El microscopio electrónico de barrido (SEM)¹

Electrones y resolución

SEM (Scanning Electron Microscope) 

poder de resolución PR: capacidad de discriminar dos puntos muy cercanos entre sí. 

es inversamente proporcional al límite de resolución (d)

menor distancia que debe existir entre dos puntos para que
puedan ser distinguidos separadamente.

PARA UN SISTEMA IDEAL

(SISTEMA ÓPTICO PERFECTO):
d = límite de resolución
SIN ABERRACIONES, NI
λ= longitud de onda de la radiación que forma la imagen DISTORSIONES EN EL SISTEMA.

ecuación de Abbe
n = índice de refracción medio²

α= ángulo de abertura en radianes

 Teniendo consideraciones:

donde: donde:

λ= longitud de onda. eV = energía en

electrón-voltios (e =
h = constante de Planck -1.6 x 10E-19 C)
(6.6x10E-34 J·s)
donde:
m = masa de la
m = masa de la partícula partícula
d = resolución en nm
(9.1 x 10E-31 Kg)
v = velocidad de la
α= ángulo de apertura en
v = velocidad de la partícula partícula
radianes

V = voltaje de aceleración
(V)
CONCLUSIÓN:
resolución espacial del SEM dependerá: tamaño del haz de electrones utilizado,
longitud de onda de los electrones, tamaño del volumen de interacción y el volumen de
material de la muestra que interactúa con el haz de electrones.

INTERACCIÓN DE LOS ELECTRONES CON LA MUESTRA

 SEM:  instrumento compuesto por un sistema óptico-electrónico

explora la muestra por medio de un haz móvil de electrones

PRODUCTO DE LA INTERACCIÓN ELECTRÓN-MUESTRA: generación de

diversas radiaciones.

haz de electrones, procedente del cañón  atraviesa la columna, a través del sistema óptico
de lentes electromagnéticas  llegando a la muestra  donde un generador de barrido,
produce el movimiento del haz, de manera que barre o “escanea” la muestra punto a punto.

sistema óptico: compuesto por una lente condensadora y una lente objetivo

focaliza el haz saliente del cañón de electrones  modificando su diámetro y

focalizándolo sobre el espécimen.
bobinas deflectoras: controladas por el generador de barrido son las responsables de que
el haz focalizado rastree la muestra.

interacción del haz con la muestra en cada punto  genera una señal  procesada para
generar la imagen.

Procesador  toma la intensidad de la señal procedente de un píxel en la muestra 

convierte en un valor de escala de grises del correspondiente pixel en el monitor.

imagen final del monitor  patrón de barrido bidimensional de valores de escala de grises.

Para cambiar la magnificación  cambiar el tamaño del área de barrido sobre la muestra.

*magnificación aumentará si reducimos el tamaño del área escaneada en la muestra.

colisión del haz de electrones altamente acelerado + átomos de la muestra = producción

de varios tipos de radiación.
 Tipos de dispersión de electrones en la interacción del haz principal de electrones con la
muestra:

dispersión o “scattering” de electrones elástica 

dispersión o “scattering” de electrones inelástica 

 scattering inelástica: cuando el haz interacciona con el campo coulómbico del núcleo
del átomo de la muestra.

(Fuerza coulómbica)
R: distancia entre las cargas Q1 y Q2
 ε0: constante dieléctrica

a menor R, mayor es F y por consiguiente el ángulo de dispersión

 scattering inelástica : el electrón incidente pierde parte de su energía (no sufre una
desviación significativa de su trayectoria)  transferencia de energía al átomo de la
muestra  expulsión de un electrón de este átomo llamado electrón secundario (Secondary
Electron SE).

Tienen una energía menor a 50 eV

Si la vacante ocasionada se llena desde un orbital superior  producción de un rayo

X característico de esa transición de energía.

Scattering elástica: genera un cambio en la dirección del haz de electrones, pero sin una
alteración significativa de la energía del haz de electrones (<1 eV).

En este caso, si el haz de electrones desviado elásticamente se dispersa de nuevo

fuera de la muestra  los electrones se denominan retrodispersados (backscattered electron
BSE).

Puede tener un rango de energía de 50 eV a casi la energía del propio haz incidente

NOTA: La mayoría de los electrones retrodispersados retienen al menos 50% de la energía

del haz incidente.
 Su intensidad (electrones de baja energía) varía conforme la sonda barre la superficie
del espécimen.

El SEM utilizará para la formación de imágenes los electrones secundarios  Motivo: se

producen cerca de la superficie del espécimen y muestran su estructura topográfica.

electrones de alta energía

Por otro lado, la variación de emisión de electrones retrodispersados, dependerá de la

composición de la muestra.

Mayor energía del haz  Menor  tasa de pérdida de energía en la muestra  los electrones
del haz penetran más profundamente en la muestra.

Menor dispersión elástica  la trayectoria del haz cerca de la superficie de la muestra será
más recta y los electrones penetraran más profundamente en la muestra.

 Mayor tasa de pérdida de energía del haz de electrones  Mayor número atómico promedio
de la muestra   los electrones no penetran tan profundamente en la muestra.

MICROANÁLISIS DE RAYOS X:
generación de fotones de rayos X: expulsión de un electrón de alguno de los orbitales internos
del átomo (genera una vacante)  vacante ocupada por alguno de los electrones de un
orbital más externo.
CAÑON DE ELECTRONES:

proporciona un haz estable de electrones altamente acelerados 

focaliza sobre la muestra mediante un sistema de lentes electromagnéticas

Se mantiene en vacío. Imposible mantenerse en presión atmosférica (moléculas de

gas en el aire dispersarían los electrones)

Sistema termoiónico

generación del haz

producen el haz por calentamiento de un filamento:
de electrones
 filamentos de Tungsteno (W)
 cristales de hexaboruro de Lantano (LaB6)

Sistema de emisión de campo (FEG – Field Emision Gun)

 Utiliza un campo eléctrico para facilitar la emisión de

electrones
 Condiciones de vacío mejores que los termoiónicos 
Mayor luminosidad.
 Filamento de un cañón de emisión de Filamentos para cañones de tipo
campo (FEG) termoiónico de W y de LaB6

Preparación de las muestras

Muestras hidratadas  proceso previo de deshidratación

Muestras biológicas  fijarse químicamente de manera previa

Muestra conductora  no necesitan ser preparadas.

Muestra no conductora  Recubrir con una capa delgada de material conductor.

Uso del “sputter-coater” (Pulverizador catódico)

Evapora carbono en condiciones de vacío

o bien depositan algún metal pesado (Au habitualmente)

utiliza un campo
eléctrico y gas argón
para su
funcionamiento

 Muestra colocada en una

cámara al vacío.
 Un campo eléctrico y Ar
causan una atmósfera
ionizada  Impacto entre
Ar+ y lámina de oro
polarizada con carga
negativa (depositado sobre
la superficie de la muestra)
 Recubrimiento de oro
muy fino y de grosor
controlable.
VENTAJAS Y DESVENTAJAS DEL SEM
VENTAJAS
 Operación rápida y fácil manejo.
 Posibilidad de observar objetos más
grandes que en un TEM, incluso en
condiciones de bajo vacío en algunos
casos para evitar alteraciones de la
muestra.
DESVENTAJAS
 Alto costo económico.
 Solamente se pueden examinar
estructuras superficiales.
 Menor resolución que un microscopio
de transmisión.