.1‐30

KeV

•  El
tamaño
de
haz
de
un
filamento

de
Tungsteno
es
demasiado

grande
para
producir
una
imagen

clara
a
menos
que
se
usen
lentes

para
demagnificarlo
y
lograr

colocar
un
haz
enfocado
sobre
la

muestra.
Tamaño
final
<
10
nm.

 Sistema
de
deflexión:
control
de
la
amplificación


•  La
imagen
se
forma
punto

por
punto

•  El
sistema
de
deflexión

genera
el
barrido
sobre
la

muestra
y
simultaneamente

crea
un
barrido
similar
sobre

el
monitor

•  Se
usan
dos
pares
de
bobinas

electromagneFcas.

•  Magnificación
A/B

 Detector
de
electrones:
colecta
la
señal


•  Contraste:
diferencia
de

intensidades

•  Muchas
señales
se

producen
cuando
haz
toca

la
muestra

•  Detector:
convierte
la
señal

en
diferencias
de

intensidad


•  Standard
Everhart‐Thorney

detector
para
electrones

secundarios
y

retrodispersados

 Operador:
controles

•  Se
debe
poder
controlar
inicialmente
los

controles
para
crear
el
haz:
voltaje
de

aceleración
y
corriente
de
emisión.

•  Controles
de
la
lente
condensadora?

•  Lente
objeFva?

•  Signal
controls:
contraste
y
brillantez?

Modos
de
operación
para
imágenes


•  Cuatro
parametros
importantes:

•  Tamaño
del
haz,
dp

•  Corriente
del
haz,
Id

•  Ángulo
de
convergencia
del
haz,
αp

•  Voltaje
de
aceleración



 Cuatro
modos
de
imagen
en
el
SEM

•  Modo
Resolución

•  Modo
alta
corriente

•  Modo
profundidad
de
foco

•  Modo
Bajo
Voltaje

 Modo
Resolución

•  Para
alcanzar
la
máxima
resolución
dp
debe

ser
tan
pequeño
como
sea
posible
y
al
mismo

Fempo
la
corriente
del
haz
debe
ser

suficientemente
alta
para
exceder
el
criterio

de
visibilidad.

•  El
diametro
de
la
sonda
debe
ser
comparable

con
la
caracterisFca
mas
pequeña
a
observar.

•  SignificaFvo
para
amplificaciones
altas.

Modo
resolución

 Modo
alta
corriente

•  Para
obtener
una
mejor
visibilidad
y
calidad,

se
requieren
altas
corrrientes
del
haz.

•  Altas
corrientes
también
son
necesarias
para

análisis
por
rayos
X.

 Modo
profundidad
de
foco

•  Para
obtener
la
mejor
profundidad
de
foco
αp

debe
ser
tan
pequeño
como
sea
posible

•  Al
hacer
este
ángulo
pequeño
el
tamaño
del

haz
cambia
muy
poco
en
profundidad
y
las

caracterisFcas
situadas
a
diferentes
altura

quedan
en
foco
al
mismo
Fempo.

Modo
Profundidad
de
Foco

 Modo
Bajo
Voltaje

•  A
bajos
voltajes
de
aceleración
(≤5
KV),
la

interacción
con
la
muestra
se
confina
a

regiones
muy
cercanas
a
la
superficie.

•  Esto
proporciona
una
imagen
rica
en
detalles

superficiales
que
nopueden
obtenerse
a

voltajes
altos.

Modo
Bajo

Voltaje